JP4562967B2

JP4562967B2 - Transfer film adsorption method and adsorption device

Info

Publication number: JP4562967B2
Application number: JP2001299403A
Authority: JP
Inventors: 豊彦田中; 章夫曽根原; 謙作鈴木; 達見高橋
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2001-09-28
Filing date: 2001-09-28
Publication date: 2010-10-13
Anticipated expiration: 2021-09-28
Also published as: JP2003104622A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、熱溶融型の着色剤層が形成された転写フィルムをブラックマトリックス基板に密着させ、部分的に熱転写することで液晶ディスプレイ用カラーフィルタを作成する場合等に好適な転写フィルムを基板に密着させるためのフィルム吸着方法及びそのための装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶ディスプレイ等のカラーフィルタの基板に着色層を形成する方法としてレーザ転写法が提案されている（例えば特開平１０−２０６６２５号公報、特開平７−１０４１１３号公報参照）。レーザ転写法は、フィルム状の基材に予め熱溶融型の着色剤を塗布して転写フィルムを形成し、その転写フィルムとカラーフィルタの基板とを重ね合わせた状態で転写フィルムにレーザビームを当てて着色剤を溶融させることにより、基板に所望のパターンで着色剤を転写する方法である。
【０００３】
上記のレーザ転写法においては、転写装置のステージに載置された基板に対して、これを覆うように転写フィルムを供給する必要がある。従来の供給方法では、一回の転写に必要な寸法のフィルムをステージ上に移送し、覆い被せた後にゴムローラ等を用いて密着させていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
上記のレーザ転写法を利用する場合、転写フィルムを隙間なく基板と密着させるとともに、基板や転写フィルムがずれないようにそれらをステージ上に確実に保持しておく必要がある。そこで、ステージの表面に開口する多数の吸着孔から空気を吸引して基板をステージに吸着するとともに、転写フィルムを基板よりも幾らか大きく形成し、基板からはみ出た転写フィルムの周縁部を同様にステージに吸着することが試みられている。しかし、転写フィルムを皺や弛みが生じないように注意しながら基板に被せてステージに吸着する作業は難しく、その作業を容易かつ確実に行える吸着方法の開発が望まれていた。
【０００５】
本発明は、転写フィルムを基板と良好に密着させながらその転写フィルムをステージに吸着させる作業を容易かつ確実に行える吸着方法、及びそのための吸着装置を提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】
以下、本発明の吸着方法について説明する。なお、本発明の理解を容易にするために添付図面の参照符号を括弧書きにて付記するが、それにより本発明が図示の形態に限定されるものではない。
【０００７】
本発明は、ステージ（４）上の基板（１０）をその基板よりも幅が大きい転写フィルム（１１）にて覆った後、前記転写フィルムの前記基板からはみ出た両側部（１１ａ）に前記ステージ側から吸着力を作用させて前記転写フィルムをステージ上に保持する転写フィルムの吸着方法であって、前記転写フィルムを前記基板の幅方向の全長に亘って延びる馴染み手段（１８）にて前記基板上に押し付けつつ、その馴染み手段を前記基板に沿って前記幅方向と直交する方向に移動させる処理と、前記馴染み手段の移動に追従して前記ステージの吸着力が作用する領域を漸次拡大させる処理とを含む吸着方法により、上述した課題を解決する。
【０００８】
この吸着方法によれば、馴染み手段にて転写フィルムを基板上に押し付けつつその馴染み手段を移動させることにより、転写フィルムが基板に馴染むようにして徐々に隙間なく密着する。馴染み手段の移動に追従してステージの吸着領域が拡大することにより、転写フィルムは、馴染み手段によって基板に押し付けられた部分から徐々にステージに吸着される。そのため、基板に一旦押し付けられた転写フィルムがその後にずれて皺や弛みを発生させるおそれがない。また、転写フィルムが基板に押し付けられる前にステージに吸着されて皺や弛みを誘発するおそれもない。従って、転写フィルムを基板に密着させつつステージに吸着させる作業を容易かつ確実に行うことができる。
【０００９】
本発明の吸着方法においては、前記馴染み手段を、前記幅方向と直交する方向に関する前記基板の一端側から他端側に向かって移動させてもよい。この場合には、転写フィルムが基板の一端から他端側に向かって押し付けられつつステージに吸着されることになる。
【００１０】
また、前記転写フィルム上に前記馴染み手段を一対配置し、各馴染み手段を、前記幅方向と直交する方向に関して前記基板の互いに反対側の端部に向かって移動させてもよい。この場合には単一の馴染み手段を基板の一端から他端まで移動させる場合と比較して各馴染み手段の移動量を短縮できる。従って、作業時間が短縮される。特に長尺の転写フィルムを使用する場合に好適である。
【００１１】
本発明の吸着方法において、前記馴染み手段の移動方向の終点側にて前記転写フィルムを前記基板よりも上方に浮かせた状態で前記馴染み手段を移動させてもよい。この場合には、馴染み手段の移動先において転写フィルムが確実に基板から離され、馴染み手段による押し付け作用を受けて転写フィルムが基板と密着するようになる。従って、馴染み手段が通過する前に転写フィルムと基板とが不所望に密着して皺や弛みを発生させるおそれがなくなる。
【００１２】
本発明の吸着方法において、一対のロール（１４，１５）に前記転写フィルムを巻き掛けてそれらのロール間には前記基板を覆うに必要な長さの転写フィルムを繰り出し、その繰り出された転写フィルムにて前記基板を覆った後に前記馴染み手段を前記ロール間で移動させてもよい。
【００１３】
この場合には、未使用の転写フィルムを一方のロールから繰り出しつつ他方のロールに使用済みの転写フィルムを巻き取る処理と、ロール間で馴染み手段を移動させる処理とを交互に繰り返すことにより、複数の基板に対して繰り返し本発明の吸着方法を適用することができる。
【００１４】
前記馴染み手段の移動を開始させる前に、前記ロール間に繰り出された転写フィルムに張力を付加してもよい。この場合には、馴染み手段にて転写フィルムを基板を押し付ける前に転写フィルムが基板に沿って張り渡された状態になり、馴染み手段による転写フィルムの押し付けと移動とをスムーズに行うことができる。
【００１５】
前記一対のロールのうち少なくともいずれか一方のロール（１４）側に、前記転写フィルムを前記基板よりも上方に付勢する付勢手段（２２）を設けてもよい。転写フィルムを上方に付勢することにより、転写フィルムに張力が付加されて上記と同様の作用効果が得られる。また、付勢手段に向かって馴染み手段を移動させるようにすれば、馴染み手段の移動先において転写フィルムが確実に基板から離され、馴染み手段が通過する前に転写フィルムと基板とが不所望に密着して皺や弛みを発生させるおそれがなくなる。
【００１６】
本発明の吸着方法において、前記馴染み手段をロール状に形成してもよい。この場合には馴染み手段を転写フィルムに沿ってスムーズに移動させることができる。ロール状の馴染み手段は転写フィルムに沿って転動させてもよいし、回転を阻止した状態で転写フィルムに沿って移動させてもよい。
【００１７】
本発明の吸着装置は、ステージ（４）上の基板（１０）よりも幅方向の両側部（１１ａ）がはみ出るようにしてその基板上に配置された転写フィルム（１１）を当該基板の幅方向の全長に亘って押さえ付ける馴染み手段（１８）と、前記馴染み手段を前記基板に沿って前記幅方向と直交する方向に移動させる駆動機構（３０〜３６）と、前記馴染み手段の移動方向に沿って設けられた多数の吸着孔（１９）から前記転写フィルムの前記両側部に吸引力を作用させて当該両側部をステージの表面に吸着する吸着手段（４０，４２）と、前記馴染み手段の移動に追従して前記ステージの吸着力が作用する領域が漸次拡大するように前記吸着手段を制御する吸着制御手段（４１，４３，４５）とを備えることにより、上述した課題を解決する。
【００１８】
この吸着装置によれば、転写フィルムを基板に被せた後、馴染み手段を基板に沿って移動させつつ吸着力が作用する領域を漸次拡大させることにより、本発明の吸着方法を実現することができる。
【００１９】
本発明の吸着装置においては、前記馴染み手段の移動方向の終点側にて前記転写フィルムを前記基板よりも上方に浮いた状態に保持する手段（２２）を備えてもよい。この場合には、馴染み手段の移動先において転写フィルムが確実に基板から離されるから、馴染み手段が通過する前に転写フィルムと基板とが不所望に密着して皺や弛みを発生させるおそれがなくなる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、図１〜図１０を参照して本発明の一実施形態を説明する。図１０は液晶ディスプレイのカラーフィルタを作成する際のガラス基板（ブラックマトリックス基板）に着色層を形成するための転写装置１の全体構成を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は側面図である。転写装置１は、ベッド２と、門型のコラム３と、ステージ４とを有している。ステージ４は直線案内装置５を介してベッド２に取り付けられて水平面内の所定の軸方向（図１０（ａ）に矢印で示す方向。）に沿って段取り位置Ｐ１とコラム３の直下の転写位置Ｐ２との間を移動可能である。段取り位置Ｐ１では基板１０の載せ替え等の段取り作業が行われる。
【００２３】
コラム３にはレーザ照射部６が取り付けられている。レーザ照射部６は転写位置Ｐ２に送られたステージ４に向かってレーザビームを照射する。レーザ照射部６は、水平面内でステージ４の移動方向と直交する方向にレーザビームを走査する機能を有している。転写装置１は、レーザ照射部６におけるレーザビームの走査とステージ４の移動との組み合わせによってステージ４上の任意の位置にレーザビームを照射可能である。なお、ステージ４は一枚の基板１０を搭載するに適した大きさに設計されている。
【００２４】
図１は、転写装置１のステージ４に載置された一枚の基板１０の上に転写フィルム１１を供給する方法の一例を示している。この例においては、転写フィルム１１がカートリッジ１２に収容されており、そのカートリッジ１２がそのままステージ４に搭載されて基板１０上に転写フィルム１１が供給される。転写フィルム１１には、例えば基板１０に形成すべき３原色（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の着色層のうちいずれか１色の着色層に対応した熱溶融型の着色剤が予め定着される。
【００２５】
図２にも示したように、カートリッジ１２は互いに平行に配置された一対の板状のフレーム１３，１３を有している。フレーム１３，１３の一端側には供給ロール１４が取り付けられ、フレーム１３の他端側には巻取ロール１５が取り付けられている。各ロール１４，１５は互いに平行な軸線の回りに回転自在である。
【００２６】
各ロール１４，１５の間には、ステージ４に載置される基板１０の長さよりも長いスペース１６が確保されている。転写フィルム１１に対するレーザビームの照射と転写フィルム１１から基板１０へのパターンの転写とを可能とするためにスペース１６の上下は開放されている。つまり、レーザビームの導入用の開口部と、転写フィルム１１と基板１０とを密着させるための開口部とがカートリッジ１２の上下に設けられている。
【００２７】
カートリッジ１２の使用開始前の初期状態において、供給ロール１４には多数枚（例えば１００〜４００枚）の基板１０の転写に対応可能な長さの転写フィルム１１が巻き付けられている。これによりフレーム１３の一端側に転写フィルム１１の供給部１２ａが構成される。供給ロール１４から引き出された転写フィルム１１はカートリッジ１２の下端に沿って真っ直ぐに伸ばされた上で巻取ロール１５に巻き取られている。これによりフレーム１３の他端側に転写フィルム１１の回収部１２ｂが構成される。そして、供給部１２ａと回収部１２ｂとの間に転写フィルム１１の繰り出し部１２ｃが構成される。
【００２８】
繰り出し部１２ｃに繰り出されている転写フィルム１１の長さは基板１０よりも長い。また、転写フィルム１１の幅は基板１０の幅よりも大きい。このため、転写装置１の段取り位置Ｐ１にて、ステージ４に基板１０を載置し、その上から繰り出し部１２ｃを下にしてカートリッジ１２をステージ４に載せることにより、基板１０を繰り出し部１２ｃの転写フィルム１１にて完全に覆うことができる。そして、基板１０を覆う転写フィルム１１の幅方向の両側部１１ａ、１１ａ（図２参照）は基板１０よりもはみ出る。なお、ここでいう幅とは、ロール１４，１５の軸線と平行な方向の寸法を意味する。
【００２９】
カートリッジ１２を載せままステージ４を転写位置Ｐ２に移動させてレーザ照射部６から転写フィルム１１にレーザビームを照射することにより、基板１０に転写フィルム１１上の着色剤等の被転写物質を基板１０に転写することができる。
【００３０】
なお、カートリッジ１２の全長はステージ４の全長より大きくてもよいし、小さくてもよい。但し、ステージ４の負荷を軽減するため、カートリッジ１２は可能な限り小型かつ軽量に構成することが望ましい。
【００３１】
ステージ４に載置された基板１０とカートリッジ１２の繰り出し部１２ｃに繰り出されている転写フィルム１１との密着性を高めるため、カートリッジ１２には、馴染み手段としての馴染みロール１８が設けられている。馴染みロール１８は供給ロール１４及び巻取ロール１５と比較して十分に小径であり、その全長は転写フィルム１１の幅よりも大きい。つまり、馴染みロール１８は転写フィルム１１の幅方向の全長に亘って延びている。
【００３２】
馴染みロール１８はロール１４，１５の間を回転しながら移動可能な状態でフレーム１３，１３の間に支持されている。馴染みロール１８を駆動する機構の具体的な構成は後述する。また、図３に示すように、供給ロール１４側にはテンションロール２０が設けられ、そのテンションロール２０は引張コイルばね２１により上方に引っ張られている。これらのテンションロール２０及び引張コイルばね２１によりフィルム付勢機構（付勢手段）２２が構成される。供給ロール１４から引き出された転写フィルム１１はテンションロール２０を乗り越えてスペース１６に繰り出され、さらに馴染みロール１８を潜って巻取ロール１５に巻き取られる。
【００３３】
図１に示すように、ステージ４に載置される基板１０（図１に想像線で示す。
）の両側には吸着孔１９…１９が列をなして形成されている。これらの吸着孔１９は真空ポンプと連結されている。各吸着孔１９から空気を吸い込むことにより転写フィルム１１を基板１０と密着した状態でステージ４上に保持することができる。ステージ４には基板１０を吸着するための吸着孔も設けられるが、その図示は省略した。吸着孔１９は馴染みロール１８の移動方向に長軸方向を一致させた長孔状である。
【００３４】
図４は、転写フィルム１１をステージ４に吸着させる手順を示している。本実施形態においては、まずカートリッジ１２の繰り出し部１２ｃに繰り出された転写フィルム１１が基板１０と重なるようにして、カートリッジ１２をステージ４に搭載する（図４（ａ）参照）。この後、図４（ａ）〜（ｃ）に矢印で示したように、馴染みロール１８を基板１０の一端側から他端側へ向かって移動させて転写フィルム１１を基板１０に密着させる。このとき、馴染みロール１８の移動に追従するように、吸着孔１９からの吸引力が作用する真空吸着エリアを基板１０の一端側から他端側に向かって拡大させる。基板１０の全面に転写フィルム１１が押し付けられるまで馴染みロール１８を供給ロール１４側に移動させることにより吸着作業を完了する。このような吸着方法によれば、転写フィルム１１が馴染みロール１８の移動に伴って徐々に基板１０と密着し、かつその密着部分から転写フィルム１１の両側部１１ａがステージ４に漸次吸着される。従って、転写フィルム１１を基板１０に対して良好に密着させることができ、転写フィルム１１に皺や弛みが生じにくい。
【００３５】
吸着完了後は図１０のレーザ照射部６からレーザビームが照射されて着色層の転写が開始される。転写終了後はステージ４への転写フィルム１１の吸着を停止し、カートリッジ１２をステージ４から取り外して別の色のカートリッジ１２をステージ４に供給し、以下同様手順でフィルムを吸着する。ステージ４に対してＲ，Ｇ，Ｂの３色のカートリッジ１２を交互に載せ代えて３回の転写を行うことにより一枚の基板１０に対する着色層の形成が完了する。なお、同一カートリッジ１２をステージ４に載せたまま転写を続行する場合には、一回の転写終了後に一旦吸着を解除し、フィルム１１を一回の転写で使用する長さだけ供給ロール１４から巻取ロール１５に送った上で同様手順によりフィルム１１を吸着すればよい。
【００３６】
図５は上述したカートリッジ１２の馴染みロール１８に対する駆動機構の一例を示し、図５（ａ）はカートリッジ１２の一方の側の平面図、同（ｂ）は（ａ）に示した部分の側面図である。また、図５（ｃ）は同（ｂ）の変形例を示している。
【００３７】
図５（ａ）及び（ｂ）の駆動機構においては、カートリッジ１２のフレーム１３に馴染みロール１８の軸端部１８ａを案内する長孔３０が形成される。反対側のフレーム１３にも同様の長孔３０が形成され、馴染みロール１８はそれらの長孔３０の間に架け渡される。軸端部１８ａは長孔３０を貫いてフレーム１３の外側に突出し、その突出部分はキャリッジ３１に回転自在に嵌合する。フレーム１３の長手方向の両端部にはプーリ３２，３２が取り付けられ、それらの間にはベルト３３が巻き掛けられる。キャリッジ３１はそのベルト３３の上下走行部３３ａ、３３ｂ間に配置され、いずれか一方の走行部（図では下走行部３３ｂ）に固定される。一方のプーリ３２にはカップリング３４が取り付けられ、そのカップリング３４は駆動源としてのモータ３５の駆動軸に減速機構（不図示）を介して連結されたカップリング３６と結合及び結合解除が可能である。なお、モータ３５からカップリング３６までの構成要素は転写装置１の付属設備として設けられる。カートリッジ１２がステージ４の所定位置に搭載されたときカップリング３４，３６が相互に連結される。プーリ３２，３２は種々の方法でフレーム１３に取り付けてよい。一例として、供給ロール１４及び巻取ロール１５の軸端部１４ａ、１５ａをフレーム１３に回転自在に取り付けるとともに、それらの軸端部１４ａ、１５ａをフレーム１３の外側に突出させ、その突出部分にプーリ３２，３２を回転自在に取り付けることができる。
【００３８】
以上の駆動機構によれば、カップリング３４，３６を連結させてモータ３５を駆動することにより、キャリッジ３１がベルト３３と一体に左右に走行し、それに伴って馴染みロール１８が長孔３０に沿って移動する。馴染みロール１８の移動量はモータ３５の回転量に置き換えることができるので、モータ３５の回転をロータリエンコーダ等の検出器にて検出すれば馴染みロール１８の移動速度や停止位置等を制御することができる。
【００３９】
以上では、駆動源としてのモータ３５が生成する回転運動をベルト３３にて馴染みロール１８の往復運動に変換したが、その他にも、例えばラックピニオン機構等の周知の運動変換機構を利用して馴染みロール１８に往復運動を与えることが考えられる。直進運動を生成する油圧又は空圧シリンダ等の駆動源を利用して馴染みロールを往復運動させてもよい。
【００４０】
図５（ａ）及び（ｂ）の例では、馴染みロール１８がキャリッジ３１に対して回転可能に取り付けられているため、転写フィルム１１と馴染みロール１８との間に摩擦が生じるとそれに伴って馴染みロール１８が回転して過剰な摩擦の発生が防がれる。さらに、馴染みロール１８のステージ４に沿った往復運動を馴染みロール１８の回転運動に変換する手段を設けてもよい。図５（ｃ）はその一例を示すものであり、この例では長孔３０に沿ってラック３８が設けられ、馴染みロール１８にはそのラック３８と噛み合うピニオン（不図示）が設けられる。この場合には、馴染みロール１８をその移動に連動して回転させて転写フィルム１１と馴染みロール１８との間の摩擦を最小に抑えることができる。ラックピニオン機構に代え、長孔３０に沿って摩擦係数を高める部材を設け、それを馴染みロール１８の軸端部１８ａに押し付けても同様の効果が得られる。
【００４１】
馴染みロール１８が転写フィルム１１を基板１０に押し付ける効果を高めるため、馴染みロール１８の表面に適度な弾性層を設け、その弾性層が適度に弾性変形する程度に馴染みロール１８を転写フィルム１１に押し付けながら馴染みロール１８を基板１０に沿って移動させてもよい。
【００４２】
図６は、馴染みロール１８の移動に追従して吸着エリアを拡大するための機構の一例を示している。この例では、ステージ４の表面に開口する吸着孔１９…１９のそれぞれが、転写フィルム１１の幅方向（図６において上下方向）に並んだ４つの吸着孔１９を一つの単位として、その単位毎にステージ４の内部に設けられた連絡路４０…４０と接続される。各連絡路４０はステージ４の側面に開口し、電磁制御弁４１を介して真空ポンプ４２と接続される。各電磁制御弁４１は、バルブ駆動回路４３からの駆動信号に応じて連絡路４０と真空ポンプ４２とを結ぶ流路を開閉する。バルブ駆動回路４３から電磁制御弁４１…４１には個別に駆動信号が出力され、電磁制御弁４１の開閉動作は個別に制御される。このため、吸着孔１９と真空ポンプ４２との間は、吸着孔１９の単位毎に独立して開閉制御される。
【００４３】
バルブ駆動回路４３は、制御装置４５からの制御信号に従って各電磁制御弁４１の駆動信号を切り換える。転写フィルム１１を吸着する際に、制御装置４５はモータ３５の駆動回路４６に対してモータ駆動用の制御信号を出力するとともに、ロータリーエンコーダ等の検出器４７からの出力信号に基づいて馴染みロール１８の移動量を検出する。そして、その移動量に従って各電磁制御弁４１を馴染みロール１８に追従して真空吸着エリアが漸次拡大するように開閉制御する。例えば、馴染みロール１８の移動量に関して一単位の吸着孔１９が受け持つ吸着エリアの長さを予め決めておき、馴染みロール１８がその移動量だけ移動する毎に、馴染みロール１８が移動を開始する側の吸着孔１９に対応する電磁制御弁４１から順に開放信号をバルブ駆動回路４３に出力して吸着エリアを徐々に拡大する。
【００４４】
なお、馴染みロール１８の移動量の検出を省略し、一単位の吸着孔１９に対応する距離だけモータ３５が移動するのに要する時間が経過する毎に電磁開閉弁４１を順次開放するように制御してもよい。
【００４５】
以上の実施形態は一例に過ぎず、本発明は種々の形態にて実施することができる。例えば、電磁開閉弁４１を連絡路４０毎に設ける構成に代え、連絡路４０と同数のポートと、真空ポンプ４２側に接続される共通のポートとを備え、スプール等の弁体の操作量に応じてポートと連通するポートの数が比例的に増減する構成の制御弁を使用してもよい。このような制御弁によれば、その弁体と馴染みロール１８の移動とを連動させることにより、真空吸着エリアを徐々に拡大させることができる。
【００４６】
上記の制御弁の具体例を図７及び図８にそれぞれ示す。図７の制御弁５０においては、円筒状のシリンダ５１の内部に弁体としてのスプール５２が摺動自在に挿入されている。シリンダ５１の開口部の近傍とスプール５２の先端部とにＯリング５３，５３がそれぞれ装着されてシリンダ５１とスプール５２との間がシールされる。シリンダ５１の周囲には複数のポート５４…５４がシリンダ５１の軸線方向に並べて設けられ、シリンダ５１の底部には単一のポート５５がそれぞれ設けられる。各ポート５４はステージ４の互いに異なる連絡路４０（図６参照）に、ポート５５は真空ポンプ４２にそれぞれ接続される。従って、スプール５２を直線運動型の適当な駆動手段（例えば流体圧シリンダやねじ駆動機構）により往復運動させると、その運動に応じてポート５５と連通するポート５４の数が変化する。この動作を利用してステージ４の吸着領域を漸次変化させることができる。
【００４７】
図８の制御弁６０においては、円筒型のハウジング６１の内部に弁体としてのロータ６２が回転自在に挿入されている。ハウジング６１の周囲には複数のポート６３…６３がハウジング６１の周方向に沿って並べて設けられ、ポート６３の一端側にはさらに単一のポート６４が設けられる。ロータ６２の外周には切欠部６２ａが設けられている。各ポート６３はステージ４の互いに異なる連絡路４０（図６参照）に、ポート６４は真空ポンプ４２にそれぞれ接続される。従って、ロータ６２を回転運動型の適当な駆動手段（例えばモータやロータリーソレノイド）により回転運動させると、その運動に応じてポート６４と連通するポート６５の数が変化する。この動作を利用してステージ４の吸着領域を漸次変化させることができる。
【００４８】
上記の実施形態においては、馴染みロール１８の移動方向に関して２以上の吸着孔１９を一単位として、それらの単位毎に真空ポンプ４２との接続及び断続を制御してもよい。
【００４９】
図９は馴染みロールに関する他の実施形態を示す。この実施形態では、供給ロール１４及び巻取ロール１５の間に一対の馴染みロール１８，１８が配置される。これらのロール１８、１８を基板１０の中間位置から互いに反対方向に、つまり供給ロール１４又は巻取ロール１５に向けて移動させるとともに、各ロール１８の移動に追従して真空吸着エリアを漸次ロール１４及び１５に向けて拡大させることにより、転写フィルム１１をステージ４に吸着する。この実施形態ではロール１８の移動量が実質的に半減するので短時間で吸着が完了する利点がある。
【００５０】
転写フィルム１１はＲ，Ｇ，Ｂいずれか一色の着色層が形成されたものに限らず、単一種類の被転写物質、例えば基板１０にブラックストライプを形成するための材料が定着されたものでもよい。さらに、本発明は液晶ディスプレイのカラーフィルタ用の基板に限らず、各種の基板に転写フィルムを重ねて供給する場合に利用できる。カートリッジを利用せず、転写フィルム１１を一回の転写に必要なサイズに切断して基板１０に被せる場合でも本発明の吸着方法は適用可能である。馴染み手段はロール状に形成されたものに限らず、転写フィルム１１を基板１０に押し付けつつ転写フィルム１１に沿って移動できるものであれば例えば板状等に変更してもよい。
【００５１】
【発明の効果】
以上に説明したように、本発明の吸着方法によれば、馴染み手段にて転写フィルムを基板上に押し付けつつその馴染み手段を移動させることにより、転写フィルムを基板に徐々に馴染むように密着させるとともに、馴染み手段の移動に追従してステージの吸着領域を拡大させることにより、転写フィルムを、馴染み手段によって基板に押し付けられた部分から徐々にステージに吸着させることができる。そのため、基板に一旦押し付けられた転写フィルムがその後にずれて皺や弛みを発生させるおそれがない。また、転写フィルムが基板に押し付けられる前にステージに吸着されて皺や弛みを誘発するおそれもない。従って、転写フィルムを基板に密着させつつステージに吸着させる作業を容易かつ確実に行うことができる。
【００５２】
また、本発明の吸着装置及び転写フィルム供給用のカートリッジによれば本発明の吸着方法を好適に実施することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の方法により転写装置のステージに載置された一枚の基板上に転写フィルムを供給する実施形態を示す斜視図。
【図２】ステージ上に載置されたカートリッジをその上方からみた状態を示す図。
【図３】図２のIII−III線に沿った断面図。
【図４】本発明により転写フィルムを吸着する手順を示す図。
【図５】カートリッジの馴染みロールを駆動する機構の一例を示す図。
【図６】馴染みロールの移動に追従して吸着エリアを拡大するための機構の一例を示す図。
【図７】真空吸着エリアを漸次拡大するための制御弁の具体例を示す図。
【図８】真空吸着エリアを漸次拡大するための制御弁の他の具体例を示す図。
【図９】一対の馴染みロールを利用して転写フィルムを吸着させる例を示す図。
【図１０】転写装置の一例を示す図。
【符号の説明】
１転写装置
４ステージ
６レーザ照射部
１０基板
１１転写フィルム
１１ａ転写フィルムの両側部
１２カートリッジ
１２ａ供給部
１２ｂ回収部
１２ｃ繰り出し部
１３フレーム
１４供給ロール
１５巻取ロール
１８馴染みロール（馴染み手段）
１９吸着孔
２０テンションロール
２１引張コイルばね
２２フィルム付勢機構（付勢手段、保持する手段）
３０長孔（駆動機構）
３１キャリッジ（駆動機構）
３２プーリ（駆動機構）
３３ベルト（駆動機構）
３４カップリング（駆動機構）
３５モータ（駆動機構）
３６カップリング（駆動機構）
４０連絡路（吸着手段）
４１電磁開閉弁（吸着制御手段）
４２真空ポンプ（吸着手段）
４３バルブ駆動回路（吸着制御手段）
４５制御装置（吸着制御手段）[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
In the present invention, a transfer film having a heat-melting colorant layer formed thereon is adhered to a black matrix substrate, and a transfer film suitable for producing a color filter for a liquid crystal display by partially thermally transferring the transfer film to the substrate. The present invention relates to a film adsorbing method and an apparatus therefor.
[0002]
[Prior art]
As a method for forming a colored layer on a substrate of a color filter such as a liquid crystal display, a laser transfer method has been proposed (see, for example, JP-A-10-206625 and JP-A-7-104113). In the laser transfer method, a heat melting type colorant is applied to a film-like substrate in advance to form a transfer film, and a laser beam is applied to the transfer film in a state where the transfer film and the color filter substrate are overlapped. In this method, the colorant is transferred to the substrate in a desired pattern by melting the colorant.
[0003]
In the laser transfer method described above, it is necessary to supply a transfer film so as to cover the substrate placed on the stage of the transfer device. In the conventional supply method, a film having a size required for one transfer is transferred onto a stage and covered with a rubber roller after being covered.
[0004]
[Problems to be solved by the invention]
When the above laser transfer method is used, it is necessary to bring the transfer film into close contact with the substrate without any gap and to securely hold them on the stage so that the substrate and the transfer film do not shift. Therefore, air is sucked from a large number of suction holes opened on the surface of the stage to suck the substrate to the stage, and the transfer film is formed to be somewhat larger than the substrate, and the peripheral edge of the transfer film protruding from the substrate is similarly Attempts have been made to adsorb to the stage. However, it is difficult to place the transfer film on the substrate while taking care not to cause wrinkles or slack, and it is difficult to develop a suction method that can easily and reliably perform the work.
[0005]
The present invention is an adsorption method capable of easily and reliably performing the operation of adsorbing the transfer film to the stage while keeping the transfer film in good contact with the substrate, as well as Adsorption equipment for that Place The purpose is to provide.
[0006]
[Means for Solving the Problems]
Hereinafter, the adsorption method of the present invention will be described. In order to facilitate understanding of the present invention, reference numerals in the accompanying drawings are appended in parentheses, but the present invention is not limited to the illustrated embodiment.
[0007]
In the present invention, after the substrate (10) on the stage (4) is covered with a transfer film (11) having a width larger than that of the substrate, the stage is placed on both sides (11a) of the transfer film protruding from the substrate. A transfer film adsorbing method for holding the transfer film on a stage by applying an adsorbing force from the side, wherein the transfer film is stretched over the entire length in the width direction of the substrate by familiar means (18). A process of moving the familiar means along the substrate in a direction perpendicular to the width direction while pressing upward, and a process of gradually expanding the region where the adsorption force of the stage acts following the movement of the familiar means The above-described problems are solved by an adsorption method including:
[0008]
According to this adsorption method, the transfer film is brought into close contact with the substrate so that the transfer film is adapted to the substrate by moving the familiar means while pressing the transfer film onto the substrate by the familiar means. Following the movement of the familiar means, the adsorption area of the stage expands, whereby the transfer film is gradually adsorbed onto the stage from the portion pressed against the substrate by the familiar means. For this reason, there is no possibility that the transfer film once pressed against the substrate will be shifted thereafter to cause wrinkles or slack. In addition, there is no possibility that the transfer film is attracted to the stage before being pressed against the substrate to induce wrinkles or slack. Therefore, the operation of adhering the transfer film to the substrate while adhering to the substrate can be easily and reliably performed.
[0009]
In the adsorption method of the present invention, the familiar means may be moved from one end side of the substrate toward the other end side in a direction orthogonal to the width direction. In this case, the transfer film is attracted to the stage while being pressed from one end of the substrate toward the other end.
[0010]
Moreover, a pair of said familiar means may be arrange | positioned on the said transfer film, and each familiar means may be moved toward the edge part on the opposite side of the said board | substrate regarding the direction orthogonal to the said width direction. In this case, the moving amount of each familiar means can be shortened as compared with the case where a single familiar means is moved from one end of the substrate to the other end. Therefore, the work time is shortened. It is particularly suitable when using a long transfer film.
[0011]
In the adsorption method of the present invention, the conforming means may be moved in a state where the transfer film is floated above the substrate on the end side in the moving direction of the conforming means. In this case, the transfer film is surely separated from the substrate at the moving destination of the familiar means, and the transfer film comes into close contact with the substrate under the pressing action by the familiar means. Therefore, there is no possibility that the transfer film and the substrate are undesirably brought into close contact with each other before the familiar means passes, thereby causing wrinkles and slack.
[0012]
In the adsorption method of the present invention, the transfer film is wound around a pair of rolls (14, 15), a transfer film having a length necessary to cover the substrate is fed between the rolls, and the transferred transfer film is fed. The familiar means may be moved between the rolls after covering the substrate.
[0013]
In this case, the process of winding up the used transfer film on the other roll while feeding the unused transfer film from one roll and the process of moving the familiar means between the rolls are alternately repeated, thereby The adsorption method of the present invention can be applied repeatedly to the substrate.
[0014]
Tension may be applied to the transfer film fed between the rolls before starting the movement of the conforming means. In this case, before the transfer film is pressed against the substrate by the familiar means, the transfer film is stretched along the substrate, and the transfer film can be smoothly pressed and moved by the familiar means.
[0015]
A biasing means (22) for biasing the transfer film above the substrate may be provided on at least one of the pair of rolls (14). By urging the transfer film upward, tension is applied to the transfer film, and the same effect as described above can be obtained. Further, if the familiar means is moved toward the biasing means, the transfer film is surely separated from the substrate at the destination of the familiar means, and the transfer film and the substrate become undesirably before the familiar means passes. There is no risk of wrinkling or loosening due to close contact.
[0016]
In the adsorption method of the present invention, the familiar means may be formed in a roll shape. In this case, the familiar means can be smoothly moved along the transfer film. The roll-shaped familiar means may be rolled along the transfer film, or may be moved along the transfer film in a state where rotation is prevented.
[0017]
The adsorbing device of the present invention uses a transfer film (11) arranged on a substrate (10) on a stage (4) so that both side portions (11a) in the width direction protrude from the substrate (10) in the width direction of the substrate. The accommodating means (18) for pressing down the entire length, a drive mechanism (30-36) for moving the accommodating means along the substrate in a direction perpendicular to the width direction, and a moving direction of the accommodating means. The adsorbing means (40, 42) for adsorbing the both side portions to the surface of the stage by applying a suction force to the both side portions of the transfer film from a plurality of adsorbing holes (19) provided, and movement of the familiar means The above-described problems are solved by providing suction control means (41, 43, 45) for controlling the suction means so that the region where the suction force of the stage acts is gradually expanded following the above.
[0018]
According to this suction apparatus, after the transfer film is placed on the substrate, the suction method of the present invention can be realized by gradually expanding the region where the suction force acts while moving the familiar means along the substrate. .
[0019]
The adsorbing device of the present invention may further comprise means (22) for holding the transfer film in a floating state above the substrate on the end side in the moving direction of the familiar means. In this case, since the transfer film is surely separated from the substrate at the moving destination of the familiar means, there is no possibility that the transfer film and the substrate are undesirably brought into close contact before the familiar means passes to cause wrinkles or slack. .
[0022]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 10 shows the overall configuration of the transfer apparatus 1 for forming a colored layer on a glass substrate (black matrix substrate) when producing a color filter for a liquid crystal display, where (a) is a front view and (b) is a side view. It is. The transfer device 1 includes a bed 2, a portal column 3, and a stage 4. The stage 4 is attached to the bed 2 via a linear guide device 5 and is transferred along a predetermined axial direction in the horizontal plane (direction indicated by an arrow in FIG. 10A) and a transfer position immediately below the column 3. It can move between P2. At the set-up position P1, a set-up operation such as replacement of the substrate 10 is performed.
[0023]
A laser irradiation unit 6 is attached to the column 3. The laser irradiation unit 6 irradiates a laser beam toward the stage 4 sent to the transfer position P2. The laser irradiation unit 6 has a function of scanning a laser beam in a direction orthogonal to the moving direction of the stage 4 in a horizontal plane. The transfer device 1 can irradiate a laser beam at an arbitrary position on the stage 4 by a combination of scanning of the laser beam in the laser irradiation unit 6 and movement of the stage 4. The stage 4 is designed to have a size suitable for mounting a single substrate 10.
[0024]
FIG. 1 shows an example of a method for supplying a transfer film 11 onto a single substrate 10 placed on the stage 4 of the transfer apparatus 1. In this example, the transfer film 11 is accommodated in a cartridge 12, and the cartridge 12 is mounted on the stage 4 as it is and the transfer film 11 is supplied onto the substrate 10. On the transfer film 11, for example, a hot-melt colorant corresponding to any one of the three primary color (R, G, B) color layers to be formed on the substrate 10 is fixed in advance.
[0025]
As shown in FIG. 2, the cartridge 12 has a pair of plate-like frames 13 and 13 arranged in parallel to each other. A supply roll 14 is attached to one end side of the frames 13, 13, and a take-up roll 15 is attached to the other end side of the frame 13. Each of the rolls 14 and 15 can freely rotate around an axis parallel to each other.
[0026]
A space 16 longer than the length of the substrate 10 placed on the stage 4 is secured between the rolls 14 and 15. In order to enable irradiation of the transfer film 11 with a laser beam and transfer of the pattern from the transfer film 11 to the substrate 10, the upper and lower portions of the space 16 are opened. That is, an opening for introducing a laser beam and an opening for bringing the transfer film 11 and the substrate 10 into close contact with each other are provided above and below the cartridge 12.
[0027]
In an initial state before the use of the cartridge 12 is started, a transfer film 11 having a length corresponding to the transfer of a large number (for example, 100 to 400) of substrates 10 is wound around the supply roll 14. As a result, a supply portion 12 a for the transfer film 11 is formed on one end side of the frame 13. The transfer film 11 drawn from the supply roll 14 is stretched straight along the lower end of the cartridge 12, and is wound on the take-up roll 15. As a result, a recovery portion 12b of the transfer film 11 is formed on the other end side of the frame 13. And the feeding part 12c of the transfer film 11 is comprised between the supply part 12a and the collection | recovery part 12b.
[0028]
The length of the transfer film 11 fed to the feeding portion 12 c is longer than that of the substrate 10. Further, the width of the transfer film 11 is larger than the width of the substrate 10. For this reason, the substrate 10 is placed on the stage 4 at the set-up position P1 of the transfer apparatus 1, and the cartridge 12 is placed on the stage 4 from above with the feeding portion 12c facing down, whereby the substrate 10 is placed on the feeding portion 12c. It can be completely covered with the transfer film 11. Then, both side portions 11 a and 11 a (see FIG. 2) in the width direction of the transfer film 11 covering the substrate 10 protrude beyond the substrate 10. The width here means a dimension in a direction parallel to the axis of the rolls 14 and 15.
[0029]
By moving the stage 4 to the transfer position P2 while the cartridge 12 is mounted and irradiating the transfer film 11 with the laser beam from the laser irradiation unit 6, the transfer material 11 such as the colorant on the transfer film 11 is transferred to the substrate 10 by the substrate 10. Can be transferred to.
[0030]
The total length of the cartridge 12 may be larger or smaller than the total length of the stage 4. However, in order to reduce the load on the stage 4, it is desirable to make the cartridge 12 as small and light as possible.
[0031]
In order to improve the adhesion between the substrate 10 placed on the stage 4 and the transfer film 11 fed to the feeding portion 12c of the cartridge 12, the cartridge 12 is provided with a familiar roll 18 as a familiar means. The familiar roll 18 has a sufficiently small diameter as compared with the supply roll 14 and the take-up roll 15, and the total length thereof is larger than the width of the transfer film 11. That is, the familiar roll 18 extends over the entire length of the transfer film 11 in the width direction.
[0032]
The familiar roll 18 is supported between the frames 13 and 13 so as to be movable while rotating between the rolls 14 and 15. A specific configuration of the mechanism for driving the familiar roll 18 will be described later. As shown in FIG. 3, a tension roll 20 is provided on the supply roll 14 side, and the tension roll 20 is pulled upward by a tension coil spring 21. These tension rolls 20 and tension coil springs 21 constitute a film biasing mechanism (biasing means) 22. The transfer film 11 drawn out from the supply roll 14 passes over the tension roll 20 and is fed out into the space 16, and further submerged in the familiar roll 18 and taken up on the take-up roll 15.
[0033]
As shown in FIG. 1, a substrate 10 (shown by an imaginary line in FIG. 1) placed on the stage 4.
) Are formed in rows on both sides. These suction holes 19 are connected to a vacuum pump. The transfer film 11 can be held on the stage 4 in close contact with the substrate 10 by sucking air from the suction holes 19. Although the stage 4 is also provided with a suction hole for sucking the substrate 10, the illustration thereof is omitted. The suction hole 19 has a long hole shape in which the major axis direction coincides with the moving direction of the familiar roll 18.
[0034]
FIG. 4 shows a procedure for adsorbing the transfer film 11 to the stage 4. In the present embodiment, first, the cartridge 12 is mounted on the stage 4 so that the transfer film 11 fed to the feeding portion 12c of the cartridge 12 overlaps the substrate 10 (see FIG. 4A). Thereafter, as shown by arrows in FIGS. 4A to 4C, the familiar roll 18 is moved from one end side to the other end side of the substrate 10 so that the transfer film 11 adheres to the substrate 10. At this time, the vacuum suction area to which the suction force from the suction hole 19 acts is expanded from one end side to the other end side of the substrate 10 so as to follow the movement of the familiar roll 18. The adhering operation is completed by moving the familiar roll 18 toward the supply roll 14 until the transfer film 11 is pressed against the entire surface of the substrate 10. According to such an adsorption method, the transfer film 11 gradually adheres to the substrate 10 as the familiar roll 18 moves, and both side portions 11 a of the transfer film 11 are gradually adsorbed to the stage 4 from the adhesion portion. Accordingly, the transfer film 11 can be satisfactorily adhered to the substrate 10 and the transfer film 11 is less likely to wrinkle or loosen.
[0035]
After completion of the adsorption, a laser beam is irradiated from the laser irradiation unit 6 in FIG. 10, and the transfer of the colored layer is started. After the transfer is completed, the adsorption of the transfer film 11 to the stage 4 is stopped, the cartridge 12 is detached from the stage 4 and another color cartridge 12 is supplied to the stage 4, and the film is adsorbed in the same procedure. The three layers of R, G, and B cartridges 12 are alternately mounted on the stage 4 and transferred three times to complete the formation of the colored layer on the single substrate 10. When the transfer is continued with the same cartridge 12 placed on the stage 4, the suction is once released after the end of one transfer, and the film 11 is wound from the supply roll 14 by the length used for one transfer. What is necessary is just to adsorb | suck the film 11 by the same procedure, after sending to the taking roll 15. FIG.
[0036]
FIG. 5 shows an example of a drive mechanism for the familiar roll 18 of the cartridge 12 described above, FIG. 5 (a) is a plan view of one side of the cartridge 12, and FIG. 5 (b) is a side view of the portion shown in FIG. It is. FIG. 5C shows a modification of FIG.
[0037]
In the drive mechanism shown in FIGS. 5A and 5B, a long hole 30 is formed in the frame 13 of the cartridge 12 so as to guide the shaft end 18 a of the roll 18. A similar slot 30 is formed in the opposite frame 13, and the familiar roll 18 is bridged between the slots 30. The shaft end 18 a passes through the long hole 30 and protrudes to the outside of the frame 13, and the protruding portion is rotatably fitted to the carriage 31. Pulleys 32 and 32 are attached to both ends of the frame 13 in the longitudinal direction, and a belt 33 is wound around them. The carriage 31 is disposed between the upper and lower traveling portions 33a and 33b of the belt 33, and is fixed to one of the traveling portions (the lower traveling portion 33b in the drawing). A coupling 34 is attached to one pulley 32, and the coupling 34 can be coupled and decoupled to a coupling 36 coupled to a drive shaft of a motor 35 as a drive source via a speed reduction mechanism (not shown). It is. The components from the motor 35 to the coupling 36 are provided as accessory equipment of the transfer device 1. When the cartridge 12 is mounted at a predetermined position on the stage 4, the couplings 34 and 36 are connected to each other. The pulleys 32, 32 may be attached to the frame 13 by various methods. As an example, the shaft end portions 14a and 15a of the supply roll 14 and the take-up roll 15 are rotatably attached to the frame 13, and the shaft end portions 14a and 15a are projected to the outside of the frame 13, and pulleys are formed on the projecting portions. 32 and 32 can be rotatably attached.
[0038]
According to the above drive mechanism, the couplings 34 and 36 are coupled and the motor 35 is driven, so that the carriage 31 travels to the left and right integrally with the belt 33, and accordingly, the familiar roll 18 extends along the long hole 30. Move. Since the movement amount of the familiar roll 18 can be replaced with the rotation amount of the motor 35, if the rotation of the motor 35 is detected by a detector such as a rotary encoder, the movement speed or stop position of the familiar roll 18 can be controlled. it can.
[0039]
In the above, the rotational motion generated by the motor 35 as the drive source is converted into the reciprocating motion of the roll 18 by the belt 33, but in addition to this, it is used by using a known motion conversion mechanism such as a rack and pinion mechanism. It is conceivable to give the roll 18 a reciprocating motion. The familiar roll may be reciprocated using a drive source such as a hydraulic or pneumatic cylinder that generates a straight motion.
[0040]
5A and 5B, since the familiar roll 18 is rotatably attached to the carriage 31, if friction occurs between the transfer film 11 and the familiar roll 18, the familiar roll 18 becomes familiar. The roll 18 rotates to prevent excessive friction. Furthermore, a means for converting the reciprocating motion of the familiar roll 18 along the stage 4 into the rotational motion of the familiar roll 18 may be provided. FIG. 5C shows an example thereof. In this example, a rack 38 is provided along the long hole 30, and the familiar roll 18 is provided with a pinion (not shown) that meshes with the rack 38. In this case, the familiar roll 18 can be rotated in conjunction with its movement to minimize the friction between the transfer film 11 and the familiar roll 18. A similar effect can be obtained by replacing the rack and pinion mechanism with a member that increases the coefficient of friction along the long hole 30 and pressing it against the shaft end 18a of the roll 18.
[0041]
In order to enhance the effect of the familiar roll 18 pressing the transfer film 11 against the substrate 10, an appropriate elastic layer is provided on the surface of the familiar roll 18, and the familiar roll 18 is pressed against the transfer film 11 to such an extent that the elastic layer is appropriately elastically deformed. However, the familiar roll 18 may be moved along the substrate 10.
[0042]
FIG. 6 shows an example of a mechanism for enlarging the suction area following the movement of the familiar roll 18. In this example, each of the suction holes 19... 19 opened on the surface of the stage 4 has four suction holes 19 arranged in the width direction (vertical direction in FIG. 6) of the transfer film 11 as a single unit. Are connected to connecting passages 40... 40 provided inside the stage 4. Each communication path 40 opens to the side surface of the stage 4 and is connected to a vacuum pump 42 via an electromagnetic control valve 41. Each electromagnetic control valve 41 opens and closes a flow path connecting the communication path 40 and the vacuum pump 42 according to a drive signal from the valve drive circuit 43. A drive signal is individually output from the valve drive circuit 43 to the electromagnetic control valves 41... 41, and the opening / closing operation of the electromagnetic control valve 41 is individually controlled. For this reason, the suction hole 19 and the vacuum pump 42 are controlled to open and close independently for each unit of the suction hole 19.
[0043]
The valve drive circuit 43 switches the drive signal of each electromagnetic control valve 41 according to the control signal from the control device 45. When adsorbing the transfer film 11, the control device 45 outputs a motor drive control signal to the drive circuit 46 of the motor 35, and the familiar roll 18 based on the output signal from the detector 47 such as a rotary encoder. The amount of movement is detected. Then, according to the movement amount, the electromagnetic control valves 41 are controlled to open and close so that the vacuum suction area gradually expands following the familiar roll 18. For example, the length of the suction area that a unit of the suction hole 19 handles is determined in advance with respect to the movement amount of the familiar roll 18, and the familiar roll 18 starts to move each time the familiar roll 18 moves by the movement amount. An opening signal is sequentially output to the valve drive circuit 43 from the electromagnetic control valve 41 corresponding to the suction hole 19 to gradually expand the suction area.
[0044]
In addition, the detection of the movement amount of the familiar roll 18 is omitted, and the electromagnetic on-off valve 41 is sequentially opened each time the time required for the motor 35 to move by a distance corresponding to one unit of the suction hole 19 elapses. May be.
[0045]
The above embodiment is merely an example, and the present invention can be implemented in various forms. For example, instead of the configuration in which the electromagnetic on-off valve 41 is provided for each communication path 40, the same number of ports as the communication paths 40 and a common port connected to the vacuum pump 42 side are provided, and the amount of operation of a valve body such as a spool is increased Accordingly, a control valve having a configuration in which the number of ports communicating with the ports is proportionally increased or decreased may be used. According to such a control valve, the vacuum suction area can be gradually expanded by interlocking the movement of the valve body and the familiar roll 18.
[0046]
Specific examples of the control valve are shown in FIGS. 7 and 8, respectively. In the control valve 50 of FIG. 7, a spool 52 as a valve body is slidably inserted into a cylindrical cylinder 51. O-rings 53 and 53 are mounted in the vicinity of the opening of the cylinder 51 and the tip of the spool 52 to seal between the cylinder 51 and the spool 52. A plurality of ports 54... 54 are provided around the cylinder 51 in the axial direction of the cylinder 51, and a single port 55 is provided at the bottom of the cylinder 51. Each port 54 is connected to a different communication path 40 (see FIG. 6) of the stage 4, and the port 55 is connected to the vacuum pump 42. Accordingly, when the spool 52 is reciprocated by an appropriate linear motion type driving means (for example, a fluid pressure cylinder or a screw driving mechanism), the number of ports 54 communicating with the port 55 changes according to the movement. Using this operation, the suction area of the stage 4 can be gradually changed.
[0047]
In the control valve 60 of FIG. 8, a rotor 62 as a valve body is rotatably inserted into a cylindrical housing 61. A plurality of ports 63... 63 are arranged around the housing 61 along the circumferential direction of the housing 61, and a single port 64 is further provided on one end side of the port 63. A notch 62 a is provided on the outer periphery of the rotor 62. Each port 63 is connected to a different communication path 40 (see FIG. 6) of the stage 4, and the port 64 is connected to the vacuum pump 42. Accordingly, when the rotor 62 is rotationally moved by an appropriate rotational movement type driving means (for example, a motor or a rotary solenoid), the number of ports 65 communicating with the port 64 changes according to the movement. Using this operation, the suction area of the stage 4 can be gradually changed.
[0048]
In the above embodiment, two or more suction holes 19 may be taken as one unit with respect to the moving direction of the familiar roll 18, and connection and disconnection with the vacuum pump 42 may be controlled for each unit.
[0049]
FIG. 9 shows another embodiment relating to the familiar roll. In this embodiment, a pair of familiar rolls 18 and 18 are disposed between the supply roll 14 and the take-up roll 15. These rolls 18, 18 are moved in opposite directions from the intermediate position of the substrate 10, that is, toward the supply roll 14 or the take-up roll 15, and the vacuum suction area is gradually moved along the movement of each roll 18. And the transfer film 11 is adsorbed to the stage 4 by enlarging it toward 15 and 15. In this embodiment, since the movement amount of the roll 18 is substantially halved, there is an advantage that the adsorption is completed in a short time.
[0050]
The transfer film 11 is not limited to one in which a colored layer of any one of R, G, and B is formed, but may be a single type of material to be transferred, for example, a substrate 10 on which a material for forming a black stripe is fixed. Good. Furthermore, the present invention is not limited to a substrate for a color filter of a liquid crystal display, and can be used when a transfer film is supplied over various substrates. The adsorption method of the present invention can be applied even when the transfer film 11 is cut into a size necessary for one transfer and covered on the substrate 10 without using a cartridge. The conforming means is not limited to a roll shape, and may be changed to a plate shape or the like as long as it can move along the transfer film 11 while pressing the transfer film 11 against the substrate 10.
[0051]
【The invention's effect】
As described above, according to the adsorption method of the present invention, the transfer film is brought into close contact with the substrate so that the transfer film is gradually adjusted by moving the familiar means while pressing the transfer film onto the substrate with the familiar means. The transfer film can be gradually attracted to the stage from the portion pressed against the substrate by the familiar means by expanding the adsorption area of the stage following the movement of the familiar means. For this reason, there is no possibility that the transfer film once pressed against the substrate will be shifted thereafter to cause wrinkles or slack. In addition, there is no possibility that the transfer film is attracted to the stage before being pressed against the substrate to induce wrinkles or slack. Therefore, the operation of adhering the transfer film to the substrate while adhering to the substrate can be easily and reliably performed.
[0052]
Further, according to the suction device and the transfer film supply cartridge of the present invention, the suction method of the present invention can be suitably implemented.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view showing an embodiment in which a transfer film is supplied onto a single substrate placed on a stage of a transfer device by the method of the present invention.
FIG. 2 is a diagram illustrating a state where a cartridge placed on a stage is viewed from above.
3 is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG.
FIG. 4 is a diagram showing a procedure for adsorbing a transfer film according to the present invention.
FIG. 5 is a view showing an example of a mechanism for driving a familiar roll of a cartridge.
FIG. 6 is a view showing an example of a mechanism for enlarging the suction area following the movement of the familiar roll.
FIG. 7 is a diagram showing a specific example of a control valve for gradually expanding a vacuum suction area.
FIG. 8 is a view showing another specific example of the control valve for gradually expanding the vacuum suction area.
FIG. 9 is a view showing an example in which a transfer film is adsorbed using a pair of familiar rolls.
FIG. 10 is a diagram illustrating an example of a transfer device.
[Explanation of symbols]
1 Transfer device
4 stages
6 Laser irradiation part
10 Substrate
11 Transfer film
11a Both sides of transfer film
12 cartridges
12a Supply section
12b Collection unit
12c Feeding part
13 frames
14 Supply roll
15 Winding roll
18 Familiar roll (familiar means)
19 Adsorption hole
20 Tension roll
21 Tension coil spring
22 Film biasing mechanism (biasing means, holding means)
30 long hole (drive mechanism)
31 Carriage (drive mechanism)
32 pulley (drive mechanism)
33 Belt (drive mechanism)
34 Coupling (drive mechanism)
35 Motor (drive mechanism)
36 Coupling (drive mechanism)
40 communication path (adsorption means)
41 Electromagnetic on-off valve (adsorption control means)
42 Vacuum pump (adsorption means)
43 Valve drive circuit (adsorption control means)
45 Control device (adsorption control means)

Claims

After the substrate on the stage is covered with a transfer film that is wider than the substrate, the transfer film is held on the stage by applying an adsorption force from the stage side to both sides of the transfer film that protrude from the substrate. A transfer film adsorption method,
A process of moving the conforming means along the substrate in a direction perpendicular to the width direction while pressing the transfer film on the substrate with the conforming means extending over the entire length in the width direction of the substrate;
A process of gradually expanding a region where the suction force of the stage acts following the movement of the familiar means;
A transfer film adsorption method comprising:

The transfer film adsorbing method according to claim 1, wherein the familiar means is moved from one end side to the other end side of the substrate in a direction orthogonal to the width direction.

2. The pair of conforming means is disposed on the transfer film, and each conforming means is moved toward opposite ends of the substrate with respect to a direction orthogonal to the width direction. Of transfer film.

The transfer film according to any one of claims 1 to 3, wherein the familiar means is moved in a state where the transfer film is floated above the substrate on the end side in the moving direction of the familiar means. Adsorption method.

The transfer film is wound around a pair of rolls, a transfer film having a length necessary to cover the substrate is fed between the rolls, and the familiar means is used after covering the substrate with the transferred transfer film The transfer film adsorption method according to claim 1, wherein the transfer film is moved between the rolls.

6. The transfer film adsorption method according to claim 5, wherein tension is applied to the transfer film fed between the rolls before starting the movement of the conforming means.

6. The transfer film adsorption method according to claim 5, wherein an urging means for urging the transfer film above the substrate is provided on at least one of the pair of rolls.

The transfer film adsorption method according to claim 1, wherein the conforming means is formed in a roll shape.

Familiar means for pressing the transfer film disposed on the substrate over the entire length in the width direction so that both sides in the width direction protrude beyond the substrate on the stage,
A drive mechanism for moving the familiar means along the substrate in a direction perpendicular to the width direction;
A suction means for attracting the both side portions to the surface of the stage by applying a suction force to the both side portions of the transfer film from a plurality of suction holes provided along the moving direction of the familiar means;
A suction control means for controlling the suction means so that a region where the suction force of the stage acts is gradually expanded following the movement of the familiar means;
An apparatus for adsorbing a transfer film, comprising:

The transfer film suction device according to claim 9, further comprising means for holding the transfer film in a state of being floated above the substrate on the end side in the moving direction of the familiar means.