JP5246765B2 - カーボンナノチューブ形成方法 - Google Patents
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Description
11 面発光装置
12 偏光フィルタ
13 透明電極
14 液晶
15 透明電極
16 カラーフィルタ
17 偏光フィルタ
101 基板
102 導電性部材
103 導電性面状体
104 カーボンナノチューブ
105 蛍光体
401 パッド
402 基幹電極
403 細線
451 スリット
501 導電性層
502 レジスト
503 触媒担体
504 触媒
Claims (6)
- 基板の表面の一部を覆うように導電性部材を配置する導電性部材配置工程、
前記配置された導電性部材上に触媒を配置する触媒配置工程、
前記触媒が配置された基板を炭素源ガス雰囲気に置く基板設置工程、
前記炭素源ガス雰囲気に置かれた基板に配置された導電性部材をパルス状に通電することにより前記導電性部材を発熱させて、前記触媒からカーボンナノチューブを成長させる加熱工程
を備えることを特徴とするカーボンナノチューブ形成方法。 - 基板の表面の一部を覆うように導電性部材を配置する導電性部材配置工程、
前記配置された導電性部材上に触媒を配置する触媒配置工程、
前記触媒が配置された基板を炭素源ガス雰囲気に置く基板設置工程、
前記炭素源ガス雰囲気に置かれた基板に配置された導電性部材にパルス状に電磁波を照射することにより前記導電性部材を発熱させて、前記触媒からカーボンナノチューブを成長させる加熱工程
を備えることを特徴とするカーボンナノチューブ形成方法。 - 請求項1または2に記載のカーボンナノチューブ形成方法であって、
前記導電性部材配置工程では、前記導電性部材を線状、櫛形、あるいは、メッシュ状に配置することにより、前記基板の表面の0.1パーセント乃至50パーセントを覆う
ことを特徴とするカーボンナノチューブ形成方法。 - 請求項3に記載のカーボンナノチューブ形成方法であって、
前記導電性部材配置工程では、幅1μm乃至50μmの導電性細線を、間隔10μm乃至500μmで線状、櫛形、あるいは、メッシュ状に配置する
ことを特徴とするカーボンナノチューブ形成方法。 - 請求項3または4に記載のカーボンナノチューブ形成方法であって、
前記導電性部材配置工程では、Moを前記導電性部材として線状に配置し、
前記触媒配置工程では、Al2O3を触媒担体として前記導電性部材に接するように配置し、FeもしくはCoを前記触媒として、前記触媒担体に接するように配置する
ことを特徴とするカーボンナノチューブ形成方法。 - 請求項1から5のいずれか1項に記載のカーボンナノチューブ形成方法であって、
前記加熱工程では、前記導電性部材を10秒以下の短時間発熱させる
ことを特徴とするカーボンナノチューブ形成方法。
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