JP5238630B2 - チルトミラー - Google Patents
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Description
αout=SF・(α1in+α2in)
βout=SF・(cosθ・β1in+cosφ・β2in)
の式に基づいてそれぞれ算出する。そして、駆動偏角制御部15は、その出射光軸駆動偏角量αout及び出射光軸駆動偏角量βoutに基づいて各軸回りの駆動信号を生成して上記第1及び第2の駆動偏角機構13,14を駆動制御し、上記第1及び第2の反射ミラー11,12をそれぞれ二軸周り(α1in,β1in及びα2in,β2in)に選択的に回動制御して、入射した光の駆動偏角量を光学的に拡大させて出射させる。
β1in:第1の反射ミラー11の駆動偏角量(図1中紙面平行、且つ、反射面平行の軸周りの駆動偏角量)
α2in:第2の反射ミラー12の駆動偏角量(図1中紙面垂直軸周りの駆動偏角量)
β2in:第2の反射ミラー12の駆動偏角量(図1中紙面平行、且つ、反射面平行の軸周りの駆動偏角量)
θ:β1inの駆動軸とβoutの駆動軸との角度
φ:β2inの駆動軸とβoutの駆動軸との角度
SF:拡大倍率
である。
(90/2n)°
となり、その拡大倍率SFが2n倍となる。
この状態において、光学系10の第1の反射ミラー11には、光源21から射出されたレーザ光が入射される。この光源21から射出されたレーザ光は、上記第1の駆動偏角機構13を介して回動制御される第1の反射ミラー11で反射され、第2の駆動偏角機構14を介して回動制御される第2の反射ミラー12に導かれて相互間で複数回ずつ多重反射され、その拡大倍率に応じて拡大された駆動偏角量で第2の反射ミラー12から装置本体20の出射口201を通して目標方向に出射される。この装置本体20の出射口201から出射される光は、第1の反射ミラー11に入射されたレーザ光に対して90°の角度方向となる。
Claims (5)
- 少なくとも一方が直交する二軸周りに回動自在に設けられた第1及び第2の反射ミラーを対面設置して、いずれか一方に光が入射されると、該光が他方との間で偶数回、多重反射されて他方から出射される反射光路が形成された光学系と、
前記第1及び第2の反射ミラーの回動自在な一方を前記二軸周りに回動制御して、前記光の出射する方向を光の入射した方向に対して90°の角度方向に設定するミラー駆動手段と、
このミラー駆動手段を駆動偏角指令情報に基づいて駆動制御し、前記第1及び第2の反射ミラーの回動自在な一方を二軸周りに回動制御して対面設置角を制御し、前記光学系から出射される光の拡大倍率を設定する駆動偏角制御手段と、
を具備することを特徴とするチルトミラー。 - 前記第1及び第2の反射ミラーの対面設置角度は、(90/(2×前記第1又は第2の反射ミラーの光反射回数))°に設定されることを特徴とする請求項1記載のチルトミラー。
- 前記拡大倍率は、前記第1又は第2の反射ミラーの光反射回数×2となることを特徴する請求項1又は2記載のチルトミラー。
- 前記ミラー駆動手段は、ピエゾ素子で形成されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか記載のチルトミラー。
- 前記第1及び第2の反射ミラーは、対面設置角度が可変設定自在に設けられることを特徴する請求項1乃至4のいずれか記載のチルトミラー。
Priority Applications (1)
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JP2009158987A JP5238630B2 (ja) | 2009-07-03 | 2009-07-03 | チルトミラー |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2009158987A JP5238630B2 (ja) | 2009-07-03 | 2009-07-03 | チルトミラー |
Publications (2)
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JP2011013559A JP2011013559A (ja) | 2011-01-20 |
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Families Citing this family (1)
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Family Cites Families (2)
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JP2723043B2 (ja) * | 1994-06-13 | 1998-03-09 | 日本電気株式会社 | 光ビーム走査装置 |
-
2009
- 2009-07-03 JP JP2009158987A patent/JP5238630B2/ja active Active
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