JP5275960B2 - パターン形成方法およびパターン形成装置 - Google Patents
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Description
7 ペースト
9 基板
11 CCDカメラ
12 画像処理部
20 基板載置部
30 駆動部
40 第1塗布部
41 第1ヘッド
47 第1ノズル
50 第2塗布部
51 第2ヘッド
57 第2ノズル
60 制御部
71 バス配線パターン
73 フィンガー配線パターン
Claims (4)
- その主面に第1方向に延びる第1パターンが形成された基板を、ノズルに対して第1方向と交差する第2方向に相対移動させつつ、ノズルから基板の主面に塗布液を線状に供給して、基板上に第1パターンと交差する第2パターンを形成する塗布工程と、
塗布工程において、ノズルに対して固定配置された撮像手段により、ノズルに対して相対移動する基板に形成された第1パターンを撮像する撮像工程と、
を含み、
塗布工程において、撮像工程により得られた少なくとも第1パターンの一部を含む画像の画像データと、撮像工程に先立って予め取得された基準画像データとの一致度合いに基づいて、ノズルからの塗布液の供給を一旦、停止した後、塗布液の供給を再び開始することを特徴とするパターン形成方法。 - 請求項1に記載されるパターン形成方法において、
基板が太陽電池素子用の基板であり、
塗布液が導電性を有する導電性のペーストであり、
第1パターンがバス配線用の塗布パターンであり、
第2パターンがバス配線と直交するフィンガー配線用の塗布パターンであることを特徴とするパターン形成方法。 - 塗布液を吐出するノズルと、
その主面に第1方向に延びる第1パターンが形成された基板を、第1方向と交差する第2方向にノズルに対して相対移動させる移動手段と、
ノズルに対して固定配置されるとともに、移動手段により相対移動させられる基板の主面に形成された第1パターンを撮像する撮像手段と、
移動手段により第2方向に相対移動する基板の主面にノズルから塗布液を吐出し基板の主面に線状に塗布液を供給して第1パターンと交差する第2パターンを基板の主面に形成するときに、撮像手段により得られた少なくとも第1パターンの一部を含む画像の画像データと、予め保存した基準画像データとの一致度合いに基づいて、第1パターンと第2パターンの交差部にて、ノズルからの塗布液の供給を一旦、停止させた後、塗布液の供給を再び開始させる制御手段と、
を備えることを特徴とするパターン形成装置。 - 請求項3に記載されるパターン形成装置において、
基板が太陽電池素子用の基板であり、
塗布液が導電性を有する導電性のペーストであり、
第1パターンがバス配線用の塗布パターンであり、
第2パターンがバス配線と直交するフィンガー配線用の塗布パターンであることを特徴とするパターン形成装置。
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