JP5279664B2 - Cylinder barrel surface treatment equipment - Google Patents

Cylinder barrel surface treatment equipment Download PDF

Info

Publication number
JP5279664B2
JP5279664B2 JP2009201754A JP2009201754A JP5279664B2 JP 5279664 B2 JP5279664 B2 JP 5279664B2 JP 2009201754 A JP2009201754 A JP 2009201754A JP 2009201754 A JP2009201754 A JP 2009201754A JP 5279664 B2 JP5279664 B2 JP 5279664B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cylinder barrel
cylinder
cover member
seal ring
seal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2009201754A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2011052267A (en
Inventor
裕行 成瀬
均 唐澤
健一 横尾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Honda Motor Co Ltd
Original Assignee
Honda Motor Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Honda Motor Co Ltd filed Critical Honda Motor Co Ltd
Priority to JP2009201754A priority Critical patent/JP5279664B2/en
Priority to PCT/JP2010/061242 priority patent/WO2011027612A1/en
Priority to CN2010800037538A priority patent/CN102264947A/en
Priority to US13/389,846 priority patent/US20120137970A1/en
Priority to DE112010003506T priority patent/DE112010003506T5/en
Priority to TW099122370A priority patent/TW201114951A/en
Publication of JP2011052267A publication Critical patent/JP2011052267A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP5279664B2 publication Critical patent/JP5279664B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/1601Process or apparatus
    • C23C18/1619Apparatus for electroless plating
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/1601Process or apparatus
    • C23C18/1603Process or apparatus coating on selected surface areas
    • C23C18/1614Process or apparatus coating on selected surface areas plating on one side
    • C23C18/1616Process or apparatus coating on selected surface areas plating on one side interior or inner surface
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/18Pretreatment of the material to be coated
    • C23C18/1803Pretreatment of the material to be coated of metallic material surfaces or of a non-specific material surfaces
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D17/00Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
    • C25D17/004Sealing devices
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D7/00Electroplating characterised by the article coated
    • C25D7/04Tubes; Rings; Hollow bodies
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D17/00Constructional parts, or assemblies thereof, of cells for electrolytic coating
    • C25D17/06Suspending or supporting devices for articles to be coated
    • C25D17/08Supporting racks, i.e. not for suspending
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C25ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
    • C25DPROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
    • C25D5/00Electroplating characterised by the process; Pretreatment or after-treatment of workpieces
    • C25D5/08Electroplating with moving electrolyte e.g. jet electroplating
    • FMECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F02COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
    • F02FCYLINDERS, PISTONS OR CASINGS, FOR COMBUSTION ENGINES; ARRANGEMENTS OF SEALINGS IN COMBUSTION ENGINES
    • F02F1/00Cylinders; Cylinder heads 
    • F02F1/18Other cylinders
    • F02F1/20Other cylinders characterised by constructional features providing for lubrication

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)
  • Cylinder Crankcases Of Internal Combustion Engines (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)

Description

本発明は、シリンダブロックに設けられているシリンダバレルの内面へ処理液を接触させて内面を処理する、シリンダバレルの表面処理技術に関する。   The present invention relates to a cylinder barrel surface treatment technique in which a treatment liquid is brought into contact with an inner surface of a cylinder barrel provided in a cylinder block to treat the inner surface.

エンジンのシリンダバレル内面は、ピストンリングによる摩擦や燃料の燃焼による高熱に晒されるため、表面の強度が求められる。表面の強度を高めるには表面処理が有効である。表面処理の一つであるめっき処理を施す場合、めっき処理前に表面の汚れ等をあらかじめ除去することが望まれる。このように表面処理前に汚れ等を除去する処理は、前処理と呼ばれる。
めっき処理の前処理の一例を次図で説明する。
Since the inner surface of the cylinder barrel of the engine is exposed to high heat due to friction caused by piston rings and combustion of fuel, surface strength is required. Surface treatment is effective for increasing the strength of the surface. When performing a plating process which is one of the surface treatments, it is desired to remove surface stains and the like before the plating process. Such a process of removing dirt and the like before the surface treatment is called pretreatment.
An example of the pretreatment of the plating process will be described with reference to the following diagram.

図11に示されるように、前処理では、エッチング処理、酸活性処理、第1亜鉛置換処理、溶解活性処理及び第2亜鉛置換処理が実施される。エッチング処理だけでも、処理液による化学処理、洗浄のための1次水洗、2次水洗及び乾燥を防ぐアイドラー等複数の工程で構成される。これらの工程のうち、化学処理工程の具体例が提案されている(例えば、特許文献1(図3(b))参照。)。   As shown in FIG. 11, in the pretreatment, an etching treatment, an acid activation treatment, a first zinc substitution treatment, a dissolution activation treatment, and a second zinc substitution treatment are performed. The etching process alone is composed of a plurality of processes such as chemical treatment with a treatment liquid, primary water washing for washing, secondary water washing and an idler for preventing drying. Among these processes, a specific example of a chemical treatment process has been proposed (see, for example, Patent Document 1 (FIG. 3B)).

この特許文献1の技術を図面に基づいて以下に説明する。
図12に示されるように、シリンダブロック101を、下部開口閉塞部材103が備えられたパレット104に載置し、シリンダブロック101の下部開口を塞ぐ。そして、パレット104をパン105の上に配置する。ノズル106が備えられたカバー部材107を、矢印(1)のように移動させ、シリンダブロック101の上部開口を塞ぎ、可撓性のシールリング102でシールする。
The technique of this patent document 1 is demonstrated below based on drawing.
As shown in FIG. 12, the cylinder block 101 is placed on a pallet 104 provided with a lower opening closing member 103 to close the lower opening of the cylinder block 101. Then, the palette 104 is placed on the pan 105. The cover member 107 provided with the nozzle 106 is moved as indicated by the arrow (1), the upper opening of the cylinder block 101 is closed, and the flexible seal ring 102 is sealed.

処理液を、矢印(2)のように、処理液供給路108からノズル106に供給する。
供給された処理液は、矢印(3)のように、処理液噴射孔109からシリンダバレル110の下部に噴射され、矢印(4)のように、シリンダバレル110の内面に接触しながら上昇する。
シリンダバレル110内の処理液は、矢印(5)のように、主にパレット104に設けられた第1の排液通路111から排出され、処理液の残部は、矢印(6)のように蓋体107に設けられた第2の排液通路112から排出される。
The processing liquid is supplied from the processing liquid supply path 108 to the nozzle 106 as indicated by the arrow (2).
The supplied processing liquid is injected from the processing liquid injection hole 109 to the lower part of the cylinder barrel 110 as indicated by an arrow (3), and ascends while contacting the inner surface of the cylinder barrel 110 as indicated by an arrow (4).
The processing liquid in the cylinder barrel 110 is discharged mainly from the first drainage passage 111 provided in the pallet 104 as indicated by an arrow (5), and the remaining portion of the processing liquid is covered by a lid as indicated by an arrow (6). The liquid is discharged from the second drainage passage 112 provided in the body 107.

ところで、生産ラインでは、一つのラインで種々の径のシリンダバレルに前処理を施すことがある。異なる径のシリンダバレルに前処理を施すには、それぞれのシリンダバレルの径に対応するシールリングでシリンダバレルの上部開口をシールする。   By the way, in a production line, a cylinder barrel having various diameters may be pretreated in one line. In order to preprocess cylinder barrels having different diameters, the upper opening of the cylinder barrel is sealed with a seal ring corresponding to the diameter of each cylinder barrel.

大きな径のシリンダバレルのために、大径のシールリング102を備えたカバー部材107を準備し、小さな径のシリンダバレルのために、小径のシールリング102を備えたカバー部材107を準備する。
このように、従来は、シリンダバレルの径に対応するカバー部材107を多数個準備する心配があった。
これでは、カバー部材107の調達費用や保管費用が嵩む。加えて、カバー部材107を変更する変更工数も嵩む。
近年のコストダウン要求から改善が求められる。
A cover member 107 having a large-diameter seal ring 102 is prepared for a large-diameter cylinder barrel, and a cover member 107 having a small-diameter seal ring 102 is prepared for a small-diameter cylinder barrel.
Thus, conventionally, there has been a concern of preparing a large number of cover members 107 corresponding to the diameter of the cylinder barrel.
This increases the procurement cost and storage cost of the cover member 107. In addition, the number of man-hours for changing the cover member 107 increases.
Improvements are required from recent cost reduction requirements.

特開2008−214730公報JP 2008-214730 A

本発明は、コストダウンが可能なシリンダバレルの表面処理装置を提供することを課題とする。   An object of the present invention is to provide a surface treatment apparatus for a cylinder barrel capable of reducing the cost.

請求項1に係る発明は、ガスケット面が上になるようにして置かれている内燃機関のシリンダブロックの前記ガスケット面に、カバー部材を載せてシリンダバレルの上部開口を塞ぎ、前記シリンダバレル内へ処理液を供給して前記シリンダバレルの内面を処理するシリンダバレルの表面処理装置において、前記カバー部材は、下面に、可撓性を有して前記ガスケット面に密着して前記処理液の漏れを防止する複数のシールリングを、前記シリンダバレルの中心を中心とする同心円状に備え、これらのシールリングは、下端のレベルが、最も中心側のシールリングに対して中心から離れたシールリング程高位になるように、高低差を付けて取付けられていることを特徴とする。   In the invention according to claim 1, a cover member is placed on the gasket surface of the cylinder block of the internal combustion engine placed with the gasket surface facing upward to close the upper opening of the cylinder barrel, and into the cylinder barrel. In the cylinder barrel surface treatment apparatus for supplying the treatment liquid to treat the inner surface of the cylinder barrel, the cover member has flexibility on the lower surface and tightly contacts the gasket surface to prevent leakage of the treatment liquid. A plurality of seal rings for prevention are provided concentrically with the center of the cylinder barrel as the center, and these seal rings have a lower end level higher than the seal ring on the most central side. It is characterized by being attached with a height difference.

請求項2に係る発明では、カバー部材の下面は、複数のシールリングの下面からの突出代が同一又はほぼ同一になるように、階段形状とされていることを特徴とする。   The invention according to claim 2 is characterized in that the lower surface of the cover member has a stepped shape so that the protrusion margins from the lower surfaces of the plurality of seal rings are the same or substantially the same.

請求項1に係る発明では、カバー部材は、下面に、複数のシールリングを、シリンダバレルの中心を中心とする同心円状に備え、これらのシールリングは、下端のレベルが、最も中心側のシールリングに対して中心から離れたシールリング程高位になるように、高低差を付けて取付けられている。
小径のシリンダバレルには、複数シールリングのうち、最も中心側のシールリングをガスケット面に当てる。より大径のシリンダバレルでは、隣りのシールリングをガスケット面に当接させる。更に大径のシリンダバレルでは、更に隣りのシールリングをガスケット面に当接させる。
このように、シリンダバレルの径に応じて、好適なシールリングでシール性を発揮させる。
径の異なるシリンダバレルに対しても、シールリング及びカバー部材の段替えをする必要がないので、段替え工数の削減を図ることができる。
加えて、カバー部材を共用化するので、部品を減らして装置全体のコストを低減することができる。
In the invention according to claim 1, the cover member is provided with a plurality of seal rings on the lower surface in a concentric shape centering on the center of the cylinder barrel, and these seal rings have the bottom end level at the centermost seal. It is attached with a height difference so that the seal ring farther from the center with respect to the ring becomes higher.
Of the plurality of seal rings, the most central seal ring is applied to the gasket surface of the small-diameter cylinder barrel. In a larger diameter cylinder barrel, the adjacent seal ring is brought into contact with the gasket surface. In the case of a cylinder barrel having a larger diameter, the adjacent seal ring is brought into contact with the gasket surface.
Thus, according to the diameter of a cylinder barrel, a sealing performance is exhibited with a suitable seal ring.
Since it is not necessary to change the seal ring and the cover member even for cylinder barrels having different diameters, it is possible to reduce the number of changeover steps.
In addition, since the cover member is shared, the cost of the entire apparatus can be reduced by reducing the number of parts.

請求項2に係る発明では、カバー部材の下面は、複数のシールリングの下面からの突出代が同一又はほぼ同一になるように、階段形状とされていることを特徴とする。突出代は潰し代に相当し、この潰し代はシール性能に影響する。仮に、突出代がまちまちであれば、シール性にばらつきが出る可能性があり、シールリングの形状設計が難しくなる。この点、本発明によれば、突出代が同一又はほぼ同一であるため、シールリングの形状設計が容易になり、シールリングの調達コストを低減することが可能となる。   The invention according to claim 2 is characterized in that the lower surface of the cover member has a stepped shape so that the protrusion margins from the lower surfaces of the plurality of seal rings are the same or substantially the same. The protrusion allowance corresponds to the crushing allowance, and this crushing allowance affects the seal performance. If the protrusion margin varies, there is a possibility that the sealing performance may vary, and the shape design of the seal ring becomes difficult. In this regard, according to the present invention, since the protrusion margins are the same or substantially the same, the shape design of the seal ring is facilitated, and the procurement cost of the seal ring can be reduced.

本発明に係るシリンダバレルの表面処理装置の側面図である。It is a side view of the surface treatment apparatus of the cylinder barrel which concerns on this invention. 表面処理部の断面図である。It is sectional drawing of a surface treatment part. 異なる大きさのシリンダバレルの上部開口をシールする状態の説明図である。It is explanatory drawing of the state which seals the upper opening of the cylinder barrel of a different magnitude | size. 異なる大きさの2個のシリンダバレルを同時にシールする状態の説明図である。It is explanatory drawing of the state which seals two cylinder barrels of a different magnitude | size simultaneously. 階段部の断面図である。It is sectional drawing of a staircase part. 図5の6部拡大図である。FIG. 6 is an enlarged view of 6 parts in FIG. 5. 図6の別の実施形態の説明図である。It is explanatory drawing of another embodiment of FIG. 図4の別の実施形態の説明図である。It is explanatory drawing of another embodiment of FIG. 図1の9−9線断面図である。FIG. 9 is a sectional view taken along line 9-9 in FIG. 1. 本発明に係るシリンダバレルの表面処理装置の作用図である。It is an effect | action figure of the surface treatment apparatus of the cylinder barrel concerning this invention. めっきの前処理工程を説明する図である。It is a figure explaining the pretreatment process of plating. 従来の技術の基本原理を説明する図である。It is a figure explaining the basic principle of the prior art.

本発明の実施の形態を添付図に基づいて以下に説明する。なお、図面は符号の向きに見るものとする。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. The drawings are viewed in the direction of the reference numerals.

本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
図1に示されるように、シリンダバレルの表面処理装置10は、アジャスタ11を有するベース12と、このベース12から立ち上げられている下部柱13と、この下部柱13の上端に設けられている中部支持部材14と、この中部支持部材14に支持され処理液を集めるパン15と、このパン15に集められた処理液を外部に排出する処理液排出管16と、パン15の上に設けられている囲い部材17と、この囲い部材17に囲われるように中部支持部材14に設けられている表面処理部20と、この表面処理部20に設けられ表面処理部20の上部からの排液を誘導する排液管21と、この排液管21の排液を監視する処理液検知部22と、中部支持部材14から立ち上げられている中部柱23と、この中部柱23の上端に設けられている上部支持部材24と、この上部支持部材24から立ち上げられている上部柱25と、この上部柱25の上端に設けられている天板26とを備える。
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
As shown in FIG. 1, a cylinder barrel surface treatment apparatus 10 is provided at a base 12 having an adjuster 11, a lower column 13 rising from the base 12, and an upper end of the lower column 13. Provided on the pan 15 are a middle support member 14, a pan 15 that is supported by the middle support member 14 and collects the processing liquid, a processing liquid discharge pipe 16 that discharges the processing liquid collected in the pan 15, and the pan 15. The surrounding member 17, the surface treatment unit 20 provided in the middle support member 14 so as to be surrounded by the enclosure member 17, and drainage from the upper part of the surface treatment unit 20 provided in the surface treatment unit 20. A drainage pipe 21 to be guided, a processing liquid detection unit 22 for monitoring the drainage of the drainage pipe 21, a middle column 23 raised from the middle support member 14, and an upper end of the middle column 23 are provided. Have Comprises an upper support member 24, the upper column 25 has been raised from the upper support member 24, a top plate 26 provided at the upper end of the upper column 25.

表面処理部20は、詳細は後述するが、表面処理が施されるシリンダブロック27を支えるパレット31と、シリンダブロック27の上部を覆うカバー部材32と、このカバー部材32に設けられ処理液の一部を排出する第2の排液通路33とを備える。   The surface treatment unit 20, which will be described in detail later, includes a pallet 31 that supports the cylinder block 27 on which the surface treatment is performed, a cover member 32 that covers the top of the cylinder block 27, and one of the treatment liquids provided on the cover member 32. And a second drainage passage 33 for discharging the part.

また、シリンダバレル内面の表面処理装置10は、天板26に設けられ昇降ロッド34を介してカバー部材32を昇降させる昇降シリンダ35と、昇降ロッド34の下端に回転軸36を中心に揺動自在に設けられている揺動部37と、昇降ロッド34の下部に設けられ進退ロッド38を介して揺動部37を揺動させる揺動シリンダ41とを備える。   Further, the surface treatment device 10 on the inner surface of the cylinder barrel is swingable about a rotary shaft 36 at the lower end of the lifting rod 34 and the lifting cylinder 35 that is provided on the top plate 26 and lifts the cover member 32 via the lifting rod 34. And an oscillating cylinder 41 that is provided below the elevating rod 34 and that oscillates the oscillating portion 37 via an advancing / retracting rod 38.

次に表面処理部20について説明する。
図2に示されるように、シリンダバレルの表面処理装置10の要部としての表面処理部20は、シリンダブロック27のガスケット面42が上になるようにして、シリンダブロック27を支えると共にシリンダバレル43の下部開口44を塞ぐパレット31と、このパレット31に設けられシリンダバレル43内に溜められた処理液の一部を排出する第1の排液通路45と、パレット31に設けられシリンダブロック27の段部46をシールする段部シール部材47と、パレット31に設けられシリンダブロック27の穴48の位置決めをする位置決めピン51と、シリンダバレル43の上部開口52に繋がる凹部53を有し、ガスケット面42に載せられシリンダバレル43の上部開口52を覆うカバー部材32と、このカバー部材32の下面59に設けられガスケット面42をシールする可撓性の第1〜第3のシールリング54、55、56と、カバー部材32に上から下向きに挿入されるようにしてカバー部材32に取付けられ、処理液を凹部53の壁57に向かって噴射する処理液噴射孔58を有し、凹部53の壁57を介してシリンダバレル43の内面へ処理液を供給するノズル61と、このノズル61に処理液を供給する処理液供給路62と、カバー部材32に設けられシリンダバレル43内に溜められた処理液の残部を排出する第2の排液通路33と、からなる。
Next, the surface treatment unit 20 will be described.
As shown in FIG. 2, the surface treatment unit 20 as a main part of the cylinder barrel surface treatment apparatus 10 supports the cylinder block 27 so that the gasket surface 42 of the cylinder block 27 faces upward and also supports the cylinder barrel 43. A pallet 31 that closes the lower opening 44 of the cylinder, a first drainage passage 45 that is provided on the pallet 31 and discharges a part of the processing liquid stored in the cylinder barrel 43, and a cylinder block 27 A gasket surface having a step seal member 47 for sealing the step 46, a positioning pin 51 for positioning the hole 48 of the cylinder block 27 provided on the pallet 31, and a recess 53 connected to the upper opening 52 of the cylinder barrel 43 A cover member 32 that is placed on 42 and covers the upper opening 52 of the cylinder barrel 43; Flexible first to third seal rings 54, 55, 56 provided on the surface 59 for sealing the gasket surface 42, and attached to the cover member 32 so as to be inserted downward into the cover member 32. The nozzle 61 has a processing liquid injection hole 58 for injecting the processing liquid toward the wall 57 of the recess 53, and supplies the processing liquid to the inner surface of the cylinder barrel 43 through the wall 57 of the recess 53. A treatment liquid supply path 62 for supplying the treatment liquid and a second drainage passage 33 that is provided in the cover member 32 and discharges the remaining portion of the treatment liquid stored in the cylinder barrel 43.

次に大きさの異なるシリンダブロックのガスケット面42をシールする状態を説明する。
図3(a)に示されるように、ガスケット面42が上になるようにして内径の小さいシリンダバレル43を備えるシリンダブロック27が配置されている。カバー部材32は、下面59に、可撓性を有してガスケット面42に密着して処理液の漏れを防止する第1のシールリング54、第2のシールリング55及び第3のシールリング56を、シリンダバレルの中心63を中心とする同心円状に備え、これらの第1〜第3のシールリング54、55、56は、下端のレベルが、最も中心側のシールリングに対して中心63から離れたシールリング程高位になるように、高低差を付けて取付けられている。カバー部材32の下面59は、シールリング54、55、56の下面59からの突出代が同一又はほぼ同一になるように、階段状の階段部64を備えている。
最も高い階段部64に設けられている第1のシールリング54のみが、ガスケット面42に接してシールする。第2、第3のシールリング54は、ガスケット面42に接触しない。
Next, a state where the gasket surfaces 42 of cylinder blocks having different sizes are sealed will be described.
As shown in FIG. 3A, the cylinder block 27 including the cylinder barrel 43 having a small inner diameter is arranged so that the gasket surface 42 is on the upper side. The cover member 32 has a first seal ring 54, a second seal ring 55, and a third seal ring 56 that have flexibility on the lower surface 59 and are in close contact with the gasket surface 42 to prevent leakage of the processing liquid. The first to third seal rings 54, 55, 56 are arranged at a lower end level from the center 63 with respect to the seal ring on the most central side. It is attached with a difference in height so that the distant seal ring is higher. The lower surface 59 of the cover member 32 includes a stepped staircase portion 64 so that the protrusion margins from the lower surface 59 of the seal rings 54, 55, 56 are the same or substantially the same.
Only the first seal ring 54 provided on the highest staircase portion 64 contacts and seals the gasket surface 42. The second and third seal rings 54 do not contact the gasket surface 42.

図3(b)は、径の大きいシリンダバレル67を備えるシリンダブロック65のガスケット面66をシールする状態を説明する図であり、図3(a)と同様に構成されている部分は、符号を流用して詳細な説明は省略する。
最も低い階段部64に設けられている第3のシールリング56のみが、ガスケット面66に接してシールする。第1、第2のシールリング54、55の径は、シリンダバレル67の内径より小さい。そのため、第1、第2のシールリング54、55は、シリンダバレル67の内面より内側にあり、シリンダバレル67に接触しない。
FIG. 3B is a diagram for explaining a state in which the gasket surface 66 of the cylinder block 65 including the cylinder barrel 67 having a large diameter is sealed, and portions configured in the same manner as in FIG. The detailed description will be omitted.
Only the third seal ring 56 provided at the lowest stepped portion 64 contacts and seals the gasket surface 66. The diameters of the first and second seal rings 54 and 55 are smaller than the inner diameter of the cylinder barrel 67. Therefore, the first and second seal rings 54 and 55 are inside the inner surface of the cylinder barrel 67 and do not contact the cylinder barrel 67.

同一のカバー部材32及びシールリング53、54、55で、異なるシリンダブロック27、65をシールすることができるので、生産ラインにおいては、種類の異なるシリンダブロックに前処理を施す場合でも、カバー部材32の段替えの必要がなく、工数を低減することができる。
なお、シリンダバレル43の内径とシリンダバレル67の内径との中間の大きさの内径を備えるシリンダバレルの場合は、第2のシールリング55がガスケット面に接してシールし、第1、第3のシールリング54、56は、シリンダブロックに接触しない。
このように、シリンダバレルの径に応じて、好適なシールリングでシール性を発揮させる。
Since different cylinder blocks 27 and 65 can be sealed by the same cover member 32 and seal rings 53, 54 and 55, even when pre-processing is performed on different types of cylinder blocks in the production line, the cover member 32 is used. Therefore, the number of steps can be reduced, and man-hours can be reduced.
In the case of a cylinder barrel having an inner diameter that is intermediate between the inner diameter of the cylinder barrel 43 and the inner diameter of the cylinder barrel 67, the second seal ring 55 is in contact with the gasket surface for sealing, and the first and third The seal rings 54 and 56 do not contact the cylinder block.
Thus, according to the diameter of a cylinder barrel, a sealing performance is exhibited with a suitable seal ring.

次に異なる大きさのシリンダブロック27、65を同時にシールする状態を説明する。
図4に示されるように、親パレット68に子パレットとしての第1のパレット31及び第2のパレット69が設けられている。小さいシリンダブロック27は第1のパレット31に載置され、大きいシリンダブロック65は第2のパレット69に載置されている。
Next, a state where the cylinder blocks 27 and 65 having different sizes are simultaneously sealed will be described.
As shown in FIG. 4, a first pallet 31 and a second pallet 69 as child pallets are provided on the parent pallet 68. The small cylinder block 27 is placed on the first pallet 31, and the large cylinder block 65 is placed on the second pallet 69.

親パレット68の上面からシリンダブロック27のガスケット面42までの高さL1は、カバー部材の32の第1のシールリング54に接触する高さである。
一方、親パレット68の上面からシリンダブロック65のガスケット面66までの高さL2は、カバー部材32の第3のシールリング56に接触する高さである。
2つのカバー部材32の高さを同一にした状態で、異なるシリンダブロック27、65を同時にシールすることができる。
また、カバー部材32、ノズル61共に同一であるため、カバー部材32の段替えの必要がなく、工数の低減を図ることができる。
また、第1の排液通路45、71の径を変えることで、排出される処理液の流量が調整される。
A height L1 from the upper surface of the parent pallet 68 to the gasket surface 42 of the cylinder block 27 is a height that contacts the first seal ring 54 of the cover member 32.
On the other hand, the height L2 from the upper surface of the parent pallet 68 to the gasket surface 66 of the cylinder block 65 is a height that contacts the third seal ring 56 of the cover member 32.
Different cylinder blocks 27 and 65 can be sealed simultaneously with the two cover members 32 having the same height.
Further, since the cover member 32 and the nozzle 61 are the same, there is no need to change the cover member 32, and the number of man-hours can be reduced.
Further, the flow rate of the discharged processing liquid is adjusted by changing the diameters of the first drainage passages 45 and 71.

次に階段部64について説明する。
図5(a)の比較例では、カバー部材72の下面73に階段部が設けられておらず、平面になっている。第1、第2及び第3のシールリング74、75、76は、いずれもガスケット面66に接触する。第3のシールリング76は、穴48の縁に接触することで破損や変形が生じ易くなる。
Next, the staircase portion 64 will be described.
In the comparative example of FIG. 5A, the stepped portion is not provided on the lower surface 73 of the cover member 72, and is flat. The first, second, and third seal rings 74, 75, 76 are all in contact with the gasket surface 66. The third seal ring 76 is liable to be damaged or deformed by contacting the edge of the hole 48.

また、小さいシリンダブロック27をシールする場合は、第1〜第3のシールリング74、75、76の全てがガスケット面66に接触するが、大きいシリンダブロック(図3、符号65)をシールする場合には、第3のシールリング76のみがガスケット面66に接触するので、シールの圧力に差が生じる。
シールの圧力を同等にするには、第3のシールリング76のみが接触する場合のシールクランプ力に比較して、第1〜第3のシールリング74、75、76全てが接触する場合のシールクランプ力を大きくする必要がある。クランプ力を大きくするには、昇降シリンダ(図1、符号35)を大型化する必要があり、装置のコストが高くなる。
Further, when sealing the small cylinder block 27, all of the first to third seal rings 74, 75, and 76 are in contact with the gasket surface 66, but when sealing the large cylinder block (FIG. 3, reference numeral 65). In this case, since only the third seal ring 76 contacts the gasket surface 66, a difference occurs in the pressure of the seal.
In order to equalize the pressure of the seal, the seal when all of the first to third seal rings 74, 75, and 76 are in contact as compared with the seal clamping force when only the third seal ring 76 is in contact. It is necessary to increase the clamping force. In order to increase the clamping force, it is necessary to increase the size of the lifting cylinder (FIG. 1, reference numeral 35), which increases the cost of the apparatus.

一方、図5(b)の実施例では、第1のシールリング54はガスケット面42に接触しているが、第2、第3のシールリング55、56がガスケット面に接触しないので、第2、第3のシールリング55、56に傷が付くことがない。
また、異なる大きさのシリンダブロックであっても、第1〜第3のシールリング54、55、56いずれか一つのシールリングのみが接触するので、シールの圧力を均一にすることができる。
シールするクランプ力を過剰に大きくする必要がないので、小型の昇降シリンダ35で対応することができ、装置のコストを低減することができる。
On the other hand, in the embodiment of FIG. 5B, the first seal ring 54 is in contact with the gasket surface 42, but the second and third seal rings 55 and 56 are not in contact with the gasket surface. The third seal rings 55 and 56 are not damaged.
Further, even if the cylinder blocks have different sizes, only one of the first to third seal rings 54, 55, and 56 is in contact with each other, so that the seal pressure can be made uniform.
Since it is not necessary to excessively increase the clamping force for sealing, it is possible to cope with the small lifting cylinder 35 and to reduce the cost of the apparatus.

次にシールリング54、55、56の断面形状について説明する。
図6に示されるように、第1〜第3のシールリング54、55、56の先端部には傾斜77が設けられている。これにより、処理液が切れやすくなり、第1〜第3のシールリング54、55、56がガスケット面42に固着しない効果を得る。
Next, the cross-sectional shape of the seal rings 54, 55, and 56 will be described.
As shown in FIG. 6, a slope 77 is provided at the tip of the first to third seal rings 54, 55, 56. As a result, the treatment liquid is easily cut off, and the first to third seal rings 54, 55, and 56 are not adhered to the gasket surface 42.

また、第1〜第3のシールリング54、55、56の下面59からの突出代は同一又はほぼ同一であり、段差L=1mmである。これにより、可撓性のシールリング54、55、56の潰れ代が確保できる。段差を小さくすることで、角部(図3(b)、符号78)のエア溜まりによる前処理への影響を低減させ、適切に前処理を実施することができる。   Moreover, the protrusion margin from the lower surface 59 of the 1st-3rd seal rings 54, 55, and 56 is the same or substantially the same, and the level | step difference L = 1mm. Thereby, the crush margin of the flexible seal rings 54, 55, and 56 can be secured. By reducing the level difference, it is possible to reduce the influence on the preprocessing due to the air accumulation at the corner (FIG. 3B, reference numeral 78), and to appropriately perform the preprocessing.

なお、段差は、L=1mmに限定されず、L=1.1mm、L=1.2mmでもよく、複数あるシールリング54、55、56のうち1つのシールリングのみがガスケット面に接触し、シールリング54、55、56の潰れ代が確保でき、エア溜まりによる影響がなければ、Lの値が異なっても差し支えない。   The step is not limited to L = 1 mm, and may be L = 1.1 mm and L = 1.2 mm, and only one seal ring out of the plurality of seal rings 54, 55, 56 contacts the gasket surface, If the crushing allowance of the seal rings 54, 55, and 56 can be secured and there is no influence of air accumulation, the value of L may be different.

次に図6の別の実施形態を述べる。
図7に示されるように、カバー部材32の下面59は、平面である。カバー部材32は、下面59に、可撓性を有してガスケット面42に密着して処理液の漏れを防止する第1のシールリング81、第2のシールリング82及び第3のシールリング83を、シリンダバレルの中心63を中心とする同心円状に備え、これらの第1〜第3のシールリング81、82、83は、下端のレベルが、最も中心側のシールリングに対して中心63から離れたシールリング程高位になるように、高低差を付けて取付けられている。この高低差(段差)L=1mmである。
Next, another embodiment of FIG. 6 will be described.
As shown in FIG. 7, the lower surface 59 of the cover member 32 is a plane. The cover member 32 has a first seal ring 81, a second seal ring 82, and a third seal ring 83 that have flexibility on the lower surface 59 and are in close contact with the gasket surface 42 to prevent leakage of the processing liquid. The first to third seal rings 81, 82, 83 have a lower end level from the center 63 with respect to the most central seal ring. It is attached with a difference in height so that the distant seal ring is higher. This height difference (step) L = 1 mm.

なお、段差は、L=1mmに限定せず、L=1.1mm、L=1.2mmでもよく、複数あるシールリング81、82、83のうち1つのシールリングのみがガスケット面に接触し、シールリング81、82、83の潰れ代が確保でき、エア溜まりによる影響がなければ、Lの値が異なっても差し支えない。   The step is not limited to L = 1 mm, and may be L = 1.1 mm and L = 1.2 mm, and only one of the plurality of seal rings 81, 82, 83 is in contact with the gasket surface, If the crushing allowance of the seal rings 81, 82, 83 can be secured and there is no influence of air accumulation, the value of L may be different.

次に図4の別の実施形態を述べる。
図8において、図4と同様に構成されている部分は、符号を流用して詳細な説明は省略する。
小さい径のシリンダバレル43側には、径の小さいノズル61が配置されている。
大きい径のシリンダバレル67側には、径の大きいノズル84が配置されている。大きいシリンダブロック65であっても、シリンダバレル67の内面とノズル84の外面で形成される空間の体積が小さくなり、処理液が満たされる時間が短くなるので、前処理の工数を短縮することができる。
Next, another embodiment of FIG. 4 will be described.
In FIG. 8, the same components as those in FIG. 4 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted.
A small-diameter nozzle 61 is disposed on the small-diameter cylinder barrel 43 side.
A large diameter nozzle 84 is disposed on the large diameter cylinder barrel 67 side. Even in the case of the large cylinder block 65, the volume of the space formed by the inner surface of the cylinder barrel 67 and the outer surface of the nozzle 84 is reduced, and the time for filling with the processing liquid is shortened. it can.

次に異なるサイズのシリンダブロック27、65が配置されている状態を説明する。
図9に示されるように、枠体85に親パレット68が設けられ、親パレット68に第1のパレット31及び第2のパレット69が配置されている。第1のパレット31及び第2のパレット69は、自由に組み合わせを変更できるので、同種類のシリンダブロックだけでなく、異なる種類のシリンダブロックに同時に前処理を施すことができる。
Next, a state where cylinder blocks 27 and 65 having different sizes are arranged will be described.
As shown in FIG. 9, a parent pallet 68 is provided on the frame body 85, and the first pallet 31 and the second pallet 69 are arranged on the parent pallet 68. Since the combination of the first pallet 31 and the second pallet 69 can be freely changed, not only the same type of cylinder block but also different types of cylinder blocks can be preprocessed simultaneously.

以上に述べたシリンダバレルの表面処理装置10の作用を図10に述べる。
図10において、カバー部材32、32を、矢印(7)のように移動させ、ガスケット面42、66をシールする。
The operation of the cylinder barrel surface treatment apparatus 10 described above will be described with reference to FIG.
In FIG. 10, the cover members 32 and 32 are moved as shown by the arrow (7), and the gasket surfaces 42 and 66 are sealed.

ノズル61、84から処理液を、矢印(8)のように、シリンダバレル43、67の内面に供給する。シリンダバレル43、67内に溜められた処理液の一部は、矢印(9)、(9)のように、第1の排液通路45、71から排出される。処理液の供給量は、第1の排液通路45、71から排出される量よりも多い。そのため、処理液は矢印(10)のように、シリンダバレル43、67内を上昇する。シリンダバレル43、67内に溜められた処理液の残部は、矢印(11)のように、第2の排液通路33、33から排出される。   The processing liquid is supplied from the nozzles 61 and 84 to the inner surfaces of the cylinder barrels 43 and 67 as indicated by the arrow (8). A part of the processing liquid stored in the cylinder barrels 43 and 67 is discharged from the first drainage passages 45 and 71 as indicated by arrows (9) and (9). The supply amount of the processing liquid is larger than the amount discharged from the first drainage passages 45 and 71. Therefore, the processing liquid ascends in the cylinder barrels 43 and 67 as indicated by an arrow (10). The remainder of the processing liquid stored in the cylinder barrels 43 and 67 is discharged from the second drainage passages 33 and 33 as indicated by an arrow (11).

尚、本発明に係るシリンダバレルの表面処理装置は、実施の形態では階段部を3段にして適用したが、3段に限定されず、2段、4段等、シリンダバレルのガスケット面をシールすることができれば、シリンダバレルの種類に応じて、階段部を複数段設けて適用することは差し支えない。   Note that the cylinder barrel surface treatment apparatus according to the present invention is applied with three steps in the embodiment, but the invention is not limited to three steps, and the cylinder barrel gasket surface is sealed, such as two steps, four steps, etc. If possible, it is possible to apply a plurality of stepped portions depending on the type of cylinder barrel.

本発明のシリンダバレルの表面処理装置は、シリンダバレル内面のめっきの前処理に好適である。   The cylinder barrel surface treatment apparatus of the present invention is suitable for pretreatment of plating on the cylinder barrel inner surface.

10…シリンダバレルの表面処理装置、20…表面処理部、27、65…シリンダブロック、31…第1のパレット、32…カバー部材、33…第2の排液通路、42、66…ガスケット面、43、67…シリンダバレル、52…上部開口、54、81…第1のシールリング、55、82…第2のシールリング、56、83…第3のシールリング、59…下面、63…シリンダバレルの中心、64…階段部、68…親パレット、69…第2のパレット。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Surface treatment apparatus of cylinder barrel, 20 ... Surface treatment part, 27, 65 ... Cylinder block, 31 ... 1st pallet, 32 ... Cover member, 33 ... 2nd drainage passage, 42, 66 ... Gasket surface, 43, 67 ... cylinder barrel, 52 ... upper opening, 54, 81 ... first seal ring, 55, 82 ... second seal ring, 56, 83 ... third seal ring, 59 ... lower surface, 63 ... cylinder barrel 64 ... staircase, 68 ... parent pallet, 69 ... second pallet.

Claims (2)

ガスケット面が上になるようにして置かれている内燃機関のシリンダブロックの前記ガスケット面に、カバー部材を載せてシリンダバレルの上部開口を塞ぎ、前記シリンダバレル内へ処理液を供給して前記シリンダバレルの内面を処理するシリンダバレルの表面処理装置において、
前記カバー部材は、下面に、可撓性を有して前記ガスケット面に密着して前記処理液の漏れを防止する複数のシールリングを、前記シリンダバレルの中心を中心とする同心円状に備え、
これらのシールリングは、下端のレベルが、最も中心側のシールリングに対して中心から離れたシールリング程高位になるように、高低差を付けて取付けられていることを特徴とするシリンダバレルの表面処理装置。
A cover member is placed on the gasket surface of the cylinder block of the internal combustion engine placed with the gasket surface facing upward to close the upper opening of the cylinder barrel, and the processing liquid is supplied into the cylinder barrel to supply the cylinder In the cylinder barrel surface treatment apparatus for treating the inner surface of the barrel,
The cover member is provided with a plurality of seal rings on the lower surface that are flexible and in close contact with the gasket surface to prevent leakage of the processing liquid in a concentric shape centered on the center of the cylinder barrel,
These seal rings are mounted with a difference in height so that the level of the lower end is higher with respect to the seal ring farthest from the center than the seal ring on the most central side. Surface treatment equipment.
前記カバー部材の下面は、前記複数のシールリングの前記下面からの突出代が同一又はほぼ同一になるように、階段形状とされていることを特徴とする請求項1記載のシリンダバレルの表面処理装置。   The cylinder barrel surface treatment according to claim 1, wherein the lower surface of the cover member has a stepped shape so that protrusions from the lower surfaces of the plurality of seal rings are the same or substantially the same. apparatus.
JP2009201754A 2009-09-01 2009-09-01 Cylinder barrel surface treatment equipment Expired - Fee Related JP5279664B2 (en)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009201754A JP5279664B2 (en) 2009-09-01 2009-09-01 Cylinder barrel surface treatment equipment
PCT/JP2010/061242 WO2011027612A1 (en) 2009-09-01 2010-07-01 Surface treatment device for cylinder barrel
CN2010800037538A CN102264947A (en) 2009-09-01 2010-07-01 Surface treatment device for cylinder barrel
US13/389,846 US20120137970A1 (en) 2009-09-01 2010-07-01 Surface treatment device for cylinder barrel
DE112010003506T DE112010003506T5 (en) 2009-09-01 2010-07-01 Surface treatment device for cylinder jacket
TW099122370A TW201114951A (en) 2009-09-01 2010-07-07 Surface treatment device for cylinder barrel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2009201754A JP5279664B2 (en) 2009-09-01 2009-09-01 Cylinder barrel surface treatment equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011052267A JP2011052267A (en) 2011-03-17
JP5279664B2 true JP5279664B2 (en) 2013-09-04

Family

ID=43649161

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2009201754A Expired - Fee Related JP5279664B2 (en) 2009-09-01 2009-09-01 Cylinder barrel surface treatment equipment

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20120137970A1 (en)
JP (1) JP5279664B2 (en)
CN (1) CN102264947A (en)
DE (1) DE112010003506T5 (en)
TW (1) TW201114951A (en)
WO (1) WO2011027612A1 (en)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9221081B1 (en) 2011-08-01 2015-12-29 Novellus Systems, Inc. Automated cleaning of wafer plating assembly
US9988734B2 (en) 2011-08-15 2018-06-05 Lam Research Corporation Lipseals and contact elements for semiconductor electroplating apparatuses
US9228270B2 (en) 2011-08-15 2016-01-05 Novellus Systems, Inc. Lipseals and contact elements for semiconductor electroplating apparatuses
US10066311B2 (en) * 2011-08-15 2018-09-04 Lam Research Corporation Multi-contact lipseals and associated electroplating methods
SG11201406133WA (en) 2012-03-28 2014-10-30 Novellus Systems Inc Methods and apparatuses for cleaning electroplating substrate holders
KR102092416B1 (en) 2012-03-30 2020-03-24 노벨러스 시스템즈, 인코포레이티드 Cleaning electroplating substrate holders using reverse current deplating
US10416092B2 (en) 2013-02-15 2019-09-17 Lam Research Corporation Remote detection of plating on wafer holding apparatus
JP5854387B2 (en) * 2013-05-16 2016-02-09 Smc株式会社 Fluid pressure cylinder
JP6403072B2 (en) * 2015-06-11 2018-10-10 Smc株式会社 Fluid pressure cylinder
US10053793B2 (en) 2015-07-09 2018-08-21 Lam Research Corporation Integrated elastomeric lipseal and cup bottom for reducing wafer sticking
CN105839170B (en) * 2016-02-29 2018-04-20 隆鑫通用动力股份有限公司 The air draft mechanism foreign-plated for engine cylinder body groove
WO2018181941A1 (en) * 2017-03-31 2018-10-04 本田技研工業株式会社 Surface treatment device
CN108468890B (en) * 2018-03-28 2020-08-21 松江机电设备集团有限公司 Pipeline sealing mechanism suitable for high pressure and high heat
CN110760909B (en) * 2019-12-06 2021-03-23 隆鑫通用动力股份有限公司 Universal tool for electroplating outside cylinder groove
CN110923789B (en) * 2019-12-06 2021-03-23 隆鑫通用动力股份有限公司 Electroplating environment treatment device for electroplating outside cylinder body tank

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4168826A (en) * 1978-08-25 1979-09-25 Rottler Boring Bar Co. Fixture for holding v-type engine blocks
IT1129345B (en) * 1980-10-29 1986-06-04 Fiat Ricerche DISP * SITE FOR ELECTROLYTIC TREATMENT OF THE SURFACE OF MACHINE PARTS, PARTICULARLY OF CYLINDERS OF INTERNAL COMBUSTION ENGINES
DE3719354A1 (en) * 1987-06-10 1988-12-22 Heilmeier & Weinlein SCREW-IN VALVE HOUSING
EP0522820A1 (en) * 1991-07-05 1993-01-13 David A Barker Swivel coupling
WO1998021109A1 (en) * 1996-11-12 1998-05-22 Smithkline Beecham Corporation Universal plug
JP4151856B2 (en) * 1998-03-31 2008-09-17 日本山村硝子株式会社 Spout
JP3480684B2 (en) * 1998-09-25 2003-12-22 本田技研工業株式会社 Plating equipment for cylindrical members
US6395090B1 (en) * 1999-08-16 2002-05-28 Ford Global Technologies, Inc. Masking for engine blocks for thermally sprayed coatings
JP4216201B2 (en) * 2004-01-09 2009-01-28 株式会社Inax Connection fitting for bath water absorption
JP4886555B2 (en) * 2007-03-07 2012-02-29 本田技研工業株式会社 Cylindrical member inner surface treatment apparatus and method

Also Published As

Publication number Publication date
CN102264947A (en) 2011-11-30
JP2011052267A (en) 2011-03-17
US20120137970A1 (en) 2012-06-07
DE112010003506T5 (en) 2012-06-14
TW201114951A (en) 2011-05-01
WO2011027612A1 (en) 2011-03-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5279664B2 (en) Cylinder barrel surface treatment equipment
US6548411B2 (en) Apparatus and methods for processing a workpiece
JP5973300B2 (en) Substrate processing equipment
JP5973299B2 (en) Substrate processing equipment
KR20120068666A (en) Liquid processing apparatus for substrate
KR101910968B1 (en) Washing Device For Engine Cylinder Block Using Robot Arm
KR100924930B1 (en) Apparatus for treating substrate
US6806194B2 (en) Apparatus and methods for processing a workpiece
KR101295793B1 (en) Apparatus and method for supplying isopropyl alcohol liquid
KR20200103918A (en) Substrate drying chamber
CN108573908B (en) Mechanical supporting device of semiconductor substrate processing micro-chamber
KR101125855B1 (en) Coupling device of a gas supply pipe included in a refining equipment
CN207648259U (en) A kind of balanced high pressure differential regulating valve with accumulation of energy storage laminated structure
JP5358360B2 (en) Cylindrical surface treatment equipment
JP2008300644A (en) Substrate holding device and substrate treatment method
JP5400525B2 (en) Surface treatment apparatus for cylinder barrel inner surface and surface treatment method thereof
KR101325365B1 (en) Apparatus of cleaning and drying wafer and method using same
KR101252970B1 (en) Protection seal plate and apparatus for manufacturing electronic components including the same
KR101282873B1 (en) Substrate holder unit
CN108869823B (en) Automatic anti-splashing exhaust valve
JP5936505B2 (en) Substrate processing equipment
KR102571644B1 (en) Apparatus for manufacturing diplay device
KR20240103936A (en) Substrate processing apparatus
KR101579402B1 (en) Liquid chemical dispensing system
KR20100125731A (en) Apparatus and method for treating substrate

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20111124

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120517

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20130514

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20130521

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Ref document number: 5279664

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees