JP2012119472A - Flexible magnet, manufacturing method of the flexible magnet, magnetic encoder, and actuator - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a flexible magnet which has strong magnetic force and excellent flexibility.SOLUTION: A flexible magnet M has a first sheet 1 formed by including rare earth magnetic powder in a resin and magnetizing a surface to an N pole and a S pole and a second sheet 2 formed by including ferrite magnetic powder in a resin and secured to a rear surface of the first sheet 1.

Description

本発明は、表面にN極とS極を着磁した可撓性マグネット、可撓性マグネットの製造方法、磁気エンコーダ、アクチュエータに関する。   The present invention relates to a flexible magnet having N and S poles magnetized on its surface, a method of manufacturing a flexible magnet, a magnetic encoder, and an actuator.

帯状の磁性体部材の表面に、N極とS極を交互に着磁したリニア磁気スケールが知られている。
このリニア磁気スケールは、リニア磁気エンコーダの一部として用いられる。すなわち、リニア磁気スケールに対してMRセンサ等の磁気センサを対向配置して相対移動させることで、磁気スケールと磁気センサの相対位置を検出する。例えば、リニアモータの可動部の位置等を検出するリニア磁気エンコーダとして用いられる。
A linear magnetic scale in which N poles and S poles are alternately magnetized on the surface of a strip-shaped magnetic member is known.
This linear magnetic scale is used as a part of a linear magnetic encoder. That is, a relative position between the magnetic scale and the magnetic sensor is detected by disposing a magnetic sensor such as an MR sensor so as to be opposed to the linear magnetic scale. For example, it is used as a linear magnetic encoder that detects the position of a movable part of a linear motor.

リニアモータ等に用いられるリニア磁気エンコーダとしては、外部磁界の影響を受けにくいことが要請される。すなわち、リニア磁気スケールからの磁気出力が大きく安定していることが要請される。このため、ネオジム磁石等の強い磁力を有する磁石が用いられる。   A linear magnetic encoder used for a linear motor or the like is required to be hardly affected by an external magnetic field. That is, it is required that the magnetic output from the linear magnetic scale is large and stable. For this reason, a magnet having a strong magnetic force such as a neodymium magnet is used.

また、リニア磁気スケールは、曲線部分の計測等に用いるために、湾曲可能であることも要請される場合もある。このため、ボンド磁石と呼ばれる柔軟性のある磁石が用いられる。ボンド磁石は、磁石を砕いてゴムやプラスチックに練り込んだものであり、ゴム磁石、塩ビ磁石又はプラスチック磁石などとも呼ばれる。   In addition, the linear magnetic scale may be required to be bendable in order to be used for measuring a curved portion. For this reason, a flexible magnet called a bond magnet is used. Bond magnets are magnets that are crushed and kneaded into rubber or plastic, and are also called rubber magnets, polyvinyl chloride magnets, plastic magnets, or the like.

ところが、ネオジム磁石等をゴム等に練り込んだボンド磁石は、脆いという性質がある。このため、ネオジム磁石等を含むシート状のボンド磁石の裏面側に補強部材としてステンレス板等の金属板を貼り付けたものが用いられている(特許文献1参照)。   However, a bond magnet obtained by kneading a neodymium magnet or the like into rubber or the like has a property of being brittle. For this reason, what adhered the metal plate, such as a stainless steel plate, to the back side of the sheet-like bond magnet containing a neodymium magnet etc. is used (refer patent document 1).

特開平11−148842号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-148842

ネオジム磁石等を含むシート状のボンド磁石の裏面側に金属板等の補強部材を貼り付けたものでは、ボンド磁石本来の柔軟性・可撓性が損なわれてしまう。また、重量化、錆つき、温度変形、高コスト化等の問題が発生する。   In the case where a reinforcing member such as a metal plate is attached to the back side of a sheet-like bond magnet including a neodymium magnet or the like, the original flexibility and flexibility of the bond magnet are impaired. In addition, problems such as weight, rust, temperature deformation, and cost increase occur.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、強い磁力を有すると共に柔軟性に富む可撓性マグネット、可撓性マグネットの製造方法、磁気エンコーダ、アクチュエータを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide a flexible magnet having a strong magnetic force and a high flexibility, a method for manufacturing the flexible magnet, a magnetic encoder, and an actuator. And

本発明は、上記課題を解決するために以下の手段を採用した。
本発明に係る可撓性マグネットは、希土類磁性粉末を樹脂に含有させて形成すると共に表面にN極とS極を着磁した第一シートと、フェライト系磁性粉末を樹脂に含有させて形成すると共に前記第一シートの裏面に固着された第二シートと、を有することを特徴とする。
The present invention employs the following means in order to solve the above problems.
The flexible magnet according to the present invention is formed by containing a rare earth magnetic powder in a resin, and by forming a first sheet having N and S poles magnetized on the surface, and a ferrite magnetic powder in the resin. And a second sheet fixed to the back surface of the first sheet.

本発明に係る可撓性マグネットの製造方法は、希土類磁性粉末を樹脂に含有させて第一シートを形成する工程と、フェライト系磁性粉末を樹脂に含有させて第二シートを形成する工程と、前記第一シート及び前記第二シートを重ね合わせて固着する工程と、前記第一シートの表面にN極とS極を着磁する工程と、を有することを特徴とする。   The method for producing a flexible magnet according to the present invention includes a step of forming a first sheet by containing rare earth magnetic powder in a resin, a step of forming a second sheet by adding ferrite magnetic powder to the resin, The method includes: a step of superimposing and fixing the first sheet and the second sheet; and a step of magnetizing an N pole and an S pole on the surface of the first sheet.

本発明に係る磁気エンコーダは、表面にN極とS極を着磁された磁気スケールと、前記磁気スケールに対して対向配置される磁気センサと、を備える磁気エンコーダにおいて、前記磁気スケールとして、上記可撓性マグネット若しくは上記可撓性マグネットの製造方法により製造された可撓性マグネットを用いることを特徴とする。   A magnetic encoder according to the present invention is a magnetic encoder comprising a magnetic scale whose surface is magnetized with an N pole and an S pole, and a magnetic sensor arranged to face the magnetic scale. A flexible magnet or a flexible magnet manufactured by the method for manufacturing the flexible magnet is used.

本発明に係るアクチュエータは、表面にN極とS極を着磁された磁石部と、複数のコイルを前記磁石部に対向して配列したコイル部と、を備え、前記磁石部の磁界と前記コイルに流れる電流とにより前記磁石部と前記コイル部と相対移動させるアクチュエータにおいて、前記磁石部として、上記可撓性マグネット若しくは上記可撓性マグネットの製造方法により製造された可撓性マグネットを用いることを特徴とする。   An actuator according to the present invention includes a magnet portion having N and S poles magnetized on a surface thereof, and a coil portion in which a plurality of coils are arranged to face the magnet portion, and the magnetic field of the magnet portion and the In the actuator that moves relative to the magnet part and the coil part by the current flowing through the coil, the flexible magnet manufactured by the flexible magnet or the flexible magnet manufacturing method is used as the magnet part. It is characterized by.

本発明に係る可撓性マグネット、可撓性マグネットの製造方法によれば、第二シートが第一シートの補強部材として機能するので、可撓性マグネットを曲げたり捻ったりした場合であっても、第一シートが割れたり裂けたりすることがない。
また、可撓性マグネットは、高強度の磁力を有する第一シートを有するので、磁気スケール等に好適に用いることができる。また、高い柔軟性・可撓性を有するので、可撓性マグネットを湾曲した部位等にその形状に倣って密着して取り付けることができる。
According to the flexible magnet and the method of manufacturing a flexible magnet according to the present invention, the second sheet functions as a reinforcing member for the first sheet. Therefore, even when the flexible magnet is bent or twisted. The first sheet does not crack or tear.
Moreover, since the flexible magnet has the first sheet having a high strength magnetic force, it can be suitably used for a magnetic scale or the like. Moreover, since it has high softness | flexibility and flexibility, a flexible magnet can be attached in close contact with the curved part etc. according to the shape.

本発明に係る磁気エンコーダ、アクチュエータによれば、第一シートが強い磁力を発生するので、磁気エンコーダは検出精度の向上や安定化を図ることができ、アクチュエータは高い推進力を得ることができる。   According to the magnetic encoder and the actuator according to the present invention, the first sheet generates a strong magnetic force. Therefore, the magnetic encoder can improve and stabilize the detection accuracy, and the actuator can obtain a high driving force.

本発明の実施形態に係るアクチュエータ(リニアモータ)の概略構成を示す斜視図である。It is a perspective view showing a schematic structure of an actuator (linear motor) concerning an embodiment of the present invention. ベース及びテーブルを示す拡大斜視図(一部断面図)である。It is an expansion perspective view (partial sectional view) showing a base and a table. アクチュエータの概略構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows schematic structure of an actuator. コイル部を示す斜視図である。It is a perspective view which shows a coil part. リニアガイドの構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of a linear guide. 本発明の実施形態に係る可撓性マグネットの構成を示す斜視図及び断面図である。It is the perspective view and sectional drawing which show the structure of the flexible magnet which concerns on embodiment of this invention.

以下、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。
図1は、本発明の実施形態に係るアクチュエータA(リニアモータ5)の概略構成を示す斜視図である。
図2は、ベース10及びテーブル20を示す拡大斜視図(一部断面図)である。
図3は、リニアモータ5の概略構成を示す断面図である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
FIG. 1 is a perspective view showing a schematic configuration of an actuator A (linear motor 5) according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is an enlarged perspective view (partially sectional view) showing the base 10 and the table 20.
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of the linear motor 5.

アクチュエータAは、リニアモータ5と、それを制御するモータドライバ80(制御装置)と、モータドライバ80に接続されたユーザー端末90(情報処理装置)と、を備える。
リニアモータ5は、一軸方向(X方向)に細長く伸びるベース10と、ベース10に対して摺動自在に設けられたテーブル20と、からなる。
また、ベース10とテーブル20の間には、一対のリニアガイド50が設けられ、ベース10に対してテーブル20が円滑に摺動可能となっている。
The actuator A includes a linear motor 5, a motor driver 80 (control device) that controls the linear motor 5, and a user terminal 90 (information processing device) connected to the motor driver 80.
The linear motor 5 includes a base 10 that is elongated in one axial direction (X direction) and a table 20 that is slidable with respect to the base 10.
A pair of linear guides 50 is provided between the base 10 and the table 20 so that the table 20 can slide smoothly with respect to the base 10.

ベース10に対するテーブル20の位置・速度・加速度は、リニア磁気エンコーダ60により検出される(図3参照)。リニア磁気エンコーダ60は、例えば、1μm程度の分解能を有している。
リニア磁気エンコーダ60は、ベース10に取り付けられた磁気スケール61と、テーブル20に取り付けられた磁気センサ62等とから構成される。
The position / velocity / acceleration of the table 20 with respect to the base 10 is detected by the linear magnetic encoder 60 (see FIG. 3). The linear magnetic encoder 60 has a resolution of about 1 μm, for example.
The linear magnetic encoder 60 includes a magnetic scale 61 attached to the base 10 and a magnetic sensor 62 attached to the table 20.

磁気スケール61は、細長い矩形の磁性体からなり、その上面を、N極とS極が交互に一定のピッチ(例えば2mm)になるように着磁したものである。
磁気スケール61は、ベース10の側壁部12の外面側に、ベース10の長手方向(X方向)に沿って密着配置される。
The magnetic scale 61 is made of an elongated rectangular magnetic body, and its upper surface is magnetized so that N poles and S poles alternately have a constant pitch (for example, 2 mm).
The magnetic scale 61 is disposed in close contact with the outer surface of the side wall 12 of the base 10 along the longitudinal direction (X direction) of the base 10.

この磁気スケール61として、可撓性マグネットMが用いられる(図6参照)。
可撓性マグネットMは、強い磁力を有する第一シート1と、第一シート1の裏面1bに溶着された弱い磁力を有する第二シート2の二層構造に形成されたボンド磁石である。第一シート1の表面(上面)にN極とS極を交互に一定のピッチで長手方向に沿って着磁される。可撓性マグネットMの詳細構成については後述する。
そして、可撓性マグネットMは、ベース10の長手方向(X方向)に沿って固定される。具体的には、裏面側の第二シート2をベース10の底壁部11の間に両面テープや接着剤を配置して密着固定する。これにより、表側の第一シート1が磁気スケールとして機能する。
A flexible magnet M is used as the magnetic scale 61 (see FIG. 6).
The flexible magnet M is a bonded magnet formed in a two-layer structure of a first sheet 1 having a strong magnetic force and a second sheet 2 having a weak magnetic force welded to the back surface 1 b of the first sheet 1. On the surface (upper surface) of the first sheet 1, N poles and S poles are alternately magnetized along the longitudinal direction at a constant pitch. The detailed configuration of the flexible magnet M will be described later.
The flexible magnet M is fixed along the longitudinal direction (X direction) of the base 10. Specifically, the second sheet 2 on the back surface side is closely fixed by placing a double-sided tape or an adhesive between the bottom wall portions 11 of the base 10. Thereby, the first sheet 1 on the front side functions as a magnetic scale.

磁気センサ62は、MR素子により磁気スケール61の磁気を検出し、磁気スケール61に沿って相対移動することで正弦波信号を出力するものである。
磁気センサ62が検出した信号は、不図示の信号処理部を介して、モータドライバ80に送られる。そして、モータドライバ80は、ユーザー端末90からの位置指令に基づいてテーブル20が指令位置に移動するように、コイル部40に供給する電流を制御する。このようにして、リニアモータ5の制御が行われる。
The magnetic sensor 62 detects the magnetism of the magnetic scale 61 with an MR element, and outputs a sine wave signal by relatively moving along the magnetic scale 61.
The signal detected by the magnetic sensor 62 is sent to the motor driver 80 via a signal processing unit (not shown). And the motor driver 80 controls the electric current supplied to the coil part 40 so that the table 20 moves to a command position based on the position command from the user terminal 90. In this way, the linear motor 5 is controlled.

リニアモータ5の制御方法としては、フィードバック制御等が行われる。すなわち、テーブル20が検出したテーブル20の位置情報、速度情報、加速度情報をモータドライバ80に送り、目標値(指令値)との差分を算出し、テーブル20の位置、速度、加速度が目標値に近づくようにコイル部40の3つのコイル41に対する三相交流電流を制御する。   As a control method of the linear motor 5, feedback control or the like is performed. That is, the position information, speed information, and acceleration information of the table 20 detected by the table 20 are sent to the motor driver 80, and the difference from the target value (command value) is calculated. The three-phase alternating current with respect to the three coils 41 of the coil part 40 is controlled so that it may approach.

ベース10は、細長い矩形の底壁部11と、この底壁部11の幅方向(Y方向)の両端に垂直に設けられた一対の側壁部12とから形成される。ベース10は、例えば、鉄鋼等の磁性体材料又はアルミニウム等の非磁性体材から形成される。
ベース10の底壁部11の上面には、複数のマグネットが配列された磁石部30が取り付けられる。
また、ベース10の側壁部12のそれぞれの上面には、リニアガイド50の軌道レール51が一軸方向に沿って配置される。この2本の軌道レール51は平行に配置され、それぞれ2つの移動ブロック52が取り付けられる。
The base 10 is formed of an elongated rectangular bottom wall portion 11 and a pair of side wall portions 12 provided perpendicular to both ends in the width direction (Y direction) of the bottom wall portion 11. The base 10 is made of, for example, a magnetic material such as steel or a nonmagnetic material such as aluminum.
A magnet portion 30 in which a plurality of magnets are arranged is attached to the upper surface of the bottom wall portion 11 of the base 10.
Further, the track rails 51 of the linear guide 50 are arranged along the uniaxial direction on the upper surfaces of the side wall portions 12 of the base 10. The two track rails 51 are arranged in parallel, and two moving blocks 52 are attached to each.

テーブル20は、アルミニウム等の非磁性材料からなり、矩形の板状に形成される。
テーブル20の下面20bの四隅には、リニアガイド50の移動ブロック52が取り付けられる。そして、この移動ブロック52は、上述した2本の軌道レール51に取り付けられる。すなわち、テーブル20は、一対のリニアガイド50により、ベース10に直線運動可能に支持される。
The table 20 is made of a nonmagnetic material such as aluminum and is formed in a rectangular plate shape.
The moving blocks 52 of the linear guide 50 are attached to the four corners of the lower surface 20b of the table 20. The moving block 52 is attached to the two track rails 51 described above. In other words, the table 20 is supported on the base 10 by the pair of linear guides 50 so as to be linearly movable.

また、テーブル20の下面のうち、4つの移動ブロック52の間には、3つのコイル41等からなるコイル部40が吊り下げられる。この3つのコイル41は三相コイル(電機子)として機能する。
そして、ベース10に取り付けられた磁石部30と、テーブル20に取り付けられたコイル部40との間には、ギャップgが設定される。このギャップgは、テーブル20が一対のリニアガイド50によりベース10に対して直線運動しても一定に維持される。
In addition, a coil unit 40 including three coils 41 and the like is suspended between the four moving blocks 52 on the lower surface of the table 20. The three coils 41 function as a three-phase coil (armature).
A gap g is set between the magnet portion 30 attached to the base 10 and the coil portion 40 attached to the table 20. The gap g is kept constant even when the table 20 moves linearly with respect to the base 10 by the pair of linear guides 50.

磁石部30は、コイル部40に向けて磁界を発生させるものである。具体的には、磁石部30は、細長い矩形板状に形成された磁石であり、その表面(上面)がN極とS極を交互に一定のピッチでベース10の長手方向(X方向)に沿って着磁したものである。   The magnet unit 30 generates a magnetic field toward the coil unit 40. Specifically, the magnet unit 30 is a magnet formed in an elongated rectangular plate shape, and the surface (upper surface) of the base 10 in the longitudinal direction (X direction) of the base 10 is alternately arranged at a constant pitch. It is magnetized along.

この磁石部30として、可撓性マグネットMが用いられる(図6参照)。
磁石部30に用いられる可撓性マグネットMは、磁気スケール61に用いられる可撓性マグネットMと同一構成を有する。もっとも、形状寸法、磁力及び着磁ピッチなどは、磁石部30の要求仕様に合わせて変更されたものとなっている。
そして、可撓性マグネットMは、ベース10の長手方向(X方向)に沿って固定される。具体的には、裏面側の第二シート2とベース10の底壁部11の間に両面テープや接着剤を配置して密着固定する。これにより、表側の第一シート1からコイル部40に向けて磁界を発生させる。
A flexible magnet M is used as the magnet unit 30 (see FIG. 6).
The flexible magnet M used for the magnet unit 30 has the same configuration as the flexible magnet M used for the magnetic scale 61. However, the shape dimensions, magnetic force, magnetization pitch, and the like are changed according to the required specifications of the magnet unit 30.
The flexible magnet M is fixed along the longitudinal direction (X direction) of the base 10. Specifically, a double-sided tape or an adhesive is placed between the second sheet 2 on the back surface side and the bottom wall portion 11 of the base 10 to fix it tightly. Thereby, a magnetic field is generated from the first sheet 1 on the front side toward the coil unit 40.

図4は、コイル部40を示す斜視図である。
テーブル20の下面の中央部には、三相コイルとして機能する3つのコイル41とコア42からなる電機子としてのコイル部40が取り付けられる。コア42の材質は、ケイ素鋼等の磁性体である。コア42は、三相コイル(コイル41)に発生する磁界を強める3つの櫛歯42a,42b,42cを有する。
3つのコイル41は、コア42の3つの櫛歯42a,42b,42cの周囲にそれぞれ巻かれ、U相コイル41a、V相コイル41b、W相コイル41cとなる。3つのコイル41は、テーブル20の移動方向に沿って並べられる。
FIG. 4 is a perspective view showing the coil unit 40.
A coil portion 40 as an armature composed of three coils 41 functioning as a three-phase coil and a core 42 is attached to the central portion of the lower surface of the table 20. The material of the core 42 is a magnetic material such as silicon steel. The core 42 has three comb teeth 42a, 42b, and 42c that strengthen the magnetic field generated in the three-phase coil (coil 41).
The three coils 41 are respectively wound around the three comb teeth 42a, 42b, and 42c of the core 42 to form a U-phase coil 41a, a V-phase coil 41b, and a W-phase coil 41c. The three coils 41 are arranged along the moving direction of the table 20.

そして、3つのコイル41には、120度ずつ位相が異なる三相交流電流が流される。これにより、コイル部40から進行磁界が発生する。これにより、磁石部30に発生する磁界との作用により、コイル部40(テーブル20)に推力が発生する。
コイル部40の3つのコイル41に流れる電流は、モータドライバ80によって制御される。
The three coils 41 are supplied with three-phase alternating currents having different phases by 120 degrees. As a result, a traveling magnetic field is generated from the coil unit 40. Thereby, a thrust is generated in the coil unit 40 (table 20) by the action of the magnetic field generated in the magnet unit 30.
The current flowing through the three coils 41 of the coil unit 40 is controlled by the motor driver 80.

図5は、リニアガイド50の斜視図を示す。
リニアガイド50は、ベース10の側壁部12の上面に取り付けられた軌道レール51を有する。
軌道レール51には、長手方向に所定のピッチで複数の取付け孔51bが開けられる。取付け孔51bにボルトを通し、ボルトをベース10の側壁部12のねじ孔にねじ込むことによって、軌道レール51が側壁部12に固定される。
軌道レール51には、長手方向に沿ってボール55が転がる複数条のボール転走溝51aが形成される。ボール転走溝51aの断面形状は、ボール55の半径よりも僅かに大きい単一の円弧からなるサーキュラーアーク溝形状、または二つの円弧からなるゴシックアーチ溝形状である。
ボール転走溝51aは、軌道レール51の側面だけでなく、軌道レール51の上面にも形成されている。軌道レール51の上面にボール転走溝51aを形成することで、リニアガイド50の垂直方向の剛性を高めることができる。
FIG. 5 shows a perspective view of the linear guide 50.
The linear guide 50 has a track rail 51 attached to the upper surface of the side wall portion 12 of the base 10.
A plurality of mounting holes 51b are formed in the track rail 51 at a predetermined pitch in the longitudinal direction. The track rail 51 is fixed to the side wall portion 12 by passing a bolt through the mounting hole 51 b and screwing the bolt into the screw hole of the side wall portion 12 of the base 10.
A plurality of ball rolling grooves 51a in which the balls 55 roll along the longitudinal direction are formed on the track rail 51. The cross-sectional shape of the ball rolling groove 51a is a circular arc groove shape made of a single arc slightly larger than the radius of the ball 55, or a Gothic arch groove shape made of two arcs.
The ball rolling groove 51 a is formed not only on the side surface of the track rail 51 but also on the upper surface of the track rail 51. By forming the ball rolling groove 51 a on the upper surface of the track rail 51, the vertical rigidity of the linear guide 50 can be increased.

移動ブロック52は、軌道レール51を跨る鞍形状に形成される。移動ブロック52には、軌道レール51のボール転走溝51aに対向する負荷ボール転走溝52aが形成されると共に、負荷ボール転走溝52aを含むボール循環路が形成される。
移動ブロック52の一軸方向の各端面にはエンドプレート53が取り付けられる。ボール循環経路は、負荷ボール転走溝52aと、負荷ボール転走溝52aと平行に伸びるボール戻し路52bと、エンドプレート53に形成されて負荷ボール転走溝52aの端部とボール戻し路52bの端部とを接続するU字状の方向転換路52cと、から構成され、全体がサーキット状に形成される。
そして、ボール循環経路には複数のボール55が配列・収容される。
移動ブロック52には、テーブル20を取り付けるための取付けねじ52dが加工される。そして、移動ブロック52は、テーブル20の下面20bにねじ止めされる。
The moving block 52 is formed in a bowl shape straddling the track rail 51. In the moving block 52, a load ball rolling groove 52a facing the ball rolling groove 51a of the track rail 51 is formed, and a ball circulation path including the load ball rolling groove 52a is formed.
An end plate 53 is attached to each end face of the moving block 52 in the uniaxial direction. The ball circulation path includes a load ball rolling groove 52a, a ball return path 52b extending in parallel with the load ball rolling groove 52a, an end plate 53 and an end of the load ball rolling groove 52a and the ball return path 52b. And a U-shaped direction change path 52c connecting the end portions of the two, and the whole is formed in a circuit shape.
A plurality of balls 55 are arranged and accommodated in the ball circulation path.
A mounting screw 52d for mounting the table 20 is processed on the moving block 52. The moving block 52 is screwed to the lower surface 20 b of the table 20.

軌道レール51に対して移動ブロック52を相対的に移動させると、軌道レール51のボール転走溝51aと移動ブロック52の負荷ボール転走溝52aとの間に介在されたボール55が転がり運動する。負荷ボール転走溝52aの一端まで転がったボール55は、方向転換路52cに導かれ、ボール戻し路52b及び反対側の方向転換路52cを経由した後、負荷ボール転走溝52aの他端に戻される。軌道レール51と移動ブロック52との間にボール55を介在させることによって、軌道レール51に対して移動ブロック52が移動するときの抵抗を低減できる。   When the moving block 52 is moved relative to the track rail 51, the ball 55 interposed between the ball rolling groove 51a of the track rail 51 and the loaded ball rolling groove 52a of the moving block 52 rolls. . The ball 55 rolled to one end of the load ball rolling groove 52a is guided to the direction changing path 52c, passes through the ball return path 52b and the opposite direction changing path 52c, and then to the other end of the load ball rolling groove 52a. Returned. By interposing the ball 55 between the track rail 51 and the moving block 52, the resistance when the moving block 52 moves with respect to the track rail 51 can be reduced.

次に、可撓性マグネットMの詳細構成について説明する。
図6は、本発明の実施形態に係る可撓性マグネットMの構成を示す斜視図及び断面図である。
可撓性マグネットMは、細長い矩形板状に形成されたシート状のボンド磁石である。可撓性マグネットMは、強い磁力を有する第一シート1と、第一シート1の裏面1bに溶着された弱い磁力を有する第二シート2とから構成される。すなわち、可撓性マグネットMは、第一シート1と第二シート2の二層構造に形成されたボンド磁石である。
Next, a detailed configuration of the flexible magnet M will be described.
FIG. 6 is a perspective view and a sectional view showing the configuration of the flexible magnet M according to the embodiment of the present invention.
The flexible magnet M is a sheet-like bond magnet formed in an elongated rectangular plate shape. The flexible magnet M includes a first sheet 1 having a strong magnetic force and a second sheet 2 having a weak magnetic force welded to the back surface 1b of the first sheet 1. That is, the flexible magnet M is a bonded magnet formed in a two-layer structure of the first sheet 1 and the second sheet 2.

第一シート1は、例えば、短手方向が10mm、長手方向が1m、厚みが1mmに形成される。また、第一シート1の表面1aは、長手方向に例えば2mmピッチで、N極とS極が交互に着磁される。
第一シート1は、希土類磁性粉末を加硫ゴムやエラストマー等のバインダー樹脂に練り込んで細長い矩形板状に形成したものである。希土類磁性粉末としては、ネオジム、サマリウム−コバルト又はサマリウム−窒化鉄等の粉末が用いられる。したがって、第一シート1は、高強度の磁力を発生する。
The first sheet 1 is formed with, for example, a short side direction of 10 mm, a long side direction of 1 m, and a thickness of 1 mm. The surface 1a of the first sheet 1 is alternately magnetized with N and S poles at a pitch of 2 mm in the longitudinal direction, for example.
The first sheet 1 is formed by kneading rare earth magnetic powder into a binder resin such as vulcanized rubber or elastomer to form an elongated rectangular plate. As the rare earth magnetic powder, a powder of neodymium, samarium-cobalt, samarium-iron nitride or the like is used. Therefore, the first sheet 1 generates a high strength magnetic force.

第二シート2は、第一シート1と同一形状に形成される。すなわち、第二シート2は、例えば、短手方向が10mm、長手方向が1mに形成される。第二シート2の厚みは、第一シート1よりも厚く形成される。例えば、第二シート2の厚みは、3mmに形成される。
第二シート2は、フェライト系磁性粉末を加硫ゴムやエラストマー等のバインダー樹脂に練り込んで細長い矩形板状に形成したものである。
フェライト系磁性粉末としては、マンガン亜鉛フェライト、ニッケル亜鉛フェライト、銅亜鉛フェライト等の粉末が用いられる。したがって、第二シート2は、第一シート1に比べて弱い磁力を発生する。
The second sheet 2 is formed in the same shape as the first sheet 1. That is, the second sheet 2 is formed with, for example, a short side direction of 10 mm and a long side direction of 1 m. The second sheet 2 is formed thicker than the first sheet 1. For example, the thickness of the second sheet 2 is 3 mm.
The second sheet 2 is formed in the shape of an elongated rectangular plate by kneading ferrite magnetic powder in a binder resin such as vulcanized rubber or elastomer.
As the ferrite-based magnetic powder, manganese zinc ferrite, nickel zinc ferrite, copper zinc ferrite and the like are used. Therefore, the second sheet 2 generates a weak magnetic force as compared with the first sheet 1.

可撓性マグネットMは、以下の工程を経て製造される。
まず、第一シート1と第二シート2は、それぞれ別個に形成される。つまり、磁性粉末を加硫ゴム等のバインダー樹脂に練り込んで細長い矩形板状に形成する。この際、第一シート1と第二シート2に用いるバインダー樹脂は、同一であることが好ましい。第一シート1と第二シート2の硬度、柔軟性、可撓性を一致させるためである。
バインダー樹脂に対する磁性粉末(ネオジム、フェライト等)の含有率は、任意に設定することができる。例えば、80パーセント以上の磁性粉末を含有させることで、十分な磁力を得ることができる。
The flexible magnet M is manufactured through the following steps.
First, the first sheet 1 and the second sheet 2 are formed separately. That is, the magnetic powder is kneaded into a binder resin such as vulcanized rubber to form an elongated rectangular plate. At this time, the binder resin used for the first sheet 1 and the second sheet 2 is preferably the same. This is because the hardness, flexibility, and flexibility of the first sheet 1 and the second sheet 2 are matched.
The content of magnetic powder (neodymium, ferrite, etc.) with respect to the binder resin can be arbitrarily set. For example, a sufficient magnetic force can be obtained by containing 80 percent or more of magnetic powder.

次に、第一シート1と第二シート2を重ね合わせた上で、加熱して、第一シート1と第二シート2を溶着する。例えば、プレス成形機を用いて第一シート1と第二シート2を溶着する。第一シート1の厚みが1mm、第二シート2の厚みが3mmの場合には、4mm厚の可撓性マグネットMが得られる。   Next, after the first sheet 1 and the second sheet 2 are overlapped, the first sheet 1 and the second sheet 2 are welded by heating. For example, the first sheet 1 and the second sheet 2 are welded using a press molding machine. When the thickness of the first sheet 1 is 1 mm and the thickness of the second sheet 2 is 3 mm, a flexible magnet M having a thickness of 4 mm is obtained.

最後に、第一シート1の表面1aに、N極とS極を交互に着磁する。N極とS極の配置ピッチは、任意に設定することができる。
前述するように、可撓性マグネットMを磁気スケールとして用いる場合には、例えば2mmピッチ、リニアモータの磁石部として用いる場合には、例えば数mm〜数十mmピッチで着磁する。
なお、第一シート1の表面1aを着磁する際に、第一シート2が同時に着磁されても構わない。
Finally, N poles and S poles are alternately magnetized on the surface 1 a of the first sheet 1. The arrangement pitch of the N pole and the S pole can be arbitrarily set.
As described above, when the flexible magnet M is used as a magnetic scale, it is magnetized at a pitch of 2 mm, for example, and when it is used as a magnet part of a linear motor, it is magnetized at a pitch of several mm to several tens of mm, for example.
In addition, when magnetizing the surface 1a of the 1st sheet | seat 1, the 1st sheet | seat 2 may be magnetized simultaneously.

可撓性マグネットMは、高強度の磁力を有する第一シート1を有する。したがって、磁石部30や磁気スケール61等に好適に用いることができる。
その一方で、第一シート1は、ネオジム等の磁性粉末を含有するため脆いという性質を有するが、第一シート1に対して第二シート2を重ねて溶着しているので、可撓性マグネットMを曲げたり捻ったりした場合であっても、第一シート1が割れたり裂けたりすることがない。すなわち、第二シート2が第一シート1の補強部材として機能する。
The flexible magnet M includes a first sheet 1 having a high strength magnetic force. Therefore, it can be suitably used for the magnet unit 30 and the magnetic scale 61.
On the other hand, the first sheet 1 contains a magnetic powder such as neodymium and is brittle, but the second sheet 2 is overlapped and welded to the first sheet 1, so that the flexible magnet Even if M is bent or twisted, the first sheet 1 does not break or tear. That is, the second sheet 2 functions as a reinforcing member for the first sheet 1.

さらに、第二シート2は、第一シート1のバックヨークとしても機能する。つまり、第一シート1からの磁力線を集中させる継鉄として機能する。したがって、第一シート1は、その表面1aから強く安定した磁力を発生できる。
特に、第一シート1の補強部材として、ボンド磁石である第二シート2を用いたので、可撓性マグネットMの柔軟性・可撓性は、ボンド磁石本来のものとなる。つまり、補強部材として金属板を用いた従来例に比べて、高い柔軟性・可撓性を有する。したがって、可撓性マグネットMを、湾曲した部位等にその形状に倣って密着して取り付けることができる。
Further, the second sheet 2 also functions as a back yoke for the first sheet 1. That is, it functions as a yoke that concentrates the magnetic lines of force from the first sheet 1. Therefore, the first sheet 1 can generate a strong and stable magnetic force from the surface 1a.
In particular, since the second sheet 2 that is a bonded magnet is used as the reinforcing member of the first sheet 1, the flexibility and flexibility of the flexible magnet M are the original ones of the bonded magnet. That is, it has higher flexibility and flexibility than the conventional example using a metal plate as the reinforcing member. Therefore, the flexible magnet M can be attached in close contact with a curved portion or the like following its shape.

そして、このような可撓性マグネットMは、リニアモータ5の磁石部30やリニア磁気エンコーダ60の磁気スケール61等に好適に用いることができる。
特に、第一シート1が強い磁力を発生するので、リニアモータ5は高い推進力を得ることができ、リニア磁気エンコーダ60(磁気スケール61)は検出精度の向上や安定化を得ることができる。
Such a flexible magnet M can be suitably used for the magnet unit 30 of the linear motor 5, the magnetic scale 61 of the linear magnetic encoder 60, and the like.
In particular, since the first sheet 1 generates a strong magnetic force, the linear motor 5 can obtain a high driving force, and the linear magnetic encoder 60 (magnetic scale 61) can improve detection accuracy and can be stabilized.

上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。   Various shapes, combinations, and the like of the constituent members shown in the above-described embodiments are examples, and various modifications can be made based on design requirements and the like without departing from the gist of the present invention.

第一シート1の表面に、一方向に沿って、N極とS極を交互に着磁する場合について説明したが、これに限らない。すなわち、第一シート1の表面に、任意の磁気パターンを形成してもよい。
また、例えば、第一シート1の表面に、任意の曲線に沿って、N極とS極を交互に着磁する場合であってもよい。
また、例えば、第一シート1の表面に、二方向に沿ってN極とS極を交互に着磁する場合であってもよい。例えば、平面モータの磁石部や、二方向の位置検出を行う磁気エンコーダの磁気スケールとして用いることができる。
Although the case where the N pole and the S pole are alternately magnetized on the surface of the first sheet 1 along one direction has been described, the present invention is not limited thereto. That is, an arbitrary magnetic pattern may be formed on the surface of the first sheet 1.
Further, for example, the surface of the first sheet 1 may be alternately magnetized with N and S poles along an arbitrary curve.
In addition, for example, the surface of the first sheet 1 may be alternately magnetized with N and S poles along two directions. For example, it can be used as a magnetic scale of a planar motor or a magnetic encoder for detecting a position in two directions.

また、第一シート1の表面に着磁するN極とS極は、一定ピッチに限らず、任意の間隔で着磁してもよい。   Further, the N pole and S pole magnetized on the surface of the first sheet 1 are not limited to a constant pitch, and may be magnetized at an arbitrary interval.

可撓性マグネットMを直線形状の磁石部30や磁気スケール61に用いる場合について説明したが、これらが湾曲したり、折れ曲がったりする形状の場合であってもよい。   Although the case where the flexible magnet M is used for the linear magnet portion 30 and the magnetic scale 61 has been described, the flexible magnet M may be curved or bent.

また、リニアガイド50の転動体として複数のボール55が用いられる場合に限らず、ローラ等の転動体を用いても構わない。また、リニアガイド50に代えて、すべり案内機構を用いてもよい。   Further, the present invention is not limited to the case where a plurality of balls 55 are used as the rolling elements of the linear guide 50, and rolling elements such as rollers may be used. Further, instead of the linear guide 50, a sliding guide mechanism may be used.

第二シート2の厚みを第一シート1のよりも厚くする場合について説明したが、両者の厚みを同一にしてもよい。
もっとも、第二シート2を第一シート1よりも厚くする方が好ましい。なぜなら、第二シート2の厚みが薄すぎると、第一シート1から出た磁束(磁力線)が第二シート2を抜けて外部への漏れ磁束となるからである。つまり、第二シート2(フェライト)は、第一シート1(ネオジム等)に比べて飽和磁束密度が小さいので、第一シート1からの磁束を外部へ漏らさないためには、第二シート2を第一シート1よりも厚くして第二シート2の内部を通過できる磁束を増やす必要があるからである。
Although the case where the thickness of the 2nd sheet 2 was made thicker than the 1st sheet 1 was demonstrated, you may make both thickness the same.
However, it is preferable to make the second sheet 2 thicker than the first sheet 1. This is because if the thickness of the second sheet 2 is too thin, the magnetic flux (lines of magnetic force) emitted from the first sheet 1 passes through the second sheet 2 and becomes a leakage magnetic flux to the outside. That is, since the second sheet 2 (ferrite) has a lower saturation magnetic flux density than the first sheet 1 (neodymium etc.), in order not to leak the magnetic flux from the first sheet 1 outside, This is because it is necessary to increase the magnetic flux that can be made thicker than the first sheet 1 and pass through the inside of the second sheet 2.

可撓性マグネットMを固定する際に、両面テープや接着剤を用いる場合について説明したが、これに限らない。可撓性マグネットMを磁性体材料(鉄鋼など)に固定する場合には、ボルト等の締結部材や接着剤などを用いずに、可撓性マグネットM(第二シート2)自身の磁気を利用して、磁性体材料に密着固定してもよい。この場合には、可撓性マグネットMの取り付け位置の修正や可撓性マグネットMの交換を容易に行うことができ、メンテナンス性に優れる。   Although the case where a double-sided tape or an adhesive is used when fixing the flexible magnet M has been described, the present invention is not limited thereto. When fixing the flexible magnet M to a magnetic material (such as steel), the magnetism of the flexible magnet M (second sheet 2) itself is used without using a fastening member such as a bolt or an adhesive. Then, the magnetic material may be tightly fixed. In this case, the attachment position of the flexible magnet M and the replacement of the flexible magnet M can be easily performed, and the maintenance is excellent.

M…可撓性マグネット、 1…第一シート、 1b…裏面、 2…第二シート、 A…アクチュエータ、 5…リニアモータ、 30…磁石部、 60…リニア磁気エンコーダ、 61…磁気スケール、 62…磁気センサ   M ... Flexible magnet, 1 ... First sheet, 1b ... Back surface, 2 ... Second sheet, A ... Actuator, 5 ... Linear motor, 30 ... Magnet part, 60 ... Linear magnetic encoder, 61 ... Magnetic scale, 62 ... Magnetic sensor

Claims (5)

希土類磁性粉末を樹脂に含有させて形成すると共に表面にN極とS極を着磁した第一シートと、
フェライト系磁性粉末を樹脂に含有させて形成すると共に前記第一シートの裏面に固着された第二シートと、
を有することを特徴とする可撓性マグネット。
A first sheet formed by adding rare earth magnetic powder to a resin and magnetizing a north pole and a south pole on the surface;
A second sheet that is formed by adding a ferrite-based magnetic powder to the resin and is fixed to the back surface of the first sheet;
A flexible magnet characterized by comprising:
前記希土類磁性粉末は、ネオジム、サマリウム−コバルト又はサマリウム−窒化鉄の粉末であることを特徴とする請求項1に記載の可撓性マグネット。   The flexible magnet according to claim 1, wherein the rare earth magnetic powder is a powder of neodymium, samarium-cobalt, or samarium-iron nitride. 希土類磁性粉末を樹脂に含有させて第一シートを形成する工程と、
フェライト系磁性粉末を樹脂に含有させて第二シートを形成する工程と、
前記第一シート及び前記第二シートを重ね合わせて固着する工程と、
前記第一シートの表面にN極とS極を着磁する工程と、
を有することを特徴とする可撓性マグネットの製造方法。
Forming a first sheet by adding rare earth magnetic powder to the resin;
Including a ferrite magnetic powder in the resin to form the second sheet;
A step of stacking and fixing the first sheet and the second sheet;
Magnetizing N and S poles on the surface of the first sheet;
The manufacturing method of the flexible magnet characterized by having.
表面にN極とS極を着磁された磁気スケールと、
前記磁気スケールに対して対向配置される磁気センサと、
を備える磁気エンコーダにおいて、
前記磁気スケールとして、請求項1又は2に記載の可撓性マグネット若しくは請求項3に記載の可撓性マグネットの製造方法により製造された可撓性マグネットを用いることを特徴とする磁気エンコーダ。
A magnetic scale with N and S poles magnetized on the surface;
A magnetic sensor disposed opposite to the magnetic scale;
In a magnetic encoder comprising:
A magnetic encoder using the flexible magnet according to claim 1 or 2 or the flexible magnet manufactured by the method for manufacturing a flexible magnet according to claim 3 as the magnetic scale.
表面にN極とS極を着磁された磁石部と、
複数のコイルを前記磁石部に対向して配列したコイル部と、
を備え、
前記磁石部の磁界と前記コイルに流れる電流とにより前記磁石部と前記コイル部と相対移動させるアクチュエータにおいて、
前記磁石部として、請求項1又は2に記載の可撓性マグネット若しくは請求項3に記載の可撓性マグネットの製造方法により製造された可撓性マグネットを用いることを特徴とするアクチュエータ。
A magnet portion magnetized with N and S poles on the surface;
A coil portion in which a plurality of coils are arranged to face the magnet portion;
With
In the actuator that relatively moves the magnet part and the coil part by the magnetic field of the magnet part and the current flowing in the coil,
The actuator using the flexible magnet manufactured by the manufacturing method of the flexible magnet of Claim 1 or 2, or the flexible magnet of Claim 3 as said magnet part.
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