JP5185845B2 - 可変容量素子 - Google Patents
可変容量素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5185845B2 JP5185845B2 JP2009015666A JP2009015666A JP5185845B2 JP 5185845 B2 JP5185845 B2 JP 5185845B2 JP 2009015666 A JP2009015666 A JP 2009015666A JP 2009015666 A JP2009015666 A JP 2009015666A JP 5185845 B2 JP5185845 B2 JP 5185845B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diamond semiconductor
- concentration
- semiconductor
- doped diamond
- capacitance element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
基板の上側に、ダイヤモンド半導体、第1の金属電極、第1の絶縁膜、および第2の金属電極が形成されており、
前記ダイヤモンド半導体は、基板側から順に、ドーパント濃度が2×1020cm-3以上の高濃度ドープダイヤモンド半導体とドーパント濃度が5×1017cm-3以下の低濃度ドープダイヤモンド半導体とで構成されており、且つ、前記高濃度ダイヤモンド半導体および第1の金属電極は電気的に接続されており、
前記第1の絶縁膜は、前記低濃度ダイヤモンド半導体と前記第2の金属電極との間に介在していることを特徴とする。
前記ダイヤモンド半導体は、基板側から順に、ドーパント濃度が2×1020cm-3以上の高濃度ドープダイヤモンド半導体22とドーパント濃度が5×1017cm-3以下の低濃度ドープダイヤモンド半導体21とで構成されており、且つ、前記高濃度ダイヤモンド半導体22および第1の金属電極3は電気的に接続されており、
前記第1の絶縁膜4は、前記低濃度ダイヤモンド半導体21と前記第2の金属電極5との間に介在していることを特徴とする。
容量CD
=ε×S/d
=5.7×8.86×10-14[F/cm]×0.01[mm2]/10[μm]
≒0.1pF
(上記式中、ε:誘電体の誘電率、S:電極の面積、d:電極間の距離)
素子全体の容量Cは、
1/C=1/CI+1/CD
となる。
(上記式中、CI:絶縁膜の容量)
本実施例では、図1に示す構成の可変容量素子を作製した。
(1)高濃度ドープダイヤモンド半導体22の成膜条件
・使用装置:2.45GHzのマイクロ波CVD装置
・反応ガス:水素、メタン0.5体積%及びジボラン0.05体積%の混合ガス
・反応容器内の圧力:6.6kPa(50Torr)
・基板温度:800℃
(2)高濃度ドープダイヤモンド半導体22の物性
・ドーパント(ボロン)濃度:6×1020cm-3
・厚さ:約40nm
低濃度ドープダイヤモンド半導体21の物性
・ドーパント(ボロン)濃度:2×1017cm-3
・厚さ:約30nm
上記の実施例1において、低濃度ドープダイヤモンド半導体および高濃度ドープダイヤモンド半導体の各ドーパント濃度および各膜厚を表1に示すように変更したこと以外は、実施例1と同様にして、実施例2及び3、並びに比較例1の可変容量素子を製造し、そのC−V特性を160℃で測定した。表1には、参考のため、上記実施例1の上記値も併記している。なお、比較例1は、本発明の低濃度ダイヤモンド半導体のドーパント濃度の要件を満たしていない例である。
21 低濃度ドープダイヤモンド半導体
22 高濃度ドープダイヤモンド半導体
3 第1の金属電極
4 第1の絶縁膜
5 第2の金属電極
6 第2の絶縁膜
Claims (4)
- 基板の上側に、ダイヤモンド半導体、第1の金属電極、第1の絶縁膜、および第2の金属電極が形成されており、
前記ダイヤモンド半導体は、基板側から順に、ドーパント濃度が2×1020cm-3以上の高濃度ドープダイヤモンド半導体とドーパント濃度が5×1017cm-3以下の低濃度ドープダイヤモンド半導体とで構成されており、且つ、前記高濃度ダイヤモンド半導体および第1の金属電極は電気的に接続されており、
前記第1の絶縁膜は、前記低濃度ダイヤモンド半導体と前記第2の金属電極との間に介在していることを特徴とする可変容量素子。 - 前記低濃度ドープダイヤモンド半導体のドーパント濃度は1×1016cm-3以下である請求項1に記載の可変容量素子。
- 前記第2の金属電極の上に第2の絶縁膜が形成されており、
前記第2の絶縁膜の上に前記第1の金属電極の一部が形成されている請求項1または2に記載の可変容量素子。 - 前記高濃度ドープダイヤモンド半導体および前記低濃度ドープダイヤモンド半導体がホウ素をドープしたp型ダイヤモンド半導体である請求項1〜3のいずれかに記載の可変容量素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009015666A JP5185845B2 (ja) | 2009-01-27 | 2009-01-27 | 可変容量素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009015666A JP5185845B2 (ja) | 2009-01-27 | 2009-01-27 | 可変容量素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010177278A JP2010177278A (ja) | 2010-08-12 |
JP5185845B2 true JP5185845B2 (ja) | 2013-04-17 |
Family
ID=42707957
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009015666A Expired - Fee Related JP5185845B2 (ja) | 2009-01-27 | 2009-01-27 | 可変容量素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5185845B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103280317B (zh) * | 2013-05-20 | 2015-11-11 | 北方民族大学 | 一种纳米金刚石薄膜可变超级电容及其制备方法 |
JP7359435B2 (ja) * | 2019-12-05 | 2023-10-11 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 可変容量素子、共振器および可変容量素子の使用方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5173835A (en) * | 1991-10-15 | 1992-12-22 | Motorola, Inc. | Voltage variable capacitor |
JPH08316498A (ja) * | 1995-05-17 | 1996-11-29 | Kobe Steel Ltd | ダイヤモンド半導体整流素子 |
JP3986432B2 (ja) * | 2002-12-20 | 2007-10-03 | 株式会社神戸製鋼所 | ダイヤモンド電子素子 |
JP2006303389A (ja) * | 2005-04-25 | 2006-11-02 | Kyocera Corp | 薄膜コンデンサ素子および薄膜コンデンサアレイ |
-
2009
- 2009-01-27 JP JP2009015666A patent/JP5185845B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010177278A (ja) | 2010-08-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6615965B2 (ja) | トランジスタの作製方法 | |
KR102637107B1 (ko) | 전자 소자 및 그 제조방법 | |
KR102100415B1 (ko) | 터널링 소자 및 그 제조방법 | |
JP4582542B2 (ja) | ダイヤモンド電界効果トランジスタ及びその製造方法 | |
CN108431963B (zh) | 半导体元件和使用该半导体元件的电气设备 | |
CN109904239A (zh) | 一种pin二极管及其制备方法 | |
Deng et al. | Physical aspects of colossal dielectric constant material CaCu3Ti4O12 thin films | |
WO2017110940A1 (ja) | 半導体素子及びそれを用いた電気機器 | |
JP5185845B2 (ja) | 可変容量素子 | |
TWI559538B (zh) | 半導體元件 | |
TW202249319A (zh) | 包含由具有寬帶隙半導電材料所製成之層堆疊之電容 | |
JP2005005359A (ja) | 半導体を用いた電子デバイス | |
JP2020009884A (ja) | 半導体装置、半導体装置の使用方法およびその半導体装置の製造方法 | |
US20130153886A1 (en) | Semiconductor device and manufacturing method thereof | |
US11688785B2 (en) | Metal semiconductor contacts | |
JP4911943B2 (ja) | 絶縁ゲート型電界効果トランジスタ | |
JP2019047096A (ja) | ダイヤモンド半導体素子 | |
KR101108574B1 (ko) | 탄화규소계 반도체 소자 및 제조 방법 | |
JP2017118048A (ja) | 積層体 | |
Laha et al. | Enhanced electrical properties of carbon doped epitaxial Gd2O3 thin films on Si substrates | |
KR20070117213A (ko) | 반도체 소자 및 그의 제조방법 | |
JP2009111425A (ja) | 半導体を用いた電子デバイス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110901 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20121213 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121225 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130118 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160125 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |