JP5302506B2 - 放射線硬質フォトダイオード設計を持つx線検出器 - Google Patents
放射線硬質フォトダイオード設計を持つx線検出器 Download PDFInfo
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Description
12 被検体
14 X線源
16 検出器
18 X線ビーム
20 表面
22 ピクセル
34 フォトダイオード
36 ダイオード・ゲート
38 反射体/コンタクト層
40 FET
42、44 リンク
46 走査線
48 データ線
50 基板
52 誘電体層
54 コンタクト層
56 不動態化層
58 不動態化層
60 バイア
62 減少した面積のピクセル
64 フォトダイオード
66 コンタクト/反射体
68 コンタクト・タブ
70 不動態化層
76 実効コンデンサ
78 ゲート型ダイオード・ピクセル
Claims (8)
- 基板(50)上に設けられ且つシンチレータによって覆われているピクセル(22)のアレイで形成されている光検出器(16)であって、各ピクセルが、
コンタクト層(54)と、
前記コンタクト層(54)上に設けられ且つ、光子を受け取って、該受け取った光子に応じて信号を発生するように構成されているフォトダイオード(34,68)と、
前記フォトダイオードの少なくとも一部分の周りに配置され、前記フォトダイオードの上表面に結合されている反射層(66)であって、当該反射層に入射する光子を反射して前記シンチレータを介して前記フォトダイオードの方へ向けるようにする反射層(66)と、
前記フォトダイオードからの電荷の漏洩を制限するために前記フォトダイオードを実質的に取り囲むゲート層(36)と、
を有し、
前記反射層(66)は導電性材料で作られ且つ誘電体材料(56)によって前記コンタクト層(54)から隔てられ、前記誘電体材料(56)の層が前記フォトダイオードの実効ピクセル容量を増大させ、
前記誘電体材料(56)は、前記コンタクト層(54)と前記ゲート層(36)の間に配置された第1の不動態化層(56)と、前記ゲート層(36)と前記反射層(66)の間に配置された第2の不動態化層(58)とを含み、
前記ゲート層(36)はバイア(60)を介して前記反射層に電気的に結合されている、
ことを特徴とする光検出器(16)。 - 透視型X線システム、トモシンセシス・システム及び、コンピュータ断層撮影システムのいずれかの検出器に使用される、請求項1記載の光検出器。
- 前記反射層(66)及び前記コンタクト層(54)は前記フォトダイオードで受け取る光子によって減少させられる電荷を蓄積するためのコンデンサを形成している、請求項1又は2記載の光検出器。
- 前記反射層(66)は、前記フォトダイオードの上表面に結合された前記フォトダイオードのコンタクトを形成している、請求項1乃至3のいずれかに記載の光検出器。
- 前記反射層(66)は、前記フォトダイオードの前記上表面まで延在する少なくとも1つのタブ(68)を介して、前記フォトダイオードの前記上表面に結合されている、請求項4記載の光検出器。
- 前記第1の不動態化層(56)は500オングストローム(Å)〜1マイクロメートル(μm)の厚さを有している、請求項1記載の光検出器。
- 各ピクセルは更に、前記フォトダイオードに結合されていて、前記光子によって減少した電荷の読み出しのために前記フォトダイオードを再充電するようにスイッチ可能である電界効果トランジスタ(40)を含んでいる、請求項1乃至6のいずれかに記載の光検出器。
- 前記フォトダイオード(34,64)は各ピクセルの全表面積の内のほぼ20%〜ほぼ60%の表面積を占め、
前記反射層(66)及び前記フォトダイオード(34,64)はそれらの組み合わせた表面積が各ピクセルの全表面積の内のほぼ60%以上を占めている、請求項1乃至7のいずれかに記載の光検出器。
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