JP5246973B2 - 光インプリント用部材および光インプリント装置 - Google Patents
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- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Description
また、型や被成型物を保持する基板に歪みがあっても、型の転写領域を被成型物に押圧しながら、当該被成型物に光を照射することができるので、型のパターンに被成型物を十分に充填することができ、転写不良が生じるのを防止することができる。
2 押圧部
10 光インプリント用部材
11 光源
12 反射手段
21 押圧面
13A 電極
13B 電極
14 導電手段
31 凹部
100 型
101 転写領域
101a パターン
200 被成型物
300 加圧手段
301 ヘッド
400 載置手段
401 ステージ
Claims (14)
- 型のパターンを被成型物に転写するための光インプリント用部材であって、
前記被成型物に光を照射するための光源を有し、前記型と前記被成形物とが押圧される際に共に加圧される位置に配置される光照射部と、
前記光源の光を透過可能な材料で形成されると共に、前記型の転写領域を前記被成型物に押圧するための押圧面を有する押圧部と、
を具備することを特徴とする光インプリント用部材。 - 前記光源は、複数設けられることを特徴とする請求項1記載の光インプリント用部材。
- 前記光源は、発光ダイオードであることを特徴とする請求項1又は2記載の光インプリント用部材。
- 前記型及び前記被成型物を加圧する加圧手段又は前記型及び前記被成型物を載置する載置手段の少なくともいずれか一方と着脱可能な着脱手段を具備することを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の光インプリント用部材。
- 前記光照射部は金属からなることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の光インプリント用部材。
- 前記光照射部を電源と接続する接続手段を具備し、前記光源の電極の一方は前記光照射部に接続されることを特徴とする請求項5記載の光インプリント用部材。
- 前記光源の電極のうち、前記光照射部と接続されていない電極に接続される導電手段と、前記導電手段と前記光照射部とを電気的に絶縁する絶縁層と、を具備することを特徴とする請求項6記載の光インプリント用部材。
- 前記光照射部は、光を散乱する反射ドットが形成された導光板と、当該導光板の側部から光を照射する光源とを具備することを特徴とする請求項1記載の光インプリント用部材。
- 前記押圧部は石英ガラスからなることを特徴とする請求項1ないし8のいずれかに記載の光インプリント用部材。
- 前記光照射部と前記押圧部は石英ガラスで一体的に形成されることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の光インプリント用部材。
- 前記光照射部は、複数の前記光源の各電極に接続される共通の導電手段を有することを特徴とする請求項10記載の光インプリント用部材。
- 前記押圧部は、前記光源からの光が少なくとも前記型の転写領域全体に照射される厚みを有することを特徴とする請求項1ないし11のいずれかに記載の光インプリント用部材。
- 型のパターンを被成型物に転写するためのインプリント装置であって、
前記型と被成型物とを加圧するための加圧手段と、
請求項1ないし12のいずれかに記載の光インプリント用部材と、
を具備することを特徴とする光インプリント装置。 - 型のパターンを被成型物に転写するためのインプリント装置であって、
前記型と被成型物とを加圧するための加圧手段と、
請求項3又は8に記載の光インプリント用部材と、
少なくとも前記型及び前記被成型物並びに前記光インプリント用部材を内包する雰囲気を減圧する減圧チャンバと、
を具備することを特徴とする光インプリント装置。
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