JP5254159B2 - 板ガラスの製造方法 - Google Patents

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Description

本発明は、請求項1の前提部分に記載の板ガラスの製造方法に関する。
フロート法による板ガラス、いわゆるフロートガラスの製造は、前世紀以来知られており、実質的に、ピルキントン社の基本的な保護権(特許文献1、特許文献2)に基づいている。
フロート法では、溝によって作業槽から導かれる液状ガラスを、溶融金属、一般的にはスズからなるバス上に流す。ガラスの流量は、可動ダンパーによって調節され、ダンパーの調整によって、特に、ガラスの厚みも調整される。ガラスの流れ方向に見てダンパーの後方には、スパウトのリップがある。スパウトのリップからは、ガラス溶融物が連続的にメタルバスに流れる。そこでは、ガラス溶融物が、寸法安定性のあるガラスリボンに成形されて、固化する。続いて、固化したガラスリボンは、メタルバスから除去される。この目的のために、フロートバスタンクの後方には、リフト機構が設けられている。
この方法で製造され、通常は1.5mmより小さい厚みを有するフロートガラスは、薄ガラス基板として、フラットパネルディスプレイ、例えば、プラズマディスプレイパネル(PDP=Plasma Display Panel)、電界放出ディスプレイ(FED=Field Emission Display)、TFT液晶ディスプレイ(TFT=Thin Film Transistor)、STN液晶ディスプレイ(STN=Super Twisted Nematic)、プラズマ支援液晶ディスプレイ(PALC=Plasma Assisted Liquid Crystal)、エレクトロルミネッセンスディスプレイ(EL)等の製造のために、または薄膜太陽電池の製造のために用いられる。
フラットパネルディスプレイでは、ディスプレイのタイプに従って、2つのガラスシートの間に、液晶化合物の薄い層が挿入されるか、裏面ガラスシートの前面および前面ガラスシートの裏面に誘電層が形成される。これらの誘電層から、セルが成形され、セルには、蛍光物質が入れられる。
この場合に重要であるのは、特にディスプレイスクリーンの寸法が大きい場合に、妨害的な、色の混じり(Farbverfaelschungen)または類似性のずれ(Aehnlichkeitsabweichungen)が生じないように、液晶層の厚みまたは誘電層の厚みが正確に維持されることである。現在では約30μmの層の厚みが、ますます小さくなり、ディスプレイスクリーンがますます大きくなるので、この条件の重要性が増大する。
フロートガラスの表面の質は、トップスペックとも呼ばれる表面の欠陥によって損なわれる。トップスペックは、スズバスの使用の際に、スズ含有粒子、例えば、スズの粒子または酸化スズの粒子の、ガラスリボン上での沈殿によって引き起こされる。フロートバスの上方の雰囲気は、内部空間がフォーミングガス(典型的な組成、5〜8体積%H、残りは窒素)でフラッシングされているにも拘わらず、スズバスに浸入し、かつそこで酸化スズの粒子を形成する酸素の残量を含む。バスの温度が増すにつれて、酸化スズまたはスズが蒸発し、雰囲気を富化させる。その結果、スズ含有の粒子が、ガラスリボン上に沈殿し得る。
表面のこのような欠陥を回避するために、ガラスリボンの上方の汚染された雰囲気を阻止するための種々の措置を講じねばならない。一方では、特に、酸素が外側からフロートバスハウジングの内部に浸入してはならず、他方では、万一酸素があっても、その酸素がスズバスの表面に接触してはならない。
表面の欠陥のほかに、ガラスリボンの下側にも、開いた泡が生じることがある。開いた泡は、ガスを形成する反応によって、ガラスリボンの表面にまたはその下方に生じる。
成形の初めには、ガラスの粘性が低いので、ガラスの下方でのガスの形成の際に、下方が開いた泡がガラスの中に押し込まれる。固化工程では、開いた泡が保たれ、望ましくないガラス欠陥を形成する。このような泡は、BOS(bottom open seeds)とも呼ばれる。
例えばLCDディスプレイ使用のための、無アルカリ特殊ガラスは、今日では、フロート法でも製造される。ガラス上に付着される小型の電子構造の故に、最小の表面欠陥でも問題を生じる。下面の開放した泡の直径は、典型的には、50μm未満であり、深さは、10μm未満である。研磨によって、開放泡を除去することができる。この仕上げ加工は、かなりのコストをも意味する。
特許文献3は、ガラスから漏れる水であって、スズ中の余りに高い水素濃度によってスズの中に溶解されない、ガラスから漏出する水の相互作用の結果として、ガラスの下部に泡が生成することを記載する。ガラスからの水の拡散は、ガラス中の電界強度によって影響を受ける。TiO、酸化エルビウムまたはネオジムの添加によって、電界強度が高められ、これによって、水の拡散が減少される。このことは、欠陥の形成の減少をもたらす。
特許文献4は、フロートバスの熱い領域でフォーミングガラスの水素濃度を3体積%未満に調整することによって、特許文献3に記載の泡の形成を阻止する方法を記載する。この方法により、スズ中の水素濃度は、ガラスからの水素がスズ中に溶解し得、かくして、泡の形成が阻止されるまで、低下される。
この従来の技術とは逆に、特許文献5には、50体積%より多くが不活性ガスからなり、残りが還元性ガス、特に水素からなる、保護ガスの雰囲気が提案される。保護ガスの好ましい組成としては、85%の窒素および15%の水素、3〜10%の水素および残りの窒素、2〜8%の水素および残りの窒素、並びに0.25〜3%のHおよび残りの窒素が挙げられる。特に、水素成分がより少ない場合には、フロートバスハウジングの内側における種々の水素濃度が調節される。
特許文献6では、88〜95%の窒素および5〜12%の水素を有する保護ガスが提案されている。
US 3,083,551 DE 147 19 50 US2004/0110625 A1 US2004/0107732 A1 US 3,337,322 US 5,364,435
本発明の課題は、トップスペックおよびBOSの数および大きさを減少させることである。
上記課題は、請求項1の特徴事項により解決される。
BOSのパーセンテージ数/mの、14日間に亘る推移を示す。 トップスペックのパーセンテージ数の、6週間に亘る推移を示す。
記号Nmは、保護ガスの標準立方メートルを意味する。標準立方メートルは、1.01325barの圧力(絶対)と、0%の湿度(乾燥ガス)と、15℃の温度(ISO2533)の際の1立方メートルのガスに対応する量である。
フロートバスハウジングの自由内部体積は、フロートバスハウジングの内部における体積であって、保護ガスによって満たされることができ、かつガラスリボンの表面あるいはスズバスの表面の上で、ヒータを保持するための通常のつり屋根の下にある体積を意味する。
フロートバスハウジングの自由内部体積1mにつき少なくとも0.2Nm/minの保護ガスを導入することによって、保護ガス容積の迅速な交換がなされる。保護ガスは、単位時間あたり同一量で導出され、特に、フロートバスハウジングから吸引される。
純数学的には、tmit,theo≦1.2minの時間で、フロートバスハウジングの自由内部体積に相当する保護ガス容積が交換される。
平均的の理論的交換時間tmit,theo[単位min(分)]を計算するために、自由フロートバス体積[単位m]を、作動状態において供給されたフォーミングガス流量V´i.B.[単位m/min]で割る。通常は、測定されたフォーミングガス流量は、標準状態では、V´i.N.[単位Nm/min]として表示される。標準状態でのフォーミングガス流量から、作動状態にあるフォーミングガス流量を得るためには、標準状態のフォーミングガス流量に、フロートバスにおける平均的のフォーミングガスの絶対温度Ti.B.mit[単位K]を掛け、フォーミングガス流量を、標準状態での絶対温度Ti.N.[単位K](すなわち、ISO2533に基づいて288.15K)で割らねばならない。従って、
mit.theo=Vfrei,FB/V´i.B=Vfrei,FBi.N./V´i.N.i.B.mitが成り立つ。
このような迅速なフロートバス雰囲気の交換は、トップスペックおよびBOSの減少をもたらすことが明らかになった。
フロートバスハウジングの自由内部体積1mにつき、少なくとも0.23Nm/minの、特に少なくとも0.26Nm/minの、特に好ましくは少なくとも0.28Nm/minの保護ガスが導入されることが好ましい。
この場合、フロートバスハウジングの自由内部体積の少なくとも80%が、常に保護ガスの交換にかかわれば、十分であることも明らかになった。
保護ガスのための導入・導出手段のタイプ、作動および取付位置に依存して、自由内部体積の少なくとも80%が、フロートバスハウジングの所定の内部空間領域であるか、あるいは、作動中に変化する、例えば移動する内部空間領域であってもよい。
汚損性の粒子の蓄積が生じることがある死空間を防止するために、フロートバスハウジング内にある保護ガス容積全部を、tmit,theo≦1.2minの時間で交換することが好ましい。このことは、好ましくは自由内部空間全部が交換に関与していることを意味する。
交換への関与は、交換がより迅速になされる内部領域があること、および交換がより緩慢になされる他の内部領域があることを排除しない。自由内部体積の少なくとも80%において交換が同じ速さでなされることが好ましい。
自由内部体積1mにつき少なくとも0.2Nm/minの保護ガスを導入、従って導出するとき、異なった空間領域での速さの異なった交換は、有害でないことが明らかになった。
導入および/または導出を連続的にまたは脈動的に行なうことができる。
更に、フロートバスハウジングの少なくとも前半分に、フロートバスハウジングの自由内部体積1mにつき少なくとも0.2Nm/minの流量で保護ガスを導入することが、有利であることが明らかになった。
自由内部体積1mにつき平均で少なくとも0.2Nm/minの流量を導入することが確保されれば、例えば、フロートバスハウジングの前方の領域、すなわち熱い領域で、自由内部体積1mにつき、例えば0.4Nm/minの、より大きな流量を導入し、他の領域で、1mにつき、例えば0.15Nm/minの、より少ない流量を導入することができる。
保護ガスを、空間的に均等に、フロートバスハウジングに導入することが好ましい。
この場合、保護ガスが、フロートバスの全長に亘って、均等に導入され、また好ましくは、全長に亘って均等に吸引される。このことは、フロートバス壁にある適切な吸引手段(いわゆる排出手段)によって、なされる。
フロートバスは、ベイとも呼ばれる複数のフロートバス区域に区分される。各々のフロートバス区域には、単位時間あたり同じ保護ガス量を導入かつ吸引することが好ましい。
≦1.2分の交換時間を達成することができるようにするためには、フロートバスの大きさに依存して、好ましくは、1時間あたり1000Nmまでの量の保護ガスを、フロートバスハウジングに導入することが必要である。≦1.2分の交換時間を遵守することによって、欠陥の数および泡の数を、約1.5分の交換時間の場合の欠陥の数および泡の数の場合の60%まで減じることができた。好ましい交換時間は、≦1分、特に≦0.8分である。交換時間が減少するにつれて、欠陥の数および泡の数を更に減じることができた。
この場合、水素の割合は、5ないし12体積%の通常の範囲にあることが可能である。保護ガスの速い交換時間のプラス効果が、水素成分が、12体積%よりも多く増加することによって、一層増大され得ることが明らかになった。好ましい範囲は、水素成分に関しては、>12ないし14体積%である。フロートバスの熱い前半分のフロートバス区域における水素成分が、≧12ないし14体積%であることは、特に好ましい。このことによって、特にBOS密度を、著しく減じることができることが、確認された。
図1に示したダイアグラムから、自由内部体積1mにつき0.23Nm/minの保護ガス(水素含有量5体積%)の導入により、BOSの平均パーセンテージ数が、約100%であることを読み取ることができる。保護ガス中の水素の割合が13.5体積%に増大されかつ維持されるとき、BOSのパーセンテージ数が、30%未満になる。
図2には、1mあたりのトップスペックのパーセンテージ数が、時間に対してプロットされている。最初の5週間で、自由内部体積1mにつき、0.19Nm/minの保護ガスが導入される。このことは、tmit,theo=1.5分の交換時間に相当する。第6週以降は、導入が、自由内部体積1mにつき、0.28Nm/minの保護ガスに増大された。このことは、数学的な交換時間の30%の減少の、tmit.theo=1分に相当する。トップスペックのパーセンテージ数の、80%未満への著しい減少が確認できる。
前記パーセンテージ表示は、それぞれ、前記時間におけるトップスペック数の平均値に関する。
保護ガスは、水素のほかに、好ましくは窒素、アルゴンおよび/またはヘリウムからなる不活性ガスを含む。
本方法は、以下の組成(以下の全てのデータは、酸化物をベースにした重量%)、すなわち、SiO 70〜85,B 7〜13,NaO+KO+LiO 3〜8,MgO+CaO+SrO 0〜3,Al 2〜7の組成を有する、例えば耐火用途のための、ホウケイ酸塩ガラスを製造するために、
SiO 50〜70,B ≦15,Al 10〜25,MgO 0〜10,CaO 0〜12,SrO 0〜12,BaO 0〜15およびMgO+CaO+SiO+BaO 8〜26,ZnO 0〜10,ZrO 0〜5,TiO 0〜5,SnO 0〜2の組成を有する無アルカリアルミノ(ホウ)ケイ酸塩ガラスを製造するために、
例えば、ディスプレイガラス、特に、SiO >55〜65,B 5〜11,Al >14〜25,MgO 0〜8,CaO 0〜8,SrO 0〜8,BaO ≦10およびMgO+CaO+SrO+BaO 8〜21,ZnO 0〜5,ZrO 0〜2,TiO 0〜3,SnO 0〜2の組成、
殊にSiO >58〜65,B >6〜10.5,Al >14〜25,MgO 0〜<3,CaO 0〜9,BaO >3〜8およびMgO+CaO+BaO 8〜18,ZnO 0〜<2,As不含有、Sb不含有という組成を有し、好ましくはZn酸化物不含有、Ce酸化物不含有、Ti酸化物不含有であるディスプレイガラスの製造のために、特に適切である。
本方法は、更に、
例えば、SiO 55〜69、Al 19〜25,LiO 3〜5,NaO 0〜1.5,KO 0〜1.5,ΣNaO+KO 0.2〜2,MgO 0.1〜2.2,CaO 0〜15,SrO 0〜1.5,BaO 0〜2.5,ΣMgO+CaO+SrO+BaO 6未満,ZnO 0〜1.5,TiO 1〜5,ZrO 1〜2.5,SnO 0から1未満,ΣTiO+SrO+SnO 2.5〜5,P 0〜3の組成を有し、
あるいは、以下の組成、すなわち、
SiO 55〜69
Al 19〜25
LiO 3.2〜5
NaO 0〜1.5
O 0〜1.5
MgO 0〜2.2
CaO 0〜2.0
SrO 0〜2.0
BaO 0〜2.5
ZnO 0〜<1.5
TiO 0〜3
ZrO 1〜2.5
SnO 0.1〜<1
ΣTiO+ZrO+SnO 2.5〜5
0〜3
F 0〜1
0〜2
Nd 0.01〜0.6
を有する、ガラスセラミック用の種々の未加工ガラス(Guenglass)を、
あるいは、SiO 55〜75、Al 15〜30,LiO 2.5〜6,ΣNaO+KO 6未満,ΣMgO+CaO+SrO+BaO 6未満,B 0から4未満,ΣTiO+ZrO 2未満の組成を有するガラスセラミック用の前駆体ガラスを、
あるいは、SiO 60〜72,Al 18〜28,LiO 3〜6,ΣNaO+KO 0.2〜2,ΣMgO+CaO+SrO+BaO 6未満,ZnO 0〜1.5,B 0から4未満,SnO 0.1〜1.5,ΣTiO+ZrO 2未満,P 0〜3,F 0〜2の組成を有するガラスセラミック用の前駆体ガラスを、
製造するために、特に適切である。
本発明に係る方法によって製造され得る他の好ましいガラスは、少なくとも55重量%、好ましくは少なくとも60重量%、特に好ましくは少なくとも64重量%のSiOを有するアルミノケイ酸塩ガラスである。SiOの上限は70重量%であり、特に68重量%未満であり、67重量%以下が特に好ましい。Bは、ガラスに、0重量%から、特に少なくとも0.05重量%の量で含まれ、0.1重量%の最少含量は特に好ましい。ガラス中のBの最大含量は、2重量%であり、1.5重量%が好ましい。
Alは、上記ガラスに、少なくとも18重量%、特に少なくとも19重量%、好ましくは少なくとも20重量%の量で含まれ、最大量は、25重量%、特に24.5重量%であり、24重量%が特に好ましい。
LiOは、上記ガラスに、3ないし高々5重量%の量で含まれ、3.25重量%、特に3.5重量%の最小量は好ましい。LiOの最大量は、最大5重量%、特に最大4.8重量%であり、最大4.75重量%、特に4.6重量%の上限は、特に好ましい。ガラス中のNaOおよびKOの含量は、0ないし最大3重量%であり、NaOに関しては、最大1.5重量%の、好ましくは最大1重量%の上限が好ましい。KOに関しては、好ましい最大量は、1.5重量%、特に1重量%である。ガラス中のアルカリ金属酸化物NaOおよびKOの合計は、0重量%および高々3重量%であり、0.25重量%、特に0.5重量%の最小量および3重量%、特に2.75重量%、好ましくは高々2.5重量%の最大量は、なお適切である。
上記ガラス中のCaOおよびSrOの含量は、それぞれ独立に、0ないし最大2重量%である。ガラス中のSrOおよびCaOの好ましい最小量は、それぞれ独立に、0.1重量%であり、SrOおよびCaOの好ましい最大量は、それぞれ独立に、2重量%、好ましくは1.5重量%である。TiOおよびZrOは、ガラスに、それぞれ、0ないし最大3重量%および1ないし最大2.5重量%の量で含まれる。TiOに関しては、0.5重量%の、好ましくは0.8重量%の最小量および2.75重量%の、特に2.5重量%の最大量が、好ましい。ZrOに関しては、1.5重量%の、しかし特に1.5重量%の最小量は、好ましく、2.25重量%、特に2重量%の最大量も好ましい。SnOは、ガラスに、0.1ないし最大1重量%の量で含まれており、0.15重量%、好ましくは0.18重量%の最小量および0.9重量%、特に0.8重量%の最大量は、好ましい。ガラス中の酸化物TiO、ZrOおよびSnOの合計は、2.5重量%および高々5重量%であり、3重量%、特に3.25重量%の最小量および4.9重量%、特に4.8重量%の最大量は好ましい。
ガラスは、MgOおよび/またはBaOの含量を有する。MgOの含量が0ないし2,2重量%であり、BaOの含量が、独立に、0ないし2.5重量%であることは好ましく、その際、0.05重量%の最小量、特に0.1重量%の最小量および2重量%の最大量は好ましい。更に、ガラスは、ZnOおよび/またはPの含量を含み、ZnOの含量が0ないし<1.5重量%であり、Pの含量が独立に0ないし3重量%であることは適切である。0.05重量%のZnOの最小量、特に、0.1重量%の最小量、1重量%の、特に0.75重量%の最大量は好ましい。Pに関しては、0.5重量%の最小量、特に、1重量%の最小量および2.5重量%、特に2重量%の最大量は、好ましい。ガラスは、0.01ないし0.6重量%の含量で、Ndを含み、最小量としては、0.55重量%が好ましく、0.1重量%が特に好ましい。最大量としては、0.55重量%が好ましく、0.5重量%が特に好ましい。

Claims (12)

  1. 溶融槽内でガラスを溶融し、ガラス溶融物を、フロートバスハウジング内の液状のメタルバス上に注ぎ、ガラスリボンに成形し、前記フロートバスハウジングの自由内部空間に、水素を含有する保護ガスを導入し、前記フロートバスハウジングから導出する、板ガラスの製造方法であって、
    前記保護ガスを前記フロートバスの全長に亘って均等に分配するように前記フロートバスハウジングに導入し、かつ
    前記フロートバスハウジングの自由内部体積1mにつき、少なくとも0.2Nm/minの前記保護ガスを導入することを特徴とする方法。
  2. 前記フロートバスハウジングの自由内部体積1mにつき、少なくとも0.23Nm/minの保護ガスを導入することを特徴とする請求項1に記載の方法。
  3. 前記フロートバスハウジングの自由内部体積1mにつき、少なくとも0.26Nm/minの保護ガスを導入することを特徴とする請求項1または2に方法。
  4. 前記フロートバスハウジングの自由内部体積1mにつき、少なくとも0.28Nm/minの保護ガスを導入することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1に記載の方法。
  5. mit,theo≦1.2minの時間で、前記フロートバスハウジングの自由内部体積に相当する保護ガス容積を交換することを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1に記載の方法。
  6. 自由内部体積の少なくとも80%が、前記保護ガス容積の交換にかかわることを特徴とする請求項5に記載の方法。
  7. 前記保護ガスを連続的にまたは脈動的に導入することを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1に記載の方法。
  8. 前記フロートバスハウジングの自由内部体積1mにつき少なくとも0.2Nm/minの流量で前記保護ガスを、少なくとも前記フロートバスハウジングの前半分に導入することを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1に記載の方法。
  9. 各フロートバス区域に、単位時間あたり同じ保護ガス量を導入しかつ導出することを特徴とする請求項1ないしのいずれか1の記載の方法。
  10. 前記保護ガス中の水素の割合が12体積%より多いことを特徴とする請求項1ないしのいずれか1の記載の方法。
  11. 前記水素の割合が、>12ないし14体積%であることを特徴とする請求項10に記載の方法。
  12. 前記フロートバスの熱い前半分のフロートバス部分における前記水素の割合が、≧12ないし14体積%であることを特徴とする請求項10に記載の方法。
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