JP4683906B2 - 光マスク層を有するct検出器及びその製造方法 - Google Patents

光マスク層を有するct検出器及びその製造方法 Download PDF

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Description

本発明は、総括的には診断用イメージングに関し、より具体的には、シンチレータと隣接する光ダイオードとの間の漏話を低減するための光マスク層を有するCT検出器に関する。
通常、コンピュータ断層撮影(CT)イメージング・システムにおいては、X線源が、患者又は手荷物などの被検体又は対象物に対して扇形ビームを照射する。以下において、「被検体」及び「対象物」という用語は、撮像対象となることができる任意のものを含む。ビームは、被検体によって減弱された後に、放射線検出器のアレイに入射する。検出器アレイで受信された減弱ビーム放射線の強度は、通常、被検体によるX線ビームの減弱度によって決まる。検出器アレイの各検出器素子は、各検出器素子で受信した減弱ビームを表す個別の電気信号を生成する。電気信号は、最終的に画像を生成する分析のためにデータ処理システムへ送信される。
一般的に、X線源及び検出器アレイは、イメージング平面内においてガントリ近くで被検体の周りを回転する。X線源は、通常、焦点にX線ビームを照射するX線管を含む。X線検出器は、通常、検出器で受信したX線ビームをコリメートするコリメータと、X線を光エネルギーに変換する、コリメータに隣接したシンチレータと、隣接するシンチレータから光エネルギーを受信し該光エネルギーから電気信号を生成する光ダイオードとを含む。
通常、シンチレータ・アレイの各シンチレータは、X線を光エネルギーに変換する。各シンチレータは、該シンチレータに隣接する光ダイオードへ光エネルギーを放出する。各光ダイオードは、光エネルギーを検出し、対応する電気信号を生成する。光ダイオードの出力は、次に画像再構成のためにデータ処理システムへ送信される。
一般的に、光ダイオードは、受信した光信号又はエネルギーを電流に変換するために用いられる。通常、発生する電流の量又は値は、検出した光エネルギー又は信号の量に正比例する。これに関して、効率的かつ有効な画像再構成のためには、シンチレータによって受信されるX線、シンチレータによって照射される光、及び光ダイオードによって検出される光が局所化されることが不可欠である。つまり、隣接する検出器セル間でクロス・コミュニケーションがある場合、光ダイオードの出力品質が悪化するおそれがある。このクロス・コミュニケーションは一般的に「クロストーク(漏話)」と呼ばれる。
CT検出器の検出器セル間の「漏話」は、隣接する検出器セル間でデータ又は信号が伝達される時に起こる。一般的に、漏話は、最終的な再構成CT画像においてアーチファクトの存在を招き、空間分解能不足の原因となるので、漏話の低減が図られる。通常、単一のCT検出器内には、4つの異なるタイプの漏話が生じる可能性がある。X線漏話は、シンチレータ・セル間のX線の散乱によって引き起こされる場合がある。光反射漏話は、シンチレータを囲む反射体による光の伝送によって引き起こされる。公知のCT検出器では、通常はエポキシである連続した光結合層を用いて、シンチレータ・アレイを光ダイオード・アレイに固定する。この結合層が、光結合漏話を生じる。これは、閉じ込められかつ光結合層を透過して隣接するダイオードの上方の領域内に入る光によるものであり、この場合光は最終的にはダイオードに吸収されて電気信号に変換される。4番目のタイプの漏話は、拡散漏話である。これは、電気と光との組合せである。この漏話は、通常、ダイオード領域間の境界付近に発生した光子によるものである。光生成キャリアがダイオードの無電界領域内で拡散し、その一部が隣接するダイオードによって収集さて漏話を生じるものである。上述のような光結合漏話及び拡散漏話の両方は、光透過又は光伝達漏話として表現されることになる。
漏話、特に漏話変動は、CTイメージング装置におけるアーチファクトの大きな原因である。検出器セル間の漏話変動(あらゆる形態での)を低減するために、CT検出器は、高画質でアーチファクトのないCT画像が再構成できるように非常に厳しい精度で製造される。漏話のメカニズムの多くは、検出器の寸法及び他の特性の小さな変動に非常に敏感である。光ダイオード・アレイに対するシンチレータ・アレイの不整合は、1つのセルからその隣接するセルへの漏話レベルの不均一性を促進する。1つのセルから別のセルへの漏話の変動を低減するためには、シンチレータに対してダイオードをより良好に整合させるか又は敏感でない設計にするかのいずれかが必要である。
このセル間の漏話変動の原因となるものの1つは、個々の光ダイオード素子間での光生成キャリアの拡散によって生じる電気的漏話である。光生成キャリアの側方拡散により、光ダイオード収集ジャンクションの光能動領域が拡大すると考えられる。この側方拡散により、幾らかの光キャリアがセル収集位置からはずれて拡散した時に起こる側方漏話が生じることになり、その場合、拡散した光キャリアが発生し、隣接するセルによって収集される。ダイオードが厚くなることにより収集前の拡散の長さが増加するので、背面照射型ダイオードの場合にはこの影響が一層顕著になる。背面照射型ダイオードは、光がダイオード・ジャンクションとは反対側でダイオード・アレイに入射するダイオード・アレイである。
米国特許第4982096号
従って、電気的漏話を低減して画像再構成を改善したCT検出器を設計することが望ましいといえる。
本発明は、光ダイオード間の漏話及び漏話変動を低減する光マスクを使用して前述の欠点を克服したCT検出器を対象とする。
光マスク層は、CT検出器の光ダイオード・アレイとシンチレータ・アレイとの間に配置されるか又は他の方法で形成される。x軸、z軸又はその両方に沿って延びることができる光マスク層は、光ダイオード間の境界付近の領域においてシンチレータ・アレイのシンチレータによって照射された光を吸収又は反射するように設計される。この吸収又は反射によって、シンチレータから隣接するシンチレータに対応する光ダイオードに向かう電気信号内への光子の伝達が低減される。抑制された伝達は、2つのメカニズム、すなわち、第1に光結合層を通る光透過と、第2に半導体内での電気キャリアの生成及びこのキャリアの隣接する光ダイオードへの側方拡散とによって起こることになる。この漏話の低減は、再構成画像のアーチファクトを減少させ、従って画像の診断価値を向上させる。別の実施形態では、光吸収材料に代えて又は光吸収材料に加えて、光反射材料が用いられる。
従って、1つの態様によると、本発明は、複数のシンチレータを備えたシンチレータ・アレイと、複数の光ダイオードを有し、シンチレータ・アレイの照度を検出するように構成された光ダイオード・アレイとを有するCT検出器を含む。さらに、CT検出器は、シンチレータ・アレイと光ダイオード・アレイとの間に配置された光マスクを含む。光マスクは、シンチレータと隣接する光ダイオードとの間の光伝達を低減するように構成される。
本発明の別の態様によると、CT検出器を提供し、本CT検出器は、互いに隣接して配置された少なくとも2つのシンチレータと、少なくとも2つの光ダイオードとを含む。各光ダイオードは、それぞれのシンチレータの照度を検出するように作動可能に整列される。CT検出器はさらに、少なくとも2つのシンチレータと少なくとも2つの光ダイオードとの間に配置されて、シンチレータと隣接する光ダイオードとの間の光伝達を低減する少なくとも1つのマスク要素を含む。
さらに別の態様によると、本発明は、その中央に配置されたボアを有する回転可能なガントリと、ボアの中を前後に移動可能であり、CTデータ収集のために被検体を位置決めするように構成されたテーブルとを有するCTシステムを含む。CTシステムはまた、回転可能なガントリ内に配置され、被検体に向かって高周波電磁エネルギーを投射するように構成された高周波電磁エネルギー投射源と、回転可能なガントリ内に配置され、投射源によって投射されかつ被検体に入射する高周波電磁エネルギーを検出するように構成された検出器アレイとを含む。検出器アレイは、シンチレータのアレイと光ダイオードのアレイとを含む。検出器アレイはさらに、シンチレータのアレイと光ダイオードのアレイとの間の間隙に層状に挿入した光漏話阻止体のアレイを含む。
さらに別の態様によると、本発明は、CT検出器の製造方法を含み、本方法は、セル配列のシンチレータを準備する段階と、セル配列の光ダイオードを準備する段階とを含む。本製造方法はさらに、光漏話マスクを準備する段階と、セル配列のシンチレータとセル配列の光ダイオードとをそれらの間に光漏話マスクが挟まれるように配置する段階とを含む。
本発明の他の様々な特徴、目的及び利点は、以下の詳細な説明及び図面から明らかになるであろう。
図面は、本発明を実施するための現在考えられる1つの好ましい実施形態を示す。
4スライス・コンピュータ断層撮影(CT)システムに関して本発明の作動環境を説明する。しかしながら、本発明が単一スライス又は他のマルチ・スライス構成での使用にも同様に適用可能であることは、当業者には分かるであろう。さらに、本発明は、X線の検出及び変換に関して説明することにする。しかしながら、さらに、本発明が、ガンマ線などの他の高周波電磁エネルギー、或いは中性子、電子又は陽子などのより高エネルギーの粒子放射線の検出及び変換にも同様に適用可能であることは、当業者には分かるであろう。本発明は、「第3世代」CTスキャナに関して説明するが、他のCTシステムにも同様に適用可能である。
図1及び図2を参照すると、コンピュータ断層撮影(CT)イメージング・システム10が、「第3世代」CTスキャナを代表するガントリ12を含むものとして示されている。ガントリ12は、該ガントリ12の反対側にある検出器アレイ18に向かってX線ビーム16を投射するX線源14を有する。検出器アレイ18は、医療患者22を透過する投射X線をともに感知する複数の検出器20で形成される。各検出器20は、入射X線ビームすなわち患者22を透過するときに減弱されたビームの強度を表す電気信号を生成する。X線投影データを収集するスキャン中、ガントリ12及びその上に装着された構成要素は、回転中心24の周りで回転する。
ガントリ12の回転及びX線源14の作動は、CTシステム10の制御機構26によって制御される。制御機構26は、X線源14に電力とタイミング信号を供給するX線制御装置28と、ガントリ12の回転速度及び位置を制御するガントリ・モータ制御装置30とを含む。制御機構26内のデータ収集システム(DAS)32は、検出器20からのアナログ・データをサンプリングし、後続の処理のためにそのデータをデジタル信号に変換する。画像再構成装置34は、DAS32からのサンプリングされかつデジタル化されたX線データを受けて、高速画像再構成を実行する。再構成された画像は、コンピュータ36へ入力として供給され、コンピュータ36はその画像を大容量記憶装置38に格納する。
コンピュータ36はまた、キーボードを有するコンソール40を介してオペレータから命令及びスキャン・パラメータを受ける。付随する陰極線管表示装置42によって、オペレータはコンピュータ36からの再構成画像及び他のデータを観察できる。オペレータが供給した命令及びパラメータは、コンピュータ36によって用いられて、DAS32、X線制御装置28及びガントリ・モータ制御装置30に制御信号及び情報を与える。さらに、コンピュータ36は、電動テーブル46を制御して患者22及びガントリ12を位置決めするテーブル・モータ制御装置44を作動させる。具体的には、テーブル46は、ガントリ開口部48を通して患者22の部分を移動させる。
図3及び図4を参照すると、検出器アレイ18は、シンチレータ・アレイ56を形成する複数のシンチレータ57を含む。コリメータ(図示せず)がシンチレータ・アレイ56の上に配置されて、X線ビーム16がシンチレータ・アレイ56に入射する前に該X線ビーム16をコリメートする。
図3に示す1つの実施形態では、検出器アレイ18は57個の検出器20を含み、各検出器20は、16×16のアレイ・サイズを有する。その結果、アレイ18は、ガントリ12の各回転で16個の同時スライスのデータを収集するのを可能にする16行及び912列(16×57検出器)を有する。さらに、下記でより詳細に述べるように、各検出器は、x軸に沿って互いに隣接する検出器セル間、z軸に沿って互いに隣接する検出器セル間又はその両方の漏話を低減するように設計された光マスク又は層を含む。慣例により、検出器の平面内の2つの軸は、x軸及びz軸である。x軸が、ガントリ回転の方向にある。
図4のスイッチ・アレイ80及び82は、シンチレータ・アレイ56とDAS32との間に連結された多次元半導体アレイである。スイッチ・アレイ80及び82は、多次元アレイとして配列された複数の電界効果トランジスタ(FET)(図示せず)を含む。FETアレイは、それぞれの光ダイオード60の各々に接続された多数の導線と、可撓性の電気的インタフェース84を介してDAS32に電気的に接続された多数の出力導線とを含む。具体的には、約半分の光ダイオード出力がスイッチ80に電気的に接続され、残り半分の光ダイオード出力がスイッチ82に電気的に接続される。さらに、各シンチレータ57間に反射層(図示せず)を配置して、隣接するシンチレータからの光散乱を低減することができる。各検出器20は、取付けブラケット79によって図3の検出器フレーム77に固定される。
スイッチ・アレイ80及び82はさらに、所望の数のスライス及び各スライスのスライス解像度に従って、光ダイオード出力を有効にするか、無効にするか又は組み合わせるデコーダ(図示せず)を含む。1つの実施形態では、デコーダは、当技術分野では公知のデコーダ・チップ又はFET制御装置である。デコーダは、スイッチ・アレイ80及び82とDAS32とに接続された複数の出力及び制御線を含む。16スライス・モードとして形成した1つの実施形態では、デコーダは、スイッチ80及び82を有効にして、光ダイオード・アレイ52の全ての行を起動して、DAS32による処理のために16個の同時スライスのデータを得るようにする。もちろん、他の多くのスライスの組合せが可能である。例えば、デコーダはまた、1、2及び4スライス・モードを含む他のスライス・モードから選択することもできる。
図5に示すように、適正なデコーダ指示を送信することによって、スイッチ・アレイ80及び82は、光ダイオード・アレイ52の1つ又はそれ以上の行の4つのスライスからデータを収集するような4スライス・モードに構成されることができる。スイッチ・アレイ80及び82の特定の構成に応じて、光ダイオード60の様々な組合せを有効にするか、無効にするか又は組み合わせて、スライスの厚さが、シンチレータ・アレイ素子57の1つ、2つ、3つ又は4つの行で構成されることができるようにすることができる。別の実施例は、スライスが1.25mm厚さ〜20mm厚さの範囲にある1つのスライスを含む単一スライス・モードと、スライスが1.25mm厚さ〜10mm厚さの範囲にある2つのスライスを含む2スライス・モードとを含む。上に説明したモード以上の別のモードが考えられる。
本発明は、ダイオードの検出器セル間のギャップに近い領域内でのシンチレータからの光子の吸収を低減するように構成した光マスク又は層を対象とする。この領域におけるダイオード内の光生成キャリアは、拡散して隣接する検出器セルによって収集される確率が最も高い。具体的には、光マスクは、シンチレータ・アレイ及び光ダイオード・アレイに沿って横方向に延びかつこれらアレイと寸法的に等しい交差する光吸収阻止要素のグリッドを形成する。さらに、マスクは、吸収材料又は不透明材料に代えて又はこれら材料に加えて、光反射材料で構成することができる。より具体的には、マスクは、黒色ポリアミド、金属、ドープ処理シリコン及び不透明材料の任意の1つ又は組合せで構成するのが好ましい。
図6は、本発明によるCT検出器20の一部の断面図を示す。上記に示しかつ説明したように、検出器20は、複数のシンチレータ57で形成されたシンチレータ・アレイ56を含む。隣接するシンチレータは、ギャップ86によって互いに分離され、このギャップには、通常、反射体を形成するような光反射材料が充填される。シンチレータ・アレイ56に対して光ダイオード・アレイ52が光結合され、光ダイオード・アレイ52は、半導体基板61で作られた光ダイオード60を含む。各シンチレータ57は、対応する光ダイオード60を有する。シンチレータ・アレイと基板との間には、多数のマスク要素90を含む光マスク又は層88が挟まれる。上述のように、光マスクは、マスク要素がx軸、z軸又はその両方に沿って延びるように、構成することができる。
光吸収マスク88は、1つの検出器セルからその隣接するセルへの漏話を低減するように設計される。より具体的には、光マスク要素90は、シンチレータから隣接するシンチレータの光ダイオードへの漏話を低減するように設計される。さらに、光マスクは、検出器構成要素の不整合及びそれに関連する漏話に対処するように設計される。つまり、光マスクは、個々のマスク要素が隣接するシンチレータ間の間隔と寸法的に等しいか又は好ましくはこの間隔よりも大きくなるように構成される。従って、光マスクは、光ダイオード・アレイに対するシンチレータ・アレイの整合要件を緩和するために用いることができる。ダイオード内の光子吸収領域は、シンチレータ・アレイ56を整合させることではなく、マスク88を配置することによって定まる。さらに、光マスク要素の厚さは、シンチレータ・アレイと光ダイオード・アレイとの間の垂直方向の間隔にほぼ等しいのが好ましい。
光マスクは、多数の光吸収材料を含むことができ、多数の製作法によって製造することができると考えられる。これに関して、黒色ポリアミドは、光吸収層に用いることができる組成物の1つの実施例である。このような黒色ポリアミド材料は、ミズーリ州ローラ所在のBrewer Science,Inc.から購入可能である。さらに、金属及び金属被覆製造法が考えられる。別の実施形態では、光ダイオード・アレイは、光生成キャリアの急速再結合を生じるドーパントを使用して蒸着又はそれとは別に拡散させることができる。1つの実施例は、ダイオードがP型ドーパントで形成された場合の高濃度N型ドーパントである。別の実施形態では、寸法的に光ダイオード・アレイに等しい機械的グリッドを製造し、付着させる。光マスクを構成するのに、不透明材料のスクリーン印刷もまた考えられる。さらに、これまで、シンチレータと隣接する光ダイオードとの間の漏話を光ダイオード間に光吸収要素を組込むことによって低減することに関して本発明を説明してきたが、隣接する検出器セルに向かって照射される光子を、光反射要素を用いて遮断する及び/又は反射させることができるも考えられる。これに関し、光収集は、漏話の低減とともに増加することになる。傾斜した反射要素を用いて、光収集効率をさらに高めることができることも考えられる。
本発明は、医療患者からの診断データ収集に関して説明してきた。本発明はまた、非医療データを収集するのに用いるCTシステムにも適用可能である。図7を参照すると、荷物/手荷物検査システム100は、その中に開口部104を有する回転可能なガントリ102を含み、この開口を通して荷物又は手荷物を移動させることができる。回転可能なガントリ102は、高周波電磁エネルギー源106とシンチレータ・セルを含むシンチレータ・アレイとを有する検出器組立体108を収納する。さらに、コンベヤ・システム110が設けられ、このコンベヤ・システム110は、構造体114によって支持されたコンベヤ・ベルト112を含み、開口部104を通して自動的にかつ連続してスキャン対象の荷物又は手荷物116を通過させる。対象物116は、コンベヤ・ベルト112によって開口部104を通して送り込まれ、次にイメージング・データが収集され、コンベヤ・ベルト112は制御された連続的な方法で開口部104から荷物116を除去する。その結果、郵便検査官、手荷物係及び他の警備員は、爆発物、ナイフ、銃、密輸品などについて、荷物116の内容物を非侵襲的に検査することができる。
従って、1つの実施形態によると、本発明は、複数のシンチレータを備えたシンチレータ・アレイと、複数の光ダイオードを有し、シンチレータ・アレイの照度を検出するように構成された光ダイオード・アレイとを有するCT検出器を含む。CT検出器はまた、シンチレータ・アレイと光ダイオード・アレイとの間に配置された光マスクを含む。光マスクは、シンチレータと隣接する光ダイオードとの間の光伝達を低減するように構成される。
本発明の別の実施形態によると、CT検出器を提供し、本CT検出器は、互いに隣接して配置された少なくとも2つのシンチレータと、少なくとも2つの光ダイオードとを含む。各光ダイオードは、それぞれのシンチレータの照度を検出するように作動可能に整列される。CT検出器はさらに、少なくとも2つのシンチレータと少なくとも2つの光ダイオードとの間に配置されて、シンチレータと隣接する光ダイオードとの間の光伝達を低減する少なくとも1つのマスク要素を含む。
さらに別の態様によると、本発明は、その中央に配置されたボアを有する回転可能なガントリと、ボアの中を前後に移動可能であり、CTデータ収集のために被検体を位置決めするように構成されたテーブルとを有するCTシステムを含む。CTシステムはまた、回転可能なガントリ内に配置され、被検体に向かって高周波電磁エネルギーを投射するように構成された高周波電磁エネルギー投射源と、回転可能なガントリ内に配置され、投射源によって投射されかつ被検体に入射する高周波電磁エネルギーを検出するように構成された検出器アレイとを含む。検出器アレイは、シンチレータのアレイと光ダイオードのアレイとを含む。検出器アレイはさらに、シンチレータのアレイと光ダイオードのアレイとの間の間隙に層状に挿入した光漏話阻止体のアレイを含む。
さらに別の態様によると、本発明は、CT検出器の製造方法を含み、本方法は、セル配列のシンチレータを準備する段階と、セル配列の光ダイオードを準備する段階とを含む。本製造方法はさらに、光漏話マスクを準備する段階と、セル配列のシンチレータとセル配列の光ダイオードとをそれらの間に光漏話マスクが挟まれるように配置する段階とを含む。
好ましい実施形態に関して本発明を説明してきたが、明確に述べたものは別にして、均等な構成、変更及び修正が可能であり、かつそれらが特許請求の範囲の技術的範囲内にあることを理解されたい。
CTイメージング・システムの斜視図。 図1に示すシステムの概略ブロック図。 CTシステム検出器アレイの1つの実施形態の斜視図。 検出器の1つの実施形態の斜視図。 4スライス・モードにおける、図4の検出器の様々な構成を示す図。 本発明の1つの態様によるCT検出器の一部の断面図。 非侵襲的荷物検査システムに用いたCTシステムの斜視図。
符号の説明
20 CT検出器
52 光ダイオード・アレイ
56 シンチレータ・アレイ
57 シンチレータ
60 光ダイオード
61 半導体基板
86 ギャップ
88 光マスク
90 マスク要素

Claims (9)

  1. 入射するX線を受ける上面を備え、セル配列された複数のシンチレータ(57)を有し、半導体基板(61)の上面側に配列されたシンチレータ・アレイ(56)と、
    前記半導体基板(61)で作られた複数の光ダイオード(60)を有し、前記シンチレータ・アレイ(56)の照度を検出するように構成され、前記半導体基板(61)の底面の側に配列された光ダイオード・アレイ(52)と、
    光吸収材料で作成され、前記シンチレータ・アレイ(56)と光ダイオード・アレイ(52)との間に、前記半導体基板(61)の前記上面の側に配置され、前記シンチレータ(57)とこれに対応する光ダイオード(60)と間の光伝達を低減するように構成された光マスク(88)であって、予め準備された前記光マスク(88)が、前記シンチレータ・アレイ(56)と前記半導体基板(61)との間に挟まれる、前記光マスク(88)と、
    を含み
    前記光マスク(88)は、前記複数の光ダイオード(60)よりも前記シンチレータ・アレイ(56)の近くに配置され、前記シンチレータ・アレイ(56)に隣接している、
    CT検出器。
  2. 前記光マスク(88)が、光阻止要素(90)のグリッドを含む、請求項1記載のCT検出器。
  3. 前記光マスク(88)が、前記シンチレータ・アレイ(56)の前記上面に沿って延びる光吸収阻止要素のグリッドを形成し、該光吸収阻止要素の寸法が、前記シンチレータ・アレイ(56)及び前記光ダイオード・アレイ(52)の寸法と等しい、請求項1記載のCT検出器。
  4. 前記複数の光阻止要素(90)が隣接するシンチレータ間の間隔と等しくなるように構成される、請求項3記載のCT検出器。
  5. 各シンチレータ/光ダイオードの組合せが検出器セルを形成し、前記光マスク(88)が隣接するセル間の漏話を低減するように構成されている、請求項1記載のCT検出器。
  6. その中央に配置されたボアを有する回転可能なガントリと、
    前記ボアの中を前後に移動可能であり、CTデータ収集のために被検体を位置決めするように構成されたテーブルと、
    前記ガントリ内に配置され、前記被検体に向かって高周波電磁エネルギーのファンビームを投射するように構成された高周波電磁エネルギー投射源と、
    前記ガントリ内に配置され、投射源によって投射されかつ被検体に入射する高周波電磁エネルギーを検出するように構成された請求項1乃至のいずれかに記載のCT検出器と、
    を含む、CTシステム。
  7. CT検出器の製造方法であって、
    入射するX線を受ける上面を備えるセル配列のシンチレータを準備する段階と、
    半導体基板(61)の上面の側にセル配列の光ダイオードを準備する段階と、
    光吸収材料で作成された光漏話マスクを準備する段階と、
    前記セル配列のシンチレータと前記セル配列の光ダイオード間に前記光漏話マスクが挟まれ、前記光漏話マスクが、前記セル配列の光ダイオードよりも前記セル配列のシンチレータの近くなるように、前記半導体基板(61)の底面の側に準備した前記光漏話マスクを付着させる段階と、
    を含む方法。
  8. 前記光漏話マスクが前記セル配列のシンチレータに隣接する、セル配列のマスク要素を含む、請求項に記載の方法。
  9. 前記光漏話マスクが、黒色ポリアミド、金属、ドープ処理シリコン及び不透明材料の1つで形成されている、請求項記載の方法。
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