JP5306558B2 - Linear motor - Google Patents
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- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims description 27
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 8
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 7
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 7
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 102220005308 rs33960931 Human genes 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
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- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K11/00—Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection
- H02K11/20—Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection for measuring, monitoring, testing, protecting or switching
- H02K11/21—Devices for sensing speed or position, or actuated thereby
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
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- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K2207/00—Specific aspects not provided for in the other groups of this subclass relating to arrangements for handling mechanical energy
- H02K2207/03—Tubular motors, i.e. rotary motors mounted inside a tube, e.g. for blinds
-
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Description
この発明は、可動部と固定部の間に配置されたすべり軸受と、固定部の中心軸から偏心して配置された摺動部材を備えたリニアモータに関する。 The present invention relates to a linear motor including a slide bearing disposed between a movable portion and a fixed portion, and a sliding member disposed eccentrically from the central axis of the fixed portion.
従来のリニアモータでは、軸部材(第1スリーブ)は、その内部にはN極及びS極の永久磁石が軸線方向に沿って交互に形成され、さらに永久磁石の間には、推力を向上させるための磁性体(ヨーク)が設けられた構造が採用されている。軸部材の外周を囲むコイルは可動部に設けられており、軸部材の外周側に位置する可動部内側には、軸部材が可動部に対して軸部材の軸線方向に相対的に直線運動するのを案内する軸受が設けられている。このような構成のリニアモータは、円筒または四角形状の軸受と可動部を、軸部材を中心にして配置し、軸受と軸部材の間に相対運動を円滑にするために微小なギャップを設ける構造にしている(例えば、特許文献1参照)。 In a conventional linear motor, the shaft member (first sleeve) has N-pole and S-pole permanent magnets alternately formed along the axial direction in the interior thereof, and further improves thrust between the permanent magnets. A structure provided with a magnetic body (yoke) is employed. The coil surrounding the outer periphery of the shaft member is provided in the movable part, and the shaft member moves linearly relative to the movable part in the axial direction of the shaft member inside the movable part located on the outer peripheral side of the shaft member. A bearing for guiding the movement is provided. A linear motor having such a structure has a structure in which a cylindrical or quadrangular bearing and a movable part are arranged around a shaft member, and a minute gap is provided between the bearing and the shaft member to facilitate relative motion. (For example, refer to Patent Document 1).
従来のリニアモータは、以上のように構成されているので、軸受と軸部材の間に設けられた微小なギャップ分だけ、軸受と軸部材の間にがたつきや変動が生じ、結果として、例えば、可動部に機械に推力を伝達するシャフトが設けられているシャフト型リニアモータにおいては、シャフト先端部の位置決め精度が低下するという問題点があった。 Since the conventional linear motor is configured as described above, rattling and fluctuation occur between the bearing and the shaft member by a minute gap provided between the bearing and the shaft member. For example, in a shaft type linear motor in which a shaft that transmits thrust to the machine is provided in the movable part, there is a problem in that the positioning accuracy of the shaft tip part is lowered.
この発明は、上述のような問題を解決するためになされたもので、その目的は、軸受と軸部材間のがたつきや変動をなくし、例えば、シャフト型リニアモータのシャフト先端部の位置決め精度を高くすることにある。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and its purpose is to eliminate rattling and fluctuation between the bearing and the shaft member. For example, the positioning accuracy of the shaft tip portion of the shaft type linear motor Is to make it higher.
この発明に係るリニアモータにおいては、固定部と、固定部内部に位置し、固定部に対して軸線方向に相対変位可能に設けられた可動部とを有するリニアモータであって、可動部は、軸線方向に積層された複数個の永久磁石から成る磁石部と、磁石部の一方の先端部に配置され、固定部内部を軸線方向に摺動案内する磁性材から成る第1摺動部とを備え、固定部は、第1摺動部を摺動可能に支持する固定部内面に当接された非磁性材から成る第1軸受と、固定部内部に設けられ、自身の内空間に磁束を発生させ、磁石部に作用させて可動部を相対変位させる複数個のコイルとを備え、第1摺動部は、第1摺動部中心軸がコイルによって形成される内空間の断面中心軸から第1軸受側に偏心して配置されると共に第1軸受と当接することで、永久磁石からの磁気吸引力が偏心方向に作用させる。 In the linear motor according to the present invention, the linear motor includes a fixed portion and a movable portion that is located inside the fixed portion and is provided so as to be relatively displaceable in the axial direction with respect to the fixed portion. A magnet part made up of a plurality of permanent magnets laminated in the axial direction, and a first sliding part made of a magnetic material that is arranged at one end of the magnet part and slides and guides the inside of the fixed part in the axial direction. The fixed portion is provided inside the fixed portion with a first bearing made of a non-magnetic material that is in contact with the inner surface of the fixed portion that slidably supports the first sliding portion, and provides a magnetic flux to its inner space. A plurality of coils that are generated and act on the magnet part to relatively displace the movable part, and the first sliding part has a central axis of the first sliding part formed from the central axis of the inner space formed by the coil. By being eccentrically arranged on the first bearing side and contacting the first bearing, Magnetic attraction force from the magnet to act on the eccentric direction.
この発明により、シャフト型リニアモータのシャフト先端部の位置決め精度を高くすることができ、表面実装機や基板検査機等、精密電子機器へのシャフト型リニアモータの適用が可能となる。 According to the present invention, the positioning accuracy of the shaft tip portion of the shaft type linear motor can be increased, and the shaft type linear motor can be applied to precision electronic devices such as surface mounters and board inspection machines.
実施例1.
図1は、この発明の実施例1を示すシャフト型リニアモータの断面図であり、図2は、この発明の実施例1を示すシャフト型リニアモータの分解斜視図である。図1と図2において、1はシャフト型リニアモータの固定部、2はシャフト型リニアモータの可動部で、固定部1に対して軸線方向に相対変位が可能ある。31は第1軸受として機能する、軸方向に沿って断面がL字形状をしたすべり軸受、51は電源用リード線、11は電源用リード線51から電流を流して磁束を発生させるための複数個のコイル、12は複数個のコイル11を絶縁する樹脂製のボビン、13は発生した磁束の磁気回路となる上フレーム、14は発生した磁束の磁気回路となる、軸方向に沿って断面がU字形状をした下フレーム、15は機械剛性を高くするためのベース、16は軸(シャフト)を支える軸受、17は軸受16を保持するブラケット、18は異物の侵入を防ぐカバー、41は位置検出器であり、固定部1は、すべり軸受31、コイル11、ボビン12、上フレーム13、下フレーム14、ベース15、軸受16、ブラケット17、カバー18、位置検出器41で構成される。Example 1.
1 is a cross-sectional view of a shaft type linear
一方、32は第1摺動部として機能する、すべり軸受31の表面を摺動案内する摺動部材、21は磁石部であり、複数個のコイル11の発生磁束との相互作用により推力を発生するために積層された複数個の永久磁石である。22は磁性材もしくは非磁性材からなり、積層された複数個の永久磁石21のN極及びS極の磁極が軸線方向に交互に形成されるように複数個の永久磁石21の間に配置されるスペーサ、23はシャフト結合部材、24は発生推力を機械に伝達する軸(シャフト)であり、可動部2は、摺動部材32、永久磁石21、スペーサ22、シャフト結合部材23で構成され、可動部2はシャフト24の端部と接続される。シャフト24のもう一方の端部は固定部1の外部に出ており、位置検出用に使われる。複数個の永久磁石21の中心軸とスペーサ22の中心軸とシャフト結合部材23の中心軸は、それぞれシャフト24の中心軸と一致している。可動部2は固定部1の内部に配置され、図1中のZ方向に可動な構造となっている。また、複数個のコイル11と複数個のボビン12は複数個の永久磁石21の外側に同心状に配置されており、複数個のコイル11の中心軸と複数個のボビン12の中心軸は、それぞれシャフト24の中心軸と一致している。
On the other hand, 32 is a sliding member that slides and guides the surface of the slide bearing 31 that functions as a first sliding portion, and 21 is a magnet portion that generates thrust by interaction with the magnetic flux generated by the plurality of
42はスケール、25はシャフト24のシャフト先端部、26はスケール結合部材、52は位置検出器用リード線である。スケール42はスケール結合部材26によって、シャフト先端部25に結合されており、シャフト24の動きに合わせて可動する構造となっている。また、スケール42は、その内部には光学的もしくは磁気的な位置情報が記録されており、固定部1に結合された位置検出器41によって、シャフト24の図1中のZ方向の位置を検出し、位置検出器用リード線52から制御部へ位置信号を伝達する構造となっている。
なお、A−A’断面とB−B’断面は、図1に示すシャフト型リニアモータのX−Y面に沿った断面を示す。 The A-A ′ cross section and the B-B ′ cross section are cross sections along the XY plane of the shaft type linear motor shown in FIG. 1.
図3は、この発明の実施例1を示すシャフト型リニアモータの制御部の構成図である。図3において、90は制御部、100はシャフト型リニアモータである。91は位置制御回路、92は速度制御回路、93は電流制御回路、99は電流検出器であり、制御部90は位置制御回路91、速度制御回路92、電流制御回路93、電流検出器99で構成される。 FIG. 3 is a configuration diagram of a control unit of the shaft type linear motor showing the first embodiment of the present invention. In FIG. 3, 90 is a control unit, and 100 is a shaft type linear motor. 91 is a position control circuit, 92 is a speed control circuit, 93 is a current control circuit, and 99 is a current detector. A control unit 90 is a position control circuit 91, a speed control circuit 92, a current control circuit 93, and a current detector 99. Composed.
スケール42及び位置検出器41により検出された位置情報は、シャフト型リニアモータ100の制御部90にフィードバックされる。位置制御回路91は位置検出器41からの位置フィードバック値と指令値とを比較することによって位置制御し、速度制御回路92は位置制御回路91からの出力値と位置フィードバック値を微分した速度フィードバック値を比較することによって速度制御し、電流制御回路93は速度制御回路92からの出力値と電流検出器99からの電流フィードバック値を比較することによって推力制御することがそれぞれ可能である。
Position information detected by the
図4は、この発明の実施例1を示すシャフト型リニアモータのすべり軸受の構造図である。61は磁束、62aと62bは永久磁石21の作る磁束61の影響によって発生する磁気吸引力である。
FIG. 4 is a structural diagram of a plain bearing of a shaft type linear
すべり軸受31は樹脂製(非磁性材)であり、図4のA−A’断面に示すように軸方向に沿って断面がL字形状をしている。一方、摺動部材32は、例えばS50C材、上フレーム13及び下フレーム14は、例えばSPCC材であり、いずれも磁性材である。ここで、摺動部材32は、シャフト24の中心軸に対して同心状に配置されているコイル11の内空間の中心軸に対して同心ではなく、すべり軸受31側に偏心するように設置される。その結果、摺動部材32と上フレーム13の間のギャップと、摺動部材32と下フレーム14の間のギャップは、それぞれ断面がL字形状のすべり軸受31が介在する側(図4のA−A’断面では、摺動部材32の左側面と下面)では存在せず、介在しない側(図4のA−A’断面では、摺動部材32の右側面と上面)では所定の距離をもって存在することになる。
The slide bearing 31 is made of resin (non-magnetic material), and has a L-shaped cross section along the axial direction as shown in the A-A ′ cross section of FIG. 4. On the other hand, the
図4のA−A’断面において、磁束61が、磁性材である上フレーム13と永久磁石21の間、磁性材であるU字形状の下フレーム14の両側面と永久磁石21の間、磁性材である断面がU字形状の下フレーム14の下面と永久磁石21の間でそれぞれ形成される。形成された磁束61の影響により、磁性材である摺動部材32と磁性材である上フレーム13及びU字形状の下フレーム14の間に磁気吸引力62aと62bが発生するが、摺動部材32が下フレーム14の断面がL字形状のすべり軸受31の介在する側に偏って設置されているため、この摺動部材32の偏りによって、磁気吸引力62aが、断面がL字形状のすべり軸受31が介在する側(図4のA−A’断面では、摺動部材32の左側面と下面)では強く作用し、磁気吸引力62bはL字形状のすべり軸受31の介在しない側(図4のA−A’断面では、摺動部材32の右側面と上面)ではほとんど作用しないことになる。
In the AA ′ cross section of FIG. 4, the
このように構成されたシャフト型リニアモータにおいては、摺動部材32と断面がL字形状のすべり軸受31が、一定の磁気吸引力62aでもって常に接触した状態となるため、摺動部材32とすべり軸受31の間にはギャップが存在せず、その結果、従来のシャフト型リニアモータの構成では生じていたギャップに起因したがたつきや変動もなく、シャフト先端部25の位置決め精度を高くすることが可能となる。また、従来のシャフト型リニアモータの構成のままでギャップを小さくしようとした場合、摺動部材32とすべり軸受31の寸法を高精度に加工する必要があったが、この実施例1におけるシャフト型リニアモータの構成ではその加工も必要もない。
In the shaft type linear motor configured as described above, the sliding
以上、この実施例1で説明したシャフト型リニアモータの構成によれば、シャフト型リニアモータのシャフト先端部の位置決め精度を高くすることができるので、表面実装機や基板検査機へのシャフト型リニアモータの適用が可能となり、例えば、電子基板に実装する部品の高密度化が可能となる。 As described above, according to the configuration of the shaft type linear motor described in the first embodiment, the positioning accuracy of the shaft tip portion of the shaft type linear motor can be increased. A motor can be applied. For example, it is possible to increase the density of components mounted on an electronic substrate.
実施例2.
この発明の実施例1では、可動部2の一端部のみをすべり軸受31とした場合について説明したが、図5に示すように、可動部2の両端部を第1軸受であるすべり軸受31aと、第2軸受であるすべり軸受31bとしても良く、このような構成によっても同様の効果を得ることができる。可動部2の両端部をすべり軸受31a、31bとすることに対応して、固定部1のすべり軸受31a、31bと摺動する両側には、第1摺動部である摺動部材32aと、第2摺動部である摺動部材32bが設置される。Example 2
In the first embodiment of the present invention, the case where only one end portion of the movable portion 2 is used as the
実施例3.
この発明の実施例1及び実施例2では、L字形状のすべり軸受31の二面を使用してX及びY方向の位置精度を確保した場合について説明したが、位置精度を必要とする方向が一方向のみ、例えばX方向だけの場合は、図6に示すように、すべり軸受35を軸方向に沿って下フレーム14の下面と平行な平板状にしても良い。この場合も、実施例1及び実施例2と同様の効果を得ることができる。Example 3
In the first and second embodiments of the present invention, the case where the positional accuracy in the X and Y directions is ensured by using two surfaces of the L-shaped
実施例4.
図7は、この発明の実施例4を示すシャフト型リニアモータのすべり軸受の構造図である。71は第1中間部材であり、図7では中間部材としている。Example 4
FIG. 7 is a structural diagram of a plain bearing of a shaft type linear motor showing Embodiment 4 of the present invention.
すべり軸受31は樹脂製(非磁性材)であり、図7のA−A’断面に示すように軸方向に沿って断面がL字形状をしており、中間部材71の右側面と上面に当接している。また、中間部材71は、例えばSPCC材等の磁性材であり、図7のA−A’断面に示すように軸方向に沿って断面がL字形状をしており、下フレーム14の左側面と下面に当接している。一方、摺動部材32は、例えばS50C材、上フレーム13及び下フレーム14は、例えばSPCC材であり、いずれも磁性材である。ここで、摺動部材32は、シャフト24の中心軸に対して同心状に配置されているコイル11の内空間の中心軸と一致して設置される。その結果、摺動部材32と上フレーム13の間のギャップと、摺動部材32と下フレーム14の間のギャップは、それぞれ断面がL字形状のすべり軸受31と中間部材71が介在する側(図7のA−A’断面では、摺動部材32の左側面と下面)では存在せず、介在しない側(図7のA−A’断面では、摺動部材32の右側面と上面)では所定の距離をもって存在することになる。
The
図7のA−A’断面において、磁束61が、磁性材である上フレーム13と永久磁石21の間、磁性材であるU字形状の下フレーム14の右側面と永久磁石21の間、磁性材である断面がL字形状の中間部材71の下面と永久磁石21の間、磁性材である断面がL字形状の中間部材71の右側面と永久磁石21の間でそれぞれ形成される。形成された磁束61の影響により、磁性材である摺動部材32と磁性材である上フレーム13とU字形状の下フレーム14とL字形状の中間部材71の間に磁気吸引力62aと62bが発生するが、磁気吸引力62aが、断面がL字形状のすべり軸受31と中間部材71が介在する側(図7のA−A’断面では、摺動部材32の左側面と下面)では強く作用し、磁気吸引力62bはL字形状のすべり軸受31と中間部材71の介在しない側(図7のA−A’断面では、摺動部材32の右側面と上面)ではほとんど作用しないことになる。
In the AA ′ cross section of FIG. 7, the
このように構成されたシャフト型リニアモータにおいては、摺動部材32と断面がL字形状のすべり軸受31が、一定の磁気吸引力62aでもって常に接触した状態となるため、摺動部材32とすべり軸受31の間にはギャップが存在せず、その結果、従来のシャフト型リニアモータの構成では生じていたギャップに起因したがたつきや変動もなく、シャフト先端部25の位置決め精度を高くすることが可能となる。また、従来のシャフト型リニアモータの構成のままでギャップを小さくしようとした場合、摺動部材32とすべり軸受31の寸法を高精度に加工する必要があったが、この実施例1におけるシャフト型リニアモータの構成ではその加工も必要もない。
In the shaft type linear motor configured as described above, the sliding
以上、この実施例4で説明したシャフト型リニアモータの構成によれば、シャフト型リニアモータのシャフト先端部の位置決め精度を高くすることができるので、表面実装機や基板検査機へのシャフト型リニアモータの適用が可能となり、例えば、電子基板に実装する部品の高密度化が可能となる。 As described above, according to the configuration of the shaft-type linear motor described in the fourth embodiment, the positioning accuracy of the shaft tip portion of the shaft-type linear motor can be increased. A motor can be applied. For example, it is possible to increase the density of components mounted on an electronic substrate.
実施例5.
この発明の実施例4では、可動部2の一端部のみに中間部材71を適用した場合について説明したが、図8に示すように、可動部2の両端部に第1中間部材である中間部材71aと、第2中間部材である中間部材71bを適用しても良く、このような構成によっても同様の効果を得ることができる。Example 5 FIG.
In the fourth embodiment of the present invention, the case where the
実施例6.
この発明の実施例4及び実施例5では、L字形状の中間部材71の二面を使用してX及びY方向の位置精度を確保した場合について説明したが、位置精度を必要とする方向が一方向のみ、例えばX方向だけの場合は、図9に示すように、中間部材75を軸方向に沿って下フレーム14の下面と平行な平板状にしても良い。この場合も、実施例4及び実施例5と同様の効果を得ることができる。Example 6
In the fourth embodiment and the fifth embodiment of the present invention, the case where the positional accuracy in the X and Y directions is ensured by using two surfaces of the L-shaped
この実施例4から実施例6で説明したシャフト型リニアモータの構成では、中間部材71、71a、71bと下フレーム14をそれぞれ別部材として扱った場合について説明したが、下フレーム14に中間部材71、71a、71bの構造を有した新たな下フレーム14とした構成においても同様の効果を得ることができる。
In the configuration of the shaft type linear motor described in the fourth to sixth embodiments, the case where the
なお、この発明の実施例1から実施例6では、この発明をシャフト型リニアモータに適用する場合について説明したが、これに限るものではなく、他のリニアモータに適用しても同様の効果を得ることができる。 In the first to sixth embodiments of the present invention, the case where the present invention is applied to a shaft type linear motor has been described. However, the present invention is not limited to this, and the same effect can be obtained when applied to other linear motors. Can be obtained.
1 固定部、2 可動部、11 コイル、12 ボビン、13 上フレーム、14 下フレーム、15 ベース、16 軸受、17 ブラケット、18 カバー、21 永久磁石、22 スペーサ、23 シャフト結合部材、24 シャフト、25 シャフト先端部、26 スケール結合部材、31 すべり軸受、31a すべり軸受、31b すべり軸受、32 摺動部材、32a 摺動部材、32b 摺動部材、35 すべり軸受、41 位置検出器、42 スケール、51 電源用リード線、52 位置検出器用リード線、61 磁束、62a 磁気吸引力、62b 磁気吸引力、71 中間部材、71a 中間部材、71b 中間部材、75 中間部材、 90、 制御部、91 位置制御回路、92 速度制御回路、93 電流制御回路、99 電流検出器、100 シャフト型リニアモータ。
DESCRIPTION OF
Claims (12)
前記可動部は、軸線方向に積層された複数個の永久磁石から成る磁石部と、該磁石部の一方の先端部に配置され、前記固定部内部を軸線方向に摺動案内する磁性材から成る第1摺動部とを備え、
前記固定部は、前記第1摺動部を摺動可能に支持する前記固定部内面に当接された非磁性材から成る第1軸受と、前記固定部内部に設けられ、自身の内空間に磁束を発生させ、前記磁石部に作用させて前記可動部を相対変位させる複数個のコイルとを備え、
前記第1摺動部は、前記第1摺動部中心軸が前記コイルによって形成される内空間の断面中心軸から前記第1軸受側に偏心して配置されると共に前記第1軸受と当接することで、前記永久磁石からの磁気吸引力が偏心方向に作用させることを特徴とするリニアモータ。A linear motor having a fixed part and a movable part located inside the fixed part and provided so as to be relatively displaceable in the axial direction with respect to the fixed part,
The movable part is composed of a magnet part composed of a plurality of permanent magnets stacked in the axial direction, and a magnetic material disposed at one tip of the magnet part and slidingly guiding the inside of the fixed part in the axial direction. A first sliding part,
The fixed portion is provided inside the fixed portion with a first bearing made of a non-magnetic material that is in contact with the inner surface of the fixed portion that slidably supports the first sliding portion. A plurality of coils that generate magnetic flux and act on the magnet portion to relatively displace the movable portion;
The first sliding portion is arranged such that the central axis of the first sliding portion is eccentric to the first bearing side from the central axis of the inner space formed by the coil, and abuts on the first bearing. The linear motor is characterized in that the magnetic attractive force from the permanent magnet acts in an eccentric direction.
前記可動部は、軸線方向に積層された複数個の永久磁石から成る磁石部と、該磁石部の両方の先端部に配置され、前記固定部内部を軸線方向に摺動案内する磁性材から成る第1及び第2摺動部とを備え、
前記固定部は、前記第1及び第2摺動部を摺動可能に支持する前記固定部内面に当接された非磁性材から成る第1及び第2軸受と、前記固定部内部に設けられ、自身の内空間に磁束を発生させ、前記磁石部に作用させて前記可動部を相対変位させる複数個のコイルとを備え、
前記第1及び第2摺動部は、前記第1及び第2摺動部中心軸が前記コイルによって形成される内空間の断面中心軸から前記第1及び第2軸受側に偏心して配置されると共に前記第1及び第2軸受と当接することで、前記永久磁石からの磁気吸引力が偏心方向に作用させることを特徴とするリニアモータ。A linear motor having a fixed part and a movable part located inside the fixed part and provided so as to be relatively displaceable in the axial direction with respect to the fixed part,
The movable part is composed of a magnet part composed of a plurality of permanent magnets stacked in the axial direction, and a magnetic material that is disposed at both ends of the magnet part and slides and guides the inside of the fixed part in the axial direction. Comprising first and second sliding portions;
The fixed portion is provided inside the fixed portion, and first and second bearings made of a nonmagnetic material abutted on the inner surface of the fixed portion that slidably supports the first and second sliding portions. A plurality of coils that generate magnetic flux in their own internal space and act on the magnet part to relatively displace the movable part,
The first and second sliding portions are arranged such that the first and second sliding portion central axes are eccentric from the cross-sectional central axis of the inner space formed by the coil toward the first and second bearings. A linear motor in which the magnetic attraction force from the permanent magnet acts in an eccentric direction by contacting the first and second bearings.
前記可動部は、軸線方向に積層された複数個の永久磁石から成る磁石部と、該磁石部の一方の先端部に配置され、前記固定部内部を軸線方向に摺動案内する磁性材から成る第1摺動部とを備え、
前記固定部は、前記固定部中心軸に対して非回転対称形で前記固定部内面に固着された磁性材から成る第1中間部材と、前記第1摺動部を摺動可能に支持する前記第1中間部材に当接された非磁性材から成る第1軸受と、前記固定部内部に設けられ、自身の内空間に磁束を発生させ、前記磁石部に作用させて前記可動部を相対変位させる複数個のコイルとを備え、
前記第1摺動部は、前記第1軸受と当接することで前記永久磁石からの磁気吸引力が前記第1中間部材側に作用させることを特徴とするリニアモータ。A linear motor having a fixed part and a movable part located inside the fixed part and provided so as to be relatively displaceable in the axial direction with respect to the fixed part,
The movable part is composed of a magnet part composed of a plurality of permanent magnets stacked in the axial direction, and a magnetic material disposed at one tip of the magnet part and slidingly guiding the inside of the fixed part in the axial direction. A first sliding part,
The fixed portion includes a first intermediate member made of a magnetic material fixed to the inner surface of the fixed portion in a non-rotation symmetric manner with respect to the fixed portion central axis, and the first sliding portion slidably supported. A first bearing made of a non-magnetic material that is in contact with the first intermediate member, and a relative displacement of the movable part that is provided inside the fixed part, generates a magnetic flux in its inner space, and acts on the magnet part. A plurality of coils to be
The linear motor according to claim 1, wherein the first sliding portion abuts on the first bearing so that a magnetic attractive force from the permanent magnet acts on the first intermediate member side.
前記可動部は、軸線方向に積層された複数個の永久磁石から成る磁石部と、該磁石部の両方の先端部に配置され、前記固定部内部を軸線方向に摺動案内する磁性材から成る第1及び第2摺動部とを備え、
前記固定部は、前記固定部中心軸に対して非回転対称形で前記固定部内面に固着された磁性材から成る第1及び第2中間部材と、前記第1及び第2摺動部を摺動可能に支持する前記第1及び第2中間部材に当接された非磁性材から成る第1及び第2軸受と、前記固定部内部に設けられ、自身の内空間に磁束を発生させ、前記磁石部に作用させて前記可動部を相対変位させる複数個のコイルとを備え、
前記第1及び第2摺動部は、前記第1及び第2軸受と当接することで前記永久磁石からの磁気吸引力が前記第1及び第2中間部材側に作用させることを特徴とするリニアモータ。A linear motor having a fixed part and a movable part located inside the fixed part and provided so as to be relatively displaceable in the axial direction with respect to the fixed part,
The movable part is composed of a magnet part composed of a plurality of permanent magnets stacked in the axial direction, and a magnetic material that is disposed at both ends of the magnet part and slides and guides the inside of the fixed part in the axial direction. Comprising first and second sliding portions;
The fixed portion slides between the first and second intermediate members made of a magnetic material fixed to the inner surface of the fixed portion in a non-rotation symmetric manner with respect to the central axis of the fixed portion, and the first and second sliding portions. First and second bearings made of a non-magnetic material abutting against the first and second intermediate members that are movably supported, and provided inside the fixed portion, generate magnetic flux in its own internal space, A plurality of coils that act on the magnet portion to relatively displace the movable portion;
The first and second sliding portions are in contact with the first and second bearings so that a magnetic attraction force from the permanent magnet acts on the first and second intermediate members. motor.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2011/001996 WO2012137241A1 (en) | 2011-04-04 | 2011-04-04 | Linear motor |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP5306558B2 true JP5306558B2 (en) | 2013-10-02 |
JPWO2012137241A1 JPWO2012137241A1 (en) | 2014-07-28 |
Family
ID=46968692
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013508620A Expired - Fee Related JP5306558B2 (en) | 2011-04-04 | 2011-04-04 | Linear motor |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5306558B2 (en) |
KR (1) | KR101374464B1 (en) |
CN (1) | CN103460575B (en) |
TW (1) | TWI426684B (en) |
WO (1) | WO2012137241A1 (en) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105103422A (en) * | 2013-04-12 | 2015-11-25 | 三菱电机株式会社 | Movable element and linear motor |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07274475A (en) * | 1994-03-28 | 1995-10-20 | Sofutoronikusu Kk | Linear actuator |
JPH09182408A (en) * | 1995-12-27 | 1997-07-11 | Hitachi Metals Ltd | Linear motor |
JPH09261942A (en) * | 1996-03-26 | 1997-10-03 | Sharp Corp | Linear pulse motor |
JP2010288423A (en) * | 2009-06-15 | 2010-12-24 | Kayaba Ind Co Ltd | Linear actuator |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3820169B2 (en) * | 2002-03-20 | 2006-09-13 | 三菱電機株式会社 | Linear motor and manufacturing method thereof |
JP2006280125A (en) * | 2005-03-30 | 2006-10-12 | Thk Co Ltd | Linear motor actuator |
CN101741215B (en) * | 2008-11-20 | 2012-07-04 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | Permanent magnet synchronous linear motor |
-
2011
- 2011-04-04 KR KR1020137026072A patent/KR101374464B1/en not_active IP Right Cessation
- 2011-04-04 WO PCT/JP2011/001996 patent/WO2012137241A1/en active Application Filing
- 2011-04-04 JP JP2013508620A patent/JP5306558B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-04-04 CN CN201180069957.6A patent/CN103460575B/en not_active Expired - Fee Related
- 2011-04-14 TW TW100112932A patent/TWI426684B/en not_active IP Right Cessation
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07274475A (en) * | 1994-03-28 | 1995-10-20 | Sofutoronikusu Kk | Linear actuator |
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JP2010288423A (en) * | 2009-06-15 | 2010-12-24 | Kayaba Ind Co Ltd | Linear actuator |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2012137241A1 (en) | 2012-10-11 |
KR101374464B1 (en) | 2014-03-17 |
TW201242222A (en) | 2012-10-16 |
KR20130115400A (en) | 2013-10-21 |
CN103460575B (en) | 2015-03-25 |
JPWO2012137241A1 (en) | 2014-07-28 |
CN103460575A (en) | 2013-12-18 |
TWI426684B (en) | 2014-02-11 |
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Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |