JP5271080B2 - 封じ込められた誘電体電極を有するマイクロキャビティプラズマ素子からなるアレイ - Google Patents
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Description
本発明の様々な特徴は、特許請求の範囲に記載されている。
Claims (19)
- 中に複数のマイクロキャビティ(12)を含む導電性薄膜からなり、酸化物(15)で封じ込めているとともに、前記マイクロキャビティの直径が500μm未満である第1の電極(16)と、
酸化物(19)で封じ込められた導電性薄膜からなるとともに、当該導電性薄膜は、前記第1の電極におけるマイクロキャビティとは位置合わせされていないマイクロキャビティを有する導電性薄膜からなるか、又は、酸化物中に封じ込められたマイクロキャビティを有さず、固体導電性薄膜からなる第2の電極(18)であって、前記第1及び第2の電極が当該第1及び第2の電極の間で位置合わせされることなく互いに接合され、酸化物が前記第1の電極の導電性薄膜と、当該第2の電極の導電性薄膜と、の間での電気的接触を防いでいる前記第2の電極と、
前記マイクロキャビティ内に放電媒質を収容できる収容層(24、28、34)と、
を備える、マイクロキャビティプラズマ素子アレイ。 - 前記第1及び第2の電極、酸化物及び収容層は、前記アレイをフレキシブルにするために十分な薄さである、請求項1に記載のアレイ。
- 前記第1及び第2の電極がアルミニウム箔を備え、前記酸化物が酸化アルミニウムを備える、請求項1に記載のアレイ。
- 前記第1及び第2の電極がチタン箔を備え、前記酸化物が酸化チタンを備える、請求項1に記載のアレイ。
- 前記収容層が、可視光スペクトル内で実質的に透過性である、請求項1に記載のアレイ。
- 前記収容層が光学フィルタを備える、請求項1に記載のアレイ。
- 前記第1及び第2の電極の各々内にマイクロキャビティを備える、請求項1に記載のアレイ。
- 前記収容層がガラスを備える、請求項1に記載のアレイ。
- 前記収容層がポリマー真空パッケージングを備え、前記放電媒質が、略大気圧で前記アレイ内に収容されている、請求項1に記載のアレイ。
- 前記第1の電極の酸化物上に第1の誘電体薄膜をさらに備える、請求項1に記載のアレイ。
- 前記第2の電極の酸化物上に第2の誘電体薄膜をさらに備える、請求項10に記載のアレイ。
- 前記第1及び第2の誘電体薄膜がガラスを備える、請求項11に記載のアレイ。
- 前記第2の電極がキャパシタ(18a、18b、18c)を備える、請求項1に記載のアレイ。
- マイクロキャビティプラズマ素子アレイを製造する方法であって、
それぞれの直径が500μm未満である複数のマイクロキャビティを有する第1の導電性薄膜を用意するステップと、
前記複数のマイクロキャビティを有する第1の導電性薄膜を酸化物で封じ込めて第1の電極を形成するステップと、
第2の導電性薄膜を酸化物で封じ込めて第2の電極を形成するステップと、
前記第1及び第2の電極をロールトゥロール処理により前記第1及び第2の電極の間で位置合わせさせることなく互いに接合するステップと、
放電媒質を前記アレイ内に収容するステップと、
を備え、
前記第2の電極は、前記第1の電極におけるマイクロキャビティとは位置合わせされていないマイクロキャビティを有する導電性薄膜から形成するか、又は、酸化物中に封じ込められたマイクロキャビティを有さない導電性薄膜から形成する、
方法。 - 前記第1及び第2の導電性薄膜がアルミニウム箔を備え、前記酸化物が酸化アルミニウムを備える、請求項14に記載の方法。
- 前記第1及び第2の導電性薄膜がチタン箔を備え、前記酸化物が酸化チタンを備える、請求項14に記載の方法。
- 前記第1及び第2の導電性薄膜を封じ込める酸化物が、誘電体薄膜で追加的に被覆される、請求項14に記載の方法。
- 前記誘電体薄膜がガラスを備える、請求項17に記載の方法。
- 前記収容するステップが、前記アレイ内に放電媒質を収容するために、前記第1及び第2の電極を真空パッケージングすることを備える、請求項14に記載の方法。
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