JPH09182408A - Linear motor - Google Patents

Linear motor

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JPH09182408A
JPH09182408A JP34088195A JP34088195A JPH09182408A JP H09182408 A JPH09182408 A JP H09182408A JP 34088195 A JP34088195 A JP 34088195A JP 34088195 A JP34088195 A JP 34088195A JP H09182408 A JPH09182408 A JP H09182408A
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JP
Japan
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linear motor
sleeve
magnetic
axial direction
coil
Prior art date
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Application number
JP34088195A
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Japanese (ja)
Inventor
Teruo Umehara
輝雄 梅原
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Neomax Kiko Co Ltd
Proterial Ltd
Original Assignee
Hitachi Metals Ltd
Hitachi Metals Kiko Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH09182408A publication Critical patent/JPH09182408A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain the multipolar multiphase linear motor, which has large thrust and can achieve space saving and unitization, by providing a movable part, which is protruding to the outside through the opening parts of sleeves. SOLUTION: A plurality of magnetic poles for a magnetic field system are formed in the axial direction of the outer surface of a magnetic circuit part 15 for a magnetic field system. For a stator 20, sleeves 3 and 4 are arranged so as to face each other through the magnetic circuit part 15 for the magnetic field system 15 and a magnetic gap 9. In the magnetic gap 9, coils 7a-7c generating thrust are provided. Furthermore, a movable part 30 is arranged along the axial direction of the magnetic circuit part 15 for the magnetic field system freely movably and made to protrude to the outside through the opening parts of the sleeves 3 and 4. Thus, the linear motor having the large thrust can be constituted. Furthermore, space saving (compactification) and the unitization can be achieved. In addition, the linear motor having the excellent heat radiating property can be obtained.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、大推力の得られる
略円筒状の多極多相型リニアモータに係わり、さらに、
省スペース化およびユニット化が可能であるとともに、
良好な放熱性を備えたリニアモータに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substantially cylindrical multi-pole multi-phase linear motor capable of obtaining a large thrust, and further,
Space saving and unitization are possible,
The present invention relates to a linear motor having good heat dissipation.

【従来の技術】[Prior art]

【0002】リニアモータは、制御対象物を大推力で直
線的あるいは円弧状に駆動できるとともに、エンコーダ
等の位置検出手段との組合せにより、高精度のステップ
位置設定ができるため、例えば、物品等の輸送装置、X
−Yテーブル等の2方向駆動装置、精密部品の位置制御
装置等に多用されている。
A linear motor can drive an object to be controlled linearly or arcuately with a large thrust force, and can be set with a highly accurate step position in combination with a position detecting means such as an encoder. Transport device, X
-It is widely used in two-way drive devices such as Y tables, position control devices for precision parts, and the like.

【0003】図8に従来のリニアモータ(特開平7−1
70710号公報参照)の斜視図を、図9に図8の要部
横断面図を各々示す。図8および図9において、ケーシ
ング121の円筒状内面に界磁マグネット122が配置
され、ケーシング121の軸方向に沿って形成される開
口部121aと、両端のエンドプレート121bと、こ
のエンドプレート121bにおいて界磁マグネット12
2とセンターセンターヨーク123と可動子124の着
脱のためにあけた丸穴に開閉可能に配される開閉蓋12
1cとを有している。
FIG. 8 shows a conventional linear motor (Japanese Patent Laid-Open No. 7-1.
No. 70710), and FIG. 9 is a lateral cross-sectional view of the main part of FIG. 8 and 9, the field magnet 122 is arranged on the cylindrical inner surface of the casing 121, the opening 121a formed along the axial direction of the casing 121, the end plates 121b at both ends, and the end plate 121b. Field magnet 12
2, the center center yoke 123, and the opening / closing lid 12 that can be opened / closed in a round hole opened for attaching / detaching the mover 124.
1c and.

【0004】界磁マグネット122は、複数に分割され
た状態のものを組み合わせてケーシング121の円筒状
内面に一体に配置されるとともに、組み合わせた状態に
おいてケーシング121の開口部121aに位置合わせ
した状態のスリット122aが形成される。センターヨ
ーク123は、ケーシング121および界磁マグネット
122の中心に同軸に配されてヨークを兼用するととも
に、円柱状に形成される。そして、上記の構成のもと
に、可動子124の駆動コイル124bへの給電によ
り、界磁マグネット122との間で駆動力が生じる。そ
の可動子124の駆動力は、上記の開口部121aとス
リット122aとから駆動アーム126を経由して部品
支持板128に伝達されて、それに搭載される制御対象
部品等が推力を付与されてその軸方向に沿って移動す
る。
The field magnet 122 is combined with a plurality of divided magnets and is integrally arranged on the cylindrical inner surface of the casing 121. In the combined state, the field magnet 122 is aligned with the opening 121a of the casing 121. The slit 122a is formed. The center yoke 123 is coaxially arranged at the centers of the casing 121 and the field magnet 122 to serve also as the yoke, and is formed in a columnar shape. Then, based on the above configuration, a driving force is generated between the movable element 124 and the field magnet 122 by supplying power to the driving coil 124b. The drive force of the mover 124 is transmitted from the opening 121a and the slit 122a to the component support plate 128 via the drive arm 126, and the control target component and the like mounted on the component support plate 128 are given a thrust force. Move along the axis.

【0005】図10に従来のリニアモータの別の例(特
開平7−194085号公報参照)を示す。図10の円
筒型リニア直流モータにおいて、固定子221は、円筒
状を成す第1のヨーク223と、第1のヨーク223の
外側円筒面に同軸円筒状に固着される第1の永久磁石2
26と、第1の永久磁石226の外側円筒面に所定の間
隔を隔て同軸円筒状に配置され、軸方向に形成される開
口(図示省略)を有する円筒状を成す第2のヨーク22
4と、第2のヨーク224の内側円筒面の両端部および
第1のヨーク223の外側円筒面の両端部に固着される
円板状を成す一対の第3のヨーク225a,225bと
により円筒状に構成される。可動子222は、固定子2
21を構成する第1の永久磁石226の外側円筒面およ
び第2のヨーク224の内側円筒面に対し、それぞれ所
定の間隙を隔て軸方向に円滑に移動し得る構造を有し、
円筒状をなすコイル228と、コイル228の外側円筒
面に電気的に絶縁され固着される円筒状を成す第2の永
久磁石230とにより構成される。可動子222に発生
する推力は、第2のヨーク224の開口を介して外部に
伝達される。
FIG. 10 shows another example of a conventional linear motor (see Japanese Patent Laid-Open No. 7-194085). In the cylindrical linear DC motor of FIG. 10, the stator 221 includes a first yoke 223 having a cylindrical shape, and a first permanent magnet 2 fixed to the outer cylindrical surface of the first yoke 223 in a coaxial cylindrical shape.
26 and a second yoke 22 having a cylindrical shape, which is arranged on the outer cylindrical surface of the first permanent magnet 226 in a coaxial cylindrical shape at a predetermined distance and has an opening (not shown) formed in the axial direction.
4 and a pair of disk-shaped third yokes 225a, 225b that are fixed to both ends of the inner cylindrical surface of the second yoke 224 and both ends of the outer cylindrical surface of the first yoke 223. Is composed of. The mover 222 is the stator 2
The outer cylindrical surface of the first permanent magnet 226 and the inner cylindrical surface of the second yoke 224, which form part 21, respectively, have a structure capable of smoothly moving in the axial direction with a predetermined gap.
The coil 228 has a cylindrical shape, and the second permanent magnet 230 has a cylindrical shape and is electrically insulated and fixed to the outer cylindrical surface of the coil 228. The thrust generated in the mover 222 is transmitted to the outside through the opening of the second yoke 224.

【0006】図11に従来のリニアモータを用いた電子
写真方式の複写機における光学走査装置の例(特開平2
−151259号公報)を示す。図11において、リニ
アモータ310は、ドラム投影用光学機構330の両側
に夫々配置された駆動コイルを備えた可動子312,3
12と、それらに対向し夫々立設配置されるとともに界
磁用永久磁石とヨークとを備えた両側の固定子311,
311とから構成されており、両側のガイド部材35
0,350により可動子312,312を移動規制し
て、それら可動子を連結する部材上に搭載されるドラム
投影用光学機構330を初期位置から原稿走査方向に移
動させた後にリターン方向(その原稿走査方向と逆方
向)に移動させて初期位置に戻すというような所定の速
度パターンで移動されるようになっている。リニアモー
タ320もリニアモータ310と同様の構成を有し、両
側の固定子311,311とガイド部材350,350
とを共通にして、両側の可動子322,322を相互に
連結する部材上に搭載された原稿走査用光学機構340
を所定の速度パターンでもって前記ガイド部材350に
沿って移動させるようになっている。このように、ドラ
ム投影用光学機構330と原稿走査用光学機構340と
は所定の速度パターンで各々走査され、いわゆる従来の
角型のリニアモータを用いた電子写真方式の複写機にお
ける光学走査装置を構成している。
FIG. 11 shows an example of an optical scanning device in a conventional electrophotographic copying machine using a linear motor (Japanese Unexamined Patent Publication No. Hei 2 (1999) -211).
No. 151,259). In FIG. 11, a linear motor 310 is a mover 312, 3 having drive coils arranged on both sides of the drum projection optical mechanism 330.
12 and stators 311 on both sides, which are provided to face each other and are provided upright, and each of which includes a field permanent magnet and a yoke.
311 and the guide members 35 on both sides.
The movement of the movers 312 and 312 is restricted by 0, 350, and the drum projection optical mechanism 330 mounted on the member connecting the movers is moved from the initial position in the document scanning direction and then in the return direction (the document It is moved in a predetermined speed pattern such as moving in the direction opposite to the scanning direction) and returning to the initial position. The linear motor 320 also has a configuration similar to that of the linear motor 310, and includes the stators 311 and 311 on both sides and the guide members 350 and 350.
, And the original scanning optical mechanism 340 mounted on a member that connects the movers 322 and 322 on both sides to each other.
Is moved along the guide member 350 with a predetermined speed pattern. As described above, the drum projection optical mechanism 330 and the document scanning optical mechanism 340 are each scanned at a predetermined speed pattern, and the optical scanning device in an electrophotographic copying machine using a so-called conventional square linear motor is used. I am configuring.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来のリ
ニアモータは、後述するように、大推力化や省スペース
化(小型化)、ユニット化が困難であるという問題点を
有している。まず、図9の構成のリニアモータでは、セ
ンターヨーク123と界磁マグネット122との間に形
成される磁気空隙130の磁界強度が、センターヨーク
123の断面積(S1)によって制限されてしまい、リ
ニアモータとして実用に供し得る十分に大きな推力を発
生できないことである。近年、リニアモータにおける小
型化のニーズが増大し、図8および図9の構成を採用し
た場合、センターヨーク123の外径寸法が小型化の点
から小寸法に制限されて界磁用マグネット122から発
生した磁束の通過経路としての十分な断面積をとること
ができ難いのである。通常、センターヨーク123の断
面積S1と界磁用マグネット122の断面積S2とはS
1≧S2であることがセンターヨーク123の磁気飽和
を防止して強磁界強度の磁気空隙130を形成する上で
好ましいが、図8および図9では、上記の通り、小型化
の点から実用上S1<S2となる構成を採用せざるを得
ず、磁気空隙130の磁界強度が制限されてリニアモー
タの大推力化に限界を来すのである。また、界磁マグネ
ット122は内周側の磁極が一様にS極であるとともに
外周側が一様にN極である単極構成のため、一般の角型
のリニアモータで多用される多極構成の界磁用マグネッ
トと強磁性ヨークとの間(例えば、相隣る磁極の極性が
異なるようにかつその磁極面をそろえて並列配置された
複数個の永久磁石が磁気空隙を介して強磁性ヨークと平
行に対向配置される場合等。)で形成されるような磁極
が変化する領域毎の短範囲の閉じた磁路を形成すること
ができ難い。したがって、上記の多極構成の界磁用マグ
ネットを用いた場合に比較して漏れ磁束を多く発生し易
く、強磁界強度の磁気空隙130を形成できない(すな
わち、リニアモータを大推力化できない)、という問題
を併有する。
However, the conventional linear motors described above have the problems that it is difficult to increase the thrust, save the space (downsize), and unitize them, as will be described later. First, in the linear motor configured as shown in FIG. 9, the magnetic field strength of the magnetic gap 130 formed between the center yoke 123 and the field magnet 122 is limited by the cross-sectional area (S1) of the center yoke 123, and the linear motor is linear. That is, it is impossible to generate a thrust large enough for practical use as a motor. In recent years, there has been an increasing need for miniaturization of linear motors, and when the configurations of FIGS. 8 and 9 are adopted, the outer diameter dimension of the center yoke 123 is limited to a small dimension from the viewpoint of miniaturization, and the field magnet 122 It is difficult to obtain a sufficient cross-sectional area for the passage of the generated magnetic flux. Usually, the cross-sectional area S1 of the center yoke 123 and the cross-sectional area S2 of the field magnet 122 are S
It is preferable that 1 ≧ S2 in order to prevent the magnetic saturation of the center yoke 123 and form the magnetic air gap 130 having a strong magnetic field strength. However, in FIG. 8 and FIG. Inevitably, a configuration in which S1 <S2 is adopted, and the magnetic field strength of the magnetic air gap 130 is limited, which limits the increase in thrust of the linear motor. Further, since the field magnet 122 has a single-pole structure in which the magnetic poles on the inner peripheral side are uniformly S poles and the outer peripheral side is uniformly N poles, a multi-pole configuration that is often used in a general rectangular linear motor. Between the field magnet and the ferromagnetic yoke (for example, a plurality of permanent magnets arranged in parallel so that the polarities of the adjacent magnetic poles are different and the magnetic pole surfaces are aligned, are provided through the magnetic gap. It is difficult to form a closed magnetic path in a short range in each region where the magnetic pole changes, such as when the magnetic poles are arranged parallel to each other. Therefore, as compared with the case where the multi-pole field magnet is used, a large amount of leakage flux is easily generated, and the magnetic air gap 130 having a strong magnetic field strength cannot be formed (that is, the linear motor cannot have a large thrust). It also has the problem.

【0008】次に、図10のリニアモータは、第1の永
久磁石226と第2の永久磁石230とがコイル228
を鎖交する半径方向の磁界を形成するとともに、それぞ
れの対向する磁極面が異なる極性を有する、上記図9と
同様の単極型の界磁用磁石の構成を備えたコイル可動型
リニア直流モータである。したがって、上記図9と同様
に漏れ磁束の問題を有するが、その漏れ磁束を抑制する
ために、第1のヨーク223と第1の永久磁石226と
第2の永久磁石230と第2のヨーク224と第3のヨ
ーク225a,225bとを備えた構成を採用している
が、リニアモータが大型化するとともに高価な永久磁石
の使用量が多くなるので安価なリニアモータを製作でき
ない、という問題がある。また、界磁用磁石が単極型な
のでリニアモータを大推力化し難い、という問題があ
る。
Next, in the linear motor of FIG. 10, the first permanent magnet 226 and the second permanent magnet 230 have a coil 228.
Coil movable linear direct current motor having the same configuration of the single pole type field magnet as in FIG. 9 described above, which forms a magnetic field in a radial direction that intersects with each other and has opposite polarities. Is. Therefore, although there is a problem of leakage flux as in the case of FIG. 9, in order to suppress the leakage flux, the first yoke 223, the first permanent magnet 226, the second permanent magnet 230, and the second yoke 224 are included. However, there is a problem in that an inexpensive linear motor cannot be manufactured because the linear motor becomes large and the amount of expensive permanent magnets increases because of the increase in size of the linear motor. . Further, since the field magnet is a single pole type, it is difficult to increase the thrust of the linear motor.

【0009】次に、図11の従来の複写機用光学走査装
置に搭載される角型のリニアモータにおいては、大寸法
の界磁用永久磁石とヨークとからなる固定子311が可
動子312,322のストローク全長にわたってそのフ
レーム側面上に固設されているため、その光学走査装置
におけるリニアモータ310,320の占有空間が非常
に大きく、このリニアモータを搭載した複写機用光学走
査装置を小型化できない、という問題がある。なお、図
11において、単純に固定子311を含めたリニアモー
タ310,320部分を小型化すると、リニアモータ駆
動に要する磁気空隙の磁界強度が著しく減少し、リニア
モータ310,320を大推力で駆動させることができ
難いのである。さらに、上記光学走査装置ではリニアモ
ータ部分をユニット化していないので、リニアモータの
組込や交換作業を容易に行えない、という問題がある。
Next, in the rectangular linear motor mounted in the conventional optical scanning device for a copying machine shown in FIG. 11, a stator 311 composed of a large-sized field permanent magnet and a yoke is provided as a mover 312. Since the stroke of 322 is fixedly provided on the side surface of the frame, the space occupied by the linear motors 310 and 320 in the optical scanning device is very large, and the optical scanning device for a copying machine equipped with the linear motor is downsized. There is a problem that you can not. In FIG. 11, if the linear motors 310 and 320 including the stator 311 are simply downsized, the magnetic field strength of the magnetic gap required for driving the linear motor is significantly reduced, and the linear motors 310 and 320 are driven with a large thrust. It is hard to make them do it. Further, in the above optical scanning device, since the linear motor portion is not unitized, there is a problem that the linear motor cannot be easily incorporated or replaced.

【0010】本発明は、上記従来の問題点を解消し、大
推力の得られる略円筒状の多極多相型リニアモータであ
って、さらに、省スペース化およびユニット化が可能で
あるとともに、良好な放熱性を備えたリニアモータを提
供することを課題とする。
The present invention is a substantially cylindrical multi-pole multi-phase type linear motor that solves the above-mentioned conventional problems and can obtain a large thrust, and can further save space and be unitized. An object of the present invention is to provide a linear motor having good heat dissipation.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の第1の発明において、その周面の軸方向に
複数の界磁用磁極が形成される界磁用磁気回路部と、そ
の界磁用磁気回路部と磁気空隙を介して対向配置される
スリーブとを備えた固定子と、前記磁気空隙内に配置さ
れて推力を発生させるコイルを具備し、さらにその界磁
用磁気回路部の軸方向に沿って移動自在に配置されると
ともに、前記スリーブの開口部を経由して外側に突出す
る可動子とを備える、という構成のリニアモータを採用
した。また、本発明の第2の発明において、中空形状の
第1スリーブと、第1スリーブ内の軸方向に同磁極同士
が対向配置される界磁用永久磁石と、その永久磁石の同
磁極同士が対向する間隙に配置されるヨークと、第1ス
リーブと磁気空隙を介して対向配置されるとともにその
軸方向に開口部が形成された中空形状の第2スリーブと
を具備する固定子と、第1スリーブに外嵌状態にかつ摺
動可能に配置されるとともに第2スリーブの開口部を経
由して外側に突出するコイルホルダーと、コイルホルダ
ーに配設される多相コイルとを具備する可動子とを備え
る、という構成のリニアモータを採用した。上記第1お
よび第2の発明によって、リニアモータを小型化しても
強磁界強度の磁気空隙を形成でき、したがって、大推力
のリニアモータを製作することができる。
In order to solve the above-mentioned problems, in the first invention of the present invention, a field magnetic circuit portion in which a plurality of field magnetic poles are formed in the axial direction of the peripheral surface thereof. A stator provided with a sleeve arranged to face the magnetic circuit for the field via a magnetic gap, and a coil arranged in the magnetic gap to generate thrust, and the magnetic field A linear motor having a structure in which it is arranged so as to be movable along the axial direction of the circuit part and has a mover protruding outward through the opening of the sleeve is adopted. In the second invention of the present invention, the hollow first sleeve, the field permanent magnet in which the magnetic poles are arranged to face each other in the axial direction in the first sleeve, and the magnetic poles of the permanent magnets are A stator provided with a yoke arranged in a facing gap; and a hollow second sleeve facing the first sleeve via a magnetic gap and having an opening formed in the axial direction thereof; A mover provided with a coil holder that is slidably fitted on the sleeve and slidable and projects outward through the opening of the second sleeve, and a polyphase coil arranged in the coil holder. The linear motor with the configuration of is adopted. According to the first and second inventions described above, a magnetic gap having a strong magnetic field strength can be formed even if the linear motor is downsized, and thus a linear motor having a large thrust can be manufactured.

【0012】また、上記本発明では、可動子にリニア軸
受を配設することによって、可動子をその界磁用磁気回
路部の軸方向に沿って円滑な摺動が可能に配置できる。
また、上記第2の発明では、第2スリーブに冷却用フィ
ンを隣接配置することで、主として多相コイルに通電さ
れて発生する熱を冷却用フィンに伝熱させて多相コイル
の温度上昇を抑制することができる。また、上記本発明
では、コイルに3相または2相の駆動電流(好ましくは
正弦波状の駆動電流)を通電させて本発明の可動コイル
型リニアモータに大推力を発生させることができる。一
般に、界磁用永久磁石が多極であり、かつ多相コイルに
駆動電流を供給する多極多相型のリニアモータにおいて
は、相数が多くなる程力率が低下するため、入力電流を
増加する必要がある。したがって、3相または2相の通
電方式を採用することが好ましく、実用上3相の通電方
式が特に好ましいのである。
Further, according to the present invention, by disposing the linear bearing on the mover, the mover can be arranged so as to be able to slide smoothly along the axial direction of the field magnetic circuit section.
In the second aspect of the invention, by disposing the cooling fins adjacent to the second sleeve, the heat generated mainly by energizing the multiphase coils is transferred to the cooling fins to increase the temperature of the multiphase coils. Can be suppressed. Further, in the above-mentioned present invention, a large thrust force can be generated in the moving coil type linear motor of the present invention by supplying a 3-phase or 2-phase drive current (preferably a sinusoidal drive current) to the coil. Generally, in a multi-pole / multi-phase linear motor in which the field permanent magnet has multiple poles and the driving current is supplied to the multi-phase coil, the power factor decreases as the number of phases increases, so the input current Need to increase. Therefore, it is preferable to adopt the three-phase or two-phase energization method, and the three-phase energization method is particularly preferable in practical use.

【0013】また、上記本発明のリニアモータを光学走
査装置(例えば、複写機等。)に用いることができる。
この構成によれば、本発明のリニアモータの特長である
省スペース化を生かして光学走査装置の小型化が図れる
とともに、大推力の光学走査装置を構成できる。 さら
に、本発明のリニアモータは固定子および大部分の可動
子が第2スリーブ内に埋設されるコンパクトな構成のた
め、光学走査装置などに組み込まれるリニアモータのユ
ニット化が図れるという優れた特長を有する。したがっ
て、例えば、光学走査装置に組み込まれた本発明のリニ
アモータを交換する必要が生じても、その交換作業をユ
ニット化されたリニアモータ単位で効率よく行い得るの
で、交換作業を大幅に簡略化できるという利点がある。
Further, the linear motor of the present invention can be used in an optical scanning device (for example, a copying machine).
According to this configuration, the space saving, which is a feature of the linear motor of the present invention, can be used to reduce the size of the optical scanning device, and an optical scanning device with a large thrust can be configured. Further, since the linear motor of the present invention has a compact structure in which the stator and most of the mover are embedded in the second sleeve, it has an excellent feature that the linear motor incorporated in an optical scanning device can be unitized. Have. Therefore, for example, even if it is necessary to replace the linear motor of the present invention incorporated in the optical scanning device, the replacement work can be efficiently performed in the unitized linear motor unit, so that the replacement work is greatly simplified. There is an advantage that you can.

【0014】[0014]

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面により説明す
る。図1は本発明の実施の形態の一例を示すリニアモー
タの軸方向要部断面図である。図1において、1は中実
円筒状の界磁用永久磁石(例えば、日立金属(株)製N
d−Fe−B系異方性燒結磁石、HS−37BH等。)
であり、表面に耐酸化性のNiメッキ層(平均膜厚30
μm)を有するとともに、その軸方向に着磁(着磁方向
はその磁気異方性方向に一致している。)されて図示さ
れるN,S磁極が付与されている。2は強磁性のヨーク
(例えば、SS400製等。)で中実円筒状に形成され
る。3は非磁性の第1スリーブ(例えば、SUS304
製等。)であり、この第1スリーブ3内に前記の永久磁
石1とヨーク2とが例えばエポキシ系接着剤を用いてそ
の軸方向に交互に固着配置されるとともに、永久磁石
1,1はその軸方向にヨーク2を介して同磁極が対向す
るように配置されている。ここで、永久磁石1とヨーク
2とは第1スリーブ3に対して同軸に配置されている。
そして、まず、ヨーク2を第1スリーブ3に対して同軸
配置するために、ヨーク2の外周面が第1スリーブ3の
内周面に平行に密着配置されるように、ヨーク2の外径
寸法と第1スリーブ3の内径寸法とが調整されている。
次に、ヨーク2,2間に当接配置される永久磁石1を第
1スリーブ3に対して同軸配置するために、各ヨーク2
の軸方向の両端面中央に永久磁石1の位置決め用の凹部
13,13を形成し、その凹部13,13でもって永久
磁石1の軸方向両端面を挟み込む構成を採用している。
また、第1スリーブ3の内周面とヨーク2,2の端面と
永久磁石1の外周面とで囲まれた空隙17が形成され、
その空隙17と非磁性の第1スリーブ3とによって点線
で示すような漏れ磁束f2が抑制されて、永久磁石1か
ら発生する磁束のほとんどが磁気空隙9の形成に寄与す
る有効磁束f1のみとなり、強磁界強度の磁気空隙9を
形成できる。また、上記の通り、永久磁石1とヨーク2
と第1スリーブ3とは同軸配置されているから、第1ス
リーブ3の外周側に形成される磁気空隙9をその半径方
向に対称な磁束密度分布空間として形成し易くなり、リ
ニアモータの制御上極めて好ましい。したがって、第1
スリーブ3内の軸方向に永久磁石1の同磁極同士がヨー
ク2を介して対向配置されて構成される界磁用磁気回路
部15によれば、後述する通り、第2スリーブ4の外径
寸法が例えば100mm以下、好ましくは50mm以
下、特に好ましくは30mm以下という小径寸法の場合
においても、第1スリーブ3の外周側に形成される磁気
空隙9の磁界強度を大に維持でき、本発明のリニアモー
タ33における大推力を維持し得る。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view of a main portion in the axial direction of a linear motor showing an example of an embodiment of the present invention. In FIG. 1, 1 is a solid cylindrical field permanent magnet (for example, N manufactured by Hitachi Metals, Ltd.).
d-Fe-B type anisotropic sintered magnet, HS-37BH and the like. )
And an oxidation resistant Ni plating layer (average film thickness 30
.mu.m) and is magnetized in the axial direction (the magnetizing direction coincides with the magnetic anisotropy direction) to give N and S magnetic poles shown in the figure. Reference numeral 2 is a ferromagnetic yoke (for example, made of SS400), which is formed in a solid cylindrical shape. 3 is a non-magnetic first sleeve (for example, SUS304
Manufacturing etc. In this first sleeve 3, the permanent magnets 1 and the yokes 2 are alternately fixedly attached in the axial direction by using, for example, an epoxy adhesive, and the permanent magnets 1, 1 are arranged in the axial direction. Are arranged so that the same magnetic poles face each other via the yoke 2. Here, the permanent magnet 1 and the yoke 2 are arranged coaxially with the first sleeve 3.
Then, first, in order to arrange the yoke 2 coaxially with the first sleeve 3, the outer diameter dimension of the yoke 2 is arranged so that the outer peripheral surface of the yoke 2 is closely arranged parallel to the inner peripheral surface of the first sleeve 3. And the inner diameter of the first sleeve 3 are adjusted.
Next, in order to coaxially dispose the permanent magnet 1 disposed in contact between the yokes 2 and 2 with respect to the first sleeve 3, each yoke 2
The recesses 13 and 13 for positioning the permanent magnet 1 are formed in the center of both axial end faces of the permanent magnet 1, and the axially opposite end faces of the permanent magnet 1 are sandwiched by the recesses 13 and 13.
Further, a space 17 surrounded by the inner peripheral surface of the first sleeve 3, the end surfaces of the yokes 2, 2 and the outer peripheral surface of the permanent magnet 1 is formed,
The air gap 17 and the non-magnetic first sleeve 3 suppress the leakage magnetic flux f2 as shown by the dotted line, and most of the magnetic flux generated from the permanent magnet 1 is only the effective magnetic flux f1 that contributes to the formation of the magnetic air gap 9, The magnetic gap 9 having a strong magnetic field strength can be formed. Further, as described above, the permanent magnet 1 and the yoke 2
Since the first sleeve 3 and the first sleeve 3 are coaxially arranged, it is easy to form the magnetic gap 9 formed on the outer peripheral side of the first sleeve 3 as a magnetic flux density distribution space that is symmetrical in the radial direction thereof, and it is possible to control the linear motor. Highly preferred. Therefore, the first
According to the field magnetic circuit portion 15 configured by the same magnetic poles of the permanent magnet 1 facing each other in the axial direction in the sleeve 3 with the yoke 2 interposed therebetween, the outer diameter dimension of the second sleeve 4 will be described later. Is 100 mm or less, preferably 50 mm or less, and particularly preferably 30 mm or less, the magnetic field strength of the magnetic air gap 9 formed on the outer peripheral side of the first sleeve 3 can be maintained at a large level. The large thrust force of the motor 33 can be maintained.

【0015】また、図1において、6は絶縁性の合成樹
脂製のコイルホルダー(例えば、ポリアセタール樹脂製
等。)であり、第1スリーブ3に外嵌状態にかつ摺動可
能に配置されるとともに、強磁性の第2スリーブ4(例
えば、SS41製等。)の軸方向に沿って形成された開
口部10を経由してその外周側に突出する部分6a,6
bを有するように形成される。ここで、開口部10はリ
ニアモータ33のストロークに見合う軸方向長さを有す
るとともに、その突出する可動子部分6a,6bをピッ
チングやヨーイング等を極力抑えてその軸方向に沿って
精度よく移動させるためのリニアガイドの作用を有す
る。したがって、後述の図5に示す通り、開口部10の
幅xは、突出部分6a,6bの各厚み寸法tおよび、各
突出部分6a,6bと開口部10の両縁部との間のクリ
アランス寸法tcを考慮して適宜決定される。また、コ
イルホルダー6c部分には、表面に絶縁処理が施された
公知のコイル用巻線をその周方向に円筒状に巻回して形
成された3つの3相コイル7a,7b,7cが付設され
るとともに、コイルホルダー6c部分において第1スリ
ーブ3に対向する側でかつ前記コイル7a,7b,7c
の各巻き幅wの中心に相当する位置に、3つの磁極検出
手段(例えば、ホール素子11a,11b,11c
等。)が各々配置されている。ここで、コイル7a,7
b,7cの各巻き幅wは等寸法にされるとともに、前記
界磁用磁気回路15の磁極ピッチλ(ヨーク2の凹部1
3,13における軸方向の厚み寸法をty、永久磁石1
の軸方向の厚み寸法をtmとしたとき、λ=2(ty+
tm)で与えられる。すなわち、λは第1スリーブ3の
外周面上における軸方向の2磁極分N,Sの幅に相当す
る。)に対して電気角で120゜ずつその軸方向に位置
を異ならせて各々配置され、例えば位相制御された3相
交流を通電することにより、リニアモータ33に推力が
与えられる。また、ホール素子11a,11b,11c
は各々同磁極の永久磁石1,1間に配設されたヨーク2
の磁極N,Sを反映して第1スリーブ3の外周面側に形
成される磁極N,Sを検知して、この検知信号を駆動回
路(図示省略)に送り、通電すべきコイルおよび電流の
方向を切換もしくは選択している。また、上記コイルホ
ルダー6の摺動面側の両端部にはリニア軸受12,12
が配設されて円滑な摺動が可能となっている。上記の構
成のもとに、磁気空隙9において、3相コイル7a,7
b,7cに図示されない駆動回路からそれらの各々に結
線される給電線14を通じて3相正弦波電流を供給する
と、コイル7a,7b,7cとホール素子11a,11
b、11cと軸受12,12とコイルホルダー6とを備
えた可動子30が、フレミングの左手の法則により、第
2スリーブ4に形成された開口部10の軸方向に沿う推
力を発生し、その軸方向に移動する。さらに、第2スリ
ーブ4は第1スリーブ3に同軸配置されて、磁気空隙9
の半径方向の厚みが等しくなるように配置される。ま
た、上記の通り、本実施例では第2スリーブ4を強磁性
材料で形成しているので、有効磁束f1が第2スリーブ
4の内周面側へ伸びるように流れる傾向となり、より強
磁界強度の磁気空隙9を形成できる。なお、上記3相コ
イル7a,7b,7cは3個に限定されず4個以上(好
ましくは3n個、n=1,2,3・・・等の正の整数と
するとより実用的である。)の個数構成としてもよい。
この場合、電気的に同相となるコイル同士が公知の結線
方式により共通に接続されるのは勿論である。また、上
記の3相通電方式に代えて、2相通電方式を採用するこ
ともできる。この場合、ホール素子は例えば2個であ
り、コイル数は2n個(n=1,2,3等の正の整
数。)が好ましいが、3個以上の任意の数としてもよ
く、上記3相の場合と同様に同相となるコイル同士が共
通に接続される。
In FIG. 1, 6 is a coil holder made of an insulating synthetic resin (for example, made of polyacetal resin), which is slidably arranged on the first sleeve 3 and is slidable. , 6a, 6 projecting to the outer peripheral side through the opening 10 formed along the axial direction of the ferromagnetic second sleeve 4 (for example, SS41).
b is formed. Here, the opening portion 10 has an axial length corresponding to the stroke of the linear motor 33, and the protruding movable element portions 6a and 6b are accurately moved along the axial direction while suppressing pitching, yawing, etc. as much as possible. Has the function of a linear guide for. Therefore, as shown in FIG. 5, which will be described later, the width x of the opening 10 is determined by the thickness t of the protruding portions 6a and 6b and the clearance between the protruding portions 6a and 6b and both edges of the opening 10. It is appropriately determined in consideration of tc. Further, the coil holder 6c is provided with three three-phase coils 7a, 7b, 7c formed by winding a known coil winding whose surface has been subjected to an insulation treatment in a cylindrical shape in the circumferential direction. In addition, the coil holder 6c has a side facing the first sleeve 3 and the coils 7a, 7b, 7c.
At the position corresponding to the center of each winding width w of the three magnetic pole detecting means (for example, Hall elements 11a, 11b, 11c).
etc. ) Are arranged respectively. Here, the coils 7a, 7
The winding widths w of b and 7c are equalized, and the magnetic pole pitch λ of the field magnetic circuit 15 (the concave portion 1 of the yoke 2 is
3, the thickness in the axial direction of ty is ty, and the permanent magnet 1 is
Is tm = 2 (ty +
tm). That is, λ corresponds to the width of the two magnetic poles N and S in the axial direction on the outer peripheral surface of the first sleeve 3. ) With respect to each other by 120 ° in electrical angle, the thrust force is applied to the linear motor 33 by energizing the phase-controlled three-phase alternating current. In addition, the hall elements 11a, 11b, 11c
Is a yoke 2 arranged between permanent magnets 1 and 1 having the same magnetic pole
The magnetic poles N and S formed on the outer peripheral surface side of the first sleeve 3 are detected by reflecting the magnetic poles N and S of FIG. The direction is switched or selected. Further, the linear bearings 12, 12 are provided at both ends of the coil holder 6 on the sliding surface side.
Is provided to enable smooth sliding. Based on the above configuration, in the magnetic gap 9, the three-phase coils 7a, 7a
When a three-phase sinusoidal current is supplied from a drive circuit (not shown) to the drive circuits b and 7c via the power supply lines 14, the coils 7a, 7b and 7c and the hall elements 11a and 11 are supplied.
The mover 30 including b and 11c, the bearings 12 and 12, and the coil holder 6 generates a thrust force along the axial direction of the opening 10 formed in the second sleeve 4 according to Fleming's left-hand rule. Move in the axial direction. Further, the second sleeve 4 is coaxially arranged with the first sleeve 3, and the magnetic gap 9
Are arranged so that their radial thicknesses are equal. Further, as described above, in the present embodiment, since the second sleeve 4 is made of a ferromagnetic material, the effective magnetic flux f1 tends to flow toward the inner peripheral surface side of the second sleeve 4, resulting in a stronger magnetic field strength. The magnetic gap 9 can be formed. The three-phase coils 7a, 7b, 7c are not limited to three, but four or more (preferably 3n, n = 1, 2, 3, ... ).
In this case, it goes without saying that the coils that are electrically in phase are commonly connected by a known connection method. Further, instead of the above-mentioned three-phase energization method, a two-phase energization method can be adopted. In this case, the number of Hall elements is two, and the number of coils is preferably 2n (a positive integer such as n = 1, 2, 3, etc.), but may be any number of 3 or more, and the above three phases may be used. Similar to the case of, the coils having the same phase are commonly connected.

【0016】また、図1において、第1スリーブ3およ
び第2スリーブ4の軸方向両端部は公知の非磁性体から
なるエンドブラケット8(例えば、ポリアセタール樹脂
製等。)に同軸に支持固定されるとともに、そのエンド
ブラケット8の軸方向両端部に形成される突起部分8a
が図示されない所定の固定部分(例えば、リニアモータ
の固定用フレーム等。)に設けられた孔に嵌入固定され
る。エンドブラケット8は磁気空隙9の半径方向の厚み
寸法を調整する作用を担っている。また、第2スリーブ
4の外周側には非磁性の熱伝導体製の冷却用フィン5
(例えば、表面がアルマイト処理されたアルミニウム合
金製等。)が配設されている。この冷却用フィン5は第
2スリーブ4の全面にわたって設けてもよく、あるい
は、第2スリーブ4を部分的に被覆するように構成して
もよく、リニアモータ33の小型化と冷却用フィン5の
放熱性とを勘案して適宜に形成できる。上記の構成のも
とに、永久磁石1とヨーク2と第1スリーブ3と第2ス
リーブ4と冷却用フィン5とエンドブラケット8とを備
えた固定子20が構成される。
Further, in FIG. 1, both axial ends of the first sleeve 3 and the second sleeve 4 are coaxially supported and fixed to a well-known end bracket 8 (for example, made of polyacetal resin) made of a non-magnetic material. In addition, the protruding portions 8a formed at both axial end portions of the end bracket 8
Is fitted and fixed in a hole provided in a predetermined fixing portion (not shown) (for example, a fixing frame of a linear motor). The end bracket 8 has a function of adjusting the thickness dimension of the magnetic gap 9 in the radial direction. Further, a cooling fin 5 made of a non-magnetic heat conductor is provided on the outer peripheral side of the second sleeve 4.
(For example, the surface is made of an aluminum alloy whose surface is anodized.). The cooling fins 5 may be provided over the entire surface of the second sleeve 4, or may be configured to partially cover the second sleeve 4, so that the linear motor 33 can be downsized and the cooling fins 5 can be formed. It can be appropriately formed in consideration of heat dissipation. Based on the above configuration, the stator 20 including the permanent magnet 1, the yoke 2, the first sleeve 3, the second sleeve 4, the cooling fins 5, and the end bracket 8 is configured.

【0017】次に、図2は、上記図1のリニアモータ3
3が大推力を得るための磁極ピッチλと各3相コイルの
幅wとの最適な寸法関係の一例を説明する軸方向要部断
面図であり、図1と同一参照符号の部分は同一の構成部
分を表している。図2は、コイルホルダー6に3相の巻
線巻回型コイル7a,7b,7cが各2個ずつ合計6
個、各コイル幅w=λ/6でもって図示されるようにそ
の軸方向に沿って隣接配置された例である。ホール素子
11a,11b,11cは順次電気角で120゜ずつそ
の軸方向に位置を異ならせ、上記コイル7a,7b,7
cの各々に対応されて配置されている。そして、上記各
コイルに位相制御された3相交流を通電することによ
り、リニアモータ33に大推力を与えられるようになっ
ている。
Next, FIG. 2 shows the linear motor 3 of FIG.
3 is a cross-sectional view of an essential part in the axial direction for explaining an example of the optimum dimensional relationship between the magnetic pole pitch λ for obtaining a large thrust and the width w of each three-phase coil, and the same reference numerals as in FIG. It shows the constituent parts. FIG. 2 shows that the coil holder 6 has two 3-phase winding type coils 7a, 7b and 7c, each having a total of 6 coils.
In this example, the coil widths w = λ / 6 are arranged adjacent to each other along the axial direction. The Hall elements 11a, 11b, 11c are sequentially displaced in the axial direction by 120 ° in electrical angle, and the coils 7a, 7b, 7c
It is arranged corresponding to each of c. Then, a large thrust force is applied to the linear motor 33 by supplying a phase-controlled three-phase alternating current to each coil.

【0018】次に、図3に、本発明の実施の形態の他の
例を示すリニアモータの軸方向要部断面図を示す。な
お、図3において、図1と同一参照符号の部分は図1と
同一の構成部分を表わしている。図3において、コイル
ホルダー6’は絶縁性を有するとともに自己潤滑性に富
む公知の合成樹脂(例えば、含油ポリアセタール樹脂
等。)で形成されている。また、界磁用永久磁石1’
(例えば、永久磁石1’の表面に平均膜厚4μmのCu
メッキが形成され、その上に平均膜厚50μmのNiメ
ッキが形成され、さらにその上に平均膜厚30μmの電
着エポキシコート層が形成された多層の耐酸化被膜を有
する。)および強磁性のヨーク2’(例えば、SS41
製。)は同一内径寸法の貫通孔24を有するリング形に
形成されている。また、第1スリーブ3内の軸方向中心
位置に支持棒22が同軸配置されている。支持棒22は
永久磁石1’とヨーク2’との間の磁束の短絡を防止す
るために、公知の非磁性材料(例えば、SUS304
等。)で形成することが好ましい。支持棒22の軸方向
両端部はエンドブラケット8に支持固定されている。ま
た、永久磁石1’およびヨーク2’の貫通孔24が交互
に上記支持棒22に通されてその軸方向に積み重ねら
れ、界磁用磁気回路15が構成される。また、永久磁石
1’とヨーク2’と支持棒22とは例えばエポキシ系の
接着剤で相互に固着されている。また、支持棒22の外
周部分と、永久磁石1’およびヨーク2’の貫通孔24
部分とが係合されて、第1スリーブ3に対して永久磁石
1’とヨーク2’と支持棒22とが同軸配置されるよう
に構成される。図3のリニアモータ33’の構成によれ
ば、図1のリニア軸受12を省略することができるの
で、本発明のリニアモータをより安価に製作できる、と
いう利点がある。
Next, FIG. 3 shows a cross-sectional view of a main portion in the axial direction of a linear motor showing another example of the embodiment of the present invention. In FIG. 3, the same reference numerals as those in FIG. 1 represent the same components as those in FIG. In FIG. 3, the coil holder 6 ′ is formed of a known synthetic resin (for example, oil-impregnated polyacetal resin, etc.) that has an insulating property and is highly self-lubricating. Also, the permanent magnet for field 1 '
(For example, Cu having an average film thickness of 4 μm is formed on the surface of the permanent magnet 1 ′.
It has a multi-layered oxidation resistant coating in which plating is formed, Ni plating having an average film thickness of 50 μm is formed thereon, and an electrodeposited epoxy coat layer having an average film thickness of 30 μm is further formed thereon. ) And a ferromagnetic yoke 2 '(eg SS41
Made. ) Is formed in a ring shape having a through hole 24 having the same inner diameter. Further, the support rod 22 is coaxially arranged at the axial center position in the first sleeve 3. The support rod 22 is a known non-magnetic material (for example, SUS304) in order to prevent a short circuit of magnetic flux between the permanent magnet 1'and the yoke 2 '.
etc. ) Is preferable. Both end portions in the axial direction of the support rod 22 are supported and fixed to the end bracket 8. Further, the permanent magnets 1'and the through holes 24 of the yoke 2'are alternately passed through the support rods 22 and stacked in the axial direction thereof to form the field magnetic circuit 15. The permanent magnet 1 ', the yoke 2', and the support rod 22 are fixed to each other with, for example, an epoxy adhesive. Further, the outer peripheral portion of the support rod 22 and the through holes 24 of the permanent magnet 1'and the yoke 2 '.
The permanent magnet 1 ′, the yoke 2 ′, and the support rod 22 are coaxially arranged with respect to the first sleeve 3 by engaging with the first sleeve 3. According to the configuration of the linear motor 33 'of FIG. 3, since the linear bearing 12 of FIG. 1 can be omitted, there is an advantage that the linear motor of the present invention can be manufactured at a lower cost.

【0019】次に、図4は、上記図3のリニアモータ3
3’が大推力を得るための磁極ピッチλと3相コイルの
幅wとの最適な寸法関係の一例を説明する軸方向要部断
面図であり、図3と同一参照符号の部分は同一の構成部
分を表している。図4は、コイルホルダー6’に3相の
巻線巻回型コイル7a,7b,7cが各1個ずつ合計3
個、各コイル幅w=λ/6でもって図示されるようにそ
の軸方向に沿って配置された例である。また、ホール素
子11a、11b,11cは順次電気角で60゜ずつそ
の軸方向に位置を異ならせてコイル7a,7b,7cの
各々に対応されて配置されている。そして、前記コイル
の各々に位相制御された3相交流を通電することによ
り、リニアモータ33’に大推力を与えられるように構
成されている。ここで、上記図2では、例えば、相互イ
ンダクタンス等の各コイル毎のばらつきを反映して、各
コイルの配設位置はその配設ピッチλ/6に対して少し
ずれることがあり、したがって隣接配置される合計6個
分のコイルの軸方向長さ(図2における最左のコイル7
aの左端部から最右のコイル7cの右端部までの距離)
は磁極ピッチλより少し大きくなることがあるが駆動原
理上実質的にλに設定される。また、上記図4でも同様
の理由で合計3個分のコイルの軸方向長さは実質的にλ
/2に設定される。また、上記図2の巻線巻回型のコイ
ル7a,7b,7c,7a,7b,7cに代えて、公知
の3相偏平コイル(例えば、特開昭62ー25861号
公報参照。)を用いて薄型の円筒状に形成させて図2の
コイル7a,7b,7c,7a,7b,7cとして配置
させると、磁気空隙9の半径方向の厚み寸法をより薄く
でき、本発明のリニアモータをさらに大推力できるので
非常に好ましい。また、上記図3、図4において、例え
ば、第1スリーブ3を省略して界磁用磁気回路部15を
構成することができることは勿論である。また、上記コ
イル7a,7b,7cは切り欠きのない中空円筒状に形
成されているので、切り欠きを有する場合に比べて鎖交
部分が多くなり、リニアモータの大推力化に極めて有利
であるが、本発明はこれに限定されず切り欠きを有する
ように上記コイル7a,7b,7cを構成できることは
当然である。
Next, FIG. 4 shows the linear motor 3 of FIG.
3'is an axial main part cross-sectional view illustrating an example of the optimum dimensional relationship between the magnetic pole pitch λ and the width w of the three-phase coil for obtaining a large thrust, and the same reference numerals as in FIG. 3 denote the same parts. It shows the constituent parts. FIG. 4 shows that the coil holder 6'includes three 3-phase winding type coils 7a, 7b and 7c, each having a total of 3 coils.
This is an example in which the coil widths w = λ / 6 are arranged along the axial direction as shown in the figure. Further, the Hall elements 11a, 11b, 11c are arranged corresponding to the coils 7a, 7b, 7c by sequentially shifting their positions by 60 ° in terms of electrical angle in the axial direction. A large thrust force is applied to the linear motor 33 'by supplying a phase-controlled three-phase alternating current to each of the coils. Here, in FIG. 2 described above, for example, the arrangement position of each coil may be slightly deviated from the arrangement pitch λ / 6, reflecting the variation of each coil such as mutual inductance, and therefore the adjacent arrangement is The total axial length of the six coils (the leftmost coil 7 in FIG.
Distance from the left end of a to the right end of the rightmost coil 7c)
May be slightly larger than the magnetic pole pitch λ, but is set to substantially λ in terms of the driving principle. Also in FIG. 4 above, for the same reason, the total axial length of the three coils is substantially λ.
/ 2. Further, in place of the winding type coils 7a, 7b, 7c, 7a, 7b, 7c shown in FIG. 2, a known three-phase flat coil (for example, see Japanese Patent Laid-Open No. 62-25861) is used. 2 is formed into a thin cylindrical shape and arranged as the coils 7a, 7b, 7c, 7a, 7b, 7c of FIG. 2, the radial thickness of the magnetic gap 9 can be made thinner, and the linear motor of the present invention can be further improved. It is very preferable because it can produce a large thrust. In addition, it goes without saying that in FIG. 3 and FIG. 4 described above, for example, the first sleeve 3 may be omitted to configure the field magnetic circuit unit 15. Further, since the coils 7a, 7b, 7c are formed in a hollow cylindrical shape having no notch, the number of interlinking portions is larger than in the case of having the notch, which is extremely advantageous for increasing the thrust of the linear motor. However, the present invention is not limited to this, and it goes without saying that the coils 7a, 7b, 7c can be configured to have notches.

【0020】図5は、図3のリニアモータ33’におけ
るA−A線断面図を示す。図5において、冷却用フィン
5には放熱性を向上させるために凸部5aと凹部5bと
が交互に設けられている。
FIG. 5 is a sectional view taken along line AA of the linear motor 33 'shown in FIG. In FIG. 5, the fins 5 for cooling are alternately provided with convex portions 5a and concave portions 5b in order to improve heat dissipation.

【0021】図6は、本発明のリニアモータを用いた応
用装置の一例を示す図であり、上記実施の形態例と同一
参照符号の部分は同一の構成部分を表わしている。図6
において、リニアモータ16の固定子20の構成は図2
と同様であり、永久磁石1とヨーク2とを具備する第1
スリーブ3と、第1スリーブ3と磁気空隙9を介して同
軸配置されるとともにその軸方向に開口部10が形成さ
れた第2スリーブ4と、冷却用フィン5とを具備する固
定子20を備えている。ここで、このリニアモータ16
は、図2のリニアモータ33における可動子30を2つ
第1スリーブ3に外嵌状態にかつ摺動可能に配置させて
構成されている点が図2と異なる。したがって、図6に
示す通り、コイルホルダー6の突出部分6a,6bを1
組として、第2スリーブ4の開口部10からその2組の
突出部分が突出されるとともに、それらの突出部分の各
先端に接続される連結部材26,27と、連結部材2
6,27の他端に各々接続される側板21a,21bと
を具備する2つの可動子30,30が備えられている。
また、上記連結部材26,27の他端部近傍は、ガイド
手段23によって、その軸方向すなわちリニアモータ1
6の軸方向に平行に移動自在に案内支持されている。前
記ガイド手段23は、リニアモータ16の軸方向に平行
に配されるガイドロッド19と、そのガイドロッド19
に係合して摺動し連結部材26,27に各々一体に配さ
れる軸受18,18とを有する。また、図6の応用装置
の固定部分(図示省略)に立設される基板34がリニア
モータ16の軸方向に沿って前記側板21a,21bと
空隙を介して平行に対向配置されている。この基板34
には、その軸方向に平行にエンコーダのスケール35が
設けられるとともに、前記側板21a,21bにおける
スケール35と対向する側にはエンコーダの位置読み出
し部36,36が配設されている。この構成のもとに、
2つの可動子30,30が各々移動すると位置読み出し
部36,36によりスケール35の目盛りをカウントし
て可動子30,30の各位置を高精度に認識できるよう
になっている。ここで、可動子30,30は同期させた
各々別々の速度パターンでリニアモータ16の軸方向に
移動させることができるし、あるいは同一の速度パター
ンでもってその軸方向に移動させることもできる。した
がって、2つの可動子30,30に各々所定の制御対象
部品あるいは搬送部材(図示省略)等が搭載されて、本
発明のリニアモータを用いた応用装置が構成され得る。
FIG. 6 is a diagram showing an example of an application device using the linear motor of the present invention, and the parts having the same reference numerals as those in the above-mentioned embodiment represent the same constituent parts. FIG.
2, the structure of the stator 20 of the linear motor 16 is shown in FIG.
Which is similar to that of the first embodiment and includes a permanent magnet 1 and a yoke 2.
A stator 20 including a sleeve 3, a second sleeve 4 coaxially arranged with the first sleeve 3 via a magnetic gap 9 and having an opening 10 formed in the axial direction thereof, and a cooling fin 5 are provided. ing. Here, this linear motor 16
2 is different from that of FIG. 2 in that two movers 30 of the linear motor 33 of FIG. 2 are arranged on the first sleeve 3 in an externally fitted state and slidably arranged. Therefore, as shown in FIG. 6, the protruding portions 6a and 6b of the coil holder 6 are
As a set, the projecting portions of the two sets are projected from the opening 10 of the second sleeve 4, and the connecting members 26 and 27 connected to the respective tips of these projecting portions, and the connecting member 2
Two movers 30 and 30 each having side plates 21a and 21b respectively connected to the other ends of 6 and 27 are provided.
The vicinity of the other ends of the connecting members 26 and 27 is guided by the guide means 23 in the axial direction thereof, that is, the linear motor 1.
6 is supported so as to be movable in parallel to the axial direction of 6. The guide means 23 includes a guide rod 19 arranged parallel to the axial direction of the linear motor 16 and the guide rod 19 thereof.
Bearings 18 and 18 which are slidably engaged with and are integrally disposed on the connecting members 26 and 27, respectively. Further, a substrate 34 which is erected on a fixed portion (not shown) of the applied device of FIG. 6 is arranged parallel to the side plates 21a and 21b along the axial direction of the linear motor 16 with a gap therebetween. This board 34
An encoder scale 35 is provided in parallel to the axial direction of the encoder, and encoder position reading units 36, 36 are provided on the sides of the side plates 21a, 21b facing the scale 35. Based on this configuration,
When the two movers 30, 30 move, the position reading units 36, 36 count the scales of the scale 35 so that each position of the movers 30, 30 can be recognized with high accuracy. Here, the movers 30 and 30 can be moved in the axial direction of the linear motor 16 in different synchronized speed patterns, or can be moved in the axial direction with the same speed pattern. Therefore, a predetermined controlled component, a transport member (not shown), or the like is mounted on each of the two movers 30 and 30, and an application device using the linear motor of the present invention can be configured.

【0022】図7は図6に示す応用装置(前記リニアモ
ータ16の第2スリーブ4の外径が30mmに設計され
ている。)を複写機の光学機構を移動する光学走査装置
100に搭載した一例を示す要部斜視図であり、図6と
同一参照符号の部分は図6と同一の構成部分を表す。図
7において、リニアモータ16の固定子20の両端部に
配されたエンドブラケット8a部分が複写機の光学走査
装置100のフレーム50a部分に設けた貫通孔に嵌着
支持されるとともに、リニアモータ16における開口部
10から突出する1組のコイルホルダー突出部分6a,
6bに接続される連結部材26上にはドラム投影用光学
機構45が搭載されている。また、開口部10から突出
するもう1組のコイルホルダー突出部分6a,6bに接
続される連結部材27上には原稿走査用光学機構55が
搭載されている。そして、ドラム投影用光学機構45と
原稿走査用光学機構55とがそれぞれ所定の速度パター
ンでもって走査されて、本発明のリニアモータを用いた
複写機の光学走査装置100が構成される。また、連結
部材26および27におけるフレーム50b側の構成は
上記図6と同様であり、ガイド手段23、側板21aと
21b、基板34、エンコーダのスケール35、エンコ
ーダの位置読み出し手段36,36等が具備されて高精
度の位置決め制御が可能に構成されている。また、リニ
アモータ16はフレーム50a部分および連結部材2
6,27に接続固定されるだけの簡略化された固定仕様
であるので、リニアモータ16を上記光学走査装置10
0に簡単に組込または取り外しができるという、いわゆ
るリニアモータ16を一式の組込部品であるユニットと
して取り扱うことができる。また、上記図7の構成によ
れば、本発明のリニアモータ16は第1スリーブ3内に
永久磁石1とヨーク2とが配設された省スペースに最適
の磁気回路構造15を有するとともに、永久磁石1,1
の同磁極同士の反発磁界によってヨーク2に形成される
磁極が第1スリーブ3の外周側空間において強力な磁気
空隙9を形成するため、リニアモータ16の外径寸法が
小さくなっても大推力を維持できる。したがって、従来
の複写機用光学走査装置に用いられるリニアモータ(例
えば、図11)に比較して大幅な省スペース化が達成さ
れ、リニアモータ方式の複写機用光学走査装置の小型化
に大きく貢献するものである。なお、上記図7において
は、本発明のリニアモータを複写機の光学走査装置に用
いる例を記載したが、本発明はこれに限定されず、他の
公知の光学走査装置に適用できることは勿論である。
In FIG. 7, the application device shown in FIG. 6 (the outer diameter of the second sleeve 4 of the linear motor 16 is designed to be 30 mm) is mounted on the optical scanning device 100 for moving the optical mechanism of the copying machine. FIG. 7 is a perspective view of an essential part showing an example, and the portions having the same reference numerals as those in FIG. 6 represent the same components as in FIG. 6. In FIG. 7, the end brackets 8a arranged at both ends of the stator 20 of the linear motor 16 are fitted and supported in the through holes provided in the frame 50a of the optical scanning device 100 of the copying machine, and the linear motor 16 is also supported. A pair of coil holder protruding portions 6a protruding from the opening 10 in
An optical mechanism 45 for drum projection is mounted on the connecting member 26 connected to 6b. An original scanning optical mechanism 55 is mounted on the connecting member 27 connected to the other pair of coil holder protruding portions 6a and 6b protruding from the opening 10. Then, the drum projection optical mechanism 45 and the document scanning optical mechanism 55 are each scanned with a predetermined speed pattern to form the optical scanning device 100 of the copying machine using the linear motor of the present invention. The structure of the connecting members 26 and 27 on the side of the frame 50b is the same as that shown in FIG. 6, and is provided with the guide means 23, the side plates 21a and 21b, the substrate 34, the encoder scale 35, the encoder position reading means 36, 36, and the like. Thus, the positioning control with high accuracy is possible. Further, the linear motor 16 includes the frame 50a portion and the connecting member 2
6 and 27, the linear motor 16 is connected to and fixed to the optical scanning device 10.
The so-called linear motor 16 can be handled as a unit which is a set of built-in parts, which can be easily installed or removed from the unit. Further, according to the configuration of FIG. 7, the linear motor 16 of the present invention has the magnetic circuit structure 15 in which the permanent magnet 1 and the yoke 2 are arranged in the first sleeve 3 and which is optimal for space saving, and at the same time, Magnet 1, 1
Since the magnetic poles formed on the yoke 2 by the repulsive magnetic field between the same magnetic poles form a strong magnetic gap 9 in the outer peripheral side space of the first sleeve 3, a large thrust force is exerted even if the outer diameter of the linear motor 16 is reduced. Can be maintained. Therefore, a significant space saving is achieved as compared with the linear motor used in the conventional optical scanning device for a copying machine (for example, FIG. 11), which greatly contributes to downsizing of the linear motor type optical scanning device for a copying machine. To do. Although FIG. 7 shows an example in which the linear motor of the present invention is used in an optical scanning device of a copying machine, the present invention is not limited to this and can be applied to other known optical scanning devices. is there.

【0023】また、従来のリニアモータ(例えば、図9
や図10の構成のもの)を本発明のリニアモータと同一
外径寸法(本発明のリニアモータにおける第2スリーブ
4の外径寸法に相当し、例えば30mmに形成する。)
とした場合、本発明のリニアモータが従来のものに比べ
て約30%以上大推力となった。
In addition, a conventional linear motor (see, for example, FIG. 9)
Or the configuration of FIG. 10) has the same outer diameter dimension as the linear motor of the present invention (corresponding to the outer diameter dimension of the second sleeve 4 in the linear motor of the present invention, and is formed to 30 mm, for example).
In that case, the linear motor of the present invention has a large thrust of about 30% or more as compared with the conventional one.

【0024】上記図1〜図4において、界磁用磁気回路
部15として、界磁用永久磁石の同磁極同士を対向配置
させて形成される反発磁界を活用する構成例を示した
が、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、
上記図2において、界磁用永久磁石1およびヨーク2に
代えて、公知のリング磁石(日立金属(株)製のラジア
ル異方性リング磁石:HS−20BR等。)を用いてそ
の外周面が第1スリーブ3の内周面に平行配置または密
着配置され、かつリニアモータ33のストロークに見合
う軸方向寸法を有するそのリング磁石の一体長尺物また
は複数個が第1スリーブ3内の軸方向に同軸に配置され
るとともに、適宜の着磁手段を用いて、その同軸配置さ
れた一体長尺物または複数個のリング磁石の外周面の軸
方向において等磁極ピッチで交互に異なる磁極が形成さ
れるように界磁用磁気回路部を構成することができる。
また、例えば、上記図4において、界磁用永久磁石1’
とヨーク2’と第1スリーブ3に代えて、支持棒22の
周囲に上記のリング磁石の一体長尺物または複数個を同
軸配置させて、その一体長尺物または複数個の外周面の
軸方向に等磁極ピッチで交互に異なる磁極を形成させる
とともに、その磁極が形成される外周面を磁気空隙9に
直接暴露させるように界磁用磁気回路部を構成すること
もできる。 上記の通り、リング磁石の外周面に形成さ
れる磁極を活用することによっても本発明の界磁用磁気
回路部を構成できることは勿論である。
In FIGS. 1 to 4 described above, an example of a structure is shown in which the repulsive magnetic field formed by arranging the same magnetic poles of the field permanent magnets facing each other is used as the field magnetic circuit section 15. The invention is not limited to this. For example,
In FIG. 2, a publicly known ring magnet (radial anisotropic ring magnet: HS-20BR manufactured by Hitachi Metals, Ltd.) is used in place of the field permanent magnet 1 and the yoke 2, and the outer peripheral surface thereof is used. An elongated body or a plurality of ring magnets arranged in parallel or in close contact with the inner peripheral surface of the first sleeve 3 and having an axial dimension commensurate with the stroke of the linear motor 33 are arranged in the axial direction in the first sleeve 3. The magnetic poles are arranged coaxially and, by using an appropriate magnetizing means, different magnetic poles are alternately formed at equal magnetic pole pitches in the axial direction of the outer peripheral surface of the integrally elongated object or the plurality of ring magnets coaxially arranged. Thus, the magnetic circuit for field can be configured.
Further, for example, in FIG. 4 described above, the field permanent magnet 1 '
Instead of the yoke 2 ′ and the first sleeve 3, a single elongated body or a plurality of the above ring magnets are coaxially arranged around the support rod 22, and the integral long body or a plurality of shafts of the outer peripheral surface. It is also possible to form the magnetic circuit for magnetic field so that different magnetic poles are alternately formed in the same direction at equal magnetic pole pitches and the outer peripheral surface on which the magnetic poles are formed is directly exposed to the magnetic gap 9. As described above, it is needless to say that the magnetic circuit for field of the present invention can be constructed by utilizing the magnetic poles formed on the outer peripheral surface of the ring magnet.

【0025】また、上記本発明においては、第1スリー
ブ3を公知の非磁性材料で形成するとともに第2スリー
ブ4を公知の強磁性材料で形成する例を記載したが、本
発明はこれに限定されず、磁気空隙の磁界強度は小さく
なる傾向を示すが、例えば、第1スリーブ3を公知の強
磁性材料で形成するとともに第2スリーブ4を公知の非
磁性材料で形成してもよい。また、第1および第2スリ
ーブを公知の強磁性材料または非磁性材料のみで形成し
てもよい。さらに、第1および第2スリーブを各々公知
の強磁性材料と非磁性材料との組み合わせで構成しても
よい。また、上記本発明では、第1および第2スリーブ
およびコイルを中空円筒状に形成したが、他の形状(例
えば、好ましくは上記3者が相似の中空形状の角形状、
矩形状、不定形状等。)としてもよい。また、第1およ
び第2スリーブを複数の分割部品を用いて公知の締結
(貼着)手段により形成してもよい。また、上記本発明
では、永久磁石とヨークの形状を中実円筒状やリング形
としたが、他の形状を採用できることは勿論である。ま
た、永久磁石およびヨークの寸法や個数、可動子の個数
等は設計製作過程で適宜決定することができる。また、
上記本発明においては、ホール素子が3つまたは2つの
場合を記載したが、その数は限定されるものではなく、
例えば、使用する駆動電流の相数の倍数に一致させて用
いることが好ましく、また、ホール素子に代わる公知の
磁極検出手段を用いてもよい。また、上記本発明におい
ては3相や2相コイルの場合を記載したが、さらに多相
(好ましくは3n相や2n相:n=2,3,4・・・等
の正の整数。)のコイル構成としてもよいことは当然で
ある。また、上記本発明においては、冷却用フィン5を
第2スリーブ4の外周側に配置する例を記載したが、そ
の内周側に配置してもよい。また、冷却用フィン5を第
1スリーブ3の両端部に配置してもよく、あるいはエン
ドブラケット8を前記冷却用フィン5の形成材料で構成
してもよい。
Further, in the above-mentioned present invention, an example in which the first sleeve 3 is formed of a known non-magnetic material and the second sleeve 4 is formed of a known ferromagnetic material has been described, but the present invention is not limited to this. However, the magnetic field strength of the magnetic gap tends to decrease, but for example, the first sleeve 3 may be formed of a known ferromagnetic material and the second sleeve 4 may be formed of a known non-magnetic material. Further, the first and second sleeves may be formed only by a known ferromagnetic material or non-magnetic material. Furthermore, the first and second sleeves may each be composed of a known combination of a ferromagnetic material and a non-magnetic material. Further, in the above-mentioned present invention, the first and second sleeves and the coil are formed in a hollow cylindrical shape, but other shapes (for example, preferably the hollow-shaped angular shape similar to the three parties,
Rectangular shape, irregular shape, etc. ) Is good. Further, the first and second sleeves may be formed by a known fastening (adhesion) means using a plurality of divided parts. Further, in the above-mentioned present invention, the shapes of the permanent magnet and the yoke are the solid cylindrical shape and the ring shape, but it goes without saying that other shapes can be adopted. Further, the dimensions and number of permanent magnets and yokes, the number of movers, and the like can be appropriately determined in the design and manufacturing process. Also,
In the present invention, the case where the number of Hall elements is three or two is described, but the number is not limited,
For example, it is preferable to use it by matching it with a multiple of the phase number of the drive current to be used, and a known magnetic pole detecting means instead of the Hall element may be used. Further, in the above-mentioned present invention, the case of a three-phase or two-phase coil is described, but more multiphase (preferably 3n phase or 2n phase: n = 2, 3, 4, ..., etc. positive integers). Of course, a coil configuration may be used. Further, in the present invention described above, the example in which the cooling fin 5 is arranged on the outer peripheral side of the second sleeve 4 has been described, but it may be arranged on the inner peripheral side thereof. Further, the cooling fins 5 may be arranged at both ends of the first sleeve 3, or the end brackets 8 may be made of the material forming the cooling fins 5.

【0026】[0026]

【発明の効果】本発明は、上記した通りの独特の特長を
有する略円筒型の多極多相型のリニアモータであって、
下記の効果を奏し得る。 (1)大推力のリニアモータを構成できる。 (2)省スペース化(小型化)が可能である。 (3)リニアモータのユニット化が可能であり、例え
ば、複写機の光学走査装置への組込、交換作業が大幅に
簡略化できる。 (4)良好な放熱性を備えたリニアモータを提供でき
る。
The present invention is a substantially cylindrical multi-pole multi-phase linear motor having the unique features as described above.
The following effects can be achieved. (1) A large thrust linear motor can be constructed. (2) Space saving (miniaturization) is possible. (3) The linear motor can be made into a unit, and, for example, the work of assembling and replacing it in the optical scanning device of the copying machine can be greatly simplified. (4) It is possible to provide a linear motor having good heat dissipation.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明のリニアモータの一例を示す軸方向要部
断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view of an essential part in an axial direction showing an example of a linear motor of the present invention.

【図2】図1のリニアモータにおいて、コイル幅と磁極
ピッチとの関係を説明する図である。
FIG. 2 is a diagram illustrating a relationship between a coil width and a magnetic pole pitch in the linear motor of FIG.

【図3】本発明のリニアモータの他の例を示す軸方向要
部断面図である。
FIG. 3 is a sectional view of an essential part in the axial direction showing another example of the linear motor of the present invention.

【図4】図3のリニアモータにおいて、コイル幅と磁極
ピッチとの関係を説明する図である。
FIG. 4 is a diagram illustrating a relationship between a coil width and a magnetic pole pitch in the linear motor of FIG.

【図5】図3のA−A線断面図である。FIG. 5 is a sectional view taken along line AA of FIG. 3;

【図6】本発明のリニアモータの応用装置の一例を示す
図である。
FIG. 6 is a diagram showing an example of a linear motor application device of the present invention.

【図7】本発明のリニアモータを複写機の光学走査装置
に搭載した一例を示す図である。
FIG. 7 is a diagram showing an example in which the linear motor of the present invention is installed in an optical scanning device of a copying machine.

【図8】従来のリニアモータを示す斜視図である。FIG. 8 is a perspective view showing a conventional linear motor.

【図9】図8の要部断面図を示す図である。9 is a diagram showing a cross-sectional view of a main part of FIG.

【図10】従来のリニアモータを示す図である。FIG. 10 is a diagram showing a conventional linear motor.

【図11】従来のリニアモータを複写機の光学走査装置
に搭載した例を示す図である。
FIG. 11 is a diagram showing an example in which a conventional linear motor is mounted on an optical scanning device of a copying machine.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、1’ 永久磁石、2,2’ ヨーク、3 第1スリ
ーブ、4 第2スリーブ、5 冷却用フィン、6,6
a,6b,6c,6’,6a’,6b’,6c’ コイ
ルホルダー、7a,7b,7c コイル、8,8a エ
ンドブラケット、9 磁気空隙、10 開口部、11
a,11b,11c ホール素子、12 軸受、13
ヨーク凹部、14 給電線、15 界磁用磁気回路部、
17空隙、 18 軸受、19 ガイドバー、20 固
定子、21a,21b 側板、22 支持棒、23 ガ
イド手段、24 貫通穴、26,27 連結部材、3
0,30’ 可動子、16,33,33’ リニアモー
タ、34 基板、35 リニアスケール、36 位置読
み出し部、45 ドラム投影用光学機構、50a,50
b フレーム、 55 原稿走査用光学機構、100
複写機の光学走査装置。
1, 1'permanent magnet, 2,2 'yoke, 3 first sleeve, 4 second sleeve, 5 cooling fins, 6, 6
a, 6b, 6c, 6 ', 6a', 6b ', 6c' coil holder, 7a, 7b, 7c coil, 8, 8a end bracket, 9 magnetic air gap, 10 opening, 11
a, 11b, 11c Hall element, 12 bearings, 13
Yoke recess, 14 feeder, 15 magnetic circuit for field,
17 voids, 18 bearings, 19 guide bars, 20 stators, 21a, 21b side plates, 22 support rods, 23 guide means, 24 through holes, 26, 27 connecting members, 3
0,30 'mover, 16,33,33' linear motor, 34 substrate, 35 linear scale, 36 position reading unit, 45 drum projection optical mechanism, 50a, 50
b frame, 55 original scanning optical mechanism, 100
Optical scanning device for copiers.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 その周面の軸方向に複数の界磁用磁極が
形成される界磁用磁気回路部と、その界磁用磁気回路部
と磁気空隙を介して対向配置されるスリーブとを備えた
固定子と、 前記磁気空隙内に配置されて推力を発生させるコイルを
具備し、さらにその界磁用磁気回路部の軸方向に沿って
移動自在に配置されるとともに、前記スリーブの開口部
を経由して外側に突出する可動子とを備えたことを特徴
とするリニアモータ。
1. A field magnetic circuit section in which a plurality of field magnetic poles are formed in an axial direction of a peripheral surface thereof, and a sleeve arranged to face the field magnetic circuit section with a magnetic gap therebetween. A stator provided therein; and a coil disposed in the magnetic gap to generate a thrust, further arranged movably along the axial direction of the field magnetic circuit portion, and the opening of the sleeve. A linear motor having a mover projecting outwardly through the linear motor.
【請求項2】 中空形状の第1スリーブと、第1スリー
ブ内の軸方向に同磁極同士が対向配置される界磁用永久
磁石と、その永久磁石の同磁極同士が対向する間隙に配
置されるヨークと、第1スリーブと磁気空隙を介して対
向配置されるとともにその軸方向に開口部が形成された
中空形状の第2スリーブとを具備する固定子と、 第1スリーブに外嵌状態にかつ摺動可能に配置されると
ともに第2スリーブの開口部を経由して外側に突出する
コイルホルダーと、コイルホルダーに配設される多相コ
イルとを具備する可動子とを備えたことを特徴とするリ
ニアモータ。
2. A hollow first sleeve, a field permanent magnet in which the same magnetic poles are arranged to face each other in the axial direction within the first sleeve, and the same magnetic poles of the permanent magnets are arranged in a gap which faces each other. And a stator having a hollow second sleeve that is arranged to face the first sleeve via a magnetic gap and has an opening formed in the axial direction thereof, and is fitted onto the first sleeve. And a mover provided with a coil holder that is slidably arranged and projects outward through the opening of the second sleeve, and a polyphase coil that is arranged in the coil holder. And a linear motor.
【請求項3】 可動子にリニア軸受を配設したことを特
徴とする請求項1または2に記載のリニアモータ。
3. The linear motor according to claim 1, wherein the mover is provided with a linear bearing.
【請求項4】 第2スリーブに冷却用フィンを隣接配置
したことを特徴とする請求項2または3に記載のリニア
モータ。
4. The linear motor according to claim 2, wherein a cooling fin is arranged adjacent to the second sleeve.
【請求項5】 コイルに3相または2相の駆動電流を通
電することを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに
記載のリニアモータ。
5. The linear motor according to claim 1, wherein a 3-phase or 2-phase drive current is passed through the coil.
【請求項6】 可動子に光学機構が搭載された光学走査
用のリニアモータであることを特徴とする請求項1ない
し5のいずれかに記載のリニアモータ。
6. The linear motor according to claim 1, which is a linear motor for optical scanning in which an optical mechanism is mounted on a mover.
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