JP5206478B2 - プラズマcvd装置及びシリコン系薄膜の製造方法 - Google Patents
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真空容器と、
該真空容器内を減圧下に保持する排気系と、
被成膜基板を置くための接地電極と、
原料ガス導入路と排気孔とを有する放電電極と、
該放電電極に高周波電力を印加する高周波電源と、
該放電電極と該接地電極との間に配置され、該原料ガス導入路の出口から該接地電極に向かう原料ガス流路を遮る拡散板と、
該拡散板の電位を一定に保つ電源と、を備えたプラズマCVD装置である。
真空容器を減圧下に保持し、
放電電極に形成された原料ガス導入路から少なくとも珪素を含む原料ガスを供給し、
該放電電極の原料ガス導入路出口から該放電電極に対向して設置された接地電極へ向かう経路の途中で該原料ガスを迂回させ、
該迂回した原料ガスを該放電電極に設置された排気孔へ導入し、
該放電電極に高周波電力を印加して、該排気孔中において該原料ガスをプラズマ化させ、
該迂回部分の電位を接地電位又は負電位に保つことにより、該接地電極に保持された被成膜基板上へのプラズマの流出を防ぎ、
該排気孔より該プラズマ化した原料ガス中に含まれる高次シランを真空容器外へ排気し、
該プラズマ化した原料ガス中に含まれるに含まれるSiH3ラジカルを該被成膜基板上に到達させるシリコン系薄膜の製造方法である。
図1は本発明の第一実施の形態によるプラズマCVD装置の構成を示す概略図である。また図2には放電電極表面4とガス拡散板8の部分の拡大図を示す。本発明のプラズマCVD装置1には、真空度を保持する排気系を備えた真空容器2と、真空容器2内には放電電極3と、被成膜基板5が置かれる接地電極4が設置されている。
また、拡散板8と基板12間のプラズマが弱められることにより、拡散板と基板の間では新たな活性種の発生はほとんどなくなることになる。これにより成膜に寄与する高次シラン、SiH2ラジカルや、SiH3ラジカルは拡散板の貫通孔9より基板方向へ拡散したものに限られる。
SimH2m+1 + SiH4 → SimH2m+2 + SiH3 (式1)
SiH2 + SiH4 → Si2H6 (式2)
SiH3 + SiH4 → SiH4 + SiH3 (式3)
排気の流れに逆らい基板方向へ拡散した高次シランラジカルは、基板方向へ拡散中に親分子であるSiH4と反応し不活性な高次シランになることにより成膜には関与せず排気される(式1)。SiH2ラジカルは拡散しながら高次シランへ成長していく過程で親分子であるSiH4と反応し不活性になることにより、成膜には関与せず排気される(式2)。一方で親分子との反応により変化しないSiH3ラジカル(式3)は基板へ到達し、選択的に成膜に寄与することにより、高品質な膜を得ることが可能になる。
第二実施の形態によるプラズマCVD装置は、第一実施の形態のプラズマCVD装置の放電電極4とガス拡散板8の形状を変更させたもので装置の概要に変更は無い。図3にその第二実施の形態によるプラズマCVD装置の放電電極3と、拡散板の拡大図を示す。放電電極、拡散板の形状は一例を示すものであって、これに限定されるものではない。
2 真空容器
3 放電電極
4 放電電極表面
5 ガス供給管
6 ガス導入路
7 放電電極排気孔
8 ガス拡散板
9 ガス拡散板貫通孔
10 接地電極
11 基板加熱機構
12 基板
13 マッチングボックス
14 高周波電源
15 直流電源
16 メッシュ電極
Claims (7)
- 真空容器と、
該真空容器内を減圧下に保持する排気系と、
被成膜基板を置くための接地電極と、
原料ガス導入路と排気孔とを有する放電電極と、
該放電電極に高周波電力を印加する高周波電源と、
該放電電極と該接地電極の間に配置され、該原料ガス導入路の出口から該接地電極に向かう原料ガス流路を遮る拡散板と、
該拡散板の電位を一定に保つ電源と、を備えたプラズマCVD装置。 - 前記拡散板は貫通孔を有し、該貫通孔の前記放電電極側開口で囲まれる範囲の該放電電極への投影像と、前記排気孔の該拡散板側開口で囲まれる範囲とが少なくとも一部で重なっている請求項1記載のプラズマCVD装置。
- 前記貫通孔の前記放電電極側開口で囲まれる範囲の該放電電極への投影像と、前記排気孔の前記拡散板側開口で囲まれる範囲とが一致するか、一方が他方に含まれる請求項2記載のプラズマCVD装置。
- 前記貫通孔の前記放電電極側開口で囲まれる範囲の該放電電極への投影像が円形であり、前記排気孔の前記拡散板側開口で囲まれる範囲が円形であり、該両円形の中心が一致している請求項3記載のプラズマCVD装置。
- 前記拡散板が加熱機構を有する請求項1〜4のいずれか記載のプラズマCVD装置。
- 真空容器を減圧下に保持し、
放電電極に形成された原料ガス導入路から少なくとも珪素を含む原料ガスを供給し、
該放電電極の原料ガス導入路出口から該放電電極に対向して設置された接地電極へ向かう経路の途中で該原料ガスを迂回させ、
該迂回した原料ガスを該放電電極に設置された排気孔へ導入し、
該放電電極に高周波電力を印加して、該排気孔中において該原料ガスをプラズマ化させ、
該迂回部分の電位を接地電位又は負電位に保つことにより、該接地電極に保持された被成膜基板上へのプラズマの流出を防ぎ、
該排気孔より該プラズマ化した原料ガス中に含まれる高次シランを真空容器外へ排気し、
該プラズマ化した原料ガス中に含まれるSiH3ラジカルを該被成膜基板上に到達させるシリコン系薄膜の製造方法。 - 前記排気孔へ導入される原料ガスの該排気孔への導入方向と、前記真空容器外へ排気される高次シランの該排気孔内での排気方向とのなす角度が90度以下である請求項6記載のシリコン系薄膜の製造方法。
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