JP5238725B2 - 研磨物品とその作製方法 - Google Patents

Description

研磨物品は、工業において研磨用途、研削用途、及び磨き用途で使用される。

これは、多くの異なる寸法のベルト、ディスク、シート等の、各種の変換された形状で得られる。

一般に「シート製品」（すなわち、ディスク又はシート）の形状の研磨物品を使用する場合は、研磨物品を研磨成形用具に実装する又は取り付けるためのバックアップパッドを使用する。１つの種類のバックアップパッドは、一連の溝に接続された集塵孔を有する。集塵孔は通常、真空源に接続されて、例えば、研磨物品の研磨表面に蓄積された削りくず（本明細書で使用されるとき、用語「削りくず」とは、遊離した物質、例えば研磨過程で発生した粉塵及びくずを指す）などの粒子の制御を助ける。研磨表面からの削りくずの除去により研磨物品の性能が改善されることが、知られている。

一部の研磨工具は、集塵手段を伴う一体型真空システムを有する。関連したバックアップパッドが必要とする既存の研磨ディスクの吸い込み要件により、これらの研磨工具の抜き出し及び保持能力は、ある程度限られていた。

米国再発行特許第３０，７８２号 米国再発行特許第３１，２８５号 米国特許第５，４９６，５０７号 米国特許第５，４７２，４８１号 米国特許第４，２１５，６８２号 米国特許第５，０５７，７１０号 米国特許第４，５９２，８１５号 米国特許第５，９７６，２０８号 米国特許第６，１３９，３０８号 米国特許第５，４９６，５０７号 米国特許第５，０５８，２４７号 米国特許第４，８９４，０６０号 米国特許第５，６７９，３０２号 米国特許第６，５７９，１６１号 米国特許公開第２００４／０１７０８０１号

ある研磨工具構成では、粉塵は、研磨工具に接続されているホースを介して複雑な収集システムに集められる。しかし、集塵システムは、研磨工具の操作者にとって、常時利用可能とは限らない。更に、ホースを必要とする集塵システムの使用は面倒であり得、操作者が研磨工具を操作する妨げとなり得る。

一態様では、本発明は、
基材の第１表面に隣接して付着した研磨層を含み、研磨層が、少なくとも１つの結合剤によって基材の第１表面に付着した複数の研磨粒子を含み、研磨層が外側研磨表面を有し、基材が、基材の第１表面に対向する第２表面を有し、複数の開口部が、外側研磨表面から基材の第２表面に延び、有孔コーティングされた研磨材またはコーティングされたスクリーン研磨材を含む多孔質研磨部材と、
第１表面及び第１表面に対向する第２表面を有する不織布濾材であって、不織布濾材の第１表面が、基材の第２表面に隣接して付着し、不織布濾材が複数の繊維を含む、不織布濾材と、
不織布濾材の第２表面と隣接して付着している多孔質付着布と、を含む研磨物品であって、
粒子を外側研磨表面から多孔質付着布に、複数の開口部および不織布濾材を通って移動させ、未使用の状態では、研磨物品の少なくとも一部分が、圧力低下測定試験により０．２〜２０ミリメートルの水の範囲の圧力低下を示す、研磨物品を提供する。

別の態様では、本発明は、
基材の第１表面に隣接して付着した研磨層を含み、研磨層が、少なくとも１つの結合剤によって基材の第１表面に付着した複数の研磨粒子を含み、研磨層が外側研磨表面を有し、基材が、基材の第１表面に対向する第２表面を有し、複数の開口部が、外側研磨表面から基材の第２表面に延び、有孔コーティングされた研磨材またはコーティングされたスクリーン研磨材を含む多孔質研磨部材を準備する工程と、
第１表面及び第１表面に対向する第２表面を有する不織布濾材であって、不織布濾材の第１表面が、基材の第２表面に隣接して付着している、不織布濾材を準備する工程と、
不織布濾材を基材の第２表面に付着させる工程と、
多孔質付着布を不織布濾材の第２表面に付着させる工程と、を含む、研磨物品の作製方法であって、
粒子を外側研磨表面から多孔質付着布に、複数の開口部および不織布濾材を通って移動させ、未使用の状態では、研磨物品の少なくとも一部分が、圧力低下測定試験により０．２〜２０ミリメートルの水の範囲の圧力低下を示す、研磨物品の作製方法を提供する。

更に別の態様では、本発明は、
基材の第１表面に隣接して付着した研磨層を含み、研磨層が、少なくとも１つの結合剤によって基材の第１表面に付着した複数の研磨粒子を含み、研磨層が外側研磨表面を有し、基材が、基材の第１表面に対向する第２表面を有し、複数の開口部が、外側研磨表面から基材の第２表面に延びている、多孔質研磨部材と、
第１表面及び第１表面に対向する第２表面を有する不織布濾材であって、不織布濾材の第１表面が、基材の第２表面に隣接して付着し、不織布濾材が複数の繊維を含み、不織布濾材が１〜２５ミリメートルの厚さ及び１立方センチメートルあたり０．０４〜０．５グラムの嵩密度を有する、不織布濾材と、
不織布濾材の第２表面と隣接して付着している多孔質付着布と、を含む研磨物品であって、
複数の開口部が不織布濾材と協働して、粒子を外側研磨表面から多孔質付着布に移動させる、研磨物品を提供する。

更に別の態様では、本発明は、
基材の第１表面に隣接して付着した研磨層を含み、研磨層が、少なくとも１つの結合剤によって基材の第１表面に付着した複数の研磨粒子を含み、研磨層が外側研磨表面を有し、基材が、基材の第１表面に対向する第２表面を有し、複数の開口部が、外側研磨表面から基材の第２表面に延びている、多孔質研磨部材を準備する工程と、
第１表面及び第１表面に対向する第２表面を有する不織布濾材であって、不織布濾材の第１表面が、基材の第２表面に隣接し、第２の不織布濾材が、０．５〜１５ミリメートルの厚さ及び１立方センチメートルあたり０．０４〜０．５グラムの嵩密度を有する、不織布濾材を準備する工程と、
不織布濾材を基材の第２表面に付着させる工程と、
多孔質付着布を不織布濾材の第２表面に付着させる工程と、を含む、研磨物品の作製方法であって、
複数の開口部が不織布濾材と協働して、粒子を外側研磨表面から多孔質付着布に移動させる、研磨物品の作製方法を提供する。

特定の実施形態では、多孔質研磨部材は、有孔コーティングされた研磨材を含む。特定の実施形態では、多孔質研磨部材はスクリーン研磨材を含む。特定の実施形態では、多孔質付着布は、２部の機械的係合システムのループ部分又はフック部分を含む。特定の実施形態では、不織布濾材及び多孔質付着布は、ニードルタック又はステッチボンドにより互いに付着している。特定の実施形態では、多孔質研磨部材は、接着剤により不織布濾材に付着している特定の実施形態では、不織布濾材は、接着剤により多孔質付着布に付着している。特定の実施形態では、不織布濾材は外周縁部を有し、外周縁部は封止されている。特定の実施形態では、不織布濾材は、ポリプロピレン繊維、ポリエステル繊維、ナイロン繊維、及びこれらの混合物からなる群から選択される合成繊維を含む。特定の実施形態では、不織布濾材はブローンマイクロファイバーウェブを含む。特定の実施形態では、不織布濾材はエレクトレット電荷を含む。

特定の実施形態では、基材の第２表面及び不織布濾材の第１表面は、同一の広がりを持つ。特定の実施形態では、基材は、金属ホイル、紙、布地、及びプラスチックフィルムからなる群から選択される。特定の実施形態では、研磨物品は研磨ディスクを含む。

特定の実施形態では、多孔質付着布は不織布濾材に付着している。特定の実施形態では、多孔質付着布は、２部の機械的係合システムのループ部分又はフック部分を含む。特定の実施形態では、不織布濾材及び多孔質付着布は、ニードルタック又はステッチボンドにより互いに付着している。

本発明による研磨物品は、例えば、表面を研磨物品と接触させる工程と、研磨物品及び表面を相対的に動かして、表面を機械的に修正する工程と、を含む方法によってワークピースの表面を研磨するのに有用である。

有利なことに、本発明による研磨物品は、大量の粒子（例えば、削りくず）が発生する研磨用途に使用するのに特に好適であり、少なくともいくつかの実施形態では、真空源を有する工具と組み合わせて使用された場合、そのような研磨用途で発生する粒子の少なくとも４０、５０（即ち、過半数）、６０、７０、８０、又は更には９０％超を効果的に捕捉することができる。

本明細書で使用するとき、
用語「空気抵抗」とは、不織布ウェブ又は研磨物品の厚み寸法を通過する空気の抵抗を指し、比較目的に使用されるとき、全ての空気抵抗値は、同様の状態で測定されるべきである。

用語「布（地）」は、織られた、及び編まれた素材を含むが、不織の素材は除く。

用語「不織布濾材」とは、内部空間を有し、絡み合った及び／又は固着した複数の繊維で実質的に形成され、機織り工程又は編み工程以外の工程で製造された素材を指す。

不織布濾材に適用される際の用語「厚さ」とは、ＡＳＴＭ Ｄ５７３６−９５（再承認２００１）「嵩高不織布の厚さの標準試験方法（Standard Test Method for Thickness of Highloft Nonwoven Fabrics）」によって１３．８Ｐａ（１平方インチあたり０．００２ポンド）の圧板力を使用して測定したときの不織布ウェブの厚さを指す。

本発明の一実施形態による代表的な研磨物品の斜視図であって、物品を形成する層を示すために一部が切り取られた斜視図。 図１Ａに示されている研磨物品の概略断面図。 本発明による研磨物品で有用な代表的な多孔質研磨部材の平面図。 図２Ａに示されている多孔質研磨部材の断面図。 本発明による研磨物品で有用な代表的な多孔質研磨部材の平面図であって、研磨層を形成する構成要素を示すために一部が切り取られた平面図。 直径１２．７ｃｍ（５インチ）のコーティングされた研磨ディスクの代表的な穿孔パターン４００を示す縮尺平面図。

これらの図は理想化されたものであって、単に本発明の研磨物品を説明することを意図しており、非限定的である。

図１Ａは、一部が切り取られた、代表的な研磨物品１０２（研磨ディスクとして示される）の斜視図を示す。図１Ａに示されるように、研磨物品１０２は、多孔質研磨部材１０４と、不織布濾材１２０と、多孔質付着布１４６とを有する。多孔質研磨部材１０４は、孔質研磨部材１０４を通して粒子（例えば、研磨過程で発生した削りくず）を移動させる複数の開口部を含む。粒子は、研磨物品中の濾材によって捕捉される。任意のシール１０５は、不織布濾材１２０の外周縁部１０６（図１Ｂに図示）を封止して、研磨物品により保持されない粒子が横方向に漏れるのを防ぐ。

図１Ｂは、図１Ａに示されている研磨物品１０２の概略断面図を示す。図１Ｂに示されているように、研磨物品１０２は複数の層を含む。不織布濾材１２０は、第１表面１２２と、第１表面１２２と対向する第２表面１２４とを含む。不織布濾材１２０の第１表面１２２は、多孔質研磨部材１０４に隣接している。不織布濾材１２０の第２表面１２４は、多孔質付着布１４６に隣接している。

図２Ａは、多孔質研磨部材を形成するのに使用される、コーティングされた代表的な研磨材の平面図を示す。図２Ｂは、図２Ａに示される多孔質研磨部材の一部分の断面図を示す。図２Ｂに示されるように、多孔質研磨部材２０４は、第１表面２０８及び第２表面２１０を有する基材２０６と、メイクコート２１４と、複数の研磨粒子２１２と、サイズコート２１５とを含む。図２Ａに示されるように、多孔質研磨部材２０４は、複数の開口２１６（図２Ｂには図示されない）を含む。

図３は、多孔質研磨部材を形成するのに使用される、代表的なスクリーン研磨材の平面図を示す。図３は、研磨層を形成する構成要素を示すために一部が切り取られている。図３に示されるように、多孔質研磨部材３０４は、オープンメッシュ基材３０６と、メイクコート３１４と、複数の研磨粒子３１２と、サイズコート３１５とを含む。多孔質研磨部材３０４は、多孔質研磨部材を通って延びる複数の開口部３１６を含む。開口部３１６は、オープンメッシュ基材３０６の開口部３１８により形成される。

オープンメッシュ基材は、例えば穿孔フィルム、不織布、又は織布若しくは編布を含む、いかなる多孔質材料で製造されてもよい。図３に示される実施形態では、オープンメッシュ基材３０６は、穿孔フィルムである。基材のフィルムは、金属、紙、又はプラスチックから製造されてよく、それには成形された熱可塑性材料及び成形された熱硬化性材料が含まれる。いくつかの実施形態では、オープンメッシュ基材は、穿孔され又はスリットが入れられて延伸されたシート材料を含む。いくつかの実施形態では、オープンメッシュ基材は、ファイバーグラス、ポリエステル、ポリプロピレン、又はアルミニウムを含む。

オープンメッシュ基材３０６の開口部３１８は、図３に示されるように、ほぼ正方形でもよい。他の実施形態では、開口部の形は、例えば矩形、円形、楕円形、三角形、平行四辺形、多角形、又はそれらの形状の組み合わせなどの、その他の幾何学的形状であってよい。オープンメッシュ基材３０６の開口部３１８は、図３に示されるように、均一な寸法及び配置にされてよい。他の実施形態では、例えば、ランダムな開口の配置パターンを用いることにより、開口の寸法又は形状を変えることにより、又はランダムな配置、ランダムな形状、及びランダムな寸法の任意の組み合わせにより、開口を不均一に配置してもよい。

別の態様では、織布又は編布基材を有するスクリーン研磨材が、多孔質研磨部材を形成するのに使用されてよい。織布基材は、典型的には、第１の方向に延伸する一般に平行な複数の縦糸要素、及び第２の方向に延伸する一般に平行な複数の横糸要素を含む。オープンメッシュ基材の横糸要素及び縦糸要素が交差して、複数の開口を形成する。第２の方向は、第１の方向に垂直であって、織布オープンメッシュ基材の正方形の開口部を形成してもよい。いくつかの実施形態では、第１及び第２の方向は交差してひし形模様を形成する。開口部の形は、例えば矩形、円形、楕円形、三角形、平行四辺形、多角形、又はそれらの形状の組み合わせなどの、その他の幾何学的形状であってよい。いくつかの実施形態では、縦糸及び横糸要素は、ワン・オーバー・ワン（one-over-one）の平織りに共に織られているヤーン（yarns）である。

縦糸及び横糸要素は当業者に既知の任意の方法で組み合わされてもよく、例えば、織る（weaving）、ステッチボンド、又は接着剤結合するなどが挙げられる。縦糸及び横糸要素は、繊維、フィラメント、糸、ヤーン、又はそれらの組み合わせであり得る。縦糸及び横糸要素は当業者に既知の様々な材料から作られてもよく、例えば、合成繊維、天然繊維、ガラス繊維、及び金属が挙げられる。いくつかの実施形態では、縦糸及び横糸要素は、熱可塑性材料又は金属ワイヤの単繊維を含む。いくつかの実施形態では、織布のオープンメッシュ基材は、ナイロン、ポリエステル、又はポリプロピレンを含む。

多孔質研磨部材は、スクリーン研磨材、穿孔コーティングされた研磨材、又はその他にかかわらず、異なる開口面積を有する開口部を含んでよい。多孔質研磨部材の開口部の「開口面積」とは、多孔質研磨部材の厚み上で測定されたときの開口部の面積（即ち、三次元の物体が通過できる開口部を形成する材料の外周により画定される面積）を指す。有用な多孔質研磨部材は通常、１開口部あたり少なくとも約０．５平方ミリメートルの平均開口面積を有する。いくつかの実施形態では、多孔質研磨部材は、１開口部あたり少なくとも約１平方ミリメートルの平均開口面積を有する。更なる実施形態では、多孔質研磨部材は、１開口部あたり少なくとも約１．５平方ミリメートルの平均開口面積を有する。

多孔質研磨部材は、織られているか、穿孔されているか、又はその他にかかわらず、多孔質研磨部材を通過し得る空気の量、並びに研磨層の有効面積及び性能に作用する総開口面積を含む。多孔質研磨部材の「総開口面積」とは、多孔質研磨部材の外周により形成された領域上で測定したときの開口部の累積開口面積を指す。多孔質研磨部材は、研磨層１平方センチメートルあたり少なくとも約０．０１平方センチメートル（即ち、１％の開口面積）の総開口面積を有する。いくつかの実施形態では、多孔質研磨部材は、研磨層１平方センチメートルあたり少なくとも約０．０３平方センチメートル（即ち、３％の開口面積）の総開口面積を有する。更なる実施形態では、多孔質研磨部材は、研磨層１平方センチメートルあたり少なくとも約０．０５平方センチメートル（即ち、５％の開口面積）の総開口面積を有する。

通常、多孔質研磨部材は、研磨層１平方センチメートルあたり約０．９５平方センチメートル（即ち、９５％の開口面積）未満の総開口面積を有する。いくつかの実施形態では、多孔質研磨部材は、研磨層１平方センチメートルあたり約０．９平方センチメートル（即ち、９０％の開口面積）未満の総開口面積を有する。更なる実施形態では、多孔質研磨部材は、研磨層１平方センチメートルあたり約０．８０平方センチメートル（即ち、８０％の開口面積）未満の総開口面積を有する。

上述のように、多孔質研磨部材は、穿孔コーティングされた研磨材、コーティングされたスクリーン研磨材、不織布研磨材、又はその他にかかわらず、複数の研磨粒子及び少なくとも１つの結合剤を含む。いくつかの実施形態では、研磨層は、メイクコート、サイズコート、スーパーサイズコート、又はそれらの組み合わせを含む。いくつかの実施形態では、研磨層は、少なくともある程度、結合剤前駆体内に研磨粒子を含むスラリーコートを硬化することにより準備される。通常、コーティングされた研磨材のメイク層は、基材（例えば、処理された又は未処理の裏材、オープンメッシュ、又は不織布繊維ウェブ）の少なくとも一部を、第１の結合剤前駆体を含むメイク層前駆体でコーティングすることにより準備される。

基材は、１つ以上の処理（例えば、バックサイズ、プレサイズ、飽和剤、サブサイズ）がその上に施されてもよい。好適な基材は、研磨材分野において広く知られており、例えば、金属ホイル、紙、布地（例えば、編布、不織布、又は織布（オープンスクリム及び硬く織られた布地を含む）、織られたメッシュ（例えば、スクリム）、プラスチックフィルム（例えば、ポリエステル、ポリエチレン、及びポリプロピレンなどの熱可塑性材料を含む）、及びこれらの組み合わせからなってよい。いくつかの実施形態では、基材はラミネート構造を持たない。

基材は、比較的薄く可撓性であるのが好ましい。例えば、いくつかの実施形態では、基材は、１ミリメートル未満、０．５ミリメートル未満、又は更には０．１ミリメートル未満の厚さを有してよい。いくつかの実施形態では、穿孔、孔、又は基材の厚さを通って延伸するその他の多孔質の機構は、その長さにわたって実質的に均一の断面を有する。

研磨粒子は次に、少なくとも部分的に、第１の結合剤前駆体を含むメイク層前駆体に（例えば、静電コーティング又は滴下コーティング（drop coating）によって）組み込まれ、メイク層前駆体は少なくとも部分的に硬化される。研磨粒子の静電コーティングは、典型的には直立に（erectly）配向した研磨粒子を提供する。研磨物品に関連して、用語「直立に配向」とは、大部分の研磨粒子の長い方の寸法が、基材に対して実質的に垂直（即ち、６０〜１２０°）に配向されている特徴を指す。研磨粒子を直立に配向するための他の手法もまた使用され得る。

続いて、メイク層及び研磨材粒子の少なくとも一部を、第２結合剤前駆体（第１結合剤前駆体と同一であっても異なっていてもよい）を含むサイズ層前駆体でコーティングし、サイズ層前駆体を少なくとも部分的に硬化することによって、サイズ層が調製される。いくつかの被覆研磨物品においては、スーパーサイズ（supersize）がサイズ層の少なくとも一部に適用される。存在する場合、スーパーサイズ（supersize）層には通常、研削助剤及び／又は目づまり防止材が含まれる。

結合剤は、典型的には、結合剤前駆体を（例えば、熱的手段によって、又は電磁放射線若しくは微粒子放射線を用いて）硬化することによって形成される。メイクコート、サイズコート、スーパーサイズコート、及びスラリーコートでの使用に適した有用な結合剤前駆体は、研磨材分野において周知であり、例えば、フリーラジカル重合性モノマー及び／又はオリゴマー、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ウレタン樹脂、フェノール樹脂、尿素ホルムアルデヒド樹脂、メラミンホルムアルデヒド樹脂、アミノプラスト樹脂、シアネート樹脂、又はこれらの組み合わせが挙げられる。有用な結合剤前駆体には熱硬化樹脂類及び放射線硬化樹脂類が含まれ、これらは、例えば熱的に及び／又は放射線に暴露することにより硬化することができる。

当該技術分野において周知であるように、触媒、反応開始剤、及び／又は硬化剤を、一般に効果的な量で結合剤前駆体と組み合わせて使用してもよい。

コーティングされた研磨材に好適な研磨粒子には、例えば、研磨物品に一般的に使用される、任意の既知の研磨粒子又は材料が挙げられる。コーティングされた研磨材に有用な研磨粒子の例には、例えば、溶融酸化アルミニウム、熱処理済みの酸化アルミニウム、白色溶融酸化アルミニウム、黒色炭化ケイ素、緑色炭化ケイ素、二ホウ化チタン、炭化ホウ素、炭化タングステン、炭化チタン、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素、ザクロ石、溶融アルミナジルコニア、ゾルゲル研磨粒子類、シリカ、酸化鉄、クロミア、セリア、ジルコニア、チタニア、ケイ酸塩類、炭酸金属塩（炭酸カルシウム（例えば、チョーク、方解石、泥灰土、トラバーチン、大理石、及び石灰石）など、炭酸マグネシウムカルシウム、炭酸ナトリウム、炭酸マグネシウム）、シリカ（例えば、石英、ガラス玉類、ガラス球類、及びガラス繊維類）、ケイ酸塩類（例えば、タルク、粘土類、（モンモリロナイト）長石、雲母、ケイ酸カルシウム、メタケイ酸カルシウム、アルミノケイ酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム）、硫酸金属塩（例えば、硫酸カルシウム、硫酸バリウム、硫酸ナトリウム、硫酸ナトリウムアルミニウム、硫酸アルミニウム）、石膏、アルミニウム三水和物、グラファイト、金属酸化物類（例えば、酸化錫、酸化カルシウム）、酸化アルミニウム、二酸化チタン、並びに亜硫酸金属塩（例えば、亜硫酸カルシウム）、金属粒子類（例えば、錫、鉛、銅）、熱可塑性物質から形成されるプラスチック研磨粒子類（例えば、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエステル、ポリエチレン、ポリスルホン、ポリスチレン、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレンブロックコポリマー、ポリプロピレン、アセタールポリマー類、ポリ塩化ビニル、ポリウレタン、ナイロン）、架橋ポリマーから成形されるプラスチック研磨粒子類（例えば、フェノール樹脂類、アミノプラスト樹脂類、ウレタン樹脂類、エポキシ樹脂類、メラミン−ホルムアルデヒド、アクリレート樹脂類、アクリル化イソシアヌレート樹脂類、尿素−ホルムアルデヒド樹脂類、イソシアヌレート樹脂類、アクリル化ウレタン樹脂類、アクリル化エポキシ樹脂類）、及びこれらの組み合わせが挙げられる。研磨粒子はまた、例えば結合剤などの更なる構成要素を含む粒塊又は合成物であってもよい。特定の研磨用途に使用される研磨粒子を選択する際に使用される基準には、一般に、研磨寿命、切削率、基板表面仕上げ、粉砕効率及び製造費が含まれる。

コーティングされた研磨部材は、研磨粒子表面改質添加物、カップリング剤、可塑剤、充填剤、発泡剤、繊維、静電防止剤、反応開始剤、懸濁化剤、光増感剤、潤滑剤、湿潤剤、界面活性剤、顔料、染料、紫外線安定剤、及び懸濁化剤のような、任意の添加物を更に含んでもよい。これら材料の量は望ましい性質を提供するために選択される。添加剤はまた、結合剤に組み込まれても、別個のコーティングとして塗布されても、粒塊の孔の中に保持されても、又はそれらの組み合わせでもよい。

本質的に多孔質ではない場合（例えば、基材の性質により）、研磨部材は、例えば機械的穿孔（例えば、ダイパンチ）、レーザー穿孔、その他の任意の好適な技術により、穿孔されてもよい。いかなる穿孔パターンが使用されてもよい。穿孔は、例えば円形若しくは楕円形、直線、弓状、又はある複雑な形状でもよい。粒子（例えば、削りくず）を外側研磨表面から不織布濾材に、それらが発生したのと同程度の速度で移動させるために、多孔質研磨部材は十分多孔性でなければならない。

多孔質研磨部材として使用するのに好適な、有孔コーティングされた市販の研磨物品の例としては、ドイツ、ヴェッセリングのサンゴバン研磨（Saint-Gobain Abrasives）社から「ノートンマルチエアー（NORTON MULTI-AIR）」の商品名で入手可能な材料、及びセントポールの３Ｍ社から「クリーンサンディングディスク（CLEAN SANDING DISC）」の商品名で入手可能なコーティングされた研磨ディスクが挙げられる。３Ｍ社（3M Company）から「３６０Ｌマルチホールフックイット（MULTIHOLE HOOKIT）」の商業的な表記で入手可能な開口のあるコーティングされた研磨剤ディスクを含む。

いくつかの実施形態では、不織布濾材は、少なくとも０．５、１、又は更には少なくとも５ミリメートル〜１０又は１５ミリメートルまでの範囲の平均厚さを有する。他の実施形態では、不織布濾材は、２０ミリメートルまで、又は更には３０ミリメートル若しくはそれ以上の厚さを有してもよい。いくつかの実施形態では、不織布濾材は、約２０ミリメートル未満の平均厚さを有する。

他の実施形態では、不織布濾材は、１立方センチメートルあたり０．０４〜０．５グラム（ｇ／ｃｍ^３）の嵩密度を有する。例えば、濾材は、０．７５〜０．４ｇ／ｃｍ^３又は１〜０．３ｇ／ｃｍ^３の嵩密度を有してもよい。

研磨物品の濾材は、静電的に帯電されてもよい。静電的帯電は、粒子と濾材表面との間の吸引力を増大させることにより、流体の流れから粒子状物質を除去する濾材の能力を高める。濾材の繊維付近を通過する非衝突粒子は、流体の流れからより簡単に引き寄せられ、衝突粒子は、より強力に付着する。受動静電的帯電はエレクトレットにより供給されるが、これは、半永久的又は永久的な電荷を示す誘電性物質である。エレクトレットの帯電可能な高分子材料には、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）及びポリプロピレンなどのような無極性のポリマーが含まれる。

誘電性物質を帯電するためには、コロナ放電、帯電した電場の存在下での材料の加熱及び冷却、接触帯電、帯電した粒子のウェブへの噴霧、並びに水噴射又は水滴流による表面の衝突を含む、いくつかの方法が使用され、そのいずれも研磨物品の濾材を帯電するのに使用することができる。加えて、混合材料の使用により表面の帯電能力は強化される。帯電方法の例は、米国再発行特許第３０，７８２号（バンターンハウト（van Turnhout）ら）、同第３１，２８５号（バンターンハウトら）、米国特許第５，４９６，５０７号（アンガジバンド（Angadjivand）ら）、同第５，４７２，４８１号（ジョーンズ（Jones）ら）、同第４，２１５，６８２号（キュービック（Kubik）ら）、同第５，０５７，７１０号（ニシウラ（Nishiura）ら）、同第４，５９２，８１５号（ナカオ（Nakao））、同第５，９７６，２０８号（ルソー（Rousseau）ら）に開示されている。

不織布濾材は、複数の繊維を含む。

いくつかの実施形態では、不織布濾材は、直径約１００マイクロメートル未満、場合によっては約５０マイクロメートル未満、場合によっては直径約１マイクロメートル未満の繊維サイズを有する材料を含む。

不織布濾材は、混合物及びブレンドを含む多種多様な有機高分子材料から作製されてよい。好適な濾材には、市販されている広範囲の材料が含まれる。それには、ポリオレフィン、例えばポリプロピレン、線状低密度ポリエチレン、ポリ−１−ブテン、ポリ（４−メチル−１−ペンテン）、ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン；又はポリ塩化ビニル；芳香族ポリアレン、例えばポリスチレン；ポリカーボネート；ポリエステル；及びこれらの組み合わせ（ブレンド又はコポリマーを含む）が挙げられる。いくつかの実施形態では、材料には、分枝アルキルラジカルのないポリオレフィン類、及びそれらのコポリマーが含まれる。更なる実施形態では、材料には、熱可塑性繊維形成物質（例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、それらのコポリマーなどのようなポリオレフィン類）が含まれる。その他の好適な材料としては、ポリ乳酸（ＰＬＡ）のような熱可塑性ポリマー；セルロース、レーヨン、アクリル、及び変性アクリル（ハロゲン変性アクリル）のような非熱可塑性繊維；デラウェア州ウィルミントンのＥ．Ｉ．デュポン・ド・ヌムール社（E.I. du Pont de Nemours & Co.）から「ノーメックス（NOMEX）」及び「ケブラー（KEVLAR）」という商品名で入手可能なもののようなポリアミド繊維又はポリイミド繊維；並びに、異なるポリマーの繊維ブレンドが挙げられる。

不織布濾材は、例えば、メルトブローン（例えば、ブローンマイクロファイバーウェブとなるもの）、スパンボンド、カーディング、エアレイド（乾式載置）、又は湿式載置技術を含む従来の不織布技術により、ウェブに形成されてもよい。ブローンマイクロファイバーウェブ及びその製造方法に関する詳細は、当該技術分野において周知であり、例えば、米国特許第６，１３９，３０８号（ベリガン（Berrigan）ら）及び同第５，４９６，５０７号（アンガジバンド（Angadjivand）ら）に見ることができる。代表的なメルトブローン不織布濾材には、例えば米国特許出願第１１／４６１１３６号（ブランナー（Brandner）ら、２００６年７月３１日出願）に記載される、バイモーダルブローンマイクロファイバー媒体が挙げられる。

所望により、不織布濾材は、例えば、熱成形不織布ウェブを熱い缶に接触させることによって準備されたときに、密度勾配を有してもよい。

望むならば、繊維、若しくはウェブは、例えば、コロナ放電電極、若しくは高強度電界の使用を含む既知の方法により荷電されていてもよい。繊維形成の間、濾材ウェブの中に繊維を形成する前又は繊維を形成している間、或いは濾材ウェブの形成の後、繊維は荷電される可能性がある。不織布濾材は、感圧性接着剤を含む、ポリマー結合剤若しくは接着剤でコーティングされた繊維を含んでもよい。

多孔質付着布は、空気を通過させる。多孔質付着布は、接着剤の層、布、シート材料、成形体、又はこれらの組み合わせを含んでよい。シート材料は、例えば、２部の機械的係合システムのループ部分又はフック部分を含んでよい。多孔質付着布は、感圧性接着剤の層と共に、取扱中に接着剤の層を保護するための任意の剥離ライナーを含んでよい。

いくつかの実施形態では、多孔質付着布は、織布又は編布のループ材料を含む。このループ材料を用いて、相補的な噛み合い構成要素を有するバックアップパッドに研磨物品を付着することができる。フックと噛み合わせるための直立ループを形成するために、織布及び編布の多孔質付着布材料は、ループ形成フィラメント又はヤーンをその布地構造中に含んでよい。使用する織布又は編布は、天然繊維（例えば、木材繊維若しくは綿繊維）、合成繊維（例えば、ポリエステル繊維若しくはポリプロピレン繊維）、又は天然繊維と合成繊維との組み合わせから作製することができる。いくつかの実施形態では、多孔質付着布は、ナイロン、ポリエステル、又はポリプロピレン繊維を含む。

いくつかの実施形態では、通る空気の流れをあまり大きくは妨げない開口構造を有するループ多孔質付着布が選択される。いくつかの実施形態では、多孔質付着布材料は、少なくとも部分的に、材料の多孔性に基づいて選択される。

いくつかの実施形態では、多孔質付着布は、フック材料を含む。研磨物品に有用なフック材料を形成するのに使用する材料は、当業者に既知の多数の様々な方法のうちの１つで作製することができる。多孔質付着布の作製に有用なフック材料を作製するためのいくつかの好適な方法は、例えば、米国特許第５，０５８，２４７号（トーマス（Thomas）ら）、同第４，８９４，０６０号（ネステガード（Nestegard））、同第５，６７９，３０２号（ミラー（Miller）ら）、及び同第６，５７９，１６１号（チェスリー（Chesley）ら）に記載の方法が挙げられる。

フック材料は、例えば、米国特許出願公開第２００４／０１７０８０１号（セス（Seth）ら）に報告されるポリマー網目材料などの多孔質材料であってよい。別の実施形態では、空気が通るようにフック材料を穿孔してよい。開口は、当業者に既知のいずれかの方法を使用して、フック材料内に形成してよい。例えば、開口は、フック材料のシートから、例えばダイ、レーザー、又は当業者に既知の他の穿孔器具を使用して、切り取ってよい。別の実施形態では、フック材料は、開口と共に形成されてよい。

研磨物品の多孔質研磨部材及び濾材は、粒子の移動に対するある程度の部分的な又は小さい障害はある可能性があるが、粒子が１つの層から次の層に移動するのを妨げない方法で、互いに付着される。いくつかの実施形態では、多孔質研磨部材及び濾材は、粒子が１つの層から次の層に移動するのを実質的に阻害しない方法で、互いに付着される。いくつかの実施形態では、研磨物品を通る粒子の移動レベルは、多孔質研磨部材と不織布濾材との間に接着剤を導入することにより、少なくとも部分的に制限される可能性がある。制限のレベルは、例えば、離れた接着領域（例えば、噴霧スプレー又は欠けている押出成形ダイ（starved extrusion die））、又は分かれている接着ライン（例えば、ホットメルト回転スプレー（hot melt swirl-spray）又は模様付きロール塗布機）などの不連続な方法で、層間に接着剤を塗布することにより、最小限に抑えることが可能である。

研磨物品の多孔質付着布は、濾材からの空気の流れを妨げない方法で濾材に付着している。いくつかの実施形態では、研磨物品の多孔質付着布は、濾材からの空気の流れを実質的に阻害しない方法で濾材に付着している。多孔質付着布を通って流れる空気のレベルは、シート材料を含む多孔質付着布と濾材との間への接着剤の導入により、少なくとも部分的に制限されてもよい。制限のレベルは、例えば、離れた接着領域（例えば、噴霧スプレー又は欠けている押出成形ダイ（starved extrusion die））、又は分かれている接着ライン（例えば、ホットメルト回転スプレー（hot melt swirl-spray）又は模様付きロール塗布機）などの不連続な方法で、多孔質付着布のシート材料と濾材との間に接着剤を塗布することにより、最小限に抑えることが可能である。

有用である代表的な接着剤には、感圧性接着剤及び非感圧性接着剤の両方が挙げられる。感圧性接着剤は通常室温で粘着性であり、他の表面に、最大でも軽い指の圧力の印加により接着してもよいが、非感圧性接着剤は、溶剤、熱、若しくは放射により有効になる接着システムを持つ。有用な接着剤の例には、ポリアクリレートの一般的な組成物に基づくもの；ポリビニルエーテル；天然ゴム、ポリイソプレン、及びポリイソブチレンなどのような、ジエン含有ゴム；ポリクロロプレン；ブチルゴム；ブタジエン−アクリロニトリルポリマー；熱可塑性エラストマー；ブロックコポリマー、例えばスチレン−イソプレンブロックコポリマー、スチレン−イソプレン−スチレンブロックコポリマー、エチレン−プロピレン−ジエンポリマー、及びスチレン−ブタジエンポリマー；ポリ（α−オレフィン）；非晶質ポリオレフィン；シリコーン；ポリ（エチレン−ｃｏ−ビニルアセテート）、ポリ（エチレン−ｃｏ−エチルアクリレート）、及びポリ（エチレン−ｃｏ−エチルメタクリレート）などのエチレン含有コポリマー；ポリウレタン；ポリアミド；ポリエステル；エポキシ；ポリ（ビニルピロリドン）及びビニルピロリドンのコポリマー；並びにこれらの混合物が挙げられる。加えて、接着剤は、粘着付与剤、可塑剤、充填剤、酸化防止剤、安定剤、顔料、分散粒子、硬化剤、及び溶剤などのような添加物を含んでいてもよい。

研磨物品の各種の層は、例えば、接着剤、感圧性接着剤、ホットメルト接着剤、スプレー接着剤、熱接着、ニードルタック、ステッチボンド、及び超音波接着などのような、任意の好適な付着の形態を使用して共に保持してもよい。いくつかの実施形態では、例えば、３Ｍ社（3M Company）（ミネソタ州セントポール（St. Paul, Minnesota））から入手可能な「３Ｍブランドスーパー７７接着剤（3M BRAND SUPER 77 ADHESIVE）」などのスプレー接着剤を多孔質研磨層の片側に塗布することによって、これらの層を相互に付着させる。他の実施形態では、ホットメルトガン、若しくは櫛型シムが付いた押出機のいずれかを使用して、ホットメルト接着剤を層の片側に塗布する。更なる実施形態では、前成形した接着剤メッシュが、合わされる層の間に定置される。

所望により、研磨物品により保持されない粒子が横方向に漏れるのを低減する又は防ぐために、研磨物品の外周縁部、一般的には外周縁部の（全体でないまでも）大部分にシールが適用されてもよい。シールの例としては、溶接、テープ、ラテックスコーティング、コーキング、及びシーラント（例えば、ラテックス又はシリコーン）が挙げられる。

本発明による研磨物品は、研磨過程における粒子の収集に一般的に有用であり、場合によっては、高速の送達率で大量の粒子を保持することができる。研磨物品は、そのような物品と使用するのに適しているいかなる装置との使用にも好適である。例としては、ランダムオービタルサンダー、デュアルアクションサンダー、及びディスクサンダーが挙げられるが、研磨物品の多孔質付着布に適用される真空の有無は問わない。

したがって、いくつかの実施形態では、本発明による研磨物品（未使用の状態）の少なくとも一部（例えば、穿孔領域を代表する）は、圧力低下測定試験（以下）により０．２〜２０ミリメートルの水の範囲の圧力低下を示す。例えば、本発明による研磨物品（未使用の状態）の少なくとも一部は、圧力低下測定試験（以下）により１〜１５ミリメートルの水、又は更には４〜１０ミリメートルの水の範囲の圧力低下を示し得る。

圧力低下測定試験は、以下のように行われる。

研磨物品の厚さにわたる圧力低下は、直列に取り付けられ内径が等しい一対のシリンダーを含むフィルタ試験装置を使用して、シリンダーの長さが垂直方向にあり、空気が１秒あたり５．２センチメートルの前面風速でシリンダーを流れるようにして、測定される。圧力変換器が各シリンダーに取り付けられて、シリンダー内の圧力を測定する。上部及び底部シリンダーの隣接する末端部は、研磨物品上に封止される。試験される研磨物品は、横方向の漏れを防ぐようにシリンダー間にしっかりと固定され、研磨物品の外側研磨表面は、空気流の方向に垂直になり、空気流に直面する。第１シリンダーと第２シリンダーとの間の気圧の差が、研磨物品の圧力低下として記録される。

本明細書で引用した特許、特許出願、及び刊行物の全ての開示内容は、それぞれが個々に援用された場合と同様に、その全内容が参照によって援用される。

本発明の利点及び他の実施形態は、次の実施例により更に例証されるが、これらの実施例に列挙される特定の材料及び量、並びに他の条件及び詳細が、本発明を過度に制限すると解釈されてはならない。

特に記載のない限り、実施例及びこれ以降の明細書中の部、百分率、比率などは全て、重量基準である。

以下の実施例を通して以下の略語が使用される。

手順１：濾材縁部封止
濾材１、即ちＦＭ１のディスクの縁部が、メリーランド州ボルティモアのＤＡＰプロダクツ社（DAP Products, Inc.）により製造された「ＤＡＰアレックスプラス（DAP ALEX PLUS）」の商品名を有するシリコンアクリルコーキング材の滑らかで連続的なビーズを、ディスクの外周縁部（周囲に隣接した）に適用することにより、封止された。コーキングは、スパチュラを使用して濾材の縁部に押し込まれた。コーキングを少なくとも８時間乾燥させた。このような方法で封止されたＦＭ１は、ＦＭ３として指定された。

手順２：研磨材料への転写テープのラミネート及びレーザー穿孔
研磨材料のシート１、即ちＡＭ１は、以下の手順により、３Ｍ社から入手可能な「３Ｍ ９６４ ０．３３ｍｍ（１３ミル）転写テープ（3M 964 0.33 mm（13 MIL）TRANSFER TAPE）」の商品名を有する、同じようなサイズの両面転写テープシートにラミネートされた。テープのライナーの片側が除去され、ＡＭ１シートの、外側研磨表面に対向する側は、テープの、露出した粘着性の感圧性接着剤に手でラミネートされた。ラミネートされた接着剤は、図４に示されるパターン４００に従ってレーザー穿孔された。レーザー穿孔され切られた、この層状構造体の直径１２．７ｃｍ（５インチ）のディスクは、ＡＭ２として指定された。

手順３：ＡＴ１への濾材又は研磨材料の付着
３Ｍ社から「スーパー７７スプレー接着剤（SUPER 77 SPRAY ADHESIVE）」の商品名で市販されている感圧性接着剤が、およそ１５．２ｃｍ（６インチ）の正方形のＡＴ１シートのループのない側に塗布され、２５℃にておよそ３０秒間乾燥された。接着剤の乾燥重量は、１平方センチメートルあたり約１２ミリグラム（ｍｇ／ｃｍ^２）であった。濾材ＦＭ１若しくはＦＭ３、又は研磨材料ＡＭ５若しくはＡＭ６の円形表面が、ＡＴ１の接着剤コーティングされた表面にラミネートされた。構造体の縁部からはみ出した過剰なＡＴ１の材料が、はさみで切ることにより除去されて、円形で実質的に同一の広がりを持つ多層構造体が作り出された。

手順４：ＡＭ２への濾材の付着
ＡＭ２の転写テープのライナーが取り除かれて、テープの粘着性の感圧性接着剤が露出した。ＡＭ２の層と濾材の層が実質的に同一の広がりを持つように、濾材、ＦＭ１又はＦＭ３の適切な円形ディスクが、接着剤に合わせられ、接着剤に手でラミネートされた。

上述の手順を用いて、さまざまな多層研磨フィルタディスクが、表１、表２，及び表３に指定されるように準備された。複製の実施例（即ち、同じ構造体の複製）は、文字が後に続く数字（例えば、実施例１ａ及び実施例１ｂ）により指定される。複製の比較実施例は、数字が後に続く文字（例えば、比較実施例Ａ１及び比較実施例Ａ２）により指定される。いくつかの媒体材料のさまざまな特性が、表４に報告される。

どの特定の実施例であっても、表において互いに隣り合った構成要素（例えば、研磨媒体、濾材、及び付着布）は、実際の研磨物品において互いに隣接している。層が共に組み合わされて多層研磨ディスクを形成する加工順序は、所望の最終構造体が得られる限り、特別な問題ではないことが多いことが、当業者には明らかとなる。

試験方法
サンディング試験方法１
直径１２．７ｃｍ（５．０インチ）の研磨ディスクが計量され、次いで、３Ｍ社の「３Ｍフックイットバックアップパッド、２０２０６番（3M HOOKIT BACKUP PAD, #20206）」の商品名で入手可能な４０孔の直径１２．７ｃｍ（５．０インチ）×厚さ０．９５ｃｍ（３／８インチ）のフォームバックアップパッドに取り付けられた。バックアップパッドとディスクの組立品は、次いで、ニューヨーク州クラレンス（Clarence）のダイナブレード社（Dynabrade Corp.）から得られた、直径１２．７ｃｍ（５インチ）、中切削（medium finishing）のデュアルアクションオービタルサンダー、モデル２１０３３に取り付けられた。ディスクの研磨面は、ミネソタ州ホワイトベアレーク（White Bear Lake）のホワイトベアボートワークス（White Bear Boat Works）から得られた、事前計量された４６ｃｍ×７６ｃｍ（１８インチ×３０インチ）の、ゲルコーティングされたファイバーグラス強化プラスチックパネルに、手で接触させた。サンダーは、６２０ｋＰａ（９０ｐｓｉ）の送気管圧及び４４Ｎ（１０ポンドフォース）のダウンフォースで、２サイクル（それぞれ７５秒間）作動させた。ワークピースの表面に対する角度は０度を使用した。各サイクルは、合わせて全長１２．８ｍ（５０４インチ）に対して、パネル表面全域にわたる工具速度１７ｃｍ／秒（６．７インチ／秒）の２４の重複横断通過からなり、結果として均一に研磨された試験パネル領域が得られた。第１の研磨サイクル後、研磨されたパネル上部を横切るように圧縮空気を吹き付けることにより、試験パネルをきれいにして、目に見える粉塵を取り除いた。ディスクがバックアップパッドから取り除かれ、パネルとディスクの両方が計量された。研磨材がバックアップパッドに再び取り付けられ、同じ試験パネルを使用して７５秒間の研磨サイクルが繰り返された。研磨されたパネル上部を横切るように圧縮空気を吹き付けることにより、試験パネルを再びきれいにして、目に見える粉塵を取り除いた。研磨ディスクはパックアップパッドから取り除かれ、パネルと研磨ディスクの両方が計量された。報告されたデータは、第２の研磨サイクル、１５０秒間の累積研磨時間後のものである。

本方法により試験された各サンプルに対して以下の測定が行われ、１実施形態あたり２つの試験サンプルの平均として表１及び表２に表されるように報告された。

「切削量」：プラスチックパネルから除去された物質の重量（単位はグラム）。

「保持量」：サンプルディスクに収集された粒子の重量（単位はグラム）。

「ＤＥ％」：保持量／切削量の比率に１００を乗じたもの。

表面仕上げ測定試験方法
研磨された試験パネルの結果の表面粗さは、オハイオ州シンシナティのマール社（Mahr Corporation）から「表面粗度測定器モデルＭ４Ｐ−１３０５８９（PERTHOMETER MODEL M4P-130589）」の商品名で入手可能な表面仕上げ試験装置を使用することにより測定された。表面仕上げ値は、それぞれが１５０秒間の研磨試験を終えた後、試験パネルの３つの研磨部分で測定された。最大ＰＶ（peak-to-valley）値の中間であるＲｚ（Ｒｔｍとしても知られている）が、各測定に対して記録された。

改善された圧力低下測定試験
本明細書において上に記される圧力低下測定試験は、内径１１．４ｃｍ（４．５インチ）の一対のシリンダーを備えるフィルタ試験装置を用いて、３２リットル／分の気流速度で実施された。圧力変換器は、マサチューセッツ州ウィルミントン（Wilmington）のＭＫＳインストルメンツ（MKS Instruments）から、商品名「ＭＫＳバラトロン圧力変換器３９８ＨＤ−０００１０ＳＰ１２（MKS BARATRON PRESSURE TRANSDUCER, 398HD-00010SP12）」（１．３３ｋＰａ（１０トール）範囲）で入手した。

表１で得られるデータに対応する研磨手順として、研磨試験１が用いられた。

改善された圧力低下試験の測定は、全ての実施例には行われなかった。表１に報告された特定の実施例に対する改善された圧力低下試験は、追加の比較実施例に関連するデータと共に表２に報告される。

研磨試験方法１により行われるいかなる研磨にも先立ち、改善された圧力低下試験測定値が研磨物品で取られた。

研磨試験方法１により行われるいかなる研磨にも先立ち、表２に記載のものを除いた研磨物品で圧力低下測定値が取られた。

本発明の種々の修正及び変更は、本発明の範囲及び趣旨を逸脱しなければ当業者によって行われてよく、また本発明は、本明細書に記載された例示的な実施形態に不当に限定されるべきではないと理解されるべきである。

Claims (2)

1. 基材の第１表面に隣接して付着した研磨層を含み、該研磨層が、少なくとも１つの結合剤によって前記基材の前記第１表面に付着した複数の研磨粒子を含み、前記研磨層が外側研磨表面を有し、前記基材が、前記基材の前記第１表面に対向する第２表面を有し、複数の開口部が、前記外側研磨表面から前記基材の前記第２表面に延び、有孔コーティングされた研磨材またはコーティングされたスクリーン研磨材を含む多孔質研磨部材と、
   第１表面及び該第１表面に対向する第２表面を有する不織布濾材であって、該不織布濾材の前記第１表面が、前記基材の前記第２表面に隣接して付着し、前記不織布濾材が複数の繊維を含む、不織布濾材と、
   前記不織布濾材の前記第２表面と隣接して付着している多孔質付着布と、を含む研磨物品であって、
   粒子を前記外側研磨表面から前記多孔質付着布に、前記複数の開口部および前記不織布濾材を通って移動させ、未使用の状態では、研磨物品の少なくとも一部分が、圧力低下測定試験により０．２〜２０ミリメートルの水の範囲の圧力低下を示す、研磨物品。
2. 基材の第１表面に隣接して付着した研磨層を含み、該研磨層が、少なくとも１つの結合剤によって前記基材の前記第１表面に付着した複数の研磨粒子を含み、前記研磨層が外側研磨表面を有し、前記基材が、前記基材の前記第１表面に対向する第２表面を有し、複数の開口部が、前記外側研磨表面から前記基材の前記第２表面に延び、有孔コーティングされた研磨材またはコーティングされたスクリーン研磨材を含む多孔質研磨部材を準備する工程と、
   第１表面及び前記第１表面に対向する第２表面を有する不織布濾材であって、該不織布濾材の前記第１表面が、前記基材の前記第２表面に隣接して付着している、不織布濾材を準備する工程と、
   前記不織布濾材を前記基材の前記第２表面に付着させる工程と、
   多孔質付着布を前記不織布濾材の前記第２表面に付着させる工程と、を含む、研磨物品の作製方法であって、
   粒子を前記外側研磨表面から前記多孔質付着布に、前記複数の開口部および前記不織布濾材を通って移動させ、未使用の状態では、研磨物品の少なくとも一部分が、圧力低下測定試験により０．２〜２０ミリメートルの水の範囲の圧力低下を示す、研磨物品の作製方法。

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