JP5236501B2 - ナノ製造設備及びナノ製造方法 - Google Patents
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Description
−前記マスクは少なくとも1つの第2の電極をさらに有し、前記第1の電極は前記第2の電極と前記サンプルホルダとの間に位置し、前記第2の電極は前記貫通開口部の位置に位置し、前記電極と前記サンプルの前記表面とは、前記電極に電位が印加されたときに前記開口部を通過する前記荷電粒子の動きに電気的な影響を及ぼすようにされた静電レンズをともに形成する。
−前記第1の電極、前記第2の電極、及び前記サンプルの前記表面から選択される少なくとも1つの構造物に電位を発生させるようにされた電気発生装置を有する。
−前記第1の電極は前記マスクの前記下面に配置されている。
−前記下部電極に接続され、前記開口部を通過する前記粒子が前記表面に到達したときに、前記サンプルから分離された荷電素粒子を検出するようにされた検出器を有する。
−前記第1の電極と前記サンプルとの間に電位を発生させ、前記マスクと前記サンプルとの間の前記粒子の運動エネルギーに影響を及ぼすようにされた電気発生装置を有する。
−前記近接場検出装置は、前記サンプルの表面の近くで前記サンプルホルダに対して移動可能なヘッドを有し、前記ヘッドは、前記マスクに対して既知の相対位置に位置している。
−前記ヘッドと前記マスクは、前記サンプルの表面にほぼ平行な面内を一体的に移動可能である。
−前記ヘッドは、先端部と可とう性のカンチレバーとを有し、前記マスクは前記カンチレバーの薄肉の部分に形成されている。
−前記貫通開口部は、前記サンプルホルダへの前記粒子の経路に対して横方向に延びる狭いスリットを有する。
−荷電粒子の前記ビームを前記サンプルホルダの方向に放出して前記サンプルを形成するようにされた少なくとも1つのソースを有する。
−前記ソースと前記サンプルホルダとの間に配置され、以下の処理、すなわち、
−前記ソースから放出された前記粒子をクラスタとして集めること、
−電荷と、質量と、電荷と質量の比と、から選択される少なくとも1つの所望の特性を有するクラスタのフィルタリング、
−前記マスクの方向への前記クラスタの偏向
のうちの少なくとも1つを行うようにされたビーム整形装置を有する。
−各ソースが互いに異なる材料の粒子を前記サンプルホルダの方向に放出するようにされた複数のソースを有する。
−前記マスクは、複数の貫通開口部と、それぞれの貫通開口部の位置に位置する第1の電極と、を有し、それぞれの第1の電極が、対応する前記開口部を通過する前記荷電粒子と電気的に相互作用するようにされている。
−各ソースが対応する開口部を通って前記サンプルホルダの方向に粒子を放出するようにされた複数のソースを有する。
−前記ソースと前記マスクとの前記相対位置を検出するようにされたソース位置決めシステムをさらに有する。
−前記位置決めシステムは、近接場顕微鏡用の先端部の形態に構成されたソースそのものであって、前記粒子を形成する材料を外面に有し、前記先端部は、第1の動作モードでは前記先端部と前記マスクとの前記相対位置を検出し、第2の動作モードでは前記粒子を放出するようにされたソースそのものを有する。
−前記ソースは、前記材料の槽と、前記槽に入っている前記材料を液化し、前記材料を前記ソースの前記先端部に沿って流させる加熱装置と、を有する。
−前記ソースは前記開口部を形成するようにされている。
b)変位装置が、前記マスクと前記サンプルホルダとの相対的な移動を生じさせて、前記マスク及び前記サンプルを、ソースと前記マスクとの相対位置とは無関係に前記所望の相対位置に位置させ、
前記サンプル形成マスクは、前記サンプルホルダの方に向けられた下面と、前記下面の反対側に設けられた上面と、前記上面と前記下面との間に設けられた少なくとも1つの貫通開口部と、を有し、
c)粒子ビームを前記ソースから前記サンプルホルダの方向に放出させ、前記粒子の一部が前記サンプルホルダの方向に前記貫通開口部を通過することによって前記サンプルが形成される、ナノ製造方法において、
ステップc)において、前記ソースは荷電粒子を放出し、
d)前記貫通開口部の位置に配置された前記マスクの少なくとも1つの第1の電極によって、前記貫通開口部を通過する前記粒子との電気的な相互作用が生じることを特徴とするナノ製造方法に関する。
−ステップc)において、粒子が、前記サンプルの前記表面に到達して該表面を形成し、荷電した素粒子を該表面から分離し、ステップd)において、前記荷電した素粒子を前記第1の電極によって検出することで、前記開口部を通過する粒子との相互作用が生じる。
−ステップd)において、前記第1の電極と前記表面との間に電位差を生じさせ、前記開口部を通過する前記粒子が前記表面に到達したときに前記電位差が前記粒子の運動エネルギーに影響を及ぼすことによって、前記粒子との相互作用が生じる。
−前記マスクは少なくとも1つの第2の電極をさらに有し、前記第1の電極は前記第2の電極と前記サンプルホルダとの間に位置し、前記第2の電極は前記貫通開口部の位置に位置し、ステップd)において、前記電極と前記表面とが前記粒子の軌跡に電気的な影響を及ぼす静電レンズをともに形成することによって、前記開口部を通過する前記粒子との電気的な相互作用が生じる。
−e)前記ソースと前記開口部との前記相対位置が検出され前記ソースと前記開口部の相対移動が生じて、前記ソースと前記開口部とが、前記ビームの一部が前記開口部を通過するようにそれぞれの適切な位置に位置させられる。
−少なくともステップa)〜d)が引き続き所望の相対位置で繰り返される。
−前記ソースから放出された前記粒子をクラスタとして集めるステップと、電荷と、質量と、電荷と質量の比と、から選択される少なくとも1つの所望の特性を有するクラスタをフィルタリングするステップと、クラスタをマスクの方向へ偏向させるステップのうちの少なくとも1つが行われる。
−少なくともステップc)及びd)が、前記マスクのただ一つの開口部を通して粒子を放出する複数のソースに対して連続的に行われる。
−少なくともステップc)及びd)が、各ソースがそれぞれの開口部を通して粒子を放出する複数のソースに対して並行して行われる。
−前記ソースは前記マスクの前記貫通開口部を形成する。
−クラスタのビームによって個々に(堆積点、堆積パターン)またはまとめて(パターンのネットワーク)対処可能な、可変な形状、サイズ、位置、及び/または構成を有する複数の開口部を作製し、使用すること。後者の場合、マスクによって形成されるパターンの並行/同時転写が可能になる。
−マスクが、カンチレバー自体より広い表面積を有するため、マスクに作られた開口部に近接したサンプル4の表面4aの領域を、スクリーニング効果によって非常に効果的に保護すること。
Claims (29)
- 表面(4a)を有するサンプル(4)を受けるようにされたサンプルホルダ(3)と、
粒子ビームを放出して前記サンプル(4)を形成するソース(1)と、
前記サンプルホルダの方に向けられた下面(8b)と、前記下面の反対側に設けられ、前記ソース(1)から前記サンプルホルダの方向に放出された粒子ビーム(2)を受けて前記サンプルを形成するようにされた上面(8a)と、前記上面と前記下面との間に設けられ、前記粒子の一部を前記サンプルホルダの方向に通過させるようにされた少なくとも1つの貫通開口部(10)と、を有するサンプル形成マスク(8)と、
前記マスク(8)と前記サンプル(3)との所望の相対位置を検出するようにされた近接場検出装置(6)と、
前記マスク(8)と前記サンプルホルダ(3)との相対的な移動を生じさせ、前記マスクと前記サンプルとを、前記ソースと前記マスクとの前記相対位置とは無関係に、前記所望の相対位置に位置させるようにされた変位装置(9)と、
を有するナノ製造設備において、
前記マスク(8)は、前記貫通開口部の位置に、該貫通開口部を通過する荷電粒子と電気的に相互作用するようにされた少なくとも1つの電極(11)を有することを特徴とするナノ製造設備。 - 前記マスク(8)は少なくとも1つの第2の電極(12)をさらに有し、前記第1の電極(11)は前記第2の電極(12)と前記サンプルホルダ(3)との間に位置し、前記第2の電極は前記貫通開口部(10)の位置に位置し、前記電極(11;12)と前記サンプルの前記表面(4a)とは、前記電極に電位が印加されたときに前記開口部(10)を通過する前記荷電粒子の動きに電気的な影響を及ぼすようにされた静電レンズをともに形成する、請求項1に記載の設備。
- 前記第1の電極、前記第2の電極、及び前記サンプルの前記表面(4a)から選択される少なくとも1つの構造物に電位を発生させるようにされた電気発生装置(13;14)をさらに有する、請求項2に記載の設備。
- 前記第1の電極(11)は前記マスクの前記下面(8b)に配置されている、請求項1から3のいずれか1項に記載の設備。
- 前記下部電極に接続され、前記開口部を通過する前記粒子が前記表面に到達することによって前記サンプル(4)から分離された荷電素粒子を検出するようにされた検出器(19)をさらに有する、請求項4に記載の設備。
- 前記第1の電極と前記サンプルとの間に電位を発生させ、前記マスク(8)と前記サンプル(4)との間の前記粒子の運動エネルギーに影響を及ぼすようにされた電気発生装置(13;14)をさらに有する、請求項1から5のいずれか1項に記載の設備。
- 前記近接場検出装置(6)は、前記サンプルの表面の近くで前記サンプルホルダに対して移動可能なヘッド(37)を有し、前記ヘッド(37)は、前記マスク(8)に対して既知の相対位置に位置している、請求項1から6のいずれか1項に記載の設備。
- 前記ヘッド(37)と前記マスク(8)は、前記サンプルの表面にほぼ平行な面内を一体的に移動可能である、請求項7に記載の設備。
- 前記ヘッド(37)は、先端部(7)と可とう性のカンチレバー(36)とを有し、前記マスク(8)は前記カンチレバーの薄肉の部分に形成されている、請求項7に記載の設備。
- 前記貫通開口部(10)は、前記サンプルホルダへの前記粒子の経路に対して横方向に延びる狭いスリットを有する、請求項1から9のいずれか1項に記載の設備。
- 荷電粒子の前記ビームを前記サンプルホルダ(3)の方向に放出して前記サンプルを形成するようにされた少なくとも1つのソース(1)をさらに有する、請求項1から10のいずれか1項に記載の設備。
- 前記ソース(1)と前記サンプルホルダ(3)との間に配置され、以下の処理、すなわち、
−前記ソースから放出された前記粒子をクラスタとして集めること、
−電荷と、質量と、電荷と質量の比と、から選択される少なくとも1つの所望の特性を有するクラスタのフィルタリング、
−前記マスク(8)の方向への前記クラスタの偏向
のうちの少なくとも1つを行うようにされたビーム整形装置(5)をさらに有する、請求項11に記載の装置。 - 各ソースが互いに異なる材料の粒子を前記サンプルホルダ(3)の方向に放出するようにされた複数のソース(1)を有する、請求項11または12に記載の設備。
- 前記マスクは、複数の貫通開口部(10)と、それぞれの貫通開口部の位置に位置する第1の電極(11)と、を有し、それぞれの第1の電極(11)が、対応する前記開口部(10)を通過する前記荷電粒子と電気的に相互作用するようにされている、請求項11または12に記載の設備。
- 各ソースが対応する開口部(10)を通って前記サンプルホルダの方向に粒子を放出するようにされた複数のソース(1)を有する、請求項14に記載の設備。
- 前記ソース(1)と前記マスク(8)との前記相対位置を検出するようにされたソース位置決めシステム(20)をさらに有する、請求項11から15のいずれか1項に記載の設備。
- 前記位置決めシステムは、近接場顕微鏡用の先端部(21)の形態に構成されたソース(1)そのものであって、前記粒子を形成する材料を外面(26a)に有し、前記先端部は、第1の動作モードでは前記先端部(1)と前記マスク(8)との前記相対位置を検出し、第2の動作モードでは前記粒子を放出するようにされたソース(1)そのものを有する、請求項16に記載の設備。
- 前記ソースは、前記材料の槽(31)と、前記槽に入っている前記材料を液化し、前記材料を前記ソースの前記先端部(21)に沿って流させる加熱装置(30)と、を有する、請求項17に記載の設備。
- 前記ソースは前記開口部(10)を形成するようにされている、請求項11から18のいずれか1項に記載の設備。
- a)近接場検出装置が、形成マスク(8)と、サンプルホルダ(3)上に配置されたサンプル(4a)の表面と、の所望の相対位置を検出し、
b)変位装置(9)が、前記マスク(8)と前記サンプルホルダ(3)との相対的な移動を生じさせて、前記マスク及び前記サンプルを、ソース(1)と前記マスク(8)との相対位置とは無関係に前記所望の相対位置に位置させ、
前記サンプル形成マスク(8)は、前記サンプルホルダの方に向けられた下面(8b)と、前記下面の反対側に設けられた上面(8a)と、前記上面と前記下面との間に設けられた少なくとも1つの貫通開口部(10)と、を有し、
c)粒子ビームを前記ソース(1)から前記サンプルホルダの方向に放出させ、前記粒子の一部が前記サンプルホルダの方向に前記貫通開口部(10)を通過することによって前記サンプルが形成される、ナノ製造方法において、
ステップc)において、前記ソースは荷電粒子を放出し、
d)前記貫通開口部(10)の位置に配置された前記マスクの少なくとも1つの第1の電極(11;12)によって、前記貫通開口部を通過する前記粒子との電気的な相互作用が生じることを特徴とするナノ製造方法。 - ステップc)において、粒子が、前記サンプルの前記表面(4a)に到達して該表面を形成し、荷電した素粒子を該表面から分離し、
ステップd)において、前記開口部を通過する粒子との相互作用が生じ、前記荷電した素粒子を前記第1の電極(11)によって検出する、請求項20に記載のナノ製造方法。 - ステップd)において、前記第1の電極(11;12)と前記表面(4a)との間に電位差を生じさせ、前記開口部を通過する前記粒子が前記表面に到達したときに前記電位差が前記粒子の運動エネルギーに影響を及ぼすことによって、前記粒子との相互作用が生じる、請求項20または請求項21に記載のナノ製造方法。
- 前記マスク(8)は少なくとも1つの第2の電極(12)をさらに有し、前記第1の電極(11)は前記第2の電極と前記サンプルホルダとの間に位置し、前記第2の電極は前記貫通開口部(10)の位置に位置し、ステップd)において、前記電極(11、12)と前記表面(4a)とが前記粒子の軌跡に電気的な影響を及ぼす静電レンズをともに形成することによって、前記開口部を通過する前記粒子との電気的な相互作用が生じる、請求項20から22のいずれか1項に記載のナノ製造方法。
- e)前記ソース(1)と前記開口部(10)との前記相対位置が検出され前記ソースと前記開口部の相対移動が生じて、前記ソースと前記開口部とが、前記ビームの一部が前記開口部を通過するようにそれぞれの適切な位置に位置させられる、請求項20から23のいずれか1項に記載のナノ製造方法。
- 少なくともステップa)〜d)が引き続き所望の相対位置で繰り返される、請求項20から24のいずれか1項に記載のナノ製造方法。
- 前記ソース(1)から放出された前記粒子をクラスタとして集めるステップと、電荷と、質量と、電荷と質量の比(8)と、から選択される少なくとも1つの所望の特性を有するクラスタをフィルタリングするステップと、クラスタをマスクの方向へ偏向させるステップのうちの少なくとも1つが行われる、請求項20から25のいずれか1項に記載のナノ製造方法。
- 少なくともステップc)及びd)が、前記マスクのただ一つの開口部を通して粒子を放出する複数のソース(1)に対して連続的に行われる、請求項20から26のいずれか1項に記載のナノ製造方法。
- 少なくともステップc)及びd)が、各ソースがそれぞれの開口部を通して粒子を放出する複数のソース(1)に対して並行して行われる、請求項20から27のいずれか1項に記載のナノ製造方法。
- 前記ソース(1)は前記マスクの前記貫通開口部(10)を形成する、請求項20から28のいずれか1項に記載のナノ製造方法。
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