JP5283976B2 - 光走査装置 - Google Patents
光走査装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5283976B2 JP5283976B2 JP2008150719A JP2008150719A JP5283976B2 JP 5283976 B2 JP5283976 B2 JP 5283976B2 JP 2008150719 A JP2008150719 A JP 2008150719A JP 2008150719 A JP2008150719 A JP 2008150719A JP 5283976 B2 JP5283976 B2 JP 5283976B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical system
- scanning
- light beam
- exit pupil
- pupil
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Description
また、入射光束の幅方向での光強度分布は、走査ユニット104が移動しても(つまりは、射出瞳の位置が移動しても)、同じ明るさの画像が観察できるように、例えば図4(b)に示すような最大強度領域の幅が広い分布であることが好ましい。図4(b)の例では、最大光強度の半値以上の光強度を有する領域の幅を入射光束の幅Dに対応させ、最大強度領域の幅を微小ミラー202の移動範囲Lに対応させている。
D≧d’+L
を満たすことが必要である。
θ≦3deg
であることが望ましい。さらに、射出瞳107の移動量を大きくしても画角や画像の歪みの変化を小さくするには、
θ≦1deg
であることが望ましい。
以下、上述した実施例1〜3に対応する数値例(設計例)を表1〜3に記載する。各実施例では、光源ユニット側から射出瞳側に向かって光路を説明したが、数値例では、射出瞳側から光源ユニット側に光路を逆追跡した形で記載している。
図15に、実施例1に対応する光学系の数値例を示す。対角画角は30deg(図の紙面内に対応する水平画角は24deg、図の紙面に垂直な垂直画角は18deg、アスペクト比は4:3)であり、射出瞳径φは1mmである。MEMSの走査角は水平方向に±6.8deg、垂直方向に±5.3degである。接眼光学系106のアイポイントは21mmである。
射出瞳107 面番号1
面106a 面番号2
面106b 面番号3
面106c 面番号4
面106d 面番号5
面106e 面番号6
面106f 面番号7
面106g 面番号8
面106h 面番号9
面106i 面番号10
面106j 面番号11
面105a 面番号12
面105b 面番号13
面105c 面番号14
面105d 面番号15
面105e 面番号16
面105f 面番号17
面105g 面番号18
面105h 面番号19
面105i 面番号20
面105j 面番号21
走査ユニット104 面番号22
面102a 面番号23
面102b 面番号24
面102c 面番号25
光源ユニット101 面番号26
type sur Yg Zg qg ry rx d shift tilt nd νd
1 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 21.000 0.000 0.000 1.000
2 0.0000 21.0000 0.0000 -483.8401 -483.8401 1.006 0.000 0.000 1.772 21.90
3 0.0000 22.0056 0.0000 29.3486 29.3486 6.000 0.000 0.000 1.624 50.76
4 0.0000 28.0056 0.0000 -33.8619 -33.8619 0.100 0.000 0.000 1.000
5 0.0000 28.1056 0.0000 48.5447 48.5447 4.000 0.000 0.000 1.644 50.71
6 0.0000 32.1056 0.0000 -157.9826 -157.9826 0.385 0.000 0.000 1.000
7 0.0000 32.4909 0.0000 26.4625 26.4625 3.291 0.000 0.000 1.655 49.30
8 0.0000 35.7823 0.0000 125.1361 125.1361 0.100 0.000 0.000 1.000
9 0.0000 35.8823 0.0000 14.7460 14.7460 6.500 0.000 0.000 1.644 50.71
10 0.0000 42.3823 0.0000 -218.8361 -218.8361 1.000 0.000 0.000 1.609 31.63
11 0.0000 43.3823 0.0000 7.6121 7.6121 9.000 0.000 0.000 1.000
12 0.0000 59.8872 0.0000 -7.6838 -7.6838 0.981 0.000 0.000 1.609 31.63
13 0.0000 60.8687 0.0000 80.8439 80.8439 6.485 0.000 0.000 1.644 50.71
14 0.0000 67.3535 0.0000 -12.5492 -12.5492 0.100 0.000 0.000 1.000
15 0.0000 67.4535 0.0000 -38.0101 -38.0101 3.251 0.000 0.000 1.655 49.30
16 0.0000 70.7047 0.0000 -19.3678 -19.3678 0.100 0.000 0.000 1.000
17 0.0000 70.8047 0.0000 -125.7070 -125.7070 3.800 0.000 0.000 1.644 50.71
18 0.0000 74.6047 0.0000 -37.6370 -37.6370 0.100 0.000 0.000 1.000
19 0.0000 74.7047 0.0000 21.9473 21.9473 5.500 0.000 0.000 1.624 50.76
20 0.0000 80.2047 0.0000 -46.9038 -46.9038 0.900 0.000 0.000 1.772 21.90
21 0.0000 81.1047 0.0000 55.6538 55.6538 22.845 0.000 0.000 1.000
M 22 0.0000 103.9496 15.0004 0.0000 0.0000 0.000 0.000 15.000 -1.000
23 -12.5000 82.2990 30.0000 -12.2828 -12.2828 -2.165 -12.500 30.000 -1.643 46.53
24 -13.7500 80.1339 30.0000 6.5739 6.5739 -0.779 -13.750 30.000 -1.707 24.94
25 -14.2000 79.3545 30.0000 32.4111 32.4111 -12.990 -14.200 30.000 -1.000
26 -21.7000 66.3641 30.0000 0.0000 0.0000 0.000 -21.700 30.000 -1.000
surface no. = 2
SPH rdy =-4.838e+002
surface no. = 3
SPH rdy =2.935e+001
surface no. = 4
SPH rdy =-3.386e+001
surface no. = 5
SPH rdy =4.854e+001
surface no. = 6
SPH rdy =-1.580e+002
surface no. = 7
SPH rdy =2.646e+001
surface no. = 8
SPH rdy =1.251e+002
surface no. = 9
SPH rdy =1.475e+001
surface no. = 10
SPH rdy =-2.188e+002
surface no. = 11
SPH rdy =7.612e+000
surface no. = 12
SPH rdy =-7.684e+000
surface no. = 13
SPH rdy =8.084e+001
surface no. = 14
SPH rdy =-1.255e+001
surface no. = 15
SPH rdy =-3.801e+001
surface no. = 16
SPH rdy =-1.937e+001
surface no. = 17
SPH rdy =-1.257e+002
surface no. = 18
SPH rdy =-3.764e+001
surface no. = 19
SPH rdy =2.195e+001
surface no. = 20
SPH rdy =-4.690e+001
surface no. = 21
SPH rdy =5.565e+001
surface no. = 22
SPH rdy =1.000e+018
surface no. = 23
SPH rdy =-1.228e+001
surface no. = 24
SPH rdy =6.574e+000
surface no. = 25
SPH rdy =3.241e+001
本実施例では、水平方向に±2mmの射出瞳の移動が可能である(図中の矢印方向を正とする)。この際に、走査ユニット104は−/+2mm移動する(図中の矢印方向を正とする)。
<数値例2>
図19に、実施例2に対応する光学系の数値例を示す。対角画角は50deg(図の紙面内に対応する水平画角は40deg、図の紙面に垂直な垂直画角は30deg、アスペクト比は4:3)であり、射出瞳径φは1mmである。MEMSの走査角は水平方向に±4.33deg、垂直方向に±3.25degである。接眼光学系606のアイポイントは12.5mmである。
射出瞳107 面番号1
面606a 面番号2
面606b 面番号3
面606c 面番号4
面605a 面番号5
面605b 面番号6
面605c 面番号7
面605d 面番号8
面605e 面番号9
面605f 面番号10
面605g 面番号11
面605h 面番号12
面605i 面番号13
面605j 面番号14
面610 面番号15
走査ユニット104 面番号16
面602a 面番号17
面602b 面番号18
面602c 面番号19
面602d 面番号20
光源ユニット101 面番号21
type sur Yg Zg qg ry rx d shift tilt nd νd
1 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 15.000 0.000 0.000 1.000
XYP 2 -0.1171 14.1758 8.9093 0.0000 0.0000 10.801 -0.117 8.909 1.533 38.16
XYP-M 3 1.9234 24.9769 50.0758 0.0000 0.0000 -5.519 1.923 50.076 -1.533 38.16
XYP 4 -12.4409 19.45834 88.4310 0.0000 0.0000 7.596 -12.441 88.431 -1.000
5 -68.5645 27.0493 89.9936 922.6801 922.680 0.000 -68.564 89.994 -1.772 17.56
6 -69.6645 27.0492 89.9936 -42.9540 -42.9540 0.000 -69.664 89.994 -1.000
7 -69.8645 27.0492 89.9936 -36.3091 -36.3091 -0.001 -69.864 89.994 -1.731 36.71
8 -75.8645 27.0485 89.9936 113.2266 113.2266 0.000 -75.864 89.994 -1.000
9 -76.8645 27.0484 89.9936 -96.0542 -96.0542 -0.001 -76.864 89.994 -1.533 38.16
10 -82.8645 27.0477 89.9936 96.2006 96.2006 0.000 -82.864 89.994 -1.000
AL 11 -83.8645 27.0476 89.9936 -22.7201 -22.7201 -0.001 -83.864 89.994 -1.643 37.87
12 -89.8645 27.0469 89.9936 -25.0307 -25.0307 0.000 -89.864 89.994 -1.000
13 -90.8645 27.0468 89.9936 -25.6576 -25.6576 0.000 -90.864 89.994 -1.707 20.05
14 -92.8645 27.0466 89.9936 -20.3772 -20.3772 0.000 -92.864 89.994 -1.000
M 15 -122.8645 27.04323 69.9935 0.0000 0.0000 0.000 -122.864 69.994 1.000
M 16 -106.0131 41.18645 24.9936 0.0000 0.0000 -30.000 -106.013 24.994 -1.000
AL 17 -106.0097 11.1865 -0.0064 -11.2179 -11.2179 -3.500 -106.010 -0.006 -1.533 38.16
18 -106.0093 7.6865 -0.0064 11.8219 11.8219 -0.200 -106.009 -0.006 -1.000
19 -106.0093 7.4865 -0.0064 10.6835 10.6835 -2.000 -106.009 -0.006 -1.707 20.05
20 -106.0091 5.4865 -0.0064 40.0000 40.0000 -18.721 -106.009 -0.006 -1.000
21 -106.0070 -13.2347 -0.0064 0.0000 0.0000 0.000 -106.007 -0.006 -1.000
surface no. = 2
XYP rdy =1.000e+018 c3=3.740e-002 c4 =3.034e-002 c6 =5.839e-004 c8=-2.215e-004
c10=-1.105e-003 c11=3.898e-053 c13=7.797e-053 c15=3.924e-053 c17=1.435e-006
c19=-1.169e-007 c21=-3.724e-007 c22=6.808e-008 c24=3.755e-007 c26=-1.631e-008
c28=-1.723e-007 c30=-4.636e-009 c32=3.799e-009 c34=-7.913e-010 c36=-3.662e-010
c37=-3.083e-010 c39=-7.968e-011 c41=-6.234e-010 c43=-6.290e-011 c45=8.398e-011
surface no. = 3
XYP rdy =1.000e+018 c3=1.617e-002 c4 =-1.154e-003 c6 =-7.169e-003 c8=-6.055e-005
c10=1.290e-005 c11=1.178e-005 c13=4.238e-008 c15=-3.663e-006 c17=-1.330e-008
c19=7.497e-008 c21=-5.003e-009 c22=-1.431e-007 c24=1.056e-008 c26=-1.678e-008
c28=-1.929e-009 c30=4.311e-009 c32=-8.970e-010 c34=-7.746e-010 c36=-3.416e-011
c37=5.055e-011 c39=2.564e-010 c41=2.337e-010 c43=1.822e-011 c45=4.028e-012
surface no. = 4
XYP rdy =1.000e+018 c3=-1.682e-001 c4 =1.937e-002 c6 =1.045e-002 c8=-3.011e-004
c10=1.320e-003 c11=3.898e-053 c13=7.848e-053 c15=3.924e-053 c17=-1.330e-006
c19=2.187e-006 c21=-8.488e-007 c22=-1.008e-006 c24=-1.753e-007 c26=3.201e-008
c28=-1.243e-007 c30=-6.125e-011 c32=-4.849e-011 c34=-1.400e-011 c36=7.741e-013
c37=7.635e-012 c39=3.050e-012 c41=3.258e-012 c43=1.616e-013 c45=-1.844e-013
surface no. = 5
SPH rdy =9.227e+002
surface no. = 6
SPH rdy =-4.295e+001
surface no. = 7
SPH rdy =-3.631e+001
surface no. = 8
SPH rdy =1.132e+002
surface no. = 9
SPH rdy =-9.605e+001
surface no. = 10
SPH rdy =9.620e+001
surface no. = 11
ASP rdy =-2.272e+001 a=4.923e-006 b=4.475e-009 c=5.075e-011 d=1.316e-013
surface no. = 12
SPH rdy =-2.503e+001
surface no. = 13
SPH rdy =-2.566e+001
surface no. = 14
SPH rdy =-2.038e+001
surface no. = 16
SPH rdy =1.000e+018
surface no. = 17
ASP rdy =-1.122e+001 a=3.989e-007 b=-9.838e-007 c=1.861e-008 d=-1.101e-009
surface no. = 18
SPH rdy =1.182e+001
surface no. = 19
SPH rdy =1.068e+001
surface no. = 20
SPH rdy =4.000e+001
本実施例では、水平方向に±2mm及び垂直方向に±1mmの射出瞳の移動が可能である(図中の矢印方向を正とする)。この際に、走査ユニット104に設けられた遮光部材(アパーチャ)は、水平方向に−/+4mm、垂直方向に−/+2mm移動する(図中の矢印方向を正とする)。
<数値例3>
図23に、実施例3に対応する光学系の数値例を示す。対角画角は70deg(図の紙面内に対応する水平画角は60deg、図の紙面に垂直な垂直画角は36deg、アスペクト比は16:9)であり、射出瞳径φは1mmである。MEMSの走査角は水平方向に±10deg、垂直方向に±5.68degである。接眼光学系1006のアイポイントは12.5mmである。
射出瞳107 面番号1
面1006a 面番号2、4
面1006b 面番号3
面1006c 面番号5
面1006d 面番号6、8
面1006e 面番号7
面1006f 面番号9
面1005a 面番号10
面1005b 面番号11
面1005c 面番号12
面1005d 面番号13
面1005e 面番号14
面1005f 面番号15
面1005g 面番号16
面1005h 面番号17
走査ユニット104 面番号18
面1002a 面番号19
面1002b 面番号20
面1002c 面番号21
面1002d 面番号22
面1002e 面番号23
光源ユニット101 面番号24
type sur Yg Zg qg ry rx d shift tilt nd νd
1 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 0.0000 12.305 0.000 0.000 1.000
XYP 2 -15.9297 12.3054 1.8632 0.0000 0.0000 8.407 -15.930 1.863 1.533 41.59
XYP-M 3 1.6616 20.7124 -20.2673 0.0000 0.0000 -8.407 1.662 -20.267 -1.533 41.59
XYP-M 4 -15.9297 12.3054 1.8632 0.0000 0.0000 6.047 -15.930 1.863 1.533 41.59
XYP 5 17.9704 18.3522 61.4616 0.0000 0.0000 5.393 17.970 61.462 1.000
XYP 6 15.5711 23.7448 57.7304 0.0000 0.0000 -1.362 15.571 57.730 1.533 41.59
XYP-M 7 21.2255 22.3831 34.1649 0.0000 0.0000 1.362 21.226 34.165 -1.533 41.59
XYP-M 8 15.5711 23.7448 57.7304 0.0000 0.0000 -5.150 15.571 57.730 1.533 41.59
XYP 9 28.6231 18.5946 77.8580 0.0000 0.0000 -0.117 28.623 77.858 1.000
XYP 10 32.4974 16.2775 -88.1368 0.0000 0.0000 2.858 32.497 -88.137 1.533 41.59
XYP-M 11 56.7332 19.1352 -67.0073 0.0000 0.0000 9.285 56.733 -67.007 -1.533 41.59
XYP-M 12 48.0851 28.4203 -22.0013 0.0000 0.0000 -19.995 48.085 -22.001 1.533 41.59
XYP 13 48.7812 8.42514 3.4165 0.0000 0.0000 -2.247 48.781 3.417 1.000
XYP 14 45.8973 6.1784 5.6040 0.0000 0.0000 -15.698 45.897 5.604 1.533 41.59
XYP-M 15 47.7115 -9.5192 -22.9437 0.0000 0.0000 8.380 47.712 -22.944 -1.533 41.59
XYP-M 16 38.4927 -1.1397 -68.0673 0.0000 0.0000 -1.115 38.493 -68.067 1.533 41.59
XYP 17 53.1314 -2.25458 -87.8393 0.0000 0.0000 0.675 53.131 -87.839 1.000
M 18 60.9038 -1.5793 -69.9966 0.0000 0.0000 -11.282 60.904 -69.997 -1.000
19 47.4600 -12.8614 -49.9966 -16.5696 -16.5696 -2.250 47.460 -49.997 -1.643 41.27
20 44.7789 -15.1113 -49.9966 -6.8815 -6.8815 -0.514 44.779 -49.997 -1.816 18.51
21 44.1661 -15.6255 -49.9966 -13.0356 -13.0356 -0.129 44.166 -49.997 -1.000
AL 22 44.0129 -15.7541 -49.9966 10.9164 10.9164 -1.928 44.013 -49.997 -1.533 41.59
23 41.7149 -17.6826 -49.9966 0.0000 0.0000 -11.282 41.715 -49.997 -1.000
24 28.2711 -28.9647 -49.9966 0.0000 0.0000 0.000 28.271 -49.997 -1.000
surface no. = 2
XYP rdy =1.000e+018 c3=-2.955e-002 c4 =5.433e-003 c6 =2.465e-003 c8=-7.366e-005
c10=1.974e-005 c11=-1.934e-048 c13=-3.877e-048 c15=-1.911e-048 c17=-5.379e-006
c19=-8.364e-007 c21=-2.006e-008 c22=-1.293e-006 c24=-1.472e-007 c26=-1.817e-008
c28=-7.938e-011 c30=6.379e-008 c32=-1.712e-008 c34=-7.209e-010 c36=2.456e-011
c37=3.809e-009 c39=2.548e-009 c41=6.881e-011 c43=1.818e-011 c45=-1.532e-012
surface no. = 3
XYP rdy =1.000e+018 c3=1.342e-002 c4 =-2.431e-002 c6 =-1.844e-002 c8=-1.250e-004
c10=-6.548e-005 c11=-2.041e-005 c13=-1.349e-005 c15=-9.615e-006 c17=-1.956e-006
c19=-1.561e-006 c21=-2.064e-007 c22=-7.699e-008 c24=5.006e-008 c26=2.493e-008
c28=1.856e-008 c30=8.206e-009 c32=-1.226e-009 c34=-3.707e-009 c36=-1.234e-009
c37=3.475e-010 c39=-6.916e-010 c41=-5.221e-010 c43=3.793e-010 c45=6.420e-011
surface no. = 4
XYP rdy =1.000e+018 c3=-2.955e-002 c4 =5.433e-003 c6 =2.465e-003 c8=-7.366e-005
c10=1.974e-005 c11=-1.934e-048 c13=-3.877e-048 c15=-1.911e-048 c17=-5.379e-006
c19=-8.364e-007 c21=-2.006e-008 c22=-1.293e-006 c24=-1.472e-007 c26=-1.817e-008
c28=-7.938e-011 c30=6.379e-008 c32=-1.712e-008 c34=-7.209e-010 c36=2.456e-011
c37=3.809e-009 c39=2.548e-009 c41=6.881e-011 c43=1.818e-011 c45=-1.532e-012
surface no. = 5
XYP rdy =1.000e+018 c3=1.540e-002 c4 =-4.726e-002 c6 =-4.487e-002 c8=-4.674e-003
c10=3.556e-003 c11=-1.934e-048 c13=-3.877e-048 c15=-1.911e-048 c17=-1.446e-004
c19=4.360e-004 c21=-3.925e-004 c22=5.263e-006 c24=-2.290e-004 c26=-1.025e-005
c28=-2.422e-006 c30=2.038e-005 c32=-7.452e-005 c34=-3.640e-005 c36=6.056e-006
c37=-4.362e-007 c39=6.538e-006 c41=-8.409e-006 c43=-6.000e-006 c45=-1.059e-006
surface no. = 6
XYP rdy =1.000e+018 c3=-1.146e-001 c4 =1.315e-002 c6 =1.046e-002 c8=-3.069e-004
c10=-6.027e-005 c11=-1.934e-048 c13=-3.877e-048 c15=-1.911e-048 c17=-3.615e-005
c19=-1.079e-005 c21=-2.430e-007 c22=3.521e-005 c24=3.232e-005 c26=-1.850e-006
c28=6.802e-007 c30=-1.099e-005 c32=-4.805e-006 c34=-2.193e-007 c36=-2.061e-007
c37=-7.379e-007 c39=7.478e-007 c41=2.590e-007 c43=5.801e-008 c45=1.348e-008
surface no. = 7
XYP rdy =1.000e+018 c3=-1.060e-001 c4 =-2.587e-002 c6 =-2.459e-002 c8=-3.040e-004
c10=3.527e-004 c11=-1.934e-048 c13=-3.877e-048 c15=-1.911e-048 c17=-2.286e-004
c19=-3.824e-004 c21=-3.032e-004 c22=-5.560e-007 c24=-2.421e-004 c26=-1.489e-004
c28=-1.523e-004 c30=7.509e-008 c32=-9.009e-005 c34=1.244e-005 c36=-3.786e-005
c37=-1.005e-018 c39=-3.420e-017 c41=1.369e-016 c43=-2.821e-016 c45=6.439e-009
surface no. = 8
XYP rdy =1.000e+018 c3=-1.146e-001 c4 =1.315e-002 c6 =1.046e-002 c8=-3.069e-004
c10=-6.027e-005 c11=-1.934e-048 c13=-3.877e-048 c15=-1.911e-048 c17=-3.615e-005
c19=-1.079e-005 c21=-2.430e-007 c22=3.521e-005 c24=3.232e-005 c26=-1.850e-006
c28=6.802e-007 c30=-1.099e-005 c32=-4.805e-006 c34=-2.193e-007 c36=-2.061e-007
c37=-7.379e-007 c39=7.478e-007 c41=2.590e-007 c43=5.801e-008 c45=1.348e-008
surface no. = 9
XYP rdy =1.000e+018 c3=2.204e-001 c4 =-8.067e-002 c6 =-1.131e-001 c8=1.023e-002
c10=5.082e-003 c11=-2.272e-003 c13=-5.504e-004 c15=1.192e-003 c17=-1.729e-004
c19=2.935e-005 c21=7.030e-005 c22=-5.657e-005 c24=-1.650e-004 c26=-1.152e-004
c28=-3.284e-005 c30=2.896e-005 c32=6.112e-006 c34=8.893e-006 c36=-2.844e-006
c37=5.387e-007 c39=3.377e-006 c41=5.792e-006 c43=1.105e-006 c45=-5.344e-007
surface no. = 10
XYP rdy =1.000e+018 c3=-1.087e-002 c4 =-6.297e-003 c6 =6.390e-003 c8=1.943e-004
c10=1.540e-003 c11=-2.972e-032 c13=-3.284e-031 c15=-5.261e-031 c17=-1.051e-005
c19=-3.263e-005 c21=-2.614e-006 c22=5.556e-008 c24=-4.478e-007 c26=4.204e-006
c28=7.248e-008
surface no. = 11
XYP rdy =1.000e+018 c3=-8.472e-003 c4 =1.021e-002 c6 =5.818e-003 c8=1.488e-004
c10=-3.569e-005 c11=6.561e-007 c13=1.099e-005 c15=-1.150e-005 c17=-1.207e-007
c19=7.377e-007 c21=7.848e-007 c22=1.715e-008 c24=9.443e-008 c26=6.081e-008
c28=-1.304e-007
surface no. = 12
XYP rdy =1.000e+018 c3=-8.643e-003 c4 =-8.377e-003 c6 =-1.142e-002 c8=-1.332e-004
c10=-1.055e-004 c11=2.846e-006 c13=1.385e-005 c15=6.718e-006 c17=-6.065e-007
c19=9.893e-007 c21=-9.264e-007 c22=4.467e-008 c24=2.445e-007 c26=-4.441e-008
c28=-2.139e-008
surface no. = 13
XYP rdy =1.000e+018 c3=-4.579e-002 c4 =3.087e-002 c6 =1.110e-002 c8=-3.769e-003
c10=-1.880e-003 c11=-1.158e-004 c13=-5.102e-004 c15=-7.442e-004 c17=1.212e-005
c19=-3.830e-005 c21=4.472e-005 c22=9.026e-007 c24=1.794e-005 c26=2.575e-005
c28=5.746e-005
surface no. = 14
XYP rdy =1.000e+018 c3=-8.390e-002 c4 =2.098e-002 c6 =-2.624e-002 c8=-2.060e-004
c10=1.899e-003 c11=-8.425e-005 c13=-6.174e-004 c15=2.778e-004 c17=-3.355e-005
c19=1.440e-005 c21=-2.856e-005 c22=-5.040e-007 c24=6.437e-006 c26=5.918e-007
c28=-9.181e-007
surface no. = 15
XYP rdy =1.000e+018 c3=8.096e-003 c4 =6.499e-003 c6 =6.816e-003 c8=9.795e-005
c10=8.002e-005 c11=-1.233e-005 c13=-2.253e-005 c15=-3.055e-006 c17=2.906e-007
c19=-4.857e-007 c21=-8.391e-008 c22=-3.713e-009 c24=2.789e-008 c26=-3.965e-008
c28=-4.562e-009 c30=1.421e-011 c32=-2.132e-009 c34=-3.165e-009 c36=-1.543e-010
c37=1.298e-011 c39=5.987e-011 c41=-1.113e-010 c43=6.244e-012 c45=-9.555e-012
surface no. = 16
XYP rdy =1.000e+018 c3=9.120e-003 c4 =-1.306e-002 c6 =-1.222e-002 c8=4.717e-005
c10=-5.789e-006 c11=-5.538e-006 c13=-1.050e-005 c15=9.282e-007 c17=5.606e-007
c19=3.005e-007 c21=1.583e-007 c22=1.148e-010 c24=3.803e-008 c26=-9.697e-010
c28=-1.662e-009 c30=3.953e-010 c32=4.057e-010 c34=1.261e-009 c36=-4.761e-010
c37=-7.288e-012 c39=-3.564e-011 c41=-8.681e-011 c43=1.301e-010 c45=-3.191e-011
surface no. = 17
XYP rdy =1.000e+018 c3=-2.882e-002 c4 =-3.878e-002 c6 =-8.136e-002 c8=9.235e-003
c10=6.799e-003 c11=-5.929e-005 c13=-1.276e-003 c15=4.291e-004 c17=8.076e-005
c19=2.594e-004 c21=2.527e-004 c22=-7.532e-007 c24=-1.497e-005 c26=-2.622e-005
c28=-6.300e-008
surface no. = 18
SPH rdy =1.000e+018
surface no. = 19
SPH rdy =-1.657e+001
surface no. = 20
SPH rdy =-6.881e+000
surface no. = 22
SPH rdy =-1.304e+001
surface no. = 23
ASP rdy =1.092e+001 k =-3.665e+000 a=-1.848e-005 b=2.016e-006 c=1.113e-007
d=-5.278e-009 e=2.063e-012
surface no. = 24
SPH rdy =1.000e+018
本実施例では、水平方向に±4mm及び垂直方向に±1mmの射出瞳の移動が可能である(接眼光学系1006が走査光学系1005に近づく方向を正とする)。この際に、集光光学系1002は、−4〜+8mm移動する(集光光学系1002が光源ユニット101に近づく方向を正とする)。
102,602,1002 集光光学系
104 走査ユニット
105,605,1005 走査光学系
106,606,1006 接眼光学系
107 射出瞳
108 観察者の眼
109 瞳孔
201 MEMS走査デバイス
701 2次元走査ミラー
702 遮光部材
Claims (5)
- 光源と、
該光源からの光束のうち一部領域内の部分光束を走査する走査ユニットと、
該走査ユニットからの前記部分光束を集光する走査光学系と、
該走査光学系からの前記部分光束を、観察者の眼が配置される射出瞳に導く接眼光学系と、
前記走査ユニットを、前記光源、前記走査光学系及び前記接眼光学系に対して移動させて前記光源からの光束の幅内での前記一部領域の位置を変更する領域変更機構とを有することを特徴とする光走査装置。 - 前記走査ユニットは、前記部分光束を反射及び走査する反射面と、前記部分光束を通過させる開口が形成された遮光部材とを有し、
前記領域変更機構は、前記遮光部材を前記反射面に対して移動させて、前記一部領域の位置を変更することを特徴とする請求項1に記載の光走査装置。 - 前記領域変更機構による前記一部領域が移動する方向を第1の方向とするとき、
前記走査ユニットが設けられた位置において、前記光源からの光束の前記第1の方向での幅が、該第1の方向とは異なる第2の方向での幅よりも大きいことを特徴とする請求項1または2に記載の光走査装置。 - 前記観察者の眼の瞳孔の位置を検出する瞳孔検出手段を有し、
前記瞳孔検出手段により検出された前記瞳孔の位置に応じて前記領域変更機構の動作を制御する制御手段を有することを特徴とする請求項1から3のいずれか1つに記載の光走査装置。 - 前記走査光学系から前記接眼光学系に進む光束はテレセントリック性を有し、
前記接眼光学系は、前記走査光学系からの光束を前記射出瞳に向けて反射する反射面を有し、
前記接眼光学系を、前記走査光学系及び前記走査ユニットに対して、該走査光学系から前記接眼光学系への光束の進行方向に沿った方向に移動可能とする移動機構を有し、
前記移動機構による前記接眼光学系の移動、及び前記領域変更機構による前記一部領域の位置の変更によって、前記射出瞳を互いに直交する2方向に移動させることを特徴とする請求項1から4のいずれか1つに記載の光走査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008150719A JP5283976B2 (ja) | 2008-06-09 | 2008-06-09 | 光走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008150719A JP5283976B2 (ja) | 2008-06-09 | 2008-06-09 | 光走査装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009294606A JP2009294606A (ja) | 2009-12-17 |
JP2009294606A5 JP2009294606A5 (ja) | 2011-07-21 |
JP5283976B2 true JP5283976B2 (ja) | 2013-09-04 |
Family
ID=41542814
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008150719A Active JP5283976B2 (ja) | 2008-06-09 | 2008-06-09 | 光走査装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5283976B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5652124B2 (ja) * | 2009-12-28 | 2015-01-14 | 株式会社リコー | 走査型画像表示装置、携帯電話、携帯型情報処理装置、携帯型撮影装置 |
EP2884323B1 (en) | 2012-08-08 | 2017-10-11 | Nikon Corporation | Head-mounted display optical assembly and head-mounted display |
JP6111842B2 (ja) * | 2013-05-13 | 2017-04-12 | 富士通株式会社 | 画像表示装置及び画像表示方法 |
CN105593745B (zh) * | 2013-10-02 | 2018-03-27 | 株式会社尼康 | 头戴式显示器用光学系统和头戴式显示器 |
JP6341500B2 (ja) * | 2014-04-24 | 2018-06-13 | リコーインダストリアルソリューションズ株式会社 | レーザレーダ装置 |
JP6612812B2 (ja) * | 2017-06-06 | 2019-11-27 | 株式会社Qdレーザ | 画像投影装置 |
JP7052577B2 (ja) | 2018-06-07 | 2022-04-12 | 株式会社リコー | 光学装置、映像表示装置、及び検眼装置 |
GB2613352B (en) * | 2021-11-30 | 2023-12-27 | Trulife Optics Ltd | Beam scanner |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01262519A (ja) * | 1988-04-13 | 1989-10-19 | Seiko Epson Corp | 画像形成装置 |
JP2007199682A (ja) * | 2005-12-27 | 2007-08-09 | Konica Minolta Holdings Inc | 光偏向器および光ビーム走査装置 |
JP5043345B2 (ja) * | 2006-02-14 | 2012-10-10 | キヤノン株式会社 | 画像形成装置 |
JP2007216248A (ja) * | 2006-02-15 | 2007-08-30 | Everim Co Ltd | アルミ合金ホイールディスクの製造方法 |
JP2008116678A (ja) * | 2006-11-02 | 2008-05-22 | Sony Corp | 表示装置及び表示方法 |
-
2008
- 2008-06-09 JP JP2008150719A patent/JP5283976B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009294606A (ja) | 2009-12-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5283976B2 (ja) | 光走査装置 | |
US7755837B2 (en) | Image display apparatus | |
JP3787939B2 (ja) | 立体映像表示装置 | |
US7088516B2 (en) | Wide field of view head mounted display device | |
US7957057B2 (en) | Microscope optical system, microscope, and virtual slide forming system | |
JP2001264681A (ja) | ディスプレイ装置 | |
JP4933056B2 (ja) | 画像表示装置及びそれを用いた撮像装置 | |
JP2010145718A (ja) | 頭部装着型画像表示装置 | |
JP5311887B2 (ja) | 走査型表示装置 | |
JP2010091944A (ja) | 画像表示装置及び画像表示システム | |
JP4689266B2 (ja) | 画像表示装置 | |
EP1480069B1 (en) | Optical system for displaying images | |
JP6616005B2 (ja) | 投影光学系およびヘッドアップディスプレイ装置 | |
JP5929204B2 (ja) | 走査型顕微鏡 | |
JP4574774B2 (ja) | 映像表示装置 | |
JP2006011145A (ja) | 双眼顕微鏡装置 | |
JP5629996B2 (ja) | 立体視光学装置および結像光学装置 | |
JP4790547B2 (ja) | 視覚表示装置 | |
JP2000310747A (ja) | 画像観察装置 | |
US11786118B2 (en) | Image display device and image display system | |
JP2006053321A (ja) | 投影観察装置 | |
JPH1184306A (ja) | 映像観察装置 | |
JP3710754B2 (ja) | 表示装置 | |
JP6332327B2 (ja) | 走査型顕微鏡 | |
JPH09171147A (ja) | 接眼光学系 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110608 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110608 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120726 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120731 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120928 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130430 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130529 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5283976 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |