JP5236528B2 - ウェトエッチング装置及び方法並びに半導体装置製造方法 - Google Patents
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Description
図2は、本発明の第1の実施例を示し、本発明によるウェトエッチング装置の構成を示している。ここで、ウェトエッチング装置20は、枚葉式ウェトエッチング装置であり、通常、搬送室、水洗室、乾燥室に隣接する処理室に設置される。ウェトエッチング装置20は、ウエハ10は保持するウエハホルダ22と、ウエハホルダ22と共にウエハ10をその中心軸廻りに回転せしめるホルダ回転装置21と、複数のノズル31及び32と、複数のノズル31及び32を支持するノズル支持部23とから構成される。ノズル支持部23は、その長尺方向がホルダ回転装置21の上方で、ウエハ10の中心を通るラインに略沿うように配置される。
図6は、本発明の第2の実施例を示し、本発明によるウェトエッチング装置に含まれるノズルの配置を示している。第2の実施例における特徴は、第1の実施例に比して、さらにエッチャント液吐出用のノズルを2個から4個に増加させ、併せて2つのタイプのノズルを各々2つ使用している。そして、各タイプ毎に専用のノズル支持部23aとノズル支持部23bが設けられている。フラットスプレー型のノズル32a及び32bは、ノズル支持部23aによって支持され、フルコーンスプレー型のノズル31a及び31bは、ノズル支持部23bによって支持される。図5に示されるように、ノズル支持部23aとノズル支持部23bとは、例えば十文字状に互いに90度の挟角をなして配置され、ノズル支持部23a及び23bに取り付けられたノズル31a、ノズル32a、ノズル31b及びノズル32bは、ウエハ10と中心を同じくする同心円C上に概ね配置されている。
20 ウェトエッチング装置
21 ホルダ回転装置
22 ウエハホルダ
23 ノズル支持部
24 ドレイン
31、 31a、31b フルコーンスプレー型ノズル
32、 32a、32b フラットスプレー型ノズル
41、42 吐出ポンプ
43 薬液タンク
Claims (9)
- ウエハ上に形成された被エッチング層にウェトエッチング処理を行うウェトエッチング装置であって、
前記ウエハを保持し、前記ウエハの中心を通る回転軸廻りに前記ウエハを回転せしめる回転ホルダと、
前記ウエハの上方に各々が配置され、前記ウエハの回転と並行して前記ウエハに向けてエッチャント液を各々が噴射する複数のノズルと、
を備え、前記複数のノズルが、互いに異なるタイプの噴射形状を有し、
前記噴射形状の互いに異なるタイプは、フルコーンスプレー型の噴射形状とフラットスプレー型の噴射形状との2つのタイプであることを特徴とするウェトエッチング装置。 - 前記ノズルは、前記ウエハの中心と周辺部との間の略中間位置に向けて前記エッチャント液を噴射することを特徴とする請求項1に記載のウェトエッチング装置。
- 前記ノズルの噴射軸は、前記ウエハの回転軸に対して傾斜していることを特徴とする請求項1又は2に記載のウェトエッチング装置。
- 前記噴射形状のタイプ数に対応した数の複数系統の吐出ポンプを備えることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のウェトエッチング装置。
- 前記複数のノズルは、前記ウエハに対して同心円上に配置されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のウェトエッチング装置。
- 前記同心円上に配置された複数のノズルは、前記タイプの違いに従って並べられていることを特徴とする請求項5に記載のウェトエッチング装置。
- ウエハ上に形成された被エッチング層にウェトエッチング処理を行うウェトエッチング方法であって、
前記ウエハを保持し、前記ウエハの中心を通る回転軸廻りに前記ウエハを回転せしめる回転ステップと、
前記ウエハの上方に各々が配置された複数のノズルから、前記ウエハの回転と並行して前記ウエハに向けてエッチャント液を噴射する噴射ステップと、
を含み、前記複数のノズルが、互いに異なるタイプの噴射形状を有し、
前記噴射形状の互いに異なるタイプは、フルコーンスプレー型の噴射形状とフラットスプレー型の噴射形状との2つのタイプであることを特徴とするウェトエッチング方法。 - 半導体ウエハ上の被エッチング層をウェトエッチング処理するウェトエッチング工程を含む半導体装置製造方法であって、
前記ウェトエッチング工程は、
前記半導体ウエハの中心を通る回転軸廻りに前記半導体ウエハを回転せしめる回転工程と、
前記ウエハの上方に各々が配置された複数のノズルから、前記ウエハの回転と並行して前記ウエハに向けてエッチャント液を噴射する噴射工程と、
を含み、前記複数のノズルが、互いに異なるタイプの噴射形状を有し、
前記噴射形状の互いに異なるタイプは、フルコーンスプレー型の噴射形状とフラットスプレー型の噴射形状との2つのタイプであることを特徴とする半導体装置製造方法。 - 前記被エッチング層は、メタル配線層であることを特徴とする請求項8に記載の半導体装置製造方法。
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JP2009044028A JP5236528B2 (ja) | 2009-02-26 | 2009-02-26 | ウェトエッチング装置及び方法並びに半導体装置製造方法 |
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