JP5274530B2 - 光照射装置および擬似太陽光照射装置、太陽電池パネル用検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、被照射物に対して指向性の高い光を照射するための光照射装置および、この光照射装置を用いて被照射物に対して擬似太陽光を照射する擬似太陽光照射装置、この擬似太陽光照射装置を用いて太陽電池パネルの出力特性を測定して良否判定を行う太陽電池パネル用検査装置に関する。

従来、太陽光のスペクトル分布を高精度に再現するための光源装置としての従来の擬似太陽光照射装置では、所望のスペクトルを有する光を得るために、キセノンランプなどを点灯して光学フィルタ（エアマスフィルタ）を通過した擬似太陽光を、反射板で反射拡散させることによって被測定対象における照度分布を均一にする試みが為されてきた。

図１２は、従来の光照射装置の要部構成例を模式的に示す縦断面図であって、ランプ光源を反射箱内に収容し、反射箱の開口部から導光部材に光を導入する場合を示す縦断面図である。

図１２に示すように、従来の光照射装置１００において、例えばメタルハライドランプを用いた略点光源１０１が、内壁を例えば銀反射面で覆った反射箱１０２に内包されている。また、反射箱１０２の表面には、ピンホール状の開口部１０３が開口されている。このピンホール状の開口部１０３には、導光部材１０４がその入射端面１０５を反射箱１０２内の略点光源１０１に向けて設置されている。このとき、ピンホール状の開口部１０３の形状は、導光体１０４の入射端面１０５の形状と一致することが望ましい。

上記構成により、略点光源１０１から出射した光は、反射箱１０２の内壁の銀反射面で反射を繰り返した後、最終的にはピンホール状の開口部１０３から出射し、導光体１０４の入射端面１０５に入射する。導光体１０４内に入射した光は、既に説明したように、約±１０パーセントの高い指向性を持つ指向性光として出射端面１０６から出射される。

このように、導光部材１０４を用いた光源装置において、導光部材１０４の入射端面１０３と略点光源１０１とをピンホール状の開口部１０３を介して光学的に結合することにより、高い指向性光を高効率で出射することが可能な光照射装置１００を実現することができる。

従来の光照射装置１００は、複数の開口部１０３を形成した反射箱１０２から光源出射光を取り出し、同じく複数個配置した指向性制御部材としての導光部材１０４の中を導光させて指向性を制御して照射面に放射するものである。

特開２００３−９８３５４号公報

上記従来の構成では、テーパ状の導光部材１０４に光を導入して内部を伝搬させ、光を取り出す光学系であるが、光学系の光量調整機能については何ら触れられていない。この光学系で光量を変化させるための選択肢としては、反射箱１０２から光を取り出す開口部１０３自体の大きさを変えることや、テーパ状の導光部材１０４から出射光を遮光するなど、いくつか可能性は残るものの、上記従来の構成のままでは、擬似太陽光のスペクトル分布にできるだけ悪影響を与えないように、擬似太陽光を被照射物に照射する際に、照射光量を調整するという構造上の問題を解決していない。

本発明は、上記従来の問題を解決するもので、被照射物に照射する光のスペクトル分布を変えることなく、容易に照射光量を調整することができる光照射装置および、この光照射装置を用いて被照射物に対して擬似太陽光を照射する擬似太陽光照射装置、この擬似太陽光照射装置を用いて太陽電池パネルの出力特性を測定して良否判定を行う太陽電池パネル用検査装置を提供することを目的とする。

本発明の光照射装置は、第１光源と、該第１光源からの出射光を反射させる第１反射部材と、該第１反射部材の反射前方側に配設されて、該光源の出射光を取り出す開口部が形成された開口部材と、該開口部材の開口部からの出射光を一方端面から取り込んで指向性が高められた光を他方端面から出射する第１導光部材と、該第１導光部材の他方端面から出射される光のスペクトルを調整する第１光学フィルタとを有し、該開口部毎に光量調整部材が短冊状の遮光部材として該開口部の一部と重なるように配置され、該光量調整部材によりスペクトル調整された光の出射光量調整が行われているものであり、そのことにより上記目的が達成される。

また、好ましくは、本発明の光照射装置における光量調整部材は、前記開口部材と、前記第１反射部材の間に配置されている。

さらに、好ましくは、本発明の光照射装置における光量調整部材は、前記第１反射部材の対向辺に掛け渡されて固定された所定幅の遮光部材であって、該所定幅の幅サイズに応じて前記出射光量調整が行われる。

さらに、好ましくは、本発明の光照射装置における光量調整部材は、波長依存性を持たない金属を黒色化した遮光部材である。

本発明の擬似太陽光照射装置は、本発明の上記光照射装置からの擬似太陽光を一方端面から取り込んでその内部を伝搬させて被照射物に対して光を平坦面から面照射する面照射用の導光部材を有するものであり、そのことにより上記目的が達成される。

また、本発明の擬似太陽光照射装置は、本発明の上記光照射装置である第１光照射装置と、
第２光源と、該第２光源からの出射光を反射させる第２反射部材と、該第２反射部材からの出射光を一方端面から取り込んで指向性が高められた光を他方端面から出射する第２導光部材と、該第２導光部材の他方端面から出射される光のスペクトルを調整する第２光学フィルタとを有する第２光照射装置と、
該第１光照射装置からの光と該第２光照射装置からの光を混合して太陽光に類似した擬似太陽光を得る光混合部材と、該光混合部材からの擬似太陽光を一方端面から取り込んでその内部を伝搬させて被照射物に対して光を平坦面から均一に面照射する第３導光部材とを有する第３光照射装置とのセットが複数設けられている。

さらに、好ましくは、本発明の擬似太陽光照射装置において、前記第１光照射装置、前記第２光照射装置および前記第３光照射装置を有する前記光学系を１ユニットとし、該１ユニット同士を左右方向に対向配置して、該第３光照射装置の第３導光部材の他方端面同士を当接した２ユニットを、前記被照射物のサイズに応じて、前後方向に複数並べて配置されている。

さらに、好ましくは、本発明の擬似太陽光照射装置において、前記第１光照射装置、前記第２光照射装置および前記光混合部を配置した左側セットと、該第１光照射装置、該第２光照射装置および該光混合部を配置した右側セットとの間に、左側の光混合部からの混合光を一方端面から取り込んでその内部を伝搬させると共に、右側の光混合部からの混合光を他方端面から取り込んでその内部を伝搬させて被照射物に対して光を平坦面から均一に面照射する第４導光部材が前記第３導光部材に代えて設けられ、これを１ユニットとし、被照射物のサイズに応じて、該１ユニットが前後方向に複数並べてられて配置されている。

本発明の太陽電池パネル用検査装置は、本発明の上記擬似太陽光照射装置を用いて太陽電池パネルの出力特性を測定して良否判定を行うものであり、そのことにより上記目的が達成される。

上記構成により、以下、本発明の作用を説明する。

本発明においては、第１光源と、第１光源からの出射光を反射させる第１反射部材と、第１反射部材の反射前方側に配設されて、第１光源の出射光を取り出す開口部が形成された開口部材と、開口部材の開口部からの出射光を一方端面から取り込んで指向性が高められた光を他方端面から出射する第１導光部材と、第１導光部材の他方端面から出射される光のスペクトルを調整する第１光学フィルタとを有し、開口部毎に光量調整部材が配置され、光量調整部材によりスペクトル調整された光の出射光量調整が行われている。

このように、第１光源の出射光を取り出す開口部毎に光量調整部材が配置され、光量調整部材により、スペクトル調整された光の出射光量調整が行われるため、面照射用の導光部材から被照射物への出射光の位置によるバランスを調整する際に、面照射用の導光部材に光を入射させるまでの途中の光学系の状態を変えないで、被照射物への照射光量だけを調整することが可能となる。つまり、擬似太陽光を被照射物に照射する際に、照射光のスペクトル分布を固定した後でも、そのスペクトル分布を変えることなく、照射光量だけを調整することが可能となる。

以上により、本発明によれば、第１光源の出射光を取り出す開口部毎に光量調整部材が配置され、光量調整部材により、スペクトル調整された光の出射光量調整が行われるため、面照射用の導光部材から被照射物への出射光の位置によるバランスを調整する際に、面照射用の導光部材に光を入射させるまでの途中の光学系の状態を変えないで、照射光量だけを調整することができる。つまり、擬似太陽光を被照射物に照射する際に、照射光のスペクトル分布を固定した後でも、そのスペクトル分布を変えることなく、照射光量だけを調整することができる。

本発明の実施形態１における擬似太陽光照射装置の要部構成例を模式的に示す斜視図である。 図１の擬似太陽光照射装置の要部構成例を模式的に示す縦断面図である。

図１のキセノン光源、これが収容される反射部材およびその前方の開口板を示す斜視図である。 （ａ）は図１のキセノン光源、反射部材、開口板、遮光部材およびテーパ導光部材の縦断面図、（ｂ）は図３の開口板の開口部を示す平面図である。 （ａ）および（ｂ）は、本実施形態１の擬似太陽光照射装置の光量調整についてさらに説明するための斜視図である。 図１の擬似太陽光照射装置の平面図である。 （ａ）は、キセノンランプの波長に対する照度を示す図、（ｂ）は、ハロゲンランプの波長に対する照度を示す図である。 本発明の実施形態２における擬似太陽光照射装置の要部構成例を模式的に示す斜視図である。 図１１の擬似太陽光照射装置の要部構成例を模式的に示す縦断面図である。 （ａ）および（ｂ）は、本実施形態２の擬似太陽光照射装置の光量調整についてさらに説明するための斜視図である。 図１８の擬似太陽光照射装置の平面図である。 従来の光照射装置の要部構成例を模式的に示す縦断面図であって、ランプ光源を反射箱内に収容し、反射箱の開口部から導光部材に光を導入する場合を示す縦断面図である。

以下に、本発明の光照射装置を擬似太陽光照射装置に適用すると共に、この擬似太陽光照射装置を太陽電池パネル用検査装置に適用した場合の実施形態１、２について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図における構成部材のそれぞれの厚みや長さなどは図面作成上の観点から、図示する構成に限定されるものではない。

（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１における擬似太陽光照射装置の要部構成例を模式的に示す斜視図である。図２は、図１の擬似太陽光照射装置の要部構成例を模式的に示す縦断面図である。

図１および図２において、本実施形態１の擬似太陽光照射装置１には、キセノンランプのキセノン光源２と、キセノン光源２を内部に収容する内面が反射面の反射部材３ａおよびその前方部分を覆う開口板３ｂと、この開口板３ｂの開口部（図示せず）からのキセノン出射光をその下端面から取り込んで内部を伝搬させることにより指向性を良くするテーパカプラであるテーパ導光部材４と、このテーパ導光部材４からのキセノン光をフィルタリングして短波長側の擬似太陽光のスペクトルとする第１光学フィルタ（スペクトル調整用フィルタ）としてのエアマスフィルタ５とを有する第１光照射装置６が設けられている。このように、第１光照射装置６は、キセノン光源２からの出射光が反射部材３ａによって反射され集光されて、開口板３ｂの開口部から出射され、このキセノン出射光を、テーパカプラと呼ばれるテーパ導光部材４の下端面から取り込んでその内部を伝搬させて指向性の高い平行光とし、テーパ導光部材４の上端面からエアマスフィルタ５を通して指向性の高いキセノン光を出射する。このエアマスフィルタ５からのキセノン光は擬似太陽光の短波長側のスペクトルに相当している。

また、この擬似太陽光照射装置１には、ハロゲンランプなどのハロゲン光源７と、ハロゲン光源７を収容する内面が反射面の反射部材８と、この反射部材８の内面で反射したハロゲン出射光をその下端面から取り込んで内部を伝搬させることにより指向性を良くするテーパ導光部材９と、このテーパ導光部材９の端面からのハロゲン出射光をフィルタリングして長波長側の擬似太陽光とする第２光学フィルタ（スペクトル調整用フィルタ）としてのエアマスフィルタ１０とを有する第２光照射装置１１が設けられている。このように、第２光照射装置１１は、ハロゲン光源７の出射光が反射部材８で反射し集光して出射され、このハロゲン出射光を、テーパカプラと呼ばれるテーパ導光部材９の一方端面から取り込んでその内部を伝搬させて指向性の高い平行光とし、テーパ導光部材９の他方端面からスペクトル調整用のエアマスフィルタ１０を通して指向性の高いハロゲン出射光を出射する。このエアマスフィルタ１０からのハロゲン光は擬似太陽光の長波長側のスペクトルに相当している。ハロゲン光源７は１フィラメントタイプでもよいが、パワーを稼ぐために、ここでは、ハロゲン光源７は２フィラメントタイプを用い、二つのハロゲンランプに対応してそれぞれテーパ導光部材９をそれぞれ用いている。

さらに、この擬似太陽光照射装置１には、第１光照射装置６のスペクトル調整用のエアマスフィルタ５からの短波長のキセノン出射光を反射させると共に、第２光照射装置１１のスペクトル調整用のエアマスフィルタ１０からの長波長のハロゲン出射光を透過させることにより光混合して太陽光に類似した擬似太陽光を得る反射・透過手段としての波長選択ミラー（または波長混合ミラー）などの光混合部１２と、この光混合部１２からの拡散光である擬似太陽光を一方端面から取り込んでその内部を伝搬させて例えば太陽電池パネルなどの被照射物１３に対して指向性の高い光Ｌを均一に面照射する導光部材１４とを有する第３光照射装置１５が設けられている。また、図２に示すように、第３光照射装置１５が左右に配置されているが、導光部材１４同士はお互いの端面を当接している。

図３は、図１のキセノン光源２、これが収容される反射部材３ａおよびその前方の開口板３ｂを示す斜視図である。図４（ａ）は図１のキセノン光源２、反射部材３ａ、開口板３ｂ、遮光部材３２およびテーパ導光部材４の縦断面図、図４（ｂ）は図３の開口板３ｂの開口部および遮光部材３２を示す平面図である。

図３、図４（ａ）および図４（ｂ）に示すように、キセノン光源２からの出射光を反射して集光するための反射部材３ａおよび、その反射方向前方に開口部材としての開口板３ｂが湾曲して設けられており、開口板３ｂに所定間隔を置いて複数の開口部３１が形成されている。この開口部３１から指向性のよいキセノン光を取り出して、テーパカプラであるテーパ導光部材４の下端面に入射させるように構成している。この開口部３１の開口サイズを大きくすると、より多くの照射光量をテーパ導光部材４の下端面に入射させることができる。また、開口板３ｂの開口部３１と反射部材３ａの間に、光量調整部材として、所定幅ｄでライン状（短冊状）の遮光部材３２が開口部３１の一部と重なるように、反射部材３ａの対向辺間に掛け渡されて固定されている。このように、遮光部材３２は反射部材３ａに取り付け可能とされており、遮光部材３２を開口板３ｂの開口部３１と反射部材３ａの間に取り付けると、光が遮光される分だけ、より少ない照射光量をテーパ導光部材４の下端面に入射させることができる。この場合、開口部３１の長手方向（横方向）に対して直角、図４（ｂ）のように縦方向（横方向も斜め方向も好ましくない）に遮光部材３２を用いる。また、キセノン光源２側であるため、遮光部材３２を用いても温度特性にはそれほど悪影響しない。遮光部材３２を用いて取り出す光量を減らす場合には、遮光部材３２の幅寸法ｄに応じて取り出し光量を減らすことができる。このように、遮光部材３２の幅寸法ｄを変えることにより、キセノン光源２からの出射光を取り出す光量を調整することができる。この遮光部材３２は、光量調整部材であり、波長依存性を持たない金属を黒色化した部材を用いることにより、各波長帯を均等に調整することができる。また、光がテーパ導光部材４を出射した後に遮光して光量調整したり、スペクトル調整用のエアマスフィルタ５を出射した直後に光量調整部材を入れて光量調整してしまうと、スペクトルの状態が変わってしまうため、遮光部材３２の位置は、スペクトルや指向性に影響が最も少ない位置、即ち、反射部材３ａの前方の開口板３ｂと、反射部材３ａの間に配置するのが望ましい。

これによって、後述する面照射の導光部材１４，１４からの出射光量のバランスを調整する際に、導光部材１４に光を入射させるための途中の光学系の状態を変化させないで、光量だけを変化させることができる。つまり、擬似太陽光のスペクトル分布を固定した後でも、擬似太陽光のスペクトル分布を変化させることなく、導光部材１４，１４からの出射光量を調整することができる。

ここで、光量調整についてさらに説明する。

キセノン光源２およびハロゲン光源７と導光部材１４とを１対１に対応させ、キセノン光源２やハロゲン光源７をランプを交換したり、ランプに流れる電流を調整したりすることにより、キセノン光源２およびハロゲン光源７から出射される光量を制御して、導光部材１４からの出力光量を個別に精度よく制御することができる。また同様に、エアマスフィルタ５およびエアマスフィルタ１０と導光部材１４とを１対１に対応させ、エアマスフィルタ５およびエアマスフィルタ１０を、光透過率の異なるエアマスフィルタに取替えて各導光部材１４に入射される光量を制御して、導光部材１４からの出力光量を個別に精度よく制御することができる。

このように、キセノン光源２およびハロゲン光源７と導光部材１４とを１対１に対応させ、かつ、エアマスフィルタ５およびエアマスフィルタ１０と導光部材１４とを１対１に対応させたため、従来のように、ランプ光源からの出射光を多数のミラーにより被照射物に照射する照度を面全体で均一に調整するものに比べて、照射面への照度の調整に時間を要することなく、被照射物１３の照射面に対して精度のよい照度の調整が可能となって、被照射物１３の照射面に対する均一な照度を得ることができる。

次に、第１光照射装置６および第２光照射装置１１のいずれか一方を用いるかまたは、別の一つの光照射装置を用いて、ランプ光源と導光部材１４とを１対１に対応させ、かつ、エアマスフィルタと導光部材１４とを１対１に対応させた方が、光照射装置が一つになった分だけ、光量調整がさらに容易になる。これを図５（ａ）および図５（ｂ）に示している。

図５（ａ）および図５（ｂ）は、本実施形態１の擬似太陽光照射装置１の光量調整について説明するための斜視図である。図５（ａ）および図５（ｂ）では、図１の上記第１光照射装置６や光混合部１２（波長選択ミラー）は図示されていない。光量調整だけについて、図５（ａ）および図５（ｂ）を用いた説明では、上記第１光照射装置６や光混合部１２（波長選択ミラー）はなくてもよい。同様に、ランプ光源や反射部材についても各種構造を取り得る。

図５（ａ）に示すように各導光部材１４と光源ランプ２Ｃとを一対一に対応させ、ランプを交換したり電流を調整することにより、光源ランプ２Ｃからの出力光量を個別に制御することができる。この場合、もちろん、光透過率の異なるエアマスフィルタ１０Ｃ（スペクトル調整用フィルタ）に取替えて各導光部材１４に入射される光量を調節することもできる。

また、図５（ｂ）に示すように各導光部材１４に対して、分割せず光源ランプ２Ｄのように一括照射型とし、各導光部材１４とエアマスフィルタ１０Ｄとを一対一に対応させ、エアマスフィルタ１０Ｄ（スペクトル調整用フィルタ）だけを取替えて各フィルタ透過率を個別に制御するようにしてもよく、または透過率制御用に補正用のフィルタを、エアマスフィルタ１０Ｄ（スペクトル調整用フィルタ）とは別に光透過フィルタを追加することによっても、導光部材１４に入射する光量を抑えて調整することができる。

図５（ａ）のハロゲン光源２Ｃおよび反射部材３Ｃの代わりに、図２のキセノン光源２、反射部材３ａおよび開口板３ｂを用いてもよい。また、図５（ｂ）のハロゲン光源２Ｄおよび反射部材３Ｄの代わりに、キセノン光源、反射部材および開口板を用いてもよい。この場合にも、前述したように、開口板３ｂの開口部３１と反射部材の間に、所定幅ｄでライン状（短冊状）の遮光部材３２を取り付けることにより、照射光量を制御してテーパ導光部材４の下端面に入射させることができる。

また、図５（ｂ）のように長い光源の場合に特に両端で光量が低下するが、光量調整の具体例として両端側の光量を増やして照射光量を照射面全体で均一にする場合について更に説明する。なお、これを、第１光照射装置６および第２光照射装置１１のいずれか一方を用いるかまたは、別の一つの光照射装置を用いた図５（ａ）および図５（ｂ）の場合にも、適用することができるが、ここでは、図１の擬似太陽光照射装置１の場合について説明する。

図６は、図１の擬似太陽光照射装置１の平面図である。

第１光照射装置６、第２光照射装置１１および第３光照射装置１５の組を１ユニットとして、左右に２組設け、これを前後方向に８セット設けているが、前後方向の両端（最も手前と最も奥側）の照射光量が少なくなる傾向にあるので、図６の平面図に示すように、両端側の照射光量を、それ以外の中央部側の照射光量よりも、被照射物１３への照射光量が均一になるようにここでは増やしている。ここでは、キセノン光およびハロゲン光の光量を共に両端側で増やしているが、ハロゲン光のみについて説明している。この前後方向の両端側において、上記ハロゲン光源７を少し大きい出力のハロゲン光源７Ａを用いることができるようにしている。

この擬似太陽光照射装置１には、前後方向の両端側において、上記ハロゲン光源７よりも出力光量が高いハロゲン光源７Ａと、ハロゲン光源７Ａを収容する内面が反射面の反射部材８Ａと、この反射部材８Ａの内面で反射したハロゲン出射光をその一方端面から取り込んで内部を伝搬させることにより指向性を良くするテーパ導光部材９と、このテーパ導光部材９の他方端面からのハロゲン出射光をフィルタリングして長波長側の擬似太陽光とする第２光学フィルタとしてのエアマスフィルタ１０とを有する第２光照射装置１１Ａを設けている。この場合、反射部材８Ａ、テーパ導光部材９およびエアマスフィルタ１０は、ハロゲン光源７Ａの出力光量に適合したものとし、出力光量に適合していれば、反射部材８、８Ａは同じものであってもよい。

また、本実施形態１の擬似太陽光照射装置１において、上記第１光照射装置６、第２光照射装置１１および第３光照射装置１５の組がユニット化されて左右２組配設されたものが、例えば８セット（左右の２ユニットで１セット；全１６ユニット）だけ前後方向に並べられて設けられているが、少なくともユニットは、照射強度（光量）が調整できるように、出力光量の異なるランプまたは、光透過率の異なるエアマスフィルタ５（スペクトル調整用フィルタ）を取替え可能としておくことにより、導光部材１４に入射する照射強度（光量）を個別に調整可能とすることができる。前記した上記ハロゲン光源７とこれよりも出力光量が高いハロゲン光源７Ａとの取り付け部（共通を含む）を設けることにより、出力光量の異なる光源を取替え自在にしておけばよい。

次に、光量調整の具体例として両端側以外の光量を減らして照射光量を照射面全体で均一にする場合について更に説明する。本具体例は、図５（b）の形態において特に有効である。

前後方向の両端側以外において、開口板３ｂの開口部３１と反射部材の間に、所定幅ｄでライン状（短冊状）の遮光部材３２を取り付けることにより、照射光量を減らしてテーパ導光部材４の下端面に入射させることができる。これによって、両端側以外の中央部分の照射光量を、両端側の照射光量よりも減らして、被照射物１３への照射光量が照射面全体で均一にすることができる。

次に、照射面積変更自在なユニット化について説明する。

本実施形態１の擬似太陽光照射装置１は、図１に示すように、上記第１光照射装置６、第２光照射装置１１および第３光照射装置１５の組が左右２組配設され、この２組が、本実施形態１では前後方向に８セット（１６ユニット）隙間なく並べられて設けられている。上記第１光照射装置６、第２光照射装置１１および第３光照射装置１５の組がユニット化されて精度よく製造することができ、上記第１光照射装置６、第２光照射装置１１および第３光照射装置１５のユニットが組み合わされて、所望の大きさの太陽電池パネルに対応した擬似太陽光の照射面の大きさとすることができる。したがって、上記第１光照射装置６、第２光照射装置１１および第３光照射装置１５の組の左右２組が、前後方向に８セット（１６ユニット）に全く限ることはない。これによって、照射面積変更自在な光学系としてユニット化とすることができる。なお、この場合、第１光照射装置６において、キセノン光源２と、反射部材３ａおよび開口板３ｂは一括照射型であるので、これらについては共通に用いることになる。これらのキセノン光源２と反射部材３ａおよび開口板３ｂを、テーパ導光部材４毎に設けることもできる。

このように、上記第１光照射装置６、第２光照射装置１１および第３光照射装置１５の組を１単位としてユニット化すると、１単位の照射面の照射強度のばらつきを抑えて精度よく所望の照射強度（光量）とすることができて、ユニット化した１単位の照射面を組み合わせて大きい照射面とする場合にも、大きい照射面全体で照射強度のばらつきを抑えて均一な所望の照射強度（光量）とすることができる。要するに、大面積の照射面の照射強度を高精度で均一にすることは難しいが、大面積の照射面を複数に分割し、その小面積の照射面の照射強度を高精度に均一化すれば、それらを組み合わせるだけで、大面積の照射面の照射強度（光量）を高精度に均一化することができる。

したがって、第１光照射装置６、第２光照射装置１１および第３光照射装置１５の組を１ユニットとして、１ユニットの照射強度（光量）を高精度に製造しておけば、太陽電池パネルのサイズに合わせて組み立てるだけで、従来、時間かけて行っていた照射強度（光量）の光量調整を不要とすることができる。即ち、従来は、太陽電池パネルのサイズに応じて、各要所に基準撮像セルが設けられた照射強度検査装置により、大面積の照射面全体のうちのどの部分の照射強度が低いかを測定し、その照射強度が低い部分の照射強度を上げるように照射強度の調整をする必要があったが、それも不要とすることができる。また、定期的なメンテナンス時にも、照射強度調整が不要である。ユニット化した１単位の光照射装置をばらつきなく精度よく製造しておけば、照射強度調整が不要であり、メンテナンス性に優れている。従来はこの照射面全体の照射強度調整（光量調整）に時間がかかっていた。

次に、擬似太陽光を均一に太陽電池パネルに面照射して得られる発電量の良否を精密に検査することができる太陽電池パネル検査装置について説明する。

図７（ａ）は、キセノンランプの波長に対する照度を示す図、図７（ｂ）は、ハロゲンランプの波長に対する照度を示す図である。

キセノンランプからの出射光は、図７（ａ）に示すように、温度上昇に寄与する熱線成分はハロゲン光よりも少なく太陽光の短波長側のスペクトルを有し、ハロゲンランプからの出射光は、図７（ｂ）に示すように、温度上昇に寄与する熱線成分が多く、太陽光の長波長側のスペクトルを有している。キセノンランプとハロゲンランプとの各出射光を光混合部１２を通して混合することにより、太陽光に類似した擬似太陽光を得ることができる。この擬似太陽光を波長選択ミラー（または波長混合ミラー）などの光混合部１２から拡導光部材１４，１４内に導いて、擬似太陽光を伝搬させて被照射物１３（太陽電池パネル）に対して指向性の高い光を均一に面照射することができる。

これによって、被照射物１３としての太陽電池パネルが規定以上の発電量を有するかどうかを発電量検出装置にて検出することにより、被照射物１３（例えば太陽電池パネルなど）の良否検査を行うことができる。これらの擬似太陽光照射装置１および発電量検出装置により太陽電池パネル検査装置が得られる。

以上により、本実施形態１によれば、光量調整部材としての遮光部材３２が開口部材としての開口板３ｂの開口部３１と、反射部材３ａの間に配置され、遮光部材３２の幅サイズに応じて、スペクトル調整された光の出射光量調整を行うため、面照射用の導光部材１４から被照射物１３への出射光のバランスを調整する際に、面照射用の導光部材１４に光を入射させるための途中の光学系の状態を変えないで、その光学系に入るまでの光量だけを調整して被照射物１３への照射光量だけを調整することができる。つまり、擬似太陽光を被照射物１３に照射する際に、照射光のスペクトル分布を固定した後でも、そのスペクトル分布を変えることなく、照射光量だけを調整することができる。

（実施形態２）
上記実施形態１では、第３光照射装置１５が左右に配置され、導光部材１４同士がお互いの端面を当接している場合について説明したが、本実施形態２では、左右の導光部材１４が一体となったことにより、上記実施形態１の左右の第３光照射装置１５が一体化した場合について説明する。

即ち、上記実施形態１では、擬似太陽光照射装置１として、第１光照射装置６、第２光照射装置１１および第３光照射装置１５を１セットとしてユニット化され、ユニット化された１セット同士を左右方向に対向配置して、第３光照射装置１５の第３導光部材１４、１４の他方端面同士を当接した２ユニットを、被照射物１３のサイズに応じて、前後方向に複数並べて配置された場合について説明したが、本実施形態２では、後述する擬似太陽光照射装置１Ａとして、第１光照射装置６、第２光照射装置１１および光混合部１２をそれぞれ配置した左側セットと、第１光照射装置６、第２光照射装置１１および光混合部１２をそれぞれ配置した右側セットとの間に、左側の光混合部１２からの混合光を一方端面から取り込んでその内部を伝搬させると共に、右側の光混合部１２からの混合光を他方端面から取り込んでその内部を伝搬させて被照射物１３に対して指向性の高い光を平坦面から均一に面照射する第４導光部材１４Ａが設けられ、これを１セットとしてユニット化され、被照射物のサイズに応じて、ユニット化された１セットが前後方向に複数並べてられて配置された場合について説明する。

図８は、本発明の実施形態２における擬似太陽光照射装置の要部構成例を模式的に示す斜視図である。図９は、図８の擬似太陽光照射装置の要部構成例を模式的に示す縦断面図である。なお、図８および図９では、図１および図２の構成部材と同様の作用効果を奏する構成部材には同一の符号を付して説明する。

図８および図９において、本実施形態２の擬似太陽光照射装置１Ａでは、上記実施形態１の第１光照射装置６および第２光照射装置１１（または１１Ａ）と同一の構成であるが、左側の第１光照射装置６および第２光照射装置１１（または１１Ａ）と、右側の第１光照射装置６および第２光照射装置１１（または１１Ａ）とを１ユニットとして用いる点で異なっている。また、上記実施形態１の第３光照射装置１５の構成に代えて第４光照射装置１５Ａを用いる。要するに、本実施形態２の擬似太陽光照射装置１Ａは、上記実施形態１の左右の導光部材１４が一体となった導光部材１４Ａを用いる点が、上記実施形態１の擬似太陽光照射装置１の場合とは異なっている。したがって、左右の二つの第３光照射装置１５が一体化した第４光照射装置１５Ａを用いる。

この第４光照射装置１５Ａには、左側の第１光照射装置６のスペクトル調整用のエアマスフィルタ５からの短波長のキセノン出射光を反射させると共に、左側の第２光照射装置１１のスペクトル調整用のエアマスフィルタ１０からの長波長のハロゲン出射光を透過させることにより光混合して太陽光に類似した擬似太陽光を得る反射・透過手段としての波長選択ミラー（または波長混合ミラー）などの左側の光混合部１２と、右側の第１光照射装置６のスペクトル調整用のエアマスフィルタ５からの短波長のキセノン出射光を反射させると共に、右側の第２光照射装置１１のスペクトル調整用のエアマスフィルタ１０からの長波長のハロゲン出射光を透過させることにより光混合して太陽光に類似した擬似太陽光を得る反射・透過手段としての波長選択ミラー（または波長混合ミラー）などの右側の光混合部１２と、左側の光混合部１２からの拡散光である擬似太陽光を一方端面から取り込んでその内部を伝搬させると共に、右側の光混合部１２からの拡散光である擬似太陽光を他方端面から取り込んでその内部を伝搬させて、例えば太陽電池パネルなどの被照射物１３に対して指向性の高い光Ｌを均一に面照射する導光部材１４Ａとが設けられている。この場合、第４光照射装置１５Ａでは、導光部材１４Ａが一体化されている。

導光部材１４Ａは、上記実施形態１の導光部材１４、１４のように二つに分かれていない方が、その間の端面での反射がないので、光を効率よく活用することができる。また、上記実施形態１のようにピアノの鍵盤方式であれば、他方端面で反射させる際に、反射鏡を使えばスペクトルに悪影響する。これに対して、導光部材１４Ａは、上記実施形態１の導光部材１４、１４のように左右二つに分ける必要がないため、真ん中の端面での光調整がなくなって、スペクトル特性を良好なものにすることができる。導光部材１４Ａは、面積が大きくなると、カラスであるため、製造上、作るのが困難になるが、面積がある程度小さいものに最適に適用することができる。

この場合も、上記実施形態１の場合と同様に、図４（ａ）および（ｂ）に示すように、キセノン光源２からの出射光を反射させる反射部材３ａと、反射前方側に配設されて、キセノン光源２の出射光を取り出す開口部３１が形成された開口部材としての開口板３ｂとの間に、スペクトル調整された光の出射光量調整を行う光量調整部材としての遮光部材３２が設けられている。遮光部材３２は、反射部材３ａの対向辺に掛け渡されて固定される。遮光部材３２の幅サイズに応じて出射光量調整が行われる。遮光部材３２は波長依存性を持たない金属を黒色化した遮光部材である。

次に、照射面積変更自在なユニット化について説明する。

本実施形態２の擬似太陽光照射装置１Ａは、図８に示すように、左右の第１光照射装置６、左右の第２光照射装置１１および第４光照射装置１５Ａが１ユニットで構成される。この１ユニットが、本実施形態２では前後方向に８セット隙間なく並べられて設けられている。上記左右の第１光照射装置６、左右の第２光照射装置１１および第４光照射装置１５Ａが、１単位として、ユニット化されて精度よく製造することができ、上記左右の第１光照射装置６、左右の第２光照射装置１１および第４光照射装置１５Ａが１ユニットとして前後方向に組み合わされて、所望の大きさの太陽電池パネルに対応した擬似太陽光の照射面の大きさとすることができる。したがって、上記左右の第１光照射装置６、左右の第２光照射装置１１および第４光照射装置１５Ａの１ユニットが、前後方向に８ユニットに全く限ることはない。これによって、照射面積変更自在なユニット化とすることができる。なお、この場合も、第１光照射装置６において、キセノン光源２と、反射部材３ａおよび開口板３ｂは一括照射型であるので、これらについては共通に用いることになる。これらのキセノン光源２と反射部材３ａおよび開口板３ｂを、テーパ導光部材４毎に設けることもできる。

このように、上記左右の第１光照射装置６、左右の第２光照射装置１１および第４光照射装置１５Ａを１単位としてユニット化すると、１単位の照射面の照射強度のばらつきを抑えて精度よく所望の照射強度（光量）とすることができて、ユニット化した１単位の照射面を組み合わせて大きい照射面とする場合にも、大きい照射面全体で照射強度のばらつきを抑えて均一な所望の照射強度（光量）とすることができる。要するに、大面積の照射面の照射強度を高精度で均一にすることは難しいが、大面積の照射面を複数に分割し、その小面積の照射面の照射強度を高精度に均一化すれば、それらを組み合わせるだけで、大面積の照射面の照射強度（光量）を高精度に均一化することができる。

したがって、左右の第１光照射装置６、左右の第２光照射装置１１および第４光照射装置１５Ａを１ユニットとして、１ユニットの照射強度（光量）を高精度に製造しておけば、太陽電池パネルのサイズに合わせて組み立てるだけで、従来、時間かけて行っていた照射強度（光量）の光量調整を不要とすることができる。即ち、従来は、太陽電池パネルのサイズに応じて、各要所に基準撮像セルが設けられた照射強度検査装置により、大面積の照射面全体のうちのどの部分の照射強度が低いかを測定し、その照射強度が低い部分の照射強度を上げるように照射強度の調整をする必要があったが、それも不要とすることができる。また、定期的なメンテナンス時にも、照射強度調整が不要である。ユニット化した１単位の光照射装置をばらつきなく精度よく製造しておけば、照射強度調整が不要であり、メンテナンス性に優れている。従来はこの照射面全体の照射強度調整（光量調整）に時間がかかっていた。

次に、照射面全体の照射強度調整（光量調整）について更に説明する。

左右両側のキセノン光源２およびハロゲン光源７と導光部材１４Ａとを１対１に対応させ、キセノン光源２やハロゲン光源７をランプを交換したり、ランプに流れる電流を調整したりすることにより、左右両側のキセノン光源２およびハロゲン光源７から出射される光量を制御して、導光部材１４Ａからの出力光量を個別に精度よく制御することができる。また同様に、左右両側のエアマスフィルタ５およびエアマスフィルタ１０と導光部材１４Ａとを１対１に対応させ、左右両側のエアマスフィルタ５およびエアマスフィルタ１０を、光透過率の異なるエアマスフィルタに取替えて、一体化した導光部材１４Ａに入射される光量を制御して、一体化した導光部材１４Ａからの出力光量を個別に精度よく制御することができる。

このように、左右両側のキセノン光源２およびハロゲン光源７と導光部材１４Ａとを１対１に対応させ、かつ、左右両側のエアマスフィルタ５およびエアマスフィルタ１０と導光部材１４Ａとを１対１に対応させたため、従来のように、ランプ光源からの出射光を多数のミラーにより被照射物に照射する照度を面全体で均一に調整するものに比べて、照射面への照度の調整に時間を要することなく、被照射物１３の照射面に対して精度のよい照度の調整が可能となって、被照射物１３の照射面に対する均一な照度を得ることができる。

次に、第１光照射装置６および第２光照射装置１１のいずれか一方を用いるかまたは、別の一つの光照射装置を用いて、左右両側のランプ光源と導光部材１４Ａとを１対１に対応させ、かつ、左右両側のエアマスフィルタと導光部材１４Ａとを１対１に対応させた方が、光照射装置が一つになった分だけ光量調整がさらに容易になる。これを図１０（ａ）および図１０（ｂ）に示している。

図１０（ａ）に示すように導光部材１４Ａと左右両側の光源ランプ２Ｃとを一対一に対応させ、ランプを交換したり電流を調整することにより、左右両側の光源ランプ２Ｃからの出力光量を個別に制御することができる。この場合、もちろん、光透過率の異なるエアマスフィルタ１０Ｃ（スペクトル調整用フィルタ）に取替えて導光部材１４Ａに入射される光量を調節することもできる。

また、図１０（ｂ）に示すように導光部材１４Ａに対して、分割せず光源ランプ２Ｄのように一括照射型とし、各導光部材１４と左右両側のエアマスフィルタ１０Ｄとを一対一に対応させ、左右両側のエアマスフィルタ１０Ｄ（スペクトル調整用フィルタ）だけを取替えて左右両側の各フィルタ透過率を個別に制御するようにしてもよく、または透過率制御用に補正用のフィルタを、左右両側のエアマスフィルタ１０Ｄ（スペクトル調整用フィルタ）とは別に各光透過フィルタを追加することによっても、導光部材１４Ａに両側から入射する光量を抑えて調整することができる。

図１０（ａ）のハロゲン光源２Ｃおよび反射部材３Ｃの代わりに、図２のキセノン光源２、反射部材３ａおよび開口板３ｂを用いてもよい。また、図１０（ｂ）のハロゲン光源２Ｄおよび反射部材３Ｄの代わりに、キセノン光源、反射部材３ａおよび開口板３ｂを用いてもよい。これらの場合にも、前述したように、反射部材３ａに、所定幅ｄでライン状（短冊状）の遮光部材３２を取り付けることにより、照射光量を制御してテーパ導光部材４の下端面に入射させることができる。

また、光量調整の具体例として平面視両端側の光量を増やして照射光量を照射面全体で均一にする場合について更に説明する。なお、これを、第１光照射装置６および第２光照射装置１１のいずれか一方を用いるかまたは、別の一つの光照射装置を用いた図１１（ａ）および図１１（ｂ）の場合にも、適用することができるが、ここでは、図１の擬似太陽光照射装置１の場合について説明する。

図１１は、図８の擬似太陽光照射装置１Ａの平面図である。

左右両側の第１光照射装置６、左右の第２光照射装置１１および真ん中の第４光照射装置１５Ａを１ユニットとして、これを前後方向に８セット設けているが、前後方向の両端（最も手前と最も奥側）の照射光量が少なくなる傾向にあるので、図４の平面図の場合と同様、図１１の平面図に示すように、両端側の照射光量をそれ以外の中央部側の照射光量よりも、被照射物１３への照射光量が均一になるように、ここでは増やしている。ここでは、キセノン光およびハロゲン光を共に増やしているが、ハロゲン光のみについて説明する。この前後方向の両端側において、上記ハロゲン光源７を少し大きい出力のハロゲン光源７Ａを用いることができるようにしている。

この擬似太陽光照射装置１Ａには、前後方向の両端側において、上記ハロゲン光源７よりも出力光量が高いハロゲン光源７Ａと、ハロゲン光源７Ａを収容する内面が反射面の反射部材８Ａと、この反射部材８Ａの内面で反射したハロゲン出射光をその一方端面から取り込んで内部を伝搬させることにより指向性を良くするテーパ導光部材９と、このテーパ導光部材９の他方端面からのハロゲン出射光をフィルタリングして長波長側の擬似太陽光とする第２光学フィルタとしてのエアマスフィルタ１０とを有する左右二つの第２光照射装置１１Ａを設けた構成とする。この場合、反射部材８Ａ、テーパ導光部材９およびエアマスフィルタ１０は、ハロゲン光源７Ａの出力光量に適合したものとし、出力光量に適合していれば、反射部材８、８Ａは同じものであってもよい。

また、本実施形態２の擬似太陽光照射装置１Ａにおいて、上記左右の第２光照射装置１１および第４光照射装置１５Ａがユニット化されて、例えば８ユニットが前後方向に並べられて設けられているが、少なくともユニットは、照射強度（光量）が調整できるように、出力光量の異なるランプまたは、光透過率の異なるエアマスフィルタ５（スペクトル調整用フィルタ）を取替え可能としておくことにより、導光部材１４Ａに入射する照射強度（光量）を個別に調整可能とすることができる。前記した上記ハロゲン光源７とこれよりも出力光量が高いハロゲン光源７Ａとの取り付け部を設けることにより、出力光量の異なる光源を取替え自在にしておけばよい。

次に、光量調整の具体例として両端側以外の光量を減らして照射光量を照射面全体で均一にする場合について更に説明する。本具体例は、図１０（ｂ）の形態において特に有効である。

前後方向の両端側以外において、開口板３ｂの開口部３１と反射部材の間に、所定幅ｄでライン状（短冊状）の遮光部材３２を取り付けることにより、照射光量を減らしてテーパ導光部材４の下端面に入射させることができる。これによって、両端側以外の中央部分の照射光量を、両端側の照射光量よりも減らして、被照射物１３への照射光量が照射面全体で均一にすることができる。

以上により、本実施形態２によれば、上記実施形態１の場合と同様に、光量調整部材としての遮光部材３２が、開口部材としての開口板３ｂの開口部３１と、反射部材の間に配置され、遮光部材３２の幅サイズに応じて、スペクトル調整された光の出射光量調整を行うため、面照射用の導光部材１４Ａから被照射物１３への出射光の位置によるバランスを調整する際に、面照射用の導光部材１４Ａに光を入射させるまでの途中の光学系の状態を変えないで、途中の光学系に入る前の光量だけを調整して、被照射物１３への照射光量を調整することができる。つまり、擬似太陽光を被照射物１３に照射する際に、照射光のスペクトル分布を固定した後でも、そのスペクトル分布を変えることなく、照射光量だけを調整することができる。

また、少なくとも一つの光源（キセノン光源２やハロゲン光源７など）および光学素子としての光学フィルタ（エアマスフィルタ５や１０など）と導光体１４または１４Ａとが一対一に対応し、面照射用の導光体１４または１４Ａの照射領域と被照射物１３への一部照射面（小照射面）とが対応しているため、面照射用の導光体１４または１４Ａ内に入射する光量を変更することにより、被照射物１３への一部照射面（小照射面）の照度調整を精度よく行うことができる。具体的には、光源としてのランプ毎の出力を調整したり、光学フィルタとして透過率の異なるエアフィルタに変更したりして、被照射物１３への一部照射面（小照射面）の照度調整を精度よく行うことができる。また、前後方向両端の面照射用の導光体１４または１４Ａに対応する光源出力を高くすることにより、被照射物１３への照射面のうち照射領域端部の照度低下を防ぐことができる。したがって、被照射物１３への照射面が広範囲になっても、従来のように被照射物１３への照射面の照度の調整に時間を要することなく、被照射物１３への照射面に対して精度のよい均一な照度を素早く得ることができる。

また、キセノン光とハロゲン光をスペクトル調整して混合して得られる擬似太陽光が入射される導光部材１４，１４Ａのパターン（散乱体）により、導光１４，１４Ａからは均一照度の光を照射することができるが、被照射物１３としての太陽電池パネルに照射する照射面を複数に仮想分割して、その分割した小照射面に対応して各導光部材１４，１４Ａがそれぞれ配置されているため、各導光部材１４，１４Ａに対する小照射面の照射光量のみを調整することにより、複数の小照射面全体の照度の均一化が容易かつ確実に素早く実現できる。太陽電池パネルが大面積であれば、それに合わせて光学系を複数並べることにより、大面積であっても、均一照度の照射光を容易かつ確実に素早く作り出すことができる。また、ランプ交換時、ランプの個体差によるランプ単体での照度ムラがあっても、ユニット化した光学系毎の光量を調整するだけで、均一な照射光を得ることができるので、再調整は必要なくなる。

本実施形態１、２では、特に詳細には説明しなかったが、導光部材１４、１４Ａには散乱体（パターン）が印刷されており、導光部材１４、１４Ａに入射した光は散乱体で散乱され、被照射物１３としての太陽電池パネルに均一に面照射される。この導光部材１４、１４Ａの散乱体（パターン）は、照射面全体で照度が均一になるようなパターンを有して印刷されている。太陽電池パネルを設置する照射面上で左右に照度ムラが発生した場合には、ユニット化した左右の光源光学系（１ユニット）毎の出力光量を調整することによって、照度ムラを容易かつ確実に低減することができる。左右の光源光学系の導光体１４、１４が導光体１４Ａのように一体であると、照射面上で照度ムラが発生した場合には、一体化した光源光学系の導光体１４Ａからの照射光は照射面全体に照射されるので、光量調整のみでは、左右の光源光学系の導光体１４、１４に比べて、照射面上の照度を部分的に調整することが難しくなる。また、導光体１４Ａとして左右の導光体１４、１４が一体化すれば、より広い面積で均一な光を作り出し、更に導光体の両端から入射しても均一な光が照射されるような散乱体の印刷パターンが必要となるので、印刷パターンの設計も困難となるため、左右の導光体１４、１４の一体化は、均一光を作るのに支障のない程度の射射面積において行う必要がある。左右の導光体１４、１４の方がそれらを一体化したものよりも、照射面上での照度ムラ調整が容易になる。更に、太陽電池パネルが大型化すれば、本発明の光学系を多数並列するだけで、広範囲の均一光を作り出すだけでなく、各光学系にある光源光学系からの照射光量を調整するだけで、大面積であっても照射面上での照度を均一に調整することが可能となる。

なお、上記実施形態１では、特に説明していないが、擬似太陽光照射装置１において、発光波長帯の異なる少なくとも一つの光源（キセノンランプ２またはハロゲンランプ７、それ以外のランプ）と、少なくとも一つの光源からの出射光に所定のスペクトル分布を与える光学素子としての光学フィルタ（エアマスフィルタ５またはエアマスフィルタ１０、それ以外のエアマスフィルタ）と、この光学素子を介して得られた出射光を伝搬させて被照射物１３に対して面照射する導光体１４または１４Ａとを有した光学系が複数配設され、少なくとも一つの光源および光学素子と導光体１４または１４Ａとが一対一に対応し、少なくとも一つの光源および光学素子のうちの少なくともいずれかを調整することにより導光体１４または１４Ａに入射する光量を、光学系毎に個別に調整可能として、複数の光学系の各導光体１４または１４Ａにより被照射物１３の被照射面全体に照射されるようになっている。これによって、照射面が広範囲になっても、照射面の照度の調整に時間を要することなく、照射面に対して精度のよい均一な照度を得ることができる本発明の目的を達成することができる。

上記実施形態１では、この光学系は、図２に示すように、第１光源（キセノンランプ２）と、第１光源からの出射光を一方端面から取り込んで指向性が高められた光を他方端面から出射する第１導光部材（テーパ導光部材４）と、第１導光部材の他方端面から出射される光のスペクトルを調整する第１光学フィルタ（エアマスフィルタ５）とを有する第１光照射装置６と、第２光源（ハロゲンランプ７）と、第２光源からの出射光を一方端面から取り込んで指向性が高められた光を他方端面から出射する第２導光部材（テーパ導光部材９）と、第２導光部材の他方端面から出射される光のスペクトルを調整する第２光学フィルタとを有する第２光照射装置１１と、第１光照射装置６からの光と第２光照射装置１１からの光を混合して太陽光に類似した擬似太陽光を得る光混合部材１２と、光混合部材１２からの擬似太陽光を一方端面から取り込んでその内部を伝搬させて被照射物１３に対して指向性の高い光を平坦面から均一に面照射する第３導光部材（導光部材１４）とを有する第３光照射装置１５とが設けられている場合について説明した。これに限らず、光学系は、図９に示すように、第１光源（キセノンランプ２）と、第１光源から出射される光のスペクトルを調整する前記光学素子としての第１光学フィルタ（エアマスフィルタ５）とを有する第１光照射装置６と、第２光源（ハロゲンランプ７）と、第２光源から出射される光のスペクトルを調整する該光学素子としての第２光学フィルタ（エアマスフィルタ１０）とを有する第２光照射装置１１と、第１光照射装置６からの光と第２光照射装置１１からの光を混合して太陽光に類似した擬似太陽光を得る光混合部材１２と、光混合部材１２からの擬似太陽光を一方端面から取り込んでその内部を伝搬させて被照射物１３に対して指向性の高い光を平坦面から均一に面照射する第３導光部材１４とを有する第３光照射装置１５とが設けられていてもよい。ここでは、上記実施形態１の場合と比べて、第１導光部材（テーパ導光部材４）と第２導光部材（テーパ導光部材９）とがないだけである。

上記実施形態１では、第１光照射装置６、第２光照射装置１１および第３光照射装置１５を１ユニットとし、１ユニット同士を左右方向に対向配置して、第３光照射装置１５の第３導光部材（導光部材１４）の他方端面同士を当接した２ユニットを、被照射物１３のサイズに応じて、前後方向に複数並べて配置する。これに対して、上記実施形態２では、第１光照射装置６、第２光照射装置１１および光混合部１２を配置した左側セットと、第１光照射装置６、第２光照射装置１１および光混合部１２を配置した右側セットとの間に、左側の光混合部１２からの混合光を一方端面から取り込んでその内部を伝搬させると共に、右側の光混合部１２からの混合光を他方端面から取り込んでその内部を伝搬させて被照射物１３に対して指向性の高い光を平坦面から均一に面照射する第４導光部材（導光部材１４Ａ）が設けられ、これを１ユニットとし、被照射物１３のサイズに応じて、１ユニットが前後方向に複数並べてられて配置されている。

次に、上記光学系は、第１光源（キセノンランプ２またはハロゲンランプ７、その他のランプ）と、この第１光源からの出射光を一方端面から取り込んで指向性が高められた光を他方端面から出射する導光部材（テーパ導光部材４またはテーパ導光部材９、その他のテーパ導光部材）と、この導光部材の他方端面から出射される光のスペクトルを調整する光学フィルタ（エアマスフィルタ５またはエアマスフィルタ１０、それ以外のエアマスフィルタ）とを有する光照射装置と、この光照射装置からの太陽光に類似した擬似太陽光を一方端面から取り込んでその内部を伝搬させて被照射物１３に対して指向性の高い光を平坦面から均一に面照射する面照射用の導光部材１４または１４ａとが設けられていてもよい。この導光部材（テーパ導光部材４またはテーパ導光部材９、その他のテーパ導光部材）を用いない場合であってもよい。即ち、上記光学系は、第１光源（キセノンランプ２またはハロゲンランプ７、その他のランプ）と、この第１光源から出射される光のスペクトルを調整する光学素子としての光学フィルタとを有する光照射装置と、この光照射装置からの太陽光に類似した擬似太陽光を一方端面から取り込んでその内部を伝搬させて被照射物に対して光を平坦面から均一に面照射する面照射用の導光部材とが設けられていてもよい。

以上の場合も、前述したように、上記実施形態１のように、上記光照射装置および上記面照射用の導光部材を有する光学系を１ユニットとし、１ユニット同士を左右方向に対向配置して、面照射用の導光部材の他方端面同士を当接した２ユニットを、被照射物１３のサイズに応じて、前後方向に複数並べて配置されている。また、上記実施形態２のように、上記光照射装置を左右に配置し、左側の光学フィルタからの光を一方端面から取り込んでその内部を伝搬させると共に、右側の光学フィルタからの光を他方端面から取り込んでその内部を伝搬させて被照射物１３に対して光を平坦面から均一に面照射する面照射用の導光部材１４または１４ａが設けられ、これを１ユニットとし、被照射物１３のサイズに応じて、１ユニットが前後方向に複数並べてられて配置されていてもよい。

なお、本実施形態２では、特に説明していないが、上記実施形態１の場合と同様、反射部材３ａに、所定幅ｄでライン状（短冊状）の遮光部材３２を取り付けたり、開口部３１自体の大きさを変化させることにより、面照射の導光部材１４Ａからの出射光量のバランスを調整する際に、導光部材１４Ａに両側から光を入射させるための途中の光学系の状態を変化させないで、光量だけを変化させることができる。つまり、擬似太陽光のスペクトル分布を固定した後でも、擬似太陽光のスペクトル分布を変化させることなく、導光部材１４Ａからの出射光量を調整することができる。

なお、本実施形態１、２では、第１光照射装置６と、第２光照射装置１１と、第３光照射装置１５または１５Ａとのセットが複数設けられ、第１テーパ導光部材４同士および第２テーパ導光部材９同士がそれぞれ隣接して並べられており、隣接した第１テーパ導光部材４間および／または、隣接した第２テーパ導光部材９間に遮光部材が配置されている擬似太陽光照射装置１または１Ａについて説明したが、これに限らず、第１光照射装置６および第２光照射装置１１のうちのいずれかからの擬似太陽光を一方端面から取り込んでその内部を伝搬させて被照射物３に対して指向性の高い光を平坦面から均一に面照射する面照射用の導光部材１４または１４Ａを有する擬似太陽光照射装置としてもよい。

以上のように、本発明の好ましい実施形態１、２を用いて本発明を例示してきたが、本発明は、この実施形態１、２に限定して解釈されるべきものではない。本発明は、特許請求の範囲によってのみその範囲が解釈されるべきであることが理解される。当業者は、本発明の具体的な好ましい実施形態１、２の記載から、本発明の記載および技術常識に基づいて等価な範囲を実施することができることが理解される。本明細書において引用した特許、特許出願および文献は、その内容自体が具体的に本明細書に記載されているのと同様にその内容が本明細書に対する参考として援用されるべきであることが理解される。

本発明は、被照射物に対して指向性の高い光を照射するための光照射装置および、この光照射装置を用いて被照射物に対して擬似太陽光を照射する擬似太陽光照射装置、この擬似太陽光照射装置を用いて太陽電池パネルの出力特性を測定して良否判定を行う太陽電池パネル用検査装置の分野において、第１光源の出射光を取り出す開口部毎に光量調整部材が配置され、光量調整部材により、スペクトル調整された光の出射光量調整が行われるため、面照射用の導光部材から被照射物への出射光の位置によるバランスを調整する際に、面照射用の導光部材に光を入射させるまでの途中の光学系の状態を変えないで、照射光量だけを調整することができる。つまり、擬似太陽光を被照射物に照射する際に、照射光のスペクトル分布を固定した後でも、そのスペクトル分布を変えることなく、照射光量だけを調整することができる。

１、１Ａ 擬似太陽光照射装置
２ キセノン光源
３ａ 反射部材
３ｂ 開口板
３１ 開口部
３２ 遮光部材
４ テーパ導光部材
５ エアマスフィルタ（第１光学フィルタ；スペクトル調整用フィルタ）
６ 第１光照射装置
７，７Ａ，２Ｃ，２Ｄ ハロゲン光源
８，８Ａ，３Ｃ，３Ｄ 反射部材
９，９Ｃ，９Ｄ テーパ導光部材
１０，１０Ｃ，１０Ｄ エアマスフィルタ（第２光学フィルタ；スペクトル調整用フィルタ）
１１ 第２光照射装置
１２ 光混合部（波長選択ミラー）
１３ 被照射物（太陽電池パネル）
１４，１４Ａ 導光部材
１５ 第３光照射装置
１５Ａ 第４光照射装置

Claims (9)

1. 第１光源と、該第１光源からの出射光を反射させる第１反射部材と、該第１反射部材の反射前方側に配設されて、該光源の出射光を取り出す開口部が形成された開口部材と、該開口部材の開口部からの出射光を一方端面から取り込んで指向性が高められた光を他方端面から出射する第１導光部材と、該第１導光部材の他方端面から出射される光のスペクトルを調整する第１光学フィルタとを有し、該開口部毎に光量調整部材が短冊状の遮光部材として該開口部の一部と重なるように配置され、該光量調整部材によりスペクトル調整された光の出射光量調整が行われている光照射装置。
2. 前記光量調整部材は、前記開口部材の開口部と、前記反射部材の間に配置されている請求項１に記載の光照射装置。
3. 前記光量調整部材は、前記反射部材の対向辺に掛け渡されて固定された所定幅の遮光部材であって、該所定幅の幅サイズに応じて前記出射光量調整が行われる請求項２に記載の光照射装置。
4. 前記光量調整部材は、波長依存性を持たない金属を黒色化した遮光部材である請求項２に記載の光照射装置。
5. 請求項１〜４のいずれかに記載の光照射装置からの擬似太陽光を一方端面から取り込んでその内部を伝搬させて被照射物に対して光を平坦面から面照射する面照射用の導光部材を有する擬似太陽光照射装置。
6. 請求項１〜４のいずれかに記載の光照射装置である第１光照射装置と、
   第２光源と、該第２光源からの出射光を反射させる第２反射部材と、該第２反射部材からの出射光を一方端面から取り込んで指向性が高められた光を他方端面から出射する第２導光部材と、該第２導光部材の他方端面から出射される光のスペクトルを調整する第２光学フィルタとを有する第２光照射装置と、
   該第１光照射装置からの光と該第２光照射装置からの光を混合して太陽光に類似した擬似太陽光を得る光混合部材と、該光混合部材からの擬似太陽光を一方端面から取り込んでその内部を伝搬させて被照射物に対して光を平坦面から均一に面照射する第３導光部材とを有する第３光照射装置とのセットが複数設けられている擬似太陽光照射装置。
7. 前記第１光照射装置、前記第２光照射装置および前記第３光照射装置を有する前記光学系を１ユニットとし、該１ユニット同士を左右方向に対向配置して、該第３光照射装置の第３導光部材の他方端面同士を当接した２ユニットを、前記被照射物のサイズに応じて、前後方向に複数並べて配置されている請求項６に記載の擬似太陽光照射装置。
8. 前記第１光照射装置、前記第２光照射装置および前記光混合部を配置した左側セットと、該第１光照射装置、該第２光照射装置および該光混合部を配置した右側セットとの間に、左側の光混合部からの混合光を一方端面から取り込んでその内部を伝搬させると共に、右側の光混合部からの混合光を他方端面から取り込んでその内部を伝搬させて被照射物に対して光を平坦面から均一に面照射する第４導光部材が前記第３導光部材に代えて設けられ、これを１ユニットとし、被照射物のサイズに応じて、該１ユニットが前後方向に複数並べてられて配置されている請求項６に記載の擬似太陽光照射装置。
9. 請求項５〜８のいずれかに記載の擬似太陽光照射装置を用いて太陽電池パネルの出力特性を測定して良否判定を行う太陽電池パネル用検査装置。