JP5306839B2 - 光ファイバ母材の製造装置 - Google Patents

光ファイバ母材の製造装置 Download PDF

Info

Publication number
JP5306839B2
JP5306839B2 JP2009010603A JP2009010603A JP5306839B2 JP 5306839 B2 JP5306839 B2 JP 5306839B2 JP 2009010603 A JP2009010603 A JP 2009010603A JP 2009010603 A JP2009010603 A JP 2009010603A JP 5306839 B2 JP5306839 B2 JP 5306839B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
heating element
optical fiber
cylindrical heating
cylindrical
fiber preform
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2009010603A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2010168234A (ja
Inventor
達也 谷口
伸昭 折田
一彦 菅沼
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
THE FURUKAW ELECTRIC CO., LTD.
Original Assignee
THE FURUKAW ELECTRIC CO., LTD.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by THE FURUKAW ELECTRIC CO., LTD. filed Critical THE FURUKAW ELECTRIC CO., LTD.
Priority to JP2009010603A priority Critical patent/JP5306839B2/ja
Publication of JP2010168234A publication Critical patent/JP2010168234A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5306839B2 publication Critical patent/JP5306839B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01446Thermal after-treatment of preforms, e.g. dehydrating, consolidating, sintering
    • C03B37/0146Furnaces therefor, e.g. muffle tubes, furnace linings

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Description

本発明は、光ファイバ多孔質母材を脱水、焼結する光ファイバ母材の製造装置に関するものである。
光ファイバ母材は、VAD法、あるいはOVD法等により製造された光ファイバ多孔質母材を炉心管と円筒状発熱体を有する加熱炉の上端から挿入し、円筒状発熱体で加熱して、脱水、焼結することにより製造される。
円筒状発熱体10としては、図6(a)に示すように、円筒部12と前記円筒部12の片端の開口部の対向する2ヶ所に備えられた電流の入出力端子11,11を有し、この電流の入出力端子11、11を電極に接続するとともに、この電流の入出力端子11、11で支持されるものが一般的に用いられている。円筒部12には、上端から下方に向かうスリット12aと下端から上方に向かうスリット12bとが周方向に交互に設けられている。これにより、円筒状発熱体10の円筒部12には、蛇行状に連結した通電路12cが形成されている。
近年、光ファイバの需要増加に伴い、光ファイバ多孔質母材の大型化と長尺化が進み、これを脱水焼結するための大型の加熱炉が必要になってきている。これにともない、円筒状発熱体として内径が太く、また、長さも長いものが用いられるようになっており、円筒状発熱体の変形の問題が顕在化しつつある。より具体的には、熱が加わることで図6(b)に示すように円筒状発熱体が変形し、円筒状発熱体と円筒状発熱体の周りに配置されるカーボン等からなる部品とが接触し、絶縁破壊を引き起こす問題が生じている。
このような円筒状発熱体の変形を抑える方法として、特開平4−160788号公報には、ヒータスリット内にCVD法により電気的絶縁材を充填することが示されている。また、特開平9−235178号公報にはヒータスリット内に抵抗発熱体を充填することが示されている。
特開平4−160788号公報 特開平9−235178号公報
しかしながら、特許文献1および特許文献2に記載の方法は、円筒状発熱体の作製が非常に困難であるうえ、作製に費用がかかる問題がある。
本発明は、上記の問題を解決するためになされたものであり、円筒状発熱体の変形を容易かつ安価に抑えた光ファイバ母材の製造装置を提供することを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る光ファイバ母材の製造装置は、炉心管内に光ファイバ多孔質母材を挿入して、前記炉心管の周囲に設置した円筒状発熱体で前記光ファイバ多孔質母材を加熱し、脱水、焼結する光ファイバ母材の製造装置であって、前記円筒状発熱体は円筒部と前記円筒部の一端に電流の入出力端子を有し、前記円筒部の他端には、絶縁部材が備えられており、前記円筒状発熱体の外周には、断熱材が配置されており、前記絶縁部材は、前記円筒状発熱体と前記断熱材の間に配置されていることを特徴とする。
また、本発明に係る光ファイバ母材の製造装置は、上記の発明において、前記絶縁部材が石英またはセラミックスからなることを特徴とする。
また、本発明に係る光ファイバ母材の製造装置は、上記の発明において、前記円筒状発熱体の内径をD、前記円筒状発熱体の長さをLとしたとき、L/Dが5以上であることを特徴とする。
本発明によれば、円筒状発熱体の変形を容易かつ安価に抑えた光ファイバ母材の製造装置を実現できるという効果を奏する。
本発明の実施の形態に係る光ファイバ製造装置の模式な縦断面図である。 絶縁部材9aが配置されている状態を詳細に示す図である。 絶縁部材9aの形状を示す模式図である。 絶縁部材9bの形状を示す模式図である。 絶縁部材9bが配置されている状態を詳細に示す図である。 (a)は円筒状発熱体10の模式図、(b)は円筒状発熱体10が変形した様子を示す模式図である。
以下に、図面を参照して本発明に係る光ファイバ母材の製造装置の実施の形態を詳細に説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。
(実施の形態1) 図1に、本発明の実施の形態に係る光ファイバ母材の製造装置1の断面概略図を示す。図1に示す光ファイバ母材の製造装置1は、光ファイバ多孔質母材を脱水、焼結する加熱炉であり、炉体2の中心部を貫通していて内部に光ファイバ多孔質母材3を収容する石英ガラス等よりなる炉心管4と、炉体2内で炉心管4の周囲に配置されて該炉心管4内の光ファイバ多孔質母材3を加熱するカーボンヒータ等の円筒状発熱体10と、炉心管4と円筒状発熱体10との間で炉心管4の外周を包囲するように配置されたカーボン等からなるマッフル管5と、このマッフル管5の外側で炉体2の内壁に沿って配置されたカーボン等からな断熱材6とを主体として構成されている。図1に示す光ファイバ母材の製造装置1においては円筒状発熱体10が2個縦列に配置されている例を示しているが、円筒状発熱体10の数はこれに限定されない。
炉心管4の下端には処理ガス導入口7が設けられ、炉心管4内にHeガスやClガス等が供給されるようになっている。炉心管4の上部には、炉心管4内の排気ガスを排出する排気口8が設けられている。炉体2内には、ArガスやN2ガス等の不活性ガスが供給されるようになっている。
光ファイバ多孔質母材3の脱水、焼結は、このような光ファイバ母材の製造装置1を用い、円筒状発熱体10に対して光ファイバ多孔質母材3を相対的に上下方向に動かすことにより行われる。
円筒状発熱体10としては、図6に示す従来のものと同様の形状のものが用いられ、上端開口部の円の中心を挟んで対向する2ヶ所に設けられた電流の入出力端子11、11と、上端から下方に向かうスリット12aと下端から上方に向かうスリット12bとが周方向に交互に設けられた円筒部12からなる。これにより、円筒部12には、蛇行状に連結した通電路12cが形成されている。
円筒状発熱体10は、上端に形成された電流の入出力端子11、11を電極に接続するとともに電流の入出力端子11、11で支持されており、円筒状発熱体10の下端部には、電流の入出力端子11、11と対向する位置に絶縁部材9a、9aが配置されている。
図2に絶縁部材9aが配置されている状態を詳細に示す。絶縁部材9aは図3に示すように四角柱の一面に突起部を有する形状をしており、この突起部21を下端から上方に向かうスリット12bに入れ、絶縁部材9aを円筒状発熱体10と断熱材6の間に配置することで円筒状発熱体10が変形して外側に移動する(内径が大きくなる)ことを防止している。その結果、円筒状発熱体10の変形を抑制できる。
絶縁部材9aの材質としては、電気を通さず、かつ、1450℃程度の高温に耐えられる材質を選択する必要があり、たとえば石英、セラミックス等を用いることができる。なお、耐熱の観点から、セラミックスの中でも窒化珪素Siは特に好適に用いられる。
本発明の実施の形態に係る光ファイバ母材の製造装置によれば、円筒状発熱体10の電流の入出力端子11、11が備えられていない端部が、内径が大きくなる方向に変形することが抑制され、これにより、円筒状発熱体10の変形を容易かつ安価に抑制することができる。円筒状発熱体10の変形は、円筒状発熱体の内径をD、長さをLとしたとき、L/Dが大きくなるほど発生しやすい。したがって、本発明は、L/Dが1.5以上の場合に特に効果的である。また、本発明の実施の形態に係る光ファイバ母材の製造装置を用いれば、L/Dが大きい場合においても円筒状発熱体の変形を抑制できるので、たとえば、これまで長さの短い円筒状発熱体10を3個縦列に配置して加熱していたものと同様の加熱を、長さの長い円筒状発熱体10を2個使用することで実現できる。これにより円筒状発熱体10や電極の数を減らすことができ、設備を簡素化することができる。
(実施の形態2) つぎに、本発明の実施の形態2について説明する。本発明の実施の形態2に係る光ファイバ母材の製造装置は、絶縁部材9bとして図4に示す形状のものを用いた以外は、実施の形態1と同様である。
絶縁部材9bは断面が略直角三角形の半円状であり、内周に垂直面31、外周に傾斜面32、底面には溝33を有する。図5に絶縁部材9bが配置されている状態を詳細に示す。円筒状発熱体10の下端部に2つの絶縁部材9bを円形になるように、かつ、三角形の頂点が上になるように配置する。このとき、垂直面33は円筒状発熱体10の内側に配置されるマッフル管5に沿うように配置される。また、溝33に絶縁部材9bの下に配置する円筒状発熱体10の上端部を挿入するとともに、傾斜面32を絶縁部材9bの上に配置される円筒状発熱体10の下端部と接触させる。これにより、円筒状発熱体10の下端部が変形して内側に移動する(内径が小さくなる)ことを防止することができ、その結果、円筒状発熱体10の変形を抑制できる。なお、一番下の円筒状発熱体10の下端部に配置する絶縁部材9bは、溝33を省略してもよい。
本発明の実施の形態2に係る光ファイバ母材の製造装置によれば、円筒状発熱体10の電流の入出力端子11、11が備えられていない端部が、内径が小さくなる方向に変形することが抑制され、これにより、円筒状発熱体10の変形を容易かつ安価に抑制することができる。
本発明にかかわる絶縁部材は実施の形態1および実施の形態2に示した形状に限定されない。円筒状発熱体10の支持されていない側の端部に配置することができ、かつ、円筒状発熱体10の支持されていない側の端部の変形を抑えることができればよい。
また、実施の形態1および実施の形態2では、電流の入出力端子11、11が上端になるように円筒状発熱体10を配置しているが、電流の入出力端子11、11が下端になるように配置してもよい。この場合は、絶縁部材9を円筒状発熱体10の上端に配置するとより円筒状発熱体10の変形を抑制できる。
以下、本発明を実施例により詳細に説明する。(実施例1) 本発明の実施の形態2に係る光ファイバ母材の製造装置を用いて、OVD法で製造した光ファイバ多孔質母材を脱水、焼結した。なお、円筒状発熱体10は、内径Dが350mm、長さLが600mm、通電路12cの厚さtが10mmのものを用いた。12ヶ月使用した後、加熱炉を解体したところ、絶縁破壊を起こした形跡はなく、断熱
材やマッフル管の損傷はほとんどなかった。
(実施例2) 本発明の実施の形態2に係る光ファイバ母材の製造装置を用いて、OVD法で製造した光ファイバ多孔質母材を脱水、焼結した。なお、円筒状発熱体10は、内径Dが400mm、長さLが700mm、通電路12cの厚さtが10mmのものを用いた。12ヶ月使用した後、加熱炉を解体したところ、絶縁破壊を起こした形跡はなく、断熱材やマッフル管の損傷はほとんどなかった。
(比較例1) 絶縁部材を設置しない以外は実施例1と同様の光ファイバ母材の製造装置を用いて、OVD法で製造した光ファイバ多孔質母材を脱水、焼結した。しかし、1本も脱水、焼結できずに絶縁破壊を起こした。

1 光ファイバ母材製造装置

2 炉体

3 光ファイバ多孔質母材

4 炉心管

5 マッフル管

6 断熱材

9、9a、9b 絶縁部材

10 円筒状発熱体

11 電流の入出力端子

12 円筒部

Claims (3)

  1. 炉心管内に光ファイバ多孔質母材を挿入して、前記炉心管の周囲に設置した円筒状発熱体で前記光ファイバ多孔質母材を加熱し、脱水、焼結する光ファイバ母材の製造装置であって、前記円筒状発熱体は円筒部と前記円筒部の一端に電流の入出力端子を有し、前記円筒部の他端には、絶縁部材が備えられており、
    前記円筒状発熱体の外周には、断熱材が配置されており、前記絶縁部材は、前記円筒状発熱体と前記断熱材の間に配置されていることを特徴とする光ファイバ母材の製造装置。
  2. 前記絶縁部材が石英またはセラミックスからなることを特徴とする請求項1に記載の光ファイバ母材の製造装置。
  3. 前記円筒状発熱体の内径をD、前記円筒状発熱体の長さをLとしたとき、L/Dが1.5以上であることを特徴とする請求項1または2に記載の光ファイバ母材の製造装置。
JP2009010603A 2009-01-21 2009-01-21 光ファイバ母材の製造装置 Active JP5306839B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009010603A JP5306839B2 (ja) 2009-01-21 2009-01-21 光ファイバ母材の製造装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009010603A JP5306839B2 (ja) 2009-01-21 2009-01-21 光ファイバ母材の製造装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2010168234A JP2010168234A (ja) 2010-08-05
JP5306839B2 true JP5306839B2 (ja) 2013-10-02

Family

ID=42700736

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009010603A Active JP5306839B2 (ja) 2009-01-21 2009-01-21 光ファイバ母材の製造装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5306839B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5828232B2 (ja) * 2011-06-29 2015-12-02 住友電気工業株式会社 ガラス母材用加熱炉
KR102553481B1 (ko) * 2020-12-24 2023-07-10 대한광통신(주) 인접한 도전체 사이에서의 아크 방전 발생이 억제된 카본 히터

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5925195U (ja) * 1982-08-07 1984-02-16 株式会社神戸製鋼所 熱間静水圧処理装置における加熱装置
JPH0832568B2 (ja) * 1987-01-21 1996-03-29 住友電気工業株式会社 光フアイバ母材製造用脱水焼結炉
JP2961440B2 (ja) * 1990-10-22 1999-10-12 東芝セラミックス株式会社 カーボンヒータ
JP3986611B2 (ja) * 1997-05-01 2007-10-03 株式会社フジクラ 光ファイバ用母材製造用加熱炉

Also Published As

Publication number Publication date
JP2010168234A (ja) 2010-08-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2010132505A (ja) 光ファイバ製造装置、光ファイバの製造方法
KR100972500B1 (ko) 전기가열로용 발열구조체
JP5306839B2 (ja) 光ファイバ母材の製造装置
KR20060070482A (ko) 고온확산로의 가열코일용 보유지지기구
CN108975677B (zh) 拉丝炉
JP5255306B2 (ja) 光ファイバの線引方法
JP2005194179A (ja) 光ファイバ母材の加熱装置及び製造方法
JP6421569B2 (ja) 光ファイバ製造方法及び光ファイバ製造装置
CN203795020U (zh) 热处理装置
JP5907815B2 (ja) 光ファイバ製造用加熱炉
JP4407742B2 (ja) ガラス母材の屈折率分布の検査方法
US20030033835A1 (en) Optical fiber preform-heating furnace
JP2002162169A (ja) 内壁面に発熱体を備えた炉
JP2010244786A (ja) シーズヒータとそれを用いた加熱方法
JP5503339B2 (ja) 多孔質ガラス母材の脱水焼結用加熱炉
JP4415110B2 (ja) 高温熱処理炉
KR200471723Y1 (ko) 열처리로용 발열체 및 이를 구비한 머플식 열처리로
JP3944704B2 (ja) 加熱炉
CN216954037U (zh) 一种低温管式炉体
JP5567083B2 (ja) 光ファイバの線引炉
JP2013040085A (ja) 加熱炉
JP2580216B2 (ja) 加熱炉用ヒータ
JP5557866B2 (ja) 光ファイバ母材加熱用ヒータ
KR20060133504A (ko) 열처리 장치의 히터 어셈블리 및 그 제조 방법
KR100533755B1 (ko) 광섬유 제조용 전기로

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20111101

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130213

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130215

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130415

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20130415

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130604

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130626

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 5306839

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

S531 Written request for registration of change of domicile

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350