JP5195100B2 - Sputtering apparatus and liquid crystal device manufacturing apparatus - Google Patents
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Description
本発明は、スパッタリング装置、及び液晶装置の製造装置に関するものである。 The present invention relates to a sputtering apparatus and an apparatus for manufacturing a liquid crystal device.
液晶プロジェクタ等の投射型表示装置の光変調手段として用いられる液晶装置は、一対の基板間の周縁部にシール材が配設され、その中央部に液晶層が封止されて構成されている。その一対の基板の内面側には液晶層に電圧を印加する電極が形成され、これら電極の内面側には非選択電圧印加時において液晶分子の配向を制御する配向膜が形成されている。このような構成によって液晶装置は、非選択電圧印加時と選択電圧印加時との液晶分子の配向変化に基づいて光源光を変調し、表示画像を形成するようになっている。 2. Description of the Related Art A liquid crystal device used as a light modulation unit of a projection display device such as a liquid crystal projector has a configuration in which a sealing material is disposed at a peripheral portion between a pair of substrates and a liquid crystal layer is sealed at the center. Electrodes for applying a voltage to the liquid crystal layer are formed on the inner surfaces of the pair of substrates, and an alignment film for controlling the alignment of the liquid crystal molecules when a non-selective voltage is applied is formed on the inner surfaces of these electrodes. With such a configuration, the liquid crystal device modulates light source light based on a change in the orientation of liquid crystal molecules when a non-selection voltage is applied and when a selection voltage is applied, thereby forming a display image.
ところで、前述した配向膜としては、側鎖アルキル基を付加したポリイミド等からなる高分子膜の表面に、ラビング処理を施したものが一般に用いられている。しかし、このようなラビング法は簡便であるものの、物理的にポリイミド膜をこすることでポリイミド膜に対して配向特性を付与するために、種々の不都合が指摘されている。具体的には、(1)配向性の均一さを確保することが困難であること、(2)ラビング処理時の筋跡が残り易いこと、(3)配向方向の制御およびプレチルト角の選択的な制御が可能ではなく、また広視野角を得るために用いられるマルチドメインを使用した液晶パネルには適さないこと、(4)ガラス基板からの静電気による薄膜トランジスタ素子の破壊や、配向膜の破壊が生じ、歩留まりを低下させること、(5)ラビング布からのダスト発生による表示不良が発生しがちであること、などである。 By the way, as the alignment film described above, a film obtained by rubbing the surface of a polymer film made of polyimide or the like to which a side chain alkyl group is added is generally used. However, although such a rubbing method is simple, various disadvantages have been pointed out in order to impart alignment characteristics to the polyimide film by physically rubbing the polyimide film. Specifically, (1) it is difficult to ensure uniformity of orientation, (2) traces are likely to remain during rubbing, (3) control of orientation direction and selective pretilt angle. Control is not possible, and it is not suitable for a liquid crystal panel using a multi-domain used to obtain a wide viewing angle. (4) The breakdown of the thin film transistor element or the alignment film due to static electricity from the glass substrate. Resulting in a decrease in yield, and (5) display defects due to the generation of dust from the rubbing cloth.
また、このような有機物からなる配向膜では、液晶プロジェクタのような高出力光源を備えた機器に用いた場合、光エネルギーにより有機物がダメージを受けて配向不良を生じてしまう。特に、プロジェクタの小型化および高輝度化を図った場合には、液晶パネルに入射する単位面積あたりのエネルギーが増加し、入射光の吸収によりポリイミドそのものが分解し、また、光を吸収したことによる発熱でさらにその分解が加速される。その結果、配向膜に多大なダメージが付加され、機器の表示特性が低下してしまう。 In addition, in such an alignment film made of an organic material, when used in a device having a high output light source such as a liquid crystal projector, the organic material is damaged by light energy, resulting in an alignment failure. In particular, when the projector is downsized and the brightness is increased, the energy per unit area incident on the liquid crystal panel increases, the polyimide itself is decomposed due to the absorption of incident light, and the light is absorbed. The decomposition is further accelerated by heat generation. As a result, a great deal of damage is added to the alignment film, and the display characteristics of the device deteriorate.
そこで、このような不都合を解消するため、対向配置されるターゲットから放出されるスパッタ粒子を1方向から斜めに基板に入射させるようにスパッタリングを実施することにより、基板に対して斜め方向に結晶成長した複数の柱状構造を有する無機材料からなる配向膜を形成する方法が提案されている(例えば特許文献1参照)。このような方法によれば、得られる無機配向膜は高い信頼性を有するものと期待されている。
ところで、上述のような対向ターゲット型のスパッタ装置においては、定期的に成膜室を開放して清掃することが必須である。また、対向ターゲットは、その構造上、表面に堆積物(デポ膜)が形成される。この堆積物は非常に剥がれ易く、パーティクルやアーキングの原因となるといった問題がある。このようなターゲット上の堆積物対策として、上述の定期メンテナンス時において成膜室を開放した際に、ターゲットについても表面に堆積物のないクリーニング後のものに交換してしまうことが有効である。なお、ターゲット表面の堆積物を除去するにはブラスト処理等の特別な処理が必要となる。そのため、成膜室内からターゲットを取り外す必要がある。
しかしながら、上記従来の構成においてはターゲットの交換が容易でなくメンテナンス性を低下させる要因となっていた。
By the way, in the facing target type sputtering apparatus as described above, it is indispensable to periodically open the film forming chamber and clean it. In addition, a deposit (deposition film) is formed on the surface of the counter target due to its structure. This deposit is very easy to peel off, and has the problem of causing particles and arcing. As a countermeasure against such deposits on the target, it is effective to replace the target with a cleaned one having no deposit on the surface when the film forming chamber is opened during the above-described regular maintenance. It should be noted that special treatment such as blast treatment is required to remove deposits on the target surface. Therefore, it is necessary to remove the target from the deposition chamber.
However, in the conventional configuration, the replacement of the target is not easy, which causes a decrease in maintainability.
本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、容易なターゲット交換を可能とすることでメンテナンス性に優れた、スパッタリング装置、及び液晶装置の製造装置を提供することを目的としている。 The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a sputtering apparatus and a liquid crystal device manufacturing apparatus that are excellent in maintainability by enabling easy target replacement. .
上記課題を解決するために、本発明のスパッタリング装置は、基板を収容する成膜室と、該成膜室に着脱可能に設けられ、対向する一対のターゲットからプラズマによりスパッタ粒子を生じさせ、該スパッタ粒子を前記成膜室内の前記基板に向けて放出するスパッタ粒子放出ユニットと、を備えることを特徴とする。 In order to solve the above-described problems, a sputtering apparatus of the present invention is provided with a deposition chamber that accommodates a substrate, and is detachably provided in the deposition chamber, and generates sputtered particles by plasma from a pair of opposed targets. And a sputtered particle emission unit that emits sputtered particles toward the substrate in the deposition chamber.
本発明のスパッタリング装置によれば、スパッタ粒子放出部が成膜室に着脱可能に構成されるので、メンテナンス時にクリーニング済みのターゲットを備えたスパッタ粒子放出部に付け替えることにより、ターゲットの交換を簡便且つ確実に行うことができる。よって、容易なターゲット交換を可能としたメンテナンス性に優れたスパッタリング装置を提供できる。また、ターゲットの交換作業が容易となるため、成膜室の大気開放時間を短縮することができ、装置のダウンタイムを大幅に短縮することもできる。 According to the sputtering apparatus of the present invention, since the sputter particle emitting unit is configured to be detachable from the film forming chamber, the target can be easily and easily replaced by replacing the sputter particle emitting unit with the cleaned target at the time of maintenance. It can be done reliably. Therefore, it is possible to provide a sputtering apparatus excellent in maintainability that enables easy target replacement. In addition, since the target replacement operation is facilitated, the time for opening the film formation chamber to the atmosphere can be shortened, and the downtime of the apparatus can be greatly shortened.
また、上記スパッタリング装置においては、前記スパッタ粒子放出ユニットは、前記ターゲットを保持するとともに当該スパッタ粒子放出ユニットの各構成部材をユニット化する保持部材を有し、該保持部材を介して前記成膜室に着脱可能に設けられるのが好ましい。
この構成によれば、保持部材によりスパッタ粒子放出ユニットを成膜室から着脱した後、ユニット化されたスパッタ粒子放出ユニットからターゲットのみを容易に取り外すことができる。よって、ターゲットのメンテナンス性に優れたものとなる。
In the sputtering apparatus, the sputtered particle emitting unit includes a holding member that holds the target and unitizes each component of the sputtered particle emitting unit, and the film formation chamber is interposed via the holding member. It is preferable that it is detachably provided.
According to this configuration, only the target can be easily detached from the unitized sputtered particle emitting unit after the sputtered particle emitting unit is detached from the film forming chamber by the holding member. Therefore, the target maintainability is excellent.
さらに、前記成膜室における前記保持部材の取付け面が水平面とされているのがより好ましい。
このようにすれば、保持部材の取付け面が水平面とされるので、成膜室に対するスパッタ粒子放出ユニットの着脱動作を容易に行うことができる。
Furthermore, it is more preferable that the mounting surface of the holding member in the film forming chamber is a horizontal plane.
In this case, since the mounting surface of the holding member is a horizontal surface, the operation for attaching and detaching the sputtered particle emitting unit to the film forming chamber can be easily performed.
また、上記スパッタリング装置においては、前記保持部材は、前記一対のターゲットの面方向を前記基板の法線方向に対して傾けた状態に保持するのが好ましい。
この構成によれば、保持部材にターゲットを取付けることにより、基板に対し所望の入射角度でスパッタ粒子を入射させることができる。また、保持部材の形状を調整することにより上記スパッタ粒子の入射角度を様々に調整することができる。
Moreover, in the said sputtering apparatus, it is preferable that the said holding member hold | maintains in the state which inclined the surface direction of the said pair of target with respect to the normal line direction of the said board | substrate.
According to this configuration, by attaching the target to the holding member, the sputtered particles can be incident on the substrate at a desired incident angle. Further, the incident angle of the sputtered particles can be variously adjusted by adjusting the shape of the holding member.
また、上記スパッタリング装置においては、前記スパッタ放出ユニットの一部を前記成膜室内に入り込ませた状態に保持するのが望ましい。
この構成によれば、スパッタ放出ユニットの一部が成膜室内に入り込んだ状態に保持されるので、装置全体の小型化を図ることができる。また、ターゲットと基板とを近づけることで、ターゲットから放出されたスパッタ粒子を基板上に確実に成膜させることができる。
In the sputtering apparatus, it is preferable that a part of the sputter emission unit is held in the film forming chamber.
According to this configuration, since a part of the sputter emission unit is held in the film forming chamber, the entire apparatus can be reduced in size. Further, by bringing the target and the substrate closer, the sputtered particles emitted from the target can be reliably formed on the substrate.
また、上記スパッタリング装置においては、前記保持部材は、前記成膜室側に配置され、第1の取付部材を介して第1のターゲットを保持する第1のターゲット保持部と、前記第1のターゲットに対向配置され、第2の取付部材を介して第2のターゲットを保持する第2のターゲット保持部と、を含み、前記成膜室と同一雰囲気とされる前記第1の取付部材のターゲット取付面の反対側を被覆する被覆部材を備えるのが好ましい。
第1の取付部材のターゲット保持面の反対側が成膜室内の雰囲気に曝された状態となるため、スパッタ粒子が付着するおそれがある。そこで、本発明を採用すれば、被覆部材により第1の取付部材のターゲット保持面の反対側が覆われるので、第1の取付け部材におけるターゲット取付面と反対側へのスパッタ粒子の付着を防止することができ、スパッタ粒子放出ユニットにおけるメンテナンス性を高めることができる。
In the sputtering apparatus, the holding member is disposed on the film forming chamber side, and a first target holding unit that holds the first target via the first mounting member; and the first target And a second target holding part that holds the second target via the second mounting member, and the target mounting of the first mounting member that has the same atmosphere as the film formation chamber It is preferable to provide a covering member that covers the opposite side of the surface.
Since the opposite side of the target holding surface of the first mounting member is exposed to the atmosphere in the film forming chamber, there is a possibility that sputtered particles may adhere. Therefore, if the present invention is adopted, the opposite side of the target holding surface of the first mounting member is covered by the covering member, so that the adhesion of sputtered particles to the side of the first mounting member opposite to the target mounting surface is prevented. And maintainability in the sputtered particle emitting unit can be improved.
また、上記スパッタリング装置においては、前記成膜室における前記保持部材の取付け面及び前記保持部材との界面に、シール部材が設けられるのが好ましい。
この構成によれば、成膜室の密閉状態を保った状態でスパッタ粒子放出ユニットを取付けることができる。
In the sputtering apparatus, it is preferable that a seal member is provided at an attachment surface of the holding member and an interface with the holding member in the film forming chamber.
According to this configuration, it is possible to attach the sputter particle emission unit while keeping the film formation chamber sealed.
また、上記スパッタリング装置においては、前記スパッタ粒子放出ユニットは、前記スパッタ粒子の前記基板に対する入射角度を規制するスリットを有する規制部を備えるのが好ましい。
この構成によれば、スパッタ粒子放出ユニットとともに規制部が成膜室に対して着脱可能とされるので、メンテナンス性に優れたものとなる。
Moreover, in the said sputtering device, it is preferable that the said sputtered particle emission unit is provided with the control part which has a slit which controls the incident angle with respect to the said board | substrate of the said sputtered particle.
According to this configuration, since the regulating part can be attached to and detached from the film forming chamber together with the sputtered particle emitting unit, the maintainability is excellent.
本発明の液晶装置の製造装置は、対向する一対の基板間に挟持された液晶層を備え、少なくとも一方の前記基板の内面側に無機配向膜を形成してなる液晶装置の製造装置であって、上記のスパッタリング装置を備え、該スパッタリング装置によって前記無機配向膜を形成することを特徴とする。 An apparatus for manufacturing a liquid crystal device according to the present invention is an apparatus for manufacturing a liquid crystal device comprising a liquid crystal layer sandwiched between a pair of opposing substrates and forming an inorganic alignment film on the inner surface side of at least one of the substrates. The above-mentioned sputtering apparatus is provided, and the inorganic alignment film is formed by the sputtering apparatus.
本発明の液晶表示装置の製造装置によれば、メンテナンス性に優れたスパッタリング装置により無機配向膜が形成されるので、液晶装置の生産性を向上させることができる。よって、液晶装置の製造コストを低減することができる。 According to the apparatus for manufacturing a liquid crystal display device of the present invention, since the inorganic alignment film is formed by a sputtering device having excellent maintainability, the productivity of the liquid crystal device can be improved. Therefore, the manufacturing cost of the liquid crystal device can be reduced.
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明するが、本発明の技術範囲は以下の実施形態に限定されるものではない。また、以下の説明に用いる各図面では、各部材を認識可能な大きさとするため、各部材の縮尺を適宜変更している。なお、以下の図面においては、成膜室内での基板の搬送方向をX方向、基板の厚さ方向をZ方向、XZ方向にそれぞれに直交する方向をY方向、ターゲットの厚さ方向をZa方向、スパッタ粒子の放出方向をXa軸方向とした。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings, but the technical scope of the present invention is not limited to the following embodiments. In the drawings used for the following description, the scale of each member is appropriately changed in order to make each member a recognizable size. In the following drawings, the substrate transport direction in the film forming chamber is the X direction, the substrate thickness direction is the Z direction, the direction perpendicular to the XZ direction is the Y direction, and the target thickness direction is the Za direction. The discharge direction of the sputtered particles was taken as the Xa axis direction.
(スパッタリング装置、及び液晶装置の製造装置)
図1は本発明のスパッタリング装置(以下、スパッタ装置と称す)の一実施形態に係る概略構成を示す図である。図1に示すように、スパッタ装置1は、本発明の液晶装置の製造装置を構成し、液晶装置の構成部材となる基板W上にスパッタ法により無機配向膜を成膜するものである。スパッタ装置1は、基板Wを収容する真空チャンバーである成膜室2と、前記基板Wの表面にスパッタ粒子を放出することにより無機材料からなる配向膜を形成するスパッタ粒子放出ユニット3とを備えている。
(Sputtering apparatus and liquid crystal device manufacturing apparatus)
FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration according to an embodiment of a sputtering apparatus (hereinafter referred to as a sputtering apparatus) of the present invention. As shown in FIG. 1, a sputtering apparatus 1 constitutes a liquid crystal device manufacturing apparatus of the present invention, and forms an inorganic alignment film on a substrate W, which is a constituent member of the liquid crystal device, by sputtering. The sputtering apparatus 1 includes a
スパッタ粒子放出ユニット3は、そのプラズマ生成領域に放電用のアルゴンガスを流通させる第1のガス供給手段(ガス供給部)21を備えており、成膜室2は、内部に収容された基板W上に飛来する配向膜材料と反応して無機配向膜を形成する反応ガスとしての酸素ガスを供給する第2のガス供給手段22を備えている。
The sputtered
また、上記成膜室2には、その内部圧力を制御し、所望の真空度を得るための排気制御装置20が配管20aを介して接続されている。また、成膜室2には、図示下側の壁面から外側に突出するようにしてスパッタ粒子放出ユニット3との接続部を成すユニット接続部25が形成されている。
Further, an
このユニット接続部25は、成膜室2の下側(−Z軸側)に凸状に設けられている。そして、ユニット接続部25の底面は、上記スパッタ粒子放出ユニット3の取付け面25aを構成しており、スパッタ粒子放出ユニット3を取付けるための開口25bが形成されている。なお、この取付け面25aは、水平面(XY面に平行)とされている。
The
成膜室2内には、基板Wをその被処理面(成膜面)が水平(XY面に平行)になるようにして保持する基板ホルダ6が設けられている。すなわち、基板Wは、上記取付け面25aと略平行となるように保持されたものとなっている。基板ホルダ6には、基板ホルダ6を図示略のロードロックチャンバー(図示せず)側からその反対側へ水平に搬送する移動手段6aが接続されている。移動手段6aによる基板Wの搬送方向は、図1においてX軸方向に平行であり、ターゲット5a、5bの長さ方向(Y軸方向)と直交する方向となっている。
A
また、基板ホルダ6には、保持した基板Wを加熱するためのヒータ7が設けられており、さらに、保持した基板Wを冷却するための冷却手段17が設けられている。ヒータ7は、電源等を具備した制御部7aに接続されており、制御部7aを介した昇温動作により所望の温度に基板ホルダ6を加熱し、これによって基板Wを所望の温度に加熱できるように構成されている。一方、冷却手段17は、冷媒循環手段18と配管等を介して接続されており、冷媒循環手段18から供給される冷媒を循環させることにより所望の温度に基板ホルダ6を冷却し、これによって基板Wを所望の温度に冷却するように構成されている。
Further, the
上記第2のガス供給手段22は、ユニット接続部25に関して排気制御装置20と反対側に接続されており、第2のガス供給手段22から供給される酸素ガスは、成膜室2の−X方向から基板W上を経由して排気制御装置20側へ+X方向に流通するようになっている。
The second gas supply means 22 is connected to the side opposite to the
本実施形態に係るスパッタ装置1は、スパッタ粒子放出ユニット3が成膜室2に着脱可能とされている。スパッタ粒子放出ユニット3は、第1、第2のターゲット5a、5bを対向配置し、プラズマによりターゲット5a,5bからスパッタ粒子を生じさせ、成膜室2内の基板Wに無機配向膜を形成する対向ターゲット型のスパッタ装置を構成するものである。なお、第1、第2のターゲット5a、5bは、基板W上に形成する無機配向膜の構成物質を含む材料、例えばシリコンからなるものとされる。またターゲット5a、5bは図示Y方向に延びる細長い板状のものから構成される(図3参照)。
In the sputtering apparatus 1 according to the present embodiment, the sputtered
また、スパッタ粒子放出ユニット3は、上記ターゲット5a,5bを保持するフランジ(保持部材)80を有しており、このフランジ80によりスパッタ粒子放出ユニット3の各構成部材がユニット化(一体化)されている。ここで、スパッタ粒子放出ユニット3の構成部品について説明する。スパッタ粒子放出ユニット3は、その構成部材として、一対のターゲット5a,5bと、一対の電極9a,9bと、一対の磁界発生手段16a,16bと、を含む。
Further, the sputter
また、スパッタ粒子放出ユニット3は、上記ユニット接続部25の取付け面25aにフランジ80が螺子止めされることで成膜室2に取付けられており、このフランジ80を介して成膜室2に着脱可能とされている。これにより、フランジ80によってユニット化されたターゲット5a,5bを成膜室2から容易に着脱することができ、メンテナンス性を向上させている。また、上記取付け面25aが水平面(XY平面)とされているので、スパッタ粒子放出ユニット3の着脱性を向上させている。
The sputter
図2はフランジ80の斜視構成図である。図2に示されるように、フランジ80は、上記ターゲット5a,5bを保持する箱型の筐体部81と、この筐体部81に一体的に形成され、フランジ80を上記成膜室2の取付け面25aに螺子止めする取付部82と、を有しており、ターゲット5a,5bを成膜室2内の基板Wに対して傾けた状態に保持可能となっている。筐体部81には、ターゲット5a,5bからのスパッタ粒子5Pを成膜室2内に放出させる開口部85が形成されており、この開口部85と対向する壁部86に上記第1のガス供給手段21が設けられている(図1参照)。
FIG. 2 is a perspective configuration diagram of the
上記筐体部81は、第1のターゲット5aを保持する第1のターゲット保持部83と、第2のターゲット5bを保持する第2のターゲット保持部84と、これらに接続される側壁部87,88と、壁部86と、から構成されている。
具体的には、第1のターゲット5aは略平板状の第1電極9aに装着されており、この第1電極9aは上記第1のターゲット保持部83に形成された開口83a内に第1のターゲット5aを臨ませるように取付けられる。よって、第1のターゲット5aは、第1電極(第1の取付部材)9aを介して第1のターゲット保持部83に保持(取付)されたものとなっている。
The
Specifically, the
また、第2のターゲット5bは略平板状の第2電極9bに装着されており、第2電極9bは第2のターゲット保持部84に形成された開口84a内に第2のターゲット5bを臨ませるように取付けられる。よって、第2のターゲット5bは、第2電極(第2の取付部材)9bを介して第2のターゲット保持部84に保持(取付)される。
したがって、ターゲット5a、5bは、筐体部81の内面側において対向配置される。
The
Therefore, the
また、取付部82は、上記取付け面25aに取付けられる枠部82aと、上記筐体部81と枠部82aとを接続する接続部82bと、を含む。筐体部81は、枠部82aに対して傾いた状態で一体化されている。これにより、第1のターゲット保持部83及び第2のターゲット保持部84に保持されるターゲット5a,5bは、枠部82aに対して傾いた状態とされる。ここで、基板Wは、上述のように取付け面25aと略平行に保持されているため、ターゲット5a,5bは基板Wに対して傾けられた状態に保持されることとなる。
The
このようなフランジ80を用いることで、対向配置されるターゲット5a,5bを基板Wに対して所定の角度だけ傾けた状態に保持することが可能となっている。なお、上記所定角度としては、10°〜60°程度に設定するのが好ましい。これにより、基板Wに対し所望の入射角度でスパッタ粒子を入射させることが可能となる。また、フランジ80の形状、例えば接続部82bの折曲度合いを調整することにより上記スパッタ粒子の入射角度を様々に調整することができる。
By using such a
上記接続部82bは、第1のターゲット保持部83側にて、筐体部81の底面と枠部82aとの間、及び枠部82aと第1、第2のターゲット保持部83,84に隣接するニ側壁部の枠部82aより下側(−Z方向)との間を接続している。さらに、接続部82bは、第2のターゲット保持部84側にて、筐体部81の上面(開口部85が形成された側)と枠部82aとの間、及び枠部82aと第1、第2のターゲット保持部83,84に隣接するニ側壁部の枠部82より上側(+Z方向)との間を接続している。なお、フランジ80を構成する筐体部81、取付部82は一つの板状部材を折曲加工することで構成してもよいし、複数の板状部材を組み合わせることで構成してもよい。
The
図1に示したように、フランジ80の枠部82aは、螺子止めにより取付け面25aに取付けられている。フランジ80は、上述のような形状により枠部82aに対してターゲット5aが上側(+Z方向)、ターゲット5bが下側(−Z方向)に配置されるようになっている。すなわち、スパッタ粒子放出ユニット3は、フランジ80を介して成膜室2内に一部が入り込んだ状態に保持され、筐体部81の内部は成膜室2の内部と連通している。すなわち、開口部83a、84a内に配置されたターゲット5a,5bは、開口部85のみを介して成膜室2内の雰囲気の内部と連通している。
As shown in FIG. 1, the
また、成膜室2の取付け面25a及びフランジ80の枠部82aとの界面には、枠状のシール部材89が設けられている。これにより、成膜室2を密閉した状態でスパッタ粒子放出ユニット3を取付けることができる。
A frame-shaped
このようにスパッタ粒子放出ユニット3を成膜室2内に一部入り込んだ状態に保持することでスパッタ装置1全体の小型化を図ることができる。また、ターゲット5a,5bと基板Wとの距離が近づくことで、ターゲット5a,5bから放出されるスパッタ粒子を基板W上に確実に入射させることを可能としている。
Thus, by keeping the sputter
また、フランジ80は、防着板(被覆部材)90を備えている。この防着板90は、第1のターゲット保持部83に保持される第1電極9aのターゲット保持面と反対側を覆うようにフランジ80に取付けられている(図1参照)。
本実施形態においては、上述のように、スパッタ粒子放出ユニット3が成膜室2内に一部入り込んだ状態で取付けられているため、第1のターゲット保持部83と反対側が成膜室2と同一雰囲気とされる。この場合、第1電極9a、及び第1の磁界発生手段16aにスパッタ粒子が付着するおそれがある。本実施形態では上記防着板90により第1電極9aのターゲット保持面と反対側へのスパッタ粒子5Pの付着を防止することで、スパッタ粒子放出ユニット3(特に磁界発生手段16a等)のメンテナンス性を高めている。
Further, the
In the present embodiment, as described above, the sputtered
続いて、スパッタ粒子放出ユニット3の構成部材について詳述する。
上記第1電極9aには、内部流路(不図示)が形成されており、この内部流路には冷媒循環手段(不図示)から冷媒が送り込まれるようになっている。これにより、ターゲット5aを冷却することが可能となっている。
また、第2電極9bにも内部流路が形成されており、この内部流路には冷媒循環手段(不図示)から冷媒が送り込まれるようになっている。これにより、ターゲット5bを冷却することが可能となっている。なお、ターゲット5a,5bを冷却する手段を上記第1、第2電極9a,9bとは別部材から形成することもできる。
Next, the constituent members of the sputtered
An internal flow path (not shown) is formed in the
The
第1電極9aには直流電源又は高周波電源からなる電源4aが接続され、第2電極9bには直流電源又は高周波電源からなる電源4bが接続されており、各電源4a、4bから供給される電力によりターゲット5a、5bが対向する空間(プラズマ生成領域)にプラズマPzを発生させるようになっている。
The
図3は、スパッタ粒子放出ユニット3の構成を−Za方向に視た側面図である。図3に示されるように、第1電極9aは略矩形状からなり、第1のターゲット保持部83(フランジ80)の開口83aよりも大きく形成されている。そして、第1電極9aの裏面(Za方向)側には矩形枠状の永久磁石、電磁石、これらを組み合わせた磁石等からなる第1の磁界発生手段16aが配設されている。第1の磁界発生手段16aは、第1のターゲット保持部83の内面側に配置されるターゲット5aを囲むように形成される。
FIG. 3 is a side view of the configuration of the sputtered
第1のターゲット保持部83は、ターゲット5aおよび第1の磁界発生手段16aを備えた第1電極9aの外周端部を支持することで、ターゲット5aを保持している。また、第1電極9aと第1のターゲット保持部83との間は良好にシールされたものとされている(図1参照)。
The first
なお、スパッタ粒子放出ユニット3における第2のターゲット保持部84側は、第1のターゲット保持部83と対をなすものであり、図1に示す第2電極9bの裏面側に形成される第2の磁界発生手段16bも同様の形状である。
Note that the second
したがって、第1の磁界発生手段16aと第2の磁界発生手段16bとは、対向配置されたターゲット5a、5bの外周部で互いに対向して配置される。そして、これらの磁界発生手段16a、16bがターゲット5a、5bを取り囲むZa方向の磁界をスパッタ粒子放出ユニット3内に発生させ、かかる磁界によってプラズマPzに含まれる電子をプラズマ生成領域内に拘束する電子拘束手段を構成している。
Therefore, the first magnetic field generating means 16a and the second magnetic field generating means 16b are arranged to face each other at the outer peripheral portions of the
このような構成により、フランジ80は、成膜室2内部に収容される基板Wの成膜面方向(図示X方向)と所定の角度を成す方向にスパッタ粒子を放出するようにスパッタ粒子放出ユニット3を成膜室2に取付けている。
With such a configuration, the
また実際のスパッタ装置では、成膜室2の真空度を保持した状態での基板Wの搬入/搬出を可能とするロードロックチャンバーが、成膜室2のX軸方向外側に備えられている。ロードロックチャンバーにも、これを独立して真空雰囲気に調整する排気制御装置が接続され、ロードロックチャンバーと成膜室2とは、チャンバー間を気密に閉塞するゲートバルブを介して接続されている。かかる構成により、成膜室2を大気に解放することなく基板Wの出し入れを行えるようになっている。
In an actual sputtering apparatus, a load lock chamber that enables loading / unloading of the substrate W in a state in which the degree of vacuum of the
図1に示すように、ターゲット5a、5bに挟まれるプラズマ生成領域に対して成膜室2と反対側に配置されたフランジ80の壁部86には、上記第1のガス供給手段21が接続されており、第1のガス供給手段21から供給されるアルゴンガスは、壁部86側からプラズマ生成領域(ターゲット対向領域)に流入し、ユニット接続部25を介して成膜室2内に流入するようになっている。そして、成膜室2に流入したアルゴンガスは、第2のガス供給手段22から供給される酸素ガスと合流して排気制御装置20側へ流れるようになっている。
As shown in FIG. 1, the first gas supply means 21 is connected to a
なお、第2のスパッタガスである酸素ガスの流通方向と第1のスパッタガスであるアルゴンガスの流通方向との成す角度を鋭角とすることでスパッタガスを円滑に流通させることができる。これにより、酸素ガスとアルゴンガスとの合流地点においてガス流が乱れるのを防止することができ、基板Wに対するスパッタ粒子5Pの入射角度がばらつくのを防止することができる。
Note that the sputtering gas can be smoothly circulated by making the angle formed by the flow direction of the oxygen gas that is the second sputtering gas and the flow direction of the argon gas that is the first sputtering gas an acute angle. Thereby, it is possible to prevent the gas flow from being disturbed at the joining point of the oxygen gas and the argon gas, and it is possible to prevent the incident angle of the sputtered
スパッタ装置1により液晶装置の構成部材である基板W上に無機配向膜を形成するには、第1のガス供給手段21からアルゴンガスを導入しつつ、第1電極9a及び第2電極9bにDC電力(RF電力)を供給することで、ターゲット5a、5bに挟まれる空間にプラズマPzを発生させ、プラズマ雰囲気中のアルゴンイオン等をターゲット5a、5bに衝突させることで、ターゲット5a、5bから配向膜材料(シリコン)をスパッタ粒子5Pとしてたたき出し、さらにプラズマPzに含まれるスパッタ粒子5Pのうち、プラズマPzから開口部3a側へ飛行するスパッタ粒子5Pのみを選択的に成膜室2側へ放出する。そして、基板Wの面上に斜め方向から飛来したスパッタ粒子5Pと、成膜室2を流通する酸素ガスとを基板W上で反応させることで、シリコン酸化物からなる配向膜を基板W上に形成するようになっている。
In order to form an inorganic alignment film on the substrate W, which is a constituent member of the liquid crystal device, by the sputtering apparatus 1, DC is applied to the
なお、本実施形態では、スパッタ粒子5Pとしてのシリコンを、第2のスパッタガスである酸素ガスと反応させることでシリコン酸化物を基板W上に成膜する場合について説明しているが、ターゲット5a、5bとして例えばシリコン酸化物(SiOx)やアルミニウム酸化物(AlOy等)などを用い、ターゲット5a、5bに対してRF電力を入力してスパッタ動作を行うことで、これらシリコン酸化物やアルミニウム酸化物からなる無機配向膜を基板W上に形成することができる。またこの場合において、第2のスパッタガス(酸素ガス)を成膜室2内に流通させておくことで、形成される無機配向膜の酸化物組成からのずれを防止することができ、無機配向膜の絶縁性を高めることができる。
In this embodiment, the case where silicon oxide is formed on the substrate W by reacting silicon as the sputtered
上記構成を備えたスパッタ装置1によれば、対向ターゲット型のスパッタ粒子放出ユニット3を基板Wに対して所定角度(本実施形態では、例えば45°とした)傾けて配置しているので、スパッタ粒子放出ユニット3の開口部85から放出されるスパッタ粒子5Pを所定角度で基板Wの成膜面に入射させることができる。そして、このようにして斜め方向から入射させたスパッタ粒子の堆積により、一方向に配向した柱状構造を具備した無機配向膜を基板W上に形成することができるようになっている。また、対向ターゲット型のスパッタ粒子放出ユニット3では、開口部85から放出されないスパッタ粒子は、主にターゲット5a、5bに入射して再利用されるため、極めて高いターゲット利用効率を得られるようになっている。さらにスパッタ粒子放出ユニット3においては、ターゲット間隔を狭めることで開口部85から放出されるスパッタ粒子の指向性を高めることができるので、基板Wに到達するスパッタ粒子の入射角は高度に制御されたものとなり、形成される無機配向膜における柱状構造の配向性も良好なものとなる。
According to the sputtering apparatus 1 having the above configuration, the opposed target type sputtered
ところで、スパッタ装置を用いて、無機配向膜を形成する場合、定期的なメンテナンス作業を行う必要がある。本実施形態のように対向ターゲット型のスパッタ装置は、その構造上、ターゲット上(表面)に堆積物が形成されてしまう。このようなターゲット表面の堆積物を除去するにはブラスト処理等の特別な処理が必要となる。そのため、メンテナンス処理時には、堆積物が形成されたターゲットを、上記の特別処理によって堆積物を除去したクリーニング済みのものと交換してしまうのが効果的である。 By the way, when forming an inorganic alignment film using a sputtering apparatus, it is necessary to perform regular maintenance work. In the counter target type sputtering apparatus as in this embodiment, deposits are formed on the target (surface) due to its structure. In order to remove the deposit on the target surface, a special process such as a blast process is required. Therefore, during the maintenance process, it is effective to replace the target on which the deposit is formed with a cleaned target from which the deposit has been removed by the special process.
本実施形態によれば、スパッタ粒子放出ユニット3がフランジ80を介して成膜室2の取付け面25aに容易に着脱可能に取付けられているため、メンテナンス時にはフランジ80ごとスパッタ粒子放出ユニット3を成膜室2の取付け面25aから取り外し、クリーニング済みのターゲット対5a,5bを取付けた他のスパッタ粒子放出ユニット3に付け替えて交換する。これにより、メンテナンス時は単なるスパッタ粒子放出ユニット3を交換することによりターゲット5a,5bの交換を実施できることとなり、結果的に、成膜室2の開放時間を短縮し、装置のダウンタイムを大幅に短縮することができる。また、取り外したスパッタ粒子放出ユニット3のターゲット5a,5bは、次の定期メンテナンスまでの間にフランジ80から外し、例えばブラスト処理により表面クリーニングをしたのち再度フランジ80に組み込んでおけば、メンテナンスにより装置の稼働時間に影響を与える影響を極力抑えることができる。
According to this embodiment, since the sputter
また、本実施形態に係るスパッタ装置1では、上記成膜動作に際して、スパッタ粒子放出ユニット3のターゲット5a、5bを取り囲む矩形枠状の磁界発生手段16a、16bにより形成される磁界によって、プラズマPzに含まれる電子5rを捕捉ないし反射させることができ、プラズマPzをターゲット5a、5bが対向する領域内に良好に閉じ込めることができるので、前記電子5rが基板Wの成膜面に入射して基板W表面の濡れ性が上昇するのを防止することができる(図1参照)。
Further, in the sputtering apparatus 1 according to the present embodiment, during the film forming operation, the plasma Pz is generated by the magnetic field formed by the rectangular frame-shaped magnetic field generating means 16a and 16b surrounding the
これにより、基板Wに付着したスパッタ粒子の再配置により柱状構造の形成が阻害されるのを良好に防止することができる。したがって、本実施形態のスパッタ装置1によれば、配向性の良好な無機配向膜を基板W上に容易に形成することができる。
上記と同様の観点から、開口部85と基板Wとの間に位置する成膜室2やユニット接続部25の壁部は、接地電位に保持しておくことが好ましい。このような構成とすることで、電子拘束手段から漏れ出た電子を前記壁部により捕捉し除去することができ、基板W表面の濡れ性が上昇してしまうのを効果的に防止することができる。
Thereby, it is possible to satisfactorily prevent the formation of the columnar structure from being hindered by the rearrangement of the sputtered particles attached to the substrate W. Therefore, according to the sputtering apparatus 1 of the present embodiment, an inorganic alignment film having good alignment can be easily formed on the substrate W.
From the same viewpoint as described above, it is preferable that the
さらにスパッタ装置1では、ターゲット5a、5bに細長い板状のものを用いており、スパッタ粒子放出ユニット3からY軸方向に延びるライン状にスパッタ粒子を放出させることができる。そして、基板ホルダ6は前記スパッタ粒子のラインと直交する方向(X軸方向)に基板Wを搬送することができるようになっているので、前記スパッタ粒子のラインにより基板W上を走査するようにして面状に成膜を行うことができ、連続的に基板処理を行うことができ、極めて高い生産効率を実現することができる。
Further, in the sputtering apparatus 1, elongated targets are used for the
また、スパッタ法によってターゲットから放出されるスパッタ粒子(配向膜材料)の持つエネルギーは例えば10eVであり、蒸着法によって蒸着源から発生するクラスター状粒子の持つエネルギーが例えば0.1eVであるのに比べて格段に大きいため、スパッタ粒子は蒸着法によるクラスター状粒子に比べて密着性が高いものとなる。すなわち、クラスター状粒子の場合、例えば成膜室2やユニット接続部25の内壁面に付着した粒子が振動等によって脱落し、発塵を起こしてこれが基板W上に異物となって付着してしまうおそれがあるが、スパッタ粒子の場合には、内壁面などに一旦付着すると、その高密着性によって容易には脱落せず、したがって、これが基板W上に異物となって付着してしまうといった不都合を回避することができる。
Further, the energy of the sputtered particles (alignment film material) emitted from the target by the sputtering method is, for example, 10 eV, and the energy of the cluster-like particles generated from the vapor deposition source by the vapor deposition method is, for example, 0.1 eV. Therefore, the sputtered particles have higher adhesion than the clustered particles obtained by the vapor deposition method. That is, in the case of cluster-like particles, for example, particles adhering to the inner wall surfaces of the
また、基板ホルダ6に基板Wを冷却するための冷却手段17を設けているので、成膜時に冷却手段17によって基板Wを冷却し、基板Wを室温等の所定温度に保持することができ、スパッタによって基板Wに付着した配向膜材料分子の基板上での拡散(マイグレーション)を抑制することができる。これにより、基板W上における配向膜材料の局所的な成長が促進され、一軸方向に柱状に成長した配向膜を容易に得られるようになる。
Further, since the cooling means 17 for cooling the substrate W is provided in the
(スパッタ装置の他の構成例)
本実施形態に係るスパッタ装置1では、スパッタ粒子放出ユニット3にスパッタ粒子の上記基板Wに対する入射角度を規制するスリットを有する規制部を設けることができる。以下、かかる構成について図4を参照して説明する。
(Other configuration examples of sputtering equipment)
In the sputtering apparatus 1 according to the present embodiment, the sputtered
図4は、本構成例におけるスパッタ装置1の概略構成を示す図である。規制部91は、アルミニウム等の非磁性金属からなるもので、スパッタ粒子放出ユニット3の開口部85内から放出されるスパッタ粒子をスリットS間のみを通過させることで、粒子の飛散方向を規制するものである。また、規制部91は、成膜室2の壁部と電気的に導通して接地電位に保持されるのが好ましい。
FIG. 4 is a diagram showing a schematic configuration of the sputtering apparatus 1 in this configuration example. The restricting
これによれば、規制部91によって、電子拘束手段(磁界発生手段16a、16b)から漏れ出るプラズマPz中の電子やイオン状物質を捕捉して除去することができ、これにより基板Wに対してプラズマPzの影響が及ぶのを防ぐことができる。すなわち、スパッタ粒子放出ユニット3には磁界発生手段16a、16bからなる電子拘束手段が設けられているものの、この電子拘束手段から電子等が洩れ出て基板Wに到達すると、先に記載のように基板W表面の濡れ性が上昇してスパッタ粒子のマイグレーションが生じ、柱状構造の形成が阻害されるおそれがあるが、このような規制部91を配設しておくことにより、電子等が成膜室2の開口部85から洩れ出てくるのを防止するとともにスパッタ粒子の放出方向を良好に規制することができ、無機配向膜における柱状構造の形成を促進し、良好な配向性を備えた無機配向膜を形成することができる。
According to this, it is possible to capture and remove electrons and ionic substances in the plasma Pz leaking from the electron restraining means (magnetic field generating means 16a and 16b) by the restricting
また、規制部91はフランジ80に一体的に設けられており、スパッタ粒子放出ユニット3とユニット化((一体化)されている。すなわち、メンテナンス時において、スパッタ粒子放出ユニット3を成膜室2から着脱した際、規制部91も成膜室2内から取り出されるので、成膜室2内のメンテナンス性に優れたものとすることができる。
Further, the restricting
なお、上記スパッタ装置1は、上述の実施形態に係る構成に限定されず、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変更が可能である。
例えば、上記実施形態では、フランジ80はスパッタ粒子放出ユニット3を基板Wに対して所定角度(例えば45°)傾けて配置する構成となっていたが、スパッタ粒子放出ユニット3における傾斜角はこれに限定されることはない。本発明は、例えばスパッタ粒子放出ユニット3を基板Wの法線方向に沿って配置可能な形状のフランジにも適用可能である。
In addition, the said sputtering apparatus 1 is not limited to the structure which concerns on the above-mentioned embodiment, A various change is possible in the range which does not deviate from the meaning of invention.
For example, in the above-described embodiment, the
また、上記実施形態では、上記フランジ80は筐体部81の対向する二側壁を成す第1のターゲット保持部83及び第2のターゲット保持部84にのみターゲット5a、5bが支持されている構成としているが、対向ターゲット型のスパッタ粒子放出ユニット3では、これら第1、第2のターゲット保持部83,84に隣接するとともに互いが対向するニ側壁にもそれぞれターゲットを配設するようにしてもよい。
In the above embodiment, the
この構成によれば、四つの側壁に設けられたターゲットから放出されるスパッタ粒子を成膜に用いることができるので、成膜速度の向上が期待できる。また、プラズマ生成領域の4方向を取り囲むようにしてターゲットが配置されるため、開口部85から成膜室2へ放出されるスパッタ粒子を除いたスパッタ粒子はプラズマPzを取り囲むターゲットに入射して、他のスパッタ粒子の生成等に再利用されるので、ターゲットの利用効率を高めることができる。なお、この場合においては、増設したターゲットに対応して電子拘束手段(磁界発生手段)の配置を変更し、プラズマPzとターゲットとの位置関係を最適化することが好ましい。
According to this configuration, since sputtered particles emitted from the targets provided on the four side walls can be used for film formation, an improvement in film formation speed can be expected. Further, since the target is arranged so as to surround the four directions of the plasma generation region, the sputtered particles excluding the sputtered particles released from the
(液晶装置の製造方法)
次に、上記スパッタ装置1を備えた液晶装置の製造装置(以下、製造装置と称す)を用いた液晶装置の製造方法(基板W上に無機配向膜を形成する工程)について説明する。
まず、基板Wとして、液晶装置用基板としてスイッチング素子や電極等、所定の構成部材が形成された基板を用意する。次いで、基板Wを成膜室2に併設されたロードロックチャンバー内に収容し、ロードロックチャンバー内を減圧して真空状態とする。また、これとは別に、排気制御装置を作動させて成膜室2内を所望の真空度に調整しておく。
(Manufacturing method of liquid crystal device)
Next, a method of manufacturing a liquid crystal device (a step of forming an inorganic alignment film on the substrate W) using a liquid crystal device manufacturing apparatus (hereinafter referred to as a manufacturing apparatus) provided with the sputtering apparatus 1 will be described.
First, as the substrate W, a substrate on which predetermined components such as switching elements and electrodes are formed is prepared as a substrate for a liquid crystal device. Next, the substrate W is accommodated in a load lock chamber provided in the
続いて、基板Wを成膜室2内に搬送し、基板ホルダ6にセットする。そして、配向膜形成の前処理として、基板ホルダ6のヒータ7によって基板Wを例えば250℃〜300℃程度で加熱し、基板Wの表面に付着した吸着水やガスなどの脱水・脱ガス処理を行う。次いで、ヒータ7による加熱を停止した後、スパッタリングによる基板温度の上昇を抑制するため、冷媒循環手段18を作動させて冷却手段17に冷媒を循環させることで基板Wを所定温度、例えば室温に保持する。
Subsequently, the substrate W is transferred into the
次に、アルゴンガスを第1のガス供給手段21からスパッタ粒子放出ユニット3内に所定流量で導入し、酸素ガスを第2のガス供給手段22から所定流量で成膜室2内に導入するとともに、排気制御装置20を作動させ、所定の操作圧力、例えば10−1Pa程度に調整する。酸素ガスプラズマでは酸素ラジカル、酸素の負イオンが発生するため、本実施形態の製造装置では、プラズマ生成領域であるターゲット5a、5bの前面にはアルゴンガスのみを導入し、酸素ガスは別系統のガス供給路から基板W上へ流入させている。また、成膜中にも必要に応じてヒータ7、冷却手段17を作動させることにより、基板Wを室温に保持することが好ましい。
Next, argon gas is introduced from the first gas supply means 21 into the sputtered
その後、このような成膜条件のもとで、移動手段6aにより基板Wを図1中のX方向に所定の速度で移動させつつ、スパッタ粒子放出ユニット3によるスパッタリングを行う。すると、ターゲット5a、5bからは、配向膜材料となるスパッタ粒子(シリコン)が放出されるが、対向ターゲット型のスパッタ粒子放出ユニット3では、ターゲット対向方向に進行するスパッタ粒子はプラズマPz内に閉じ込められ、ターゲット面方向の開口部85に向かって進行するスパッタ粒子5Pのみが開口部85から成膜室2内に放出され、基板W上に入射するようになる。
Thereafter, sputtering is performed by the sputtered
スパッタ粒子5Pは、基板Wの成膜面に対してのみ選択的に入射、基板W上で酸素ガスと反応してシリコン酸化物の被膜を形成する。このように基板Wに対して斜めに傾けて配置されたスパッタ粒子放出ユニット3から放出されたスパッタ粒子5Pは、基板Wの成膜面に対して所定の角度、すなわち角度θ1で入射するようになる。その結果、基板W上で酸素ガスとスパッタ粒子5Pとの反応を伴って堆積した無機配向膜は、前記の入射角に対応した角度で傾斜する柱状構造を有した無機配向膜となる。
The sputtered
このように、製造装置により基板W状に形成される無機配向膜は所望の角度で傾斜した柱状構造を有する無機配向膜であり、この配向膜を備えてなる液晶装置は、かかる無機配向膜によって液晶のプレチルト角を良好に制御することができるものとなる。 As described above, the inorganic alignment film formed in the substrate W shape by the manufacturing apparatus is an inorganic alignment film having a columnar structure inclined at a desired angle, and the liquid crystal device including the alignment film is formed by the inorganic alignment film. The pretilt angle of the liquid crystal can be controlled well.
またこのとき、スパッタ粒子放出ユニット3の開口部85に設けられた電子拘束手段(磁界発生手段16a、16b)によりプラズマPzに含まれる電子やイオン状物質が捕捉又は反射されるため、これらの電子やイオン状物質が基板Wに到達するのを防止することができる。さらに、図4に示した規制部91を成膜室2に配設しておけば、上記電子やイオン状物質が基板Wに到達するのをより効果的に防止することができ、また基板Wに入射するスパッタ粒子5Pの入射角制御もより高精度に行うことができる。
At this time, electrons or ionic substances contained in the plasma Pz are captured or reflected by the electron constraining means (magnetic field generating means 16a, 16b) provided in the
以上の工程により、基板W上に無機配向膜を形成したならば、別途製造した他の基板とシール材を介して貼り合わせ、基板間に液晶を封入することで液晶装置を製造することができる。なお、本発明に係る液晶装置の製造方法において、無機配向膜の形成工程以外の製造工程については公知の製造方法を適用することができる。このように本発明の液晶装置の製造装置によれば、メンテナンス性に優れたスパッタ装置1により無機配向膜が形成されるので、液晶装置の生産性を向上することができ、液晶装置の製造コストを低減できる。 If an inorganic alignment film is formed on the substrate W through the above steps, a liquid crystal device can be manufactured by pasting together another separately manufactured substrate through a sealing material and enclosing a liquid crystal between the substrates. . In the method for manufacturing a liquid crystal device according to the present invention, a known manufacturing method can be applied to a manufacturing process other than the process of forming the inorganic alignment film. As described above, according to the apparatus for manufacturing a liquid crystal device of the present invention, since the inorganic alignment film is formed by the sputtering apparatus 1 having excellent maintainability, the productivity of the liquid crystal device can be improved and the manufacturing cost of the liquid crystal device can be improved. Can be reduced.
1…スパッタ装置(スパッタリング装置)、2…成膜室、3…スパッタ粒子放出ユニット、5a,5b…ターゲット、5P…スパッタ粒子、9a…第1電極(第1の取付部)、9b…第2電極(第2の取付部)、25a…取付け面、80…フランジ(保持部材)、83…第1のターゲット保持部、84…第2のターゲット保持部、89…シール部材、90…防着板、91…規制部、Pz…プラズマ、W…基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Sputter apparatus (sputtering apparatus), 2 ... Film-forming chamber, 3 ... Sputtered particle emission unit, 5a, 5b ... Target, 5P ... Sputtered particle, 9a ... 1st electrode (1st attachment part), 9b ... 2nd Electrode (second mounting portion), 25a ... mounting surface, 80 ... flange (holding member), 83 ... first target holding portion, 84 ... second target holding portion, 89 ... sealing member, 90 ...
Claims (5)
該成膜室に着脱可能に設けられ、対向する一対のターゲットからプラズマによりスパッタ粒子を生じさせ、該スパッタ粒子を前記成膜室内の前記基板に向けて放出するスパッタ粒子放出ユニットと、を備え、
前記スパッタ粒子放出ユニットは、前記ターゲットを保持するとともに当該スパッタ粒子放出ユニットの各構成部材をユニット化する保持部材を有し、該保持部材を介して前記成膜室に着脱可能に設けられ、
前記保持部材は、前記一対のターゲットの面方向を前記基板の法線方向に対して傾けた状態に保持するとともに、前記スパッタ放出ユニットの一部を前記成膜室内に入り込ませた状態に保持して前記成膜室側に配置され、第1の取付部材を介して第1のターゲットを保持する第1のターゲット保持部と、前記第1のターゲットに対向配置され、第2の取付部材を介して第2のターゲットを保持する第2のターゲット保持部と、を含み、
前記成膜室と同一雰囲気とされる前記第1の取付部材のターゲット取付面の反対側を被覆する被覆部材を備えることを特徴とするスパッタリング装置。
A film formation chamber for accommodating a substrate;
A sputter particle emitting unit that is detachably provided in the film forming chamber, generates sputtered particles by plasma from a pair of opposing targets, and discharges the sputtered particles toward the substrate in the film forming chamber;
The sputter particle emission unit has a holding member that holds the target and unitizes each component of the sputter particle emission unit, and is detachably provided in the film forming chamber via the holding member.
The holding member holds the surface direction of the pair of targets in an inclined state with respect to the normal direction of the substrate, and retain a portion of the sputtered emission unit in a state of intruded into the deposition chamber A first target holding portion that is disposed on the film forming chamber side and holds a first target via a first mounting member; and is disposed to face the first target and is interposed via a second mounting member. And a second target holding unit that holds the second target.
A sputtering apparatus comprising: a covering member that covers the opposite side of the target mounting surface of the first mounting member that has the same atmosphere as the film forming chamber .
請求項1乃至4のいずれか一項に記載のスパッタリング装置を備え、該スパッタリング装置によって前記無機配向膜を形成することを特徴とする液晶装置の製造装置。 An apparatus for manufacturing a liquid crystal device comprising a liquid crystal layer sandwiched between a pair of opposing substrates, wherein an inorganic alignment film is formed on the inner surface side of at least one of the substrates,
It includes a sputtering apparatus according to any one of claims 1 to 4, apparatus for manufacturing a liquid crystal device, and forming the inorganic alignment layer by the sputtering apparatus.
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