JP5223763B2 - カラーフィルタの欠陥修正方法、製造方法、および、欠陥修正装置 - Google Patents

Description

本発明は、例えば液晶テレビ等に用いられるカラーフィルタの着色層に存在する欠陥を修正するための欠陥修正方法に関するものである。

例えば液晶表示素子用カラーフィルタなどのように、基板上にＢｋ（黒）、Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の着色層を形成する場合には、製造工程中、あるいは材料中に存在する微小な異物などに起因して、ある程度の確率でパターン欠陥が生じる。パターン欠陥は、主として、異物欠陥、顔料凝集による濃色欠陥などに起因する黒欠陥と、白っぽく色が抜ける白欠陥（色抜け欠陥、あるいはパターン欠け欠陥）とに分類され、白欠陥は、黒欠陥部分の付着物が除去される際にも生じる。黒欠陥は、視覚的に黒っぽい点として認識されるだけでなく、突起がある欠陥のため、カラーフィルタをＴＦＴ基板と貼り合わせ表示パネルを組んだ際に、その突起がＴＦＴ基板にまで到達してしまい短絡を起こし、重大な製品不良の原因になり得る。白欠陥は、液晶表示素子を組み立て、表示した場合に、たとえそれが数十ミクロンの小さい欠陥でもピンホールのように光り、目立つため、避けるべき欠陥である。最近では液晶表示素子の大画面化に伴うパターン面積の増大に伴い、黒欠陥や白欠陥も生じやすくなってきており、そのような問題解決に対する重要度はますます増してきている。

欠陥を生じても、歩留まりを向上させて生産性を損なわないために、特許文献１に示されるような部分的に欠陥部を修正する技術が確立されるようになった。この欠陥部修正装置は、黒欠陥部をレーザーで焼いて揮散させ、白欠陥の色抜け部にカラー紫外線硬化性樹脂を塗布し、紫外線で硬化させるものである。

上記カラー紫外線硬化樹脂を塗布する手段としては、上記特許文献１のようにディスペンサによってペーストを必要量垂らす方法、インクジェットによる方法、または特許文献２に開示されているような、先端が平面を形成している針状物（塗布針）の先端にカラー紫外線硬化性樹脂を付着させ、それを欠陥部に押しつける手段等がある。この中で塗布針により直接カラー紫外線硬化性樹脂を塗布する方法は、より微小な白欠陥に対応できるので好ましいとされている。

しかしながら、着色層を形成するために用いられるインキをそのまま用いても、うまく修正することはできない。例えば、印刷法によりカラーフィルタの着色層を形成するためのインキについては、ブランケットに対する付着性を考慮して調製されるために、そのまま修正部の塗布に用いると粘度が高すぎて、色抜け部のみならず正常な色画素部分にまでインキが重なった場合に、重なり部分が新たな突起になりやすいという問題がある。また、例えばパターン露光で形成する着色レジスト用組成物については、スピンコート等によって均一に塗布することを目的とするために、そのまま修正部の塗布に用いると粘度が低すぎて、塗布後に塗布スポットが広がってしまい、正常な色画素部分への重なり部分の面積が大きくなり、新たに混色欠陥となることがあった。また、粘度が低いと、特に塗布針による塗布の場合、インキの塗布針への「のり」が悪いという問題がある。

一方、特許文献３には、塗布針による色抜け部への塗布用カラーペーストが開示されており、カラーペーストにおける固形分中の着色剤濃度やペーストの粘度が規定されている。しかしながら、塗布針を用いてインキの塗布をする場合、所望の量のインキを塗布針に付着させ、当該塗布針に付着したインキを欠陥部分に塗布し、上記欠陥内にインキが濡れ広がり、かつ、上記欠陥の周囲まで濡れ広がらないようにする必要があり、インキの粘度以外にも、様々なインキの物性を考慮し、調製する必要がある。しかも、インキが塗布される欠陥のサイズによって、修正に必要となるインキの量や、欠陥内にインキが均一に濡れ広がるために所望される濡れ性が異なるため、同じ修正用インキを様々なサイズの欠陥に塗布しても、良好な修正は行えない場合がある。

特開平６−１０９９１９号公報 特開平８−１８２９４９号公報 特開平１１−１４２６３５号公報

本発明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、カラーフィルタの着色層に存在する欠陥部分を良好に修正するための欠陥修正方法を提供することを主目的とするものである。

上記目的を達成するために、本発明は、カラーフィルタの着色層に存在する欠陥に欠陥修正用インキを塗布することにより上記欠陥を修正するカラーフィルタの欠陥修正方法であって、少なくとも１色の欠陥修正用インキについて、修正される上記欠陥のサイズに応じた２種類以上の欠陥修正用インキを準備する欠陥修正用インキ準備工程と、上記欠陥修正用インキ準備工程において準備された２種類以上の欠陥修正用インキの中から、修正される上記欠陥のサイズに適した欠陥修正用インキを選択する欠陥修正用インキ選択工程と、上記欠陥修正用インキ選択工程において選択された上記欠陥修正用インキを塗布して上記欠陥を修正する欠陥修正用インキ塗布工程とを有することを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法を提供する。

本発明においては、１色に対して２種類以上準備された欠陥修正用インキの中から、修正される欠陥のサイズに応じて欠陥修正用インキを選択するものであるため、欠陥修正用インキを塗布針に付着させ、欠陥部分に塗布し、適切に濡れ広がらせるといった、欠陥修正の各工程を容易かつ良好に行うことができる。

また、本発明は、カラーフィルタを形成するカラーフィルタ形成工程と、形成された上記カラーフィルタの着色層に存在する欠陥を検出する検査工程と、上記検査工程において検出された欠陥を、上記カラーフィルタの欠陥修正方法を用いて修正する欠陥修正工程とを有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法を提供する。

本発明のカラーフィルタの製造方法においては、上記欠陥修正工程において２種類以上準備された欠陥修正用インキの中から、修正される欠陥のサイズに応じて欠陥修正用インキを選択するものであるため、欠陥を容易かつ良好に修正することができ、歩留りが高く、高品質なカラーフィルタを製造することができる。

さらに、本発明は、カラーフィルタの着色層に存在する欠陥に欠陥修正用インキを塗布することにより前記欠陥を修正するカラーフィルタの欠陥修正装置であって、少なくとも１色の欠陥修正用インキについて、２種類以上の欠陥修正用インキが配置されている欠陥修正用インキ保持手段と、上記欠陥修正用インキを上記欠陥に塗布するための塗布針を保持する塗布針保持手段と、上記カラーフィルタを保持するカラーフィルタ保持手段とを有し、上記塗布針が上記欠陥修正用インキ保持手段と上記カラーフィルタの欠陥部分との間の相対的な移動が可能なように、上記欠陥修正用インキ、上記塗布針、および、上記カラーフィルタが保持されていることを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正装置を提供する。

本発明のカラーフィルタの欠陥修正装置においては、少なくとも１色の欠陥修正用インキについて、２種類以上の欠陥修正用インキを配置することができるため、修正される欠陥のサイズに応じて欠陥修正用インキを選択することができ、容易かつ良好に欠陥の修正を行うことができる。

上記発明においては、上記カラーフィルタの欠陥部分を除去する欠陥除去手段を有することが好ましい。上記欠陥除去手段を有することにより、欠陥の除去および欠陥の修正を１つの装置において行うことができる。

本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法によれば、カラーフィルタの着色層に存在する欠陥部分を良好に修正することが可能であるという効果を奏する。

本発明のカラーフィルタの修正方法の一例を示す概略工程図である。 本発明のカラーフィルタの修正方法において好適に用いられる塗布針の一例を示す概略断面図である。 本発明のカラーフィルタの欠陥修正装置の一例を示す概略構成図である。 本発明のカラーフィルタの欠陥修正装置の他の例を示す概略構成図である。 本発明のカラーフィルタの欠陥修正装置の他の例を示す概略構成図である。 本発明のカラーフィルタの欠陥修正装置の他の例を示す概略構成図である。 本発明における欠陥修正の工程の一例を示す概略工程図である。 本発明における欠陥修正に用いることができるマスクの一例を示す概略構成図である。

以下、本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法、カラーフィルタの製造方法、および、カラーフィルタの欠陥修正装置について詳細に説明する。
なお、本明細書において（メタ）アクリルはアクリル及びメタクリルを表し、（メタ）アクリレートはアクリレート及びメタクリレートを表す。また、本明細書において光とは、光反応性官能基に光反応を引き起こさせることが可能な可視および非可視領域の波長が全て含まれ、例えばマイクロ波、可視光、紫外線等の電磁波が全て含まれるが、主に紫外線等が用いられる。

Ａ．カラーフィルタの欠陥修正方法
本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法は、カラーフィルタの着色層に存在する欠陥に欠陥修正用インキを塗布することにより上記欠陥を修正するカラーフィルタの欠陥修正方法であって、少なくとも１色の欠陥修正用インキについて、修正される上記欠陥のサイズに応じた２種類以上の欠陥修正用インキを準備する欠陥修正用インキ準備工程と、上記欠陥修正用インキ準備工程において準備された２種類以上の欠陥修正用インキの中から、修正される上記欠陥のサイズに適した欠陥修正用インキを選択する欠陥修正用インキ選択工程と、上記欠陥修正用インキ選択工程において選択された上記欠陥修正用インキを塗布して上記欠陥を修正する欠陥修正用インキ塗布工程とを有することを特徴とするものである。

図１（ａ）に例示するような、ブラックマトリックス１の開口部に赤色２Ｒ、青色２Ｂ、および緑色２Ｇのカラーパターン２が形成されているカラーフィルタ３の黒欠陥４（４Ｌおよび４Ｓ）を修正する場合、黒欠陥４をレーザー等で焼いて揮散させて白欠陥５（５Ｌおよび５Ｓ）とし（図１（ｂ））、上記白欠陥５の色抜け部に欠陥修正用インキ６を塗布し（図１（ｃ））、上記欠陥修正用インキ６が欠陥内に濡れ広がった後に紫外線等で硬化させることにより、欠陥を修正する（図１（ｄ））。
なお、本発明はカラーフィルタの欠陥修正方法等に関するものであるが、本明細書においては、修正される上記「着色層」には赤色（Ｒ）、青色（Ｂ）、緑色（Ｇ）等のカラーパターンの他に、ブラックマトリックスも含まれるものとする。

上記白欠陥に欠陥修正用インキを塗布する方法としては、ディスペンサによって必要量の欠陥修正用インキを垂らす方法、インクジェットによる方法、または、図２に例示するような先端が平面を形成している針状物（塗布針）の先端に欠陥修正用インキを付着させ、それを白欠陥部に押しつける方法等がある。より微小な白欠陥に対応することができるため、本発明においては上記の方法の中でも、塗布針により白欠陥に塗布されることが好ましい。図２に例示するような塗布針７によって欠陥修正用インキ６を塗布する場合、欠陥修正用インキを塗布針に付着させ、塗布針に付着した欠陥修正用インキを欠陥部分に塗布し、適切に濡れ広がらせる必要がある。そのため欠陥修正用インキは、静的な状態における物性のみならず、動的な状態における物性をも考慮して調製されることが好ましい。

また、修正される欠陥のサイズによって、修正に必要となる欠陥修正用インキの量や、欠陥内に欠陥修正用インキが均一に濡れ広がるために所望される濡れ性等が異なるため、同じ欠陥修正用インキを様々なサイズの欠陥に塗布しても、良好な修正は行えない場合がある。例えば、中程度のサイズの欠陥を修正する場合に最適となるように調製された欠陥修正用インキを小さい欠陥の修正に用いると、塗布針による１回の塗布によって塗布される欠陥修正用インキの量が多すぎ、欠陥の周囲にまで欠陥修正用インキが濡れ広がってしまう可能性がある。また、上記欠陥修正用インキを大きい欠陥の修正に用いると、塗布針による１回の塗布によって塗布される量よりも遥かに多い量の欠陥修正用インキが必要となるため、塗布回数が多くなり、生産効率上好ましくない。

上述したような不具合を抑制し、各サイズの欠陥に適した欠陥修正用インキを用いることができるようにするために、本発明においては、少なくとも１色の欠陥修正用インキについて、修正される欠陥のサイズに応じて準備された２種類以上の欠陥修正用インキの中から欠陥修正用インキを選択し、選択された欠陥修正用インキを塗布することにより欠陥を修正する。

カラーフィルタの着色層に黒欠陥が検出された場合は、レーザー等によって黒欠陥およびその周辺の着色層を除去して白欠陥とした後に、欠陥修正用インキを塗布して修正を行う。本明細書において上記「欠陥のサイズ」とは、黒欠陥が除去された後に生じる白欠陥の寸法を意味するものとする。また、カラーフィルタの着色層に色抜け等の白欠陥が検出された場合は、当該白欠陥にそのまま欠陥修正用インキが塗布されることもあるが、通常は欠陥修正用インキの塗布を良好に行えるように、当該白欠陥の周辺部分をレーザー等によって除去し、カラーフィルタの基板が露出した状態にした後に欠陥修正用インキの塗布を行う。上記いずれの場合においても、「欠陥のサイズ」とは、上記欠陥修正用インキ選択工程において選択された欠陥修正用インキが塗布される直前、すなわち、レーザー等による欠陥部分の除去が行われる場合は当該除去後の白欠陥の寸法を意味するものとする。
以下、本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法における各工程について説明する。

１．欠陥修正用インキ準備工程
本工程においては、少なくとも１色の欠陥修正用インキについて、修正される上記欠陥のサイズに応じた２種類以上の欠陥修正用インキを準備する。
従来のカラーフィルタの欠陥修正方法においては、通常は修正される着色層の各色について、１種類の欠陥修正用インキが準備される。しかしながら本発明においては、修正しようとするカラーフィルタの着色層に発生し得る欠陥のサイズを複数、具体的には２つ、３つ、または４つ以上の範囲に分類し、各サイズ範囲の欠陥を修正するために適した物性を有する欠陥修正用インキを準備する。

本発明においては、修正される着色層のうち、少なくとも１色について上述したように複数種類の欠陥修正用インキが準備されればよいが、修正されるカラーパターンの全ての色について複数種類の欠陥修正用インキが準備されることが好ましく、ブラックマトリックスを含め、修正される着色層の全ての色について複数種類の欠陥修正用インキが準備されることが特に好ましい。

本工程において欠陥修正用インキを準備する方法は、修正される欠陥のサイズに応じた２種類以上の欠陥修正用インキを準備することができる方法であれば特に限定されるものではない。本工程においては、例えば、各サイズの欠陥を修正するために適した欠陥修正用インキの物性を決定し、決定された物性が得られるような組成を決定し、当該組成を有する欠陥修正用インキを調製することにより、欠陥修正用インキを準備することができる。
以下、本工程において準備される欠陥修正用インキの物性、組成、および、調製について説明する。

（１）欠陥修正用インキの物性
本発明に用いられる欠陥修正用インキの物性は、修正される欠陥のサイズに応じて決定されるものであれば特に限定されるものではなく、欠陥のサイズに応じて、種々のパラメータに基づき、公知の方法によって物性を決定することができる。例えば、本発明においては、上記欠陥修正用インキの物性を、上記欠陥のサイズと、当該サイズの欠陥を修正するのに適した欠陥修正用インキの物性との関係を定め、定められた上記関係に基づいて決定することができる。

本発明において上記関係は、上記欠陥修正用インキ物性決定工程に先立って予め定められたもの（第一の方法）でもよく、上記欠陥修正用インキ物性決定工程においてその都度実験等を行うことによって定められるもの（第二の方法）でもよい。上記の中でも、本発明において欠陥修正用インキの物性は、予め定められた上記関係に基づいて決定されること（第一の方法）が好ましい。上記関係を予め定めることにより、その都度実験等を行う必要がなく、容易、かつ効率的に欠陥修正用インキの物性を決定することができるからである。

上記第一の方法においては、上記欠陥修正用インキの物性が、上記欠陥のサイズと、当該サイズの欠陥を修正するのに適した欠陥修正用インキの物性との関係を予め定め、予め定められた上記関係に基づいて決定することができる。このように、予め実験等を行い、上記関係を定めておくことにより、その都度実験等をする必要がないため、欠陥修正用インキの物性を容易に決定することができる。

例えば、上記関係は、生じうる欠陥のサイズを複数の範囲に分けた場合の各サイズの範囲と、当該サイズの範囲を修正するのに適した欠陥修正用インキの物性との関係として定めることができる。また、生じうる欠陥のサイズの全範囲において、各サイズの欠陥を修正するのに適したパラメータの値の、グラフ等の相関関係図を作成することによっても上記関係を定めることができる。

本発明において上記関係は、生じうる欠陥のサイズを複数の範囲に分け、定められることが好ましい。このような関係は、実際に様々なサイズの欠陥サイズの修正を行い、一連の結果から定めることができる。上記生じうる欠陥のサイズは、例えば「大」と、「小」との２つの範囲、または「大」と、「中」と、「小」との３つの範囲に分けることができる。中でも、上記範囲を２つに分けることが好ましい。このように範囲を２つに分けて上記関係を定めることにより、各サイズの欠陥に適切に対応した関係を効率的に定めることができる。

また、相関関係図を作成することによって上記関係を定める場合は、生じうる欠陥のサイズの全範囲において、欠陥のサイズと、各サイズの欠陥を修正するのに適した各パラメータの値との相関関係図を作成し、上記相関関係図に基づいて上記欠陥のサイズと、当該サイズの欠陥を修正するのに適した欠陥修正用インキの物性との関係を定めることができる。このような相関関係図を作成することにより上記関係を高い精度において定めることができる。

上記第二の方法として、本発明においては、上述した欠陥のサイズと、当該サイズの欠陥を修正するのに適した欠陥修正用インキの物性との関係は、その都度実験等を行うことによって定め、その都度定められた上記関係に基づいて欠陥修正用インキの物性を決定してもよい。この場合も、上記第一の方法と同様に、生じうる欠陥のサイズを複数の範囲に分けて上記関係を定めても、上記相関関係図を作成することによって定めてもよい。

本発明において欠陥修正用インキの物性は、上述したような方法等によって、各種のパラメータに基づいて決定することができる。欠陥修正用インキの物性を示すパラメータとしては、静的な物性を示すパラメータや、動的な物性を示すパラメータ等があるが、本発明において欠陥修正用インキの物性は、静的な物性および動的な物性の両方のパラメータを用いて決定されることが好ましい。

塗布された欠陥修正用インキが白欠陥内に濡れ広がることを考える場合、当該欠陥修正用インキが塗布されるカラーフィルタ基板の表面上での静的な表面張力（接触角）や粘度を調製することにより、所望の濡れ広がり性を得ることができる。しかしながら、欠陥修正用インキを塗布針に付着させ、当該塗布針に付着した欠陥修正用インキを白欠陥（カラーフィルタ基板）に塗布する際、塗布針と欠陥修正用インキとの界面、および、欠陥修正用インキとカラーフィルタ基板との界面は静止状態ではなく、動的な状態である。そのため、静的な物性のみを考慮して調製された欠陥修正用インキを用いると、塗布針による欠陥修正用インキの塗布を良好に行えない場合がある。

例えば、静的な状態における表面張力が調整されており、所望の濡れ広がり性を有する欠陥修正用インキを用いても、当該欠陥修正用インキの動的な状態における表面張力が静的な状態における表面張力よりも大幅に大きい場合は、塗布針やカラーフィルタ基板との界面における表面張力が大きすぎ、欠陥修正用インキを塗布針へ脱着させることが困難となる場合がある。

本発明においては、上述したような不具合を解消し、カラーフィルタの着色層に存在する欠陥を効率的かつ良好に修正するために、静的および動的の両方のパラメータ、例えば欠陥修正用インキの基板との接触角の変化量、動的表面張力変化、せん断応力変化、粘度等を考慮して欠陥修正用インキの物性を決定することができる。本発明においては上記パラメータの中でも、欠陥修正用インキの欠陥修正用インキの基板との接触角の変化量、動的表面張力変化、および、せん断応力変化の各パラメータに基づいて欠陥修正用インキの物性が決定されることが好ましい。

上述したように、修正される欠陥のサイズによって、修正に必要となる欠陥修正用インキの量や、欠陥内に欠陥修正用インキが均一に濡れ広がるために所望される濡れ性等が異なるため、同じ欠陥修正用インキを様々なサイズの欠陥に塗布しても、良好な修正は行えない場合がある。そのため、本発明においては上記パラメータの中でも、欠陥修正用インキの欠陥修正用インキの基板との接触角の変化量、動的表面張力変化、および、せん断応力変化の各パラメータのうちの少なくとも１つ、より好ましくは２つ、特に好ましくは３つのパラメータの値が、修正される欠陥のサイズに応じて調整されることが好ましい。
以下、修正される欠陥のサイズに応じて調整されることが好ましい上記３つのパラメータと、その他のパラメータとについて説明する。

（ａ）カラーフィルタ基板上の接触角
本発明において接触角は、接触角計（協和界面科学製、商品名：Drop Master ）を用いて、欠陥修正用インキ２ｃｃをシリンジにとり、素ガラス上に滴下した時の０ｍｓ〜２００００ｍｓでの接触角を計測することにより測定することができる。本発明においては、上述したように計測された際の０ｍｓの時の測定値から、２００００ｍｓの時の測定値を引いた数値を「０ｍｓ〜２００００ｍｓにおけるカラーフィルタ基板上の接触角の変化量」として用いることができる。

欠陥修正用インキの上記接触角の変化量が小さすぎると、塗布針を用いて欠陥修正用インキを欠陥に塗布しても、当該欠陥内に欠陥修正用インキが十分に濡れ広がらず、膜厚の不均一や白抜け等の不具合の原因となり得る。一方、欠陥修正用インキの上記接触角の変化量が大きすぎると、塗布針を用いて欠陥に塗布された欠陥修正用インキが、上記欠陥の周囲へまで濡れ広がり、シミ等の不具合の原因となり得る。

欠陥修正用インキの物性を決定する方法の「第一の方法」として上述した場合のように、生じうる欠陥のサイズを２つの範囲に分けて上記欠陥修正用インキの物性が決定される場合は、上記欠陥修正用インキの接触角の変化量を下記の範囲内とすることが好ましい。

本工程において準備される欠陥修正用インキによって修正される欠陥のサイズが、ｘが８０μｍ〜２００μｍ、ｙが８０μｍ〜５００μｍの範囲内である場合、０ｍｓ〜２００００ｍｓにおけるカラーフィルタ基板上の接触角の変化量が２０°〜３５°の範囲内、中でも２５°〜３０°の範囲内となるように欠陥修正用インキの物性が決定されることが好ましい。

また、上記欠陥のサイズが、ｘが２０μｍ〜８０μｍ、ｙが２０μｍ〜８０μｍの範囲内である場合、０ｍｓ〜２００００ｍｓにおけるカラーフィルタ基板上の接触角の変化量が１５°〜３５°の範囲内、中でも１５°〜２０°の範囲内となるように欠陥修正用インキの物性が決定されることが好ましい。

上記接触角の変化量が大きい欠陥修正用インキは、濡れ広がりやすいという傾向がある。修正される欠陥サイズが大きい場合は、比較的広い範囲である当該欠陥の隅々まで欠陥修正用インキを濡れ広がらせる必要があり、また、欠陥修正用インキが塗布針によって複数回塗布される場合には、近接した欠陥修正用インキの液滴同士の馴染みをよくし、均一に濡れ広がらせる必要がある。そのため、修正する欠陥のサイズが大きい場合は、接触角の変化量が比較的大きな欠陥修正用インキが好適に用いられる。一方、修正する欠陥のサイズが小さい場合は、欠陥修正用インキの濡れ広がりがよすぎると、塗布された欠陥修正用インキが欠陥の周囲にまで濡れ広がってしまう可能性がある。そのため、欠陥サイズが小さい場合は、欠陥サイズが大きい場合に比べ、接触角の変化量が小さい欠陥修正用インキが好適に用いられる。

（ｂ）動的表面張力
本発明において動的表面張力は、動的表面張力計（栄弘精機株式会社製、商品名：動的表面張力計シータｔ６０）を用いて欠陥修正用インキ１５ｃｃをガラス瓶に採取し、欠陥修正用インキ中に気泡を発生させ、その液体から気泡にかかる圧力を計測することによって測定することができる。

上記動的表面張力の変化量が大きいことは、静的な状態に比べ、動的な状態における表面張力が著しく大きいことを意味する。そのため、静的な表面張力が所望の範囲内である場合でも、動的表面張力の変化量が上記範囲を超えると、欠陥修正用インキを塗布針に付着させる際、および、塗布針に付着した欠陥修正用インキをカラーフィルタ基板の表面に塗布する際に塗布針やカラーフィルタ基板と、欠陥修正用インキとの界面における表面張力が大きすぎ、欠陥修正用インキを塗布針へ脱着させることが困難となる場合がある。

欠陥修正用インキの物性を決定する方法の「第一の方法」として上述した場合のように、生じうる欠陥のサイズを２つの範囲に分けて上記欠陥修正用インキの物性が決定される場合は、上記欠陥修正用インキの動的表面張力の変化量を下記の範囲内とすることが好ましい。

本工程において準備される欠陥修正用インキによって修正される欠陥のサイズが、ｘが８０μｍ〜２００μｍ、ｙが８０μｍ〜５００μｍの範囲内である場合、気泡発生速度（発生周期）を２Ｈｚから１０Ｈｚまで変化させて測定した際の動的表面張力の変化量が１０〜２２の範囲内、中でも１４〜１７の範囲内となるように欠陥修正用インキの物性が決定されることが好ましい。

また、上記欠陥のサイズが、ｘが２０μｍ〜８０μｍ、ｙが２０μｍ〜８０μｍの範囲内である場合、気泡発生速度（発生周期）を２Ｈｚから１０Ｈｚまで変化させて測定した際の動的表面張力の変化量が１０〜２５の範囲内、中でも１７〜２１の範囲内となるように欠陥修正用インキの物性が決定されることが好ましい。なお、上記「動的表面張力の変化量」とは、上記の方法によって測定された１０Ｈｚの時の動的表面張力の値から、２Ｈｚの時の動的表面張力の値を引いた値を意味するものとする。

欠陥修正用インキの動的表面張力の変化量が大きいと欠陥修正用インキを塗布針に付着させる際、および、塗布針に付着した欠陥修正用インキをカラーフィルタ基板の表面に塗布する際に塗布針やカラーフィルタ基板と、欠陥修正用インキとの界面における表面張力が大きすぎ、欠陥修正用インキを塗布針へ脱着させることが困難となる場合がある。すなわち、欠陥修正用インキの動的表面張力の変化量が小さい方が、より多くの量の欠陥修正用インキを塗布針に付着させることができ、付着した欠陥修正用インキを基板表面に塗布しやすい。従って、修正する欠陥のサイズが大きい場合は、小さいサイズの欠陥を修正する場合と比べ、欠陥修正用インキの動的表面張力の変化量が上記範囲のように小さいことが好ましい。

（ｃ）せん断速度に対するせん断応力の変化量
本発明において欠陥修正用インキのせん断速度γおよびせん断応力τは、レオメーター（粘弾性測定器：レオメトリック・サイエンティフィック・エフ・イー製、ＡＲＥＳ１００）により、粘弾性を求め、せん断速度γ値と、せん断応力τ値との関係を演算することにより得ることができる。

上記せん断応力の変化量が大きいということは、せん断速度が低い状態と、せん断速度が高い状態とにおける粘度の差が大きいということである。そのため、せん断速度が低い（静止状態に近い）状態における粘度が調整されており、所望の濡れ広がり性を有する欠陥修正用インキを用いても、せん断応力の変化量が上記範囲を超えると、欠陥修正用インキを塗布針に付着させる際、および、塗布針に付着した欠陥修正用インキをカラーフィルタ基板の表面に塗布する際の欠陥修正用インキの粘度が高すぎ、または低すぎ、欠陥修正用インキを塗布針へ脱着させることが困難となる場合がある。

欠陥修正用インキの物性を決定する方法の「第一の方法」として上述した場合のように、生じうる欠陥のサイズを２つの範囲に分けて上記欠陥修正用インキの物性が決定される場合は、上記欠陥修正用インキのせん断応力の変化量を下記の範囲内とすることが好ましい。

本工程において準備される欠陥修正用インキによって修正される欠陥のサイズが、ｘが８０μｍ〜２００μｍ、ｙが８０μｍ〜５００μｍの範囲内である場合、せん断速度を１０(１／ｓ)から１００(１／ｓ)まで変化させて測定した際のせん断応力の変化量が２〜１５の範囲内、中でも４〜８の範囲内となるように欠陥修正用インキの物性が決定されることが好ましい。

また、上記欠陥のサイズが、ｘが２０μｍ〜８０μｍ、ｙが２０μｍ〜８０μｍの範囲内である場合、せん断速度を１０(１／ｓ)から１００(１／ｓ)まで変化させて測定した際のせん断応力の変化量が５〜２０の範囲内、中でも９〜１５の範囲内となるように欠陥修正用インキの物性が決定されることが好ましい。なお、上記「せん断応力の変化量」とは、１００(１／ｓ)の時のせん断応力の値と、１０(１／ｓ)の時のせん断応力の値との差（絶対値）を意味するものとする。

すなわち、修正する欠陥のサイズが大きい場合は、修正する欠陥サイズが小さい場合と比べ、上記せん断応力の変化量が少ない方が好ましい。修正する欠陥のサイズが小さい場合は、修正するために必要となる欠陥修正用インキの量が少なく、塗布回数も少ないため、塗布針に付着させる欠陥修正用インキの微調整は塗布針の寸法を調整することによって行うことができる。一方、修正する欠陥のサイズが大きい場合は、修正のために必要となる欠陥修正用インキの量が比較的多く、塗布回数も多いため、塗布針に欠陥修正用インキをたくさん付着させることが好ましい。しかしながら塗布針には寸法上の制限があり、１回に塗布針に付着する欠陥修正用インキの量を多くするために塗布針の寸法を無限に大きくすることができない。そのため、欠陥サイズが大きい場合は、欠陥修正用インキの物性を調整することにより、１回の塗布による塗布量を多くする必要があり、せん断速度等による欠陥修正用インキの物性の変化が少ないことが好ましい。

（ｄ）その他のパラメータ
修正される欠陥のサイズに応じて調整されることが好ましい上記３つのパラメータに加え、本発明においては欠陥修正用インキの物性が、さらにせん断速度が低い（静止状態に近い）状態における粘度等の物性を考慮して決定されることが好ましい。欠陥修正用インキの粘度は、２０ｍＰａ・ｓｅｃ〜３００ｍＰａ・ｓｅｃの範囲内、中でも２０ｍＰａ・ｓｅｃ〜１５０ｍＰａ・ｓｅｃの範囲内、特には２０ｍＰａ・ｓｅｃ〜７０ｍＰａ・ｓｅｃの範囲内となるように欠陥修正用インキの物性が決定されることが好ましい。欠陥修正用インキの粘度が上記範囲に満たないと、塗布された欠陥修正用インキが欠陥の周囲にまで濡れ広がってしまう可能性がある。逆に粘度が上記範囲を越えると、欠陥修正用インキが欠陥部分に塗布されても、欠陥内に均一に濡れ広がらず、膜厚の不均一や白抜けの要因となり得る。

上記欠陥修正用インキの粘度は、２５℃において、Ｂ型粘度計（例えばＴＯＫＩＭＥＣ製、商品名：ＶＩＳＣＯＭＥＴＥＲ ＴＶ−２０）を用いて、ＢＬアダプター、Ｍ１ローター、又はＭ２ローターを使用して１分間測定することにより求めることができる。

（２）欠陥修正用インキの組成
本発明において欠陥修正用インキの組成は、修正される欠陥のサイズに応じて決定されるものであれば特に限定されるものではなく、欠陥のサイズに応じて、所望の物性が得られるように組成を決定することができる。例えば、本発明においては上述した欠陥サイズに応じたパラメータに基づいて決定された物性が得られるように欠陥修正用インキの組成を決定することができる。本発明においては、溶剤を選択することにより、決定された上記欠陥修正用インキの物性が得られるように組成が決定されることが好ましい。欠陥修正用インキは、着色剤や溶剤等種々の材料から構成されるものであるが、溶剤は欠陥修正用インキの物性に特に大きな影響を及ぼすからである。
以下、本工程において準備される欠陥修正用インキの組成について説明する。

（ａ）溶剤
本発明において溶剤は、所望の物性を得られるものであれば特に限定されないが、共に用いられる着色剤の分散性や反応性官能基を有するモノマーやポリマーに対する溶解性又は分散性の良好な溶剤を用いることが好ましく、２種以上の溶剤を用いた混合溶剤であっても良い。

溶剤としては、例えば、メチルアルコール、エチルアルコール、Ｎ−プロピルアルコール、ｉ−プロピルアルコールなどのアルコール系溶剤；メトキシアルコール、エトキシアルコールなどのセロソルブ系溶剤；メトキシエトキシエタノール、エトキシエトキシエタノールなどのカルビトール系溶剤；酢酸エチル、酢酸ブチル、メトキシプロピオン酸メチル、エトキシプロピオン酸エチル、乳酸エチルなどのエステル系溶剤；アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノンなどのケトン系溶剤；メトキシエチルアセテート、エトキシエチルアセテート、エチルセロソルブアセテートなどのセロソルブアセテート系溶剤；メトキシエトキシエチルアセテート、エトキシエトキシエチルアセテートなどのカルビトールアセテート系溶剤；ジエチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフランなどのエーテル系溶剤；Ｎ，Ｎ−ジメチルホルムアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルアセトアミド、Ｎ−メチルピロリドンなどの非プロトン性アミド溶剤；γ−ブチロラクトンなどのラクトン系溶剤；ベンゼン、トルエン、キシレン、ナフタレンなどの不飽和炭化水素系溶剤；Ｎ−ヘプタン、Ｎ−ヘキサン、Ｎ−オクタンなどの飽和炭化水素系溶剤などの非水系有機溶剤を例示することができる。これらの溶剤の中では、メトキシエチルアセテート、エトキシエチルアセテート、エチルセロソルブアセテートなどのセロソルブアセテート系溶剤；メトキシエトキシエチルアセテート、エトキシエトキシエチルアセテートなどのカルビトールアセテート系溶剤；エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテルなどのエーテル系溶剤；メトキシプロピオン酸メチル、エトキシプロピオン酸エチル、乳酸エチルなどのエステル系溶剤が特に好適に用いられる。特に好ましくは、ＰＧＭＥＡ（プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ＣＨ_３ＯＣＨ_２ＣＨ（ＣＨ_３）ＯＣＯＣＨ_３）（商品名：メトキシプロピルアセテート（ダイセル化学工業製））、ＭＢＡ（酢酸−３−メトキシブチル、ＣＨ_３ＣＨ（ＯＣＨ_３）ＣＨ_２ＣＨ_２ＯＣＯＣＨ_３）、ＤＭＤＧ（ジエチレングリコールジメチルエーテル、ＣＨ_３ＯＣ_２Ｈ_４ＯＣＨ_３）又はこれらを混合したものを使用することができる。

上記「（１）欠陥修正用インキの物性」の項において欠陥修正用インキの物性を決定する方法の「第一の方法」として説明した場合のように、生じうる欠陥のサイズを２つの範囲に分けて上記欠陥修正用インキの物性が決定された場合は、溶剤の沸点等の観点から、下記の溶剤が選択されることが好ましい。本工程において準備される欠陥修正用インキによって修正される欠陥のサイズが、ｘが２０μｍ〜８０μｍ、ｙが２０μｍ〜８０μｍの範囲内である場合は、沸点が１４０℃〜１６０℃、より好ましくは１４５℃〜１５５℃程度の溶剤を用いることが好ましく、分散安定性が良好であることから、特にＰＧＭＥＡが好適に用いられる。

また、修正される欠陥のサイズが、ｘが８０μｍ〜２００μｍ、ｙが８０μｍ〜５００μｍの範囲内である場合は、メトキシブチルアセテートに少量のＢＣＡ（ブチルカルビトールアセテート）を添加する等、沸点が２００℃〜２４５℃、より好ましくは２３０℃〜２４０℃程度の高沸点の溶剤を少量添加することにより、欠陥修正用インキとしての沸点を上昇させることが好ましい。上記少量添加される溶剤としては、修正後に行われるポストベーク処理温度よりも沸点が低い溶剤、および、欠陥修正用インキの分散安定性を大きく乱さない溶剤が好適に用いられる。

修正する欠陥のサイズが大きい場合は、複数回にわたって欠陥修正用インキが塗布されることが多い。塗布後に直ちに流動性を失うことなく、１つの欠陥内に塗布された複数の液滴が互いに濡れ広がり、一体化して均一な膜を形成するために、欠陥サイズが大きい場合は、欠陥サイズが小さい場合に比べ、沸点が高い溶剤が好適に用いられる。この際に添加される高沸点溶剤の量は特に限定されるものではないが、例えば全溶剤の５重量％〜１５重量％の範囲内、中でも７重量％〜１０重量％の範囲内において添加することができる。

溶剤は、本工程において準備される欠陥修正用インキ中に２５重量％〜７０重量％の範囲内、中でも２５重量％〜５５重量％の範囲内、さらには３０重量％〜４５重量％の範囲内において配合されることが好ましい。

（ｂ）着色剤
本発明において着色剤は、所望の物性を得られるものであれば特に限定されないが、修正される着色層の色に応じて選択されるのが好ましく、種々の有機顔料または無機顔料を用いることができる。有機顔料の具体例としては、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．；Ｔｈｅ Ｓｏｃｉｅｔｙ ｏｆ Ｄｙｅｒｓ ａｎｄ Ｃｏｌｏｕｒｉｓｔｓ 社発行）においてピグメント（Ｐｉｇｍｅｎｔ）に分類されている化合物、すなわち、下記のようなカラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）番号が付されているものを挙げることができる。具体的には、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１２、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３８、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１３９、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１５０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１８０、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１８５等のイエロー系ピグメント；Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド３、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２５４等のレッド系ピグメント；及び、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：３、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：４、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６等のブルー系ピグメント；Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン７、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン３６等のグリーン系ピグメント；Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３：１９等のバイオレット系ピグメントを挙げることができる。

また、上記無機顔料の具体例としては、酸化チタン、硫酸バリウム、炭酸カルシウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べんがら（赤色酸化鉄（ＩＩＩ））、カドミウム赤、群青、紺青、酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、チタンブラック、合成鉄黒、カーボンブラック等を挙げることができる。本発明において顔料は、単独でまたは２種以上を混合して使用することができ、上記に限定されずに種々の顔料を使用することができる。なお、顔料は必要に応じて、ロジン処理、酸性処理、塩基性処理などの表面処理が施されているものを使用しても良い。

本工程において準備される欠陥修正用インキにおける着色剤の配合量は、５重量％〜４０重量％の範囲内、中でも５重量％〜２５重量％の範囲内、特に７重量％〜１８重量％の範囲内であることが好ましい。

（ｃ）反応性官能基を有するモノマー
本工程において準備される欠陥修正用インキは反応性官能基を有するモノマーを有することができる。
本工程において準備される欠陥修正用インキは、バインダ成分として後述するポリマーと反応性官能基を有するモノマーとの両方を含有していることが好ましい。ポリマーと共に反応性官能基を有するモノマーを含有することにより、従来ポリマーに求められていた粘度調整や塗布後の成膜性や硬化性、被塗工面に対する密着性等の機能を、反応性官能基を有するモノマーとポリマーとの両方で分けることができ、その結果、例えば必ずしもポリマーに硬化性を必要としない等、ポリマーの選択の自由度が高まり、欠陥修正用インキとしての設計の自由度が高まる。従って、反応性官能基を有するモノマーおよびポリマーの種類と量とを調節することによって、粘度等の塗布適性に関係する物性を適切な範囲に調整しながら、着色剤およびバインダ成分の量比も適切な範囲に調整して、充分な着色濃度と、基材に対する充分な密着性とが得られる。

また、反応性官能基を有するモノマーを含有させることにより、ポリマーのみを含有する場合に比べて、修正部の耐溶剤性や耐熱性、被塗工面に対する密着性を向上させることができる。

さらに、反応性官能基を有するモノマーが一部溶剤の代替となり得るため、上記反応性官能基を有するモノマーを含有させることにより、欠陥修正用インキ中の溶剤含有量を減らすことができ、粘度等の物性を調整するための成分としても用いることができる。このため、溶剤の揮発量が減少し、保存時や使用時にはインキの粘度等の物性安定性が良くなり、インキの塗布後においては溶剤の揮発による体積減少率が小さくなる。体積減少率が小さいため、欠陥部分に少量の欠陥修正用インキを塗布することにより、欠陥部分に形成される着色層の膜厚を充分に厚くすることが可能であり、繰り返し塗布する手間がなくなる。また、付着させた欠陥修正用インキの液滴は乾燥前でも体積が小さいので周囲にはみ出し難くなり、新たな突起の形成や混色欠陥の発生を回避することができる。

欠陥修正用インキが反応性官能基を有するモノマーを含有する場合、反応性官能基を有するモノマーは、後述するポリマーと共に成膜性や被塗工面に対する密着性を付与するためのバインダ成分を構成し、特に硬化反応性を付与する作用をする。

反応性官能基を有するモノマーは、本工程において準備される欠陥修正用インキにおいて重合反応の構成単位となり得る化合物であり、例えば、２以上のモノマーが重合したオリゴマーであっても反応性官能基を有し、常温で流動性があるものであれば、上記モノマーとして用いることができる。

このような反応性官能基を有するモノマーは、単独で又は２種以上混合して用いることができる。

反応性官能基を有するモノマーとして、反応性官能基を１分子内に２以上有する多官能の反応性モノマーを用いる場合には、高い架橋密度が得られ、十分な硬化性を示すので好ましい。

反応性官能基の反応形式は硬化反応であれば特に限定されず、例えば、反応エネルギーの点では光反応又は熱反応のいずれに属するものであってもよいし、活性種の点ではラジカル重合、カチオン重合、アニオン重合、光二量化反応等のいずれに属するものであってもよい。具体的には、例えば、モノマーが反応性官能基としてエチレン性不飽和結合を有する場合には光ラジカル重合及び熱ラジカル重合が可能であり、モノマーが反応性官能基としてエポキシ基を有する場合には熱硬化及び光カチオン重合が可能である。

光反応性のモノマーとしては、エチレン性不飽和結合を有するモノマーが好ましく用いられる。光ラジカル重合性基としてのエチレン性不飽和結合を有するモノマーは、光照射により直接、又は開始剤の作用を受けて間接的に重合反応を生じるものであり、カラーフィルタの欠陥部分に欠陥修正用インキを塗布した後、光照射により短時間にインキを定着させるのに好ましく用いられる。

エチレン性不飽和結合を有するモノマーとして具体的には、次のような多官能アクリレート系のモノマー、すなわち、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトール（メタ）アクリレート、ジアリルフタレート、トリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレートプロピレンオキサイド付加物、エチレングリコール（メタ）アクリレート、ジエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、プロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ジプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコールジ（メタ）アクリレート、ポリプロピレングリコールジ（メタ）アクリレート、ヘキサンジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、グリセリンジ（メタ）アクリレート、グリセリントリ（メタ）アクリレート、グリセリンテトラ（メタ）アクリレート、テトラトリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、１，４−ブタンジオールジアクリレート、などを例示することができるが、中でも、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートが、高い架橋密度が得られ、充分な硬化性を示すので好ましい。

光カチオン重合反応性モノマーとしては、例えば、エポキシ基、オキセタニル基等の環状エーテル基、チオエーテル基、ビニルエーテル基等を有するモノマーが挙げられる。また、光アニオン重合性モノマーとしては、例えば、電子吸引性基をもつビニル基、環状ウレタン基、環状尿素類、環状シロキサン基等を有するモノマーが挙げられる。

熱反応性の系としては、例えば、エポキシ基と活性水素、環状尿素基と水酸基等の開環付加反応系等を用いることができる。特に好ましくは、経時安定性の点からグリシジル基、脂環式エポキシ基、オキセタニル基を有するモノマー（オリゴマーも含む）と多価カルボン酸無水物又は多価カルボン酸の組み合わせを例示することができる。また、硬化性の点からは、グリシジル基、脂環式エポキシ基、オキセタニル基を有するモノマーと、特許第２６８２２５６号、特許第２８５０８９７号、特許第２８９４３１７号、特開２００１−３５００１０号公報に開示されているようなブロックカルボン酸の組み合わせを使用するのが特に好ましい。

また、グリシジル基、脂環式エポキシ基、オキセタニル基を有するモノマーとしては、常温で液状のノボラック系エポキシ、脂環式エポキシ、カルドエポキシ等を例示でき、例えば、商品名ＢＰＥＦＧ（ナガセケムテックス製）、セロキサイド２０２１Ｐ、３０００、２０００、スチレンオキサイド、エポリードＧＴ３００、ＧＴ４００（以上、ダイセル化学工業製）、エピコート９０１、８０１Ｐ、８０２、８０２ＸＡ、８０６、８０６Ｌ、８０７、８１５、８１９、８２５、８２７、８２８、８１５ＸＡ、８２８ＥＬ、８２８ＸＡ、１５２、６０４、６３０（以上、油化シェルエポキシ製）等を例示することができる。中でも、脂環式エポキシであるエポリードＧＴ４００が、粘度、反応性の点から、好ましい。

エポキシ基を有するモノマーと組み合わせて用いる多価カルボン酸無水物の具体例としては、無水フタル酸、無水イタコン酸、無水コハク酸、無水シトラコン酸、無水ドデセニルコハク酸、無水トリカルバリル酸、無水マレイン酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水ジメチルテトラヒドロフタル酸、無水ハイミック酸、無水ナジン酸などの脂肪族または脂環族ジカルボン酸無水物；１，２，３，４−ブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物などの脂肪族多価カルボン酸二無水物；無水ピロメリット酸、無水トリメリット酸、無水ベンゾフェノンテトラカルボン酸などの芳香族多価カルボン酸無水物；エチレングリコールビストリメリテイト、グリセリントリストリメリテイトなどのエステル基含有酸無水物を挙げることができ、特に好ましくは、芳香族多価カルボン酸無水物を挙げることができる。また、市販のカルボン酸無水物からなるエポキシ樹脂硬化剤も好適に用いることができる。

また、エポキシ基を有するモノマーと組み合わせて用いる多価カルボン酸の具体例としては、コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、ブタンテトラカルボン酸、マレイン酸、イタコン酸などの脂肪族多価カルボン酸；ヘキサヒドロフタル酸、１，２−シクロヘキサンジカルボン酸、１，２，４−シクロヘキサントリカルボン酸、シクロペンタンテトラカルボン酸などの脂肪族多価カルボン酸、およびフタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、１，４，５，８−ナフタレンテトラカルボン酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸などの芳香族多価カルボン酸を挙げることができ、好ましくは芳香族多価カルボン酸を挙げることができる。

これら多価カルボン酸無水物および多価カルボン酸は、１種単独でも２種以上の混合でも用いることができる。硬化剤の配合量は、エポキシ基を有するモノマー１００重量部当たり、通常は５０重量部〜２００重量部の範囲とする。

また、光反応及び熱反応性モノマーとしては、エチレン性不飽和結合とエポキシ基を有するモノマーが挙げられ、具体的には、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジル、α−エチルアクリル酸グリシジル、α−ｎ−プロピルアクリル酸グリシジル、α−ｎ−ブチルアクリル酸グリシジル、アクリル酸−３，４−エポキシブチル、メタクリル酸−３，４−エポキシブチル、メタクリル酸−４，５−エポキシペンチル、アクリル酸−６，７−エポキシヘプチル、メタクリル酸−６，７−エポキシヘプチル、α−エチルアクリル酸−６，７−エポキシヘプチルなどの（メタ）アクリレート類；ｏ−ビニルフェニルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルフェニルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルフェニルグリシジルエーテル、ｏ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｍ−ビニルベンジルグリシジルエーテル、ｐ−ビニルベンジルグリシジルエーテルなどのビニルグリシジルエーテル類；２，３−ジグリシジルオキシスチレン、３，４−ジグリシジルオキシスチレン、２，４−ジグリシジルオキシスチレン、３，５−ジグリシジルオキシスチレン、２，６−ジグリシジルオキシスチレン、５−ビニルピロガロールトリグリシジルエーテル、４−ビニルピロガロールトリグリシジルエーテル、ビニルフロログリシノールトリグリシジルエーテル、２，３−ジヒドロキシメチルスチレンジグリシジルエーテル、３，４−ジヒドロキシメチルスチレンジグリシジルエーテル、２，４−ジヒドロキシメチルスチレンジグリシジルエーテル、３，５−ジヒドロキシメチルスチレンジグリシジルエーテル、２，６−ジヒドロキシメチルスチレンジグリシジルエーテル、２，３，４−トリヒドロキシメチルスチレントリグリシジルエーテル、及び、１，３，５−トリヒドロキシメチルスチレントリグリシジルエーテル、脂環式エポキシ（メタ）アクリレート等が挙げられる。

反応性官能基を有するモノマーは、本工程において準備される欠陥修正用インキ中に１５重量％〜６５重量％含まれることが好ましく、２０重量％〜５５重量％含まれることが更に好ましく、２５重量％〜４５重量％含まれることが特に好ましい。

（ｄ）ポリマー
本工程において準備される欠陥修正用インキにおいては、成膜性や被塗工面に対する密着性を付与するためのバインダ成分として、また、インキの状態のときにモノマーと比べて高粘度であることから、インキの粘度等物性を調整するための成分としてポリマーを配合してもよい。欠陥修正用インキが上述した反応性官能基を有するモノマーを含有する場合、特にバインダ成分としての機能を上記反応性官能基を有するモノマーと分け合うため、使用できるポリマーの選択肢が広がり、設計の自由度が増す。

本発明においてポリマーは、所望の物性を得られるものであれば特に限定されず、使用する溶剤に溶解するものであるか、使用するモノマーに相溶するものであればよい。本工程において準備される欠陥修正用インキにおいて、溶剤の配合量を少なくし、反応性官能基を有するモノマーに一部溶剤の代替機能を持たせる場合は、使用するモノマーに相溶性が高いものがより好ましい。

ポリマーは、インキの状態のときにモノマーと比べて高粘度であり、粘度を高く調整するのに用いることができ、重量平均分子量は３０，０００以上（ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）により測定したポリスチレン換算重量平均分子量）であることが好ましく、５０，０００以上であることがより好ましい。このような場合には、少量で充分な粘度上昇効果を得られる場合が多い。

このようなポリマーは、単独で又は２種以上混合して用いることができる。

また、特に修正しようとするカラーフィルタの欠陥個所に用いられているポリマーと同じ種類のポリマーである方が欠陥修正用インキの修正部位へのなじみ、密着性などの面で好ましい。例えば、カラーフィルタの着色層に一般的に用いられているポリマーはアクリル樹脂等であり、カラーフィルタの着色層を修正しようとする場合は、これらを好ましく用いることができる。

ポリマーは反応性のものでも非反応性のものでも使用できるが、反応性ポリマーを用いる場合には、塗膜を反応硬化させて膜強度を上げることができるので、好ましい。反応性官能基の反応形式は、上記反応性官能基を有するモノマーに例示したものと同様の反応形式が使用可能であり、特に限定されない。

ここで、非反応性ポリマーとしては、例えば、次のモノマーからなる重合体、又は２種以上のモノマーを用いた共重合体：（メタ）アクリル酸、メチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、スチレン、ポリスチレンマクロモノマー、及びポリメチルメタクリレートマクロモノマー、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、α−ヒドロキシメチル（メタ）アクリレート、α−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、トリシクロデニカル（メタ）アクリレート；等を用いることができる。

また、反応性ポリマーとしては、反応性官能基を有するポリマーであればよく、例えば、エチレン性不飽和結合を有するポリマー、エポキシ基を有するポリマー、オキサゾリン基を有するポリマー、環状尿素基を有するポリマー、環状エステル基を有するポリマー、ポリイミド前駆体（ポリアミック酸）、メラミン樹脂等を用いることができるが、安定性と反応性の点から、エチレン性不飽和結合を有するポリマー、エポキシ基を有するポリマーが好ましく用いられる。

エチレン性不飽和結合を有するポリマーとしては、上記エチレン性不飽和結合を含有する多官能アクリレート系のモノマーの１種又は２種以上用いた重合体及び共重合体を用いることができる。その中でも特に、ジアリルフタレートプレポリマー、特開２０００−２３９４９７号公報で示されるポリマーは、熱硬化性の点から、好ましく用いられる。

ポリマーは、本工程において準備される欠陥修正用インキ中に１重量％〜２５重量％の範囲内、中でも２重量％〜２０重量％の範囲内、さらには２重量％〜１２重量％の範囲内で配合されることが好ましい。

（ｅ）その他の添加剤
本工程において準備される欠陥修正用インキにおいて、反応性官能基を有するモノマーを比較的多量に配合する場合は、得られる欠陥修正用インキのゲル化を防止して保存時の安定性を向上させるために、インキ製造時に重合禁止剤を配合することが好ましい。重合禁止剤としては、特に限定されず、ジフェニルピクリルヒドラジド、トリ−ｐ−ニトロフェニルメチル，ｐ−ベンゾキノン、ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルカテコール、ピクリン酸、塩化銅、メチルハイドロキノン、メトキノン、ｔｅｒｔ−ブチルハイドロキノン等の反応の重合禁止剤を用いることができるが、中でも保存安定性の点からハイドロキノン系重合禁止剤が好ましく、メチルハイドロキノンを用いるのが特に好ましい。

重合禁止剤は、欠陥修正用インキ中に０．０１重量％〜１重量％の範囲内、中でも０．０１重量％〜０．５重量％の範囲内、さらには０．０１重量％〜０．０５重量％の範囲において配合することが好ましい。

顔料分散剤は、着色剤の分散性を向上させる目的で、インキ製造時に配合することが好ましい。

顔料分散剤として具体例には、ノナノアミド、デカンアミド、ドデカンアミド、Ｎ−ドデシルヘキサデカンアミド、Ｎ−オクタデシルプロピオアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルドデカンアミド及びＮ，Ｎ−ジヘキシルアセトアミド等のアミド化合物、ジエチルアミン、ジヘプチルアミン、ジブチルヘキサデシルアミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ'，Ｎ'−テトラメチルメタンアミン、トリエチルアミン、トリブチルアミン及びトリオクチルアミン等のアミン化合物、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、Ｎ，Ｎ，Ｎ'，Ｎ'−（テトラヒドロキシエチル）−１，２−ジアミノエタン、Ｎ，Ｎ，Ｎ'−トリ（ヒドロキシエチル）−１，２−ジアミノエタン、Ｎ，Ｎ，Ｎ'，Ｎ'−テトラ（ヒドロキシエチルポリオキシエチレン）−１、２−ジアミノエタン、１，４−ビス（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン及び１−（２−ヒドロキシエチル）ピペラジン等のヒドロキシ基を有するアミン等、ニペコタミド、イソニペコタミド、ニコチン酸アミド等、その他に、ポリウレタン、ポリアクリレート等のポリカルボン酸エステル、不飽和ポリアミド、ポリカルボン酸（部分）アミン塩、ポリカルボン酸アンモニウム塩、ポリカルボン酸アルキルアミン塩、ポリシロキサン、長鎖ポリアミノアマイドリン酸塩、水酸基含有ポリカルボン酸エステル、これらの変性物、ポリ（低級アルキレンイミン）と遊離のカルボキシル基を有するポリエステルとの反応により形成されたアミド及びその塩等のポリエステル系高分子量顔料分散剤を挙げることができるが、着色剤濃度が高い時でも分散性が良好な点から、ポリエステル系高分子量顔料分散剤を用いることが好ましく、特にソルスパース２４０００ＧＲ（アビシア製）を用いることが好ましい。

顔料分散剤は、本工程において準備される欠陥修正用インキ中に１重量％〜２５重量％配合することが好ましく、１重量％〜１５重量％配合することが更に好ましく、１重量％〜１０重量％配合することが特に好ましい。

重合開始剤は、反応性官能基を有するモノマーや、反応性ポリマーの反応性を向上させる目的で、製造時に配合することが好ましい。

例えば、エチレン性不飽和結合のようなラジカル重合性基を有するモノマー及び／又はポリマーを用いる場合には、通常、ラジカル重合開始剤を添加する。ラジカル重合開始剤としては、例えば、アセトフェノン類、ベンゾフェノン類、ケタール類、アントラキノン類、チオキサントン類、アゾ化合物、過酸化物、２，３−ジアルキルジオン化合物類、ジスルフィド化合物類、チウラム化合物類、フルオロアミン化合物などが用いられる。より具体的には、１−ヒドロキシ−シクロヘキシル−フェニル−ケトン、２−メチル−１［４−（メチルチオ）フェニル］−２−モルフォリノプロパン−１−オン、ベンジルジメチルケトン、１−（４−ドデシルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、２−ヒドロキシ−２−メチル−１−フェニルプロパン−１−オン、１−（４−イソプロピルフェニル）−２−ヒドロキシ−２−メチルプロパン−１−オン、ベンゾフェノン等を例示できる。これらのうちでも、アセトフェノン類、チオキサントン類化合物の開始剤が好ましく用いられ、具体的には、２−ベンジル−２−ジメチルアミノ−１−（４−モルフォリノフェニル）−ブタン−１、２−メチル−１−（４−メチルチオフェニル）２−モルフォリノ−プロパンー１−オン、ジエチルチオキサントンが、感度、酸素低阻害性の点から、本発明において好ましく用いられる。これらは、いずれか一方を単独で、又は、両方を組み合わせて用いることができる。

光カチオン重合開始剤としては、スルホン酸エステル、イミドスルホネート、ジアルキル−４−ヒドロキシスルホニウム塩、アリールスルホン酸−ｐ−ニトロベンジルエステル、シラノール−アルミニウム錯体、（η６-ベンゼン）（η５-シクロペンタジエニル）鉄(II)等が例示され、さらに具体的には、ベンゾイントシレート、２，５−ジニトロベンジルトシレート、Ｎ−トシフタル酸イミド等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。

光ラジカル重合開始剤としても、光カチオン重合開始剤としても用いられるものとしては、芳香族ヨードニウム塩、芳香族スルホニウム塩、芳香族ジアゾニウム塩、芳香族ホスホニウム塩、トリアジン化合物、鉄アレーン錯体等が例示され、更に具体的には、ジフェニルヨードニウム、ジトリルヨードニウム、ビス（ｐ−ｔｅｒｔ−ブチルフェニル）ヨードニウム、ビス（ｐ−クロロフェニル）ヨードニウム等のヨードニウムのクロリド、ブロミド、ホウフッ化塩、ヘキサフルオロホスフェート塩、ヘキサフルオロアンチモネート塩等のヨードニウム塩、トリフェニルスルホニウム、４−ｔｅｒｔ−ブチルトリフェニルスルホニウム、トリス（４−メチルフェニル）スルホニウム等のスルホニウムのクロリド、ブロミド、ホウフッ化塩、ヘキサフルオロホスフェート塩、ヘキサフルオロアンチモネート塩等のスルホニウム塩、２，４，６−トリス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、２−フェニル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン、２−メチル−４，６−ビス（トリクロロメチル）−１，３，５−トリアジン等の２，４，６−置換−１，３，５トリアジン化合物等が挙げられるが、これらに限定されるものではない。

光アニオン重合開始剤としては、例えば紫外線照射によりアミンを発生する化合物、より具体的には、１，１０−ジアミノデカンや４，４’−トリメチレンジピペリジン、カルバメート類及びその誘導体、コバルト−アミン錯体類、アミノオキシイミノ類、アンモニウムボレート類等を例示することができ、市販品としては、みどり化学（株）ＮＢＣ−１０１がある。

重合開始剤は、本工程において準備される欠陥修正用インキ中に２重量％〜２０重量％配合することが好ましく、２重量％〜１５重量％配合することが更に好ましく、５重量％〜９重量％配合することが特に好ましい。

また、本工程において準備される欠陥修正用インキには、他にも、界面活性剤、架橋剤等を配合しても良い。

塗布時に塗布上面が尖ることを防止する、着色剤の分散安定性を向上させる等の目的で界面活性剤を欠陥修正用インキに配合してもよい。界面活性剤としては特に制限はないが、具体的には、アルキルナフタレンスルホン酸塩、燐酸エステル塩に代表されるアニオン系界面活性剤、アミン塩に代表されるカチオン系界面活性剤、アミノカルボン酸、ベタイン型に代表される両性界面活性剤を例示することができる。

界面活性剤は、本工程において準備される欠陥修正用インキ中に０．０１重量％〜２重量％配合することが好ましく、０．０１重量％〜０．５重量％配合することが更に好ましく、０．０１重量％〜０．１重量％配合することが特に好ましい。

架橋剤を使用すると、修正部の耐溶剤性、耐熱性が向上したり、特にシラン系の架橋剤の場合には修正部の密着性を向上させたりすることができる。

架橋剤としては、使用するモノマーやポリマーの硬化に効果があるものなら特に制限はないが、例えばアミノアルキル多価アルコキシシランあるいはアミノアリール多価アルコキシシランの加水分解物ないしこれらの縮合物などを好ましく用いることができる。また、アミノアルキル多価アルコキシシランあるいはアミノアリール多価アルコキシシラン、あるいはこれらの加水分解物ないし縮合物と、多価カルボン酸あるいは多価カルボン酸二無水物の反応体などの他、金属キレート等も好ましく用いることができる。

架橋剤は、本工程において準備される欠陥修正用インキ中に０．１重量％〜５重量％配合することが好ましく、０．１重量％〜３重量％配合することが更に好ましく、０．１重量％〜１．５重量％配合することが特に好ましい。

本工程において準備される欠陥修正用インキにおける固形分濃度としては、４０重量％〜５５重量％であることが好ましく、４５重量％〜５２重量％がより好ましく、４５重量％〜５０重量％であることが更に好ましい。

固形分中の着色剤濃度は、３０重量％〜６０重量％であることが好ましく、３５重量％〜６０重量％がより好ましく、４０重量％〜５５重量％であることが更に好ましい。

固形分中のバインダ成分は、３０重量％〜６０重量％であることが好ましく、３５重量％〜６０重量％がより好ましく、４０重量％〜５５重量％であることが更に好ましい。

なお、ここで固形分濃度とは、溶剤以外のインキ含有物、すなわち着色剤、反応性官能基を有するモノマー、ポリマー、その他の任意成分の正味の重量のインキ重量に対する重量％のことである。また、固形分中の着色剤濃度は、インキ中に含まれる固形分の重量に対する着色剤の重量％で表す。さらに、固形分中のバインダ成分の濃度は、インキ中に含まれる固形分の重量に対するバインダ成分（例えば反応性官能基を有するモノマーとポリマーの合計量）の重量％で表す。

（ｆ）ブラックマトリックス
上記では、本工程において準備される欠陥修正用インキが主に赤色（Ｒ）、青色（Ｂ）および緑色（Ｇ）等のカラーパターンの修正に用いられる場合について説明したが、本工程において準備される欠陥修正用インキはブラックマトリックスの欠陥の修正に用いられてもよい。この際のブラックマトリックスは、樹脂バインダ中にカーボン微粒子、金属酸化物、無機顔料、有機顔料等の遮光性粒子を含有させた遮光部であってもよい。用いられる樹脂バインダとしては、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリアクリルアミド、ポリビニルアルコール、ゼラチン、カゼイン、セルロース等の樹脂を１種または２種以上混合したものや、感光性樹脂、さらにはＯ／Ｗエマルジョン型の樹脂組成物、例えば、反応性シリコーンをエマルジョン化したもの等を用いることができる。

本工程において準備される欠陥修正用インキがブラックマトリックスの欠陥の修正に用いられる場合は、上記遮光性粒子等を用い、上記記載に基づいて、所望の物性が得られるように溶剤を選択し、上記欠陥修正用インキの組成を決定することができる。

（３）欠陥修正用インキの調製
本工程における欠陥修正用インキの調製方法としては、所望の物性を有する欠陥修正用インキを得ることができる調製方法であれば特に限定されるものではない。例えば、上記「（１）欠陥修正用インキの物性」において説明した方法で、上記パラメータ等に基づいて決定された物性が得られるように、上記「（２）欠陥修正用インキの組成」において説明した成分等を含む欠陥修正用インキを調製することができる。

具体的な調製方法としては、例えば、各成分をあらかじめ別々に混合してから全体を合わせて混合する方法、あるいは、溶剤と着色剤とを混合してあらかじめ分散した着色剤の分散液に、ポリマー、および反応性官能基を有するモノマーを混合する方法、等を用いることができる。粘度安定性を考慮すると、溶剤と着色剤とを混合してあらかじめ分散した着色剤の分散液に、ポリマー、および反応性官能基を有するモノマーを混合する方法が特に好ましい。

本発明におけるインキ中、または着色剤の分散液中における着色剤の分散方法としては、特に限定されず、ニーダー、ロールミル、アトライタ、スーパーミル、ディゾルバ、サンドミル等の公知の分散機等、様々な方法をとり得る。

２．欠陥修正用インキ選択工程
本工程においては、上記欠陥修正用インキ準備工程において準備された２種類以上の欠陥修正用インキの中から、修正される上記欠陥のサイズに応じた欠陥修正用インキを選択する。修正しようとする欠陥のサイズが、上記欠陥修正用インキ準備工程において分類された範囲のうちの、いずれの範囲に属するかを判定し、当該範囲の欠陥を修正するために準備された欠陥修正用インキを選択する。

３．欠陥修正用インキ塗布工程
本工程においては、上記欠陥修正用インキ選択工程において選択された欠陥修正用インキを塗布して上記欠陥を修正する。本発明においてカラーフィルタを修正する方法は、上記選択された欠陥修正用インキをカラーフィルタの着色層に存在する欠陥部分に塗布することにより欠陥を修正するものであれば特に限定されるものではなく、公知の方法によって欠陥の修正を行うことができる。

上記欠陥に欠陥修正用インキを塗布する方法としては、ディスペンサによって必要量の欠陥修正用インキを垂らす方法、インクジェットによる方法、または、図２に例示するような先端が平面を形成している針状物（塗布針）の先端に欠陥修正用インキを付着させ、それを白欠陥部に押しつける方法等がある。より微小な白欠陥に対応することができるため、本発明の欠陥修正用インキは上記の方法の中でも、塗布針により白欠陥に塗布されることが好ましい。図２に例示するような塗布針７によって欠陥修正用インキ６を塗布する場合、欠陥修正用インキを塗布針に付着させ、欠陥部分に塗布し、適切に濡れ広がらせる必要があるが、本発明においては上記工程において選択された欠陥修正用インキを用いるものであるため、これらの各工程を容易かつ良好に行うことができる。その際、形状や寸法が異なる複数種類の塗布針を用意し、欠陥のサイズに応じて塗布針を選択して用いることで、さらに良好に欠陥の修正をすることができる。

本発明においては、上記の方法等によって塗布された欠陥修正用インキが欠陥内に濡れ広がった後に紫外線等で硬化させることにより、欠陥を修正することができる。

４．その他の工程
本発明においては、上述した欠陥修正用インキ準備工程、欠陥修正用インキ選択工程、および、欠陥修正用インキ塗布工程以外の工程を有していてもよい。例えば、本発明のカラーフィルタの欠陥修正方法は、修正されるべき欠陥を検出する検査工程や、検出された欠陥部分およびその周辺部分を除去する欠陥除去工程を有していてもよい。
以下、このような工程について説明する。

（１）検査工程
上述したように、上記欠陥修正用インキ選択工程においては、修正しようとする欠陥のサイズに応じて欠陥修正用インキを選択するが、このような欠陥は、形成されたカラーフィルタに対し、修正されるべき欠陥を検出する検査工程を予め行うことにより検出することができる。本発明において欠陥を検出するための方法は、上記欠陥を検出することが可能な方法であれば、特に限定されるものではないが、例えばハロゲンランプ光を照射し、その反射光もしくは透過光をＣＣＤライセンサにて受光し、受光した結果を画像処理して欠陥部分を抽出するような検査装置を用いる方法等を挙げることができる。この検出工程において、欠陥の存在が確認された場合は、その欠陥のカラーフィルタ内での位置を測定し、その位置情報に基づき、欠陥修正用インキの塗布をすることできる。また、欠陥修正用インキを塗布する前に後述する欠陥除去工程が行われる場合は、当該欠陥除去工程においても上記位置情報を用いることができる。

（２）欠陥除去工程
上述したように、カラーフィルタの着色層に生じる欠陥は、主に黒欠陥および白欠陥に分類されるが、本発明においては、いずれの欠陥が検出された場合でも、レーザー等によって欠陥部分およびその周辺の着色層を除去する欠陥除去工程を行って白欠陥とした後に、欠陥修正用インキを塗布して修正を行うことが好ましい。そのため、本発明においては上記欠陥修正用インキ塗布工程において欠陥修正用インキが塗布される前に、検出された欠陥のカラーフィルタ内での位置を測定し、その位置情報に基づき、欠陥部分の除去を行った上で、選択された欠陥修正用インキを塗布することが好ましい。

例えば、本発明においては、基板上に着色層が形成されたカラーフィルタの欠陥（図１（ａ）参照）を検出し、検出された欠陥をレーザー等により除去し（図１（ｂ）参照）、着色層が除去された部分に選択された欠陥修正用インキを塗布し（図１（ｃ）参照）、塗布された欠陥修正用インキが欠陥内に濡れ広がった後に紫外線等で硬化させることにより、欠陥を修正する（図１（ｄ））ことができる。

この際、黒欠陥等の除去に用いられるレーザー光は、着色層と共に異物等を除去することができるレーザー光であれば特に限定されるものではない。例えば、エキシマ、ＹＡＧ等のレーザーを用いることが可能であり、ＹＡＧは、第２高調波だけでなく、ＹＡＧ基本波、ＹＡＧ第３高調波、ＹＡＧ第４高調波等を用いてもよい。また、この除去に用いられる装置としては、上述したようなレーザーを照射できる装置であれば、特に限定されるものではないが、製造効率の面から、黒欠陥等の除去のためのレーザー光の光源を有するレーザー照射装置と、除去された部分に塗布される欠陥修正用インキを硬化させる紫外線光源を有する紫外線照射装置とを有する装置であることが好ましい。

Ｂ．カラーフィルタの製造方法
本発明のカラーフィルタの製造方法は、カラーフィルタを形成するカラーフィルタ形成工程と、形成された上記カラーフィルタの着色層に存在する欠陥を検出する検査工程と、上記検査工程において検出された欠陥を上述したカラーフィルタの欠陥修正方法を用いて修正する欠陥修正工程とを有することを特徴とするものである。

本発明のカラーフィルタの製造方法においては、上記欠陥修正工程において２種類以上準備された欠陥修正用インキの中から、修正される欠陥のサイズに応じて欠陥修正用インキを選択するものであるため、欠陥を容易かつ良好に修正することができ、歩留りが高く、高品質なカラーフィルタを製造することができる。

本発明のカラーフィルタの製造方法は、２種類以上準備された欠陥修正用インキの中から、修正される欠陥のサイズに応じて欠陥修正用インキを選択し、塗布することによって欠陥を修正するものであれば特に限定されるものではなく、公知の方法によって基板上に着色層を形成した後に欠陥を検出し、上述した方法によって当該欠陥を修正することができる。
以下、本発明のカラーフィルタの製造方法における各工程について説明する。

１．カラーフィルタ形成工程
本発明において、上記カラーフィルタ形成工程において形成されるカラーフィルタは特に限定されるものではなく、基板上にカラーパターンやブラックマトリックス等が形成された一般的なカラーフィルタを公知の方法によって形成することができる。

上記カラーフィルタ形成工程において用いられる透明基板としては、一般的に透明基板として用いられるものであれば、特に限定されるものではなく、例えば石英ガラス、パイレックス（登録商標）、合成石英板等の可撓性のない透明なリジット材、あるいは透明樹脂フィルム、光学用樹脂板等の可撓性を有する透明なフレキシブル材を挙げることができる。

また、上記カラーフィルタ形成工程において形成されるカラーフィルタの着色層は、単色からなる場合や、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、および青（Ｂ）の３色といった複数色のカラーパターンであってもよく、これらが種々のパターン、例えばモザイク状、トライアングル状、ストライプ状等のパターンで形成されるものである。上記カラーフィルタ形成工程におけるカラーパターンの形成方法としては、従来行われている顔料分散法やインクジェット法による印刷法等を用いることが可能であり、本発明においては特に限定されるものではない。

さらに、上記着色層は、画素部を形成する上記カラーパターンの間に配置され、光を遮るために形成されるブラックマトリックスを有していてもよい。上記透明基材上にブラックマトリックスを製造する方法は、特に限定されるものではなく、例えばスパッタリング法、真空蒸着法等により、厚み１０００Å〜２０００Å程度のクロム等の金属薄膜を形成し、この薄膜をパターニングすることにより形成する方法等を挙げることができる。

また、上記ブラックマトリックスとしては、樹脂バインダ中にカーボン微粒子、金属酸化物、無機顔料、有機顔料等の遮光性粒子を含有させた層であってもよく、用いられる樹脂バインダとしては、ポリイミド樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリアクリルアミド、ポリビニルアルコール、ゼラチン、カゼイン、セルロース等の樹脂を１種または２種以上混合したものや、感光性樹脂、さらにはＯ／Ｗエマルジョン型の樹脂組成物、例えば、反応性シリコーンをエマルジョン化したもの等を用いることができる。このような樹脂性ブラックマトリックスのパターニングの方法は、フォトリソ法、印刷法等一般的に用いられている方法を用いることができる。

２．検査工程
検査工程は、上記カラーフィルタ形成工程において形成されたカラーフィルタに対し、修正されるべき欠陥の有無を判断する工程である。本工程において検出されるべき欠陥の種類や、上記欠陥を検出するための方法については、上記「Ａ．カラーフィルタの欠陥修正方法」の項と同様であるので、ここでの説明は省略する。

３．欠陥修正工程
欠陥修正工程においては、上記検査工程において検出された欠陥を上述したカラーフィルタの欠陥修正方法を用いて修正する。本工程において欠陥を修正する方法は「Ａ．カラーフィルタの欠陥修正方法」の項と同様であるので、ここでの説明は省略する。

なお、本発明においては、カラーフィルタ形成工程において基板上にカラーパターンおよびブラックマトリックスを形成し、形成されたカラーパターンおよびブラックマトリックスの両方について検査工程および欠陥修正工程を行ってもよい。また、本発明においては、基板上にブラックマトリックスを形成し、ブラックマトリックスの検査および欠陥の修正をした後にカラーパターンを形成し、カラーパターンの検査および欠陥の修正をしてもよい。さらに、本発明においては、１色の着色層を形成する度に、当該色の着色層についての検査および欠陥の修正を行い、その後に他の色の着色層の形成等を行ってもよい。

また、本発明のカラーフィルタの製造方法は、上述した各工程の他に、保護層を形成する保護層形成工程、透明電極を形成する透明電極形成工程、配向層を形成する配向層形成工程等を有していてもよい。これらの工程は、基板上に着色層を形成し、検査および欠陥の修正を行った後に行われることが好ましい。保護層等は、一般的にこのような機能を有する層を形成する際に使用されている材料を用い、公知の方法により形成することができる。

Ｃ．カラーフィルタの欠陥修正装置
本発明のカラーフィルタの欠陥修正装置は、カラーフィルタの着色層に存在する欠陥に欠陥修正用インキを塗布することにより上記欠陥を修正するカラーフィルタの欠陥修正装置であって、少なくとも１色の欠陥修正用インキについて、２種類以上の欠陥修正用インキが配置されている欠陥修正用インキ保持手段と、上記欠陥修正用インキを上記欠陥に塗布するための塗布針を保持する塗布針保持手段と、上記カラーフィルタを保持するカラーフィルタ保持手段とを有し、上記塗布針が上記欠陥修正用インキと上記カラーフィルタの欠陥部分との間の相対的な移動が可能なように、上記欠陥修正用インキ、上記塗布針、および、上記カラーフィルタが保持されていることを特徴とするものである。

本発明のカラーフィルタの欠陥修正装置は、少なくとも１色の欠陥修正用インキについて、２種類以上の欠陥修正用インキを配置することができるため、修正される欠陥のサイズに応じて欠陥修正用インキを選択することができ、容易かつ良好に欠陥の修正を行うことができる。

本発明のカラーフィルタの欠陥修正装置の一例を図３に示す。本発明のカラーフィルタの欠陥修正装置３１は、修正されるカラーフィルタの各色用の欠陥修正用インキが配置されている欠陥修正用インキ保持手段３２と、上記欠陥修正用インキを上記欠陥に塗布するための塗布針を保持する塗布針保持手段３３と、上記カラーフィルタを保持するカラーフィルタ保持手段３４とを有する。また、カラーフィルタの欠陥修正装置３１は、修正されるべき欠陥部分を除去するための、レーザーおよびその光学系からなる欠陥除去手段３５を有している。

図４に、上記欠陥修正用インキ保持手段３２および塗布針保持手段３３の具体例を示す。上記塗布針保持手段３３には、欠陥修正用インキを欠陥部分に塗布する際に用いられる塗布針７が保持されている。また、上記塗布針保持手段３３の塗布針７に隣接して、欠陥修正用インキの液面を検出する欠陥修正用インキ液面検出センサ４１が設けられている。上記欠陥修正用インキ保持手段３２においては、修正されるカラーフィルタの各色用の欠陥修正用インキが欠陥修正用インキタンク４２内に配置されており、そのうちの少なくとも１色については２種類以上の欠陥修正用インキが配置されている。上記欠陥修正用インキタンク４２の上面には、上記塗布針７および欠陥修正用インキ液面検出センサ４１が上記欠陥修正用インキタンク４２内に侵入し、欠陥修正用インキと接触することを可能とする開口部である塗布針挿入口４３および欠陥修正用インキ液面検出センサ挿入口４４が設けられている。

本発明のカラーフィルタの欠陥修正装置においては、上記塗布針が上記欠陥修正用インキ保持手段と上記カラーフィルタの欠陥部分との間の相対的な移動が可能なように、上記欠陥修正用インキ、上記塗布針、および、上記カラーフィルタが保持されている。図４に例示するような欠陥修正用インキ保持手段３２および塗布針保持手段３３の場合、まず、選択された欠陥修正用インキが配置された欠陥修正用インキタンク４２の塗布針挿入口４３および欠陥修正用インキ液面検出センサ挿入口４４が、塗布針７および欠陥修正用インキ液面検出センサ４１の真下に来るように欠陥修正用インキ保持手段３２が回転する。その後、図５に例示するように、塗布針保持手段３３が下降して、塗布針７および欠陥修正用インキ液面検出センサ４１の先端が欠陥修正用インキ６の液面に接触することにより、塗布針７に欠陥修正用インキが付着する。

塗布針７に欠陥修正用インキ６が付着した後に、塗布針７の先端が欠陥修正用インキタンク４２の外へ出るまで塗布針保持手段３３が上昇する。塗布針保持手段３３はさらに前後、左右、上下に動く、または回転することにより、図６に例示するように、塗布針７が修正されるべき白欠陥５の上に来るように、カラーフィルタ３と相対的に移動する。その後、塗布針保持手段３３が降下することにより、塗布針７の先端に付着した欠陥修正用インキはカラーフィルタ３の白欠陥５部分と接触し、当該欠陥修正用インキは白欠陥５部分へ塗布される。
以下、本発明のカラーフィルタの欠陥修正装置の各構成について説明する。

１．欠陥修正用インキ保持手段
本発明において欠陥修正用インキ保持手段は、少なくとも１色の欠陥修正用インキについて、２種類以上の欠陥修正用インキを配置することができるものであれば特に限定されるものではないが、修正されるカラーパターンの全ての色について複数種類の欠陥修正用インキが配置されることが好ましく、ブラックマトリックスを含め、修正される着色層の全ての色について複数種類の欠陥修正用インキが配置されることがさらに好ましい。このような欠陥修正用インキ保持手段の構成としては、例えば図４のような、複数の欠陥修正用インキタンクを有するものを用いることができる。上記欠陥修正用インキタンクには、図５のように欠陥修正用インキを直に配置してもよいし、各欠陥修正用インキタンク内に容器に入った欠陥修正用インキを配置してもよい。

修正作業中に欠陥修正用インキの溶剤が揮発等しないように、上記欠陥修正用インキタンクは蓋を有することが好ましい。上記蓋には、その先端に欠陥修正用インキが付着した塗布針が、上記蓋部分に接触することなく出入りできる程度の大きさの開口部である、塗布針挿入口が設けられている。塗布針に隣接してセンサ等が配置される場合は、当該センサ等が出入りできるセンサ挿入口も設けられる。また、上記塗布針挿入口と、欠陥修正用インキ液面検出センサ挿入口とを兼ねた、１つの開口部が設けられてもよい。

このような欠陥修正用インキ保持手段は、固定式のものでもよいが、欠陥修正用インキ保持手段は可動式であり、欠陥修正用インキ保持手段内に配置されている欠陥修正用インキと、塗布針との相対的な移動を可能とするものであることが好ましい。例えば、欠陥修正用インキ保持手段が前後、左右、および、上下に平行移動、または、回転することにより、塗布針との相対的な移動が可能である。

２．塗布針保持手段
本発明において塗布針保持手段は、欠陥修正用インキを塗布するための塗布針を保持することができるものであれば特に限定されるものではない。例えば図４のように、塗布針を保持する部分がアームへ連結しているものを用いることができる。上記欠陥修正用インキ保持手段やカラーフィルタ保持手段が可動式のものである場合は、塗布針保持手段は固定式のものでもよい。しかしながら、欠陥修正用インキ保持手段およびカラーフィルタの欠陥部分と、塗布針との相対的な移動をより円滑かつ精密に行なえるように、塗布針保持手段は可動式のものであることが好ましい。例えば、塗布針保持手段のアームが前後、左右および上下に平行移動、または、回転することにより、塗布針を移動させることができる。

また、本発明においては、形状や寸法が異なる２種類以上、より好ましくは３種類以上、さらに好ましくは４種類以上の塗布針が準備されており、欠陥のサイズに応じて塗布針を選択し、選択された塗布針を用い、選択された欠陥修正用インキを欠陥に塗布するものであることが好ましい。修正される欠陥のサイズに応じた複数種類の欠陥修正用インキに加え、複数種類の塗布針を選択して用いることで、より良好に欠陥の修正を行うことができる。この際は、上記塗布針保持手段が複数種類の塗布針を予め保持していてもよいし、塗布針保持手段とは別の場所に複数種類の塗布針が保管されており、塗布針保持手段に保持される塗布針がその都度交換されてもよい。また、塗布針保持手段にアームが複数備えられており、各アームが異なる種類の塗布針を１本ずつ保持していてもよい。

本発明においては、塗布針に隣接して、欠陥修正用インキの液面を検出するためのセンサが配置されていることが好ましい。このような欠陥修正用インキ液面検出センサを有することにより、例えば図５のように、欠陥修正用インキ液面検出センサ４１の先端が欠陥修正用インキ６の液面に接触し、欠陥修正用インキ液面検出センサ４１が液面を検出した時点で塗布針保持手段３３の下降または欠陥修正用インキ保持手段３２の上昇を停止させる等、塗布針７と、欠陥修正用インキ６の液面との相対的な移動量を制御することができる。

３．カラーフィルタ保持手段
本発明においてカラーフィルタ保持手段は、修正されるカラーフィルタの基板を保持することができるものであれば特に限定されるものではなく、例えばステージ、プラットホーム等、カラーフィルタの基板を水平な状態で保持することができるものを用いることができる。上記カラーフィルタ保持手段は固定式のものでもよいが、カラーフィルタ保持手段は可動式であり、カラーフィルタ保持手段上に保持されているカラーフィルタの欠陥部分と、塗布針との相対的な移動を可能とするものであることが好ましい。例えば、カラーフィルタ保持手段が前後、左右、および、上下に平行移動することにより、塗布針との相対的な移動が可能である。

４．その他
少なくとも１色の欠陥修正用インキについて、修正される欠陥のサイズに応じて準備された２種類以上の欠陥修正用インキを用いて欠陥を修正する場合の工程としては、まず、着色層が形成されたカラーフィルタの欠陥を欠陥検出装置等によって検査し(図７（ａ）)、欠陥が検出された場合には、検出された欠陥部分およびその周辺部分を、レーザー光源等を有する欠陥除去装置によって除去する(図７（ｂ）)。その後、欠陥部分が除去されて生じた白欠陥のサイズに応じて欠陥修正用インキを選択し、上記白欠陥に選択された欠陥修正用インキを本発明のカラーフィルタの欠陥修正装置を用いて塗布し(図７（ｃ）)、紫外線光源等を有するインキ硬化装置を用いて塗布された欠陥修正用インキを硬化させ(図７（ｄ）)、ポストベーク処理を行い、最終的な検査を行う。
以下、上記欠陥検出装置、欠陥除去装置、および、インキ硬化装置について説明する。

（１）欠陥検出装置
修正されるべき着色層における欠陥の検出は、カラーフィルタの検査に用いられる一般的な装置を用いて行うことができる。例えば、形成された着色層の色のトーンや輝度が周辺部分と異なる領域を検出し、当該領域が予め設定された寸法以上である場合は、修正されるべき欠陥として検出すること等によって行うことができる。そのための装置としては、図７（ａ）に例示するように、検査されるカラーフィルタ３に対して光源７１からハロゲンランプ光を照射し、その反射光もしくは透過光をＣＣＤライセンサ７２にて受光し、受光した結果を画像処理して欠陥部分を抽出するような検査装置等を挙げることができる。

また、検出された上記欠陥について、カラーフィルタ内における位置情報が収集されることが好ましい。このような位置情報に基づいて、欠陥の除去や欠陥修正用インキの塗布を行うことができる。

（２）欠陥除去装置
検出された欠陥が色抜け等の場合は、当該欠陥にそのまま欠陥修正用インキを塗布することもできるが、本発明においては、検出された欠陥およびその周辺部分をレーザー光等によって除去した後に欠陥修正用インキを塗布することが好ましい。この際、欠陥等の除去に用いられるレーザー光は、着色層と共に異物等を除去することができるレーザー光であれば特に限定されるものではない。例えば、図７（ｂ）に例示するように、エキシマ、ＹＡＧ等のレーザー光源７３を用いて欠陥部分部およびその周辺にレーザーを照射し、白欠陥５とすることが可能であり、ＹＡＧは、第２高調波だけでなく、ＹＡＧ基本波、ＹＡＧ第３高調波、ＹＡＧ第４高調波等を用いてもよい。また、この除去に用いられる装置としては、上述したようなレーザーを照射できる装置であれば、特に限定されるものではないが、製造効率の面から、欠陥の除去のためのレーザー光の光源を有するレーザー照射装置と、除去された部分に塗布される欠陥修正用インキを硬化させる紫外線光源を有する紫外線照射装置とを有する装置であることが好ましい。

上述したような欠陥を除去する装置は、本発明のカラーフィルタの欠陥修正装置とは別個の装置であってもよいが、本発明のカラーフィルタの欠陥修正装置がカラーフィルタの欠陥部分を除去する欠陥除去手段を有することが好ましい。上述したようなレーザー照射装置等を有することにより、欠陥の除去および修正を１つの装置において行うことができる。

また、本発明のカラーフィルタの欠陥修正装置は、検出された欠陥を映し出すモニタを有していることが好ましい。このようなモニタを有する場合は、上記欠陥検出装置において収集された欠陥の位置情報に基づいて、上記モニタに欠陥を映し出し、除去する部分のサイズ、すなわち、欠陥修正用インキが塗布される白欠陥のサイズを決定することができる。除去するサイズの決定は、図８に例示するように、中心部分の開口部の寸法を調節することができる、レーザー光を遮光するマスク８１等を用い、欠陥４の全体が上記開口部内に納まるように、開口部のサイズを調節することにより行うことができる。その後、上記マスク８１を介してレーザー光を照射することにより、欠陥部分およびその周辺部分を除去することができる。上記マスク８１の開口部の形状は、図８のような矩形状に限定されるものではなく、円形状等の任意の形状を取りうる。上述した欠陥サイズの決定や欠陥の除去は作業者によって（手動で）行われてもよいし、上記モニタや欠陥除去手段をコンピュータ等へ接続することにより自動で行われてもよい。

（３）インキ硬化装置
本発明のカラーフィルタの欠陥修正装置を用いて欠陥部分に欠陥修正用インキを塗布した後に、紫外線等を照射することにより、欠陥修正用インキを硬化させることができる。例えば、欠陥修正用インキが紫外線硬化樹脂である場合には紫外線光源を用い、欠陥修正用インキが熱硬化樹脂である場合には可視、赤外線光源を用いることができる。この硬化処理は、図７（ｄ）に例示するように、回転するローター７４上に配置されることにより移送されるカラーフィルタ３の上方に設けられた光源７５から紫外線等を照射する、着色層の形成後に用いられるような、一般的な装置を用いることができる。また、本発明のカラーフィルタの欠陥修正装置は、塗布された欠陥修正用インキを硬化させるための上記紫外線等照射装置を有していてもよい。欠陥修正用インキを硬化させるための上記紫外線等の照射は、カラーフィルタの全面について行われても、欠陥修正用インキが塗布された領域のみに照射されてもよい。

なお、欠陥修正用インキを硬化させた後のポストベーク処理および最終検査については、通常の（欠陥の修正を行っていない）カラーフィルタの形成後に行われるポストベーク処理および最終検査と同様な装置等を用いて行うことができる。

その他、本発明における欠陥を検出する方法、および、欠陥を修正する方法等については上記「Ａ．カラーフィルタの欠陥修正方法」の記載と同様であるので、ここでの説明は省略する。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。上記実施形態は、例示であり、本発明の特許請求の範囲に記載された技術的思想と実質的に同一な構成を有し、同様な作用効果を奏するものは、いかなるものであっても本発明の技術的範囲に包含される。

以下に実施例およびを示し、本発明をさらに詳細に説明する。
[実施例]
＜欠陥修正用インキ準備工程＞
ｘが２０μｍ〜８０μｍ、ｙが２０μｍ〜８０μｍの範囲内の欠陥を修正するための欠陥修正用インキとして下記表１に示す組成を有する欠陥修正用インキを準備した（インキ１）。また、ｘが８０μｍ〜２００μｍ、ｙが８０μｍ〜５００μｍの範囲内の欠陥を修正するための欠陥修正用インキとして下記表１に示す組成を有する欠陥修正用インキを準備した（インキ２）。

下記表２に、インキ１およびインキ２の物性を示す。なお、表２中の接触角の欄には、シリンジを用いて各欠陥修正用インキをガラス基板上に滴下した時の０ｍｓ〜２００００ｍｓでの接触角の変化量を示す。また、動的表面張力の欄には、気泡の発生速度を２Ｈｚから１０Ｈｚまで変化させて測定した際の動的表面張力の変化量を、せん断応力の欄には、せん断速度を１０(１／ｓ)から１００(１／ｓ)まで変化させて測定した際のせん断応力の変化量を示す。

＜欠陥修正用インキ選択工程＞
ｘが４０μｍ、ｙが４０μｍの欠陥１を修正するための欠陥修正用インキとして、ｘが２０μｍ〜８０μｍ、ｙが２０μｍ〜８０μｍの範囲内の欠陥を修正するための上記インキ１を選択した。また、ｘが１００μｍ、ｙが１５０μｍの欠陥２を修正するための欠陥修正用インキとして、ｘが８０μｍ〜２００μｍ、ｙが８０μｍ〜５００μｍの範囲内の欠陥を修正するための上記インキ２を選択した。なお、上記欠陥１および欠陥２は、形成された着色層にレーザーを照射して該当部分を除去することにより形成された白欠陥である。

＜欠陥修正用インキ塗布工程＞
上記欠陥修正用インキ選択工程において選択された欠陥修正用インキを用いて、上記欠陥１および欠陥２の修正を行った。修正は、塗布針の先端に上記欠陥修正用インキを付着させ、上記塗布針に付着した欠陥修正用インキの液滴を上記着色層の欠陥と接触させて、上記欠陥に欠陥修正用インキを塗布し、当該領域に紫外線を照射して上記欠陥修正用インキを硬化させることにより行った。

＜評価＞
上記インキ１を用いて修正を行った上記欠陥１、および、上記インキ２を用いて修正を行った上記欠陥２共に、修正後の修正領域の平滑性は高く、色むらなどの不具合は確認されなかった。

［比較例１］
上記実施例において用いられたインキ１を用い、上記実施例における欠陥１および欠陥２と同じサイズの欠陥の修正を、行った。その結果、上記欠陥２と同じサイズの欠陥の修正においては、インキ１の塗布の直後からインキ１の流動性が失われ、欠陥内にインキ１が十分に濡れ広がらなかったため、修正後の修正領域の平滑性が低く、色むらも確認された。なお、上記欠陥１と同じサイズの欠陥は、上記実施例と同様に良好に修正することができた。

［比較例２］
上記実施例において用いられたインキ２を用い、上記実施例における欠陥１および欠陥２と同じサイズの欠陥の修正を、行った。その結果、上記欠陥１と同じサイズの欠陥の修正においては、１回の塗布によって必要以上のインキ２が上記欠陥に塗布され、上記インキ２が欠陥の周囲まで濡れ広がったため、修正後の修正領域の平滑性は低く、色むらも確認された。なお、上記欠陥２と同じサイズの欠陥は、上記実施例と同様に良好に修正することができた。

１ … ブラックマトリックス
２ … カラーパターン
３ … カラーフィルタ
４ … 黒欠陥
５ … 白欠陥
６ … 欠陥修正用インキ
７ … 塗布針
３１ … 欠陥修正装置
３２ … 欠陥修正用インキ保持手段
３３ … 塗布針保持手段
３４ … カラーフィルタ保持手段
３５ … 欠陥除去手段

Claims (4)

1. カラーフィルタの着色層に存在する欠陥に欠陥修正用インキを塗布することにより前記欠陥を修正するカラーフィルタの欠陥修正方法であって、
   少なくとも１色の欠陥修正用インキについて、修正される前記欠陥のサイズに応じた２種類以上の欠陥修正用インキを準備する欠陥修正用インキ準備工程と、
   前記欠陥修正用インキ準備工程において準備された２種類以上の欠陥修正用インキの中から、修正される前記欠陥のサイズに適した欠陥修正用インキを選択する欠陥修正用インキ選択工程と、
   前記欠陥修正用インキ選択工程において選択された前記欠陥修正用インキを塗布して前記欠陥を修正する欠陥修正用インキ塗布工程とを有することを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正方法。
2. カラーフィルタを形成するカラーフィルタ形成工程と、
   形成された前記カラーフィルタの着色層に存在する欠陥を検出する検査工程と、
   前記検査工程において検出された欠陥を、請求項１に記載のカラーフィルタの欠陥修正方法を用いて修正する欠陥修正工程とを有することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
3. カラーフィルタの着色層に存在する欠陥に欠陥修正用インキを塗布することにより前記欠陥を修正するカラーフィルタの欠陥修正装置であって、
   少なくとも１色の欠陥修正用インキについて、修正される欠陥のサイズに応じてインクの物性が調整された２種類以上の欠陥修正用インキが配置されている欠陥修正用インキ保持手段と、
   前記欠陥修正用インキを前記欠陥に塗布するための塗布針を保持する塗布針保持手段と、
   前記カラーフィルタを保持するカラーフィルタ保持手段とを有し、
   前記塗布針が前記欠陥修正用インキ保持手段と前記カラーフィルタの欠陥部分との間の相対的な移動が可能なように、前記欠陥修正用インキ、前記塗布針、および、前記カラーフィルタが保持されていることを特徴とするカラーフィルタの欠陥修正装置。
4. 前記カラーフィルタの欠陥部分を除去する欠陥除去手段を有することを特徴とする請求項３に記載のカラーフィルタの欠陥修正装置。

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