JP5181963B2 - 配向測定における補正係数算出方法 - Google Patents
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Description
(ステップ1)
複数個の誘電体共振器の測定面の全てを覆う大きさ以上の基準フィルムを測定ヘッド上に載せ、空気吸引力によって基準フィルムを測定ヘッドに吸着させた状態で、各誘電体共振器の共振周波数を測定し、その共振周波数を試料がないブランク時の共振周波数とするステップ。
(ステップ2)
複数個の誘電体共振器の測定面の全てを覆う大きさ以上の試料を測定ヘッド上に載せ、さらに試料の上に基準フィルムを載せて、試料と基準フィルムを測定ヘッドに重ねて吸着させた状態で、各誘電体共振器の共振周波数を測定し、その共振周波数を試料の共振周波数とするステップ。
(ステップ3)
ステップ2において基準フィルムを測定ヘッドに対して回転させることなく、測定ヘッドと基準フィルムの間に位置する試料のみを測定ヘッドの中心部を中心として任意の回転角ずつ回転させながら、順次各誘電体共振器の共振周波数を測定するステップ。
(ステップ4)
ステップ2および3で得られた各誘電体共振器の全ての共振周波数と、ステップ1のブランク時の共振周波数との差から、各誘電体共振器の各回転角毎のシフト量を求めるステップ。
(ステップ5)
ステップ4で得られた各誘電体共振器の各回転角毎のシフト量を、各誘電体共振器毎に平均値を算出するステップ。
(ステップ6)
ステップ5の各誘電体共振器毎のシフト量を規格化して補正係数を求めるステップ。
図1は一つの誘電体共振器を示し、(1)は平面図、(2)は断面図である。誘電体となる直方体のセラミック6はアルミブロック製の金属ケース7の中に、金属ケース7と直方体のセラミック6の上面が一致するように固定される。セラミック6の近傍にはロッドアンテナ8a,8bが設けられこのアンテナにマイクロ波が入出力されて、セラミック6が共振させられる。セラミック6と金属ケース7の間の隙間にはゴミ等の侵入を防止するためテトラフルオロエチレン樹脂製のカバー9が設けられている。
よってこのときのブランクは何も置かない状態である。PETフィルムは測定ヘッド上で72度ずつ回転させながら測定し、最初にPETフィルムを測定ヘッド上に置いた際に、誘電体共振器のNo.1〜5上に位置したPETフィルムの場所に、それぞれポジション(Pos)A〜Eと名前をつけた。横軸がA〜Eの各ポジションであり、縦軸にシフト量を表す。図8において、No.1〜5の各共振器のグラフ形状はほぼ同じとなり、Δfがシフトしているように見える。各ポジションでの縦軸のばらつきが各誘電体共振器固有の個体差であって、これらのグラフのΔfの大きさを標準化することが個体差の補正であり、結果として補正後の図9を導くものである。
1.走行する試料に測定ヘッドを接触させた状態で、各誘電体共振器の共振周波数を測定する。
2.各誘電体共振器の共振周波数とブランク時共振周波数の差から測定試料の周波数シフト量を算出する。
3.測定試料の周波数シフト量に前述の手順で求めた誘電体共振器ヘッドの各々の補正係数を乗算して補正後のシフト量とし、その値を元に試料の配向を求める。具体的には補正後のシフト量を極座標上にプロットし、配向パターンが求められる。
以下に本発明に係る実装体製造の具体例を説明するが、本発明はこれらの例に限定されるものではない。
試料をシワや折り目の入った上質紙(米坪70g/m2)、基準フィルムを厚さ100μmの市販フッ素系フィルム(ダイキン工業製、品名:NF−0100)とし、図2に示した測定ヘッドを使用し、図12に示した回路構成と図13に示したタイムチャートにしたがって測定を行った。試料は測定ヘッドの直径と同じサイズに切断し、測定ヘッドと試料を図7に示した方法に基づいて接触させた。試料を72度ずつ回転させて、各誘電体共振器毎に共振周波数のシフト量を測定し、図14のグラフを得た。補正後のグラフを図15に示す。図15は補正により、図14ではばらついていた5つのグラフが値、形状ともほぼ等しくなり、適正な補正が達成されたこと示す結果である。
実施例1と同じ紙を測定対象として測定を行った。ただし、基準フィルムは用いず、何も載せない状態をブランクとし、試料を測定する際には、基準フィルムを載せないで測定した。図16は補正前のグラフであり、図17は補正後のグラフである。図17は補正をしても5つのグラフは値、形状とも尚揃わず、補正が上手く出来ていないことを示す結果である。
6:セラミック
7:金属ケース
8a、8b:ロッドアンテナ
9:カバー
10:測定ヘッド
11:試料
12:基準フィルム
13:空気吸引孔
14:配管
15:吸引ポンプ
Claims (2)
- 複数個の誘電体共振器を搭載して構成される測定ヘッドの誘電体共振器埋設部以外の部分に空気吸引孔を設け、空気吸引力によって測定対象試料(以下、試料という)を測定ヘッドに吸着させることにより、測定ヘッドと試料の接触状態をオンラインでの測定状態と実質的に同一と仮定した各誘電体共振器の補正係数算出方法において、全ての空気吸引孔を塞ぐ試料と略同一サイズの無配向フィルム(以下、基準フィルムという)を測定ヘッドに吸着させて測定した場合の共振周波数と、全ての空気吸引孔を塞ぐ試料を測定ヘッドに載せ、さらに試料の上から基準フィルムを載せて、試料と基準フィルムを重ねて測定ヘッドに吸着させて測定した場合の共振周波数から各誘電体共振器の補正係数を求める配向測定における補正係数算出方法。
- 請求項1に記載の補正係数算出方法において、次のステップを備えたことを特徴とする配向測定における補正係数算出方法。
(ステップ1)
複数個の誘電体共振器の測定面の全てを覆う大きさ以上の基準フィルムを測定ヘッド上に載せ、空気吸引力によって基準フィルムを測定ヘッドに吸着させた状態で、各誘電体共振器の共振周波数を測定し、その共振周波数を試料がないブランク時の共振周波数とするステップ。
(ステップ2)
複数個の誘電体共振器の測定面の全てを覆う大きさ以上の試料を測定ヘッド上に載せ、さらに試料の上に基準フィルムを載せて、試料と基準フィルムを測定ヘッドに重ねて吸着させた状態で、各誘電体共振器の共振周波数を測定し、その共振周波数を試料の共振周波数とするステップ。
(ステップ3)
ステップ2において基準フィルムを測定ヘッドに対して回転させることなく、測定ヘッドと基準フィルムの間に位置する試料のみを測定ヘッドの中心部を中心として任意の回転角ずつ回転させながら、順次各誘電体共振器の共振周波数を測定するステップ。
(ステップ4)
ステップ2および3で得られた各誘電体共振器の全ての共振周波数と、ステップ1のブランク時の共振周波数との差(以下、シフト量という)から、各誘電体共振器の各回転角毎のシフト量を求めるステップ。
(ステップ5)
ステップ4で得られた各誘電体共振器の各回転角毎のシフト量を、各誘電体共振器毎に平均値を算出するステップ。
(ステップ6)
ステップ5の各誘電体共振器毎のシフト量を規格化して補正係数を求めるステップ。
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JP2008240306A JP5181963B2 (ja) | 2008-09-19 | 2008-09-19 | 配向測定における補正係数算出方法 |
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