JP5222787B2 - 荷電粒子線装置用試料ホルダの回転中心探索方法及び回転中心探索システム - Google Patents
荷電粒子線装置用試料ホルダの回転中心探索方法及び回転中心探索システム Download PDFInfo
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Description
図1は、本発明の第1の実施に形態に係る荷電粒子線装置の全体構成を示す概略図である。
図7は、第2の実施の形態に係る回転中心探索の手順を示す図であり、図7(a)は第1の実施の形態で示した図6(f)に相当する図、図7(b)は第2の実施の形態における描画の様子を示す図である。
図8は、第3の実施の形態に係る回転中心探索の手順を示す図である。
図9は、第3の実施の形態に係る回転中心探索の手順を示す図である。
2,3 荷電粒子線用カラム
4 試料ホルダ
5 2次電子検出器
6 制御装置
7 観察対象試料
8 プローブ
9 ガス
10 観察点
11,13,15 図形
12,14 回転中心位置
21 イオン銃
22 レンズ
23 偏向コイル
24 FIB
31 電子銃
32 レンズ
33 偏向コイル
41 試料台
42 平面部
43 先端部
44 終端部
45 試料回転部
46 回転駆動部
47,48 歯車
49 回転軸
61 表示装置
70 切り出し対象部位
71 ピラー状試料
100 バルク試料
Claims (14)
- 観察対象試料を固定する平面部を有する試料台を該平面部に沿う方向に回転しつつ、前記試料台の平面部に予め設けた観察点の座標を記憶し、
記憶された前記座標により描画される図形に基づいて前記試料台の平面部における回転中心を特定することを特徴とする回転中心探索方法。 - 観察対象試料を固定する平面部を有する試料台を該平面部に沿う方向に回転しつつ、前記試料台の平面部に荷電粒子線を照射し、
前記荷電粒子線により前記平面部に描画される図形に基づいて前記試料台の平面部における回転中心を特定することを特徴とする回転中心探索方法。 - 請求項1記載の回転中心探索方法において、
前記図形の内部に第2の観察点をさらに設け、前記試料台を前記平面部に沿う方向に回転しつつ、前記試料台の平面部に設けた第2の観察点の座標を記憶し、
記憶された前記第2の観察点の座標により描画される図形に基づいて前記試料台の平面部における回転中心を特定することを特徴とする回転中心探索方法。 - 請求項1記載の回転中心探索方法において、
前記平面部における前記図形の内部に荷電粒子線を照射しつつ、前記試料台を前記平面部に沿う方向に回転し、
前記荷電粒子線により前記平面部に描画される図形に基づいて前記試料台の平面部における回転中心を特定することを特徴とする回転中心探索方法。 - 請求項2記載の回転中心探索方法において、
前記荷電粒子線により描画される図形は、荷電粒子線である集束イオンビームによる加工により描画されることを特徴とする回転中心探索方法。 - 請求項2記載の回転中心探索方法において、
前記荷電粒子線により描画される図形は、荷電粒子線により形成されるデポジション膜により描画されることを特徴とする回転中心探索方法。 - 請求項1記載の回転中心探索方法において、
前記図形は、前記試料台を少なくとも1回転以上回転させて描画されることを特徴とする回転中心探索方法。 - 観察対象試料を固定する平面部を有する試料台と、
前記試料台を保持し、該試料台を前記平面部に沿う方向に回転駆動する試料ホルダと、
前記試料台の平面部に予め設けた観察点の座標を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された観察点の座標により描画される図形に基づいて前記試料台における平面部の回転中心を特定する特定手段と
を備えたことを特徴とする回転中心探索システム。 - 観察対象試料を固定する平面部を有する試料台と、
前記試料台を保持し、該試料台を前記平面部に沿う方向に回転駆動する試料ホルダと、
前記試料台の平面部に荷電粒子線を照射する照射手段と、
前記荷電粒子線により前記平面部に描画される図形に基づいて前記試料台における平面部の回転中心を特定する特定手段と
を備えたことを特徴とする回転中心探索システム。 - 請求項8記載の回転中心探索システムにおいて、
前記図形の内部に設けた第2の観察点の座標を記憶する記憶手段と、
前記記憶手段に記憶された前記第2の観察点の座標により描画される図形に基づいて前記試料台の平面部における回転中心を特定する特定手段と
を備えたことを特徴とする回転中心探索システム。 - 請求項8記載の回転中心探索システムにおいて、
前記平面部における前記図形に内部に荷電粒子線を照射する照射手段と、
前記荷電粒子線により前記平面部に描画される図形に基づいて前記試料台の平面部における回転中心を特定する特定手段と
を備えたことを特徴とする回転中心探索システム。 - 請求項9記載の回転中心探索システムにおいて、
前記荷電粒子線は、前記平面部を加工することにより図形を描画する集束イオンビームであることを特徴とする回転中心探索システム。 - 請求項9記載の回転中心探索システムにおいて、
前記荷電粒子線によりデポジション膜を形成するためのガスを前記平面部に吹き付ける吹付手段を備えたことを特徴とする回転中心探索システム。 - 請求項8記載の回転中心探索システムにおいて、
前記図形は、前記試料台を少なくとも1回転以上回転させて描画されることを特徴とする回転中心探索システム。
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JP2009126715A JP5222787B2 (ja) | 2009-05-26 | 2009-05-26 | 荷電粒子線装置用試料ホルダの回転中心探索方法及び回転中心探索システム |
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JP2009126715A JP5222787B2 (ja) | 2009-05-26 | 2009-05-26 | 荷電粒子線装置用試料ホルダの回転中心探索方法及び回転中心探索システム |
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JP2010277721A JP2010277721A (ja) | 2010-12-09 |
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Family Applications (1)
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