JP5182029B2 - 階調マスク - Google Patents
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Description
このような階調マスクを製造する際には、まず遮光膜をフォトリソグラフィー法によりパターニングし、次いでエッチングストッパー膜を剥離し、続いて半透明膜をフォトリソグラフィー法によりパターニングする。すなわち、遮光膜と半透明膜はそれぞれ別の工程でパターニングされる。
図11(a)は上面図、図11(b)は図11(a)のC−C線断面図、図11(c)は測定マークの上方から光を照射した場合の図11(a)のC−C線断面に応じた検出信号の光量を示すグラフである。図11(a)、(b)に例示する階調マスクは、透明基板102上に半透明膜103、エッチングストッパー膜104および遮光膜105が順に積層されたものであり、遮光膜105が形成された遮光領域113に接し、半透明膜103が露出した半透過パターン121と、半透過パターン121内に形成され、透明基板102が露出した透過パターン122とを有する測定マーク120を備えている。
このような測定マークの場合、図11(c)中のスライスレベルLで、図11(a)中の距離X1、X2、Y1、Y2(半透過パターン121のボックスと透過パターン122のボックスとの上下左右の距離)を測定しようとすると、測定しようとする部位の片側しかスライスレベルが交差する部分がなく、現状の測定装置では測定が困難である。よって、重ね合わせのズレを検出することができない。
図13(a)は図12(d)のD−D線断面図、図13(b)は測定マークの上方から光を照射した場合の図12(d)のD−D線断面に応じた検出信号の光量を示すグラフである。図12(d)および図13(a)に例示する階調マスクは、遮光膜105が形成された遮光領域113に接し、半透明膜103が露出した半透過パターン123と、半透過パターン123内に形成され、遮光膜105が形成された遮光パターン124と、遮光パターン124内に形成され、エッチングストッパー膜104が露出したパターン125とを有する測定マーク120を備えている。
このような測定マークの場合、図13(b)中のスライスレベルLで、図12(d)中の距離X1、X2、Y1、Y2(遮光パターン124のボックスとパターン125のボックスとの上下左右の距離)を測定しようとすると、遮光膜とエッチングストッパー膜の透過率がほぼ等しいため、現状の測定装置では測定が困難である。よって、重ね合わせのズレを検出することができない。
図14(a)は図12(e)のE−E線断面図、図14(b)は測定マークの上方から光を照射した場合の図12(e)のE−E線断面に応じた検出信号の光量を示すグラフである。このような測定マークの場合、図14(b)中のスライスレベルLで、図12(e)中の距離X1、X2、Y1、Y2(遮光パターン124のボックスと半透過パターン126のボックスとの上下左右の距離)を測定することが可能になる。
しかしながら、重ね合わせのズレを検出することが可能になるものの、測定マークを作製する工程数が増えるため、負担が大きくなる。
本発明の階調マスクは、重ね合わせ精度測定マークの構成により、2つの実施態様に分けることができる。以下、各実施態様に分けて説明する。
本発明の階調マスクの第1実施態様は、透明基板と、上記透明基板上に形成された半透明膜と、上記半透明膜上に形成されたエッチングストッパー膜と、上記エッチングストッパー膜上に形成された遮光膜とを有し、上記透明基板が露出した透過領域と、上記半透明膜が露出した半透過領域と、上記遮光膜が形成された遮光領域とを有する階調マスクであって、上記半透明膜が露出している外郭パターンと、上記外郭パターン内に形成され、上記透明基板が露出している内郭パターンと、上記内郭パターン内に形成され、上記エッチングストッパー膜が露出している中央パターンとを有する重ね合わせ精度測定マークを備え、上記内郭パターンは、外側に互いに平行な一対の外側エッジを2組有し、内側に互いに平行な一対の内側エッジを2組有し、2組の外側エッジは互いに垂直であり、2組の内側エッジは互いに垂直であることを特徴とするものである。
図1は、本発明の階調マスクの一例を示す断面図である。図1に例示するように、階調マスク1は、透明基板2と、透明基板2上に形成された半透明膜3と、半透明膜3上に形成されたエッチングストッパー膜4と、エッチングストッパー膜4上に形成された遮光膜5とを有しており、透明基板2が露出した透過領域11と、半透明膜3が露出した半透過領域12と、遮光膜5が形成された遮光領域13とを有している。さらに、階調マスク1は、図2(a)〜(c)に例示するような重ね合わせ精度測定マーク20を備えている。
内郭パターン22は、外側に互いに平行な一対の外側エッジ31a・31bおよび32a・32bを2組有しており、一方の1組の外側エッジ31a・31bおよび他方の1組の外側エッジ32a・32bは互いに垂直である。また、内郭パターン22は、内側に互いに平行な一対の内側エッジ33a・33bおよび34a・34bを2組有しており、一方の1組の内側エッジ33a・33bおよび他方の1組の内側エッジ34a・34bは互いに垂直である。
まず、透明基板上に半透明膜、エッチングストッパー膜および遮光膜5aが順に積層されたマスクブランクを準備し(図4(a))、このマスクブランクの遮光膜5a上にフォトレジスト層を形成し、フォトレジスト層をパターン露光および現像して、フォトレジストパターン10bを形成する(図4(b))。次いで、フォトレジストパターン10bの開口部の遮光膜5aをエッチングして、フォトレジストパターン10bを除去して、遮光膜5bのパターンを形成する(図4(c))。次に、遮光膜5bのパターンの開口部のエッチングストッパー膜4aを剥離して半透明膜3aを露出させる(図4(d))。続いて、遮光膜5bのパターン上にフォトレジスト層を形成し、フォトレジスト層をパターン露光および現像して、フォトレジストパターン10dを形成する(図4(e))。次いで、フォトレジストパターン10dの開口部の半透明膜3aおよび遮光膜5bをエッチングして透明基板2およびエッチングストッパー膜4bを露出させ、フォトレジストパターン10dを除去する(図4(f))。これにより、図2(a)〜(c)に例示する重ね合わせ精度測定マークが得られる。
X方向のズレ量=(X1−X2)/2 (1)
Y方向のズレ量=(Y1−Y2)/2 (2)
X1=X2の場合にはX方向のズレ量は0となり、X1≠X2の場合にはX1−X2の差がX方向のズレ量となる。また、Y1=Y2の場合にはY方向のズレ量は0となり、Y1≠Y2の場合にはY1−Y2の差がY方向のズレ量となる。
なお、上記式(1)、(2)において、X1−X2の差およびY1−Y2の差を2で除しているのは、片側分のズレ量を求めているためである。
また例えば、上記式(2)においてY方向のズレ量がプラスの値になる場合には、図2(a)において1回目のパターニングに対する2回目のパターニングの重ね合わせが上方向にずれていることを意味する。一方、上記式(2)においてY方向のズレ量がマイナスの値になる場合には、図2(a)において1回目のパターニングに対する2回目のパターニングの重ね合わせが下方向にずれていることを意味する。
本発明における重ね合わせ精度測定マークは、半透明膜が露出している外郭パターンと、外郭パターン内に形成され、透明基板が露出している内郭パターンと、内郭パターン内に形成され、エッチングストッパー膜が露出している中央パターンとを有するものである。また、内郭パターンは、外側に互いに平行な一対の外側エッジを2組有し、内側に互いに平行な一対の内側エッジを2組有し、2組の外側エッジは互いに垂直であり、2組の内側エッジは互いに垂直である。
以下、外郭パターン、内郭パターンおよび中央パターンに分けて説明する。
外郭パターンは、半透明膜が露出している領域で構成されるパターンである。通常、外郭パターンは、透明基板上に半透明膜のみが形成されている領域であり、エッチングストッパー膜および遮光膜が形成されていない領域で構成される。
外郭パターンは、図2(a)に例示するように、外郭パターン21の外側が遮光領域13に接し、外郭パターン21の内側が内郭パターン22に接するように配置される。
外郭パターンは、内側が内郭パターンに接していることから、内側に互いに平行な一対のエッジを2組有し、2組のエッジが互いに垂直となっている。例えば図2(a)に示すように、外郭パターン21は、内側に互いに平行な一対のエッジ31a・31bおよび32a・32bを2組有し、一方の1組のエッジ31a・31bと他方の1組のエッジ32a・32bとが互いに垂直となっている。
外郭パターンの大きさとしては、重ね合わせズレ量よりも大きければ特に限定されるものではない。なお、外郭パターンが大きすぎると、階調マスクの有効面積が相対的に小さくなる。また、外郭パターンの線幅が狭すぎるものは、パターニングが困難である。
内郭パターンは、透明基板が露出している領域で構成されるパターンである。通常、内郭パターンは、透明基板上に半透明膜、エッチングストッパー膜および遮光膜のいずれも形成されていない領域で構成される。
内郭パターンは、図2(a)に例示するように、内郭パターン22の外側が外郭パターン21に接し、内郭パターン22の内側が中央パターン23に接するように配置される。
内郭パターンは、外側に互いに平行な一対の外側エッジを2組有し、2組の外側エッジが互いに垂直であり、さらに内側に互いに平行な一対の内側エッジを2組有し、2組の内側エッジが互いに垂直である。例えば図2(a)に示すように、内郭パターン22は、外側に互いに平行な一対の外側エッジ31a・31bおよび32a・32bを2組有し、一方の1組の外側エッジ31a・31bと他方の1組の外側エッジ32a・32bとが互いに垂直となっている。また、内郭パターン22は、内側に互いに平行な一対の内側エッジ33a・33bおよび34a・34bを2組有し、一方の1組の内側エッジ33a・33bと他方の1組の内側エッジ34a・34bとが互いに垂直となっている。
内郭パターンの大きさとしては、重ね合わせズレ量よりも大きければ特に限定されるものではない。なお、内郭パターンが大きすぎると、階調マスクの有効面積が相対的に小さくなる。また、内郭パターンの線幅が狭すぎるものは、パターニングが困難である。
中央パターンは、エッチングストッパー膜が露出している領域で構成されるパターンである。通常、中央パターンは、透明基板上に半透明膜およびエッチングストッパー膜が順に積層されている領域であり、遮光膜が形成されていない領域で構成される。
中央パターンは、図2(a)に例示するように、中央パターン23が内郭パターン22で囲まれるように配置される。
中央パターンは、外側が内郭パターンに接していることから、外側に互いに平行な一対のエッジを2組有し、2組のエッジが互いに垂直となっている。例えば図2(a)に示すように、中央パターン23は、外側に互いに平行な一対のエッジ33a・33bおよび34a・34bを2組有し、一方の1組のエッジ33a・33bと他方の1組のエッジ34a・34bとが互いに垂直となっている。
中央パターンの大きさとしては、重ね合わせズレ量よりも大きければ特に限定されるものではない。なお、中央パターンが大きすぎると、階調マスクの有効面積が相対的に小さくなる。また、中央パターンの線幅が狭すぎるものは、パターニングが困難である。
本発明に用いられる半透明膜は、透明基板上に形成されるものである。半透明膜は、上記重ね合わせ精度測定マーク、ならびに後述の遮光領域、半透過領域および透過領域の形状に応じて、透明基板上にパターン状に形成される。
後述するように、半透明膜と同様に、遮光膜もクロム系膜であることが好ましいが、半透明膜と遮光膜との間にエッチングストッパー膜が形成されているので、半透明膜および遮光膜のエッチング選択性を考慮しなくてもよいのである。また、図3(f)〜(g)に例示するように、半透明膜および遮光膜を同時にエッチングするためにも、半透明膜および遮光膜はクロム系膜であることが好ましい。
本発明に用いられる遮光膜は、エッチングストッパー膜上に形成されるものである。遮光膜は、上記重ね合わせ精度測定マーク、ならびに後述の遮光領域、半透過領域および透過領域の形状に応じて、パターン状に形成される。
本発明に用いられるエッチングストッパー膜は、半透明膜上に形成されるものである。エッチングストッパー膜は、上記重ね合わせ精度測定マーク、ならびに後述の遮光領域、半透過領域および透過領域の形状に応じて、パターン状に形成される。
なお、エッチングストッパー膜の剥離方法については、後述の階調マスクの製造方法の項に詳しく記載するので、ここでの説明は省略する。
本発明に用いられる透明基板は、フォトマスクに用いられる一般的な基板を使用することができる。例えば、ホウ珪酸ガラス、アルミノホウ珪酸ガラス等の光学研磨された低膨張ガラス、石英ガラス、合成石英ガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、ソーダライムガラス、ホワイトサファイアなどの可撓性のない透明なリジット材、あるいは、透明樹脂フィルム、光学用樹脂フィルムなどの可撓性を有する透明なフレキシブル材を用いることができる。中でも、石英ガラスは、熱膨脹率の小さい素材であり、寸法安定性および高温加熱処理における特性に優れている。
本発明における遮光領域は、遮光膜が形成されている領域である。本発明においては、透明基板上に半透明膜、エッチングストッパー膜および遮光膜が順に積層されていることから、遮光領域は、透明基板上に半透明膜、エッチングストッパー膜および遮光膜が順に積層されている領域となる。
本発明においては、透明基板とエッチングストッパー膜との間に第2半透明膜が形成されていてもよい。この場合、階調マスクは上記半透過領域とは異なる透過率特性をもつ第2半透過領域を有することができ、2階調以上の多階調マスクとすることができる。パターニングを繰り返し行うことにより、半透過領域と、この半透過領域とは異なる透過率特性を有する第2半透過領域とを形成することは可能である。
本発明の階調マスクは、フォトリソグラフィー法などのように、露光工程を経て製造される様々な製品の製造に用いることができる。中でも、液晶表示装置、有機EL表示装置、プラズマディスプレイパネル等の表示装置の製造、特に大型の表示装置の製造に好適に用いられる。
次に、本発明の階調マスクの製造方法について説明する。本発明の階調マスクの製造方法は、通常、透明基板上に半透明膜、エッチングストッパー膜および遮光膜が順に積層されたマスクブランクを準備するマスクブランク準備工程と、遮光膜をパターニングする遮光膜パターニング工程と、遮光膜のパターンの開口部に位置するエッチングストッパー膜を剥離するエッチングストッパー膜剥離工程と、半透明膜をパターニングする半透明膜パターニング工程とを有している。
以下、本発明の階調マスクの製造方法における各工程について説明する。
マスクブランク準備工程は、透明基板上に半透明膜、エッチングストッパー膜および遮光膜が順に積層されたマスクブランクを準備する工程である。なお、透明基板、半透明膜、エッチングストッパー膜および遮光膜については、上述したとおりであるが、半透明膜および遮光膜はクロム系膜であることが好ましく、エッチングストッパー膜はチタン系膜であることが好ましい。
遮光膜パターニング工程は、遮光膜をパターニングする工程である。遮光膜のパターニング方法としては特に限定されるものではないが、通常、フォトリソグラフィー法が用いられる。
エッチングストッパー膜剥離工程は、遮光膜のパターンの開口部に位置するエッチングストッパー膜を剥離する工程である。
半透明膜パターニング工程は、半透明膜をパターニングする工程である。半透明膜のパターニング方法としては特に限定されるものではないが、通常、フォトリソグラフィー法が用いられる。
本発明の階調マスクの第2実施態様は、透明基板と、上記透明基板上に形成された半透明膜と、上記半透明膜上に形成されたエッチングストッパー膜と、上記エッチングストッパー膜上に形成された遮光膜とを有し、
上記透明基板が露出した透過領域と、上記半透明膜が露出した半透過領域と、上記遮光膜が形成された遮光領域とを有する階調マスクであって、
上記半透明膜が露出している第1半透明膜パターンからなる第1測定マークと、
上記半透明膜が露出している第2半透明膜パターン、および、上記第2半透明膜パターン内に形成され、上記透明基板が露出している第2透明パターンを有する第2測定マークと、
上記半透明膜が露出している第3半透明膜パターン、上記エッチングストッパー膜が露出している第3エッチングストッパー膜パターン、および、上記第3半透明膜パターンおよび上記第3エッチングストッパー膜パターンに囲まれ、上記透明基板が露出している第3透明パターンを有する第3測定マークと
を有する重ね合わせ精度測定マークを備え、
上記第1半透明膜パターン、上記第2透明パターンおよび上記第3透明パターンは、互いに平行な一対のエッジを2組有し、2組のエッジは互いに垂直であり、
上記第1半透明膜パターンと、上記第2透明パターンと、上記第3半透明膜パターンと上記第3透明パターンとを合わせたパターンと、上記第3エッチングストッパー膜パターンと上記第3透明パターンとを合わせたパターンとが同一の形状を有し、
当該階調マスクを製造する際の上記第1半透明膜パターンのデータ寸法と、上記第2透明パターンのデータ寸法と、上記第3半透明膜パターンおよび上記第3透明パターンを合わせたパターンのデータ寸法と、上記第3エッチングストッパー膜パターンおよび上記第3透明パターンを合わせたパターンのデータ寸法とが同一であり、
当該階調マスクを製造する際の上記第2半透明膜パターンのデータ寸法が、上記第2透明パターンのデータ寸法よりも大きい
ことを特徴とするものである。
図5は、本実施態様の階調マスクの一例を示す断面図である。図5に例示するように、階調マスク1は、透明基板2と、透明基板2上に形成された半透明膜3と、半透明膜3上に形成されたエッチングストッパー膜4と、エッチングストッパー膜4上に形成された遮光膜5とを有しており、透明基板2が露出した透過領域11と、半透明膜3が露出した半透過領域12と、遮光膜5が形成された遮光領域13とを有している。さらに、階調マスク1は、図6(a)、(b)に例示するような重ね合わせ精度測定マーク20を備えている。
第1測定マーク51の第1半透明膜パターン41の形状は矩形、第2測定マーク52の第2透明パターン43の形状は矩形、第3測定マーク53の第3半透明膜パターン44と第3透明パターン46とを合わせたパターンの形状は矩形、第3測定マーク53の第3エッチングストッパー膜パターン45と第3透明パターン46とを合わせたパターンの形状は矩形であり、同一の形状となっている。
そして、2回目のパターニングにおける第3エッチングストッパー膜パターンおよび第3透明パターンを合わせたパターン63bは、1回目のパターニングにおける第3半透明膜パターンおよび第3透明パターンを合わせたパターン63aに対して、X方向の右方向に距離a1、Y方向の上方向に距離a2ずれている。そのため、第3測定マークを構成する第3透明パターンの寸法を測定することにより、X方向のオフセットa1およびY方向のオフセットa2だけずれて重なった部分の寸法を確認することができる。
また、1回目のパターニングにおける第2半透明膜パターン62aのデータ寸法(c1×c2)は、2回目のパターニングにおける第2透明パターン62bのデータ寸法(b5×b6)よりも大きくなっている。
まず、透明基板上に半透明膜、エッチングストッパー膜および遮光膜5aが順に積層されたマスクブランクを準備し(図9(a))、このマスクブランクの遮光膜5a上にフォトレジスト層を形成し、フォトレジスト層をパターン露光および現像して、フォトレジストパターン10bを形成する(図9(b))。次いで、フォトレジストパターン10bの開口部の遮光膜5aをエッチングして、フォトレジストパターン10bを除去して、遮光膜5bのパターンを形成する(図9(c))。次に、遮光膜5bのパターンの開口部のエッチングストッパー膜4aを剥離して半透明膜3aを露出させる(図9(d))。続いて、遮光膜5bのパターン上にフォトレジスト層を形成し、フォトレジスト層をパターン露光および現像して、フォトレジストパターン10dを形成する(図9(e))。次いで、フォトレジストパターン10dの開口部の半透明膜3aおよび遮光膜5bをエッチングして透明基板2およびエッチングストッパー膜4bを露出させ、フォトレジストパターン10dを除去する(図9(f))。これにより、図6(a)、(b)に例示する重ね合わせ精度測定マークが得られる。
図6(a)に例示する第2測定マーク52を構成する第2透明パターン43は、図7(a)、(b)および図9(a)〜(f)に例示するように、2回目のパターニングにて画定される。よって、第2測定マークを構成する第2透明パターンの寸法を測定することにより、2回目のパターニングの出来上がり寸法を確認することができる。
X方向のズレ量=(X2−a1−X3)−(X2−X1)/2 (3)
Y方向のズレ量=(Y2−a2−Y3)−(Y2−Y1)/2 (4)
上記式(3)において、(X2−a1−X3)は、X方向のオフセットa1だけずれて重なった部分の寸法(1回目のパターニングの出来上がり寸法と2回目のパターニングの出来上がり寸法との差(片側)を含む。)を示している。また、上記式(3)において、(X2−X1)/2は、X方向について、1回目のパターニングの出来上がり寸法と2回目のパターニングの出来上がり寸法との差(片側)を示している。
同様に、上記式(4)において、(Y2−a2−Y3)は、Y方向のオフセットa2だけずれて重なった部分の寸法(1回目のパターニングの出来上がり寸法と2回目のパターニングの出来上がり寸法との差(片側)を含む。)を示している。また、上記式(4)において、(Y2−Y1)/2は、Y方向について、1回目のパターニングの出来上がり寸法と2回目のパターニングの出来上がり寸法との差(片側)を示している。
一方、オフセットa1を左側にとる場合、上記式(3)においてX方向のズレ量がプラスの値になる場合には、図6(a)において1回目のパターニングに対する2回目のパターニングの重ね合わせが左方向にずれていることを意味し、上記式(3)においてX方向のズレ量がマイナスの値になる場合は、図6(a)において1回目のパターニングに対する2回目のパターニングの重ね合わせが右方向にずれていることを意味する。
一方、オフセットa2を下側にとる場合、上記式(4)においてY方向のズレ量がプラスの値になる場合には、図6(a)において1回目のパターニングに対する2回目のパターニングの重ね合わせが下方向にずれていることを意味し、上記式(4)においてY方向のズレ量がマイナスの値になる場合は、図6(a)において1回目のパターニングに対する2回目のパターニングの重ね合わせが上方向にずれていることを意味する。
本実施態様における重ね合わせ精度測定マークは、上記半透明膜が露出している第1半透明膜パターンからなる第1測定マークと、上記半透明膜が露出している第2半透明膜パターン、および、上記第2半透明膜パターン内に形成され、上記透明基板が露出している第2透明パターンを有する第2測定マークと、上記半透明膜が露出している第3半透明膜パターン、上記エッチングストッパー膜が露出している第3エッチングストッパー膜パターン、および、上記第3半透明膜パターンおよび上記第3エッチングストッパー膜パターンに囲まれ、上記透明基板が露出している第3透明パターンを有する第3測定マークとを有するものである。
以下、第1測定マーク、第2測定マークおよび第3測定マークに分けて説明する。
第1測定マークは、半透明膜が露出している第1半透明膜パターンから構成されるものである。
第1半透明膜パターンは、図6(a)に例示するように、第1半透明膜パターン41が遮光領域13で囲まれるように配置される。
第1半透明膜パターンは、互いに平行な一対のエッジを2組有し、2組のエッジは互いに垂直である。
ここで、上記の測定可能な線幅αとしては、0.7μm以上であることが好ましい。
また、上記の1回目のパターニングの出来上がり寸法および2回目のパターニングの出来上がり寸法の差としては、最大で0.5μm程度である。
第2測定マークは、半透明膜が露出している第2半透明膜パターンと、第2半透明膜パターン内に形成され、透明基板が露出している第2透明パターンとを有するものである。この第2透明パターンは、互いに平行な一対のエッジを2組有し、2組のエッジは互いに垂直である。
第2半透明膜パターンは、図6(a)に例示するように、第2半透明膜パターン42の外側が遮光領域13に接し、第2半透明膜パターン42の内側が第2透明パターン43に接するように配置される。
第2半透明膜パターンは、内側が第2透明パターンに接していることから、内側に互いに平行な一対のエッジを2組有し、2組のエッジが互いに垂直となっている。
第2半透明膜パターンの大きさとしては、重ね合わせズレ量と、第2透明パターンの大きさとの合計よりも大きければ特に限定されるものではない。第2半透明膜パターンの線幅が狭すぎるものは、パターニングが困難である。一方、第2半透明膜パターンが大きすぎると、階調マスクの有効面積が相対的に小さくなる。
第2透明パターンは、図6(a)に例示するように、第2透明パターン43が第2半透明膜パターン42で囲まれるように配置される。
この第2透明パターンは、互いに平行な一対のエッジを2組有し、2組のエッジは互いに垂直である。
なお、上記の測定可能な線幅α、および、1回目のパターニングの出来上がり寸法と2回目のパターニングの出来上がり寸法との差については、上述したとおりである。
第3測定マークは、半透明膜が露出している第3半透明膜パターンと、エッチングストッパー膜が露出している第3エッチングストッパー膜パターンと、第3半透明膜パターンおよび第3エッチングストッパー膜パターンに囲まれ、透明基板が露出している第3透明パターンとを有するものである。この第3透明パターンは、互いに平行な一対のエッジを2組有し、2組のエッジは互いに垂直である。
第3半透明膜パターンは、図6(a)に例示するように、遮光領域13および第3透明パターン46に接するように配置される。
第3半透明膜パターンは、第3透明パターンに接していることから、図6(a)に例示するように、第3半透明膜パターン44および第3透明パターン46の境界に、互いに垂直な一対のエッジを有している。
第3半透明膜パターンの大きさは、重ね合わせズレ量およびオフセットa1,a2に応じて決定される。パターニング性に関しては第3透明パターンの線幅に依存するので、第3半透明膜パターンの線幅は小さくてもパターニング性に影響はない。また、第3半透明膜パターンの大きさは、重ね合わせズレ量よりも小さくてもかまわない。
第3エッチングストッパー膜パターンは、図6(a)に例示するように、遮光領域13および第3透明パターン46に接するように配置される。
第3エッチングストッパー膜パターンは、第3透明パターンに接していることから、図6(a)に例示するように、第3エッチングストッパー膜パターン45および第3透明パターン46の境界に、互いに垂直な一対のエッジを有している。
第3エッチングストッパー膜パターンの大きさは、重ね合わせズレ量およびオフセットa1,a2に応じて決定される。パターニング性に関しては第3透明パターンの線幅に依存するので、第3エッチングストッパー膜パターンの線幅は小さくてもパターニング性に影響はない。また、第3エッチングストッパー膜パターンの大きさは、重ね合わせズレ量よりも小さくてもかまわない。
第3透明パターンは、図6(a)に例示するように、第3透明パターン46が第3半透明膜パターン44および第3エッチングストッパー膜パターン45で囲まれるように配置される。
この第3透明パターンは、互いに平行な一対のエッジを2組有し、2組のエッジは互いに垂直である。
第3透明パターンの大きさとしては、測定可能な線幅αよりも大きければ特に限定されるものではない。第3透明パターンの線幅が狭すぎるものは、パターニングが困難である。一方、第3透明パターンが大きすぎると、階調マスクの有効面積が相対的に小さくなる。
第1測定マーク、第2測定マークおよび第3測定マークは、図6(a)に例示するように、通常、それぞれ独立して配置される。
[実施例1]
本発明の効果を確認するために、520mm×800mm×10mmの石英ガラスを用いて実験を行った。石英基板上に、半透明膜(CrOx膜、膜厚50nm)、エッチングストッパー膜(Ti系膜、膜厚30nm)、遮光膜(Cr膜、膜厚150nm)の順に積層されているブランクスを用意した。
まず、ブランクスにフォトレジストを塗布し、基板の外周部に本発明の第1実施態様の重ね合わせ精度測定マークを形成するための1回目のパターンを描画した。この際、図4(b)に例示するように、外郭パターンとなる30μm×30μmの正方形の抜きパターン内に中央パターンとなる10μm×10μmの正方形のパターンが位置するように描画した。1回目のパターンでは、図10に例示するように、重ね合わせ精度測定マークが10箇所配置されるように設計した。続いて、レジストの現像、遮光膜のエッチング、およびエッチングストッパー膜のエッチングを行った後、レジスト剥離を行った。
次に、再びブランクスにフォトレジストを塗布し、本発明の第1実施態様の重ね合わせ精度測定マークを形成するための2回目のパターンを描画した。この際、図4(e)に例示するように、内郭パターンとなる20μm×20μmの正方形の抜きパターン内に上記1回目のパターニングで形成した中央パターンとなる10μm×10μmの正方形のパターンが位置するように描画した。続いて、レジストの現像、および半透明膜のエッチングを行った後、レジスト剥離を行った。
本発明の第2実施態様の重ね合わせ精度測定マークを形成するための1回目のパターンおよび2回目のパターンを描画した以外は、実施例1と同様にして重ね合わせ精度測定マークを形成した。
1回目のパターンの描画では、図7(a)に例示するように、第1測定マークおよび第3測定マークとなる10μm×10μmの正方形のパターンと、第2測定マークとなる15μm×15μmの正方形のパターンを描画した。
2回目のパターンの描画では、図7(b)に例示するように、第2測定マークおよび第3測定マークとなる10μm×10μmの正方形のパターンを描画した。この際、X方向およびY方向のオフセットをそれぞれ2μmとした。
そして、重ね合わせ精度測定マークをそれぞれ測定し、重ね合わせズレ量を算出した(表1参照)。
石英基板上に遮光膜(Cr膜、膜厚150nm)が形成されており、エッチングストッパー膜を有さないブランクスを用意した。
まず、ブランクスにフォトレジストを塗布し、基板の外周部に重ね合わせ精度測定マークを形成するための1回目のパターンを描画した。この際、図15(a)に例示するように、透明基板102上に半透明膜が形成された領域となる30μm×30μmの正方形の抜きパターン内に、透明基板102上に遮光膜105と半透明膜が積層された領域となる20μm×20μmの正方形のパターンが位置するように描画した。1回目のパターンでは、図10に例示するように、重ね合わせ精度測定マークが10箇所配置されるように設計した。続いて、レジストの現像、遮光膜のエッチングを行った後、レジスト剥離を行った。
次に、パターン状の遮光膜が形成された基板上に、半透明膜(CrOx膜、膜厚50nm)を形成した。次いで、半透明膜上にフォトレジストを塗布し、重ね合わせ精度測定マークを形成するための2回目のパターンを描画した。この際、図15(b)に例示するように、上記1回目のパターニングで形成した透明基板102上に遮光膜105と半透明膜103が積層された領域となる20μm×20μmの正方形のパターン内に、透明基板102が露出した領域となる10μm×10μmの正方形の抜きパターンが位置するように描画した。続いて、レジストの現像、ならびに半透明膜および遮光膜のエッチングを行った後、レジスト剥離を行った。
これにより、一般的なBox in Boxの重ね合わせ精度測定マークを得た。そして、重ね合わせズレ量を従来の方法で測定した(表1参照)。なお、図16(a)は図15(b)のF−F線断面図、図16(b)は重ね合わせ精度測定マークの上方から光を照射した場合の図15(b)のF−F線断面に応じた検出信号の光量を示すグラフである。
2 … 透明基板
3 … 半透明膜
4 … エッチングストッパー膜
5 … 遮光膜
11 … 透過領域
12 … 半透過領域
13 … 遮光領域
20 … 重ね合わせ精度測定マーク
21 … 外郭パターン
22 … 内郭パターン
23 … 中央パターン
31a、31b、32a、32b … 内郭パターンの外側エッジ
33a、33b、34a、34b … 内郭パターンの内側エッジ
Claims (3)
- 透明基板と、前記透明基板上に形成された半透明膜と、前記半透明膜上に形成されたエッチングストッパー膜と、前記エッチングストッパー膜上に形成された遮光膜とを有し、
前記透明基板が露出した透過領域と、前記半透明膜が露出した半透過領域と、前記遮光膜が形成された遮光領域とを有する階調マスクであって、
前記半透明膜が露出している外郭パターンと、前記外郭パターン内に形成され、前記透明基板が露出している内郭パターンと、前記内郭パターン内に形成され、前記エッチングストッパー膜が露出している中央パターンとを有する重ね合わせ精度測定マークを備え、
前記内郭パターンは、外側に互いに平行な一対の外側エッジを2組有し、内側に互いに平行な一対の内側エッジを2組有し、2組の外側エッジは互いに垂直であり、2組の内側エッジは互いに垂直である
ことを特徴とする階調マスク。 - 前記内郭パターンの外側の形状および内側の形状が矩形であることを特徴とする請求項1に記載の階調マスク。
- 透明基板と、前記透明基板上に形成された半透明膜と、前記半透明膜上に形成されたエッチングストッパー膜と、前記エッチングストッパー膜上に形成された遮光膜とを有し、
前記透明基板が露出した透過領域と、前記半透明膜が露出した半透過領域と、前記遮光膜が形成された遮光領域とを有する階調マスクであって、
前記半透明膜が露出している第1半透明膜パターンからなる第1測定マークと、
前記半透明膜が露出している第2半透明膜パターン、および、前記第2半透明膜パターン内に形成され、前記透明基板が露出している第2透明パターンを有する第2測定マークと、
前記半透明膜が露出している第3半透明膜パターン、前記エッチングストッパー膜が露出している第3エッチングストッパー膜パターン、および、前記第3半透明膜パターンおよび前記第3エッチングストッパー膜パターンに囲まれ、前記透明基板が露出している第3透明パターンを有する第3測定マークと
を有する重ね合わせ精度測定マークを備え、
前記第1半透明膜パターン、前記第2透明パターンおよび前記第3透明パターンは、互いに平行な一対のエッジを2組有し、2組のエッジは互いに垂直であり、
前記第1半透明膜パターンと、前記第2透明パターンと、前記第3半透明膜パターンと前記第3透明パターンとを合わせたパターンと、前記第3エッチングストッパー膜パターンと前記第3透明パターンとを合わせたパターンとが同一の形状を有し、
当該階調マスクを製造する際の前記第1半透明膜パターンのデータ寸法と、前記第2透明パターンのデータ寸法と、前記第3半透明膜パターンおよび前記第3透明パターンを合わせたパターンのデータ寸法と、前記第3エッチングストッパー膜パターンおよび前記第3透明パターンを合わせたパターンのデータ寸法とが同一であり、
当該階調マスクを製造する際の前記第2半透明膜パターンのデータ寸法が、前記第2透明パターンのデータ寸法よりも大きい
ことを特徴とする階調マスク。
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