JP5277339B2 - インクジェットヘッド - Google Patents
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Description
図1に示すように、圧電部材で形成された基台(第1圧電部材)1の一側縁に沿って圧電部材(第2圧電部材)2が設けられ、基台1の他側縁に沿って別の圧電部材(第3圧電部材)2が設けられ、これら圧電部材2および基台1の上面を被う状態にノズルプレート(オリフィスプレートともいう)3が設けられている。ノズルプレート3には、一側縁側の圧電部材2と基台1との境界部分に沿ってインク吐出用(液体吐出用)の複数のノズル4が互いに所定間隔で一列に並んで形成され、他側縁側の圧電部材2と基台1との境界部分に沿って同じくインク吐出用の複数のノズル4が互いに所定間隔で一列に並んで形成されている。
図11および図12において、アクチュエータ列A,Bを横切る方向の実線は、レーザビームにより基板50上のメッキが焼き切られて除去された跡であり、各電極間の絶縁部に相当するチャネル間分離線Lcとなる。このチャネル間分離線Lcと交差する状態に、かつ基台1の一端部から他端部にかけてアクチュエータ列Aの台形状の圧電部材の内側端部の傾斜面を列方向に通る状態に、チャネル間分離線Lcと同様の列間分離線Laがレーザビームによって形成される。さらに、チャネル間分離線Lcと交差する状態に、かつ基台1の一端部から他端部にかけてアクチュエータ列Bの台形状の圧電部材の内側端部の傾斜面を列方向に通る状態に、同様の列間分離線Lbがレーザビームによって形成される。
Claims (8)
- 複数のアクチュエータを並べて形成した第1アクチュエータ列と、
複数のアクチュエータを並べて形成した第2アクチュエータ列と、
電圧5Vで動作し制御信号を認識するCMOS論理回路と、
前記認識した制御信号に応じて、前記アクチュエータに駆動電圧を印加する駆動回路と、を備え、
前記駆動回路には充電用の瞬時電流を供給するための平滑キャパシタが設けられており、
前記第1アクチュエータ列と前記第2アクチュエータ列との間の静電容量が200pF以下である、
ことを特徴とするインクジェットヘッド。 - 低誘電率の基板、をさらに備え、
前記第1アクチュエータ列および前記第2アクチュエータ列は、前記基板上に設けられている、
ことを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッド。 - 前記基板上に形成される導電性部材と、
前記各アクチュエータ列の相互間に形成され、前記導電性部材を前記各アクチュエータ列の列方向に沿って除去した部分からなる列間分離線と、
をさらに備えることを特徴とする請求項2に記載のインクジェットヘッド。 - 前記第1アクチュエータ列の各アクチュエータは、第1圧電素子および第1電極からなる、
前記第2アクチュエータ列の各アクチュエータは、第2圧電素子および第2電極からなる、
ことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のインクジェットヘッド。 - 前記第1アクチュエータ列の各アクチュエータの相互間に存する第1圧力室と、
前記第2アクチュエータ列の各アクチュエータの相互間に存する第2圧力室と、
前記各圧力室上に設けられたノズルプレートと、
前記ノズルプレートに設けられ、前記各圧力室に連通する複数のノズルと、
をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載のインクジェットヘッド。 - 低誘電率の基板と、
複数のアクチュエータを並べて前記基板上に形成した第1アクチュエータ列と、
複数のアクチュエータを並べて前記基板上に形成した第2アクチュエータ列と、
前記アクチュエータに駆動電圧を印加する駆動回路と、
前記駆動回路に設けられ、充電用の瞬時電流を供給するための平滑キャパシタと、
前記基板上に形成された導電性部材と、
前記各アクチュエータ用として前記導電性部材から形成された電極と、
前記各電極への通電用として前記導電性部材から形成された導電パターンと、
前記各アクチュエータ列の相互間に形成され、前記導電性部材を前記各アクチュエータ列の列方向に沿って除去した部分からなる列間分離線と、
を備えることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 前記列間分離線は、前記各アクチュエータ列の列方向に沿う少なくとも第1,第2および第3列間分離線であり、
前記第1列間分離線は、前記基板の一端部から他端部にかけて、前記第1アクチュエータ列の内側部を通って形成され、
前記第2列間分離線は、前記基板の一端部から他端部にかけて、前記第2アクチュエータ列の内側部を通って形成され、
前記第3列間分離線は、前記基板の一端部から他端部にかけて、前記各アクチュエータ列の相互間の領域を通って形成される、
ことを特徴とする請求項6に記載のインクジェットヘッド。 - 前記列間分離線は、前記各アクチュエータ列の列方向に沿う第1および第2列間分離線であり、
前記第1列間分離線は、前記第1アクチュエータ列の内側端部を通る線、前記各アクチュエータ列の相互間の領域の前記第1アクチュエータ列寄りの位置を通る線、およびこれらの2本の線の両端部を結ぶ2本の線により矩形状に形成され、
前記第2列間分離線は、前記第2アクチュエータ列の内側端部を通る線、前記各アクチュエータ列の相互間の領域の前記第2アクチュエータ列寄りの位置を通る線、およびこれらの2本の線の両端部を結ぶ2本の線により矩形状に形成される、
ことを特徴とする請求項7に記載のインクジェットヘッド。
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JP2012239556A JP5277339B2 (ja) | 2012-10-30 | 2012-10-30 | インクジェットヘッド |
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JP2012239556A Active JP5277339B2 (ja) | 2012-10-30 | 2012-10-30 | インクジェットヘッド |
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