JP5193407B2 - Transfer film supply method and transfer method - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶ディスプレイのカラーフィルタの基板上に熱溶融型の着色剤層が形成された転写フィルムを供給する場合等に好適な転写フィルムの供給方法、その供給方法を利用した転写方法、及び転写フィルムの供給用のカートリッジに関する。
【0002】
【従来の技術】
液晶ディスプレイ等のカラーフィルタの基板に着色層を形成する方法としてレーザ転写法が提案されている(例えば特開平10−206625号公報、特開平7−104113号公報参照)。レーザ転写法は、フィルム状の基材に予め熱溶融型の着色剤を塗布して転写フィルムを形成し、その転写フィルムとカラーフィルタの基板とを重ね合わせた状態で転写フィルムにレーザビームを当てて着色剤を溶融させることにより、基板に所望のパターンで着色剤を転写する方法である。
【0003】
上記のレーザ転写法においては、転写装置のステージに載置された基板に対して、これを覆うように転写フィルムを供給する必要がある。従来の供給方法では、転写フィルムのロールから一回の転写に必要な長さの転写フィルムを引き出してこれをロールから切断し、得られた一枚の転写フィルムをステージ上に移送し、基板上へ転写フィルムを展開している。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
従来の供給方法では転写フィルムを基板サイズに合わせて切断する工程が必要であり、作業工数が増加してコスト及び時間が嵩む。切断面から塵が発生し、その塵が転写フィルムや基板に付着して転写に悪影響を与えるおそれもある。
【0005】
こうした不都合を解消するため、転写装置にそのレーザ照射部を挟むようにして一対のロールを装着し、転写が行われる毎に一方のロールから他方のロールへと転写フィルムを所定長ずつ移し替えることにより、多数枚の基板上に連続的に転写フィルムを供給する連続供給方式が検討された。このような方法によれば転写フィルムを切断する必要がないので発塵の問題は生じない。
【0006】
しかし、上記の連続供給方式では、一対のロールをそれらの間に転写フィルムが巻き掛けられた状態で交換することを可能とするためにレーザ照射部を片持ち構造にする必要が生じる等、転写装置の設計上の制約が大きくなる。レーザ照射部の前後に基板よりも長い距離に亘って転写フィルムを露出させる必要があり、転写フィルムへ異物が付着するおそれが高まる。
【0007】
そこで、本発明は転写フィルムの切断が不要で、転写フィルムの露出量も小さくて済み、かつ転写フィルムの供給の都合から生じる転写装置の設計の制約を抑えることができる転写フィルムの供給方法及びその供給方法を利用した転写方を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明の供給方法は、液晶ディスプレイのカラーフィルタのガラス基板にR、G、Bの3原色にそれぞれ対応した3種類の着色層を形成する転写装置(1)のステージ(4)に載置される転写対象のガラス基板(10)上に熱溶融型の着色剤層が形成された転写フィルム(11)を供給する方法であって、複数回の転写に対応可能な長さの転写フィルムを収容する供給部(12a)とそのフィルムを回収する回収部(12b)とを備えたカートリッジ(12)を用意し、前記供給部から引き出された転写フィルムが前記カートリッジの下端に沿って真っ直ぐに伸ばされた上で前記回収部に回収されるようにして前記供給部と前記回収部との間に一回の転写に必要な長さの転写フィルムを繰り出すとともに、その繰り出した転写フィルムが前記ステージ上の前記ガラス基板と重なるように前記繰り出した転写フィルムを下にした状態の前記カートリッジを前記ステージに搭載し、前記回収部を駆動する駆動装置、転写フィルムをクリーニングするクリーニング装置及び転写フィルムの欠陥の有無を検査する検査装置を備えた検査・供給部に、R、G、Bの各色につきそれぞれ1つ以上の前記カートリッジ用意し、前記検査・供給部から前記各色のカートリッジを交互にステージに載せ替えるとともに、いずれか一のカートリッジが前記ステージに搭載されて転写が行われている間に並行して、前記駆動装置に、前記ステージから取り外されて待機中で、前記ステージに搭載されたカートリッジとは別の色のカートリッジの前記供給部と前記回収部との間に次回の転写に必要な長さの転写フィルムを繰り出させ、かつ繰り出した転写フィルムに対して、前記クリーニング装置にクリーニングさせ前記検査装置に検査させることにより、上述した課題を解決する。
【0009】
本発明の供給方法によれば、各回の転写に先立ってカートリッジの供給部から必要な長さの転写フィルムを繰り出して基板に重ねることができ、使用済みの転写フィルムは回収部に回収することができる。これにより、転写フィルムを切断する必要がなくなり、切断面からの発塵の問題が生じない。カートリッジをステージに搭載するようにしたので、転写フィルムの露出量は最小限で足りる。ステージを転写部(例えばレーザ照射部直下の領域)の外へ移動させて基板の載せ替えを行う位置にてカートリッジの搭載及び取り外しを行うことができるので、転写フィルムの供給機構の構成が転写部の設計に与える影響を抑えることができ、その結果、転写部の設計自由度が高まる。また、いずれかのカートリッジがステージに搭載されて転写が行われている間に、待機中のカートリッジの供給部から次回の転写に備えて転写フィルムが繰り出される。従って、転写フィルムを繰り出す作業に起因して転写処理の効率が低下するおそれがない。また、転写フィルムへの異物の付着に起因する転写不良の発生を未然に防止できる。待機中のカートリッジに対してクリーニングが行われるので、転写処理の効率が損なわれるおそれもない。また、転写フィルムの欠陥に起因する転写不良の発生を未然に防止できる。待機中のカートリッジの転写フィルムに対して欠陥検査が行われるので、転写処理の効率が損なわれるおそれもない。
【0014】
前記検査にて前記転写フィルムに欠陥が検出された場合、その欠陥部分が前記ガラス基板と重なる範囲から外れるように前記供給部から前記回収部へと前記転写フィルムを送出するようにしてもよい。この場合には、転写フィルム上にて検出された欠陥部分が回収部へ送られることにより、その欠陥部分の使用を確実に防止できる。
【0015】
前記欠陥部分の検出に伴って新たに繰り出された転写フィルムに対してクリーニング及び検査を行い、前記ガラス基板と重なる範囲から前記欠陥部分が検出されなくなるまで前記転写フィルムの送出、クリーニング及び検査を繰り返すようにしてもよい。この場合にはステージ上の基板に対して常に欠陥のない転写フィルムを供給することができる。
【0016】
本発明の供給方法において、前記供給部及び前記回収部のそれぞれにロール(14,15)を配置し、前記供給部のロールから引き出された転写フィルムを前記回収部のロールに巻き取るようにしてもよい。このようにすれば、転写フィルムの供給及び回収を簡単な構造で行うことができ、カートリッジの軽量化、小型化に資することができる。
【0017】
本発明の転写方法は、上述した転写フィルムの供給方法により前記ガラス基板(10)供給された前記転写フィルム(11)に前記転写装置(1)のレーザ照射部(6)からレーザビームを照射して前記転写フィルム上の被転写物質を前記ガラス基板に転写することを特徴とする。この転写方法によれば、本発明の供給方法の上述した利点を活かして効率よく高品質で転写を行うことができる。
【0022】
なお、上記の説明では、本発明の理解を容易にするために添付図面の参照符号を括弧書きにて付記したが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものではない。
【0023】
【発明の実施の形態】
以下、図1〜図6を参照して本発明の一実施形態を説明する。図6は液晶ディスプレイのカラーフィルタのガラス基板に着色層を形成する転写装置1の全体構成を示し、(a)は正面図、(b)は右側面図である。転写装置1は、ベッド2と、門型のコラム3と、ステージ4とを有している。ステージ4は直線案内装置5を介してベッド2に取り付けられて水平面内の所定の軸方向(図6(a)に矢印で示す方向。)に沿って段取り位置P1とコラム3の直下の転写位置P2との間を移動可能である。段取り位置P1では基板10の載せ替え等の段取り作業が行われる。
【0024】
コラム3にはレーザ照射部6が取り付けられている。レーザ照射部6は転写位置P2に送られたステージ4に向かってレーザビームを照射する。レーザ照射部6は、水平面内でステージ4の移動方向と直交する方向にレーザビームを走査する機能を有している。転写装置1は、レーザ照射部6におけるレーザビームの走査とステージ4の移動との組み合わせによってステージ4上の任意の位置にレーザビームを照射可能である。なお、ステージ4は一枚の基板10を搭載するに適した大きさに設計されている。
【0025】
図1は、本発明の方法により上記の転写装置1のステージ4に載置された一枚の基板10の上に転写フィルム11を供給する例を示している。この例においては、転写フィルム11がカートリッジ12に収容されており、そのカートリッジ12がそのままステージ4に搭載されて基板10上に転写フィルム11が供給される。図2にも示したように、カートリッジ12は互いに平行に配置された一対の板状のフレーム13,13を有している。フレーム13,13の一端側には供給ロール14が取り付けられ、フレーム13の他端側には巻取ロール15が取り付けられている。各ロール14,15は互いに平行な軸線の回りに回転自在である。
【0026】
各ロール14,15の間には、ステージ4に載置される基板10の長さよりも長いスペース16が確保されている。転写フィルム11に対するレーザビームの照射と転写フィルム11から基板10へのパターンの転写とを可能とするためにスペース16の上下は開放されている。つまり、レーザビームの導入用の開口部と、転写フィルム11と基板10とを密着させるための開口部とがカートリッジ12の上下に設けられている。
【0027】
カートリッジ12の使用開始前の初期状態において、供給ロール14には多数枚(例えば100〜400枚)の基板10の転写に対応可能な長さの転写フィルム11が巻き付けられている。これによりフレーム13の一端側に転写フィルム11の供給部12aが構成される。供給ロール14から引き出された転写フィルム11はカートリッジ12の下端に沿って真っ直ぐに伸ばされた上で巻取ロール15に巻き取られている。これによりフレーム13の他端側に転写フィルム11の回収部12bが構成される。そして、供給部12aと回収部12bとの間に転写フィルム11の繰り出し部12cが構成される。
【0028】
繰り出し部12cに繰り出されている転写フィルム11の長さは基板10よりも長い。また、転写フィルム11の幅は基板10の幅よりも大きい。このため、転写装置1の段取り位置P1にて、ステージ4に基板10を載置し、その上から繰り出し部12cを下にしてカートリッジ12をステージ4に載せることにより、基板10を繰り出し部12cの転写フィルム11にて完全に覆うことができる。カートリッジ12を載せままステージ4を転写位置P2に移動させてレーザ照射部6から転写フィルム11にレーザビームを照射することにより、基板10に転写フィルム11上の着色剤等の被転写物質を基板10に転写することができる。
【0029】
なお、カートリッジ12の全長はステージ4の全長より大きくてもよいし、小さくてもよい。但し、ステージ4の負荷を軽減するため、カートリッジ12は可能な限り小型かつ軽量に構成することが望ましい。
【0030】
ステージ4に載置された基板10とカートリッジ12の繰り出し部12cに繰り出されている転写フィルム11との密着性を高めるため、カートリッジ12には馴染みロール18が設けられている。馴染みロール18は供給ロール14及び巻取ロール15と比較して十分に小径である。馴染みロール18はロール14,15の間を回転しながら往復移動可能な状態でフレーム13,13に取り付けられている。例えば各フレーム13に転写フィルム11の送り方向に伸びる溝を形成し、それらに馴染みロール18の回転軸の両端部を嵌め合わせることにより、馴染みロール18をその往復運動と回転運動とを許容しつつフレーム13,13にて支持することができる。
【0031】
なお、図1に示すように、ステージ4に載置される基板10(図1に想像線で示す。)の両側には吸着孔19…19が列をなして形成されている。これらの吸着孔19は不図示の吸引手段と連結されている。各吸着孔19から空気を吸い込むことにより転写フィルム11を基板10と密着した状態でステージ4上に保持することができる。
【0032】
次に、図3〜図5を参照して上記の供給方法を液晶ディスプレイ用のカラーフィルタの着色層の形成に使用する場合の実施形態を説明する。
【0033】
図3は、一台の転写装置1にて液晶ディスプレイのカラーフィルタ用基板に着色層を形成する場合の例を示している。一般に、カラーフィルタの基板10にはR,G,Bの3原色にそれぞれ対応した3種類の着色層を形成する必要がある。これに対して、転写フィルム11には基板10に形成すべき3原色の着色層のうちいずれか1色の着色層に対応した熱溶融型の着色剤が予め定着される。このような場合には、一台の転写装置1に対応して、R,G,Bの各色につきそれぞれ1つ以上のカートリッジ12…12を予め用意する。用意されたカートリッジ12は所定の検査・供給部21に集めておく。そして、用意されたカートリッジ12のうち、転写に使用するいずれか一つのカートリッジ12を検査・供給部21からステージ4に供給する。転写後はカートリッジ12を転写装置1から検査・供給部21に回収し、別の色のカートリッジ12を転写装置1へ供給する。こうした処理を各色について繰り返して基板10に3色の着色層を形成する。
【0034】
図4は検査・供給部21にて行われる処理を示している。検査・供給部21では、転写に使用されていない待機中のカートリッジ12に対して、フィルム送出処理(a)、クリーニング処理(b)及び検査処理(c)が行われる。
【0035】
フィルム送出処理では、巻取ロール15が所定の巻取方向(図4(a)に矢印で示す。)に駆動されることにより、次回の転写に備えて供給ロール14から巻取ロール15に一回の転写に必要な長さだけ転写フィルム11が送出される。これにより、転写装置1に供給されるカートリッジ12の繰り出し部12cには、レーザビームが照射されていない使用前の転写フィルム11が繰り出されることになる。
【0036】
クリーニング処理では、繰り出し部12cに繰り出されている転写フィルム11に対してクリーニングが行われる。例えば転写フィルム11を挟むようにしてノズル22,22が配置され、各ノズル22からクリーニング用の気体(例えば二酸化炭素)が送り出されるとともにノズル22が転写フィルム11に沿って送られて転写フィルム11上の異物が吹き飛ばされる。但し、クリーニング処理においては、気体を利用した方法に限らず、各種のクリーニング方法を利用してよい。
【0037】
検査処理では、繰り出し部12cに繰り出されている転写フィルム11の欠陥の有無が検査される。その検査は、例えば検査カメラ23によって繰り出し部12cの転写フィルム11を撮影し、得られた画像を解析して欠陥の有無を判別することにより行われる。但し、画像処理を用いた欠陥検査に限らず、各種の欠陥検出方法を利用してよいことは勿論である。ここでいう欠陥とは、転写フィルム11上に形成された着色層の傷やムラ、転写フィルム11への異物の付着等、基板10への着色層の転写品質を劣化させることが懸念される各種の事象をいう。
【0038】
検査処理において欠陥が検出された場合には、再び転写フィルム11の送出処理が行われる。このときの転写フィルム11の送出量は、検出された欠陥が繰り出し部12cから外れる程度でよい。例えば画像処理において欠陥の位置が特定できる場合には、その位置に基づいて欠陥部分が繰り出し部12cから回収部12bに移動するまでに必要な転写フィルム11の移動量を算出し、その算出された移動量だけ供給部12aから回収部12bへと転写フィルム11を送り出せばよい。但し、欠陥の位置に拘わりなく常に一回の転写で必要な長さだけ転写フィルム11を送出するようにしてもよい。
【0039】
欠陥の検出に伴って転写フィルム11が再度送出された後は、再びクリーニング処理及び検査処理が行われる。検査処理にて再び欠陥が検出されたときは送出処理がさらに行われる。こうした一連の処理は欠陥が検出されなくなるまで繰り返される。これにより、ステージ4に載置されるカートリッジ12の繰り出し部12cには、欠陥のない転写フィルム11が常に繰り出される。従って、転写フィルム11の欠陥に起因する転写不良の発生が未然に防がれる。
【0040】
上述した検査・供給部21の各処理は転写装置1に他のカートリッジ12が搭載されて転写が行われている間に並行して行うことができる。従って、転写の効率が低下するおそれもない。
【0041】
図5はステージ4にカートリッジ12を搭載した後の処理を示している。カートリッジ12をステージ4に搭載した後は、まず図5(a)に示すように馴染みロール18を基板10の一端側から他端側へ向かって移動させて転写フィルム11を基板10に密着させる。このとき、馴染みロール18の移動に追従するように、吸着孔19からの吸引力が作用する領域を基板10の一端側から他端側に向かって拡大すれば転写フィルム11と基板10とをより確実に密着できて好ましい。また、馴染みロール18の移動開始時には終点側で転写フィルム11を持ち上げておき、馴染みロール18が終点に近付くほど転写フィルム11を基板10に向かって降ろすとよい。
【0042】
転写フィルム11を基板10に密着させた後は、図5(b)に示すようにレーザ照射部6からレーザビームを照射して着色層の転写を開始する。転写終了後はカートリッジ12をステージ4から取り外し、別の色のカートリッジ12を検査・供給部21からステージ4に供給して同様手順で転写を行う。ステージ4に対してR,G,Bの3色のカートリッジ12を交互に載せ代えて3回の転写を行うことにより一枚の基板10に対する着色層の形成が完了する。
【0043】
本発明は上述した実施形態に限定されることなく種々の形態にて実施してよい。例えば、ステージ4に2枚以上の基板10を搭載し、それらの基板10を単一のカートリッジ12の転写フィルム11で覆うことにより、一回の転写で複数枚の基板10に着色層を形成してもよい。
【0044】
上記の実施形態ではR,G,Bの3原色に対応した3種類の転写フィルムをそれぞれ別々のカートリッジ12に収容し、それらを交互にステージ4に載せ代えながら転写を繰り返すようにしたが、単一種類の被転写物質、例えば基板10にブラックストライプを形成するための材料を転写フィルム11から基板10に転写する場合にも本発明は利用できる。この場合には同一種類の転写フィルムを複数のカートリッジ12に収容し、それらのカートリッジ12をステージ4に対して交互に載せ代えればよい。
【0045】
供給ロール14から巻取ロール15へ転写フィルム11を送出する際の各ロール14,15の駆動は作業者が手動にて行うようにしてもよいが、量産時にはモータ等の駆動源により巻取ロール15を回転駆動することが望ましい。その場合、ステージ4の負荷を軽減するために駆動装置は可能な限りカートリッジ12外に配置し、ステージ4へカートリッジ12を搭載する際にはそれらの駆動装置をカートリッジ12から切り離せるようにすることが望ましい。例えば巻取ロール15の回転軸の軸端部を、検査・供給部21に設置された駆動装置の駆動軸に対して軸継手や歯車列等の連結手段を介して連結及びその解除ができるようにすればよい。
【0046】
カートリッジ12にはその繰り出し部12cに繰り出された転写フィルム11の弛みを防止する手段を設けることが望ましい。例えば、供給ロール14に対しては、コイルばね等の付勢手段を利用して転写フィルム11の引き出し時の回転方向と逆方向に回転力を付与するとともに、巻取ロール15に対してはその回転を阻止する制動機構か、又は転写フィルム11の巻取方向と逆方向への回転を制限する逆転防止機構(例えばラチェット機構)を付設すればよい。
【0047】
本発明のカートリッジ12は上記の実施形態に限定されることなく種々の構成で実施してよい。フィルムの供給部12a及び回収部12bはそれぞれロール以外の手段により長尺のフィルムを保持するものでもよい。例えば、回収部12bは使用済みフィルムを折り畳んで回収するように構成してもよい。
【0048】
本発明は液晶ディスプレイのカラーフィルタ用の基板に限らず、各種の基板に転写フィルムを重ねて供給する場合に利用できる。
【0049】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明の供給方法によれば、各回の転写に先立ってカートリッジの供給部から必要な長さの転写フィルムを繰り出して基板に重ねることができ、使用済みの転写フィルムは回収部に回収することができる。これにより、転写フィルムを切断する必要がなくなり、切断面からの発塵の問題が生じない。カートリッジをステージに搭載するようにしたので、転写フィルムの露出量は最小限で足りる。ステージを転写部(例えばレーザ照射部直下の領域)の外へ移動させて基板の載せ替えを行う位置にてカートリッジの搭載及び取り外しを行うことができるので、転写フィルムの供給機構の構成が転写部の設計に与える影響を抑えることができ、その結果、転写部の設計自由度が高まる。特に、複数のカートリッジを用意し、それらを交互にステージに載せ替えるとともに、待機中のカートリッジに対して、次回の転写に使用する転写フィルムの送出や転写フィルムのクリーニング、検査を行うようにすれば、転写処理の効率を損なうことなく、転写処理に必要な種々の準備を行うことができて好都合である。また、本発明の転写方法及びカートリッジによれば、本発明の供給方法を利用して高効率で品質の高い転写処理を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の方法により転写装置のステージに載置された一枚の基板上に転写フィルムを供給する実施形態を示す斜視図。
【図2】ステージ上に載置されたカートリッジをその上方からみた状態を示す図。
【図3】転写装置とカートリッジの検査・供給部との関係を示す図。
【図4】検査・供給部にて待機中のカートリッジに対して行われる各種の処理を示す図。
【図5】転写装置のステージにカートリッジを載置した後の処理を示す図。
【図6】転写装置の一例を示す図。
【符号の説明】
1 転写装置
4 ステージ
6 レーザ照射部
10 基板
11 転写フィルム
12 カートリッジ
12a 供給部
12b 回収部
12c 繰り出し部
13 フレーム
14 供給ロール
15 巻取ロール
16 スペース
18 馴染みロール
19 吸着孔
21 検査・供給部
22 ノズル
23 検査カメラ
[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention provides a transfer film supply method suitable for supplying a transfer film in which a heat-melt type colorant layer is formed on a substrate of a color filter of a liquid crystal display, a transfer method using the supply method, and The present invention relates to a transfer film supply cartridge.
[0002]
[Prior art]
As a method for forming a colored layer on a substrate of a color filter such as a liquid crystal display, a laser transfer method has been proposed (see, for example, JP-A-10-206625 and JP-A-7-104113). In the laser transfer method, a heat melting type colorant is applied to a film-like substrate in advance to form a transfer film, and a laser beam is applied to the transfer film in a state where the transfer film and the color filter substrate are overlapped. In this method, the colorant is transferred to the substrate in a desired pattern by melting the colorant.
[0003]
In the laser transfer method described above, it is necessary to supply a transfer film so as to cover the substrate placed on the stage of the transfer device. In the conventional supply method, a transfer film having a length necessary for one transfer is pulled out from a roll of transfer film, cut from the roll, and the obtained transfer film is transferred onto a stage and transferred onto a substrate. We are developing a transfer film.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
The conventional supply method requires a step of cutting the transfer film in accordance with the substrate size, which increases the number of work steps and increases cost and time. There is a possibility that dust is generated from the cut surface, and the dust adheres to the transfer film or the substrate and adversely affects the transfer.
[0005]
In order to eliminate such inconvenience, by attaching a pair of rolls so that the laser irradiation part is sandwiched in the transfer device, each time transfer is performed, the transfer film is transferred from one roll to the other by a predetermined length, A continuous supply method for continuously supplying a transfer film onto a large number of substrates has been studied. According to such a method, since there is no need to cut the transfer film, the problem of dust generation does not occur.
[0006]
However, in the above-described continuous supply method, the transfer of a pair of rolls with a cantilever structure required to make it possible to exchange a pair of rolls with a transfer film wound between them is required. Device design constraints are increased. It is necessary to expose the transfer film over a distance longer than that of the substrate before and after the laser irradiation portion, and the possibility that foreign matter adheres to the transfer film increases.
[0007]
Therefore, the present invention does not require cutting of the transfer film, requires only a small amount of exposure of the transfer film, and can provide a transfer film supply method that can suppress restrictions on the design of the transfer device resulting from the convenience of supply of the transfer film, and its and to provide a transfer how utilizing supplying method.
[0008]
[Means for Solving the Problems]
The supply method of the present invention is placed on the stage (4) of the transfer device (1) for forming three kinds of colored layers corresponding to the three primary colors of R, G and B on the glass substrate of the color filter of the liquid crystal display. A transfer film (11) having a heat-melting colorant layer formed on a glass substrate (10) to be transferred, and containing a transfer film having a length that can be transferred multiple times A cartridge (12) having a supply section (12a) for collecting the film and a collection section (12b) for collecting the film is prepared, and the transfer film drawn out from the supply section is straightened along the lower end of the cartridge. In addition, a transfer film having a length necessary for one transfer is fed between the supply unit and the collection unit so as to be collected by the collection unit. Said feeding said cartridge in a state in which the transfer film was below the so as to overlap with the glass substrate on stage mounted on the stage driving device for driving the recovery unit, the cleaning device and the transfer film to clean the transfer film One or more cartridges for each of R, G, and B are prepared in an inspection / supply unit equipped with an inspection device that inspects for defects, and the cartridges of the respective colors are alternately staged from the inspection / supply unit. with reloaded to, concurrently while the any one of the cartridge transfer is mounted on the stage is being performed, the driving device, in standby is removed from the stage, it mounted on the stage cartridge length required for the next transfer between the recovery section and the supply section of another color cartridge Is output repeatedly a copy film, and the transfer film feeding, by cleaning the cleaning device, the Rukoto was examined with the test device, to solve the problems described above.
[0009]
According to the supply method of the present invention, a transfer film having a required length can be drawn out from the supply portion of the cartridge and stacked on the substrate prior to each transfer, and the used transfer film can be recovered in the recovery portion. it can. Thereby, it is not necessary to cut the transfer film, and the problem of dust generation from the cut surface does not occur. Since the cartridge is mounted on the stage, the amount of exposure of the transfer film is minimal. Since the stage can be moved out of the transfer section (for example, the area immediately below the laser irradiation section) and the cartridge can be mounted and removed at a position where the substrate is replaced, the structure of the transfer film supply mechanism is the transfer section. As a result, the degree of freedom in designing the transfer portion is increased. Further, while any cartridge is mounted on the stage and transfer is being performed, the transfer film is fed out from the waiting cartridge supply unit in preparation for the next transfer. Therefore, there is no possibility that the efficiency of the transfer process is reduced due to the work of drawing out the transfer film. Further, it is possible to prevent the occurrence of transfer failure due to the adhesion of foreign matter to the transfer film. Since the waiting cartridge is cleaned, the efficiency of the transfer process is not impaired. Moreover, it is possible to prevent the occurrence of transfer failure due to transfer film defects. Since the defect inspection is performed on the transfer film of the waiting cartridge, the efficiency of the transfer process is not impaired.
[0014]
When a defect is detected in the transfer film in the inspection, the transfer film may be sent from the supply unit to the recovery unit so that the defective part is out of the range where it overlaps the glass substrate. In this case, the defective part detected on the transfer film is sent to the recovery part, so that the use of the defective part can be reliably prevented.
[0015]
The newly transferred transfer film is cleaned and inspected along with the detection of the defective portion, and the transfer film is repeatedly sent, cleaned and inspected until the defective portion is no longer detected from the range overlapping the glass substrate. You may do it. In this case, a transfer film having no defect can always be supplied to the substrate on the stage.
[0016]
In the supply method of the present invention, rolls (14, 15) are arranged in each of the supply unit and the recovery unit, and the transfer film drawn from the roll of the supply unit is wound around the roll of the recovery unit. Also good. If it does in this way, supply and collection | recovery of a transfer film can be performed with a simple structure, and it can contribute to weight reduction and size reduction of a cartridge.
[0017]
In the transfer method of the present invention, a laser beam is applied from the laser irradiation section (6) of the transfer device (1) to the transfer film (11) supplied on the glass substrate (10) by the transfer film supply method described above. Irradiation is performed to transfer a material to be transferred on the transfer film to the glass substrate. According to this transfer method, transfer can be efficiently performed with high quality by taking advantage of the above-described advantages of the supply method of the present invention.
[0022]
In the above description, in order to facilitate understanding of the present invention, reference numerals in the accompanying drawings are added in parentheses, but the present invention is not limited to the illustrated form.
[0023]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. 6A and 6B show the overall configuration of the transfer apparatus 1 for forming a colored layer on a glass substrate of a color filter of a liquid crystal display, where FIG. 6A is a front view and FIG. 6B is a right side view. The transfer device 1 includes a bed 2, a portal column 3, and a stage 4. The stage 4 is attached to the bed 2 via a linear guide device 5 and is transferred along a predetermined axial direction in the horizontal plane (direction indicated by an arrow in FIG. 6A) and a transfer position immediately below the column 3. It can move between P2. At the set-up position P1, a set-up operation such as replacement of the substrate 10 is performed.
[0024]
A laser irradiation unit 6 is attached to the column 3. The laser irradiation unit 6 irradiates a laser beam toward the stage 4 sent to the transfer position P2. The laser irradiation unit 6 has a function of scanning a laser beam in a direction orthogonal to the moving direction of the stage 4 in a horizontal plane. The transfer device 1 can irradiate a laser beam at an arbitrary position on the stage 4 by a combination of scanning of the laser beam in the laser irradiation unit 6 and movement of the stage 4. The stage 4 is designed to have a size suitable for mounting a single substrate 10.
[0025]
FIG. 1 shows an example in which a transfer film 11 is supplied onto a single substrate 10 placed on the stage 4 of the transfer device 1 by the method of the present invention. In this example, the transfer film 11 is accommodated in a cartridge 12, and the cartridge 12 is mounted on the stage 4 as it is and the transfer film 11 is supplied onto the substrate 10. As shown in FIG. 2, the cartridge 12 has a pair of plate-like frames 13 and 13 arranged in parallel to each other. A supply roll 14 is attached to one end side of the frames 13, 13, and a take-up roll 15 is attached to the other end side of the frame 13. Each of the rolls 14 and 15 can freely rotate around an axis parallel to each other.
[0026]
A space 16 longer than the length of the substrate 10 placed on the stage 4 is secured between the rolls 14 and 15. In order to enable irradiation of the transfer film 11 with a laser beam and transfer of the pattern from the transfer film 11 to the substrate 10, the upper and lower portions of the space 16 are opened. That is, an opening for introducing a laser beam and an opening for bringing the transfer film 11 and the substrate 10 into close contact with each other are provided above and below the cartridge 12.
[0027]
In an initial state before the use of the cartridge 12 is started, a transfer film 11 having a length corresponding to the transfer of a large number (for example, 100 to 400) of substrates 10 is wound around the supply roll 14. As a result, a supply portion 12 a for the transfer film 11 is formed on one end side of the frame 13. The transfer film 11 drawn from the supply roll 14 is stretched straight along the lower end of the cartridge 12, and is wound on the take-up roll 15. As a result, a recovery portion 12b of the transfer film 11 is formed on the other end side of the frame 13. And the feeding part 12c of the transfer film 11 is comprised between the supply part 12a and the collection | recovery part 12b.
[0028]
The length of the transfer film 11 fed to the feeding portion 12 c is longer than that of the substrate 10. Further, the width of the transfer film 11 is larger than the width of the substrate 10. For this reason, the substrate 10 is placed on the stage 4 at the set-up position P1 of the transfer apparatus 1, and the cartridge 12 is placed on the stage 4 from above with the feeding portion 12c facing down, whereby the substrate 10 is placed on the feeding portion 12c. It can be completely covered with the transfer film 11. By moving the stage 4 to the transfer position P2 while the cartridge 12 is mounted and irradiating the transfer film 11 with the laser beam from the laser irradiation unit 6, the transfer material 11 such as the colorant on the transfer film 11 is transferred to the substrate 10 by the substrate 10. Can be transferred to.
[0029]
The total length of the cartridge 12 may be larger or smaller than the total length of the stage 4. However, in order to reduce the load on the stage 4, it is desirable to make the cartridge 12 as small and light as possible.
[0030]
In order to improve the adhesion between the substrate 10 placed on the stage 4 and the transfer film 11 fed to the feeding portion 12 c of the cartridge 12, a familiar roll 18 is provided on the cartridge 12. The familiar roll 18 has a sufficiently small diameter compared to the supply roll 14 and the take-up roll 15. The familiar roll 18 is attached to the frames 13 and 13 so as to be able to reciprocate while rotating between the rolls 14 and 15. For example, a groove extending in the feeding direction of the transfer film 11 is formed in each frame 13, and both ends of the rotation shaft of the familiar roll 18 are fitted to them, thereby allowing the familiar roll 18 to reciprocate and rotate. It can be supported by the frames 13 and 13.
[0031]
As shown in FIG. 1, suction holes 19... 19 are formed in rows on both sides of a substrate 10 (shown in phantom lines in FIG. 1) placed on the stage 4. These suction holes 19 are connected to suction means (not shown). The transfer film 11 can be held on the stage 4 in close contact with the substrate 10 by sucking air from the suction holes 19.
[0032]
Next, with reference to FIGS. 3 to 5, an embodiment in which the above supply method is used for forming a colored layer of a color filter for a liquid crystal display will be described.
[0033]
FIG. 3 shows an example in which a colored layer is formed on a color filter substrate of a liquid crystal display with a single transfer device 1. In general, it is necessary to form three types of colored layers respectively corresponding to the three primary colors R, G, and B on the substrate 10 of the color filter. On the other hand, a heat-melting colorant corresponding to any one of the three primary color layers to be formed on the substrate 10 is fixed to the transfer film 11 in advance. In such a case, one or more cartridges 12... 12 are prepared in advance for each color of R, G, B corresponding to one transfer device 1. The prepared cartridge 12 is collected in a predetermined inspection / supply unit 21. Then, among the prepared cartridges 12, any one cartridge 12 used for transfer is supplied from the inspection / supply unit 21 to the stage 4. After the transfer, the cartridge 12 is collected from the transfer device 1 to the inspection / supply unit 21, and another color cartridge 12 is supplied to the transfer device 1. Such a process is repeated for each color to form colored layers of three colors on the substrate 10.
[0034]
FIG. 4 shows processing performed in the inspection / supply unit 21. In the inspection / supply unit 21, a film delivery process (a), a cleaning process (b), and an inspection process (c) are performed on the cartridge 12 that is not used for transfer and is on standby.
[0035]
In the film delivery process, the take-up roll 15 is driven in a predetermined take-up direction (indicated by an arrow in FIG. 4A), so that the supply roll 14 moves from the supply roll 14 to the take-up roll 15 in preparation for the next transfer. The transfer film 11 is sent out for a length necessary for the transfer of the times. As a result, the transfer film 11 before use that is not irradiated with the laser beam is fed out to the feeding portion 12 c of the cartridge 12 supplied to the transfer device 1.
[0036]
In the cleaning process, the transfer film 11 fed to the feeding portion 12c is cleaned. For example, the nozzles 22 and 22 are arranged so as to sandwich the transfer film 11, cleaning gas (for example, carbon dioxide) is sent out from each nozzle 22, and the nozzle 22 is sent along the transfer film 11 to cause foreign matter on the transfer film 11. Is blown away. However, the cleaning process is not limited to a method using gas, and various cleaning methods may be used.
[0037]
In the inspection process, the presence or absence of a defect in the transfer film 11 fed to the feeding portion 12c is inspected. The inspection is performed by, for example, photographing the transfer film 11 of the feeding portion 12c with the inspection camera 23 and analyzing the obtained image to determine the presence or absence of a defect. However, the present invention is not limited to defect inspection using image processing, and various defect detection methods may be used. The term “defect” as used herein refers to various types of concerns that may deteriorate the transfer quality of the colored layer to the substrate 10, such as scratches and unevenness of the colored layer formed on the transfer film 11, and adhesion of foreign matter to the transfer film 11. This is an event.
[0038]
If a defect is detected in the inspection process, the transfer film 11 is sent again. At this time, the transfer amount of the transfer film 11 may be such that the detected defect is removed from the feeding portion 12c. For example, when the position of the defect can be specified in the image processing, the amount of movement of the transfer film 11 required until the defective portion moves from the feeding unit 12c to the collection unit 12b is calculated based on the position, and the calculation is performed. The transfer film 11 may be sent out from the supply unit 12a to the collection unit 12b by the amount of movement. However, the transfer film 11 may always be sent out for a necessary length in one transfer regardless of the position of the defect.
[0039]
After the transfer film 11 is sent again along with the detection of the defect, the cleaning process and the inspection process are performed again. When a defect is detected again in the inspection process, a sending process is further performed. Such a series of processes is repeated until no defect is detected. Thereby, the transfer film 11 having no defect is always fed out to the feeding portion 12 c of the cartridge 12 placed on the stage 4. Accordingly, it is possible to prevent the occurrence of transfer failure due to the defect of the transfer film 11.
[0040]
Each process of the inspection / supply unit 21 described above can be performed in parallel while another cartridge 12 is mounted on the transfer device 1 and transfer is being performed. Therefore, there is no possibility that the transfer efficiency is lowered.
[0041]
FIG. 5 shows the processing after the cartridge 12 is mounted on the stage 4. After the cartridge 12 is mounted on the stage 4, first, as shown in FIG. 5A, the familiar roll 18 is moved from one end side to the other end side of the substrate 10 to bring the transfer film 11 into close contact with the substrate 10. At this time, if the region where the suction force from the suction hole 19 acts is enlarged from one end side to the other end side of the substrate 10 so as to follow the movement of the familiar roll 18, the transfer film 11 and the substrate 10 are more It is preferable because it can be securely adhered. Further, at the start of movement of the familiar roll 18, the transfer film 11 may be lifted on the end point side, and the transfer film 11 may be lowered toward the substrate 10 as the familiar roll 18 approaches the end point.
[0042]
After the transfer film 11 is brought into close contact with the substrate 10, as shown in FIG. 5B, a laser beam is irradiated from the laser irradiation unit 6 to start the transfer of the colored layer. After the transfer is completed, the cartridge 12 is removed from the stage 4 and another color cartridge 12 is supplied from the inspection / supply unit 21 to the stage 4 and transferred in the same procedure. The three layers of R, G, and B cartridges 12 are alternately mounted on the stage 4 and transferred three times to complete the formation of the colored layer on the single substrate 10.
[0043]
The present invention may be implemented in various forms without being limited to the above-described embodiments. For example, by mounting two or more substrates 10 on the stage 4 and covering them with the transfer film 11 of a single cartridge 12, a colored layer is formed on a plurality of substrates 10 by one transfer. May be.
[0044]
In the above embodiment, three types of transfer films corresponding to the three primary colors of R, G, and B are accommodated in separate cartridges 12, and the transfer is repeated while alternately placing them on the stage 4. The present invention can also be used when a single material to be transferred, for example, a material for forming a black stripe on the substrate 10 is transferred from the transfer film 11 to the substrate 10. In this case, the same type of transfer film may be accommodated in a plurality of cartridges 12 and the cartridges 12 may be alternately mounted on the stage 4.
[0045]
The rolls 14 and 15 when the transfer film 11 is sent from the supply roll 14 to the take-up roll 15 may be driven manually by an operator. However, in mass production, the take-up roll may be driven by a drive source such as a motor. It is desirable to rotate 15. In that case, in order to reduce the load on the stage 4, the driving device is arranged as much as possible outside the cartridge 12, and when mounting the cartridge 12 on the stage 4, the driving device can be separated from the cartridge 12. Is desirable. For example, the shaft end portion of the rotary shaft of the winding roll 15 can be connected to and released from the drive shaft of the drive device installed in the inspection / supply unit 21 via a connecting means such as a shaft coupling or a gear train. You can do it.
[0046]
The cartridge 12 is preferably provided with means for preventing the transfer film 11 fed to the feeding portion 12c from loosening. For example, the supply roll 14 is applied with a rotational force in the direction opposite to the rotation direction when the transfer film 11 is pulled out by using a biasing means such as a coil spring, and the winding roll 15 A braking mechanism that prevents rotation or a reverse rotation prevention mechanism (for example, a ratchet mechanism) that restricts rotation of the transfer film 11 in the direction opposite to the winding direction may be provided.
[0047]
The cartridge 12 of the present invention is not limited to the above embodiment and may be implemented in various configurations. The film supply unit 12a and the recovery unit 12b may each hold a long film by means other than a roll. For example, the collecting unit 12b may be configured to fold and collect a used film.
[0048]
The present invention is not limited to a substrate for a color filter of a liquid crystal display, and can be used when a transfer film is supplied on various substrates.
[0049]
【Effect of the invention】
As described above, according to the supply method of the present invention, a transfer film having a required length can be drawn out from the supply portion of the cartridge and superimposed on the substrate before each transfer, and the used transfer film can be It can be collected in the collection unit. Thereby, it is not necessary to cut the transfer film, and the problem of dust generation from the cut surface does not occur. Since the cartridge is mounted on the stage, the amount of exposure of the transfer film is minimal. Since the stage can be moved out of the transfer section (for example, the area immediately below the laser irradiation section) and the cartridge can be mounted and removed at a position where the substrate is replaced, the structure of the transfer film supply mechanism is the transfer section. As a result, the degree of freedom in designing the transfer portion is increased. In particular, if a plurality of cartridges are prepared, and they are alternately placed on the stage, the transfer film used for the next transfer, the transfer film cleaning, and the inspection are performed on the waiting cartridge. It is advantageous that various preparations necessary for the transfer process can be performed without impairing the efficiency of the transfer process. Further, according to the transfer method and the cartridge of the present invention, it is possible to realize a transfer process with high efficiency and high quality by using the supply method of the present invention.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment in which a transfer film is supplied onto a single substrate placed on a stage of a transfer device by the method of the present invention.
FIG. 2 is a diagram illustrating a state where a cartridge placed on a stage is viewed from above.
FIG. 3 is a diagram illustrating a relationship between a transfer device and a cartridge inspection / supply unit.
FIG. 4 is a diagram illustrating various processes performed on a cartridge that is waiting in an inspection / supply unit.
FIG. 5 is a view showing processing after the cartridge is placed on the stage of the transfer device.
FIG. 6 is a diagram illustrating an example of a transfer device.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Transfer apparatus 4 Stage 6 Laser irradiation part 10 Substrate 11 Transfer film 12 Cartridge 12a Supply part 12b Collection part 12c Feeding part 13 Frame 14 Supply roll 15 Take-up roll 16 Space 18 Familiar roll 19 Adsorption hole 21 Inspection / supply part 22 Nozzle 23 Inspection camera

Claims (5)

液晶ディスプレイのカラーフィルタのガラス基板にR、G、Bの3原色にそれぞれ対応した3種類の着色層を形成する転写装置のステージに載置される転写対象のガラス基板上に熱溶融型の着色剤層が形成された転写フィルムを供給する方法であって、複数回の転写に対応可能な長さの転写フィルムを収容する供給部とそのフィルムを回収する回収部とを備えたカートリッジを用意し、前記供給部から引き出された転写フィルムが前記カートリッジの下端に沿って真っ直ぐに伸ばされた上で前記回収部に回収されるようにして前記供給部と前記回収部との間に一回の転写に必要な長さの転写フィルムを繰り出すとともに、その繰り出した転写フィルムが前記ステージ上の前記ガラス基板と重なるように前記繰り出した転写フィルムを下にした状態の前記カートリッジを前記ステージに搭載し、
前記回収部を駆動する駆動装置、転写フィルムをクリーニングするクリーニング装置及び転写フィルムの欠陥の有無を検査する検査装置を備えた検査・供給部に、R、G、Bの各色につきそれぞれ1つ以上の前記カートリッジ用意し、前記検査・供給部から前記各色のカートリッジを交互にステージに載せ替えるとともに、いずれか一のカートリッジが前記ステージに搭載されて転写が行われている間に並行して、前記駆動装置に、前記ステージから取り外されて待機中で、前記ステージに搭載されたカートリッジとは別の色のカートリッジの前記供給部と前記回収部との間に次回の転写に必要な長さの転写フィルムを繰り出させ、かつ繰り出した転写フィルムに対して、前記クリーニング装置にクリーニングさせ前記検査装置に検査させることを特徴とする転写フィルムの供給方法。
Heat melting type coloring on a glass substrate to be transferred, which is placed on a stage of a transfer device that forms three types of colored layers corresponding to the three primary colors R, G, and B on a glass substrate of a color filter of a liquid crystal display. A method of supplying a transfer film on which an agent layer is formed , comprising a cartridge having a supply unit for storing a transfer film having a length that can be transferred multiple times and a recovery unit for collecting the film. The transfer film pulled out from the supply unit is stretched straight along the lower end of the cartridge and then collected by the collection unit so that the transfer film is transferred once between the supply unit and the collection unit. with feeding the transfer film length required for, and the transfer film transfer film feeding that is feeding said to overlap with the glass substrate on the stage below Mounting the cartridge of state to the stage,
One or more for each color of R, G, and B in a driving device that drives the collection unit, a cleaning device that cleans the transfer film, and an inspection / supply unit that inspects the presence or absence of defects in the transfer film. the cartridge was prepared, with reloaded into the stage alternately each color cartridge from the inspection and supply unit, in parallel while the transfer is being performed to any one of the cartridge is mounted on the stage, the Transfer to the drive unit in a standby state after being removed from the stage and between the supply unit and the recovery unit of a cartridge of a different color from the cartridge mounted on the stage. It is decremental the film and the transfer film feeding, by cleaning the cleaning device, the inspection of the inspection system Supply method of a transfer film characterized in Rukoto.
前記検査にて前記転写フィルムに欠陥が検出された場合、その欠陥部分が前記ガラス基板と重なる範囲から外れるように前記供給部から前記回収部へと前記転写フィルムを送出することを特徴とする請求項1に記載の転写フィルムの供給方法。When a defect is detected in the transfer film in the inspection, the transfer film is sent from the supply unit to the recovery unit so that the defective part is out of a range overlapping with the glass substrate. Item 2. A transfer film supply method according to Item 1. 前記欠陥部分の検出に伴って新たに繰り出された転写フィルムに対してクリーニング及び検査を行い、前記ガラス基板と重なる範囲から前記欠陥部分が検出されなくなるまで前記転写フィルムの送出、クリーニング及び検査を繰り返すことを特徴とする請求項2に記載の転写フィルムの供給方法。The newly transferred transfer film is cleaned and inspected along with the detection of the defective portion, and the transfer film is repeatedly sent, cleaned and inspected until the defective portion is no longer detected from the range overlapping the glass substrate. The method for supplying a transfer film according to claim 2. 前記供給部及び前記回収部のそれぞれにロールを配置し、前記供給部のロールから引き出された転写フィルムを前記回収部のロールに巻き取るようにしたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の転写フィルムの供給方法。The roll of each of the said supply part and the said collection | recovery part is arrange | positioned, The transfer film withdraw | derived from the roll of the said supply part was wound up on the roll of the said collection | recovery part, Any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned. the method of supplying the transfer film according to one paragraph or. 請求項1〜4のいずれか一項に記載の転写フィルムの供給方法により前記ガラス基板供給された転写フィルムに前記転写装置のレーザ照射部からレーザビームを照射して前記転写フィルム上の被転写物質を前記ガラス基板に転写することを特徴とする転写方法。Be on the transfer film from the laser irradiation portion of the transfer device to a transfer film is supplied onto the glass substrate by the method of supplying the transfer film by irradiating a laser beam as claimed in any one of claims 1 to 4 A transfer method comprising transferring a transfer substance onto the glass substrate.
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