JP5319539B2 - Tape bonding method and electronic component manufacturing method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ワークに対してテープ部材を接着させるテープ接着方法および電子部品製造方法に関する。 The present invention relates to a tape bonding method and an electronic component manufacturing method for bonding a tape member to a workpiece.
半導体の製造工程においては、ウエハ表面の汚染、ウエハ表面の傷の発生を防止するために、ウエハ表面に粘着状の保護テープを貼り付ける場合がある。かかる保護テープを貼り付けるためのテープ接着方法は、現状ではローラを駆動させて貼り付ける方法が一般的である。 In a semiconductor manufacturing process, in order to prevent contamination of the wafer surface and generation of scratches on the wafer surface, an adhesive protective tape may be attached to the wafer surface. As a tape bonding method for applying such a protective tape, a method of applying a roller by driving a roller is generally used.
しかしながら、ローラ方法以外に、例えば特許文献1に示すように、真空方式のテープ接着方法も存在する。この特許文献1に開示されているテープ接着方法では、本体側の部屋および上蓋側の部屋の両方を真空とし、その状態から、上蓋側の部屋を大気圧に切り替える。それによって、上蓋側の部屋と本体側の部屋との間に差圧が生じ、その差圧によって、ゴムシートが本体側の部屋に膨らむ。そして、この膨らみによって、ゴムシートがテープ部材を押し、ワークに対して保護テープとなるテープ部材を接着させている。 However, in addition to the roller method, for example, as shown in Patent Document 1, there is also a vacuum tape bonding method. In the tape bonding method disclosed in Patent Document 1, both the main body-side room and the upper lid-side room are evacuated, and the upper lid-side room is switched to atmospheric pressure from this state. Thereby, a differential pressure is generated between the chamber on the upper lid side and the room on the main body side, and the rubber sheet swells in the room on the main body side by the differential pressure. And by this swelling, a rubber sheet presses a tape member, and the tape member used as a protective tape is adhere | attached with respect to a workpiece | work.
また、真空方式の他のテープ接着方法としては、特許文献2に開示されているものがある。この特許文献2には、第1の真空室と第2の真空室との間の差圧を利用して、平滑性の高い基台の中央部を保護テープ側に向けて撓ませる技術に関して開示されている。これと共に、中央部を撓ませた基台を、ウエハに貼付された保護テープに押し付けながら、昇降装置の駆動によりウエハを持ち上げている。このようにすることで、保護テープの中央側から外方に向けて空気を押し出しながら、ウエハに対してテープ部材となる保護テープを接着している。 Further, as another tape bonding method of the vacuum method, there is one disclosed in Patent Document 2. This Patent Document 2 discloses a technique for deflecting the central portion of the base with high smoothness toward the protective tape side by utilizing the differential pressure between the first vacuum chamber and the second vacuum chamber. Has been. At the same time, the wafer is lifted by driving the lifting device while pressing a base having a bent central portion against a protective tape affixed to the wafer. By doing in this way, the protective tape used as a tape member is adhere | attached with respect to a wafer, pushing out air toward the outward from the center side of a protective tape.
上述の特許文献1記載の構成では、ゴムシートが上部に位置しているため、該ゴムシートの弛みを除去するためには、ゴムシートを張る際の張力をかなり高める必要がある。このため、ゴムシートの取り付けが困難となる、という課題を有している。ここで、接着作業を効率的に行わせるためには、ゴムシートに対して接触している保護テープと、ウエハとの間の隙間を小さくする場合が多い。かかる隙間が小さい状態で、ゴムシートに弛みが生じると、真空吸引を行う前の段階から、ウエハに保護テープが接着し、接着面に気泡が入り込む、という不具合が生じることがある。また、特許文献1記載の構成では、複数の押しネジが設けられていて、これらの押しネジの全てを同時に回転させる必要があり、作業性が悪い。 In the configuration described in Patent Document 1, since the rubber sheet is located at the upper part, it is necessary to considerably increase the tension when the rubber sheet is stretched in order to remove the slackness of the rubber sheet. For this reason, it has the subject that attachment of a rubber sheet becomes difficult. Here, in order to efficiently perform the bonding operation, the gap between the protective tape in contact with the rubber sheet and the wafer is often reduced. If the rubber sheet is slack with such a small gap, there may be a problem that the protective tape adheres to the wafer and bubbles enter the adhesion surface from the stage before vacuum suction. In the configuration described in Patent Document 1, a plurality of push screws are provided, and it is necessary to rotate all of these push screws at the same time.
また、特許文献2記載の構成では、第1の真空室と第2の真空室との間の差圧を利用して、ガラス板等の基台を撓ませて、ウエハが貼付された保護テープに対して基台を接着させると共に、この接着状態から、さらにウエハが貼付された保護テープおよび基台を持ち上げている。このため、2段階の接着工程を有し、手間が掛かり、コスト的にも好ましくない。また、ウエハ等を持ち上げるために、別途昇降装置が必要となるので、構成が複雑となり、その分だけコストが掛かる。 Further, in the configuration described in Patent Document 2, a protective tape to which a wafer is attached by bending a base such as a glass plate using a differential pressure between the first vacuum chamber and the second vacuum chamber. The base is adhered to the substrate, and the protective tape and the base to which the wafer is further attached are lifted from the adhered state. For this reason, it has a two-step bonding process, which takes time and is not preferable in terms of cost. Further, since a separate lifting device is required to lift the wafer or the like, the configuration becomes complicated, and the cost increases accordingly.
ここで、本出願人は、特許文献3の出願を行い、これら従来のテープ接着装置を改良するようにしている。これらによれば、上述の特許文献1および特許文献2等に開示されている構成が備える、不具合が除去されている。 Here, the present applicant has applied for Patent Document 3 to improve these conventional tape bonding apparatuses. According to these, the malfunction with which the structure currently disclosed by the above-mentioned patent document 1 and patent document 2 grade | etc., Is removed.
しかしながら、特許文献3記載のテープ接着方法においては、接着面に気泡が入り込むのを防止するという点では、非常に有用であるものの、気泡を完全に無くすには、真空の程度を強くする必要があり、製造効率が悪くなりがちである。また、特許文献3記載の技術の場合、テープ部材とワークとの間隔を狭くし、製造効率を上げようとすると、ときには、接着面に気泡が残り、接着不良が発生することも生じている。 However, in the tape bonding method described in Patent Document 3, although it is very useful in terms of preventing bubbles from entering the bonding surface, it is necessary to increase the degree of vacuum in order to completely eliminate the bubbles. Yes, manufacturing efficiency tends to deteriorate. Further, in the case of the technique described in Patent Document 3, when an attempt is made to increase the manufacturing efficiency by narrowing the gap between the tape member and the workpiece, sometimes bubbles remain on the bonding surface, resulting in poor bonding.
本発明は上記の事情にもとづきなされたもので、その目的とするところは、製造効率を上げることが可能になると共に、ワークとテープ部材との間の気泡の発生を防ぐことができるテープ接着方法および電子部品製造方法を提供しよう、とするものである。また、他の発明は、気泡が発生したとしても除去可能となるテープ接着方法および電子部品製造方法を提供しよう、とするものである。 The present invention has been made on the basis of the above circumstances, and the object of the present invention is to increase the production efficiency and to prevent the generation of bubbles between the workpiece and the tape member. And an electronic component manufacturing method. Another object of the present invention is to provide a tape bonding method and an electronic component manufacturing method that can be removed even if bubbles are generated.
上記課題を解決するために、本発明のテープ接着方法は、伸縮シート部材の上面側に配置されるワークに対し、上記ワークの上方に配置される上蓋ユニットと上記ワークとの間に配設されるテープ部材を接着するテープ接着方法において、まず、伸縮シート部材の上面側に位置すると共に上蓋ユニットと伸縮シート部材とで挟まれ外気から遮断される第1の真空室内に、ワークとテープ部材を配置し、第1の真空室を第1の吸引手段で真空吸引を開始させ、その後、伸縮シート部材の下面側に位置する第2の真空室を第2の吸引手段で真空吸引を開始させ、テープ部材側を早めに吸引させるステップなどの所定ステップの後に、伸縮シート部材を第1の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、テープ部材とワークの間に気泡が分散した状態で、かつテープ部材が、ワークの外縁に先に接着した後にワークの中心に接着する、という状態が生じないようにワークとテープ部材を接着させる接着ステップと、この接着ステップを実行した後に、第1の空気導入手段を作動させて第1の真空室に空気を導入し、テープ部材とワークの間に発生した分散状態の気泡をワーク外へ排出する空気開放ステップと、を有するものである。 In order to solve the above-described problems, the tape bonding method of the present invention is disposed between the upper lid unit disposed above the workpiece and the workpiece with respect to the workpiece disposed on the upper surface side of the stretchable sheet member. In the tape adhering method for adhering the tape member, first, the workpiece and the tape member are placed in a first vacuum chamber located on the upper surface side of the elastic sheet member and sandwiched between the upper lid unit and the elastic sheet member and shielded from the outside air. The first vacuum chamber is started by vacuum suction with the first suction means, and then the second vacuum chamber located on the lower surface side of the elastic sheet member is started with vacuum suction by the second suction means, After a predetermined step such as a step of sucking the tape member early, the expandable sheet member is expanded toward the inside of the first vacuum chamber, and the workpiece is taped by the expansion of the expandable sheet member. The workpiece is lifted toward the material so that air bubbles are dispersed between the tape member and the workpiece, and the tape member does not adhere to the outer edge of the workpiece and then adheres to the center of the workpiece. A bonding step for bonding the tape member and the tape member, and after performing this bonding step, the first air introduction means is operated to introduce air into the first vacuum chamber, and the dispersed state generated between the tape member and the workpiece And an air release step for discharging the bubbles to the outside of the workpiece.
このような方法を採用した場合には、テープ部材側が早めに吸引されるため、ワーク側にテープ部材がたれてこない。このため、テープ部材とワークとの間隔を狭くし、製造効率を上げることができる。また、気泡が残った状態でテープ部材をワークに接着させることができるので、真空の程度を強くする必要がない。さらに、テープ部材がワークの外縁に先に接着しないように接着させているので、気泡が発生しても、その気泡を空気開放ステップで、ワーク外へ排出させることができる。なお、ワークとしては、半導体集積回路用のウエハ、液晶表示体、ディプレイ用のガラス基板、などテープ部材が接着されるものであれば、すべての部材が採用される。 When such a method is adopted, since the tape member side is sucked early, the tape member does not lean on the workpiece side. For this reason, the space | interval of a tape member and a workpiece | work can be narrowed and manufacturing efficiency can be raised. Further , since the tape member can be adhered to the work with air bubbles remaining, there is no need to increase the degree of vacuum. Furthermore, since the tape member is adhered to the outer edge of the work so as not to adhere first, even if air bubbles are generated, the air bubbles can be discharged out of the work in the air release step. In addition, as a workpiece | work, as long as tape members, such as a wafer for semiconductor integrated circuits, a liquid crystal display body, and a glass substrate for a display, are adhered, all members are adopted.
他のテープ接着方法としては、テープ部材が、ワークの外縁に先に接着した後にワークの中心に接着する、という状態が生じないように接着させる接着ステップ、を有するものとしてもよい。このように、テープ部材がワークの外縁に先に接着しないように接着させていると、気泡が発生しても、その気泡を空気開放ステップで、ワーク外へ排出させることができる。 Other tape adhering method, the tape member is adhered step of bonding the center of the workpiece after bonding above the outer edge of the workpiece, the state that is bonded so as not to cause, or as having. Thus, when the tape member is adhered so as not to adhere to the above the outer edge of the workpiece, even if bubbles are generated, the bubbles in the air opening step, can be discharged to the work out.
また、他のテープ接着方法としては、テープ部材側を早めに吸引させるステップなどの所定ステップの後に、伸縮シート部材を第1の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、ワークをテープ部材に接着させる接着ステップと、接着ステップを実行した後に、第1の空気導入手段を作動させて第1の真空室に空気を導入し、テープ部材とワークの間に発生した気泡をワーク外へ排出する空気開放ステップと、を有するものとしてもよい。 As another tape bonding method, after a predetermined step, such as step of sucking the tape member side earlier, the elastic sheet member toward the inside of the first vacuum chamber is inflated, such stretch sheet member After performing the bonding step of lifting the workpiece toward the tape member by expansion and bonding the workpiece to the tape member, and performing the bonding step, the first air introduction means is operated to introduce air into the first vacuum chamber and an air opening step of discharging the air bubbles generated between the tape member and the workpiece to the work out, or as having.
このような方法を採用すると、テープ部材側が早めに吸引されるため、ワーク側にテープ部材がたれてこない。このため、テープ部材とワークとの間隔を狭くし、製造効率を上げることができる。また、気泡の発生も防止できる。さらに、気泡が発生しても、空気開放ステップにて、その気泡をワーク外へ排出させることができる。 When such a method is adopted, the tape member side is sucked early, so that the tape member does not lean on the workpiece side. For this reason, the space | interval of a tape member and a workpiece | work can be narrowed and manufacturing efficiency can be raised. Moreover, generation | occurrence | production of a bubble can also be prevented. Furthermore, even if bubbles are generated, the bubbles can be discharged out of the workpiece in the air release step.
また、他のテープ接着方法としては、接着ステップを実行した後に、ワークが配置される空間に空気を導入し、テープ部材とワークの間に発生した気泡をワーク外へ排出する空気開放ステップを有するものとしてもよい。このようにすると、この発明では、気泡が発生しても、空気開放ステップにて、その気泡をワーク外へ排出させることができる。 As another tape bonding method, after performing the bonding step, the air opening step of introducing air into the space which a workpiece is arranged to discharge the air bubbles generated between the tape member and the workpiece to the work out It is good also as what has . Thus Then, in this invention, even if bubbles are generated, it can be in the air opening step, to discharge the air bubbles to the work out.
また、他のテープ接着方法としては、吸引ステップの後に、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、テープ部材が、ワークの外縁に先に接着した後にワークの中心に接着する、という状態が生じないように接着させる接着ステップと、接着ステップを実行した後に、ワークが配置される空間に空気を導入し、テープ部材とワークの間に発生した気泡をワーク外へ排出する空気開放ステップと、を有するものとしてもよい。このようにすると、テープ部材がワークの外縁に先に接着しないように接着させているとともに空気開放ステップを有しているので、気泡が中心部に発生するのを防止でき、気泡が発生しても、その気泡を空気開放ステップで、ワーク外へ排出させることができる。 As another tape bonding method, after the sucking step, the workpiece lift toward the tape member, the tape member is adhered to the center of the work after the adhesive previously the outer edge of the workpiece, the state of An adhesion step for adhering so as not to occur, an air release step for introducing air into a space in which the workpiece is placed after discharging the air, and discharging bubbles generated between the tape member and the workpiece to the outside of the workpiece; It is good also as what has . Thus Then, since the tape member has an air opening step with and adhered so as not to adhere to the above the outer edge of the workpiece, can be prevented generation of bubbles in the heart, and bubbles are generated However, the bubbles can be discharged out of the work in the air release step.
また、他のテープ接着方法としては、第1の真空室を小さくした構造を有するものを使用して、真空吸引させる吸引ステップと、空気導入ステップと、を実行した後に、伸縮シート部材を第1の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、テープ部材が、ワークの外縁に先に接着した後にワークの中心に接着する、という状態が生じないように接着させる接着ステップと、接着ステップを実行した後に、第1の空気導入手段を作動させて第1の真空室に空気を導入し、テープ部材とワークの間に発生した気泡をワーク外へ排出する空気開放ステップと、を有するものとしてもよい。 As another tape adhering method, using a material having a structure reduced first vacuum chamber, and a suction step of vacuum suction, after performing the air introduction step, and the elastic sheet member The workpiece is expanded toward the inside of the first vacuum chamber, and the workpiece is lifted toward the tape member by the expansion of the elastic sheet member, and the tape member is bonded to the outer edge of the workpiece and then bonded to the center of the workpiece. After the bonding step is performed so as not to occur, and the bonding step is executed, the first air introduction means is operated to introduce air into the first vacuum chamber, and is generated between the tape member and the workpiece. an air opening step of discharging the air bubbles to the work out, or as being have a.
このような方法を採用した場合には、第1の真空室が小さいため、テープ部材側が早めに吸引されることとなり、ワーク側にテープ部材がたれてこない。このため、テープ部材とワークとの間隔を狭くし、製造効率を上げることができる。また、テープ部材がワークの外縁に先に接着しないように接着させるので、気泡が中心部に発生するのを防止できる。さらに、気泡が発生しても、ワークの外縁が接着されていないので、空気開放ステップにて、その気泡をワーク外へ排出させることができる。 When such a method is adopted, since the first vacuum chamber is small, the tape member side is sucked early, and the tape member does not lean on the workpiece side. For this reason, the space | interval of a tape member and a workpiece | work can be narrowed and manufacturing efficiency can be raised. Further, since the tape member is adhered so as not to adhere to the outer edge of the workpiece first, bubbles can be prevented from being generated at the center portion. Furthermore, even if bubbles are generated, the outer edge of the workpiece is not adhered, so that the bubbles can be discharged out of the workpiece in the air release step.
さらに、他のテープ接着方法としては、第2の真空室が、少なくとも吸引当初は、第1の真空室より小さい吸引力で真空吸引されるステップやその他のステップを行った後に、伸縮シート部材を第1の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、テープ部材が、ワークの外縁に先に接着した後にワークの中心に接着する、が生じないように接着させる接着ステップと、接着ステップを実行した後に、第1の空気導入手段を作動させて第1の真空室に空気を導入し、テープ部材とワークの間に発生した気泡をワーク外へ排出する空気開放ステップと、を有するものとしてもよい。 In addition, other tape bonding method, after the second vacuum chamber, at least suction initially performing the steps and other steps to be vacuum-sucked by a first vacuum chamber smaller suction force, stretchable sheet The member is expanded toward the inside of the first vacuum chamber, and the workpiece is lifted toward the tape member by the expansion of the stretchable sheet member. After the tape member is first bonded to the outer edge of the workpiece, the member is centered on the workpiece. Bonding is performed so that bonding does not occur, and after performing the bonding step, the first air introducing means is operated to introduce air into the first vacuum chamber, and is generated between the tape member and the workpiece. an air opening step of discharging the air bubbles to the work out, or as being have a.
このような方法を採用した場合には、第2の真空室が、少なくとも吸引当初は、第1の真空室より小さい吸引力で真空吸引されるので、テープ部材側が早めに吸引されることとなり、ワーク側にテープ部材がたれてこない。このため、テープ部材とワークとの間隔を狭くし、製造効率を上げることができる。また、テープ部材がワークの外縁に先に接着しないように接着させるので、気泡が中心部に発生するのを防止できる。さらに、気泡が発生しても、ワークの外縁が接着されていないので、空気開放ステップにて、その気泡をワーク外へ排出させることができる。 When such a method is adopted, since the second vacuum chamber is vacuum-sucked with a suction force smaller than the first vacuum chamber at least at the beginning of suction, the tape member side is sucked earlier, The tape member does not lean on the workpiece side. For this reason, the space | interval of a tape member and a workpiece | work can be narrowed and manufacturing efficiency can be raised. Further, since the tape member is adhered so as not to adhere to the outer edge of the workpiece first, bubbles can be prevented from being generated at the center portion. Furthermore, even if bubbles are generated, the outer edge of the workpiece is not adhered, so that the bubbles can be discharged out of the workpiece in the air release step.
また、他のテープ接着方法としては、吸引ステップの後に、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、テープ部材とワークの間に気泡が分散した状態でテープ部材に接着させる気泡分散接着ステップと、気泡分散接着ステップを実行した後に、ワークが配置される空間に空気を導入し、気泡をワーク外へ排出する気泡排出ステップと、を有するものとしてもよい。この構成とすると、気泡が残った状態でテープ部材をワークに接着させることができるので、真空の程度を強くする必要がなく、また残った気泡は、気泡排出ステップで、ワーク外へ排出されるので、ワークとテープ部材との間に発生した気泡は、最終的には、確実に除去されることとなる。 As another tape bonding method, after the sucking step, the workpiece lift toward the tape member, and the bubble dispersion adhesive step of adhering the tape member in a state in which bubbles are dispersed between the tape member and the workpiece In addition, after the bubble dispersion bonding step is performed, air may be introduced into a space in which the work is disposed, and a bubble discharge step of discharging the bubbles out of the work may be included . With this configuration , the tape member can be adhered to the work with air bubbles remaining, so there is no need to increase the degree of vacuum, and the remaining air bubbles are discharged out of the work in the air bubble discharging step. Therefore, the bubbles generated between the work and the tape member are finally removed reliably.
さらに、他のテープ接着方法としては、真空吸引させる吸引ステップと、空気導入ステップと、その後に、伸縮シート部材を第1の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げてテープ部材とワークの間に気泡が分散した状態でテープ部材に接着させる気泡分散接着ステップと、気泡分散接着ステップを実行した後に、第1の空気導入手段を作動させて第1の真空室に空気を導入し、気泡をワーク外へ排出する気泡排出ステップと、を有するものとしてもよい。 In addition, other tape adhering method, and a suction step of vacuum suction, and the air introduction step, so thereafter, expanding the elastic sheet member toward the inside of the first vacuum chamber, expansion of such elastic sheet member And a first air introduction means after performing the bubble dispersion adhesion step of lifting the workpiece toward the tape member and adhering to the tape member in a state where the bubbles are dispersed between the tape member and the workpiece, and the bubble dispersion adhesion step the introducing air into the first vacuum chamber is operated, a bubble discharge step of discharging the air bubbles to the work out, or as having.
このような方法を採用した場合には、気泡が残った状態でテープ部材をワークに接着させることができるので、真空の程度を強くする必要がなく、また、テープ部材とワークとの間隔を狭くすることができる。このため、テープの接着に要する時間の短縮化が可能になる。また、残った気泡は、気泡排出ステップで、ワーク外へ排出されるので、ワークとテープ部材との間に発生した気泡は、最終的には、確実に除去されることとなる。なお、ワークとしては、半導体集積回路用のウエハ、液晶表示体、ディプレイ用のガラス基板、などテープ部材が接着されるものであれば、すべての部材が採用される。 When such a method is adopted, the tape member can be adhered to the work with air bubbles remaining, so there is no need to increase the degree of vacuum and the distance between the tape member and the work is narrowed. can do. For this reason, it becomes possible to shorten the time required for the adhesion of the tape. Further, since the remaining bubbles are discharged out of the workpiece in the bubble discharging step, the bubbles generated between the workpiece and the tape member are finally surely removed. In addition, as a workpiece | work, as long as tape members, such as a wafer for semiconductor integrated circuits, a liquid crystal display body, and a glass substrate for a display, are adhered, all members are adopted.
さらに、他の発明のテープ接着方法は、所定ステップを行う際に、伸縮シート部材の下面側に比べ、テープ部材が配置される側を早めに吸引または強く吸引し、テープ部材のワーク側への垂れ下がりを阻止している。 Furthermore, in the tape bonding method of another invention, when the predetermined step is performed, the side on which the tape member is disposed is sucked or strongly sucked earlier than the lower surface side of the stretchable sheet member, and the tape member is moved toward the work side. Prevents drooping.
このような方法を採用した場合には、テープ部材側が早めに吸引され、ワーク側にテープ部材がたれてこないので、テープ部材とワークとの間隔を狭くし、製造効率を上げることができる。また、気泡の発生を防ぐことができる。 When such a method is adopted, the tape member side is sucked early and the tape member does not lean against the work side. Therefore, the interval between the tape member and the work can be narrowed, and the production efficiency can be increased. Moreover, generation | occurrence | production of a bubble can be prevented.
また、他の発明のテープ接着方法は、所定ステップを行う際に、その中の接着ステップでは、テープ部材が、ワークの外縁に先に接着した後にワークの中心に接着する、という状態が生じないように接着させ、空気開放ステップでは、テープ部材とワークの間に発生した気泡をワーク外へ排出している。 Further, in the tape bonding method of another invention, when performing the predetermined step, the state in which the tape member is bonded to the outer edge of the workpiece and then bonded to the center of the workpiece does not occur in the bonding step. In the air release step, air bubbles generated between the tape member and the work are discharged out of the work.
このような方法を採用した場合には、テープ部材がワークの外縁に先に接着しないように接着されるので、気泡が中心部に発生するのを防止できる。さらに、気泡が発生しても、ワークの外縁が接着されていないので、空気開放ステップにて、その気泡をワーク外へ確実に排出させることができる。 When such a method is employed, since the tape member is bonded to the outer edge of the workpiece so as not to be bonded first, bubbles can be prevented from being generated at the center portion. Furthermore, even if bubbles are generated, the outer edge of the workpiece is not adhered, so that the bubbles can be reliably discharged out of the workpiece in the air release step.
上記課題を解決するために、所定の電子部品製造方法を採用してもよい。すなわち、テープ部材側が早めに吸引される吸引ステップと、所定の空気導入ステップと、その後に、伸縮シート部材を第1の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、テープ部材が、ワークの外縁に先に接着した後にワークの中心に接着する、という状態が生じないように接着させる接着ステップと、接着ステップを実行した後に、第1の空気導入手段を作動させて第1の真空室に空気を導入する空気開放ステップと、テープ部材が接着されたワークを移動または処理するワーク処理ステップと、ワークをテープ部材から剥がすテープ剥がしステップと、を有するものとしてもよい。 In order to solve the above problems, a predetermined electronic component manufacturing method may be employed. That is, the suction step in which the tape member side is sucked early, the predetermined air introduction step, and then the expansion sheet member is expanded toward the inside of the first vacuum chamber, and the expansion sheet member expands the workpiece. The tape member is lifted toward the tape member so that the tape member does not adhere to the center of the workpiece after first bonding to the outer edge of the workpiece, and after performing the bonding step, An air release step for operating one air introduction means to introduce air into the first vacuum chamber, a workpiece processing step for moving or processing the workpiece to which the tape member is bonded, and a tape peeling step for peeling the workpiece from the tape member. It is good also as having.
この電子部品製造方法を採用した場合には、テープ部材側が早めに吸引されるため、ワーク側にテープ部材がたれてこない。このため、テープ部材とワークとの間隔を狭くし、製造効率を上げることができる。また、気泡の発生も防止できる。さらに、テープ部材がワークの外縁に先に接着しないように接着させているので、気泡が発生しても、その気泡を空気開放ステップで、ワーク外へ排出させることができる。この結果、ワーク処理ステップやテープ剥がしステップを確実かつ安定的に実行でき、電子部品の安定的生産が可能となる。 When this electronic component manufacturing method is employed, the tape member is not attracted to the workpiece side because the tape member side is sucked early. For this reason, the space | interval of a tape member and a workpiece | work can be narrowed and manufacturing efficiency can be raised. Moreover, generation | occurrence | production of a bubble can also be prevented. Furthermore, since the tape member is adhered to the outer edge of the work so as not to adhere first, even if air bubbles are generated, the air bubbles can be discharged out of the work in the air release step. As a result, the work processing step and the tape peeling step can be executed reliably and stably, and the electronic parts can be stably produced.
他の電子部品製造方法としては、テープ部材が、ワークの外縁に先に接着した後にワークの中心に接着する、という状態が生じないように接着させる接着ステップ、を有するものとしてもよい。このように、テープ部材がワークの外縁に先に接着しないように接着させていると、気泡が発生しても、その気泡を空気開放ステップで、ワーク外へ排出させることができる。 Other electronic component manufacturing method, the tape member is adhered step of bonding the center of the workpiece after bonding above the outer edge of the workpiece, the state that is bonded so as not to cause, or as having. Thus, when the tape member is adhered so as not to adhere to the above the outer edge of the workpiece, even if bubbles are generated, the bubbles in the air opening step, can be discharged to the work out.
また、他の電子部品製造方法としては、テープ部材側が早めに吸引される吸引ステップと、所定の空気導入ステップと、その後に、伸縮シート部材を第1の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、ワークをテープ部材に接着させる接着ステップと、接着ステップを実行した後に、第1の空気導入手段を作動させて第1の真空室に空気を導入し、テープ部材とワークの間に発生した気泡をワーク外へ排出する空気開放ステップと、テープ部材が接着されたワークを移動または処理するワーク処理ステップと、ワークをテープ部材から剥がすテープ剥がしステップと、を有しているものとしてもよい。 As other electronic component manufacturing method, and a suction step of the tape member side is sucked early, and a predetermined air introduction step, so then, expanding the elastic sheet member toward the inside of the first vacuum chamber The expansion of the elastic sheet member lifts the workpiece toward the tape member, and performs the bonding step for bonding the workpiece to the tape member, and after performing the bonding step, the first air introduction means is operated to operate the first air introduction means. An air release step for introducing air into the vacuum chamber and discharging air bubbles generated between the tape member and the workpiece to the outside of the workpiece, a workpiece processing step for moving or processing the workpiece to which the tape member is bonded, and the workpiece for the tape member. a step peeled tape peeled from, or as having a.
このような電子部品製造方法を採用すると、テープ部材側が早めに吸引されるため、ワーク側にテープ部材がたれてこない。このため、テープ部材とワークとの間隔を狭くし、製造効率を上げることができる。また、気泡の発生も防止できる。さらに、気泡が発生しても、空気開放ステップにて、その気泡をワーク外へ排出させることができる。この結果、ワーク処理ステップやテープ剥がしステップを確実かつ安定的に実行でき、電子部品の安定的生産が可能となる。 When such an electronic component manufacturing method is employed, the tape member is not attracted to the work side because the tape member side is sucked early. For this reason, the space | interval of a tape member and a workpiece | work can be narrowed and manufacturing efficiency can be raised. Moreover, generation | occurrence | production of a bubble can also be prevented. Furthermore, even if bubbles are generated, the bubbles can be discharged out of the workpiece in the air release step. As a result, the work processing step and the tape peeling step can be executed reliably and stably, and the electronic parts can be stably produced.
また、他の電子部品製造方法としては、接着ステップを実行した後に、ワークが配置される空間に空気を導入し、テープ部材とワークの間に発生した気泡をワーク外へ排出する空気開放ステップを有するものとしてもよい。このように構成すると、気泡が発生しても、空気開放ステップにて、その気泡をワーク外へ排出させることができる。 As other electronic component manufacturing method, after performing the bonding step, the air opening step of introducing air into the space which a workpiece is arranged to discharge the air bubbles generated between the tape member and the workpiece to the work out It is good also as what has . If comprised in this way, even if a bubble generate | occur | produces, the bubble can be discharged | emitted out of a workpiece | work at an air release step.
また、他の電子部品製造方法としては、吸引ステップの後に、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、テープ部材が、ワークの外縁に先に接着した後にワークの中心に接着する、という状態が生じないように接着させる接着ステップと、接着ステップを実行した後に、ワークが配置される空間に空気を導入し、テープ部材とワークの間に発生した気泡をワーク外へ排出する空気開放ステップと、を有するものとしてもよい。このように構成すると、テープ部材がワークの外縁に先に接着しないように接着させているとともに空気開放ステップを有しているので、気泡が中心部に発生するのを防止でき、気泡が発生しても、その気泡を空気開放ステップで、ワーク外へ排出させることができる。 As other electronic component manufacturing method, after the sucking step, the workpiece lift toward the tape member, the tape member is adhered to the center of the work after the adhesive previously the outer edge of the workpiece, the state of An adhesion step for adhering so as not to occur, an air release step for introducing air into a space in which the workpiece is placed after discharging the air, and discharging bubbles generated between the tape member and the workpiece to the outside of the workpiece; It is good also as what has . With this configuration , the tape member is bonded to the outer edge of the work so as not to be bonded first, and has an air release step, so that bubbles can be prevented from being generated at the center, and bubbles are generated. However, the bubbles can be discharged out of the workpiece in the air release step.
また、他の電子部品製造方法としては、第1の真空室が小さい構造を利用して、テープ部材側が早めに吸引される吸引ステップと、空気導入ステップと、その後に、伸縮シート部材を第1の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、テープ部材が、ワークの外縁に先に接着した後にワークの中心に接着する、という状態が生じないように接着させる接着ステップと、接着ステップを実行した後に、第1の空気導入手段を作動させて第1の真空室に空気を導入し、テープ部材とワークの間に発生した気泡をワーク外へ排出する空気開放ステップと、を有しているものとしてもよい。 As other electronic component manufacturing method, by utilizing the structure first vacuum chamber is small, the suction step of the tape member side is sucked early, and the air introduction step, then, the elastic sheet member first 1 is expanded toward the inside of the vacuum chamber, and the workpiece is lifted toward the tape member by the expansion of the stretchable sheet member, and the tape member is bonded to the outer edge of the workpiece and then bonded to the center of the workpiece. After performing the adhesion step to prevent the occurrence of the state, and the adhesion step, the first air introduction means was operated to introduce air into the first vacuum chamber, and this occurred between the tape member and the workpiece. an air opening step of discharging the air bubbles to the work out, or as having a.
この電子部品製造方法を採用した場合には、第1の真空室が小さいため、テープ部材側が早めに吸引されることとなり、ワーク側にテープ部材がたれてこない。このため、テープ部材とワークとの間隔を狭くし、製造効率を上げることができる。また、テープ部材がワークの外縁に先に接着しないように接着させるので、気泡が中心部に発生するのを防止できる。さらに、気泡が発生しても、ワークの外縁が接着されていないので、空気開放ステップにて、その気泡をワーク外へ排出させることができる。この結果、ワーク処理ステップやテープ剥がしステップを確実かつ安定的に実行でき、電子部品の安定的生産が可能となる。 When this electronic component manufacturing method is adopted, since the first vacuum chamber is small, the tape member side is sucked early, and the tape member does not lean on the workpiece side. For this reason, the space | interval of a tape member and a workpiece | work can be narrowed and manufacturing efficiency can be raised. Further, since the tape member is adhered so as not to adhere to the outer edge of the workpiece first, bubbles can be prevented from being generated at the center portion. Furthermore, even if bubbles are generated, the outer edge of the workpiece is not adhered, so that the bubbles can be discharged out of the workpiece in the air release step. As a result, the work processing step and the tape peeling step can be executed reliably and stably, and the electronic parts can be stably produced.
また、他の電子部品製造方法としては、第2の真空室が、少なくとも吸引当初は、第1の真空室より小さい吸引力で真空吸引される吸引ステップと、空気導入ステップと、その後に、伸縮シート部材を第1の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、テープ部材が、ワークの外縁に先に接着した後にワークの中心に接着する、という状態が生じないように接着させる接着ステップと、接着ステップを実行した後に、第1の空気導入手段を作動させて第1の真空室に空気を導入し、テープ部材とワークの間に発生した気泡をワーク外へ排出する空気開放ステップと、テープ部材が接着されたワークを移動または処理するワーク処理ステップと、ワークをテープ部材から剥がすテープ剥がしステップと、を有しているものとしてもよい。 As other electronic component manufacturing method, the second vacuum chamber, at least suction initially a suction step is vacuum sucked by the first vacuum chamber smaller suction force, the air introducing step, thereafter, The expandable sheet member is expanded toward the inside of the first vacuum chamber, and the workpiece is lifted toward the tape member by the expansion of the expandable sheet member. After the tape member is first bonded to the outer edge of the work, After performing the bonding step so that the state of bonding to the center does not occur, and after performing the bonding step, the first air introduction means is operated to introduce air into the first vacuum chamber, and the tape member and the workpiece An air release step for discharging air bubbles generated between the workpiece, a workpiece processing step for moving or processing the workpiece to which the tape member is bonded, and the workpiece from the tape member. A gas tape peeling step may be assumed to have a.
このような電子部品製造方法を採用した場合には、第2の真空室が、少なくとも吸引当初は、第1の真空室より小さい吸引力で真空吸引されるので、テープ部材側が早めに吸引されることとなり、ワーク側にテープ部材がたれてこない。このため、テープ部材とワークとの間隔を狭くし、製造効率を上げることができる。また、テープ部材がワークの外縁に先に接着しないように接着させるので、気泡が中心部に発生するのを防止できる。さらに、気泡が発生しても、ワークの外縁が接着されていないので、空気開放ステップにて、その気泡をワーク外へ排出させることができる。この結果、ワーク処理ステップやテープ剥がしステップを確実かつ安定的に実行でき、電子部品の安定的生産が可能となる。 When such an electronic component manufacturing method is adopted, the second vacuum chamber is sucked with a suction force smaller than that of the first vacuum chamber at least at the beginning of suction, so that the tape member side is sucked early. As a result, the tape member does not lean on the workpiece side. For this reason, the space | interval of a tape member and a workpiece | work can be narrowed and manufacturing efficiency can be raised. Further, since the tape member is adhered so as not to adhere to the outer edge of the workpiece first, bubbles can be prevented from being generated at the center portion. Furthermore, even if bubbles are generated, the outer edge of the workpiece is not adhered, so that the bubbles can be discharged out of the workpiece in the air release step. As a result, the work processing step and the tape peeling step can be executed reliably and stably, and the electronic parts can be stably produced.
また、他の電子部品製造方法としては、吸引ステップと、空気導入ステップと、その後に、伸縮シート部材を第1の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げてテープ部材とワークの間に気泡が分散した状態でテープ部材に接着させる気泡分散接着ステップと、ワークが配置される空間に空気を導入し、気泡をワーク外へ排出する気泡排出ステップと、を有するものとしてもよい。このようにすると、気泡が残った状態でテープ部材をワークに接着させることができるので、真空の程度を強くする必要がない。また、残った気泡は、気泡排出ステップで、ワーク外へ排出されるので、ワークとテープ部材との間に発生した気泡は、最終的には、確実に除去されることとなる。この結果、ワーク処理ステップやテープ剥がしステップを確実かつ安定的に実行でき、電子部品の安定的生産が可能となる。 As other electronic component manufacturing method, and the suction step, the air introduction step, so thereafter, expanding the elastic sheet member toward the inside of the first vacuum chamber, the expansion of such elastic sheet member, the workpiece The air bubble is dispersed toward the tape member in a state where air bubbles are dispersed between the tape member and the work, and air is introduced into the space where the work is placed, and the air bubbles are discharged outside the work. a bubble discharge step of, or as having. In this way, the tape member can be adhered to the work with air bubbles remaining, so there is no need to increase the degree of vacuum. Further, since the remaining bubbles are discharged out of the workpiece in the bubble discharging step, the bubbles generated between the workpiece and the tape member are finally surely removed. As a result, the work processing steps and tapes peeled step can be performed reliably and stable, that Do enabling stable production of electronic components.
また、他の電子部品製造方法としては、吸引ステップと、空気導入ステップと、その後に、伸縮シート部材を第1の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、ワークをテープ部材に向かって持ち上げてテープ部材とワークの間に気泡が分散した状態でテープ部材に接着させる気泡分散接着ステップと、気泡分散接着ステップを実行した後に、第1の空気導入手段を作動させて第1の真空室に空気を導入し、気泡をワーク外へ排出する気泡排出ステップと、テープ部材が接着されたワークを移動または処理するワーク処理ステップと、ワークをテープ部材から剥がすテープ剥がしステップと、を有するものとしてもよい。 As other electronic component manufacturing method, and the suction step, the air introduction step, so thereafter, expanding the elastic sheet members toward the inside of the first vacuum chamber, the expansion of such elastic sheet member, the workpiece A bubble dispersion bonding step in which the air bubbles are lifted toward the tape member and adhered to the tape member in a state in which bubbles are dispersed between the tape member and the workpiece, and after the bubble dispersion bonding step, the first air introduction means is operated. A bubble discharging step for introducing air into the first vacuum chamber and discharging bubbles to the outside of the workpiece, a workpiece processing step for moving or processing the workpiece to which the tape member is bonded, and a tape peeling step for peeling the workpiece from the tape member It is good also as having.
このような方法を採用した場合には、気泡が残った状態でテープ部材をワークに接着させることができるので、真空の程度を強くする必要がなく、また、テープ部材とワークとの間隔を狭くすることができる。このため、テープの接着に要する時間の短縮化が可能になる。また、残った気泡は、気泡排出ステップで、ワーク外へ排出されるので、ワークとテープ部材との間に発生した気泡は、最終的には、確実に除去されることとなる。この結果、ワーク処理ステップやテープ剥がしステップを確実かつ安定的に実行でき、電子部品の安定的生産が可能となる。 When such a method is adopted, the tape member can be adhered to the work with air bubbles remaining, so there is no need to increase the degree of vacuum and the distance between the tape member and the work is narrowed. can do. For this reason, it becomes possible to shorten the time required for the adhesion of the tape. Further, since the remaining bubbles are discharged out of the workpiece in the bubble discharging step, the bubbles generated between the workpiece and the tape member are finally surely removed. As a result, the work processing step and the tape peeling step can be executed reliably and stably, and the electronic parts can be stably produced.
また、他の電子部品製造方法としては、テープ部材側が早めに吸引される吸引ステップと、空気導入ステップと、接着ステップと、空気開放ステップと、を有し、伸縮シート部材の上面側に配置されるワークに対し、テープ部材を接着し、その後、ワークを処理し、電子部品を製造する電子部品製造方法において、伸縮シート部材の下面側に比べ、テープ部材が配置される側を早めに吸引または強く吸引し、テープ部材のワーク側への垂れ下がりを阻止しているものとしてもよい。 As other electronic component manufacturing method, arrangement and suction step in which the tape member side is sucked early, and the air introduction step, a bonding step, has an air opening step, and the upper surface side of the elastic sheet member In an electronic component manufacturing method for bonding a tape member to a workpiece to be processed, and then processing the workpiece to manufacture an electronic component, the side on which the tape member is disposed is sucked earlier than the lower surface side of the stretchable sheet member Or it is good also as what is attracted | sucked strongly and the drooping to the workpiece | work side of a tape member is prevented.
このような方法を採用した場合には、テープ部材側が早めに吸引され、ワーク側にテープ部材がたれてこないので、テープ部材とワークとの間隔を狭くし、製造効率を上げることができる。また、気泡の発生を防ぐことができる。この結果、ワーク処理ステップやテープ剥がしステップを確実かつ安定的に実行でき、電子部品の安定的生産が可能となる。 When such a method is adopted, the tape member side is sucked early and the tape member does not lean against the work side. Therefore, the interval between the tape member and the work can be narrowed, and the production efficiency can be increased. Moreover, generation | occurrence | production of a bubble can be prevented. As a result, the work processing step and the tape peeling step can be executed reliably and stably, and the electronic parts can be stably produced.
さらに、他の電子部品製造方法としては、吸引ステップと、空気導入ステップと、接着ステップと、空気開放ステップと、を有し、伸縮シート部材の上面側に配置されるワークに対し、テープ部材を接着し、その後、ワークを処理し、電子部品を製造する電子部品製造方法において、接着ステップでは、テープ部材がワークの外縁に先に接着し、その後、ワークの中心に接着するという状態が生じないように接着させ、空気開放ステップでは、テープ部材とワークの間に発生した気泡をワーク外へ排出するものとしてもよい。 In addition, other electronic component manufacturing method, and the suction step, the air introduction step, a bonding step, the workpiece is disposed on the upper surface side of a air opening step, and the elastic sheet member, the tape member In the electronic component manufacturing method in which the workpiece is processed and the electronic component is manufactured, in the bonding step, the tape member is first bonded to the outer edge of the workpiece and then bonded to the center of the workpiece. In the air release step, bubbles generated between the tape member and the workpiece may be discharged out of the workpiece.
このような電子部品製造方法を採用した場合には、テープ部材がワークの外縁に先に接着しないように接着されるので、気泡が中心部に発生するのを防止できる。さらに、気泡が発生しても、ワークの外縁が接着されていないので、空気開放ステップにて、その気泡をワーク外へ確実に排出させることができる。この結果、ワーク処理ステップやテープ剥がしステップを確実かつ安定的に実行でき、電子部品の安定的生産が可能となる。 When such an electronic component manufacturing method is adopted, since the tape member is bonded to the outer edge of the workpiece so as not to be bonded first, bubbles can be prevented from being generated at the center portion. Furthermore, even if bubbles are generated, the outer edge of the workpiece is not adhered, so that the bubbles can be reliably discharged out of the workpiece in the air release step. As a result, the work processing step and the tape peeling step can be executed reliably and stably, and the electronic parts can be stably produced.
なお、上述の各構成において、真空を形成する駆動源は1つとしたり、2つとしたりすることができる。たとえば、第1の吸引手段と第2の吸引手段として、同一の真空ポンプを採用し、駆動源とすることができる。なお、この場合、コストが低減される。 In each of the above-described configurations , the number of drive sources that form a vacuum can be one or two. For example, as the first suction unit and the second suction unit, the same vacuum pump can be adopted as a drive source. In this case, the cost is reduced.
本発明によると、製造効率を上げることが可能になると共に、ワークとテープ部材との間の気泡の発生を防ぐことができる。また他の発明によると、気泡が発生したとしても除去可能とすることができる。 According to the present invention, it is possible to increase the production efficiency and prevent the generation of bubbles between the workpiece and the tape member. According to another invention, even if bubbles are generated, they can be removed.
10…テープ接着装置
11…ウエハ(ワークに対応)
100…チャンバユニット
110…基台部
111…真空ポンプ(第1の吸引手段の一部、第2の吸引手段の一部、吸着手段の一部に対応)
112…吸引管路(第1の吸引手段の一部、第1の空気導入手段の一部)
113…吸引管路(第2の吸引手段の一部、第2の空気導入手段の一部)
114…第1の弁部材(第1の吸引手段の一部、第1の空気導入手段の一部)
115…第2の弁部材(第2の吸引手段の一部、第2の空気導入手段の一部)
116…第3の弁部材(吸着手段の一部に対応)
117…突出管路(第1,第2の空気導入手段の一部)
118…管部材(吸着手段の一部に対応)
119…ホース(吸着手段の一部に対応)
120…チャンバプレート(第1の蓋部材に対応)
126…ゴムシート(伸縮シート部材に対応)
127…空気導入部(第2の真空室に対応)
200…上蓋ユニット(テープ搬送手段に対応)
210…上蓋プレート(第2の蓋部材に対応)
213…吸着部材(吸着手段の一部に対応)
214…挿通孔(吸着手段の一部に対応)
220…第1テープ供給機構(第1のテープ供給手段に対応)
300…待機ユニット
310…基台部
320…第2テープ供給機構(第2のテープ供給手段に対応)
400…制御装置
V…真空室(第1の真空室に対応)
P…気泡
S…接着域
T1,T2…テープ部材
TA1…保護テープ(テープ部材、第1の保護テープに対応)
TA2…保護テープ(テープ部材、第2の保護テープに対応)10 ...
DESCRIPTION OF
112... Suction conduit (part of first suction means, part of first air introduction means)
113 ... Suction conduit (part of second suction means, part of second air introduction means)
114... First valve member (part of first suction means, part of first air introduction means)
115 ... 2nd valve member (a part of 2nd suction means, a part of 2nd air introduction means)
116 ... third valve member (corresponding to a part of the suction means)
117 ... Protruding pipe (a part of the first and second air introducing means)
118 ... Tube member (corresponds to a part of the suction means)
119 ... Hose (corresponds to a part of adsorption means)
120 ... Chamber plate (corresponding to the first lid member)
126 ... rubber sheet (corresponding to the elastic sheet member)
127 ... Air introduction part (corresponding to the second vacuum chamber)
200 ... Upper lid unit (corresponding to tape transport means)
210 ... Upper lid plate (corresponding to the second lid member)
213 ... Adsorption member (corresponds to a part of the adsorption means)
214 ... insertion hole (corresponds to a part of the suction means)
220... First tape supply mechanism (corresponding to first tape supply means)
300 ...
400 ... Control device V ... Vacuum chamber (corresponding to the first vacuum chamber)
P ... Bubble S ... Adhesion zone T1, T2 ... Tape member TA1 ... Protective tape (tape member, corresponding to the first protective tape)
TA2 ... protective tape (corresponding to tape member, second protective tape)
以下、本発明の一実施の形態に係るテープ接着方法について説明する。なお、テープ接着方法の説明に当たり、この方法を実施する際に利用するテープ接着装置10の構成、作用および電子部品製造方法を、テープ接着方法と併せ、説明する。 Hereinafter, a tape bonding method according to an embodiment of the present invention will be described. In the description of the tape bonding method, the configuration, operation, and electronic component manufacturing method of the
このテープ装置10について、図1から図18に基づいて説明する。図1は、テープ接着装置10の全体構成を示すと共に、上蓋ユニット200がチャン場ンバユニット100側に位置している状態を示す斜視図である。また、図2は、テープ接着装置10の全体構成を示すと共に、上蓋ユニット200が待機ユニット300側に位置している状態を示す斜視図である。また、図3は、テープ接着装置10の全体構成を示す側面図、図4は同じく平面図、図5は同じく正面図、図6は同じく背面図である。また、図7は、テープ接着装置10のうち、チャンバユニット100および上蓋ユニット200を中心とする主要部を示す概略図である。 The
なお、以下の説明においては、テープ接着装置10において、基台部110(図5参照)から見てチャンバプレート120が存在する側を上側とすると共に、チャンバプレート120から見て基台部110が存在する側を下側とする。また、以下の説明では、スライド方向とは上蓋ユニット200がスライドする方向(図1においてXXで示される方向)を指す。また、前端側とは、スライド方向において待機ユニット300からチャンバユニット100に向かう側を指し、後端側とは、スライド方向においてチャンバユニット100から待機ユニット300に向かう側を指す。 In the following description, in the
上述の図1〜図6に示すように、テープ接着装置10は、チャンバユニット100と、このチャンバユニット100と共に真空室V(図7等参照)を形成する上蓋ユニット200と、チャンバユニット100に隣接する待機ユニット300と、を主要な構成要素としている。これらのうち、チャンバユニット100は、基台部110を具備している。基台部110は、テープ接着装置10のうち、最も下方側に位置する部分であり、内部スペースに真空ポンプ111等の構成要素を内蔵している。また、基台部110の上方には、後述するチャンバプレート120が取り付けられている。 As shown in FIGS. 1 to 6, the
ここで、図7においては、真空ポンプ111は、1つのみ用いられている。しかしながら、本実施の形態で用いられる真空ポンプ111は、1つには限られず、第1〜第3の弁部材114〜116の個数(3つ)に応じて、別途設けるように構成しても良い。 Here, in FIG. 7, only one
図7等に示すように、この基台部110には、吸引管路112と、吸引管路113と、第1の弁部材114と、第2の弁部材115と、第3の弁部材116と、突出管路117と、管部材118と、が設けられている。これらのうち、吸引管路112は、貫通孔124に向かって複数分岐している。以下、吸引管路112のうち、貫通孔124側の分岐部分を、分岐管路112aとする。なお、分岐管路112aの本数としては、2〜4本等が挙げられる。 As shown in FIG. 7 and the like, the
また、吸引管路113には、上述の貫通孔125が接続されている。この吸引管路113は、上述の吸引管路112とは異なり、分岐せずに1本のみ設けられている。しかしながら、貫通孔125が複数存在する場合には、その貫通孔125の個数に合わせて、複数の分岐管路を設けるように構成しても良い。 Further, the above-described through
また、吸引管路112の中途部分には、第1の弁部材114が設けられていて、吸引管路113の中途部分には、第2の弁部材115が設けられている。第1の弁部材114、第2の弁部材115は、第1の真空室となる真空室Vまたは第2の真空室となる空気導入部127(図8参照)の内部を真空吸引するために、真空ポンプ111側と連通するように切り替える(以下、この切り替えを、吸引側への切り替えという。)ことを可能としていると共に、大気導入側へ開放するように切り替える(図7において突出管路117側への切り替え;以下、この切り替えを、大気導入側への切り替えという。)ことも可能となっている。 A
さらに、基台部110の内部には、上述の吸引管路112,113と同様な管部材118が設けられている。この管部材118は、例えば基台部110の外壁に向かっていて、その一端側が基台部110の側面から突出している。この管部材118の一端側には、柔軟に曲がることが可能なホース119の一端側が連結されている。ホース119は、基台部110から上方の上蓋ユニット200側に向かって延伸している。そして、ホース119の他端側は、上蓋プレート210の上面の径方向の略中心部分において、管継手215を介して、挿通孔214の一端側と連結されている。なお、このホース119は、上蓋ユニット200のスライドを許容可能な程度の長さ寸法を有している。このように、管部材118と管継手215の間に、柔軟に曲がると共に、適宜の長さを有するホース119が設けられているため、上蓋プレート210の開閉(スライド)に対応可能となっている。 Further, a
また、管部材118の中途部分には、第3の弁部材116が設けられている。第3の弁部材116も、真空ポンプ111側と連通するように切り替える(吸引側へ切り替える)ことを可能としていると共に、突出管路117を介して大気導入側へ開放するように切り替えることが可能である。また、この第3の弁部材116においては、管部材118を気密に閉塞し、真空吸引も大気開放も行わないようにすることも可能となっている。なお、管部材118が大気導入側へ開放されると、この管部材118を介して保護テープTAの裏面側(図8において保護テープTAの上面側)に大気が導入される。それにより、保護テープTAの保持状態が解除される。 A
また、第1の弁部材114、第2の弁部材115および第3の弁部材116としては、例えば、ソレノイドにより開閉可能な、電磁弁を用いることが可能であるが、モータ等の他の駆動源を用いて開閉する方式であっても良い。なお、真空ポンプ111、吸引管路112、第1の弁部材114等によって、第1の吸引手段が構成される。また、真空ポンプ111、吸引管路113、第2の弁部材115によって、第2の吸引手段が構成される。また、吸引管路113、第2の弁部材115、突出管路117等によって、空気導入手段が構成される。 In addition, as the
また、チャンバユニット100の上方側には、上蓋プレート210に近接対向可能なチャンバプレート120(第1の蓋部材に対応)が設けられている。チャンバプレート120は、真空吸引時に負荷される圧力(特に上蓋プレート210側から負荷される垂直荷重)を受け止めるために、適切な強度を有した構成となっている。なお、チャンバユニット100を支えると共にその一部となる側壁および底壁も、真空吸引時に負荷される圧力に、十分抗し得るだけの強度を有する構成である。 Further, a chamber plate 120 (corresponding to the first lid member) capable of approaching and facing the
図7等に示すように、このチャンバプレート120には、上面部121と、凹陥部122とが設けられている。これらのうち、上面部121は、凹陥部122よりも外径側に位置すると共に、凹陥部122よりも高さ位置が高く設けられている。上面部121のうち、凹陥部122の縁部から所定だけ離間する部位には、円環状の溝部121aが設けられている。この溝部121aには、真空室Vを気密に封止するパッキンとなる、シールリング123(Oリング;第1のシール部材に対応)が嵌め込まれる。シールリング123は、例えばニトリルゴム(NBR)等を材質として形成されている。しかしながら、シールリング123は、シリコン等のような柔軟性に富む材質(柔軟部材)としても良い。 As shown in FIG. 7 and the like, the
ここで、第1の真空室となる真空室Vとは、2つのシールリング123,216が互いに接触する場合に、これらシールリング123,216、チャンバプレート120の上面側および上蓋プレート210の下面側、ゴムシート126の上面側とで囲まれる部位をいい、外部の雰囲気から遮断される空間部分をいう。この空間がワークが配置される空間となる。 Here, the vacuum chamber V serving as the first vacuum chamber refers to the
また、図7に示すように、上面部121のうち、シールリング123よりも内径側の部位には、開口124aが設けられている。この開口124aは、チャンバプレート120を貫く貫通孔124の露出部分である。すなわち、貫通孔124の上端側は、上面部121に露出する開口124aとなっている。また、貫通孔124の下端側は、上述の吸引管路112の一端側に接続されている。 Further, as shown in FIG. 7, an opening 124 a is provided in a portion of the
また、チャンバプレート120のうち、上面部121よりも内径側の部位には、凹陥部122が設けられている。凹陥部122は、上面部121よりも下方に向かって窪む部位である。この凹陥部122は、平面形状が円形に設けられている。また、凹陥部122の中央部には、上述の開口124aと同様の開口125aが設けられている。この開口125aは、チャンバプレート120を貫く貫通孔125の露出部分である。また、この貫通孔125の下端側は、吸引管路113の一端側に接続されている。 In addition, a recessed
なお、貫通孔125は、ゴムシート126を均等に吸引するために、凹陥部122の中央部分に存在することが望ましい。しかしながら、貫通孔125は、凹陥部122の所定部位に、所定の間隔毎に配置される構成を採用しても良い。また、この開口125a、ゴムシート126および凹陥部122の底面で囲まれる部位は、第2の真空室となる空気導入部127(図8参照)に対応する。この空気導入部127には、吸引管路113における大気開放により、空気が導入され、ゴムシート126が上方に向かって膨らむように設けられている。 The through-
また、凹陥部122の底面には、開口125aを覆うように、伸縮シート部材に対応するゴムシート126が設置されている。このゴムシート126は、その上面に、ワークとしてのウエハ11が搭載される。後述するように、ゴムシート126にウエハ11が搭載された状態で、空気導入部127に空気を導入すると、ゴムシート126が上側に向かって膨らむ。それにより、ウエハ11を後述する保護テープTAに向かって上昇させることが可能となる。 Further, a
ゴムシート126は、例えば、EPTゴム(エチレンプロピレンゴム;Ethylene-Propylene Terpolymer Rubber)、クロロプレンといった、気泡の発生を低減できる材質によって構成されている。しかしながら、ゴムシート126の材質は、かかるEPTゴム、クロロプレンに限られるものではなく、通常の天然ゴム又は合成ゴム等を用いても良い。なお、ゴムシート126の好ましい材質としては、上述のEPTゴム、クロロプレンのような、気泡の発生を防ぐことができる材質である。 The
また、本実施の形態では、ゴムシート126の上面に搭載されるワークとなるウエハ11には、その直径が12インチのものがある。しかしながら、ウエハ11のサイズは特に限定されず、例えば8インチウエハ、6インチウエハ等、他のサイズであっても良い。なお、ウエハ11のサイズを変更する場合には、それに応じて他の部材(ゴムシート126、後述する押さえリング130等)のサイズも変更されることになる。しかしながら、例えば8インチウエハ等の小さいサイズのウエハ11への接着に際して、12インチのウエハ11の接着に対応しているテープ接着装置10を利用しても良い。この場合、後述するように、治具Jを用いるようにするのが好ましい。 Further, in the present embodiment, there is a
また、本実施の形態で用いられるテープ部材Tについて、図9および図10に基づいて説明する。このテープ部材Tは、保護テープTAと、剥離シートTBと、を有している。保護テープTAは、その一面(粘着面)に粘着材が塗布された粘着層TCを有しており、この粘着層TCがウエハ11に接着されることで、保護テープTAがウエハ11に貼付される。また、剥離シートTBは、粘着層TCに貼付されている部分であり、ウエハ11に保護テープTAを貼付する際に剥がされる。そして、剥がされた剥離シートTBは、後述する巻き取りリール226で巻き取られる。 Further, the tape member T used in the present embodiment will be described with reference to FIGS. The tape member T has a protective tape TA and a release sheet TB. The protective tape TA has an adhesive layer TC coated with an adhesive material on one surface (adhesive surface), and the adhesive tape TC is adhered to the
ここで、本実施の形態では、2つのテープ部材T(以下、図9に示すテープ部材をT1とすると共に、図10に示すテープ部材をT2とする。)を用いている。これらテープ部材T1,T2のうち、後述する第1テープ供給機構220には、図9に示すテープ部材T1がセットされる。このテープ部材T1の保護テープTAには、予め打ち抜き加工等が為されていない。すなわち、ロール状に巻回されているテープ部材T1を引き出し、剥離シートTBを剥がすと、平面状の保護テープTAが得られる。 Here, in the present embodiment, two tape members T (hereinafter, the tape member shown in FIG. 9 is T1 and the tape member shown in FIG. 10 is T2) are used. Of these tape members T1, T2, the tape member T1 shown in FIG. 9 is set in the first
また、第2テープ供給機構320には、図10に示すテープ部材T2がセットされる。このテープ部材T2の保護テープTAには、ウエハ11の形状および大きさに対応する打ち抜き加工が為されている。すなわち、ロール状に巻回されているテープ部材T2を引き出し、剥離シートTBを剥がすと、ウエハ11の形状に対応する保護テープTA(本実施の形態では、略円形状)と、それ以外の周囲の保護テープTAとが得られる。 Further, the tape member T2 shown in FIG. 10 is set in the second
なお、以下の説明においては、テープ部材T1を剥がすことにより生じる保護テープTAを保護テープTA1とすると共に、テープ部材T2を剥がすことにより生じる保護テープTAを保護テープTA2とする。しかしながら、両者を区別して称呼する必要がない場合には、これらを単に保護テープTAとする。また、保護テープTA1は、第1の保護テープに対応すると共に、保護テープTA2は、第2の保護テープに対応する。また、テープ部材T2は、第2の保護テープを生じさせるテープ部材に対応する。 In the following description, the protective tape TA generated by peeling the tape member T1 is referred to as protective tape TA1, and the protective tape TA generated by peeling the tape member T2 is referred to as protective tape TA2. However, if it is not necessary to distinguish between the two, these are simply referred to as the protective tape TA. The protective tape TA1 corresponds to the first protective tape, and the protective tape TA2 corresponds to the second protective tape. The tape member T2 corresponds to a tape member that generates the second protective tape.
図2等に示すように、ゴムシート126の上部であって外周縁部には、外観が略リング状となっている、押さえリング130が取り付けられている。押さえリング130は、ゴムシート126を押さえ付けるためのものである。この押さえ付けにより、空気導入部127(図8参照)と真空室Vとの間は、略気密に封止される。この押さえリング130は、凹陥部122の上面に対して、例えばネジによって、上方側から取り付け固定される。この場合、押さえリング130は、その周方向に沿ってネジによって適宜の間隔で固定されている。 As shown in FIG. 2 and the like, a
この押さえリング130には、位置決め部131が設けられている。位置決め部131は、内径側から外径側に向かって所定だけ窪んでいる部位であり、例えば180度間隔で配置されている。この位置決め部131には、後述する図13に示すような治具(リング部材J1)の突出部J11が嵌合される。 The
また、図11に示すように、テープ接着装置10には、圧力(気圧)を測定するための真空計132が設けられている。この真空計132は、吸引管路112,113、および管部材118といった、合計3つの配管の個数に対応させて設けるのが好ましい。しかしながら、真空室Vと空気導入部127の圧力を測定するだけでも良く、この場合には、2つの真空計132のみを設けるようにすれば良い。 Moreover, as shown in FIG. 11, the
上蓋ユニット200は、スライド機構の一部となるガイド車輪(図示省略)の回転により、ガイドレールに沿って、スライド方向に沿って滑らかに移動可能となっている。なお、本実施の形態では、下方側のガイド車輪は、略プーリ形状に設けられている。かかるプーリ形状の車輪が、尖形状のガイドレール(図示省略)に嵌まり込むことにより、ガイドレールから上蓋ユニット200が外れるのを防止している。 The
また、基台部110には、スライド機構に対応するように、上蓋封止機構(図示省略)が設けられている。また、上蓋封止機構には、アクチュエータ143(図11参照)が連結されている。アクチュエータ143は、例えば電動シリンダや油圧シリンダのような駆動手段であり、上蓋プレート210を押し下げる際に機能するものである。なお、アクチュエータ143としては、上述の電動シリンダや油圧シリンダ以外に、モータとギヤ機構を用いるようにしても良い。 In addition, the
また、図11に示すように、チャンバユニット100と上蓋ユニット200との間には、センサ164が設けられている。このセンサ164は、上蓋ユニット200が前端側に向かってスライドし、例えば度当たり等する位置である規定の停止位置まで到達した場合に、その状態を検出するための検出手段である。すなわち、センサ164が、上蓋ユニット200の到達を検出すると、この検出に応じた検出信号を生じさせる。また、このセンサ164は、制御装置400に電気的に接続されている。そして、この制御装置400では、センサ164での検出に基づいて、上述のアクチュエータ143の作動を制御する。 As shown in FIG. 11, a
また、チャンバユニット100には、図1、図2に示すような、環状切断機構170が設けられている。環状切断機構170は、当該環状切断機構170が不使用である場合、チャンバユニット100に対して、幅方向の一端側から飛び出すように配置されている。なお、この環状切断機構170には、幅方向に沿うスライドをガイドする、直線状の引き出しレール171が設けられている。 The
また、環状切断機構170は、回転カッター部174(図4参照)が回転自在に取り付けられている。ここで、回転カッター部174は、所定幅を有して平行に設けられている一対の支柱175を有している。なお、一対の支柱175は、互いに平行となるように設けられている。この支柱175の両端側には、それぞれ台車(図示省略)が取り付けられている。それぞれの台車には、複数(本実施の形態では2つ)の車輪が回転自在に取り付けられている。なお、本実施の形態では、車輪は、プーリ状に設けられていると共に、環状レール173は、その断面形状が、傾斜角度の緩やかな尖形状となっている。回転カッター部174が環状レール173に沿って回転することで、円形状の保護テープTA1が形成される。 The
また、図2に示すように、チャンバユニット100には、横切断機構180が設けられている。横切断機構180は、図2に示すように、チャンバユニット100の前端部に設けられている。この横切断機構180も、上述の環状切断機構170と同様に、保護テープTA1を切断するための手段である。 As shown in FIG. 2, the
続いて、上蓋ユニット200について説明する。図1、図2等に示すように、上蓋ユニット200は、チャンバユニット100と、待機ユニット300との間をスライド可能に設けられている。この上蓋ユニット200は、テープ搬送手段に対応している。 Next, the
図1等に示すように、上蓋ユニット200には、その側方に、作業者が把持するための取手201が設けられている。また、図7等に示すように、上蓋ユニット200は、上述のチャンバプレート120の上方側に位置して、真空室Vを形成する上蓋プレート210を有している。上蓋プレート210は、第2の蓋部材に対応する。また、上蓋プレート210は、平面的な寸法がチャンバプレート120と略同等に設けられている。この上蓋プレート210の下面側には、真空室Vを形成する際に、上述の上面部121と対向する下面部211が設けられている。また、この下面部211よりも内径側の部位には、凹部212が設けられている。凹部212は、下面部211から所定の寸法だけ、上蓋プレート210の上方側に向かって窪んでいる部分である。 As shown in FIG. 1 and the like, the
この凹部212には、例えば多孔質セラミックスのような、多孔質の材質からなる吸着部材213が嵌め込まれる。かかる吸着部材213は、真空ポンプ111、挿通孔214、第3の弁部材116、管部材118、ホース119と共に、吸着手段を構成している。また、この吸着部材213は、テープ部材T2(保護テープTA2)を吸引保持する機能も果たす。 In this
ここで、吸着部材213の下面は、シールリング216の下面よりも上方に位置するように設けられている。また、ゴムシート126が上方に向かって膨らむ場合、保護テープTA1はウエハ11によって上方に押し上げられ、ウエハ11の上面に対して保護テープTA1が貼付される。この場合、吸着部材213の下面に保護テープTA1が接触し、当該保護テープTA1の上方への移動(上方へ向かう保護テープTA1の伸び)を規制する。そのため、吸着部材213の下面は、プレート部材J2の下面よりも、さほど上方ではなく、ゴムシート126がウエハ11を上方に持ち上げる場合に、保護テープTAが張設状態で吸着部材213の下面に当接可能な程度の高さ位置に設けられている。 Here, the lower surface of the
また、図7、図8に示すように、凹部212の底面の中央部分には、開口214aが設けられている。この開口214aは、上蓋プレート210を貫く挿通孔214の露出部分である。すなわち、挿通孔214の下端側は、凹部212の底面に露出する開口214aとなっている。また、挿通孔214の上端側には、管継手215の一端側が取り付けられている。この管継手215の他端側は、上述のホース119に接続されている。それにより、真空ポンプ111の吸引力を、吸着部材213に及ぼすことを可能としている。 As shown in FIGS. 7 and 8, an opening 214 a is provided in the central portion of the bottom surface of the
なお、凹部212の底面には、この底面よりも若干窪んでいる吸引凹部212aが設けられている。この吸引凹部212aは、例えば溝状かつ網目状に設けられていて、凹部212の底面の全体に吸引力を及ぼすことが可能となるように設けられている。それにより、吸着部材213には、その全体に亘って吸引力が及ぼされる。なお、吸引凹部212aは、溝状かつ網目状には限られない。例えば、吸引凹部212aが平面的な形状に設けられると共に、この吸引凹部212aから多数の突出部を突出形成し、この突出部で吸着部材213を受け止めるように構成しても良い。 Note that a
また、上蓋プレート210のうち、凹部212よりも外径側の下面部211には、円環状の溝部211aが設けられている。この溝部211aには、真空室Vを気密に封止するパッキンとなる、シールリング216(Oリング;第2のシール部材および柔軟部材に対応)が嵌め込まれる。シールリング216は、上述のシールリング123とは異なり、例えばシリコンゴム等のような柔軟性に富む材質から形成されている。しかしながら、上述のシールリング123が柔軟性に富む材質から形成されている場合、シールリング216は、例えばニトリルゴム(NBR)等のような、若干硬質のゴムを材質として形成しても良い。また、シールリング123およびシールリング216を、共にシリコンゴム等のような柔軟性に富む材質から形成しても良い。 In addition, an
このシールリング216は、上述のシールリング123と同一の直径を有している。また、上蓋ユニット200がチャンバユニット100側に移動し、規定の位置で停止した後に、上述の上蓋封止機構(図示省略)が作動して上蓋プレート210が下方に移動すると、シールリング216の下端側は、シールリング123の上端側と接触し、真空室Vを気密に封止するように設けられている。 The
また、図1〜図6等に示すように、上蓋プレート210の上方側であって、待機ユニット300から離間する部位には、第1のテープ供給手段に対応する第1テープ供給機構220が設けられている。この第1テープ供給機構220は、ロール状に巻回されているテープ部材T1を巻回すると共に、テープ部材T1を剥がした後に生じる(不用となる)剥離シートTBを巻き取るための部分である。 As shown in FIGS. 1 to 6 and the like, a first
図12に示すように、この第1テープ供給機構220は、支持プレート221と、供給リール222と、モータ(図示省略)と、第1プーリ(図示省略)と、ベルト(図示省略)と、巻き取りリール226と、第2プーリ(図示省略)と、第1ガイドローラ228と、第2ガイドローラ229と、第3ガイドローラ230と、第4ガイドローラ231と、を具備している。また、図1等に示すように、第1テープ供給機構220は、開閉自在なハウジング220aを具備しており、これら各構成要素を覆っている。 As shown in FIG. 12, the first
これらのうち、支持プレート221は、上述の各部材を支持する部分である。なお、支持プレート221は、上述の供給リール222、巻き取りリール226、第1〜第4ガイドローラ228〜231等を軸支するが、これらとの間には、軸受等(図示省略)が介在する。また、供給リール222は、テープ部材T1を供給する部分であり、ロール状に巻回されているテープ部材T1を保持している部分である。 Among these, the
供給リール222は、一対のローラ部材を有しており、テープ部材T1の幅寸法に応じて、その間の間隔を可変としている。すなわち、ウエハ11の直径が小さい場合には、幅寸法の小さなテープ部材T1を用いるため、一対のローラ部材の間隔が小さくなる。一方、ウエハ11の直径が大きい場合には、幅寸法の大きなテープ部材T1を用いるため、一対のローラ部材の間隔が大きくなる。 The
また、図12に示すように、支持プレート221には、第1ガイドローラ228、第2ガイドローラ229、第3ガイドローラ230および第4ガイドローラ231が、不図示の軸受を介して取り付けられている。このうち、第1ガイドローラ228は、最も上方側に位置している。この第1ガイドローラ228では、テープ部材T1が、保護テープTA1と剥離シートTBとに剥がされる。また、第2ガイドローラ229と第3ガイドローラ230は、互いに対向して設けられている。そして、この第2ガイドローラ229と第3ガイドローラ230との間で、剥がされた保護テープTA1を挟み込んで、テンションが掛かっていない状態における保護テープTA1の弛みを防止している。また、第4ガイドローラ231は、最も下方側に位置している。この第4ガイドローラ231は、保護テープTA1に対してテンションを及ぼしながら、当該保護テープTA1の引き出しをガイドする部分である。 As shown in FIG. 12, the
なお、図12に示すように、保護テープTA1が第4ガイドローラ231から引き出されると、その保護テープTA1の先端部分が、後述する先端貼付バー331に貼付される。そして、この先端貼付バー331に保護テープTA1が貼り付けられた状態で、上蓋ユニット200が待機ユニット300側からチャンバユニット100側にスライドすると、保護テープTA1が引き出されると共に、張力が付与された状態でシールリング123に貼付される。それにより、保護テープTA1は凹陥部122(シールリング123)の上方に位置する状態となる。 As shown in FIG. 12, when the protective tape TA1 is pulled out from the
続いて、待機ユニット300の構成について説明する。図3、図6および図7等に示すように、待機ユニット300は、基台部310を備えている。この基台部310には、観音開きが可能な開閉扉311が設けられている(図6参照)。この開閉扉311を開放することにより、内部スペースに存在する構成要素のメンテナンスを行ったり、内部スペースに作業に必要な用具やテープ部材T1,T2を収納することが可能となる。 Next, the configuration of the
この基台部310の上面には、開口部312が設けられている(図7参照)。この開口部312を介して、シール剥がし機構(図示省略)で剥がされた保護テープTA2を、吸着部材213で吸着保持させることを可能としている。 An
また、図1他に示すように、開口部312の後端側の部位には、第2のテープ供給手段に対応する第2テープ供給機構320が設けられている。この第2テープ供給機構320は、ロール状に巻回されているテープ部材T2を供給する部分であり、このテープ部材T2を順次供給する部位である。 As shown in FIG. 1 and others, a second
ここで、この第2テープ供給機構320に巻回されるテープ部材T2においては、保護テープTA2に対して予めウエハ11の大きさおよび形状に対応するように、打ち抜き加工が為された状態となっている(図10参照)。そのため、シール剥がし機構を用いてテープ部材T2から保護テープTA2を剥がすと、当該剥がした後の保護テープTA2は、ウエハ11の形状に対応する形状(略円形状)となっている。なお、剥離シートTBに対しては、予め打ち抜き加工は為されていない。 Here, in the tape member T2 wound around the second
なお、シール剥がし機構には、保護テープTA2を剥がすための移動体(図示省略)の位置検出のためのセンサ360が設けられている。このセンサ360は、その移動体のスライド方向の前端側および後端側にそれぞれ設けられている。 The seal peeling mechanism is provided with a
また、図11に示すように、テープ接着装置10には、制御手段としての制御装置400が設けられている。この制御装置400は、例えばCPU、所定の制御プログラムが記憶されているROM、データの一次記憶を行うRAM、各種センサ等からの信号が入力されると共に制御信号を出力するためのインターフェース等を具備している。なお、制御装置400として好適なものは、例えばA/Dコンバータ、D/Aコンバータ等を具備する1チップマイコンの如きである。 Further, as shown in FIG. 11, the
この制御装置400は、上述したように、真空ポンプ111、第1〜第3の弁部材114,115,116、アクチュエータ143,335,342、第1テープ供給機構220のモータ223、シール剥がし機構のモータ357、第2テープ供給機構320のブレーキ機構327、真空計132、センサ164,360等に対して電気的に接続されている。この様子を、図11に示す。また、この制御装置400には、オン作動を行うための操作ボタン401が連結されている。このため、作業者が操作ボタン401を押すと、真空ポンプ111が作動する。 As described above, the
なお、真空室Vにおける所定の真空度としては、約20Pa程度とする場合が、その一例として挙げられる。しかしながら、所定の真空度はこれに限られるものではなく、大気圧よりも低い状態であれば、どのような真空度であっても良い。また、この制御装置400の制御については、後述する。 An example of the predetermined degree of vacuum in the vacuum chamber V is about 20 Pa. However, the predetermined degree of vacuum is not limited to this, and may be any degree of vacuum as long as it is lower than atmospheric pressure. The control of the
次に、ウエハ11に保護テープTA1を貼り付けるために用いられる治具Jについて説明する。図13〜図15に示すように、治具Jには、リング状のリング部材J1と、円形状のプレート部材J2と、リング状のテープ保持リングJ3とが存在する。これらのうち、リング部材J1は、図14に示すように、その外観が略リング形状に設けられている。また、このリング部材J1は、押さえリング130の内径に対応させて設けられている。このリング部材J1の外周部分には、略180度間隔で、突出部J11が設けられている。この突出部J11は、位置決め部131に嵌まり込む。それにより、リング部材J1のラジアル方向の位置決めが為される。また、このリング部材J1の内周側にも、上述の位置決め部131と同様の位置決め部J12が設けられている。この位置決め部J12も、略180度間隔となるように設けられている。また、このリング部材J1のリング孔J13に近接する内周側には、ピン孔J14が設けられている。このピン孔J14には、ピン部材J15が差し込まれ、このピン部材J15によって後述するテープ保持リングJ3を下方から保持する。 Next, the jig J used for attaching the protective tape TA1 to the
また、上述のリング部材J1の円形孔J13には、プレート部材J2がセットされる。プレート部材J2は、リング部材J1の内周側に配置される。このプレート部材J2は、略円盤状の部材であり、ワークとなるウエハ11を載置するための部材である。このプレート部材J2は、リング孔J13の内径に対応させて設けられている。また、このプレート部材J2の外周部分には、略180度間隔で、突出部J21が設けられている。この突出部J21は、位置決め部J12に嵌まり込む。それにより、プレート部材J2のラジアル方向の位置決めが為される。 The plate member J2 is set in the circular hole J13 of the ring member J1 described above. The plate member J2 is disposed on the inner peripheral side of the ring member J1. The plate member J2 is a substantially disk-shaped member, and is a member for placing the
また、プレート部材J2の外周側には、ピン挿通孔J22が設けられている。ピン挿通孔J22には、位置決めピンJ23が差し込まれる。このピン挿通孔J22は、ウエハ11の外周縁部に倣うように設けられている。そして、このピン挿通孔J22に位置決めピンJ23が差し込まれると、ウエハ11の外周縁部が係止され、ウエハ11のずれが防止される。なお、ウエハ11のオリフラ部分11aを基準として、当該ウエハ11のラジアル方向における位置決めを行わせるために、オリフラ部分11aには、2つの位置決めピンJ23が接触するように、ピン挿通孔J22が設けられている。 Further, a pin insertion hole J22 is provided on the outer peripheral side of the plate member J2. The positioning pin J23 is inserted into the pin insertion hole J22. The pin insertion hole J <b> 22 is provided so as to follow the outer peripheral edge portion of the
また、上述のピン部材J15のうち、高さ寸法の低いピン部材J15の上部には、テープ保持リングJ3が取り付けられる。テープ保持リングJ3は、ウエハ11よりも先に、保護テープTAに接触する部材である。このテープ保持リングJ3がウエハ11よりも先に保護テープTA1に接触することにより、保護テープTA1の弛みが除去されると共に、ウエハ11の上面と保護テープTA1とが略平行な状態で、貼付を実行することが可能となる。このテープ保持リングJ3は、その外周側に複数の切欠部J31を有している。そして、この切欠部J31に所定のピン部材J15を入り込ませることにより、当該テープ保持リングJ3のラジアル方向における位置決めを行っている。また、このテープ保持リングJ3には、上述のリング孔J13と同等の直径のリング孔J32が設けられている。 Moreover, the tape holding ring J3 is attached to the upper part of the pin member J15 having a low height among the above-described pin members J15. The tape holding ring J3 is a member that comes into contact with the protective tape TA before the
以上のような構成を有するテープ接着装置10の作用(動作)について、図16のフローチャートを参照しながら、以下に説明する。なお、最初に図9に示すテープ部材T1を、ウエハ11に対して貼り付ける場合について説明する。 The operation (operation) of the
まず、作業者は、上蓋ユニット200を待機ユニット300側に位置させて、チャンバプレート120の上面側が開放する状態とする。この状態で、作業者は、ゴムシート126に、図13等に示すようなリング部材J1、プレート部材J2およびテープ保持リングJ3をセットする。そして、このセットが終了した後に、位置決めピンJ23を基準として、プレート部材J2の上部にワークとなるウエハ11を載置する(ステップS11)。 First, the operator places the
また、上述のウエハ11の載置とは別に、作業者は、テープ部材T1の設置準備を行う(ステップS12)。すなわち、作業者は、テープ部材T1を供給リール222から引き出し、そのテープ部材T1の先端部分を剥がす。そして、剥がされたテープ部材T1のうち、保護テープTA1に関しては、図12に示すように、第1〜第4ガイドローラ228〜231を通過させて、先端貼付バー331の上面側に貼付する。このとき、アクチュエータ335を作動させて、先端貼付バー331を上方に位置させる。なお、このとき、先端貼付バー331は、上蓋ユニット200のスライドと干渉しない程度の高さ位置まで持ち上げられる。また、アクチュエータ335は、外部からの力が先端貼付バー331に作用した場合に、先端貼付バー331が下方に退避可能となる程度の圧力で、持ち上げられる。 In addition to the placement of the
また、剥がされたテープ部材T1のうち、剥離シートTBに関しては、巻き取りリール226側の保持部分に保持させる。また、保護テープTA1の先端部分は、先端貼付バー331に貼付する。このとき、保護テープTA1の先端は、先端貼付バー331の上面において、後端側から前端側に向かうように貼付される。 Of the peeled tape member T1, the release sheet TB is held by the holding portion on the take-up
かかる保護テープTA1の先端の貼付が終了すると、作業者は、取手201を把持して、上蓋ユニット200を先端側に向けてスライドさせる。このとき、例えば別途のスライドを検知するセンサ164、またはユーザの操作ボタン401の押下により、モータ223が駆動され、剥離シートTBを巻き取りリール226で巻き取る状態となる。 When the application of the front end of the protective tape TA1 is completed, the operator holds the
また、上蓋ユニット200を前端側へスライドさせる場合、保護テープTA1の先端部分は、先端貼付バー331に保持されていて、移動しない。そのため、供給リール222がフリーに回転可能な状態で上蓋ユニット200を前端側に向けてスライドさせると、そのスライド量に応じて、供給リール222から、保護テープTA1が順次供給される。この場合、保護テープTA1は、第4ガイドローラ231の下面と、先端貼付バー331の上面との間で、張設されている状態となる。なお、巻き取りリール226には、ベルトを介して駆動力が伝達されるため、上蓋ユニット200のスライドに伴って、剥離シートTBを順次巻き取って行く。 When the
そして、上蓋ユニット200が、例えば度当たり等によって規定の停止位置までスライドし、上蓋ユニット200のスライドが停止させられると、この停止をセンサ164によって検出する。すると、制御装置400は、このセンサ164から出力される検出信号を受信すると共に、この検出信号に基づいて、アクチュエータ143を作動させる。この作動によって、結果として、上蓋プレート210が押し下げられる。 Then, when the
また、上蓋プレート210が下方に移動させられると、シールリング123とシールリング216とが衝突し、シールリング123,216同士が弾性変形する状態となる。それにより、シールリング123,216の間に、保護テープTA1が挟み込まれる状態となる。これで、ステップS13のテープ部材となる保護テープTA1の設置、張設が完了する。なお、テープ部材T1の幅寸法は、シールリング123,216の直径よりも小さく設けられている。そのため、シールリング123,216には、保護テープTA1を挟持する部分と、当該保護テープTA1を挟持していない部分との境界部分が存在する状態となる。 When the
ここで、本実施の形態では、シールリング216は、シリコン等のような、柔軟性を有する材質から形成されている。そのため、この境界部分では、当該シールリング216は、この境界部分において隙間が生じないように弾性変形し、真空室Vに向かって外気がリークするのを防止することが可能となっている。 Here, in the present embodiment, the
続いて、制御装置400は、真空ポンプ111および第1〜第3の弁部材114〜116を作動させて、真空室Vおよび空気導入部127の真空吸引を開始して、吸引ステップを開始する。このとき、まず、第1および第3の弁部材114,116は、吸引側となるように切り替える。しかしながら、第3の弁部材116を、真空吸引も大気開放を行わずに、管部材118を気密に閉塞するように切り替えるようにしても良い。このように、制御装置400は、弁部材114,116を切り替えた後に、真空ポンプ111を作動させる。 Subsequently, the
真空ポンプ111を作動させると、真空室Vは真空吸引される(ステップS14)。この真空吸引の開始後、制御装置400は、第2の弁部材115を吸引側となるように切り替える。これによって、ステップS15が開始される。すなわち、空気導入部127も真空吸引される。このように、まず、真空室Vの吸引が開始されるため、保護テープTA1の外周、すなわち、ウエハ11と対向していない部分が、ウエハ11側に引かれるのを防止でき、保護テープTA1の外周の垂れ下がりを防止することができる。この結果、保護テープTA1は、ウエハ11の上面と平行状態を保って接触することが可能となり、気泡の発生を防止できる。また、気泡が発生したとしても、後に、気泡をウエハ11の外方へ排出することが可能となる。 When the
そして、かかる真空吸引を所定時間行い、真空計132で所定の真空度が検出される(ステップS16)と、制御装置400は、この真空計132からの検出信号に基づいて、第2の弁部材115を大気開放側に切り替える。それによって、空気導入ステップが開始され、空気導入部127には、突出管路117を介して大気が導入される(ステップS17)。このステップS16では、真空度を検出することなく、所定時間経過したら、第2の弁部材115を大気開放側に切り替えるようにしても良い。ここで、空気導入部127に大気が導入されると、この空気導入部127と真空室Vに存在する圧力差によって、ゴムシート126が真空室V側に向かって膨張し、接着ステップが開始する。 Then, the vacuum suction is performed for a predetermined time, and when the predetermined vacuum degree is detected by the vacuum gauge 132 (step S16), the
この場合、ゴムシート126の膨張によって、ウエハ11およびテープ保持リングJ3が持ち上げられる。すると、ウエハ11よりもテープ保持リングJ3の高さ位置が高いため、まずテープ保持リングJ3に保護テープTA1が接触する。このように、テープ保持リングJ3に保護テープTA1が接触するので、保護テープTA1に生じている弛みが除去され、保護テープTA1が張設される状態となる(ステップS18)。この状態は、いわゆる太鼓状態で、保護テープTA1がピンと張られた状態である。 In this case, the
さらに、ゴムシート126が膨張すると、例えば保護テープTA1の張力および上蓋プレート210の下面への接触等により、ゴムシート126の中央側がテープ保持リングJ3の高さ位置に近づく。それにより、ウエハ11の上面に、保護テープTA1が接着される。このとき、製造効率を考え、真空室Vの真空度は強くされておらず、また、保護テープTA1とウエハ11との当初の間隔は狭くされているため、速やかに、両者は接触する。このとき、保護テープTA1とウエハ11との間に、図17に示すように、気泡Pが分散して発生するように、両者を接着させる(ステップS19)。気泡Pは、このように接着面で分散配置させるのが好ましいが、気泡Pは、偏って配置されてもよい。以上のようにして、ウエハ11の上面の前面に保護テープTA1が接着され、接着ステップが完了する。 Further, when the
この接着ステップでは、保護テープTA1は、ウエハ11の外縁に先に接着しないように接着させられる。このため、図17に示すような気泡Pが発生していても、その気泡Pを空気開放ステップで、ウエハ11外へ排出させることができる。仮に、図18に示すように、ウエハ11の外縁に保護テープTA1が接着し、円輪状の接着域Sが生じていた場合、ウエハ11の中央に発生した気泡Pは、ウエハ11外へ排出できず、残存することとなる。この接着域Sは、完全に円輪状ではなく、外縁の一部が接着域Sとならない場合も、気泡Pは,排出されず、残存する確率が高くなる。なお、この保護テープTA1へのウエハ11の接着に前後させて、横切断機構を用いて、保護テープTA1を切断する。 In this bonding step, the protective tape TA1 is bonded to the outer edge of the
制御装置400は、所定時間が経過するか監視し(ステップS20)、所定時間が経過すると、第1の弁部材114と第3の弁部材116を大気開放側に切り替えて、真空室Vの圧力を低下させ、気泡Pをウエハ11外に排出させる(ステップS21)。この空気開放ステップS21では、気泡Pは、図17の矢印で示すように、ワークとなるウエハ11の中心側から外周側に向かって、直線的に移動し、排出される。その後、真空室Vと空気導入部127との間の圧力差が解消され、ゴムシート126が膨張しない状態となる。なお、第3の弁部材116は、ステップS21の以前に、真空吸引を停止するようにしても良い。そして、制御装置400は、例えば所定時間が経過した後または真空計132で真空室Vの内部が大気圧になったことを確認すると、再びアクチュエータ143を作動させる。 The
このアクチュエータ143の作動により、結果として、上蓋プレート210は、上方に持ち上げられる。それにより、シールリング123,216の間の接触が解除される。また、上蓋ユニット200を待機ユニット300側に移動させることが可能となる。 The operation of the
この状態で、作業者は、取手201を把持し、上蓋ユニット200を待機ユニット300側に移動させる。すると、凹陥部122が露呈するが、このとき、ウエハ11が保護テープTA1に接着した状態で、出現する。次に、環状切断機構170を用いて、テープ保持リングJ3の内周側で、保護テープTA1を切断する。この場合、押し込みつつ、回転カッター部174を環状レール173に沿って回転させることにより、保護テープTA1は、ウエハ11に対応した大きさで、円形状に切断される(ステップS22)。 In this state, the operator holds the
以上のような手順を順次行うことにより、ウエハ11に保護テープTA1を良好に貼付することが可能となる。この後、保護テープTA1付きのウエハ11を作業者またはロボットが取り出す、ワーク処理ステップが実行される(ステップS23)。以上の動作が繰り返され、次から次へと、保護テープTA1付きのウエハ11を製造することができる。取り出された保護テープTA1付きのウエハ11は、別な場所に移動され、処理される(ワーク処理ステップの一部)。なお、保護テープTA1付きのウエハ11を移動させることなく、その場で処理するようにしても良い。ウエハ11は、保護テープTA1付きの状態で、細かく切断され、その後、保護テープTA1から、切断されたウエハ11が剥がされる(テープ剥がしステップ)。剥がされることで、多数に分断された状態となる各小ウエハは、電子部品として利用される。なお、保護テープTA1を剥がした後で、ウエハ11を切断するようにしても良い。 By sequentially performing the above procedure, the protective tape TA1 can be satisfactorily applied to the
続いて、図10に示すようなテープ部材T2をウエハ11に貼付する場合について、先の図16のフローチャートを参照しながら説明する。 Next, a case where the tape member T2 as shown in FIG. 10 is attached to the
この場合、まず、ステップS11のウエハ11の設置を行うと共に、作業者は、テープ部材T2の設置準備を行う(ステップS12)。すなわち、作業者は、剥離シートTBの先端を、第2テープ供給機構320内の巻き取りリールに予め保持させておく。また、この場合、最初に第3の弁部材116は、ステップS13以前に、真空吸引側に切り替えられている。そして、真空ポンプ111を作動させ、吸着部材213に真空吸引力を及ぼさせる。この状態で、シール剥がし機構を作動させる。このとき、供給リールがフリーに回転可能な状態とすると共に、モータ357のブレーキ作用等により巻き取りリールの回転が阻止される状態としておく。そして、アクチュエータ342を作動させ、移動体(図示省略)を後端側から前端側に向けて移動させる。すると、移動体の進行に伴って、テープ部材T2が引き出されて行く。 In this case, first, the
ここで、移動体が移動すると、テープ部材T2は、引き出されて行く。すると、このテープ部材T2のうち、打ち抜き加工されている部分に対して、吸着部材213が近接する状態となるため、テープ部材T2は、吸着部材213によって吸引保持される。そして、移動体が、前端側の規定位置まで進行すると、制御装置400の制御指令によって、アクチュエータ342の作動が停止させられる。 Here, when the moving body moves, the tape member T2 is pulled out. Then, since the
次に、制御装置400は、モータ357に対して制御指令を与え、剥離シートTBを巻き取る方向に駆動させる。また、ブレーキ機構327にも制御指令を与え、ブレーキ機構327を作動させて、供給リールの回転を阻止する状態とする。すると、モータ357が回転し、剥離シートTBを巻き取るにつれて、移動体は、後端側に向かって移動して行く。また、この巻き取りにより、剥離シートTBには、張力が与えられる。一方、テープ部材T2に対して、上方側から真空吸引力が及ぼされている。このため、打ち抜き加工が為されている保護テープTA2は、真空吸引が為されている打ち抜き部分の端部から、徐々に剥がされて行く。 Next, the
そして、移動体が規定の後端位置まで到達すると、吸着部材213は、打ち抜き加工が為された保護テープTA2を吸引保持している状態となる。そして、この状態のまま、作業者は取手201を把持して、上蓋ユニット200をチャンバユニット100側にスライドさせる。これによって、ステップS13が完了する。 When the movable body reaches the specified rear end position, the
なお、ステップS14以後の動作は、上述のテープ部材T1における説明と同様であるが、テープ部材T1の場合との相違点は、第1の弁部材114によっての真空室Vの本体委部分の真空吸引開始前に、上述したように、第3の弁部材116を動作させ、吸着部材213と上蓋プレート210との間の空間および吸着部材213について真空吸引を開始していることである。第3の弁部材116による真空吸引は、ステップS14の際も継続する。しかし、ステップS14の際、すなわち、上蓋プレート210を降下させ、シールリング123,216同士が接触した後には、吸着部材213による保護テープTA2の真空吸引を停止するようにしても良い。この真空吸引の停止により、真空室Vが真空吸引されるにつれて、保護テープTA2に対する吸引保持力が弱まる。そのため、ウエハ11が持ち上げられて、当該ウエハ11の上面に保護テープTA2が接触すると、ウエハ11の上面に保護テープTA2が、良好に接着される場合がある。 The operation after step S14 is the same as that described for the tape member T1 described above. However, the difference from the case of the tape member T1 is that the
このような構成のテープ接着装置10によれば、ゴムシート126の上方にウエハ11をセットし、保護テープTA1,TA2がシールリング123,216の間に介在する状態で両者を突き合わせると、これらシールリング123,216の間に、保護テープTA1,TA2が挟み込まれる状態となる。この状態で、真空室Vの真空吸引を開始し(ステップS14)、その後、空気導入部127との間の真空排気を開始し(ステップS15)、その後、空気導入部127の内部に空気を導入する(ステップS17)ことにより、ゴムシート126は、真空室Vの上方に向かって膨張する。それにより、ゴムシート126は、ウエハ11を持ち上げ、ステップS18を経由し、当該ウエハ11の上面に対して、保護テープTA1,TA2を、気泡分散状態で接着させる(ステップS19)。この場合、真空室Vの真空吸引が為された後に、ウエハ11が持ち上げられる。このため、ウエハ11に対して、気泡Pの入り込み過ぎを防ぎながら、気泡Pが適度に分散した状態で、保護テープTA1,TA2を接着させることが可能となる。なお、制御装置400は、その後、所定時間が経過するかを監視し(ステップS20)、所定時間が経過すると、少なくとも第1の弁部材114を大気開放側に切り替えて、真空室Vとその上部の圧力を大きくし、気泡Pをウエハ11外に排出させる(ステップS21)。このため、気泡Pが介在しない状態で、両者を完全に接着させることができる。 According to the
また、このテープ接着装置10によって実施される方法の場合には、気泡Pが残った状態でテープ部材となる保護テープTA1,TA2をワークとなるウエハ11に接着させることができるので、真空の程度を強くする必要がなく、また、テープ部材とワークとの間隔を狭くすることができる。このため、テープ部材の接着に要する時間の短縮化が可能になる。また、残った気泡Pは、空気開放ステップで、ワーク外へ排出されるので、ワークとテープ部材との間の気泡Pを確実に除去できることとなる。さらに、空気開放ステップでは、気泡Pがワークの中心側から外周側に向かって、直線的に移動し、排出されるものとしているので、排出の時間が短縮され、製造効率がさらにアップする。また、吸引ステップでは、テープ部材の接着面とは反対となる側を多孔質からなる吸着部材213を介して真空吸着しているので、テープ部材の張設状態が維持され、接着状態の不具合発生のリスクが軽減される。 In the case of the method implemented by the
また、本実施の形態では、第1テープ供給機構220からは、シート状の保護テープTA1が供給可能であると共に、第2テープ供給機構320からは、予め打ち抜き加工が為されている保護テープTA2が供給可能である。このため、異なる保護テープTA1,TA2を真空室Vに供給することが可能となり、ウエハ11に対する保護テープの貼付の多用なニーズに応えることが可能となる。 Further, in the present embodiment, the sheet-like protective tape TA1 can be supplied from the first
また、本実施の形態では、第1テープ供給機構220からは、シート状の保護テープTA1が、掛け渡される状態で供給される。また、第2テープ供給機構320からは、保護テープTA2が、上蓋ユニット200を用いて真空室Vに供給される。このため、保護テープTA1,TA2は、ウエハ11に貼り付けられる状態で供給され、作業性を良好にすることが可能となる。 In the present embodiment, the sheet-like protective tape TA1 is supplied from the first
さらに、シールリング123,216の間で、保護テープTA1を挟持できるため、チャンバプレート120と上蓋プレート210との間の突き合わせの動作を利用して、保護テープTA1を簡易に保持させることが可能となる。また、この保持状態では、保護テープTA1をウエハ11の上面よりも上方に位置させることができる。それにより、ゴムシート126を上方に向けて膨張させれば、ウエハ11を、保護テープTA1に対して良好に接触させることができる。 Furthermore, since the protective tape TA1 can be sandwiched between the seal rings 123 and 216, it is possible to easily hold the protective tape TA1 by using the abutting operation between the
また、本実施の形態では、シールリング216は、例えばシリコンゴムのような、柔軟性を有する柔軟部材から形成されている。このため、シールリング123とシールリング216とが突き合わされると、この柔軟部材が柔軟に弾性変形する。それにより、シールリング123とシールリング216との間に保護テープTA1が介在する場合でも、保護テープTA1を挟持する境界部分で隙間が形成されるのを防止することが可能となる。さらに、真空吸引時には、シールリング123,216の間には、互いに押し付ける力が一層強まり、シールリング216は、上述の境界部分で隙間が形成されるのを一層確実に防止する。それにより、真空室Vを外部から気密に封止することが可能となる。 In the present embodiment, the
また、特に、シールリング216の材質が、シリコンゴムであるため、シールリング123,216が、保護テープTA1を挟持する状態で互いに突き合わされる場合、この挟持の端部において、隙間が生じるのを確実に防ぐことが可能となる。 In particular, since the material of the
また、本実施の形態では、チャンバユニット100に隣り合う状態で、待機ユニット300が設けられていて、上蓋ユニット200は、これらチャンバユニット100と待機ユニット300との間をスライド可能に設けられている。そのため、この上蓋ユニット200のスライドを利用すれば、保護テープTA1,TA2を容易に引き出し/搬送可能となる。また、ウエハ11をゴムシート126の上面に設置する場合には、上蓋ユニット200がチャンバユニット100を覆う状態から退避させ、凹陥部122を開放させることが可能となる。それにより、ウエハ11を設置する際の作業性を向上させることが可能となる。 In the present embodiment, the
特に、上蓋ユニット200には、第1テープ供給機構220が設けられているため、上蓋ユニット200のスライドを利用して、当該上蓋ユニット200を待機ユニット300からチャンバユニット100に向かってスライドさせれば、保護テープTA1を容易に引き出すことが可能となる。それにより、保護テープTA1を供給する際の作業効率を一層良好にすることが可能となる。 In particular, since the
加えて、上蓋ユニット200の前端側には、第1テープ供給機構220が設けられていて、さらにチャンバユニット100の後端側には、先端貼付バー331などからなるテープ押さえ機構(図示省略)が設けられている。そのため、保護テープTA1の引き出しの先端部分を先端貼付バー331に貼付し、その状態で上蓋ユニット200を前端側に向けてスライドさせるだけで、保護テープTA1を、張力を有する状態でシールリング123,216の間に掛け渡すことが可能となる。すなわち、保護テープTA1の引き出しの先端部分を先端貼付バー331に貼り付け、その後、上蓋ユニット200をスライドさせれば、保護テープTA1の引き出し作業が完了するので、保護テープTA1の設置作業を大幅に簡略化することができ、作業効率を一層良好にすることが可能となる。 In addition, a first
また、本実施の形態では、待機ユニット300には、シール剥がし機構が設けられている。このため、保護テープTA2は、シール剥がし機構によってテープ部材T2から良好に剥がすことが可能となる。また、上蓋ユニット200には、吸着部材213が設けられている。このため、上蓋ユニット200をチャンバプレート210の上方に向けてスライドさせれば、剥がされた保護テープTA2を、真空室Vに向けて搬送可能となる。それにより、真空室Vの内部に対して保護テープTA2を設置する作業を大幅に簡略化することが可能となり、作業効率を一層良好にすることが可能となる。 In this embodiment,
また、本実施の形態では、ウエハ11の持ち上げに、ゴムシート126を用いているため、真空室Vおよび空気導入部127の圧力を種々変更することにより、該ゴムシート126を真空室V側に膨らませたり、逆に真空室V側に膨らんでいる状態から戻したりする動作を容易に行うことができる。それによって、ウエハ11を保護テープTAに容易に接着させることが可能となる。 In this embodiment, since the
また、吸着部材213は、多孔質セラミックスから構成されている。このため、保護テープTAの全面に亘って確実に、かつ均一に吸着保持することができる。それによって、保護テープTAに弛みが生じるのを防ぐことができる。さらに、制御装置400は、真空ポンプ111、第1〜第3の弁部材114〜116、真空計132、センサ164に接続されていて、これらの作動を良好に制御することができる。 The adsorbing
以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明はこれ以外にも種々変形可能となっている。以下、それについて述べる。 Although one embodiment of the present invention has been described above, the present invention can be variously modified in addition to this. This will be described below.
上述の実施の形態においては、ワークとして、ウエハ11を用いる場合について説明している。しかしながら、ワークとしては、ウエハ以外に液晶等のガラス基板や特殊ガラス材、有機EL用のガラス基板等、各種MEMS(micro electro mechanical systems)に用いられるデバイスを形成するための基板を採用しても良い。また、上述の実施の形態では、真空化後に大気(空気)を導入しているが、空気以外のもの、例えばアルゴンガス等を導入して、加圧する状態としても良い。また、テープ部材Tは、上述の実施の形態のものには限られず、UV硬化型(紫外線硬化型)テープ、偏光フィルム、保護シート、透明電極等、ワークの表面に接着可能であれば、種々のものを用いることができる。 In the above-described embodiment, the case where the
上述の実施の形態では、一旦、気泡Pを分散配置するようにしたが、この分散配置とならない例としては、ウエハ11の外周部分がテープ部材と確実に接着し、気泡Pがウエハ11の外周部分に配置されない状況(図18参照)が上げられる。ここで、分散配置の気泡とは、中心に位置した気泡Pが、ウエハ11の外周方向に拡散していき、結果として、ウエハ11から排出される状況のものをいう。 In the above-described embodiment, the bubbles P are once dispersedly arranged. However, as an example in which the bubbles are not dispersedly arranged, the outer peripheral portion of the
上述の実施の形態では、各ステップを有するものとしたが、伸縮シート部材となるゴムシート126の上面側のワークが配置される空間(=真空室V)を真空吸引する吸引ステップと、吸引ステップの後に、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、テープ部材が、ワークの外縁に先に接着した後にワークの中心に接着する、という状態が生じないように接着させる接着ステップと、接着ステップを実行した後に、ワークが配置される空間(=真空室V)に空気を導入する空気開放ステップと、を有する数少ないステップを採用してもよい。また、ゴムシート126の上面側のワークが配置される空間(=真空室V)を真空吸引する吸引ステップと、吸引ステップの後に、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、テープ部材をワークに接着させる接着ステップと、接着ステップを実行した後に、ワークが配置される空間に空気を導入し、テープ部材とワークの間に発生した気泡Pをワーク外へ排出する空気開放ステップと、を有する数少ないステップとしてもよい。 In the above-described embodiment, each step is included. However, a suction step that vacuum-sucks a space (= vacuum chamber V) in which a work on the upper surface side of the
さらに、伸縮シート部材となるゴムシート126の上面側のワークが配置される空間(=真空室V)を真空吸引する吸引ステップと、吸引ステップの後に、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、テープ部材が、ワークの外縁に先に接着した後にワークの中心に接着する、という状態が生じないように接着させる接着ステップと、接着ステップを実行した後に、ワークが配置される空間に空気を導入し、テープ部材とワークの間に発生した気泡Pをワーク外へ排出する空気開放ステップと、を有する数少ないステップを採用してもよい。また、さらに、伸縮シート部材となるゴムシート126の上面側のウエハ11などのワークが配置される空間(=真空室V)を真空吸引する吸引ステップと、吸引ステップの後に、ワークをテープ部材に向かって持ち上げて、テープ部材とワークの間に気泡Pが分散した状態でテープ部材に接着させる気泡分散接着ステップと、気泡分散接着ステップを実行した後に、ワークが配置される空間に空気を導入し、気泡Pをワーク外へ排出する気泡排出ステップと、を有する数少ないステップを採用してもよい。これらの少ないステップの場合も、その後、次のステップを行うことで、電子部品が製造される。すなわち、上述したワーク処理ステップやテープ剥がしステップを行うことで、電子部品の安定的生産が可能となる。 Furthermore, a vacuum step for vacuum-sucking a space (= vacuum chamber V) in which a work on the upper surface side of the
なお、ウエハ11をテープ部材に向かって持ち上げる方法としては、ゴムシート126をふくらませる方法の他に、ボールネジに噛むナットを回転させることで、そのナットの上方に置いたウエハ11を上下動させたり、圧力ポンプを利用してウエハ11を支持している部材を上下動させたりなど、他の種々の上下動方法を採用できる。 As a method of lifting the
また、上述の実施の形態において、伸縮シート部材となるゴムシート126の下面側に比べ、保護テープTAが配置される側を早めに吸引または強く吸引する方法として、第1の真空室となる真空室Vを、第2の真空室となる空気導入部127より先に真空吸引を開始させているが、真空室Vの体積を、空気導入部127の体積より小さくしたり、真空ポンプ111からの距離を真空室Vの方を短くしても良い。また、真空ポンプを2つ用意し、真空室Vを吸引する真空ポンプの吸引力を、空気導入部127を吸引する真空ポンプの吸引力に比べ、大きくしても良い。 Further, in the above-described embodiment, as a method of sucking or strongly sucking the side where the protective tape TA is disposed earlier than the lower surface side of the
また、上述の実施の形態において、テープ接着装置10の内部に、ワークとしてのウエハ11の表面に接着されている保護テープTAを、シール剥がし機構を利用して剥離させるようにしても良い。この場合、真空吸引されるテープ接着装置10の内部において、保護テープTAを剥がすことができる。そのため、テープ剥がしが為されるに際して、ウエハ11の表面に埃が付着するのを防ぐことができる。特に、現状では、クリーンルーム内で保護テープTAを剥離させても、ウエハ11の表面に埃が付着するのを防止することが困難であるが、本実施の形態のテープ接着装置10を利用する場合、真空内部において保護テープTAの剥離が為されるため、ウエハ11に埃が付くのを、一層確実に防ぐことができる。 In the above-described embodiment, the protective tape TA bonded to the surface of the
また、上述の真空室Vの内部において、テープ部材Tをウエハ11から剥がす場合、保護テープTAの剥がし時に発生する静電気による、ウエハ11の表面への塵埃の付着を防止することができる。すなわち、保護テープTAの剥がしを真空室Vの内部で行う場合、剥がしに際して仮に静電気が発生したとしても、外部雰囲気を飛散している塵埃が、ウエハ11の表面に付着するのを防止することができる。 Further, when the tape member T is peeled off from the
また、上述のテープ接着装置10に、イオナイザを設けるように構成しても良い。イオナイザが設けられる場合、このイオナイザによってウエハ11またはテープ部材T1,T2にイオン化された空気を吹き付けるようにする。すると、これらウエハ11またはテープ部材T1,T2に付着している塵埃の除去が図れる。また、ウエハ11またはテープ部材T1,T2が除電され、帯電している塵埃等がウエハ11またはテープ部材T1,T2に付着しないようになる。また、イオン化された空気で、ウエハ11またはテープ部材T1,T2の殺菌処理を行うこともできる。 Moreover, you may comprise so that the above-mentioned
なお、回転カッター部174のカッターは、ヒータにより熱が付与されている。しかし、保護テープTAを切断するための手段としては、上述のヒータ以外に、レーザ光を照射するレーザ光照射装置を具備する構成を採用しても良い。レーザ光を照射する場合も、ヒータと同様に、保護テープTAを熱によって溶かしながら切断することが可能となる。 Note that heat is applied to the cutter of the
また、上述の上蓋ユニット200は、作業者が取手201を把持してスライドさせる構成を採用せずに、シリンダやモータ等のアクチュエータを用いて、自動的にスライドするように構成しても良い。特に、上蓋ユニット200の重量が重い場合には、当該上蓋ユニット200をアクチュエータを用いて自動的にスライドさせることにより、作業効率を向上させることが可能となる。 Further, the above-described
また、テープ接着装置10に対してウエハ11を搬送するための、搬送ロボットを設置するようにしても良い。この場合、ウエハ11に対する保護テープTAの接着を、一層自動化させることが可能となる。また、上述の実施の形態では、テープ接着装置10の内部に、ウエハ11を一枚ずつ設置している。しかしながら、ウエハ11を複数枚収納可能なカセットをテープ接着装置10の内部に設置し、かかるカセットからウエハ11を順次取り出すようにしても良い。 Further, a transfer robot for transferring the
さらに、上述の実施の形態では、第1の蓋部材としてチャンバプレート120、第2の蓋部材として上蓋ユニット200を用いる場合について説明している。しかしながら、第1の蓋部材および第2の蓋部材は、これらに限られるものではない。例えば、第1の蓋部材としては、凹陥部122を有しないものを第1の蓋部材としても良い。また、第2の蓋部材としては、例えば吸着部材213およびこの吸着部材213を嵌め込む凹部212を有しないものを、第2の蓋部材としても良い。 Furthermore, in the above-described embodiment, the case where the
また、本実施の形態では、シールリング123を第1のシール部材とすると共に、シールリング216を第2のシール部材としている。しかしながら、第1のシール部材および第2のシール部材は、真空室Vの封止性が良好であるならば、他の部材を材質としても良い。例えば、シールリングをシリコンゴムとすると共に、シールリングを、平滑性の高い平面部を有する金属製のリング等、またはその逆とするが如きである。 In the present embodiment, the
また、本実施の形態では、保護テープTAを吸着保持するための吸着手段に、多孔質セラミックスを材質とする吸着部材213を用いているが、吸着部材は、多孔質体であればどのような材質であっても良い。多孔質体の他の例としては、スポンジ体が挙げられる。また、吸着部材213となる多孔質セラミックスを別途加熱する機構を設け、該吸着部材213にセラミックスヒータといった、加熱のための機能を持たせるようにしても良い。この場合には、保護テープTAが加熱されるため、保護テープTAのウエハ11に対する接着性(粘着性)が良好となる。このため、保護テープTAをウエハ11に対して一層強固に接着させることが可能となる。 In the present embodiment, the
また、制御装置400は、予め制御条件が設定されているものでも良く、作業者側で任意に制御条件を設定可能な構成でも良い。また、上述の実施の形態におけるテープ接着装置10は、加圧を行わないタイプとなっている。しかしながら、テープ接着装置10は、真空室Vの内部で加圧するように構成しても良い。 Further, the
本発明のテープ接着方法や電子部品製造方法は、ウエハなどのワークにテープ部材を接着する分野全てにおいて利用できる。たとえば、半導体集積回路の製造過程や液晶を用いた液晶表示装置の製造過程において利用することができる。すなわち、半導体製造産業等において利用することができる。また、ガラス基板を用いたディスプレイの製造産業等において利用することもできる。 The tape bonding method and electronic component manufacturing method of the present invention can be used in all fields in which a tape member is bonded to a workpiece such as a wafer. For example, it can be used in the manufacturing process of a semiconductor integrated circuit and the manufacturing process of a liquid crystal display device using a liquid crystal. That is, it can be used in the semiconductor manufacturing industry. It can also be used in the display manufacturing industry using a glass substrate.
Claims (3)
まず、上記伸縮シート部材の上面側に位置すると共に上記上蓋ユニットと上記伸縮シート部材とで挟まれ外気から遮断される第1の真空室内に、上記ワークと上記テープ部材を配置し、上記第1の真空室を第1の吸引手段で真空吸引を開始させ、その後、上記伸縮シート部材の下面側に位置する第2の真空室を第2の吸引手段で真空吸引を開始させ、両真空室を真空吸引する吸引ステップと、
上記吸引ステップが所定時間実行された後または上記第1の真空室及び上記第2の真空室が設定された真空度に到達した後に、上記第2の吸引手段の作動停止により上記第2の真空室の真空吸引を停止すると共に、第2の空気導入手段を作動させて該第2の真空室に空気を導入する空気導入ステップと、
上記空気導入ステップの後に、上記伸縮シート部材を上記第1の真空室の内部に向けて膨張させ、かかる伸縮シート部材の膨張によって、上記ワークを上記テープ部材に向かって持ち上げて、上記テープ部材と上記ワークの間に気泡が分散した状態で、かつ上記テープ部材が、上記ワークの外縁に先に接着した後に上記ワークの中心に接着する、という状態が生じないように上記ワークと上記テープ部材を接着させる接着ステップと、
上記接着ステップを実行した後に、第1の空気導入手段を作動させて上記第1の真空室に空気を導入し、上記テープ部材と上記ワークの間に発生した上記分散状態の気泡を上記ワーク外へ排出する空気開放ステップと、
を有することを特徴とするテープ接着方法。 In the tape bonding method for bonding the tape member disposed between the upper lid unit disposed above the workpiece and the workpiece to the workpiece disposed on the upper surface side of the elastic sheet member,
First, the first vacuum chamber is blocked from the outside air is sandwiched between the top cover unit and the elastic sheet member while positioned on the upper surface side of the elastic sheet member, and placing the workpiece and the tape member, said first The vacuum suction of the first vacuum chamber is started by the first suction means, and then the vacuum suction of the second vacuum chamber located on the lower surface side of the stretchable sheet member is started by the second suction means. A suction step for vacuum suction;
After the suction step is executed for a predetermined time or after the first vacuum chamber and the second vacuum chamber have reached a set vacuum level, the second vacuum means is stopped by stopping the operation of the second suction means. An air introduction step of stopping the vacuum suction of the chamber and operating the second air introduction means to introduce air into the second vacuum chamber;
After the air introduction step, the expandable sheet member is expanded toward the inside of the first vacuum chamber, and the work is lifted toward the tape member by the expansion of the expandable sheet member, and the tape member and In a state where air bubbles are dispersed between the workpieces, and the tape member is bonded to the outer edge of the workpiece and then bonded to the center of the workpiece, the workpiece and the tape member are not bonded. An adhesion step for bonding;
After performing the bonding step, the first air introduction means is operated to introduce air into the first vacuum chamber, and the dispersed bubbles generated between the tape member and the workpiece are removed from the workpiece. An air release step for discharging to
A tape bonding method characterized by comprising:
前記伸縮シート部材の下面側に比べ、前記テープ部材が配置される側を早めに吸引または強く吸引し、前記テープ部材の前記ワーク側への垂れ下がりを阻止したことを特徴とするテープ接着方法。 The tape bonding method according to claim 1,
A tape adhering method comprising: sucking or strongly sucking a side on which the tape member is disposed earlier than the lower surface side of the stretchable sheet member to prevent the tape member from sagging toward the workpiece.
前記空気開放ステップでは、前記気泡が前記ワークの中心側から外周側に向かって、直線的に移動し、排出され、その後、前記第1の真空室と前記第2の真空室との間の圧力差が解消され、前記伸縮シート部材が膨張しない状態となることを特徴とするテープ接着方法。 In the tape bonding method according to claim 1 or 2,
In the air release step, the bubbles linearly move from the center side to the outer peripheral side of the work and are discharged, and then the pressure between the first vacuum chamber and the second vacuum chamber The tape bonding method, wherein the difference is eliminated and the elastic sheet member is not expanded.
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