JP5250768B2 - 半導体レーザー及び半導体レーザー装置 - Google Patents
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武田和也、河島信樹、"半導体レーザーによる月氷探査ローバーモデルへの100mエネルギー伝送実験"、日本航空宇宙学会論文集、Vol.51,No.594,pp.393−396(2003) H.Yang,L.J.Mawst,M.Nesnidal,J.Lopez,A.Bhattacharya and D. Botez,"10W Near−Diffraction−Limited Peak Pulsed Power from Al−Free,0.98μm−emitting Phase−Locked Antiguided Arrays",Electronics Letters,Vol.33,No.2,pp.136−137(1997)
N(Nは2以上の整数)出力型マルチモード干渉導波路と、
マルチモード干渉導波路の一方の端部に設けられ、光を導波する1以上の光導波路と、
マルチモード干渉導波路の他方の端部に設けられ、レーザー光を導波させるNの光導波路と、
を備え、
Nの光導波路の全部又は一部が、Nの光導波路の各端面において光の位相を整合させるように光位相整合領域を構成し、
1以上の光導波路の端面とNの光導波路の端面との間で共振器が形成されていることを特徴とする半導体レーザー
が提供される。
1の光導波路から導波する光がN分岐される構成を採用することができる。また、Nの光導波路は、マルチモード干渉導波路を介して1の光導波路と対向する位置に設けられる直線導波路をさらに含み、直線導波路と、曲線導波路とが並列して配置され、直線導波路を中心とし、直線導波路の外側に曲線導波路が配置されている構成を採用することもできる。さらに、マルチモード干渉導波路は矩形のマルチモード干渉領域を有し、矩形の一方の辺に1の光導波路が設けられ、対向する他方の辺にNの光導波路が設けられている構成を採用することもできる。位相のずれが生じる位置に配置された導波路が湾曲されていることにより、光の導波する距離を稼ぎ、光の位相のずれを整合させることができる。
上記に記載の半導体レーザーと、
半導体レーザーから出射されたレーザー光が入射されるN(Nは2以上の整数)の導波路からなるフェーズドアレイ領域と、
フェーズドアレイ領域を構成する各導波路に電界を印加して出射光の角度を制御する出射光制御手段と、
を備えることを特徴とする半導体レーザー装置
が提供される。
図1は、本発明の第1の実施の形態に係る半導体レーザーの構成を示す模式図である。本実施の形態の半導体レーザー1は、1×3型マルチモード干渉導波路102と、マルチモード干渉導波路102の一方の端部に設けられ、光を導波する1本の光導波路101と、マルチモード干渉導波路102の他方の端部に設けられ、レーザー光を導波させる3本の光導波路(直線導波路108及び曲線導波路107)と、を備える。3本の光導波路の一部が、各前方端面105において光の位相を整合させるように光位相整合領域103を構成し、光導波路101の後方端面106と3本の光導波路107、108の前方端面105との間で共振器が形成されている。
図5は、本発明の第2の実施の形態に係る半導体レーザー装置の構成を示す模式図である。図5(a)は、第2の実施の形態の半導体レーザー装置の平面図である。本実施の形態の半導体レーザー装置2は、第1の実施形態の半導体レーザー1と、半導体レーザー1から出射されたレーザー光が入射される3本の光導波路からなるフェーズドアレイ領域301と、フェーズドアレイ領域301を構成する各光導波路に電界を印加して出射光の角度θを制御する電極504と、を備える。
図1に示す光位相整合領域を有する半導体レーザーを設計し、試作した。レーザーの波長体は、1.3μm帯とした。光位相整合領域103及び光導波路領域104の長さを1360μm、マルチモード干渉導波路102を340μm、全長2000μmとした。また、光位相整合領域103の長さを500μm、曲線導波路107と直線導波路108との間の距離は17μmとした。
図5で示した半導体レーザー装置2のうち、半導体レーザー1の1×3型マルチモード干渉導波路を1×5型マルチモード干渉導波路に置き換え、出射端に5本の光導波路から構成されるフェーズドアレイ領域を設けた半導体レーザー装置を用意した(図7)。フェーズドアレイ領域301には、アレイ導波路としてLiNbO3導波路を集積し、アレイ導波路の導波路長を100μm、導波路幅を5μm、アレイ数を5本、アレイ間隔を5μmとした。この半導体レーザー装置を用いて、レーザー光の偏向制御をシュミレーションした。各導波路部位相制御にはポッケルス効果を利用した。
2 半導体レーザー装置
100 基板
101 光導波路
102 マルチモード干渉導波路
103 光位相整合領域
104 光導波路領域
105 前方端面
106 後方端面
107 曲線導波路
108 直線導波路
201 基板
202 バッファ層
203 帯発光層
204 クラッド層
205 エッチングストッパ層
206 クラッド層
207 コンタクト層
301 フェーズドアレイ領域
302 スポットサイズ変換器
501 基板
502 光導波路
503 バッファ層
504 電極
505 遷移金属層
Claims (11)
- N(Nは2以上の整数)出力型マルチモード干渉導波路と、
前記マルチモード干渉導波路の一方の端部に設けられ、光を導波する1以上の光導波路と、
前記マルチモード干渉導波路の他方の端部に設けられ、レーザー光を導波させるNの光導波路と、
を備え、
前記Nの光導波路の全部又は一部が、前記Nの光導波路の各端面において光の位相を整合させるように光位相整合領域を構成し、
前記1以上の光導波路の端面と前記Nの光導波路の端面との間で共振器が形成されており、
前記Nの光導波路は、湾曲された曲線導波路を含み、前記曲線導波路の湾曲された領域が前記光位相整合領域を構成し、
前記Nの光導波路の前記各端面が一平面上に沿って形成されていることを特徴とする半導体レーザー。 - 前記1以上の光導波路は、1の光導波路からなり、
前記1の光導波路から導波する光がN分岐されることを特徴とする請求項1記載の半導体レーザー。 - 前記Nの光導波路は、
前記マルチモード干渉導波路を介して前記1の光導波路と対向する位置に設けられる直線導波路をさらに含み、
前記直線導波路と、前記曲線導波路とが並列して配置され、
前記直線導波路を中心とし、前記直線導波路の外側に前記曲線導波路が配置されていることを特徴とする請求項2記載の半導体レーザー。 - 前記マルチモード干渉導波路は矩形のマルチモード干渉領域を有し、
前記矩形の一方の辺に前記1の光導波路が設けられ、対向する他方の辺に前記Nの光導波路が設けられていることを特徴とする請求項3記載の半導体レーザー。 - 前記Nの光導波路が、1×1型マルチモード干渉導波路として構成されていることを特徴とする請求項1乃至4いずれか記載の半導体レーザー。
- 前記1以上の光導波路及び前記Nの光導波路が、シングルモード導波路として構成されていることを特徴とする請求項1乃至4いずれか記載の半導体レーザー。
- 前記1以上の光導波路及び前記Nの光導波路が、2次モードカットオフ導波路として構成されていることを特徴とする請求項1乃至4いずれか記載の半導体レーザー。
- 前記Nの光導波路が、前記マルチモード干渉導波路の端部と接続していることを特徴とする請求項1乃至7いずれか記載の半導体レーザー。
- 前記Nの光導波路の位相整合領域が、前記マルチモード干渉導波路の端部と接続していることを特徴とする請求項8記載の半導体レーザー。
- 前記Nの光導波路が、レーザー光出力導波路として構成されていることを特徴とする請求項1乃至9いずれか記載の半導体レーザー。
- 請求項1乃至10いずれか記載の半導体レーザーと、
前記半導体レーザーから出射されたレーザー光が入射されるN(Nは2以上の整数)の光導波路からなるフェーズドアレイ領域と、
前記フェーズドアレイ領域を構成する各光導波路に電界を印加して出射光の角度を制御する出射光制御手段と、
を備えることを特徴とする半導体レーザー装置。
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