JP5292088B2

JP5292088B2 - Ball mounting device

Info

Publication number: JP5292088B2
Application number: JP2008325150A
Authority: JP
Inventors: 利幸小竹; 俊八木橋; 忠谷貝; 昭隆山岸
Original assignee: Athlete FA Corp
Current assignee: Athlete FA Corp
Priority date: 2008-12-22
Filing date: 2008-12-22
Publication date: 2013-09-18
Anticipated expiration: 2028-12-22
Also published as: JP2010147369A

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an angle adjusting device configured such that the direction and amount of angle adjustment of an object to be adjusted are easily obtained. SOLUTION: The angle adjusting device 1 has a fixed portion 19, a holding portion 20 for holding an object to be adjusted, a spherical bearing portion 21 supporting the holding portion 20 in an oscillatory state on the fixed portion 19, and an adjusting screw 22 as an adjusting means of displacing the holding portion 20 on the spherical bearing portion 21 as a fulcrum in directions in which the holding portion 20 contacts and leaves the fixed portion 19. The adjusting means is arranged at two places, whose middle point is at an orthogonal intersection of two orthogonal directions, for respective directions on the straight line passing the centers of rotations of the adjusting screw 22 and spherical bearing portion 21. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、角度調整装置およびボール搭載装置に関するものである。 The present invention relates to an angle adjusting device and a ball mounting device.

導電性を有する複数個のボールを基板上に搭載する際に用いるボール搭載装置においては、ボール吸着ヘッドのボール吸着面にボールを吸着し、この吸着したボールを基板上の所定位置に搭載することができる。ボール搭載装置では、基板上へのボールの搭載を、例えば、次のようにして行っている。基板のボールの搭載位置（例えば、電極上）に予めフラックスを塗布しておき、ボール吸着面に吸着したボールがフラックスに接触する位置となるように、基板に対してボール吸着ヘッドを移動する。そして、ボールがフラックスに接触している状態でボールの吸着を解除すると共に、ボール吸着ヘッドを上方に移動すると、ボールは基板の側に残り、基板上の所定位置にボールが搭載されることになる。 In a ball mounting apparatus used when mounting a plurality of conductive balls on a substrate, the ball is attracted to the ball attracting surface of the ball attracting head, and the attracted ball is mounted at a predetermined position on the substrate. Can do. In the ball mounting apparatus, the ball is mounted on the substrate as follows, for example. A flux is applied in advance to a ball mounting position (for example, on an electrode) on the substrate, and the ball suction head is moved with respect to the substrate so that the ball attracted to the ball suction surface comes into contact with the flux. When the ball is released from being in contact with the flux and the ball suction head is moved upward, the ball remains on the substrate side, and the ball is mounted at a predetermined position on the substrate. Become.

このようなボール搭載装置においては、ボール吸着面と基板のボール搭載面とが傾斜している状態でボールの搭載を行った場合には、ボールがフラックスに接触している部分と接触していない部分ができる。フラックスにボールが接触していない部分では、ボール吸着ヘッドを上方に移動する際に、ボールを基板の所定位置に残すことができないという問題が発生することがある。そのため、ボール搭載においては、予め、ボール搭載面と基板のボール搭載面とが平行な状態となるように、ボール吸着ヘッドのボール搭載装置への支持角度の調整を行う必要がある。 In such a ball mounting device, when the ball is mounted in a state where the ball adsorption surface and the ball mounting surface of the substrate are inclined, the ball is not in contact with the portion in contact with the flux. A part is made. In a portion where the ball is not in contact with the flux, there is a problem that the ball cannot be left at a predetermined position on the substrate when the ball suction head is moved upward. Therefore, in ball mounting, it is necessary to adjust the support angle of the ball suction head to the ball mounting device in advance so that the ball mounting surface and the ball mounting surface of the substrate are in parallel.

かかる角度調整は、ボール吸着ヘッドを、例えば、特許文献１に開示される平行調整機構を介してボール搭載装置に支持し、この平行調整機構によりボール吸着面が基板のボール搭載面に平行になるように、ボール吸着ヘッドのボール搭載装置に対する支持角度を調整している。 For this angle adjustment, for example, the ball suction head is supported by a ball mounting device via a parallel adjustment mechanism disclosed in Patent Document 1, and the ball suction surface becomes parallel to the ball mounting surface of the substrate by this parallel adjustment mechanism. As described above, the support angle of the ball suction head with respect to the ball mounting device is adjusted.

特開２００１−１６８５０９号公報JP 2001-168509 A

しかしながら、特許文献１に開示される平行調整機構は、調整対象物の角度調整を、３箇所で行っている。
そのため、調整方向や調整量を把握し難いという問題がある。 However, the parallel adjustment mechanism disclosed in Patent Document 1 adjusts the angle of the adjustment target at three locations.
Therefore, there is a problem that it is difficult to grasp the adjustment direction and the adjustment amount.

そこで、本発明は、調整対象物の角度調整の調整方向や調整量を把握し易い角度調整装置を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide an angle adjustment device that can easily grasp the adjustment direction and adjustment amount of the angle adjustment of the adjustment object.

上述の課題を解決するため、本発明に係る角度調整装置は、固定部と、調整対象物保持部と、調整対象物保持部と固定部とを連結する球面軸受け部と、球面軸受け部を支点にして、調整対象物保持部を固定部に対して接離する方向に移動させることが可能である共に、所定の位置で上記調整対象物保持部の移動を規制する調整手段とを有し、調整手段は、球面軸受け部の回転中心を通る直線上において互いに直交する２方向の各方向ごとに、直交点が中点となる２箇所に配置されていることとする。 In order to solve the above-described problem, an angle adjustment device according to the present invention includes a fixed portion, an adjustment object holding portion, a spherical bearing portion that connects the adjustment object holding portion and the fixing portion, and a spherical bearing portion as a fulcrum. The adjustment object holding part can be moved in a direction of moving toward and away from the fixed part, and has an adjusting means for restricting the movement of the adjustment object holding part at a predetermined position, It is assumed that the adjusting means is disposed at two positions where the orthogonal point is the middle point in each of two directions orthogonal to each other on a straight line passing through the rotation center of the spherical bearing portion.

上述の発明に加えて、角度調整装置は、さらに、調整手段による調整対象物保持部に対する移動の規制を解除した状態で、調整対象物保持部が、球面軸受け部に対して遥動自在な状態で支持されることとする。 In addition to the above-described invention, the angle adjusting device is further in a state in which the adjustment object holding part is free to move with respect to the spherical bearing part in a state where the restriction of movement with respect to the adjustment object holding part by the adjusting means is released. It will be supported by.

上述の課題を解決するため、本発明は、ボール吸着ヘッドに吸着された複数個のボールをワークに搭載するボール搭載装置において、ボール吸着ヘッドを、上述の角度調整装置の調整対象物保持部に取り付けることとする。 In order to solve the above-described problems, the present invention provides a ball mounting device for mounting a plurality of balls sucked by a ball suction head on a workpiece, wherein the ball suction head is used as an adjustment target holding unit of the angle adjustment device. It will be attached.

上述の発明に加えて、角度調整装置の調整手段が配置される２方向は、ボール搭載装置の正面を基準にして、左右方向および前後方向であることとする。 In addition to the above-described invention, the two directions in which the adjusting means of the angle adjusting device are arranged are the left-right direction and the front-rear direction with reference to the front of the ball mounting device.

上述の発明に加えて、調整対象物保持部は、球面軸受け部を通り、直交する２方向のいずれか一方に平行な軸部を介して前記固定部に支持されていることとする。 In addition to the above-described invention, the adjustment object holding portion is supported by the fixed portion via a shaft portion that passes through the spherical bearing portion and is parallel to one of two orthogonal directions.

本発明によれば、調整対象物の角度調整の調整方向や調整量を把握し易い角度調整装置を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the angle adjustment apparatus which is easy to grasp | ascertain the adjustment direction and adjustment amount of angle adjustment of an adjustment target object can be provided.

（第１の実施の形態）
以下、図面を参照しながら本発明を実施するための最良の形態を説明する。 (First embodiment)
The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings.

（ボール搭載装置の全体構成）
図１から図３は、本発明に係る角度調整装置１を使用したボール搭載装置２を示す図であり、ボール搭載装置２の主要部の概略構成を示す正面図である。図１から図３に示すＸＬ−ＸＲ方向、ＹＵ−ＹＤ方向、ＺＦ−ＺＢ方向を、それぞれボール搭載装置２の左右方向、上下方向、前後方向として以下の説明を行うこととする。左右方向については、紙面に向かって左側を左方、右側を右方とし、前後方向については、紙面の表面方向を前方、裏面方向を後方とする。図４は、図１に示すボール搭載装置２を右方から見た側面図である。 (Overall configuration of ball mounting device)
FIG. 1 to FIG. 3 are views showing a ball mounting device 2 using the angle adjusting device 1 according to the present invention, and are front views showing a schematic configuration of a main part of the ball mounting device 2. The XL-XR direction, YU-YD direction, and ZF-ZB direction shown in FIGS. 1 to 3 will be described as the left-right direction, the up-down direction, and the front-rear direction of the ball mounting device 2, respectively. For the left-right direction, the left side is the left side and the right side is the right side, and for the front-rear direction, the front surface direction of the paper surface is the front and the back surface direction is the rear. FIG. 4 is a side view of the ball mounting device 2 shown in FIG. 1 as viewed from the right side.

なお、角度調整装置１は、ボール搭載装置２に使用可能な他、リジット基板とフレキシブルプリント基板等の電子部品同士を接合する熱圧着装置や、加圧面とワーク面との平行度を調整する荷重−変移測定機、あるいは超音波接合装置等、調整対象物の調整対象面を所定面に対して所定の角度に配置するために使用することができる。 The angle adjusting device 1 can be used for the ball mounting device 2, a thermocompression bonding device for joining electronic components such as a rigid substrate and a flexible printed circuit board, and a load for adjusting the parallelism between the pressing surface and the work surface. -It can be used to arrange an adjustment target surface of an adjustment target object such as a displacement measuring machine or an ultrasonic bonding apparatus at a predetermined angle with respect to a predetermined surface.

ボール搭載装置２は、導電性を有する複数の微小なボールＢを基板Ｐ（図３参照）上の所定位置に搭載することができるように構成されているものである。ボール搭載装置２は、図１に示すように、複数のボールＢをボール吸着ヘッド３に吸着して搬送する吸着搬送部４と、複数のボールＢを吸着搬送部４のボール吸着ヘッド３に供給するボール供給部５を備える。また、ボール搭載装置２は、図３に示すように、ボール吸着ヘッド３に吸着されている複数のボールＢがボール吸着ヘッド３から基板Ｐ上に搭載されるボール搭載部６を備えている。さらに、ボール搭載装置２は、図２に示すように、ボール吸着ヘッド３からボールＢを除去するボール除去部７を備えている。このボール除去部７では、ボール供給部５においてボール吸着ヘッド３にボールＢを適切に吸着することができないいわゆる吸着不良が発生したときや、ボール吸着ヘッド３に吸着されたボールＢの全てがボール搭載部６において基板Ｐ上に搭載されず吸着搬送部４にボールＢが残ってしまういわゆる残留ボール現象が発生したときに、ボール吸着ヘッド３からボールＢの除去が行われる。 The ball mounting device 2 is configured so that a plurality of minute balls B having conductivity can be mounted at predetermined positions on a substrate P (see FIG. 3). As shown in FIG. 1, the ball mounting device 2 supplies a plurality of balls B to the ball suction head 3 of the suction transport unit 4 and a suction transport unit 4 that sucks and transports the plurality of balls B to the ball suction head 3. A ball supply unit 5 is provided. Further, as shown in FIG. 3, the ball mounting device 2 includes a ball mounting portion 6 on which a plurality of balls B sucked by the ball suction head 3 are mounted on the substrate P from the ball suction head 3. Further, as shown in FIG. 2, the ball mounting apparatus 2 includes a ball removing unit 7 that removes the ball B from the ball suction head 3. In the ball removing unit 7, when a so-called adsorption failure occurs in which the ball B cannot be properly adsorbed to the ball adsorption head 3 in the ball supply unit 5, or all of the balls B adsorbed to the ball adsorption head 3 are When a so-called residual ball phenomenon occurs in which the ball B remains on the suction conveyance unit 4 without being mounted on the substrate P in the mounting unit 6, the ball B is removed from the ball suction head 3.

ボール搭載装置２は、ボール供給部５、ボール除去部７およびボール搭載部６が、前方から後方に向かって、ボール供給部５、ボール除去部７そしてボール搭載部６の順で配置されている。図１は、吸着搬送部４がボール供給部５の上方に位置している状態を示し、図２は、吸着搬送部４がボール除去部７の上方に位置している状態を示している。そして、図３は、吸着搬送部４がボール搭載部６の上方に位置している状態を示している。 In the ball mounting device 2, the ball supply unit 5, the ball removal unit 7, and the ball mounting unit 6 are arranged in the order of the ball supply unit 5, the ball removal unit 7, and the ball mounting unit 6 from the front to the rear. . FIG. 1 shows a state where the suction conveyance unit 4 is located above the ball supply unit 5, and FIG. 2 shows a state where the suction conveyance unit 4 is located above the ball removal unit 7. FIG. 3 shows a state where the suction conveyance unit 4 is located above the ball mounting unit 6.

ボールＢは、例えば、半田ボールや金ボール、銀ボール、銅ボール、ニッケルボール等の導電性を有する金属製の微小ボールである。ボールＢの直径は、例えば、５０μｍから５００μｍのものが使用される。また、ボールＢは、上述の金属製のものの他に、例えば、プラスチックやガラス、石英等の絶縁部材からなる絶縁ボールの表面に、半田や金、銀、銅等の導電性材料をコーティングしたものであっても良い。 The ball B is a fine metal ball having conductivity, such as a solder ball, a gold ball, a silver ball, a copper ball, or a nickel ball. The diameter of the ball B is, for example, 50 μm to 500 μm. In addition to the above-mentioned metal balls, the ball B is, for example, a surface of an insulating ball made of an insulating member such as plastic, glass, quartz, etc., coated with a conductive material such as solder, gold, silver, or copper. It may be.

（吸着搬送部４の構成）
吸着搬送部４は、図１から図４に示すように、ボールＢを吸着するボール吸着ヘッド３と、角度調整装置１と、ボール吸着ヘッド３および角度調整装置１等が取り付けられる本体部８とを備えている。ボール吸着ヘッド３は、角度調整装置１に取り付けられ、角度調整装置１は、ブラケット９，９を介して本体部８に対して取り付けられている。 (Structure of suction conveyance unit 4)
As shown in FIGS. 1 to 4, the suction conveyance unit 4 includes a ball suction head 3 that sucks the ball B, an angle adjustment device 1, a main body portion 8 to which the ball suction head 3, the angle adjustment device 1, and the like are attached. It has. The ball suction head 3 is attached to the angle adjusting device 1, and the angle adjusting device 1 is attached to the main body 8 via brackets 9 and 9.

図５に示すように、ボール吸着ヘッド３の底面は、複数のボールＢをそれぞれ吸着する複数の吸着孔１０が形成されているボール吸着面１１として構成されている。図５は、ボール吸着ヘッド３を下方から見た底面図である。ボール吸着面１１は、左右方向に長辺を配置し、前後方向に短辺を配置する矩形を呈している。ボール吸着ヘッド３の内部は、エアチャンバ（空気室）１２として形成されている。このエアチャンバ１２には、図示を省略する所定の配管を介して同じく図示を省略する吸引ポンプが接続されている。ボール吸着ヘッド３は、吸引ポンプによりエアチャンバ１２内の圧力を負圧（大気圧よりも低い圧力）にされることで、吸着孔１０にボールＢを吸着することができるように構成されている。 As shown in FIG. 5, the bottom surface of the ball suction head 3 is configured as a ball suction surface 11 in which a plurality of suction holes 10 for sucking a plurality of balls B are formed. FIG. 5 is a bottom view of the ball suction head 3 as viewed from below. The ball suction surface 11 has a rectangular shape in which long sides are arranged in the left-right direction and short sides are arranged in the front-rear direction. The inside of the ball suction head 3 is formed as an air chamber (air chamber) 12. A suction pump (not shown) is connected to the air chamber 12 through a predetermined pipe (not shown). The ball suction head 3 is configured so that the ball B can be sucked into the suction hole 10 by setting the pressure in the air chamber 12 to a negative pressure (pressure lower than atmospheric pressure) by a suction pump. .

基板Ｐ上には、複数のボールＢがそれぞれ搭載され接合される複数の電極Ｅ（図６参照）が形成されている。例えば、基板Ｐ上には、３０００〜５０００個の電極Ｅが、例えば、１００μｍから１０００μｍのピッチで格子状に配列で形成されていて、各電極間のピッチは非常に狭くなっている。吸着孔１０は、基板Ｐ上に形成される電極の配列等に対応するように配列されている。ボールＢが搭載される基板Ｐは多種多様であり、また、基板Ｐ上の電極Ｅの配列も多種多様である。そのため、ボール吸着面１１に形成される吸着孔１０の配列は、図５に示すように格子状の配列には限定されず、基板Ｐ上に形成される電極Ｅの配列等に応じて、種々の配列とされる。なお、基板Ｐ上には、５０００個以上の電極Ｅが形成される場合や、３０００個以下の電極Ｅが形成される場合もある。 On the substrate P, a plurality of electrodes E (see FIG. 6) on which a plurality of balls B are mounted and joined are formed. For example, 3000 to 5000 electrodes E are formed on the substrate P in a grid pattern with a pitch of 100 μm to 1000 μm, for example, and the pitch between the electrodes is very narrow. The suction holes 10 are arranged so as to correspond to the arrangement of electrodes formed on the substrate P. There are various substrates P on which the balls B are mounted, and the arrangement of the electrodes E on the substrate P is also various. Therefore, the arrangement of the suction holes 10 formed in the ball suction surface 11 is not limited to the lattice-like arrangement as shown in FIG. 5, and various arrangements are possible depending on the arrangement of the electrodes E formed on the substrate P. Is an array of Note that 5000 or more electrodes E may be formed on the substrate P, or 3000 or less electrodes E may be formed.

ボール搭載装置２は、図示を省略する移動機構により、吸着搬送部４を左右方向、上下方向および前後方向に移動することができるように構成されている。したがって、この移動機構により、吸着搬送部４は、ボール供給部５とボール搭載部６とボール除去部７との間を移動することができる。 The ball mounting device 2 is configured to be able to move the suction conveyance unit 4 in the left-right direction, the up-down direction, and the front-rear direction by a moving mechanism (not shown). Therefore, by this moving mechanism, the suction conveyance unit 4 can move among the ball supply unit 5, the ball mounting unit 6, and the ball removal unit 7.

（ボール供給部５の構成）
図１に示すように、ボール供給部５は、図示を省略するボール供給装置から供給された複数のボールＢが収容されるボール受入容器１３と、ボール受入容器１３を振動させる振動発生装置１４とを備えている。なお、図１および図４においては、ボール受入容器１３については、上下方向に沿う面で切断した断面図で示されている。 (Configuration of the ball supply unit 5)
As shown in FIG. 1, the ball supply unit 5 includes a ball receiving container 13 that stores a plurality of balls B supplied from a ball supply device (not shown), and a vibration generating device 14 that vibrates the ball receiving container 13. It has. 1 and 4, the ball receiving container 13 is shown in a cross-sectional view cut along a plane along the vertical direction.

ボール受入容器１３は、ボール吸着ヘッド３のボール吸着面１１と同様に、左右方向、および前後方向に辺部が配置される矩形の底面部１５を有すると共に、上方が開口した直方体を呈する箱状に形成されている。振動発生装置１４は、例えば、マグネット等を有する可動体と電磁コイルを有する固定体とから構成され、ボール受入容器１３の底面部１５に当接するように配設されている。この振動発生装置１４は、ボール受入容器１３を上下方向に振動させるように構成されている。振動発生装置１４により底面部１５が振動させられることで、ボール受入容器１３に収容されている複数のボールＢは、ボール受入容器１３の底面から上方へ向けて、例えば、１０ｍｍから１５ｍｍ程度、跳躍するようになっている。 Similar to the ball suction surface 11 of the ball suction head 3, the ball receiving container 13 has a rectangular bottom surface portion 15 whose sides are arranged in the left-right direction and the front-rear direction, and has a box shape that has a rectangular parallelepiped with the top opened. Is formed. The vibration generator 14 is composed of, for example, a movable body having a magnet or the like and a fixed body having an electromagnetic coil, and is disposed so as to contact the bottom surface portion 15 of the ball receiving container 13. The vibration generator 14 is configured to vibrate the ball receiving container 13 in the vertical direction. When the bottom surface portion 15 is vibrated by the vibration generator 14, the plurality of balls B accommodated in the ball receiving container 13 jump upward from the bottom surface of the ball receiving container 13, for example, about 10 mm to 15 mm. It is supposed to be.

（ボール搭載部６の構成）
ボール搭載部６は、図３に示すように、基板Ｐが載置される基板載置台１６を備えている。この基板載置台１６は、図示を省略する駆動機構に連結されており、上下方向、左右方向および紙面垂直方向に平行移動することができるように構成されるとともに、回転可能な構成になっている。基板載置台１６の上面は、基板Ｐが載置される載置面１７として構成される。 (Configuration of ball mounting portion 6)
As shown in FIG. 3, the ball mounting portion 6 includes a substrate mounting table 16 on which the substrate P is mounted. The substrate mounting table 16 is connected to a driving mechanism (not shown), and is configured to be able to move in parallel in the vertical direction, the horizontal direction, and the direction perpendicular to the paper surface, and is configured to be rotatable. . The upper surface of the substrate mounting table 16 is configured as a mounting surface 17 on which the substrate P is mounted.

（ボール除去部７の構成）
ボール除去部７は、ボール吸着ヘッド３から除去されたボールＢが収納されるボール廃棄容器１８を備えている。図２において、ボール廃棄容器１８は、上下方向に沿う面で切断した断面図で示されている。ボール廃棄容器１８は、左右方向と前後方向に辺部が配置される矩形の底面部を有すると共に、図２に示すように、上面が開口した直方体を呈する箱状に形成されている。 (Configuration of the ball removal unit 7)
The ball removing unit 7 includes a ball disposal container 18 in which the ball B removed from the ball suction head 3 is stored. In FIG. 2, the ball disposal container 18 is shown in a sectional view cut along a plane along the vertical direction. The ball disposal container 18 has a rectangular bottom surface portion with side portions arranged in the left-right direction and the front-rear direction, and is formed in a box shape having a rectangular parallelepiped shape with an open top surface as shown in FIG.

（ボールＢの搭載工程）
以上のように構成されたボール搭載装置２におけるボールＢの搭載工程について、図６の（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）等を参照しながら説明する。図６の（Ａ），（Ｂ），（Ｃ）は、ボール吸着ヘッド３から基板Ｐ上にボールＢが搭載される工程の一部を模式的に示す図である。 (Ball B mounting process)
The mounting process of the ball B in the ball mounting apparatus 2 configured as described above will be described with reference to FIGS. 6 (A), (B), (C) and the like. 6A, 6 B, and 6 C are diagrams schematically illustrating a part of the process in which the ball B is mounted on the substrate P from the ball suction head 3.

ボール搭載装置２において、基板Ｐ上へボールＢを搭載する際には、図１に示すように、先ず、吸着搬送部４をボール供給部５の上方に位置する。そして、ボール受入容器１３の底面から例えば、約１０ｍｍ上方にボール吸着ヘッド３の下面（すなわち、ボール吸着面１１）が位置するように、ボール吸着ヘッド３を位置する。この状態で、振動発生装置１４を起動し、ボールＢを跳躍させる。そして、ボールＢを跳躍させている状態で、エアチャンバのエアの吸引を開始し、ボール吸着ヘッド３の吸着孔１０のそれぞれについてボールＢの吸着を行う。 When the ball B is mounted on the substrate P in the ball mounting apparatus 2, first, the suction conveyance unit 4 is positioned above the ball supply unit 5 as shown in FIG. 1. Then, the ball suction head 3 is positioned so that the lower surface (that is, the ball suction surface 11) of the ball suction head 3 is positioned, for example, approximately 10 mm above the bottom surface of the ball receiving container 13. In this state, the vibration generator 14 is activated to cause the ball B to jump. Then, in a state where the ball B is jumping, the air suction of the air chamber is started, and the ball B is sucked into each of the suction holes 10 of the ball suction head 3.

ボール吸着ヘッド３の吸着孔１０にボールＢの吸着を行った後、ボール吸着ヘッド３を上昇させ、そして、ボール供給部５とボール除去部７との間に配設された図示を省略する吸着検査装置で、ボール吸着ヘッド３によるボールＢの吸着状態を検査する。この検査において、吸着不良が発生しているか否かを判断する。 After the ball B is adsorbed to the adsorbing hole 10 of the ball adsorbing head 3, the ball adsorbing head 3 is raised, and the adsorbing not shown is arranged between the ball supply unit 5 and the ball removing unit 7. With the inspection device, the suction state of the ball B by the ball suction head 3 is inspected. In this inspection, it is determined whether or not a suction failure has occurred.

吸着不良が発生していない場合には、図３に示すように、吸着搬送部４をボール搭載部６に移動する。そして、ボール吸着ヘッド３を基板Ｐに接近させ、図６の（Ａ）から（Ｃ）に示すようにして、基板Ｐ上にボールＢを搭載する。つまり、図６（Ａ）に示すように基板Ｐの上方にボール吸着ヘッド３のボール吸着面１１が位置した後、ボール吸着ヘッド３を下方に移動し、図６（Ｂ）に示すように、ボール吸着面１１に吸着された状態のボールＢを、電極Ｅの上に塗布されたフラックスＦに接触させる。なお、基板載置面１７に載置されている基板Ｐの電極Ｅには、所定の工程を経て、予めフラックスＦが塗布されている。次ぎに、ボール吸着面１１に吸着された状態のボールＢを、フラックスＦに接触させている状態で、エアチャンバ１２内のエアの吸引を停止する。そして、図６（Ｃ）に示すようにボール吸着ヘッド３を上方に移動すると、ボールＢはフラックスＦ上に残留し、基板Ｐの電極Ｅ上にボールＢが搭載されることになる。ボールＢが搭載された基板Ｐは、リフロー炉に搬送される。リフロー炉において基板Ｐ上に搭載されたボールＢは、電極Ｅに接合される。 If no suction failure has occurred, the suction transport unit 4 is moved to the ball mounting unit 6 as shown in FIG. Then, the ball suction head 3 is brought close to the substrate P, and the ball B is mounted on the substrate P as shown in FIGS. That is, after the ball suction surface 11 of the ball suction head 3 is positioned above the substrate P as shown in FIG. 6 (A), the ball suction head 3 is moved downward, and as shown in FIG. 6 (B), The ball B in a state of being attracted to the ball attracting surface 11 is brought into contact with the flux F applied on the electrode E. Note that a flux F is applied in advance to the electrode E of the substrate P placed on the substrate placement surface 17 through a predetermined process. Next, the suction of the air in the air chamber 12 is stopped while the ball B attracted to the ball attracting surface 11 is in contact with the flux F. When the ball suction head 3 is moved upward as shown in FIG. 6C, the ball B remains on the flux F, and the ball B is mounted on the electrode E of the substrate P. The substrate P on which the ball B is mounted is transferred to the reflow furnace. The ball B mounted on the substrate P in the reflow furnace is joined to the electrode E.

上述の検査において吸着不良が発生している場合には、図２に示すように、吸着搬送部４をボール除去部７に移動し、ボール除去部７においてボール吸着ヘッド３からボール２を除去する。そして、ボールＢの除去を行った後、ボール供給部５に戻って再びボールＢの吸着工程を行う。なお、吸着不良としては、上述の不正吸着の他、ボールＢが吸着されていない吸着孔１０が存在するボールの欠落現象が挙げられる。 When a suction failure has occurred in the above-described inspection, as shown in FIG. 2, the suction transport unit 4 is moved to the ball removal unit 7, and the ball 2 is removed from the ball suction head 3 by the ball removal unit 7. . Then, after removing the ball B, the process returns to the ball supply unit 5 to perform the adsorption process of the ball B again. In addition to the above-mentioned fraudulent adsorption, examples of the defective adsorption include a missing ball phenomenon in which the adsorption hole 10 where the ball B is not adsorbed exists.

基板Ｐ上へのボールＢの搭載が終了すると、図示を省略する残留ボール検査装置で、基板Ｐ上に搭載されずにボール吸着ヘッド３に吸着されたままの状態となった残留ボールがあるか否かを判断する。残留ボールがある場合には、ボール除去部７においてボール吸着ヘッド８からボール２を除去する。そして、ボール供給部５に移動しボールＢの吸着を行い、新たな基板Ｐに対して上述の搭載行程を行う。なお、基板Ｐ上にボールＢが搭載されなかった基板Ｐについては、搭載不良として所定の措置が行われる。 When the mounting of the ball B on the substrate P is completed, is there a residual ball that is not mounted on the substrate P and is still attracted to the ball suction head 3 by a residual ball inspection device (not shown)? Judge whether or not. If there is a remaining ball, the ball removing unit 7 removes the ball 2 from the ball suction head 8. Then, the ball B is moved to the ball supply unit 5 to attract the ball B, and the above-described mounting process is performed on the new substrate P. For the substrate P on which the ball B is not mounted on the substrate P, a predetermined measure is taken as mounting failure.

（角度調整装置の構成）
ところで、ボール搭載部６においてボールＢを基板Ｐに搭載する際に、ボール吸着面１１と基板Ｐのボール搭載面（基板Ｐの上面）とは、平行に配置されている必要がある。ボール吸着面１１と基板Ｐの上面（ボール搭載面）とが平行に配置されていない場合には、例えば、ボール吸着面１１に吸着されているボールＢをフラックスＦに接触させる際に、基板Ｐとの間隔（距離）が狭い側のボール吸着面１１に吸着されているボールＢをフラックスＦに接触させる状態としても、他方の側（基板Ｐとの間隔が広い側）に吸着されているボールＢはフラックスＦに接触していない状態となることがある。このような状態で、エアチャンバ１２内のエアの吸引を停止すると、フラックスＦに接触していないボールＢは、基板Ｐに向かって落下することになり、基板Ｐに衝突したときの勢いで電極Ｅの位置から転がり出たり、跳ね上がる等して、電極Ｅ上に止まらないことがある。また、逆に、基板Ｐとの間隔が広い側のボール吸着面１１に吸着されているボールＢがフラックスＦに接触するようにすると、基板Ｐとの間隔が狭い側のボール吸着面１１に吸着されているボールＢが基板Ｐに押し付けられ、基板Ｐや基板Ｐ上の電極Ｅを破損してしまうことがある。そのため、ボール搭載装置２は、角度調整装置１により、ボール吸着ヘッド３のボール吸着面１１が基板Ｐの上面に対する角度を調整することができるように構成されている。 (Configuration of angle adjustment device)
By the way, when the ball B is mounted on the substrate P in the ball mounting portion 6, the ball suction surface 11 and the ball mounting surface of the substrate P (upper surface of the substrate P) need to be arranged in parallel. When the ball suction surface 11 and the upper surface (ball mounting surface) of the substrate P are not arranged in parallel, for example, when the ball B attracted to the ball suction surface 11 is brought into contact with the flux F, the substrate P Even if the ball B adsorbed on the ball adsorbing surface 11 on the side where the distance (distance) is narrow is in contact with the flux F, the ball adsorbed on the other side (the side where the distance from the substrate P is wide) B may not be in contact with the flux F. In this state, when the suction of the air in the air chamber 12 is stopped, the ball B that is not in contact with the flux F falls toward the substrate P, and the electrode moves at a moment when the ball B collides with the substrate P. It may not stop on the electrode E due to rolling or jumping up from the position of E. Conversely, when the ball B adsorbed on the ball adsorbing surface 11 on the side having the larger distance from the substrate P is brought into contact with the flux F, the ball adsorbing on the ball adsorbing surface 11 on the side closer to the substrate P is adsorbed. The ball B being pressed against the substrate P may damage the substrate P or the electrode E on the substrate P. Therefore, the ball mounting device 2 is configured such that the angle of the ball suction surface 11 of the ball suction head 3 with respect to the upper surface of the substrate P can be adjusted by the angle adjustment device 1.

図７から図１０等を参照しながら、角度調整装置１の構成について説明する。図７は、角度調整装置１の斜視図であり、図８から図１０は、それぞれ角度調整装置１の平面図、正面図そして右側面図である。 The configuration of the angle adjusting device 1 will be described with reference to FIGS. FIG. 7 is a perspective view of the angle adjusting device 1, and FIGS. 8 to 10 are a plan view, a front view, and a right side view of the angle adjusting device 1, respectively.

角度調整装置１は、図７に示すように、固定部１９と、調整対象物保持部２０と、調整対象物保持部２０を固定部１９に対して遥動自在に支持する球面軸受け部２１と、この球面軸受け部２１を支点にして、調整対象物保持部２０を固定部１９に対して接離する方向に移動させる調整手段としての４つの調整ねじ２２，２２，２２，２２とを備えている。 As shown in FIG. 7, the angle adjustment device 1 includes a fixed portion 19, an adjustment target holding portion 20, and a spherical bearing portion 21 that supports the adjustment target holding portion 20 slidably with respect to the fixed portion 19. The spherical bearing portion 21 is used as a fulcrum, and four adjustment screws 22, 22, 22, and 22 are provided as adjustment means for moving the adjustment object holding portion 20 in the direction of moving toward and away from the fixed portion 19. Yes.

固定部１９には、ねじ２３によりブラケット９，９が取り付けられている。また、ブラケット９，９は、本体部８に対してねじ２４により取り付けられている。つまり、角度調整装置１は、ブラケット９，９を介して本体部８に固定状態で取り付けられている。固定部１９は、図８から図１０に示すように、板状態であり、上方から見た平面視において左右方向と前後方向に突出部２５を有する略十字状を呈している。また、固定部１９は左右方向と前後方向のそれぞれについて対称な形状を呈している。 Brackets 9 are attached to the fixing portion 19 with screws 23. The brackets 9 and 9 are attached to the main body portion 8 with screws 24. That is, the angle adjusting device 1 is fixedly attached to the main body 8 via the brackets 9 and 9. As shown in FIGS. 8 to 10, the fixing portion 19 is in a plate state, and has a substantially cross shape having protruding portions 25 in the left-right direction and the front-rear direction when viewed from above. Moreover, the fixing | fixed part 19 is exhibiting the symmetrical shape about each of the left-right direction and the front-back direction.

固定部１９の各突出部２５には、上下方向に貫通し、各調整ねじ２２の軸部２６が通される貫通孔２７，２７，２７，２７（図９，１０参照）が形成されている。各貫通孔２７の直径は、各調整ねじ２２の軸部２６の直径よりやや大きく形成され、各調整ねじ２２は各貫通孔２７に対しては上下方向に移動可能に構成されている。各調整ねじ２２は、手指で摘むことができる摘み部２８と軸部２６を有し、軸部２６の周面にはねじ部が形成されている。固定部１９の下面には、各貫通孔２７毎に、調整ねじ２２のねじ部に対してねじ結合可能なナット部２９が備えられている。ナット部２９は、ねじ孔を貫通孔２７に一致させた状態で固定部１９に取り付けられている。 Each projecting portion 25 of the fixing portion 19 is formed with through holes 27, 27, 27, 27 (see FIGS. 9 and 10) that penetrate in the vertical direction and through which the shaft portion 26 of each adjustment screw 22 is passed. . The diameter of each through hole 27 is formed to be slightly larger than the diameter of the shaft portion 26 of each adjustment screw 22, and each adjustment screw 22 is configured to be movable in the vertical direction with respect to each through hole 27. Each adjustment screw 22 has a knob portion 28 and a shaft portion 26 that can be picked with fingers, and a screw portion is formed on the peripheral surface of the shaft portion 26. On the lower surface of the fixing portion 19, a nut portion 29 that can be screw-coupled to the screw portion of the adjustment screw 22 is provided for each through hole 27. The nut portion 29 is attached to the fixing portion 19 with the screw hole aligned with the through hole 27.

したがって、各調整ねじ２２は、軸部２６を上方から各貫通孔２７に挿入し、ナット部２９に軸部２６のねじ部をねじ結合させることができる。つまり、各調整ねじ２２は、ナット部２９とのねじ結合部のリードにしたがって、調整ねじ２２の回転方向と回転量に応じて上下方向に移動することができる。したがって、調整ねじ２２を回転し、ナット部２９に対するねじ結合の位置を変えることにより、各調整ねじ２２それぞれについて、ナット部２９から下方に突出する軸部２６の長さを変えることができる。 Therefore, each adjusting screw 22 can insert the shaft portion 26 into each through hole 27 from above, and screw the screw portion of the shaft portion 26 to the nut portion 29. That is, each adjustment screw 22 can move in the vertical direction according to the rotation direction and the rotation amount of the adjustment screw 22 according to the lead of the screw coupling portion with the nut portion 29. Therefore, by rotating the adjustment screw 22 and changing the position of the screw coupling with the nut portion 29, the length of the shaft portion 26 protruding downward from the nut portion 29 can be changed for each adjustment screw 22.

各調整ねじ２２は、左右の２箇所と前後の２箇所に配置されている。左右方向に配置される調整ねじ２２（２２Ｌ）と調整ねじ２２（２２Ｒ）とを結ぶ線分Ｌ１と、前後方向に配置される調整ねじ２２（２２Ｆ）と調整ねじ２２（２２Ｂ）とを結ぶ線分Ｌ２とが、互いに中点ＣＰにおいて直交するように、各調整ねじ２２は配置されている。言い換えれば、各調整ねじ２２は、ひし形の頂点位置に配置されている。特に、本実施の形態においては、左右方向に配置される調整ねじ２２（２２Ｌ），２２（２２Ｒ）の距離と前後方向に配置される調整ねじ２２（２２Ｆ），２２（２２Ｂ）の距離とは同一に設定され、各調整ねじ２２は、正方形の頂点位置に配置されている。 Each adjustment screw 22 is arranged at two places on the left and right and two places on the front and rear. A line L1 connecting the adjustment screw 22 (22L) and the adjustment screw 22 (22R) arranged in the left-right direction, and a line connecting the adjustment screw 22 (22F) and the adjustment screw 22 (22B) arranged in the front-rear direction Each adjusting screw 22 is arranged so that the minute L2 is orthogonal to each other at the midpoint CP. In other words, each adjustment screw 22 is arranged at the apex position of the rhombus. In particular, in the present embodiment, the distance between the adjustment screws 22 (22L) and 22 (22R) arranged in the left-right direction and the distance between the adjustment screws 22 (22F) and 22 (22B) arranged in the front-rear direction. The same setting screw 22 is disposed at the apex position of the square.

固定部１９の下側には調整対象物保持部２０が配置されている。調整対象物保持部２０は、板状態であり、平面視において略矩形状を呈している。調整対象物保持部２０の下側には、調整対象物としてのボール吸着ヘッド３が配置され、このボール吸着ヘッド３は、ねじ３０により調整対象物保持部２０に対して固定状態で取り付けられている。そして、ボール吸着ヘッド３は、矩形状を呈するボール吸着面１１の左右方向に沿う辺部が線分Ｌ１に、ボール吸着面１１の前後方向に沿う辺部が線分Ｌ２に、それぞれ平行になるように配置されている。 An adjustment object holding unit 20 is disposed below the fixed unit 19. The adjustment object holding unit 20 is in a plate state and has a substantially rectangular shape in plan view. A ball suction head 3 as an adjustment target is disposed below the adjustment target holding unit 20, and the ball suction head 3 is attached to the adjustment target holding unit 20 in a fixed state by a screw 30. Yes. The ball suction head 3 is parallel to the line segment L1 along the left and right sides of the rectangular ball suction surface 11 and to the line segment L2 along the front and rear direction of the ball suction surface 11. Are arranged as follows.

また、ボール吸着ヘッド３は、ボール吸着面１１の各辺部の２等分線がそれぞれ、線分Ｌ１と、線分Ｌ２とに沿うように配置されている。つまり、ボール吸着面１１の中心（ボール吸着面１１の各辺部の２等分線の交点）が、中点ＣＰ（線分Ｌ１とＬ２との交点）と上下方向において一致するように配置されている。 Further, the ball suction head 3 is disposed so that the bisectors of the respective sides of the ball suction surface 11 are along the line segment L1 and the line segment L2. That is, the center of the ball suction surface 11 (intersection of the bisectors of each side of the ball suction surface 11) is arranged to coincide with the midpoint CP (intersection of the line segments L1 and L2) in the vertical direction. ing.

固定部１９と調整対象物保持部２０とは、球面軸受け部２１により連結されている。球面軸受け部２１の構成を、図１１，１２，１３を参照しながら説明する。球面軸受け部２１は、球面リング３１と、球面リング３１を保持するハウジング３２と、球面リング３１に通されるシャフト３３とを備えている。図１１は、図８に示す切断線Ａ−Ａにおける断面図を示し、また、図１２は、同じく図８に示す切断線Ｂ−Ｂにおける断面図を示している。そして、図１３は、球面軸受け部２１の分解斜視図を示している。 The fixed portion 19 and the adjustment object holding portion 20 are connected by a spherical bearing portion 21. The configuration of the spherical bearing portion 21 will be described with reference to FIGS. The spherical bearing portion 21 includes a spherical ring 31, a housing 32 that holds the spherical ring 31, and a shaft 33 that passes through the spherical ring 31. 11 shows a cross-sectional view taken along a cutting line AA shown in FIG. 8, and FIG. 12 shows a cross-sectional view taken along a cutting line BB shown in FIG. FIG. 13 is an exploded perspective view of the spherical bearing portion 21.

球面リング３１は、リング体の外周面３４が全周に亘って球面の一部として形成されている。また、球面リング３１のリング体の内周部３５は円筒状に貫通する貫通孔として形成され、シャフト３３を通すことができるように構成されている。ハウジング３２は、球面リング保持部３６と、シャフト挿通部３７とを有する。球面リング保持部３６は、球面リング３１の外周面３４の球面と同一の曲率であり、かつ、同一の曲率中心Ｋである球面として形成される内周面３８を有している。また、シャフト挿通部３７は、シャフト３３よりも太い直径の円筒状を呈している。したがって、シャフト３３を通された球面リング３１は、外周面３４を球面リング保持部３６の内周面３８にガイドされながら曲率中心Ｋを回転中心として、シャフト３３がシャフト挿通部３７に当接しない範囲内で、球面リング保持部３６に対して回転自在に保持されている。 In the spherical ring 31, the outer peripheral surface 34 of the ring body is formed as a part of a spherical surface over the entire circumference. Further, the inner peripheral portion 35 of the ring body of the spherical ring 31 is formed as a through-hole that penetrates in a cylindrical shape, and is configured to allow the shaft 33 to pass therethrough. The housing 32 includes a spherical ring holding part 36 and a shaft insertion part 37. The spherical ring holding portion 36 has an inner peripheral surface 38 formed as a spherical surface having the same curvature as the spherical surface of the outer peripheral surface 34 of the spherical ring 31 and the same center of curvature K. Further, the shaft insertion portion 37 has a cylindrical shape with a diameter larger than that of the shaft 33. Therefore, the spherical ring 31 passed through the shaft 33 does not contact the shaft insertion portion 37 with the center of curvature K as the rotation center while the outer peripheral surface 34 is guided by the inner peripheral surface 38 of the spherical ring holding portion 36. Within the range, the spherical ring holding portion 36 is held rotatably.

ハウジング３２は、図１３に示すように、上側部材３２Ａと下側部材３２Ｂとを有している。球面軸受け部２１は、シャフト３３が挿通された球面リング３１を、上側部材３２Ａの球面リング保持部３６と下側部材３２Ｂの球面リング保持部３６との間に挟み込んだ状態で上側部材３２Ａと下側部材３２Ｂとをねじ３９により固定することにより構成される。上側部材３２Ａの球面リング保持部３６と下側部材３２Ｂの球面リング保持部３６とは、それぞれ半円を呈し、上側部材３２Ａと下側部材３２Ｂを合わせた状態で、球面リング保持部３６は球面の一部として形成されることになる。球面軸受け部２１は、固定部１９を上下に貫通するねじ４０（図７等参照）により固定部１９の下面に固定状態で取り付けられる。なお、球面軸受け部２１の球面リング３１の外周面３４（球面リング保持部３６の内周面３８）の曲率中心Ｋと、調整ねじ２２，２２，２２，２２の配置に係る中点ＣＰとは上下方向において一致するように、球面軸受け部２１と調整ねじ２２，２２，２２，２２とが配置されている。また、球面軸受け部２１は、シャフト３３が左右方向に沿って配置されるように固定部１９に対して取り付けられている。 As shown in FIG. 13, the housing 32 has an upper member 32A and a lower member 32B. The spherical bearing portion 21 is arranged so that the spherical ring 31 through which the shaft 33 is inserted is sandwiched between the spherical ring holding portion 36 of the upper member 32A and the spherical ring holding portion 36 of the lower member 32B. The side member 32 B is fixed by a screw 39. The spherical ring holding portion 36 of the upper member 32A and the spherical ring holding portion 36 of the lower member 32B each form a semicircle, and the spherical ring holding portion 36 is a spherical surface in a state where the upper member 32A and the lower member 32B are combined. It will be formed as a part of. The spherical bearing portion 21 is fixedly attached to the lower surface of the fixed portion 19 with a screw 40 (see FIG. 7 and the like) that penetrates the fixed portion 19 up and down. The center of curvature K of the outer peripheral surface 34 of the spherical ring 31 of the spherical bearing portion 21 (the inner peripheral surface 38 of the spherical ring holding portion 36) and the midpoint CP related to the arrangement of the adjusting screws 22, 22, 22, 22 are: The spherical bearing portion 21 and the adjusting screws 22, 22, 22, 22 are arranged so as to coincide with each other in the vertical direction. The spherical bearing portion 21 is attached to the fixed portion 19 so that the shaft 33 is disposed along the left-right direction.

調整対象物保持部２０の上面には、左右方向の２箇所に、シャフト３３を支持するシャフト支持部４１，４１が設けられている。シャフト支持部４１，４１が、シャフト３３の両端を支持することで、調整対象物保持部２０は、固定部１９に対して連結される。前述したように、球面リング３１は、外周面３４（球面リング保持部３６の内周面３８）の曲率中心Ｋを回転中心として、シャフト３３がシャフト挿通部３７に当接しない範囲内で、球面リング保持部３６に対して回転自在に保持されている。つまり、調整対象物保持部２０は、球面軸受け部２１に対して、シャフト３３がシャフト挿通部３７に当接しない範囲内で、曲率中心Ｋを回転中心に回転自在とされている。そのため、調整対象物保持部２０は、固定部１９に対して、球面軸受け部２１により遥動自在に支持されることになる。調整対象物保持部２０の遥動の中心は、外周面３４（球面リング保持部３６の内周面３８）の曲率中心Ｋである。なお、球面リング３１と球面リング保持部３６との間には、グリース等の潤滑剤が塗布され、球面リング３１は球面リング保持部３６に対して滑らかに滑動することができる。 Shaft support portions 41 and 41 that support the shaft 33 are provided on the upper surface of the adjustment object holding portion 20 at two locations in the left-right direction. The shaft support parts 41, 41 support both ends of the shaft 33, whereby the adjustment object holding part 20 is connected to the fixed part 19. As described above, the spherical ring 31 has a spherical surface within the range where the shaft 33 does not contact the shaft insertion portion 37 with the center of curvature K of the outer peripheral surface 34 (the inner peripheral surface 38 of the spherical ring holding portion 36) as the rotation center. The ring holder 36 is held rotatably. That is, the adjustment object holding unit 20 is rotatable with respect to the spherical bearing unit 21 around the center of curvature K as the rotation center within a range where the shaft 33 does not contact the shaft insertion unit 37. Therefore, the adjustment object holding part 20 is supported by the spherical bearing part 21 so as to be slidable with respect to the fixed part 19. The center of the swing of the adjustment target holding unit 20 is the center of curvature K of the outer peripheral surface 34 (the inner peripheral surface 38 of the spherical ring holding unit 36). Note that a lubricant such as grease is applied between the spherical ring 31 and the spherical ring holding portion 36, so that the spherical ring 31 can slide smoothly with respect to the spherical ring holding portion 36.

調整対象物保持部２０の上面には、各貫通孔２７に対向する位置に、受け座４２，４２，４２，４２が備えられている。各ナット部２９から突出した各調整ねじ２２の軸部２６の先端部は、各受け座４２に当接する。したがって、各調整ねじ２２の軸部２６のナット部２９から突出する長さを変えることにより、球面軸受け部２１を支点として、調整対象物保持部２０を固定部１９に対して接離することができる。すなわち、外周面３４（球面リング保持部３６の内周面３８）の曲率中心Ｋを支点として、調整対象物保持部２０を固定部１９に対して接離することができる。つまり、曲率中心Ｋを支点として、調整対象物保持部２０の水平面に対する角度を変化させることできる。 Receiving seats 42, 42, 42, 42 are provided on the upper surface of the adjustment object holding unit 20 at positions facing the respective through holes 27. The tip end portion of the shaft portion 26 of each adjustment screw 22 protruding from each nut portion 29 comes into contact with each receiving seat 42. Therefore, by changing the length protruding from the nut portion 29 of the shaft portion 26 of each adjustment screw 22, the adjustment object holding portion 20 can be moved toward and away from the fixed portion 19 with the spherical bearing portion 21 as a fulcrum. it can. That is, the adjustment object holding part 20 can be brought into and out of contact with the fixed part 19 with the center of curvature K of the outer peripheral face 34 (the inner peripheral face 38 of the spherical ring holding part 36) as a fulcrum. That is, the angle with respect to the horizontal plane of the adjustment target holding unit 20 can be changed with the curvature center K as a fulcrum.

例えば、図１４に示すように、左側に配置される調整ねじ２２（２２Ｌ）の軸部２６がナット部２９から突出する長さを、右側に配置される調整ねじ２２（２２Ｒ）の軸部２６がナット部２９から突出する長さより長くすることで、調整対象物保持部２０を水平面に対しての左側が下側になるように傾斜させることができる。また、例えば、図１５に示すように、前側に配置される調整ねじ２２（２２Ｆ）の軸部２６がナット部２９から突出する長さを、後側に配置される調整ねじ２２（２２Ｂ）の軸部２６がナット部２９から突出する長さより長くすることで、調整対象物保持部２０を水平面に対しての前側が下側になるように傾斜させることができる。 For example, as shown in FIG. 14, the length that the shaft portion 26 of the adjustment screw 22 (22L) disposed on the left side protrudes from the nut portion 29 is set to the length of the shaft portion 26 of the adjustment screw 22 (22R) disposed on the right side. By making the length longer than the length protruding from the nut portion 29, the adjustment object holding portion 20 can be inclined so that the left side with respect to the horizontal plane is the lower side. Further, for example, as shown in FIG. 15, the length of the shaft portion 26 of the adjustment screw 22 (22F) disposed on the front side protruding from the nut portion 29 is set to the length of the adjustment screw 22 (22B) disposed on the rear side. By making the shaft part 26 longer than the length protruding from the nut part 29, the adjustment object holding part 20 can be inclined so that the front side with respect to the horizontal plane is on the lower side.

このように、各調整ねじ２２の軸部２６がナット部２９から突出する長さを調整することで、曲率中心Ｋを支点にして、調整対象物保持部２０の水平面に対する角度を変化させることができる。つまり、本実施の形態に係るボール搭載装置２においては、上述の角度調整装置１によりボール吸着ヘッド３のボール吸着面１１の水平面に対する角度を調整することができる。すなわち、ボール吸着ヘッド３のボール吸着面１１が基板Ｐの上面に対して平行となるように角度調整することができる。 Thus, by adjusting the length of the shaft portion 26 of each adjustment screw 22 protruding from the nut portion 29, the angle of the adjustment object holding portion 20 with respect to the horizontal plane can be changed with the curvature center K as a fulcrum. it can. That is, in the ball mounting device 2 according to the present embodiment, the angle of the ball suction surface 11 of the ball suction head 3 with respect to the horizontal plane can be adjusted by the angle adjusting device 1 described above. That is, the angle can be adjusted so that the ball suction surface 11 of the ball suction head 3 is parallel to the upper surface of the substrate P.

ボール搭載装置２では、前述のボール搭載の工程を開始するのに先立ち、以下のようにしてボール吸着ヘッド３のボール吸着面１１が基板Ｐの上面と平行になるように、ボール吸着ヘッド３のボール吸着面１１の水平面に対する角度を調整する。 In the ball mounting apparatus 2, before starting the above-described ball mounting process, the ball suction head 3 is arranged so that the ball suction surface 11 of the ball suction head 3 is parallel to the upper surface of the substrate P as follows. The angle of the ball suction surface 11 with respect to the horizontal plane is adjusted.

先ず、各調整ねじ２２を、各軸部２６の先端が各受け座４２から離れるまで上方に移動する。各軸部２６の先端が各受け座４２に当接している状態では、調整対象物保持部２０（ボール吸着ヘッド３）は、各軸部２６により上方への移動が規制される。つまり、調整対象物保持部２０（ボール吸着ヘッド３）を固定部１９に対して接離する方向に移動することができない。各軸部２６の先端が全ての受け座４２から離れるようにすることで、すなわち、各調整ねじ２２による調整対象物保持部２０に対する移動の規制を解除することで、調整対象物保持部２０（ボール吸着ヘッド３）は、固定部に対して、球面軸受け部２１の曲率中心Ｋを中心にフリーな状態で遥動自在に支持される。この状態で、ボール吸着面１１を所定の水平基準面に当接させる。ボール吸着面１１を所定の水平基準面に当接させた状態で、各調整ねじ２２を下方に移動し、各調整ねじ２２の軸部２６の先端が各受け座４２に当接するようにする。これにより、ボール吸着面１１は概ね水平面に沿うように仮調整される。各調整ねじ２２の軸部２６の先端がそれぞれ各受け座４２に当接する状態にすると、調整対象物保持部２０（ボール吸着ヘッド３）の上下方向への回転（移動）が規制され、固定部１９に対して固定状態となる。 First, each adjusting screw 22 is moved upward until the tip of each shaft portion 26 is separated from each receiving seat 42. In a state in which the tip of each shaft portion 26 is in contact with each receiving seat 42, the movement of the object to be adjusted holding unit 20 (ball suction head 3) is restricted by each shaft portion 26. That is, the adjustment object holding unit 20 (ball suction head 3) cannot be moved in a direction in which the adjustment target holding unit 20 (ball suction head 3) is in contact with or separated from the fixed unit 19. By adjusting the distal end of each shaft portion 26 away from all the receiving seats 42, that is, by releasing the restriction of movement of the adjustment screw 22 with respect to the adjustment target object holding unit 20, the adjustment target object holding unit 20 ( The ball suction head 3) is supported slidably in a free state around the center of curvature K of the spherical bearing portion 21 with respect to the fixed portion. In this state, the ball suction surface 11 is brought into contact with a predetermined horizontal reference surface. In a state where the ball suction surface 11 is in contact with a predetermined horizontal reference surface, each adjustment screw 22 is moved downward so that the tip of the shaft portion 26 of each adjustment screw 22 is in contact with each receiving seat 42. Thereby, the ball | bowl adsorption surface 11 is temporarily adjusted so that it may substantially follow a horizontal surface. When the tip ends of the shaft portions 26 of the respective adjustment screws 22 are brought into contact with the respective receiving seats 42, the rotation (movement) of the adjustment object holding portion 20 (ball suction head 3) in the vertical direction is restricted, and the fixed portion 19 is fixed.

なお、所定の水平基準面は、本体部８の近傍に概ね水平に設定された上面を有する仮調整用のテーブルを備えたり、あるいは、ボール搭載部６の基板載置台１６の基板載置面１７に基板Ｐに換えて平板を載置し、この平板にボール吸着面１１を当接させるようにしてもよい。仮調整は、上述のようにボール吸着面１１を水平基準面に当接させるほか、調整対象物保持部２０が球面軸受け部２１に対して遥動自在なフリーな状態となったときに、ボール吸着面１１が概ね水平となるように、角度調整装置１の重量バランスを設定しておくようにしてもよい。 The predetermined horizontal reference surface includes a temporary adjustment table having a substantially horizontal upper surface in the vicinity of the main body 8, or the substrate mounting surface 17 of the substrate mounting table 16 of the ball mounting unit 6. Alternatively, a flat plate may be placed instead of the substrate P, and the ball suction surface 11 may be brought into contact with the flat plate. In the temporary adjustment, the ball adsorbing surface 11 is brought into contact with the horizontal reference surface as described above, and when the adjustment object holding unit 20 is free to move with respect to the spherical bearing unit 21, You may make it set the weight balance of the angle adjustment apparatus 1 so that the adsorption | suction surface 11 becomes substantially horizontal.

ボール吸着面１１を水平面に沿うように仮調整した後、ボール供給部５においてボール吸着面１１にボールＢを吸着する（図１参照）。そして、ボール吸着面１１にボールＢが吸着された状態で、水平基準面上、あるいは基板載置台１６の基板載置面１７に載置された感圧紙等のいわゆるプレスケールに対してボールＢを当接させる。このとき、ボール吸着面１１が水平であれば、プレスケールの発色部は、ボール吸着面１１の位置に依らず均一に発色する。一方、平行でない場合には、発色部の発色の程度に斑が生ずる。プレスケールの発色に斑が生じる場合には、各調整ねじ２２を調整操作して、発色に斑が生じないよういにボール吸着面１１の角度を設定する。 After temporarily adjusting the ball adsorbing surface 11 along the horizontal plane, the ball B is adsorbed to the ball adsorbing surface 11 in the ball supply unit 5 (see FIG. 1). Then, with the ball B adsorbed on the ball adsorbing surface 11, the ball B is applied to a so-called prescale such as pressure sensitive paper placed on the horizontal reference surface or on the substrate placing surface 17 of the substrate placing table 16. Make contact. At this time, if the ball attracting surface 11 is horizontal, the pre-scale coloring portion uniformly colors regardless of the position of the ball attracting surface 11. On the other hand, if they are not parallel, spots appear in the degree of color development at the color development portion. When spots occur in the color development of the prescale, the adjustment screw 22 is adjusted to set the angle of the ball suction surface 11 so that the spots do not appear in the color development.

なお、プレスケールによりボール吸着面１１が基板Ｐの上面に対して所定の角度になっているかどうかを検査するのに先立ち、上述したように、調整対象物保持部２０を球面軸受け部２１に対して遥動自在なフリーな状態で、所定の水平基準面によりボール吸着面１１が概ね水平となるように仮調整することで、プレスケールを用いて行う調整作業の効率を上げることができる。 Prior to inspecting whether the ball adsorbing surface 11 is at a predetermined angle with respect to the upper surface of the substrate P by the prescale, as described above, the adjustment object holding unit 20 is moved with respect to the spherical bearing unit 21. In such a free and freely movable state, provisional adjustment is performed so that the ball attracting surface 11 is substantially horizontal by a predetermined horizontal reference surface, whereby the efficiency of adjustment work performed using a prescale can be increased.

ところで、左右方向に配置される調整ねじ２２（２２Ｌ），２２（２２Ｒ）と前後方向に配置される調整ねじ２２（２２Ｆ），２２（２２Ｂ）とは、互いに直交する左右方向と前後方向に配置されている。また、左右方向に配置される調整ねじ２２（２２Ｌ），２２（２２Ｒ）と前後方向に配置される調整ねじ２２（２２Ｆ），２２（２２Ｂ）とは、前述したように、矩形状を呈するボール吸着面１１の各辺部の２等分線に沿って配置されている。さらに、各調整ねじ２２は、線分Ｌ１および線分Ｌ２が、中点ＣＰにおいて、球面軸受け部２１の回転中心である曲率中心Ｋを通る直線に対して直交するように配置されている。 By the way, the adjusting screws 22 (22L) and 22 (22R) arranged in the left-right direction and the adjusting screws 22 (22F) and 22 (22B) arranged in the front-rear direction are arranged in the left-right direction and the front-rear direction orthogonal to each other. Has been. Further, as described above, the adjusting screws 22 (22L) and 22 (22R) arranged in the left-right direction and the adjusting screws 22 (22F) and 22 (22B) arranged in the front-rear direction are balls having a rectangular shape. Arranged along the bisector of each side of the suction surface 11. Furthermore, each adjusting screw 22 is arranged such that the line segment L1 and the line segment L2 are orthogonal to a straight line passing through the center of curvature K, which is the rotation center of the spherical bearing portion 21, at the midpoint CP.

したがって、直交する方向の一方の方向に配置される調整ねじ２２，２２を調整操作すると、他方の方向に配置される調整ねじ２２，２２が配置される方向に沿った軸を中心にして、ボール吸着面１１を回転させることができる。 Therefore, when the adjustment screws 22 and 22 arranged in one of the orthogonal directions are adjusted, the ball is centered on the axis along the direction in which the adjustment screws 22 and 22 arranged in the other direction are arranged. The suction surface 11 can be rotated.

例えば、左右方向に配置される調整ねじ２２（２２Ｌ）を上方に移動し，調整ねじ２２（２２Ｒ）を下方に調整ねじ２２（２２Ｌ）と同一の移動量で調整したときには、前後方向に配置される調整ねじ２２（２２Ｆ），２２（２２Ｂ）が配置される方向に沿う軸を中心にして、ボール吸着面１１は左側が上方に、右側が下方に変位する。このとき、ボール吸着面１１の左右方向に位置する辺部の水平面に対する角度は変化しない。また、前後方向に配置される調整ねじ２２（２２Ｆ）を上方に移動し，調整ねじ２２（２２Ｂ）を下方に調整ねじ２２（２２Ｆ）と同一の移動量で調整したときには、左右方向に配置される調整ねじ２２（２２Ｌ），２２（２２Ｒ）が配置される方向に沿う軸を中心にして、ボール吸着面１１は前側が上方に、後側が下方に変位する。このとき、ボール吸着面１１の前後方向に位置する辺部の水平面に対する角度は変化しない。調整ねじ２２の調整操作に対して、上述のようにボール吸着面１１が変位するため、調整者は、各調整ねじ２２の調整操作によるボール吸着面１１の調整方向と調整量を把握し易い。 For example, when the adjustment screw 22 (22L) arranged in the left-right direction is moved upward and the adjustment screw 22 (22R) is adjusted downward by the same movement amount as the adjustment screw 22 (22L), the adjustment screw 22 (22L) is arranged in the front-rear direction. Centering on the axis along the direction in which the adjusting screws 22 (22F) and 22 (22B) are arranged, the ball adsorbing surface 11 is displaced upward on the left side and downward on the right side. At this time, the angle of the side portion of the ball suction surface 11 located in the left-right direction with respect to the horizontal plane does not change. When the adjustment screw 22 (22F) arranged in the front-rear direction is moved upward and the adjustment screw 22 (22B) is adjusted downward with the same movement amount as the adjustment screw 22 (22F), the adjustment screw 22 (22F) is arranged in the left-right direction. The ball adsorbing surface 11 is displaced upward on the front side and downward on the rear side about the axis along the direction in which the adjusting screws 22 (22L) and 22 (22R) are arranged. At this time, the angle with respect to the horizontal surface of the side part located in the front-rear direction of the ball suction surface 11 does not change. Since the ball suction surface 11 is displaced as described above with respect to the adjustment operation of the adjustment screw 22, the adjuster can easily grasp the adjustment direction and the adjustment amount of the ball suction surface 11 by the adjustment operation of each adjustment screw 22.

本実施の形態のボール搭載装置２においては、各調整ねじ２２の調整操作を行う調整者のボール搭載装置２に対する立ち位置は、ボール搭載装置２の正面側となっている。そのため、上述したように、左右方向に配置される調整ねじ２２（２２Ｌ），２２（２２Ｒ）と前後方向に配置される調整ねじ２２（２２Ｆ），２２（２２Ｂ）とを、球面軸受け部２１を交点として互いに直交する方向に配置し、かつ、矩形状を呈するボール吸着面１１の各辺部の２等分線に沿って配置することで、調整者は、各調整ねじ２２の調整操作によるボール吸着面１１の調整方向と調整量を把握し易いものとなっている。 In the ball mounting apparatus 2 according to the present embodiment, the standing position of the adjuster who performs the adjustment operation of each adjusting screw 22 with respect to the ball mounting apparatus 2 is the front side of the ball mounting apparatus 2. Therefore, as described above, the adjustment screws 22 (22L) and 22 (22R) arranged in the left-right direction and the adjustment screws 22 (22F) and 22 (22B) arranged in the front-rear direction are replaced with the spherical bearing portion 21. By arranging the crossing points in directions orthogonal to each other and along the bisectors of each side of the rectangular ball suction surface 11, the adjuster can adjust the ball by adjusting the adjustment screws 22. It is easy to grasp the adjustment direction and adjustment amount of the suction surface 11.

本実施の形態においては、左右方向に配置される調整ねじ２２（２２Ｌ），２２（２２Ｒ）の距離と前後方向に配置される調整ねじ２２（Ｆ），２２（２２Ｂ）の距離は同一に設定されている。すなわち、各調整ねじ２２は、正方形の頂点位置に配置されている。したがって、異なる方向に配置される２つ調整ねじ２２，２２を１対として、２対の調整ねじ２２，２２と調整ねじ２２，２２とを互いに反対方向に同一の移動量で移動させるという簡単な調整操作で、各調整ねじ２２が配置される左右方向または前後方向に対して４５度の方向について、ボール吸着面１１を変位させることができる。 In the present embodiment, the distance between the adjusting screws 22 (22L) and 22 (22R) arranged in the left-right direction and the distance between the adjusting screws 22 (F) and 22 (22B) arranged in the front-rear direction are set to be the same. Has been. That is, each adjustment screw 22 is arranged at a square vertex position. Accordingly, two adjustment screws 22 and 22 arranged in different directions are paired, and the two pairs of adjustment screws 22 and 22 and the adjustment screws 22 and 22 are moved in the opposite directions with the same movement amount. By the adjustment operation, the ball suction surface 11 can be displaced in the direction of 45 degrees with respect to the left-right direction or the front-rear direction in which each adjustment screw 22 is arranged.

つまり、右側に配置される調整ねじ２２Ｒと前側に配置される調整ねじ２２Ｆを１対とし、また、左側に配置される調整ねじ２２Ｌと後側に配置される調整ねじ２２Ｂを１対とし、調整ねじ２２Ｒと調整ねじ２２Ｆを上方に移動するのに対し、調整ねじ２２Ｌと調整ねじ２２Ｂを下方に調整ねじ２２Ｒと調整ねじ２２Ｆの移動量と同一だけ移動させると、ボール吸着面１１は、左後方４５度の方向が下方に変位することになる。 That is, the adjustment screw 22R disposed on the right side and the adjustment screw 22F disposed on the front side are paired, and the adjustment screw 22L disposed on the left side and the adjustment screw 22B disposed on the rear side are paired. While the screw 22R and the adjustment screw 22F are moved upward, when the adjustment screw 22L and the adjustment screw 22B are moved downward by the same amount as the movement of the adjustment screw 22R and the adjustment screw 22F, the ball suction surface 11 is moved to the left rear. The 45 degree direction is displaced downward.

なお、各調整ねじ２２のリード角と、球面軸受け部２１の曲率中心Ｋに対して各調整ねじ２２を配置する距離とは、調整ねじ２２を１回転させたときに、ボール吸着面１１の球面軸受け部２１の曲率中心Ｋから最も離れたボール吸着位置において、ボールＢの直径分だけボール吸着面１１が変位するようにすることが好ましい。このように、各調整ねじ２２のリード角と、球面軸受け部２１の曲率中心Ｋに対して各調整ねじ２２を配置する距離とを設定することで、調整ねじ２２の回転に対する角度変化を過敏にならないように調整を容易としながら、角度調整の精度を確保することができる。 Note that the lead angle of each adjustment screw 22 and the distance at which each adjustment screw 22 is arranged with respect to the center of curvature K of the spherical bearing portion 21 are the spherical surfaces of the ball suction surface 11 when the adjustment screw 22 is rotated once. It is preferable that the ball suction surface 11 be displaced by the diameter of the ball B at the ball suction position farthest from the center of curvature K of the bearing portion 21. In this way, by setting the lead angle of each adjustment screw 22 and the distance at which each adjustment screw 22 is arranged with respect to the center of curvature K of the spherical bearing portion 21, the angle change with respect to the rotation of the adjustment screw 22 is made sensitive. It is possible to ensure the accuracy of the angle adjustment while facilitating the adjustment so that it does not occur.

ところで、ボール搭載装置においては、ボール吸着ヘッドは、１キログラム前後の重量となることがある。本実施の形態に係るボール搭載装置２においては、ボール吸着ヘッド３が取り付けられる調整対象物保持部２０は、シャフト３３の両端の２箇所に取り付けられている。したがって、ボール吸着ヘッド３の重量が懸かる調整対象物保持部２０の固定部１９に対する支持を確実なもととなっている。これにより、ボール吸着面１１の角度設定の精度を向上することができ、また設定された後の狂いを少なくすることができる。 By the way, in the ball mounting apparatus, the ball suction head may have a weight of around 1 kilogram. In the ball mounting apparatus 2 according to the present embodiment, the adjustment object holding unit 20 to which the ball suction head 3 is attached is attached at two locations on both ends of the shaft 33. Therefore, the support of the adjustment object holding unit 20 on which the weight of the ball suction head 3 is hung is reliably supported. Thereby, the accuracy of the angle setting of the ball attracting surface 11 can be improved, and the deviation after being set can be reduced.

以上のように本発明の実施の形態に係る角度調整装置１は、固定部１９と、調整対象物保持部２０と、この調整対象物保持部２０と固定部１９とを連結する球面軸受け部２１と、この球面軸受け部２１を支点にして、調整対象物保持部２０を固定部１９に対して接離する方向に移動させることが可能である共に、所定の位置で調整対象物保持部２０の移動を規制する調整手段としての調整ねじ２２とを有し、調整ねじ２２は、球面軸受け部２１の回転中心を通る直線上において互いに直交する２方向の各方向ごとに、直交点が中点となる２箇所に配置されていることとする。 As described above, the angle adjusting device 1 according to the embodiment of the present invention includes the fixing unit 19, the adjustment target holding unit 20, and the spherical bearing unit 21 that connects the adjustment target holding unit 20 and the fixing unit 19. With this spherical bearing portion 21 as a fulcrum, it is possible to move the adjustment object holding portion 20 in a direction in which the adjustment object holding portion 20 is in contact with and away from the fixed portion 19, and at a predetermined position, the adjustment object holding portion 20 An adjusting screw 22 as an adjusting means for restricting the movement. The adjusting screw 22 has an orthogonal point as a middle point in each of two directions orthogonal to each other on a straight line passing through the rotation center of the spherical bearing portion 21. It is assumed that they are arranged at two places.

角度調整装置１をこのように構成することで、２方向に２つずつ備えられる４つの調整ねじ２２，２２，２２，２２は、ひし形の頂点位置に配置されていることになる。そのため、互いに直交する２方向に配置される各調整ねじ２２の内、一方の方向に配置される調整ねじ２２，２２を調整操作すると、他方の方向に配置される調整ねじ２２，２２が配置される方向と平行な軸を中心として調整対象物保持部２０を回転させることができる。このため、調整対象物保持部２０の角度調整を行う際の変位方向と変位量を把握し易くなり、角度の調整を容易に行うことができる。 By configuring the angle adjusting device 1 in this way, the four adjusting screws 22, 22, 22, 22 provided in two directions in two directions are arranged at the apex positions of the rhombuses. Therefore, when the adjustment screws 22 and 22 arranged in one direction among the adjustment screws 22 arranged in two directions orthogonal to each other are adjusted, the adjustment screws 22 and 22 arranged in the other direction are arranged. The adjustment object holding unit 20 can be rotated about an axis parallel to the direction of the rotation. For this reason, it becomes easy to grasp the displacement direction and the displacement amount when performing the angle adjustment of the adjustment object holding unit 20, and the angle can be easily adjusted.

また、角度調整装置１は、調整ねじ２２による調整対象物保持部２０に対する移動の規制を解除した状態で、調整対象物保持部２０は、球面軸受け部２１に対して遥動自在な状態で支持されることとするのが好ましい。 Further, the angle adjusting device 1 is supported in a state in which the adjustment target holding unit 20 is slidable with respect to the spherical bearing unit 21 in a state where the restriction on the movement of the adjustment target holding unit 20 by the adjustment screw 22 is released. It is preferred that

角度調整装置１をこのように構成することで、調整対象物保持部２０を所定の基準面により所定の角度とした状態で、各調整ねじ２２により調整位置を設定することができるため、角度の調整作業が容易となる。 By configuring the angle adjustment device 1 in this way, the adjustment position can be set by each adjustment screw 22 in a state where the adjustment object holding unit 20 is set at a predetermined angle with a predetermined reference surface. Adjustment work becomes easy.

また、ボール吸着ヘッド３に吸着された複数個のボールＢをワークとしての基板Ｐに搭載するボール搭載装置３において、ボール吸着ヘッド３を上述の角度調整装置１の調整対象物保持部２０に取り付けることとする。 Further, in the ball mounting device 3 for mounting a plurality of balls B sucked by the ball suction head 3 on a substrate P as a workpiece, the ball suction head 3 is attached to the adjustment object holding unit 20 of the angle adjustment device 1 described above. I will do it.

ボール搭載装置２をこのように構成することで、ボール吸着ヘッド３と基板Ｐとの間の角度調整を行い易いものとすることができる。 By configuring the ball mounting device 2 in this way, the angle adjustment between the ball suction head 3 and the substrate P can be easily performed.

また、ボール搭載装置２において、角度調整装置１の各調整ねじ２２が配置される２方向は、ボール搭載装置２の正面を基準にして、左右方向および前後方向であることとするのが好ましい。 In the ball mounting device 2, the two directions in which the adjustment screws 22 of the angle adjusting device 1 are arranged are preferably the left-right direction and the front-back direction with reference to the front of the ball mounting device 2.

ボール搭載装置２をこのように構成することで、調整方向の基準としてとらえ易いボール搭載装置２の正面を基準にして、左右方向および前後方向に各調整ねじ２２が配置されるため、調整対象物３の変位方向をとらえ易いものとなる。 By configuring the ball mounting device 2 in this way, the adjustment screws 22 are arranged in the left-right direction and the front-rear direction with reference to the front of the ball mounting device 2 that can be easily taken as a reference for the adjustment direction. It becomes easy to catch the displacement direction of 3.

また、ボール搭載装置２において、調整対象物保持部２０は、球面軸受け部２１を通り、上述の直交する２方向のいずれか一方に平行な軸部であるシャフト３３を介して固定部１９に支持することが好ましい。 Further, in the ball mounting device 2, the adjustment object holding unit 20 is supported by the fixing unit 19 via the shaft 33 that is a shaft portion that passes through the spherical bearing portion 21 and is parallel to one of the two orthogonal directions. It is preferable to do.

ボール搭載装置２をこのように構成することで、調整対象物保持部２０の固定部１９に対する支持を確実なものとすることができる。 By configuring the ball mounting device 2 in this way, it is possible to reliably support the fixed object 19 of the adjustment object holding unit 20.

なお、上述の実施のボール搭載装置２においては、調整ねじ２２，２２，２２，２２は正方形の頂点位置に配置したが、図１６に概略的に示すように、対角線の長さが異なるひし形の頂点位置に配置するようにしてもよい。調整ねじ２２，２２，２２，２２をこのように配置する場合には、各調整ねじ２２が配置されるひし形の長手方向（対角線の長い側）をボール吸着面１１の長手方向に沿わせることが好ましい。 In the ball mounting device 2 described above, the adjustment screws 22, 22, 22, 22 are arranged at the positions of the apexes of the square. However, as schematically shown in FIG. You may make it arrange | position to a vertex position. When the adjustment screws 22, 22, 22, 22 are arranged in this way, the longitudinal direction of the rhombus in which each adjustment screw 22 is arranged (the side with the longer diagonal line) may be along the longitudinal direction of the ball suction surface 11. preferable.

球面軸受け部２１の回転中心（曲率中心Ｋ）から遠くなるほど、調整ねじ２２の変位量に対するボール吸着面１１の変位量は多くなる。そのため、ボール吸着面１１の長手方向については、球面軸受け部２１の回転中心（曲率中心Ｋ）からできだけ離れた位置で調整ねじ２２を変位させることで、ボール吸着面１１を変位させるときの精度を高いものとすることができる。 As the distance from the rotational center (curvature center K) of the spherical bearing portion 21 increases, the amount of displacement of the ball attracting surface 11 relative to the amount of displacement of the adjusting screw 22 increases. Therefore, in the longitudinal direction of the ball suction surface 11, the accuracy when the ball suction surface 11 is displaced by displacing the adjustment screw 22 at a position as far as possible from the rotation center (curvature center K) of the spherical bearing portion 21. Can be high.

なお、角度調整装置１は、ボール吸着面１１を、水平面に沿って配置される基板Ｐの上面に平行に配置することについて説明したが、例えば、調整体を鉛直面あるいは任意の傾斜面等、水平面に限らず任意の角度に調整することにも使用することができる。 In addition, although the angle adjustment apparatus 1 demonstrated arrange | positioning the ball | bowl adsorption surface 11 in parallel with the upper surface of the board | substrate P arrange | positioned along a horizontal surface, for example, an adjustment body is a vertical surface or arbitrary inclined surfaces, etc. It can be used not only for the horizontal plane but also for adjusting to an arbitrary angle.

本発明の第１の実施の形態に係るボール搭載装置の正面図であり、吸着搬送部がボール供給部に位置している状態を示してる。It is a front view of the ball mounting apparatus concerning a 1st embodiment of the present invention, and shows the state where an adsorption conveyance part is located in a ball supply part. 図１のボール搭載装置の吸着搬送部がボール除去部に位置している状態を示してる。The state which the adsorption conveyance part of the ball mounting apparatus of FIG. 1 is located in a ball removal part is shown. 図１のボール搭載装置の吸着搬送部がボール搭載部に位置している状態を示してる。The state which the adsorption conveyance part of the ball mounting apparatus of FIG. 1 is located in a ball mounting part is shown. 図１のボール搭載装置の側面を示す側面図である。It is a side view which shows the side of the ball mounting apparatus of FIG. 図１のボール搭載装置のボール吸着ヘッドの底面を示す底面図である。It is a bottom view which shows the bottom face of the ball | bowl adsorption | suction head of the ball mounting apparatus of FIG. ボール吸着ヘッドから基板上にボールが搭載される工程の一部を示す工程図である。It is process drawing which shows a part of process in which a ball | bowl is mounted on a board | substrate from a ball | bowl adsorption head. 角度調整装置を斜め上方から見た斜視図である。It is the perspective view which looked at the angle adjustment apparatus from diagonally upward. 角度調整装置を上方から見た平面図である。It is the top view which looked at the angle adjustment apparatus from upper direction. 角度調整装置を前方から見た正面図である。It is the front view which looked at the angle adjustment apparatus from the front. 角度調整装置を右側みた側面図である。It is the side view which looked at the angle adjustment apparatus on the right side. 図８に示す切断線Ａ−Ａにおける断面図である。It is sectional drawing in the cutting line AA shown in FIG. 図８に示す切断線Ｂ−Ｂにおける断面図である。It is sectional drawing in the cutting line BB shown in FIG. 球面軸受け部の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of a spherical bearing part. 角度調整装置の調整操作を示す図である。It is a figure which shows adjustment operation of an angle adjustment apparatus. 角度調整装置の調整操作を示す図である。It is a figure which shows adjustment operation of an angle adjustment apparatus. 角度調整装置の調整ねじの配置の変形例を示す図である。It is a figure which shows the modification of arrangement | positioning of the adjustment screw of an angle adjustment apparatus.

Explanation of symbols

１・・・角度調整装置
２・・・ボール搭載装置
３・・・ボール吸着ヘッド
１９・・・固定部
２０・・・調整対象物保持部
２１・・・球面軸受け部
２２・・・調整ねじ（調整手段）
３３・・・シャフト（軸部）
Ｂ・・・ボール
Ｐ・・・基板（ワーク） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Angle adjusting device 2 ... Ball mounting device 3 ... Ball adsorption head 19 ... Fixed part
20 ... Adjustment object holding part
21 ... Spherical bearing 22 ... Adjustment screw (adjustment means)
33 ... Shaft (shaft)
B ... Ball P ... Substrate (workpiece)

Claims

  In a ball mounting device that mounts a plurality of balls sucked by a ball suction head on a workpiece,
  The fixed object, the adjustment object holding part, the spherical bearing part connecting the adjustment object holding part and the fixed part, and the spherical object bearing part as a fulcrum, and the adjustment object holding part as the fixed part. And an adjusting means for restricting the movement of the adjustment object holding portion at a predetermined position, the adjusting means being a rotation center of the spherical bearing portion. For each direction of two directions orthogonal to each other on a straight line passing through, the angle adjustment device is arranged in two places where the orthogonal point is a middle point,
  The ball suction head is attached to the adjustment object holding unit,
  The ball mounting apparatus, wherein the adjustment object holding part is supported by the fixed part through a shaft part passing through the spherical bearing part and parallel to one of the two directions.

The ball mounting apparatus according to claim 1,
The ball, wherein the adjustment object holding part is supported in a freely movable manner with respect to the spherical bearing part in a state where the restriction of movement of the adjustment object holding part by the adjusting means is released. On-board equipment.

The ball mounting apparatus according to claim 1,
2. The ball mounting device according to claim 1, wherein the two directions in which the adjusting means of the angle adjusting device are arranged are a left-right direction and a front-rear direction with reference to the front of the ball mounting device.

  The ball mounting apparatus according to claim 1,
  In a state where the regulation of movement with respect to the adjustment target object holding part by the adjusting means is released, the adjustment target object holding part is supported in a freely movable state with respect to the spherical bearing part,
  The two directions in which the adjusting means of the angle adjusting device are arranged are a left-right direction and a front-rear direction with reference to the front of the ball mounting device.
A ball mounting device characterized by that.