JP5293220B2 - 成膜装置 - Google Patents
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Description
図4は、容量結合型の平行平板プラズマCVD(Chemical Vapor Deposition)装置の一例を示す模式図である。このプラズマCVD装置では、内部に減圧可能な反応室21が形成された反応容器2を備えており、反応室21内には、外部の高周波電源(RF電源)3から高周波電力が供給される高周波電極(RF電極)31と、該高周波電極31と対向する位置に接地電極32が配置されている。
高周波電極31には、図示しないガス導入路が接続されており、該ガス導入路から成膜原料となる成膜ガス(反応ガス)6が、シャワー電極として多数のガス吹出口を有する高周波電極31の表面から反応室21内の基板1に向かって放出されるようになっている。また、接地電極32内には、搬送された基板1を加熱するためのヒータが内蔵されている。一方、反応容器2の側壁には、一端が除外装置7に接続された排気口70が設けられている。
まず、図示しない搬送機構により基板1を反応容器2の反応室21内に搬送し、減圧されている反応室21内で高周波電極31及び接地電極32の間に配置するとともに、接地電極32内のヒータによって基板1を所望の温度に加熱する。
次いで、高周波電極31と基板1との間の放電空間に、図示しないガス導入路から成膜ガス6を導入し、高周波電極31から基板1に向けて放出するとともに、高周波電源3により高周波電極31に高周波電圧を印加すると、上記放電空間にプラズマ40が発生する。これに伴い、放出された成膜ガス6は、プラズマ40中で分解されて分解粒子51となり、基板1上及び高周波電極31に膜50及び残渣(フレーク)52aが生成される一方、残りの成膜ガス6は、排気口70から除外装置7に排気されることになる。
なお、プラズマ40中では、成膜ガス6が分解され、基板1に膜50が成膜されるだけでなく、分解粒子51がプラズマ40から放出されると、パウダー状態の粒子になることが知られている。
前記基板への成膜は、前記基板を搬送しながら行われている。
図1において、本発明の実施形態のプラズマCVD装置における反応容器2の反応室21内には、表面側の電極板31aに成膜ガス(反応ガス)6を放出するための多数の成膜ガス吹出口(ガス吹出部)5を穿設した高周波電極31が配置されており、高周波電極31の背面側には、成膜ガス6を導入するための成膜ガス導入部31bが設けられている。この成膜ガス導入部31bは、絶縁/磁気シール材9を介して固定部材31cに接続されている。しかも、成膜ガス導入部31bは、成膜ガス吹出口5を介して反応室21に連通している。なお、成膜ガス導入部31bの基端は、図示しない成膜ガス供給源に接続されている。
図示しない搬送機構により基板1を反応容器2の反応室21内に搬送し、高周波電極31及び接地電極32の間に配置するとともに、接地電極32内のヒータによって基板1を加熱する。そして、高周波電極31の成膜ガス導入部31bに成膜ガス6を導入し、電極板31aの成膜ガス吹出口5から基板1に向けて吹き出すことにより放出するとともに、高周波電源3により高周波電極31に高周波電圧を印加すると、高周波電極31と基板1との間の放電空間にプラズマ40が発生する。これに伴い、放出された成膜ガス6は、プラズマ40中で分解(イオン化)されて分解粒子51となり、基板1上に付着して膜50を形成する。
そこで、本発明の実施形態では、基板1に成膜されずに残った成膜ガス6をプラズマ40の生成部中から直接排気口70及び排気ダクト8に導き、パウダー状の残渣52bとなる前に除外装置7に排気している。その際、ガス排気流路には曲がり部が設けられていないため、遠心力や慣性力によって成膜ガス6が反応室21の内壁面などに付着することなく、基板1に成膜されずに残った成膜ガス6は、垂直方向へ直進して排気されることになる。
2 反応容器
3 高周波電源
5 成膜ガス吹出口(ガス吹出部)
6 成膜ガス(反応ガス)
7 除外装置
8 排気ダクト(ガス排気流路)
11 排気管加熱ヒータ
21 反応室
31 高周波電極
31a 電極板
31b 成膜ガス導入部
32 接地電極
40 プラズマ
50 膜
51 分解粒子
52a,52b 残渣
70 排気口
Claims (2)
- 反応ガスが導入される反応容器の反応室内に2つの電極を対向して配置し、前記2つの電極の一方に高周波電力を供給することによってプラズマを生成し、前記反応ガスを分解して前記2つの電極の間に搬送される基板の表面に薄膜を形成するようにした成膜装置において、
前記2つの電極のうち、一方の電極の電極板には、前記反応ガスを放出する複数のガス吹出口が設けられ、前記電極板の端部であって、前記基板の搬送方向の両側端部には、前記反応ガスを前記プラズマの生成部から排気する複数の排気口が前記ガス吹出口を間に置いて設けられ、前記排気口には、ガス排気流路を構成する排気ダクトの一端がそれぞれ接続され、これら排気ダクトは、前記一方の電極の背面側から前記反応容器の外部に向かって直線的に延在するとともに、前記排気口側の端部外形が拡大した開口部を有する漏斗状の傾斜面に形成され、かつ前記排気ダクトには、全周囲を覆って加熱する加熱手段が設けられ、
前記基板に成膜されずに残った前記反応ガスを前記プラズマの生成部から前記排気口及び前記排気ダクトを介して垂直方向へ直進させて排気するように構成されていることを特徴とする成膜装置。 - 前記基板への成膜は、前記基板を搬送しながら行われていることを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。
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