JP5174693B2 - 顕微鏡システム - Google Patents

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Description

本発明は、サンプルを載置する電動ステージを備えた顕微鏡システムに関するものである。
従来、顕微鏡は、生物分野の研究や工業分野の検査工程などに幅広く利用されている。通常、顕微鏡を使用する際は、ステージハンドルを手動操作することによってサンプルが載せられているXYステージをXY方向に移動し、サンプルに対する観察位置合わせ作業を行う。一方、顕微鏡のXYステージには電動で操作できるものがあり、ジョイスティックやGUIなどの操作入力手段によって操作するのが一般的である。
ところで、顕微鏡に用いられる高倍率の対物レンズは、サンプルの狭い範囲を光学的に拡大する。高倍率の対物レンズを取り付けた状態で素早く観察位置合わせを行うには、XYステージを微小移動しなければならず、かなりの熟練を要する。この場合、ステージの操作性が悪いと、観察位置合わせに要する時間が長くなって、検査や生産の効率が低下するという悪影響を及ぼす。特に、検査工程などのルーチン作業の中では、観察位置合わせを素早く行って検査時間を短縮することが非常に重要になる。このような実情から観察位置合わせ操作を容易に行える電動ステージを備えた顕微鏡が種々提案されている。
例えば、特許文献1に示される顕微鏡は、対物レンズの倍率によってジョイスティックの操作モードを変えている。低倍率の対物レンズで試料全体のスクリーニングを行う場合は、XYステージはスクリーニングもれがないように矩形波状のパターンに駆動され、ユーザーが詳細観察点を見つけ、対物レンズを高倍に切り換えると、XYステージはユーザーの操作指示による移動が低速の操作モードに切り換えられる。これにより、ユーザーが観察の倍率を切り換えた際、スクリーニングに適したXY方向の移動操作を効率的に行うことができる。さらに、対物レンズを高倍に切り換えると同時に、XYステージの移動範囲に制限を設けることによって、観察状況に適したXYステージの移動を可能としている。
また、特許文献2に示される顕微鏡は、被検査物のサイズに応じた検査範囲にXYステージの可動範囲を設定し、可動範囲を超える操作指示が与えられた場合は、XYステージの駆動を停止するようになっている。
以上のような特許文献1および2に示される顕微鏡は、観察位置合わせを行うときのXYステージの駆動操作に係る手間や煩わしさを解消するように改善が図られたものである。
特開2005−221790号公報 特開2000−75215号公報
ところで、上記の従来の特許文献1および2の顕微鏡では、通常、XYステージの移動範囲は、現在観察している倍率よりも低い倍率で観察しながら設定する。このため、高倍率で観察している際にXYステージの移動範囲を設定するには、ユーザーは、現在の観察倍率よりも低い倍率の対物レンズに切り換えてからステージの移動範囲を設定するという手間を要していた。また、高倍率で観察する際、ジョイスティックの操作を誤ると、制限された可動範囲内でステージが所望の観察位置から大きく外れた位置に移動するおそれがあることから、観察位置合わせを行う際の操作性は必ずしも良好とは言えなかった。
本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、観察位置合わせ時の操作性を高めることができる顕微鏡システムを提供することを目的とする。
上記の目的を達成するために、本発明に係る顕微鏡システムは、サンプルを載置し、平面内で移動可能なステージと、前記ステージを駆動する駆動手段と、前記駆動手段の駆動を制御する制御手段と、前記サンプルに対向して配置され、選択的に倍率を変更可能に構成した対物レンズと、前記対物レンズを介して前記サンプルの光学像を観察可能な観察手段とを備えた顕微鏡システムであって、前記ステージの移動を操作者の操作によって入力指示する操作入力手段と、前記対物レンズの倍率を認識する倍率認識部と、前記観察手段によって現在観察されている視野の中心が前記観察手段によって観察される観察視野内に含まれるように前記ステージを移動させる駆動モードと、前記観察手段によって現在観察されている視野を現在観察されている視野に隣接する視野へ移動するように前記ステージを移動させる駆動モードとに切り換えるための切り換え手段と、を有し、前記制御手段は、前記倍率認識部で取得した前記対物レンズの倍率情報と、前記切り換え手段により選択された駆動モードに応じて、前記ステージの移動範囲を設定し、前記操作入力手段の操作による入力指示に基づき前記駆動手段の駆動を制御することを特徴とする。
また、本発明に係る顕微鏡システムは、上述した発明において、前記駆動モードが、現在観察されている視野に隣接する視野へ移動する駆動モードである場合、前記制御手段は、前記操作入力手段の入力指示に基づいて前記駆動手段を駆動させ、前記観察手段によって現在観察されている視野を現在観察されている視野に隣接する視野へ移動するように前記駆動手段を制御することを特徴とする
また、本発明に係る顕微鏡システムは、上述した発明において、前記駆動モードが、現在観察されている視野に隣接する視野へ移動する駆動モードである場合、前記制御手段は、前記操作入力手段の入力指示に基づいて前記駆動手段を駆動させ、前記観察手段によって現在観察されている視野の一部が移動後の視野に残るように前記駆動手段を制御することを特徴とする
本発明によれば、サンプルを載置し、平面内で移動可能なステージと、前記ステージを駆動する駆動手段と、前記駆動手段の駆動を制御する制御手段と、前記サンプルに対向して配置され、選択的に倍率を変更可能に構成した対物レンズと、前記対物レンズを介して前記サンプルの光学像を観察可能な観察手段とを備えた顕微鏡システムであって、前記制御手段は、前記ステージの移動可能範囲を、前記観察手段によって現在観察される視野の少なくとも一部を含む範囲または現在観察される視野の境界に隣接する範囲として、前記駆動手段の駆動を制御するので、ユーザーがステージを動かして観察位置合わせを行う際に、ステージの移動範囲が、現在観察している視野を含む範囲または視野に隣接する範囲に制限され、観察位置合わせ時の操作性を高めることができる。
以下に添付図面を参照しながら、本発明に係る顕微鏡システムの好適な実施の形態(実施の形態1〜3)を詳細に説明する。
(実施の形態1)
本発明の実施の形態1について説明する。図1−1は、本発明に係る顕微鏡システムのブロック図である。図1−2は、本発明に係る顕微鏡システムの概略斜視図である。
図1−1および図1−2に示すように、本発明に係る顕微鏡システムは、電動XYステージユニット101のステージ102に載置されたサンプル103に光を照射する光源ユニット104と、観察ユニット105と、10倍の対物レンズ106および20倍の対物レンズ107を切り換えるための電動レボルバユニット108と、対物レンズ倍率認識部109と、撮像デバイスのサイズが1/3インチのCCDカメラ110と、ジョイスティック111と一体に構成した制御手段としてのXYステージ制御部112と、CCDカメラ110により得られたサンプル103の光学拡大画像を表示するための観察手段としてのモニタ113とから構成される。
観察ユニット105には、図示しない観察光学系や照明光学系が内蔵されてあり、光源ユニット104と、レボルバユニット108と、CCDカメラ110とがそれぞれ取り付けてある。光源ユニット104は、図示しない例えばハロゲンランプ、キセノンランプ、LEDなどの光源を有する。また、本発明の顕微鏡システムは、ステージ102と観察ユニット105の少なくとも一方を対物レンズの光軸方向に移動させて相対距離を調整する図示しない焦準機構を備える。
<電動XYステージユニットの構成>
図2−1は、電動XYステージユニットの概略下面図であり、図2−2は、電動XYステージユニットの概略側面図である。
図2−1および図2−2に示すように、電動XYステージユニット101は、ステージ102を保持しX軸方向に移動させるための枠体201と、ステージ102を保持しY軸方向に移動させるための枠体211と、ステージおよび枠体をX軸方向に駆動するための駆動手段としてのX軸ステッピングモータ202と、Y軸方向に駆動するためのY軸ステッピングモータ203と、これらステッピングモータの駆動に伴いステージ102を移動させるステージ駆動機構としてのX軸シャフト204と、Y軸シャフト205とから構成される。
ここで、ステージ102は、ステッピングモータの1パルスの駆動で1μm移動するように、X軸シャフト204、Y軸シャフト205の図示しないギア機構によって設定されている。ステッピングモータ202、203はXYステージ制御部112に接続され、XYステージ制御部112から出力された励磁パターン電流により駆動される。
このステージ102は、ステッピングモータ202をCWに駆動すると右側に移動し、CCWに駆動すると左側に移動する構成としてある。また、ステッピングモータ203をCWに駆動すると上側に移動し、CCWに駆動すると下側に移動する構成としてある。
ステージ102は、ステージ102のXY方向の移動位置を検出するための検出手段として、例えばフォトインタラプターなどのX軸原点センサ207、Y軸原点センサ208を有する。ステージ102の下面には、X軸原点センサ207、Y軸原点センサ208の検出光を遮光するX軸原点センサ遮光部209、Y軸原点センサ遮光部210がそれぞれ固定されており、ステージの移動によりセンサ207、208の状態(ON/OFF)を切り換える。X軸原点センサ遮光部209とY軸原点センサ遮光部210の固定位置は、ステージ102が基準位置であるXY方向の中心に位置するとセンサ207、208の状態(ON/OFF)が切り換わるような位置にしてある。XYステージ制御部112が、原点センサ207、208を読み取りセンサの状態を取得することで、ステージの現在の位置が基準位置からどちらの方向にあるか判断することができる。
<XYステージ制御部の構成>
図3は、XYステージ制御部のブロック図である。
図3に示すように、XYステージ制御部112は、ジョイスティック111と、ジョイスティック111からのアナログ信号を8ビットでA/D変換するA/D変換器301、302と、A/D変換器301、302から得られたデジタル信号を解析し、ステージ102を駆動するためのパルス量と駆動方向とを送るCPU303と、制御に用いるデータを一時的に格納するRAM304と、制御に用いるプログラムを格納するROM305とを備える。CPU303は、観察ユニット105内の対物レンズ倍率認識部109より現在の観察倍率を取得する。
また、XYステージ制御部112は、ステージ102の現在位置を記憶する一方で、CPU303からパルス量と駆動方向とを受信後、X軸ドライバ306、Y軸ドライバ307へパルスと回転方向とを送り、X軸ステッピングモータ202、Y軸ステッピングモータ203の駆動完了をCPU303に送信するX軸I/O308、Y軸I/O309とをさらに備える。
上記の構成により、XYステージ制御部112は、ユーザーのジョイスティック111の操作に応じてX軸ステッピングモータ202、Y軸ステッピングモータ203を駆動させ、ステージ102をXY方向に移動させる。このように、ステージを移動させるアクチュエータとしてステッピングモータを用いるため、XYステージ制御部112はオープンループでのステージ制御が可能である。
<ジョイスティックの構成>
図3に示すように、ジョイスティック111は、X軸用の可変抵抗器Rx310と、Y軸用の可変抵抗器Ry311とから構成される。可変抵抗器Rx310、可変抵抗器Ry311は、垂直に立った一本のレバーのXY方向の傾き角に応じてその抵抗値が変化し、Vj/2を中心としてVjからGNDの間のアナログ信号をX軸とY軸で出力することができる。
ジョイスティック111は、自動復帰式であり、ユーザーがジョイスティック111から手を離すとレバーは常に垂直に戻る機構としてある。ジョイスティック111は、レバーを斜め方向に倒せば可変抵抗器Rx310と可変抵抗器Ry311の両方の抵抗値をそれぞれ変化させることができるので、X軸とY軸のアナログ信号を同時に出力することができる。
図4−1、図4−2および図4−3は、可変抵抗器Rxから得られたアナログ信号をA/D変換したときのCPUの動作を説明する図である。A/D変換器301、302の分解能は8ビットであり、可変抵抗器Rx310、可変抵抗器Ry311から出力されるアナログ信号は256階調でA/D変換される。
図4−1に示すように、ジョイスティック111が垂直に立っているときの可変抵抗器Rx310は、左縦軸のVj/2をアナログ信号として出力するので、A/D変換後のデジタル信号は右縦軸の128となる。本実施の形態1では、デジタル信号の中央値128を基準とした±16階調(112〜144)の間は不感帯Eとなっており、この不感帯Eの範囲ではCPU303がステージ102を駆動しないように設定している。
図4−2に示すように、ユーザーがジョイスティック111を右側に倒しデジタル信号の不感帯Eの上限範囲(144)を超えると、CPU303はジョイスティック111が右方向に倒されたことを検出し、X軸の駆動方向がCWであると判定する。CPU303は、ジョイスティック111が倒されたことを検出している間は、X軸I/O308に駆動指示を出力し続け、ジョイスティック111のレバーが垂直に復帰してデジタル信号が不感帯Eに戻ると、駆動指示を出力するのを止める。
同様に、図4−3に示すように、ユーザーがジョイスティック111を左側に倒しデジタル信号の不感帯Eの下限範囲(112)を下回ると、CPU303はジョイスティック111が左方向に倒されたことを検出し、X軸の駆動方向がCCWであると判定する。なお、Y軸の可変抵抗器RyについてもX軸の可変抵抗器Rxの場合と同様の判定がなされる。
<実視野の算出方法>
XYステージ制御部112は、対物レンズの倍率から算出される実視野(Field of View。以下、「FOV」という。)を基にステージ102を駆動するためのパルス数と移動範囲を決定する。
TV観察時の実視野FOVは以下の式で算出される。
FOV=撮像デバイスサイズ÷(m(ob)×m(TV)) …(1)式
ここで、m(ob):対物レンズの倍率
m(TV):TVアダプタの投影倍率
1/3インチCCDの撮像デバイスサイズ:X=4.8mm、Y=3.6mm
例えば、撮像デバイスのサイズを1/3インチCCDとし、TVアダプタの投影倍率を1倍とすると、20倍の対物レンズの実視野は、上記(1)式によりX軸の実視野FOVX=240μm、Y軸の実視野FOVY=180μmと求められる。
<ステージの移動範囲の設定>
XYステージ制御部112は、ステージ102が現在の位置から移動できる範囲に制限を設けるため、観察視野内に現在の観察視野の中心が存在する状態でステージ102を移動する制御を行う。この場合、図5に示すように、現在の観察視野の中心をCとするステージ移動前の視野P0を、右上に移動可能な範囲P1(ステージを左下に移動可能な範囲)に移動したときの移動後の視野の中心はAとなる。一方、視野P0を、左下に移動可能な範囲P2(ステージを右上に移動可能な範囲)に移動したときの移動後の視野の中心はBとなる。
現在の観察視野の中心がモニタ113上に存在する状態を維持するには、視野の移動範囲をFOVの1/2未満に制限する必要がある。この場合、対物レンズの倍率が20倍のときの視野の移動範囲は、FOVX/2=120μm、FOVY/2=90μmである。このことから、視野の中心が存在した状態で、現在の位置から視野を移動できる範囲は、X軸が−120μm<X<120μm、Y軸が−90μm<Y<90μmであり、ステージ102が現在の位置から駆動できるX軸の範囲はCW方向に120パルス、CCW方向に120パルス、Y軸の範囲はCW方向に90パルス、CCW方向に90パルスとなる。
このような条件でステージ102を駆動した場合の、ステージの移動前と移動後の視野を図6−1および図6−2に示す。図6−1および図6−2に示すように、点線で示したステージ移動後の視野P1には、ステージ移動前の視野P0の中心Cが含まれていることが判る。ここで、図6−1において、ステージ移動量XはCCW120パルスであり、視野の移動量LXは120μmである。図6−2において、ステージ移動量YはCCW90パルスであり、視野の移動量LYは90μmである。
また、CPU303がジョイスティック111から駆動方向を検出し、X軸I/O308とY軸I/O307に一度に送るパルス量NはFOV/2の値よりも小さい値に設定する。本実施の形態1では、一度に送るパルス量Nを10パルスに設定した。
以上のように構成された本実施の形態1の動作および作用について説明する。
光源ユニット104から観察ユニット105に導入された光は、図示しない照明光学系を通して対物レンズによってサンプル102上に集光される。サンプル102からの反射光は、再び対物レンズと観察ユニット105とを介してCCDカメラ110の受光素子上に結像され、ユーザーはモニタ113により画像表示されるサンプル103の光学像を観察することができる。
<ステージの初期化>
顕微鏡システムの電源を投入すると、まず初めに電動XYステージユニット101の初期化動作が行われる。図7は、電動XYステージユニット101の初期化前と初期化後のステージ102の位置を示す側面図である。図中、初期化前のステージ102およびX軸原点センサ遮光部209を実線で示し、初期化後を点線で示してある。
まず、CPU303は、X軸原点センサ207の状態を取得する。次に、CPU303はX軸原点センサ207が遮光されてなければ、ステージ102が初期化位置の右側に位置すると判断し、ステッピングモータ202をCCW方向に駆動し、ステージ102を左方向へ駆動させ、X軸原点センサ遮光部209をX軸原点センサ207により検出する。この検出と同時に初期化が完了する。顕微鏡システムの電源が投入されたとき、X軸原点センサ207が遮光されていれば、CPU303はステージ102が初期化位置の左側に位置すると判断し、X軸ステッピングモータ202をCW方向に駆動し、ステージ102を右方向へ駆動させることで初期化動作を行う。Y軸方向においても、X軸と同様の方法で初期化動作を行う。電動XYステージの初期化動作が行われると同時にレボルバユニット108の初期化も行われ、対物レンズは、10倍対物レンズ106が選択される。
ユーザーは、モニタ113の画像を見て、視野を移動したいと判断した場合、ジョイスティック111を操作することでステージ102の移動を制御し、観察に適切な位置に視野を移動することができる。
ユーザーがジョイスティック111を操作すると、CPU303は、以下のように、X軸の駆動方向(CW/CCW)とY軸の駆動方向(CW/CCW)を引数としてステージ102を駆動する処理を実行する。
引数 “X駆動方向(CW/CCW)”“Y駆動方向(CW/CCW)”
ジョイスティック111が操作されたときのCPU303の動作を、図8および図9のフローチャートを用いて説明する。この動作は、観察視野内に現在の観察視野の中心が存在する状態でステージを制御するものである。図8は、本実施の形態1のステージ制御のシーケンスを示す概略フローチャートであり、図9は、本実施の形態1のステージ制御のシーケンスを示す詳細フローチャートである。
ユーザーが詳細観察部を見つけ、対物レンズを10倍から20倍に切り換えると同時に、CPU303はステージ移動量X、ステージ移動量Yをゼロに初期化する。そして、図8の概略フローチャートに示すように、ステージ駆動指示処理を行い(ステップS1)、現在位置が制限位置か否かを判定してから(ステップS2)、XYステージを駆動し(ステップS3)、その後、処理する駆動軸を切り換える(ステップS4)という手順で処理を行う。
より具体的には、図9に示すように、CPU303は駆動軸AをX軸にセットする(ステップS101)。次に、CPU303は駆動軸Aの駆動方向D(CW/CCW)を取得し(ステップS102)、駆動方向DがCWならば(ステップS103がY)、CPUはNに10をセットし(ステップS104)、駆動方向DがCWでなければ(ステップS103がN)、Nに−10をセットする(ステップS105)。
次に、駆動軸AがX軸ならば(ステップS106がY)、ステージ移動量XにステップS104またはステップS105でセットしたNの値を加算し、ステージ移動量Xの値を更新する(ステップS107)。そして、ステージ移動量Xが−120<X<120の範囲内ならば(ステップS108がY)、CPU303はX軸モータドライバを選択し、駆動方向Dをセットし、10パルスをX軸I/O308に出力する(ステップS109)。その後、X軸I/O308からのX軸駆動完了信号を受信するまで待ち、受信したら(ステップS110がY)、ステップS111に移行する。ステップS108において、ステージ移動量Xが−120<X<120でなければ(ステップS108がN)、CPU303はステップS109、ステップS110の駆動処理を行わない。
CPU303はステージ駆動要求がなければ(ステップS111がN)、このシーケンス処理を終了し、ステージ駆動要求があれば(ステップS111がY)、ステップS112に移行する。駆動軸AがX軸であれば(ステップS112がY)、駆動軸AをY軸にセットして(ステップS113)、制御する軸をX軸からY軸に切り換え、ステップS102に戻りY軸の駆動処理を開始する。
ステップS106において、駆動軸AがY軸ならば(ステップS106がN)、CPUはステージ移動量YにステップS104またはステップS105でセットしたNの値を加算し、ステージ移動量Yの値を更新する(ステップS115)。そしてステージ移動量Yが−90<Y<90の範囲内ならば(ステップS116がY)、CPU303はY軸モータドライバを選択し、駆動方向Dをセットし、10パルスをY軸I/O309に出力する(ステップS117)。その後、Y軸I/O309からのY軸駆動完了信号を受信するまで待ち、受信したら(ステップS118がY)、ステップS111に移行する。ステップS116において、ステージ移動量Xが−90<Y<90の範囲内でなければ(ステップS116がN)、CPUはステップS117、ステップS118の駆動処理を行わない。
CPU303は駆動軸XとYの処理を同時に行ってはいないが、シーケンスを高速で繰り返すことで、ほぼ同時にX軸とY軸の駆動を可能としている。
本実施の形態1によれば、現在の観察視野の中心位置がモニタ113に存在する状態でステージ102を移動させることで、ユーザーがジョイスティック111の操作を誤って視野を所望の観察位置から大きく外れた位置に移動させてしまうことを防止することができる。このため、観察位置合わせ時の操作性を高めることができる。
(実施の形態2)
次に、本発明の実施の形態2について説明する。図10は、本実施の形態2の顕微鏡システムのXYステージ制御部のブロック図である。
図10に示すように、本実施の形態2に係る顕微鏡システムは、上記の実施の形態1の顕微鏡システムのジョイスティックの構成において、ステージの駆動モードを切り換える切り換え手段としてのスイッチを追加したものである。このスイッチをOFFにして操作すると、上記の実施の形態1の動作と同様の動作モードとなり、一方、スイッチをONにして操作すると、現在の観察視野に隣接する視野へ移動する駆動モードとなることを企図するものである。
<XYステージ制御部の構成>
図10に示すように、XYステージ制御部112は、ジョイスティック111と、ジョイスティック111からのアナログ信号を8ビットでA/D変換するA/D変換器301、302と、A/D変換器301、302から得られたデジタル信号を解析し、ステージ102を駆動するためのパルス量と駆動方向とを送るCPU303と、制御に用いるデータを一時的に格納するRAM304と、制御に用いるプログラムを格納するROM305とを備える。CPU303は、観察ユニット105内の対物レンズ倍率認識部109より現在の観察倍率を取得する。
また、XYステージ制御部112は、ステージ102の現在位置を記憶する一方で、CPU303からパルス量と駆動方向とを受信後、X軸ドライバ306、Y軸ドライバ307へパルスと回転方向とを送り、X軸ステッピングモータ202、Y軸ステッピングモータ203の駆動完了をCPU303に送信するX軸I/O308、Y軸I/O309とをさらに備える。
上記の構成により、XYステージ制御部112は、ユーザーのジョイスティック111の操作に応じてX軸ステッピングモータ202、Y軸ステッピングモータ203を駆動させ、ステージ102をXY方向に移動させる。このように、ステージを移動させるアクチュエータとしてステッピングモータを用いるため、XYステージ制御部112はオープンループでのステージ制御が可能である。
<ジョイスティックの構成>
ジョイスティック111は、X軸用の可変抵抗器Rx310と、Y軸用の可変抵抗器Ry311と、ステージの駆動モードを切り換える切り換え手段としてのスイッチ312とから構成される。スイッチ312はCPU303に接続され、ユーザーがスイッチ312を押下している間、CPU303はスイッチONを取得する。スイッチが押下されていない間、CPU303はスイッチOFFを取得する。
ユーザーがジョイスティック111のスイッチ312を押下していないとき、XYステージ制御部112は、ステージ102が現在の位置から移動できる範囲に制限をかけ、ジョイスティック111が操作された際には観察視野内に現在の観察視野の中心が存在する状態でステージを移動する。ここで、ユーザーが現在の観察視野に隣接する視野へ移動したいと判断した場合、ユーザーは、スイッチ312を押した状態、つまり、ジョイスティック111をZ軸方向に押下状態でジョイスティック111のレバーをX軸およびY軸方向に操作する。
現在の観察視野に隣接する視野へ移動するため移動量は、上記の実施の形態1で説明したFOVで求められる。X軸のFOVXは240μm、Y軸のFOVYは180μmであることから、現在の観察視野から隣接する視野に移動するための移動量は、X軸が240μm、Y軸が180μmである。このとき、ステージ102が現在の位置からX軸方向に駆動するパルス数はCW方向に240パルス、CCW方向に240パルス、Y軸の範囲はCW方向に180パルス、CCW方向に180パルスとなる。
このような条件でステージ102を駆動した場合の、ステージの移動前と移動後の視野を図11−1および図11−2に示す。図11−1および図11−2に示すように、点線で示したステージ移動後の視野P1は、ステージ移動前の視野P0に隣接していることが判る。ここで、図11−1において、ステージ移動量XはCCW240パルスであり、視野の移動量LXは240μmである。図11−2において、ステージ移動量YはCCW180パルスであり、視野の移動量LYは180μmである。
以上のように構成された本実施の形態2の動作および作用について説明する。
ユーザーがジョイスティック111のスイッチ312を押していないとき、CPU303は観察視野内に現在の観察視野の中心がモニタ113に存在する状態でステージを制御する。ユーザーが、スイッチ312を押した状態でジョイスティック111を操作すると、CPU303は、現在の観察視野に隣接する視野の領域へ移動する。
ユーザーは、モニタ113の画像を見て、視野を移動したいと判断した場合、ジョイスティック111を操作することでステージ102の移動を制御し、観察に適切な位置に視野を移動することができる。
ユーザーがジョイスティック111を操作すると、CPU303は、以下のように、X軸の駆動方向(CW/CCW)とY軸の駆動方向(CW/CCW)とスイッチ(ON/OFF)を引数としてステージを駆動する処理を実行する。
引数 “X駆動方向(CW/CCW)”“Y駆動方向(CW/CCW)”“スイッチ(ON/OFF)”
ジョイスティック111が操作されたときのCPU303の動作を、図12−1および図12−2のフローチャートを用いて説明する。図12−1および図12−2は、本実施の形態2のステージ制御のシーケンスを示す詳細フローチャートである。
ユーザーが詳細観察部を見つけ、対物レンズを10倍から20倍に切り換えると同時に、CPU303はステージ移動量X、ステージ移動量Yをゼロに初期化する。
図12−1および図12−2に示すように、CPU303は駆動軸AをX軸にセットする(ステップS201)。CPU303はNcoarseに240をセットする(ステップS202)。次に、CPU303は駆動軸Aの駆動方向D(CW/CCW)を取得し(ステップS203)、駆動方向DがCWならば(ステップS204がY)、CPU303は、ステップS205に移行し、駆動方向DがCWでなければ(ステップS204がN)、ステップS208に移行する。次に、スイッチ312がONでなければ、CPU303はNに+10をセットし(ステップS206)、スイッチ312がONであれば(ステップS205がY)、CPU303はNに、隣接する視野にステージを駆動させるためのパルス数Ncoarseをセットする(ステップS207)。ステップS204において、駆動方向DがCWでなく(ステップS204がN)、スイッチ312がONでなければ(ステップS208がN)、CPUはNに−10をセットし(ステップS209)、スイッチ312がONであれば(ステップS208がY)、CPU303はNにNcoarseをセットする(ステップS208)。
次に、駆動軸AがX軸ならば(ステップS211がY)、ステージ移動量XにステップS205、ステップS206、ステップS208、ステップS209、ステップS210でセットしたNの値を加算し、ステージ移動量Xの値を更新する(ステップS212)。そして、ステージ移動量Xが−120<X<120の範囲内ならば(ステップS213がY)、CPU303はX軸モータドライバを選択し、駆動方向Dをセットし、NパルスをX軸I/Oに出力する(ステップS214)。その後、X軸I/OからのX軸駆動完了信号を受信するまで待ち、受信したら(ステップS217がY)、ステップS218に移行する。ステップS213において、ステージ移動量Xが−120<X<120でなければ(ステップS212がN)、CPU303はスイッチ312を確認し、スイッチ312がONであれば(ステップS215がY)、ステージ移動量Xをゼロに初期化し(ステップS216)、ステップS214の駆動処理を行う。ステップS214のスイッチ312がONでなければ、CPUはステップS214、ステップS217の駆動処理を行わない。
CPU303はステージ駆動要求がなければ(ステップS218がN)、このシーケンス処理を終了し、ステージ駆動要求があれば(ステップS218がY)、ステップS219に移行する。駆動軸AがX軸であれば(ステップS219がY)、駆動軸AをY軸にセットして(ステップS220)、制御する軸をX軸からY軸に切り換え、Ncoarseを180にセットする(ステップS221)。ステップS203に戻りCPU303はY軸の駆動処理を開始する。
ステップS211において、駆動軸AがY軸ならば(ステップS211がN)、CPU303はステージ移動量YにステップS205、ステップS206、ステップS208、ステップS209、ステップS210でセットしたNの値を加算し、ステージ移動量Yの値を更新する(ステップS222)。そしてステージ移動量Yが−90<Y<90の範囲内ならば(ステップS223がY)、CPU303はY軸モータドライバを選択し、駆動方向Dをセットし、NパルスをY軸I/O309に出力する(ステップS224)。その後、Y軸I/O309からのY軸駆動完了信号を受信するまで待ち、受信したら(ステップS227がY)、ステップS218に移行する。ステップS223において、ステージ移動量Yが−90<Y<90の範囲内でなければ(ステップS223がN)、CPU303はスイッチ312の状態を確認し、スイッチ312がONであれば(ステップS225がY)、ステージ移動量Yをゼロに初期化し(ステップS226)、ステップS224、ステップS227の駆動処理を行う。ステップS225においてスイッチがONでなければ、CPUはステップS223、ステップS227の駆動処理を行わない。
本実施の形態2によれば、上記の実施の形態1の効果に加えて、現在の観察視野に隣接する領域に視野を移動するようにステージを駆動させることができる。これにより、観察視野の切り換えがスムーズとなり、このため、観察位置合わせ時の操作性を高めることができる。
また、上記の実施の形態2において、スイッチ312はジョイスティック111を押下することでONされるように構成したが、このようにする代わりに、例えばジョイスティック111の台座にスイッチを配置して、ジョイスティック111を操作する指とは異なる指でこのスイッチをONするように構成してもよいことはもちろんである。
(実施の形態3)
次に、本発明の実施の形態3について説明する。
本実施の形態3に係る顕微鏡システムは、上記の実施の形態2の顕微鏡システムのXYステージ制御部において、ステージ移動後の視野が、現在観察している視野の一部を含むように制御することを企図するものである。
ユーザーがジョイスティック111のスイッチ312を押していないとき、CPU303は観察視野内に現在の観察視野の中心が存在する状態を維持してステージ102を制御する。ユーザーが、スイッチ312を押した状態でジョイスティック111を操作すると、CPU303は、現在の観察視野の一部を含むように視野を移動するため、ステージ102の駆動制御を行う。
現在観察している視野の一部が移動後の視野に残るようにステージを移動するための駆動量は、上記の実施の形態1で説明したFOV未満に抑えて設定する必要がある。現在観察している視野の1/10をモニタ113に残して、隣接する視野の領域へ移動するには、FOVの値から、FOVを1/10倍した値を減算する。
Ncoarse=FOV−(FOV/10) …(2)式
20倍の対物レンズのFOVはFOVX=240μm、FOVY=180μmであるから、X軸方向に隣接する領域への視野の移動量は216μm、Y軸方向に隣接する領域への移動量は162μmと求められる。
このとき、ステージ102が現在の位置からX軸方向に駆動するパルス数はCW方向に216パルス、CCW方向に216パルス、Y軸の範囲はCW方向に162パルス、CCW方向に162パルスとなる。
このような条件でステージ102を駆動した場合の、ステージの移動前と移動後の視野を図13−1および図13−2に示す。図13−1および図13−2に示すように、点線で示したステージ移動後の視野P1は、ステージ移動前の視野P0の一部P3を残していることが判る。ここで、図13−1において、ステージ移動量XはCCW216パルスであり、視野の移動量LXは216μmである。図13−2において、ステージ移動量YはCCW162パルスであり、視野の移動量LYは162μmである。
以上のように構成された本実施の形態3の動作および作用について説明する。
ユーザーは、モニタ113の画像表示部の画像を見て、視野を移動したいと判断した場合、ジョイスティック111を操作することでステージ102の移動を制御し、観察に適切な位置に視野を移動することができる。
ユーザーがジョイスティック111を操作すると、CPU303は、以下のように、X軸の駆動方向(CW/CCW)とY軸の駆動方向(CW/CCW)とスイッチ312(ON/OFF)を引数としてステージ102を駆動する処理を実行する。
引数 “X駆動方向(CW/CCW)”“Y駆動方向(CW/CCW)”“スイッチ(ON/OFF)”
ジョイスティック111が操作されたときのCPU303の動作を、図14−1および図14−2のフローチャートを用いて説明する。図14−1および図14−2は、本実施の形態3のステージ制御のシーケンスを示す詳細フローチャートである。
ユーザーが詳細観察部を見つけ、対物レンズを10倍から20倍に切り換えると同時に、CPU303はステージ移動量X、ステージ移動量Yをゼロに初期化する。
図14−1および図14−2に示すように、CPU303は駆動軸AをX軸にセットする(ステップS301)。CPU303はNcoarseに216をセットする(ステップS302)。次に、CPU303は駆動軸Aの駆動方向D(CW/CCW)を取得し(ステップS303)、駆動方向DがCWならば(ステップS304がY)、CPU303は、ステップS305に移行し、駆動方向DがCWでなければ(ステップS304がN)、ステップS308に移行する。次に、スイッチ312がONでなければ、CPU303はNに+10をセットし(ステップS306)、スイッチ312がONであれば(ステップS305がY)、CPUはNに隣接する視野にステージを駆動させるためのパルス数Ncoarseをセットする(ステップS307)。ステップS304において、駆動方向DがCWでなく(ステップS303がN)、スイッチ312がONでなければ(ステップS308がN)、CPUはNに−10をセットし(ステップS309)、スイッチ312がONであれば(ステップS307がY)、CPU303はNにNcoarseをセットする(ステップS308)。
次に、駆動軸AがX軸ならば(ステップS311がY)、ステージ移動量XにステップS306、ステップS307,ステップS309、ステップS310でセットしたNの値を加算し、ステージ移動量Xの値を更新する(ステップS312)。そして、ステージ移動量Xが−120<X<120の範囲内ならば(ステップS313がY)、CPU303はX軸モータドライバを選択し、駆動方向Dをセットし、NパルスをX軸I/Oに出力する(ステップS314)。その後、X軸I/OからのX軸駆動完了信号を受信するまで待ち、受信したら(ステップS317がY)、ステップS318に移行する。ステップS313において、ステージ移動量Xが−120<X<120の範囲内でなければ(ステップS313がN)、CPU303はスイッチ312を確認し、スイッチ312がONであれば(ステップS315がY)、ステージ移動量Xをゼロに初期化し(ステップS316)、ステップS314の駆動処理を行う。ステップS314のスイッチ312がONでなければ、CPUはステップS314、ステップS317の駆動処理を行わない。
CPU303はステージ駆動要求がなければ(ステップS318がN)、このシーケンス処理を終了し、ステージ駆動要求があれば(ステップS318がY)、ステップS319に移行する。駆動軸AがX軸であれば(ステップS319がY)、駆動軸AをY軸にセットして(ステップS320)、制御する軸をX軸からY軸に切り換え、Ncoarseを162にセットする(ステップS321)。ステップS303に戻りCPU303はY軸の駆動処理を開始する。
ステップS311において、駆動軸AがY軸ならば(ステップS311がN)、CPU303はステージ移動量YにステップS306、ステップS307、ステップS309、ステップS310でセットしたNの値を加算し、ステージ移動量Yの値を更新する(ステップS322)。そしてステージ移動量Yが−90<Y<90の範囲内ならば(ステップS323がY)、CPU303はY軸モータドライバを選択し、駆動方向Dをセットし、NパルスをY軸I/O309に出力する(ステップS324)。その後、Y軸I/O309からのY軸駆動完了信号を受信するまで待ち、受信したら(ステップS327がY)、ステップS318に移行する。ステップS323において、ステージ移動量Yが−90<Y<90の範囲内でなければ(ステップS323がN)、CPU303はスイッチ312の状態を確認し、スイッチ312がONであれば(ステップS325がY)、ステージ移動量Yをゼロに初期化し(ステップS326)、ステップS324、ステップS327の駆動処理を行う。ステップS325においてスイッチがONでなければ、CPUはステップS323、ステップS327の駆動処理を行わない。
本実施の形態3によれば、上記の実施の形態2の効果に加えて、現在の観察視野の一部を移動後の視野に残すようにステージを駆動させることにより、移動前の視野との位置関係が判る状態で移動後の視野を観察することができる。また、ステージの移動をジョイスティックで操作する際に、視野が大きく移動しないので、操作における煩わしさが解消され、観察位置合わせ時の操作性を高めることができる。
実施の形態1の顕微鏡システムのブロック図である。 実施の形態1の顕微鏡システムの概略斜視図である。 電動XYステージユニットの概略下面図である。 電動XYステージユニットの概略側面図である。 実施の形態1のXYステージ制御部のブロック図である。 可変抵抗器のアナログ信号をA/D変換する動作の説明図である。 ジョイスティック操作時のA/D変換を説明する図である。 ジョイスティック操作時のA/D変換を説明する図である。 実施の形態1のステージ移動範囲と観察視野の説明図である。 実施の形態1のステージ移動前後の視野の説明図である。 実施の形態1のステージ移動前後の視野の説明図である。 初期化前後のステージの位置を示す側面図である。 実施の形態1、2、3の概略フローチャート図である。 実施の形態1の詳細フローチャート図である。 実施の形態2、3のXYステージ制御部のブロック図である。 実施の形態2のステージ移動前後の視野の説明図である。 実施の形態2のステージ移動前後の視野の説明図である。 実施の形態2の詳細フローチャート図である。 実施の形態2の詳細フローチャート図である。 実施の形態3のステージ移動前後の視野の説明図である。 実施の形態3のステージ移動前後の視野の説明図である。 実施の形態3の詳細フローチャート図である。 実施の形態3の詳細フローチャート図である。
101 電動XYステージユニット
102 ステージ
103 サンプル
104 光源ユニット
105 観察ユニット
106 対物レンズ(10倍)
107 対物レンズ(20倍)
108 電動レボルバユニット
109 対物レンズ倍率認識部(倍率認識部)
110 CCDカメラ
111 ジョイスティック(操作入力手段)
112 XYステージ制御部(制御手段)
113 モニタ(観察手段)
201,211 枠体
202 X軸ステッピングモータ(駆動手段)
203 Y軸ステッピングモータ(駆動手段)
204 X軸シャフト
205 Y軸シャフト
207 X軸原点センサ
208 Y軸原点センサ
209 X軸原点センサ遮光部
210 Y軸原点センサ遮光部
301,302 A/D変換器
303 CPU
304 RAM
305 ROM
306 X軸ドライバ
307 Y軸ドライバ
308 X軸I/O
309 Y軸I/O
310 可変抵抗器Rx
311 可変抵抗器Ry
312 スイッチ(切り換え手段)

Claims (3)

  1. サンプルを載置し、平面内で移動可能なステージと、前記ステージを駆動する駆動手段と、前記駆動手段の駆動を制御する制御手段と、前記サンプルに対向して配置され、選択的に倍率を変更可能に構成した対物レンズと、前記対物レンズを介して前記サンプルの光学像を観察可能な観察手段とを備えた顕微鏡システムであって、
    前記ステージの移動を操作者の操作によって入力指示する操作入力手段と、
    前記対物レンズの倍率を認識する倍率認識部と、
    前記観察手段によって現在観察されている視野の中心が前記観察手段によって観察される観察視野内に含まれるように前記ステージを移動させる駆動モードと、前記観察手段によって現在観察されている視野を現在観察されている視野に隣接する視野へ移動するように前記ステージを移動させる駆動モードとに切り換えるための切り換え手段と、
    を有し、
    前記制御手段は、前記倍率認識部で取得した前記対物レンズの倍率情報と、前記切り換え手段により選択された駆動モードに応じて、前記ステージの移動範囲を設定し、前記操作入力手段の操作による入力指示に基づき前記駆動手段の駆動を制御することを特徴とする顕微鏡システム。
  2. 前記駆動モードが、現在観察されている視野に隣接する視野へ移動する駆動モードである場合、前記制御手段は、前記操作入力手段の入力指示に基づいて前記駆動手段を駆動させ、前記観察手段によって現在観察されている視野を現在観察されている視野に隣接する視野へ移動するように前記駆動手段を制御することを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡システム。
  3. 前記駆動モードが、現在観察されている視野に隣接する視野へ移動する駆動モードである場合、前記制御手段は、前記操作入力手段の入力指示に基づいて前記駆動手段を駆動させ、前記観察手段によって現在観察されている視野の一部が移動後の視野に残るように前記駆動手段を制御することを特徴とする請求項1に記載の顕微鏡システム。
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