JP5171690B2 - Copper-clad laminate and manufacturing method thereof - Google Patents

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Description

本発明は、銅張積層板及びその製造方法に関し、より詳しくは、前記銅張積層板に使用される銅箔がクロムやクロメートを含まないクロムフリーの表面処理層を備える銅張積層板及びその製造方法に関する。   The present invention relates to a copper clad laminate and a method for producing the same, and more specifically, a copper clad laminate provided with a chromium-free surface treatment layer in which the copper foil used in the copper clad laminate does not contain chromium or chromate, and the copper clad laminate It relates to a manufacturing method.

銅張積層板に用いられる銅箔においては、銅張積層板としての電気特性、エッチング特性、耐熱性、耐薬品性といった諸特性を満足させるという観点から、銅箔表面の防錆性や、銅箔とポリイミド樹脂等の絶縁樹脂層との間の接着強度が要求されている。そのため、製箔後の銅箔の表面上に粗化処理を施し、更に粗化処理が施された表面上に亜鉛めっきやニッケルめっきを施し、更には亜鉛めっきやニッケルめっきが施された表面上に耐薬品性と防錆のための防錆処理層としてクロメート処理を施すといった方法が採用されていた。しかしながら、このような防錆処理層として施されるクロメート皮膜は、一般的に電解クロメートにより形成され、処理液中には公害規制物質である六価クロムが含まれているために、使用の制限がされるようになった。   In copper foil used for copper clad laminates, from the viewpoint of satisfying various characteristics such as electrical characteristics, etching characteristics, heat resistance, and chemical resistance as copper clad laminates, rust prevention on the surface of copper foil, copper Adhesive strength between the foil and an insulating resin layer such as polyimide resin is required. Therefore, on the surface of the copper foil after the foil formation, the surface is subjected to the roughening treatment, the surface subjected to the roughening treatment is subjected to galvanization or nickel plating, and the surface is further subjected to galvanization or nickel plating. A method of applying chromate treatment as a rust-proofing layer for chemical resistance and rust-proofing has been adopted. However, the chromate film applied as such a rust-proofing layer is generally formed by electrolytic chromate, and the treatment liquid contains hexavalent chromium, which is a pollution control substance. Has come to be.

そこで、クロメート処理以外の表面処理方法の検討がなされており、例えば、特開2005−353918号公報(特許文献1)には、粗化処理面を有する銅箔に、バリヤー層としてのニッケル層、耐熱層としての亜鉛層、防錆処理層としてのモリブデン化合物層、及びシランカップリング処理層を順に施してなるプリント配線板用の表面処理銅箔が開示されている。また、特開2007−009261号公報(特許文献2)には、セリウム化合物皮膜からなる防錆処理層が形成されているプリント配線板用の表面処理銅箔が開示されている。さらに、特開2008−111169号公報(特許文献3)には、防錆処理層としてニッケル合金層及びスズ層とシランカップリング処理層とを備える表面処理銅箔が開示されている。しかしながら、前記特許文献1〜3に記載されているような表面処理銅箔においては、モリブデン、セリウムやスズといった特殊な金属層を設けることを必要とし、また様々な機能を有する層を複数形成する必要があるため、表面処理層の形成工程が煩雑となるという問題があった。   Thus, surface treatment methods other than chromate treatment have been studied. For example, JP 2005-353918 A (Patent Document 1) discloses a copper layer having a roughened surface, a nickel layer as a barrier layer, A surface-treated copper foil for a printed wiring board is disclosed in which a zinc layer as a heat-resistant layer, a molybdenum compound layer as an antirust treatment layer, and a silane coupling treatment layer are sequentially applied. Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2007-009261 (Patent Document 2) discloses a surface-treated copper foil for a printed wiring board on which a rust-proofing layer made of a cerium compound film is formed. Furthermore, Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2008-111169 (Patent Document 3) discloses a surface-treated copper foil including a nickel alloy layer, a tin layer, and a silane coupling treatment layer as a rust prevention treatment layer. However, in the surface-treated copper foil as described in Patent Documents 1 to 3, it is necessary to provide a special metal layer such as molybdenum, cerium, or tin, and a plurality of layers having various functions are formed. Since it is necessary, there is a problem that the process of forming the surface treatment layer becomes complicated.

特開2005−353918号公報JP 2005-353918 A 特開2007−009261号公報JP 2007-009261 A 特開2008−111169号公報JP 2008-1111169 A

本発明は、上記従来技術の有する課題に鑑みてなされたものであり、ポリイミド樹脂層と、前記ポリイミド樹脂層の少なくとも片面に積層された表面処理銅箔とを備える銅張積層板において、クロムフリーでありながら十分な防錆性を有する表面処理層を備えており、しかもポリイミド樹脂層と表面処理銅箔との間の接着強度が十分に高い銅張積層板、並びにその製造方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above-described problems of the prior art, and is a copper-clad laminate including a polyimide resin layer and a surface-treated copper foil laminated on at least one surface of the polyimide resin layer. A copper-clad laminate having a surface treatment layer having sufficient anti-rust properties yet having a sufficiently high adhesive strength between the polyimide resin layer and the surface-treated copper foil, and a method for producing the same With the goal.

本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意研究を重ねた結果、ポリイミド樹脂層と、前記ポリイミド樹脂層の少なくとも片面に積層された表面処理銅箔とを備える銅張積層板において、前記表面処理銅箔として特定のニッケル−亜鉛合金及び特定量以上のケイ素を含有する表面処理層が形成されたものを用いることにより、クロムフリーでありながら十分な防錆性を有する表面処理層を備えており、しかもポリイミド樹脂層と表面処理銅箔との間の接着強度が十分に高い銅張積層板を得られることを見出し、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies to achieve the above object, the inventors of the present invention have provided a copper-clad laminate including a polyimide resin layer and a surface-treated copper foil laminated on at least one surface of the polyimide resin layer. By using a surface treatment layer containing a specific nickel-zinc alloy and a specific amount or more of silicon as the treated copper foil, a surface treatment layer having sufficient rust prevention properties while being chromium-free is provided. In addition, the present inventors have found that a copper-clad laminate having a sufficiently high adhesive strength between the polyimide resin layer and the surface-treated copper foil can be obtained, and the present invention has been completed.

すなわち、本発明の銅張積層板は、ポリイミド樹脂層と、前記ポリイミド樹脂層の少なくとも片面に積層された表面処理銅箔とを備える銅張積層板であって、
前記表面処理銅箔が、母材銅箔と、前記母材銅箔における前記ポリイミド樹脂層の形成面側に形成され、ニッケル−亜鉛合金及びシランカップリング剤に由来するケイ素を含有する表面処理層とを備えており、前記表面処理層中におけるニッケル含有量が0.1mg/dm以上であり、亜鉛含有量が0.05mg/dm以上であり、ニッケル及び亜鉛の含有量の合計に対するニッケル含有量の比率が50〜90質量%の範囲にあり、且つ、ケイ素含有量が、グロー放電発光分光測定法によるケイ素のピーク強度がニッケルのピーク強度に対して50%以上となる量であることを特徴とするものである。
That is, the copper clad laminate of the present invention is a copper clad laminate comprising a polyimide resin layer and a surface-treated copper foil laminated on at least one side of the polyimide resin layer,
The surface-treated copper foil is a base material copper foil and a surface-treated layer containing silicon derived from a nickel-zinc alloy and a silane coupling agent, which is formed on the surface of the polyimide resin layer on the base material copper foil. Nickel content in the surface treatment layer is 0.1 mg / dm 2 or more, zinc content is 0.05 mg / dm 2 or more, and nickel relative to the total of nickel and zinc contents The content ratio is in the range of 50 to 90% by mass, and the silicon content is such that the silicon peak intensity by glow discharge emission spectrometry is 50% or more with respect to the nickel peak intensity. It is characterized by.

本発明の銅張積層板の製造方法は、表面処理銅箔の表面にポリアミド酸の樹脂溶液を塗布し、熱処理して、ポリイミド樹脂層を形成させてなる銅張積層板の製造方法であって、
前記表面処理銅箔が、母材銅箔と、前記母材銅箔における前記ポリイミド樹脂層の形成面側に形成され、ニッケル−亜鉛合金及びシランカップリング剤に由来するケイ素を含有する表面処理層とを備えており、前記表面処理層中におけるニッケル含有量が0.1mg/dm以上であり、亜鉛含有量が0.05mg/dm以上であり、ニッケル及び亜鉛の含有量の合計に対するニッケル含有量の比率が50〜90質量%の範囲にあり、且つ、ケイ素含有量が、グロー放電発光分光測定法によるケイ素のピーク強度がニッケルのピーク強度に対して50%以上となる量であることを特徴とする方法である。
The method for producing a copper clad laminate of the present invention is a method for producing a copper clad laminate in which a polyimide resin layer is formed by applying a polyamic acid resin solution to the surface of a surface-treated copper foil, followed by heat treatment. ,
The surface-treated copper foil is a base material copper foil and a surface-treated layer containing silicon derived from a nickel-zinc alloy and a silane coupling agent, which is formed on the surface of the polyimide resin layer on the base material copper foil. Nickel content in the surface treatment layer is 0.1 mg / dm 2 or more, zinc content is 0.05 mg / dm 2 or more, and nickel relative to the total of nickel and zinc contents The content ratio is in the range of 50 to 90% by mass, and the silicon content is such that the silicon peak intensity by glow discharge emission spectrometry is 50% or more with respect to the nickel peak intensity. It is the method characterized by this.

また、本発明の銅張積層板及びその製造方法においては、表面処理層中のケイ素がアミン系シランカップリング剤に由来するものであることが好ましい。   Moreover, in the copper clad laminated board of this invention, and its manufacturing method, it is preferable that the silicon in a surface treatment layer originates in an amine-type silane coupling agent.

本発明によれば、ポリイミド樹脂層と、前記ポリイミド樹脂層の少なくとも片面に積層された表面処理銅箔とを備える銅張積層板において、クロムフリーでありながら十分な防錆性を有する表面処理層を備えており、しかもポリイミド樹脂層と表面処理銅箔との間の接着強度が十分に高い銅張積層板、並びにその製造方法を提供することが可能となる。   According to the present invention, in a copper clad laminate comprising a polyimide resin layer and a surface-treated copper foil laminated on at least one surface of the polyimide resin layer, the surface-treated layer having sufficient rust prevention properties while being chromium-free In addition, it is possible to provide a copper clad laminate having a sufficiently high adhesive strength between the polyimide resin layer and the surface-treated copper foil, and a method for producing the same.

以下、本発明をその好適な実施形態に即して詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to preferred embodiments thereof.

先ず、本発明の銅張積層板について説明する。すなわち、本発明の銅張積層板は、ポリイミド樹脂層と、前記ポリイミド樹脂層の少なくとも片面に積層された表面処理銅箔とを備える銅張積層板であって、
前記表面処理銅箔が、母材銅箔と、前記母材銅箔における前記ポリイミド樹脂層の形成面側に形成され、ニッケル−亜鉛合金及びケイ素を含有する表面処理層とを備えており、前記表面処理層中におけるニッケル含有量が0.1mg/dm以上であり、亜鉛含有量が0.05mg/dm以上であり、ニッケル及び亜鉛の含有量の合計に対するニッケル含有量の比率が50〜90質量%の範囲にあり、且つ、ケイ素含有量が、グロー放電発光分光測定法によるケイ素のピーク強度がニッケルのピーク強度に対して50%以上となる量であることを特徴とするものである。
First, the copper clad laminate of the present invention will be described. That is, the copper clad laminate of the present invention is a copper clad laminate comprising a polyimide resin layer and a surface-treated copper foil laminated on at least one side of the polyimide resin layer,
The surface-treated copper foil comprises a base material copper foil, and a surface treatment layer formed on the formation surface side of the polyimide resin layer in the base material copper foil, and containing a nickel-zinc alloy and silicon, The nickel content in the surface treatment layer is 0.1 mg / dm 2 or more, the zinc content is 0.05 mg / dm 2 or more, and the ratio of the nickel content to the total content of nickel and zinc is 50 to 50 It is in the range of 90% by mass, and the silicon content is such that the silicon peak intensity by glow discharge emission spectrometry is 50% or more with respect to the nickel peak intensity. .

本発明の銅張積層板は、表面処理銅箔とポリイミド樹脂層とを備えているものである。このような銅張積層板は、前記ポリイミド樹脂層の片面のみに前記表面処理銅箔を備える片面銅張積層板であってもよく、前記ポリイミド樹脂層の両面に前記表面処理銅箔を備える両面銅張積層板であってもよい。   The copper clad laminate of the present invention comprises a surface-treated copper foil and a polyimide resin layer. Such a copper-clad laminate may be a single-sided copper-clad laminate provided with the surface-treated copper foil only on one side of the polyimide resin layer, and both sides provided with the surface-treated copper foil on both sides of the polyimide resin layer. A copper-clad laminate may also be used.

本発明にかかる表面処理銅箔は、前記表面処理層を形成させる前の母材銅箔と、前記表面処理層とを備えるものである。このような母材銅箔は、電解銅箔及び圧延銅箔のうちのいずれであってもよい。このような母材銅箔の厚みは一般的な銅張積層板に用いられる銅箔の厚み範囲であれば特に制限はないが、銅張積層板の可撓性の観点から、70μm以下であることが好ましい。厚みが70μmを超えると得られる銅張積層板の用途が限定されるため好ましくない。また、銅張積層板をフレキシブル銅張積層板として用いる場合においては、前記母材銅箔の厚みが5〜35μmの範囲であることが好ましい。前記母材銅箔の厚みが5μm未満では、製造時においてシワ等が入りやすく、薄い銅箔の製造にコストがかかる傾向にあり、他方、厚みが35μmを超えると、得られる銅張積層板を用いた場合において、パソコン、携帯電話や携帯情報端末(PDA)の表示部である液晶ディスプレイを駆動するIC実装基板等の薄型化や小型化が不十分となる傾向にある。   The surface-treated copper foil according to the present invention comprises a base material copper foil before the surface-treated layer is formed and the surface-treated layer. Such a base material copper foil may be either an electrolytic copper foil or a rolled copper foil. The thickness of such a base material copper foil is not particularly limited as long as it is a thickness range of a copper foil used for a general copper-clad laminate, but is 70 μm or less from the viewpoint of flexibility of the copper-clad laminate. It is preferable. If the thickness exceeds 70 μm, the use of the obtained copper-clad laminate is limited, which is not preferable. Moreover, when using a copper clad laminated board as a flexible copper clad laminated board, it is preferable that the thickness of the said base material copper foil is the range of 5-35 micrometers. If the thickness of the base material copper foil is less than 5 μm, wrinkles and the like are likely to enter during production, and the production of thin copper foil tends to be costly. On the other hand, if the thickness exceeds 35 μm, the obtained copper-clad laminate When used, there is a tendency that an IC mounting substrate or the like for driving a liquid crystal display which is a display unit of a personal computer, a mobile phone or a personal digital assistant (PDA) is not sufficiently thin and small.

前記母材銅箔は、銅箔とポリイミド樹脂層との間の接着強度(ピール強度)や耐薬品性を向上させるという観点から、表面に粗化処理を施したものを用いることが好ましい。そして、前記母材銅箔の十点平均粗さ(Rz)は、上記観点及び得られる銅張積層板の屈曲性の観点から、1.5μm以下であることが好ましく、0.1〜1.0μmの範囲であることがより好ましい。また、前記母材銅箔の算術平均粗さ(Ra)は0.15μm以下であることが好ましい。なお、十点平均粗さ及び算術平均粗さはJIS B 0601に記載された方法に準じた方法で測定することができる。   From the viewpoint of improving the adhesive strength (peel strength) and chemical resistance between the copper foil and the polyimide resin layer, it is preferable to use a base material copper foil whose surface has been roughened. The ten-point average roughness (Rz) of the base material copper foil is preferably 1.5 μm or less from the above viewpoint and the flexibility of the obtained copper-clad laminate, and is preferably 0.1 to 1.m. A range of 0 μm is more preferable. The arithmetic average roughness (Ra) of the base material copper foil is preferably 0.15 μm or less. In addition, 10-point average roughness and arithmetic average roughness can be measured by a method according to the method described in JIS B 0601.

本発明にかかる表面処理層は、前記母材銅箔における前記ポリイミド樹脂層の形成面側に形成され、ニッケル−亜鉛合金及びケイ素を含有する層である。本発明においては、このような表面処理層を前記母材銅箔に形成させることにより前記母材銅箔に十分な防錆性を付与すると共に、ポリイミド樹脂層と表面処理銅箔との間の接着強度を向上させることが可能となる。このような表面処理層の厚みは、10〜50nmの範囲であることが好ましい。厚みが前記下限未満では、母材銅箔表面が均一に覆われず十分な防錆効果が得られにくくなる傾向にあり、他方、前記上限を超えると、表面処理層の銅エッチング液に対する溶解性(エッチング性)が不十分となる傾向にある。   The surface treatment layer concerning this invention is a layer formed in the formation surface side of the said polyimide resin layer in the said base material copper foil, and is a layer containing a nickel-zinc alloy and silicon. In the present invention, by forming such a surface treatment layer on the base material copper foil, the base material copper foil is provided with sufficient rust prevention property, and between the polyimide resin layer and the surface treatment copper foil. It becomes possible to improve adhesive strength. The thickness of such a surface treatment layer is preferably in the range of 10 to 50 nm. If the thickness is less than the lower limit, the surface of the base copper foil is not uniformly covered, and it is difficult to obtain a sufficient rust prevention effect. On the other hand, if the upper limit is exceeded, the solubility of the surface treatment layer in the copper etching solution is increased. (Etching property) tends to be insufficient.

本発明においては、前記表面処理層中におけるニッケル含有量が0.1mg/dm以上であることが必要である。ニッケル含有量が0.1mg/dm未満では、銅箔表面の防錆効果が十分でなく、加熱後や高温や高湿度の環境下において銅箔表面の変色が起きやすくなる。また、表面処理層やポリイミド樹脂層に母材銅箔からの銅の拡散することを十分に防止するという観点から、ニッケル含有量は0.1〜3mg/dmの範囲であることがより好ましい。 In the present invention, the nickel content in the surface treatment layer needs to be 0.1 mg / dm 2 or more. When the nickel content is less than 0.1 mg / dm 2 , the rust preventive effect on the surface of the copper foil is not sufficient, and discoloration of the copper foil surface is likely to occur after heating or in a high temperature or high humidity environment. Moreover, it is more preferable that nickel content is the range of 0.1-3 mg / dm < 2 > from a viewpoint of fully preventing that the copper from a base material copper foil diffuses into a surface treatment layer or a polyimide resin layer. .

また、前記表面処理層中における亜鉛含有量が0.05mg/dm以上であることが必要である。亜鉛含有量が0.05mg/dm未満では、表面処理層の銅エッチング液に対する溶解性(エッチング性)が不十分となると共に、表面処理層の銅張積層板の製造時における熱劣化によってポリイミド樹脂層と表面処理銅箔との間の接着強度が不十分となる。また、表面処理層のエッチング性、並びにポリイミド樹脂層と表面処理銅箔との間の接着強度を更に向上させるという観点から、亜鉛含有量は0.05〜1.5mg/dmの範囲であることがより好ましい。 Further, the zinc content in the surface treatment layer needs to be 0.05 mg / dm 2 or more. When the zinc content is less than 0.05 mg / dm 2 , the solubility (etching property) of the surface treatment layer in the copper etching solution becomes insufficient, and the polyimide is caused by thermal deterioration during the production of the copper clad laminate of the surface treatment layer. Adhesive strength between the resin layer and the surface-treated copper foil becomes insufficient. Moreover, zinc content is the range of 0.05-1.5 mg / dm < 2 > from a viewpoint of further improving the etching property of a surface treatment layer, and the adhesive strength between a polyimide resin layer and a surface treatment copper foil. It is more preferable.

さらに、前記表面処理層中におけるニッケル及び亜鉛の含有量の合計に対するニッケル含有量の比率は50〜90質量%の範囲にあることが必要である。前記ニッケル含有量の比率が50質量%未満では、回路加工時におけるエッチング液に対する耐性が低下するため、回路加工に支障をきたし、他方、90質量%を超えると、エッチング液に対する溶解性が悪化するため、回路加工に支障をきたすと共に、ポリイミド樹脂層と表面処理銅箔との間の接着強度が不十分となる。   Furthermore, the ratio of the nickel content to the total content of nickel and zinc in the surface treatment layer needs to be in the range of 50 to 90% by mass. If the ratio of the nickel content is less than 50% by mass, the resistance to the etching solution at the time of circuit processing is reduced, which hinders circuit processing. On the other hand, if it exceeds 90% by mass, the solubility in the etching solution is deteriorated. Therefore, the circuit processing is hindered, and the adhesive strength between the polyimide resin layer and the surface-treated copper foil becomes insufficient.

また、前記表面処理層中におけるケイ素含有量が、グロー放電発光分光測定法によるケイ素のピーク強度がニッケルのピーク強度に対して50%以上となる量であることが必要である。ケイ素のピーク強度がニッケルのピーク強度に対して50%未満では、ポリイミド樹脂層と表面処理銅箔との間の接着強度が不十分となる。また、ポリイミド樹脂層と表面処理銅箔との間の接着強度の更なる向上という観点から、ケイ素のピーク強度はニッケルのピーク強度に対して60%以上であることがより好ましい。なお、グロー放電発光分光測定法によるケイ素及びニッケルのピーク強度は、グロー放電発光分光分析装置を用いて波長毎の光強度を検出して発光スペクトルを作成し、そのスペクトルからケイ素及びニッケルに対応するピークのピーク強度(ピーク面積)を測定することができる。   Further, it is necessary that the silicon content in the surface treatment layer is such that the peak intensity of silicon by glow discharge emission spectrometry is 50% or more with respect to the peak intensity of nickel. When the peak strength of silicon is less than 50% of the peak strength of nickel, the adhesive strength between the polyimide resin layer and the surface-treated copper foil becomes insufficient. Further, from the viewpoint of further improving the adhesive strength between the polyimide resin layer and the surface-treated copper foil, the silicon peak strength is more preferably 60% or more with respect to the nickel peak strength. Note that the peak intensities of silicon and nickel determined by glow discharge emission spectrometry are determined by detecting the light intensity at each wavelength using a glow discharge emission spectrophotometer and creating an emission spectrum, and corresponding to silicon and nickel from the spectrum. The peak intensity (peak area) of the peak can be measured.

本発明にかかる表面処理層は、ニッケル化合物、亜鉛化合物及びケイ素化合物を含有するめっき液を用いて、前記母材銅箔の表面にめっき処理を施すことにより形成することができる。前記めっき液は、ピロりん酸めっき液であることが好ましく、例えば以下の条件(i)〜(v)のうちのいずれか(特に好ましくは全ての)条件を満たすめっき液であることがより好ましい。
(i)硫酸ニッケルを含有しており、ニッケル濃度が1〜4g/Lであること。
(ii)ピロりん酸亜鉛を含有しており、亜鉛濃度が0.05〜1g/Lであること。
(iii)ピロりん酸カリウムの濃度が10〜500g/Lであること。
(iv)ケイ素化合物の濃度が10g/L以上(より好ましくは15〜50g/L)であること。
(v)アンモニア水の添加量が25g/L以上であること。
The surface treatment layer according to the present invention can be formed by performing a plating treatment on the surface of the base material copper foil using a plating solution containing a nickel compound, a zinc compound and a silicon compound. The plating solution is preferably a pyrophosphate plating solution, for example, more preferably a plating solution satisfying any (particularly preferably all) of the following conditions (i) to (v). .
(I) It contains nickel sulfate and the nickel concentration is 1 to 4 g / L.
(Ii) It contains zinc pyrophosphate, and the zinc concentration is 0.05 to 1 g / L.
(Iii) The concentration of potassium pyrophosphate is 10 to 500 g / L.
(Iv) The concentration of the silicon compound is 10 g / L or more (more preferably 15 to 50 g / L).
(V) The amount of ammonia water added is 25 g / L or more.

本発明に用いるケイ素化合物としては、アミノ系シラン、エポキシ系シラン、メタクリロキシ系シラン、メルカプト系シラン等のシランカップリング剤が挙げられる。これらのシランカップリング剤は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。また、これらのシランカップリング剤の中でも、ピロりん酸めっき液の安定性の観点から、アミノ系シランカップリング剤であることが特に好ましい。   Examples of the silicon compound used in the present invention include silane coupling agents such as amino silane, epoxy silane, methacryloxy silane, and mercapto silane. These silane coupling agents can be used alone or in combination of two or more. Among these silane coupling agents, an amino silane coupling agent is particularly preferable from the viewpoint of the stability of the pyrophosphate plating solution.

前記アミノ系シランカップリング剤としては、例えば、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−トリエトキシシリル−N−(1,3−ジメチル−ブチリデン)プロピルアミン、3−(N−フェニル)アミノプロピルトリメトキシシラン、N−(ビニルベンジン)−2−アミノエチル−3−アミノプロピルトリメトキシシランが挙げられる。   Examples of the amino-based silane coupling agent include N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, and N- (2 -Aminoethyl) -3-aminopropyltriethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-triethoxysilyl-N- (1,3-dimethyl-butylidene) propylamine, 3 -(N-phenyl) aminopropyltrimethoxysilane, N- (vinylbenzine) -2-aminoethyl-3-aminopropyltrimethoxysilane.

本発明にかかる表面処理層を形成する際のめっき条件としては、通常、液温を15〜50℃とし、pHを8〜11とし、電流密度0.1〜5A/dmとすることができる。 As the plating conditions for forming the surface treatment layer according to the present invention, the liquid temperature is usually 15 to 50 ° C., the pH is 8 to 11, and the current density is 0.1 to 5 A / dm 2. .

本発明にかかるポリイミド樹脂層はポリイミド樹脂からなる層である。そして、このようなポリイミド樹脂は、一般的に下記一般式(1)で表される樹脂であり、例えばジアミン成分と酸二無水物成分とを実質的に等モル使用して有機極性溶媒中で重合する公知の方法によって製造することができる。   The polyimide resin layer according to the present invention is a layer made of a polyimide resin. And such a polyimide resin is a resin generally represented by the following general formula (1), for example, in an organic polar solvent using substantially equimolar amounts of a diamine component and an acid dianhydride component. It can be produced by a known method of polymerization.

Figure 0005171690
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前記一般式(1)において、Arは芳香族環を1個以上有する4価の有機基を示し、Arは芳香族環を1個以上有する2価の有機基を示す。すなわち、Arは酸二無水物の残基であり、Arは芳香族ジアミンの残基である。 In the general formula (1), Ar 1 represents a tetravalent organic group having one or more aromatic rings, and Ar 2 represents a divalent organic group having one or more aromatic rings. That is, Ar 1 is an acid dianhydride residue and Ar 2 is an aromatic diamine residue.

前記酸二無水物としては、一般式:O(CO)−Ar−(CO)Oによって表される芳香族テトラカルボン酸二無水物を用いることができる。また、前記一般式におけるArとしては、例えば下記構造式で表される有機基が挙げられる。 As the acid dianhydride, an aromatic tetracarboxylic dianhydride represented by a general formula: O (CO) 2 —Ar 1 — (CO) 2 O can be used. Moreover, as Ar < 1 > in the said general formula, the organic group represented by the following structural formula is mentioned, for example.

Figure 0005171690
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これらの酸二無水物は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。また、これらの酸二無水物の中でも、ピロメリット酸二無水物(PMDA)、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物(BPDA)、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTDA)、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物(DSDA)、及び4、4’−オキシジフタル酸二無水物(ODPA)を使用することが好ましい。   These acid dianhydrides can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types. Among these acid dianhydrides, pyromellitic dianhydride (PMDA), 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride (BPDA), 3,3 ′, 4,4 '-Benzophenone tetracarboxylic dianhydride (BTDA), 3,3', 4,4'-diphenylsulfone tetracarboxylic dianhydride (DSDA), and 4,4'-oxydiphthalic dianhydride (ODPA). It is preferable to use it.

前記ジアミンとしては、一般式:HN−Ar−NHによって表される芳香族ジアミンを用いることができる。また、前記一般式におけるArとしては、例えば下記構造式で表される有機基が挙げられる。 As the diamine, an aromatic diamine represented by the general formula: H 2 N—Ar 2 —NH 2 can be used. Moreover, as Ar < 2 > in the said general formula, the organic group represented by the following structural formula is mentioned, for example.

Figure 0005171690
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これらの芳香族ジアミンは、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。また、これらの芳香族ジアミンの中でも、ジアミノジフェニルエーテル(DAPE)、2’−メトキシ−4,4’−ジアミノベンズアニリド(MABA)、2、2’−ジメチル−4、4’−ジアミノビフェニル(m−TB)、パラフェニレンジアミン(p−PDA)、1、3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン(TPE−R)、1、3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン(APB)、1、4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン(TPE−Q)、及び2、2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン(BAPP)を使用することが好ましい。   These aromatic diamines can be used alone or in combination of two or more. Among these aromatic diamines, diaminodiphenyl ether (DAPE), 2′-methoxy-4,4′-diaminobenzanilide (MABA), 2,2′-dimethyl-4, 4′-diaminobiphenyl (m- TB), paraphenylenediamine (p-PDA), 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene (TPE-R), 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene (APB), 1,4- Bis (4-aminophenoxy) benzene (TPE-Q) and 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane (BAPP) are preferably used.

前記ジアミン及び前記酸二無水物を重合させる際に用いる溶媒としては、例えば、ジメチルアセトアミド、n-メチルピロリジノン、2−ブタノン、ジグライム、キシレンが挙げられる。これらの溶媒は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて使用することができる。また、重合して得られるポリアミド酸(ポリイミド前駆体)の樹脂粘度については、500cps〜35000cpsの範囲とすることが好ましい。   Examples of the solvent used for polymerizing the diamine and the acid dianhydride include dimethylacetamide, n-methylpyrrolidinone, 2-butanone, diglyme, and xylene. These solvents can be used alone or in combination of two or more. The resin viscosity of the polyamic acid (polyimide precursor) obtained by polymerization is preferably in the range of 500 cps to 35000 cps.

本発明の銅張積層板において、前記ポリイミド樹脂層は、単層からなるものであってもよく、複数層からなるものであってもよいが、銅張積層板がフレキシブル銅張積層板である場合にその反りや寸法安定性を制御するという観点や、銅箔とポリイミド樹脂層との接着強度が優れたものとするという観点から、複数層からなるものとすることが好ましい。また、前記ポリイミド樹脂層の厚みは、特に制限されないが、フレキシブル銅張積層板とする場合には、6〜60μmの範囲であることが好ましく、9〜40μmの範囲であることがより好ましい。ポリイミド樹脂層の厚みが前記下限未満では、銅張積層板の製造時にポリイミド樹脂層にシワが入る等の不具合が生じるやすくなる傾向にあり、他方、前記上限を超えると、銅張積層板の製造時の寸法安定性や屈曲性において問題が生じやすくなる傾向にある。なお、前記ポリイミド樹脂層が複数層からなるものである場合には、複数層の合計の厚みが上記範囲内になるようにすればよい。   In the copper clad laminate of the present invention, the polyimide resin layer may be a single layer or a plurality of layers, but the copper clad laminate is a flexible copper clad laminate. From the viewpoint of controlling warpage and dimensional stability in some cases, and from the viewpoint of excellent adhesion strength between the copper foil and the polyimide resin layer, it is preferable to have a plurality of layers. In addition, the thickness of the polyimide resin layer is not particularly limited, but in the case of a flexible copper-clad laminate, it is preferably in the range of 6 to 60 μm, and more preferably in the range of 9 to 40 μm. If the thickness of the polyimide resin layer is less than the lower limit, defects such as wrinkles in the polyimide resin layer tend to occur during the production of the copper clad laminate, whereas if the upper limit is exceeded, the copper clad laminate is produced. There is a tendency that problems are likely to occur in dimensional stability and flexibility at the time. In addition, what is necessary is just to make it the total thickness of a several layer be in the said range, when the said polyimide resin layer consists of a plurality of layers.

前記ポリイミド樹脂層が複数層からなるものである場合においては、線膨張係数(CTE)が30×10−6(1/K)以下、好ましくは1×10−6〜30×10−6(1/K)の範囲の低線膨張性ポリイミド樹脂層と、その片面又は両面にガラス転移温度(Tg)が330℃以下の低Tgポリイミド樹脂層とを備えることが好ましい。前記低線膨張性ポリイミド樹脂層の線膨張係数が30×10−6(1/K)を超えると、銅張積層板を形成した際のカールが激しくなる傾向にあり、また、寸法安定性が低下する傾向にある。 In the case where the polyimide resin layer is composed of a plurality of layers, the linear expansion coefficient (CTE) is 30 × 10 −6 (1 / K) or less, preferably 1 × 10 −6 to 30 × 10 −6 (1 / K) is preferably provided with a low linear expansion polyimide resin layer and a low Tg polyimide resin layer having a glass transition temperature (Tg) of 330 ° C. or lower on one side or both sides thereof. When the linear expansion coefficient of the low linear expansion polyimide resin layer exceeds 30 × 10 −6 (1 / K), curling tends to become severe when a copper clad laminate is formed, and dimensional stability is increased. It tends to decrease.

また、このようにポリイミド樹脂層が複数層からなるものである場合には、前記低Tgポリイミド樹脂層としては、線膨張係数(CTE)が30×10−6(1/K)を超え且つガラス転移温度が330℃以下であるものを用いることが好ましく、線膨張係数が30×10−6〜60×10−6(1/K)の範囲で且つガラス転移温度が200〜330℃の範囲にあるものを用いることがより好ましい。 Further, when the polyimide resin layer is composed of a plurality of layers, the low Tg polyimide resin layer has a linear expansion coefficient (CTE) exceeding 30 × 10 −6 (1 / K) and glass. It is preferable to use one having a transition temperature of 330 ° C. or lower, a linear expansion coefficient in the range of 30 × 10 −6 to 60 × 10 −6 (1 / K), and a glass transition temperature in the range of 200 to 330 ° C. It is more preferable to use a certain one.

さらに、このようにポリイミド樹脂層が複数層からなるものである場合には、前記低線膨張性ポリイミド樹脂層を主たる樹脂層とすることが好ましい。また、前記低線膨張性ポリイミド樹脂層の厚みは、複数層の合計の厚みに対し50%以上とすることが好ましく、70〜95%の範囲とすることがより好ましい。   Furthermore, when the polyimide resin layer is composed of a plurality of layers as described above, it is preferable that the low linear expansion polyimide resin layer is a main resin layer. Further, the thickness of the low linear expansion polyimide resin layer is preferably 50% or more, more preferably in the range of 70 to 95% with respect to the total thickness of the plurality of layers.

次に、本発明の銅張積層板の製造方法について説明する。すなわち、本発明の銅張積層板の製造方法は、表面処理銅箔の表面にポリアミド酸の樹脂溶液を塗布し、熱処理して、ポリイミド樹脂層を形成させてなる銅張積層板の製造方法であって、
前記表面処理銅箔が、母材銅箔と、前記母材銅箔における前記ポリイミド樹脂層の形成面側に形成され、ニッケル−亜鉛合金及びケイ素を含有する表面処理層とを備えており、前記表面処理層中におけるニッケル含有量が0.1mg/dm以上であり、亜鉛含有量が0.05mg/dm以上であり、ニッケル及び亜鉛の含有量の合計に対するニッケル含有量の比率が50〜90質量%の範囲にあり、且つ、ケイ素含有量が、グロー放電発光分光測定法によるケイ素のピーク強度がニッケルのピーク強度に対して50%以上となる量であることを特徴とする方法である。
Next, the manufacturing method of the copper clad laminated board of this invention is demonstrated. That is, the method for producing a copper clad laminate of the present invention is a method for producing a copper clad laminate in which a polyimide resin layer is formed by applying a polyamic acid resin solution to the surface of a surface-treated copper foil and heat-treating it. There,
The surface-treated copper foil comprises a base material copper foil, and a surface treatment layer formed on the formation surface side of the polyimide resin layer in the base material copper foil, and containing a nickel-zinc alloy and silicon, The nickel content in the surface treatment layer is 0.1 mg / dm 2 or more, the zinc content is 0.05 mg / dm 2 or more, and the ratio of the nickel content to the total content of nickel and zinc is 50 to 50 The silicon content is in the range of 90% by mass, and the silicon content is such that the silicon peak intensity by glow discharge emission spectrometry is 50% or more of the nickel peak intensity. .

本発明の銅張積層板の製造方法に用いる表面処理銅箔としては、前記本発明の銅張積層板に用いる表面処理銅箔と同様のものを使用することが必要である。すなわち、前記表面処理層中におけるニッケル含有量、亜鉛含有量及びケイ素含有量、並びにニッケル及び亜鉛の含有量の合計に対するニッケル含有量の比率が前記条件を満たす表面処理銅箔を用いることが必要である。   As the surface-treated copper foil used in the method for producing a copper-clad laminate of the present invention, it is necessary to use the same surface-treated copper foil as that used for the copper-clad laminate of the present invention. That is, it is necessary to use a surface-treated copper foil in which the nickel content, the zinc content and the silicon content in the surface treatment layer, and the ratio of the nickel content to the sum of the nickel and zinc contents satisfy the above conditions. is there.

本発明の銅張積層板の製造方法においては、前記表面処理銅箔の表面にポリアミド酸の樹脂溶液を塗布し、熱処理して、ポリイミド樹脂層を形成させて銅張積層板を得る。   In the method for producing a copper clad laminate of the present invention, a polyamic acid resin solution is applied to the surface of the surface-treated copper foil and heat treated to form a polyimide resin layer to obtain a copper clad laminate.

ポリイミド樹脂層を形成する方法については特に限定されないが、例えば、ポリイミドの前駆体であるポリアミド酸の樹脂溶液を、前記表面処理銅箔の表面に直接塗布し、樹脂溶液に含まれる溶剤を150℃以下の温度である程度除去した後、更に、100〜450℃、好ましくは300〜450℃の温度範囲で5〜40分間程度の熱処理を施すことによって、溶媒の乾燥及びイミド化を行う方法を採用することができる。熱処理の温度が100℃未満では、ポリイミドの脱水閉環反応が進行しにくくなる傾向にあり、他方、450℃を超えると、ポリイミド樹脂層及び銅箔が酸化等により劣化しやすくなる傾向にある。また、ポリアミド酸や溶剤としては、前記本発明の銅張積層板に用いるポリアミド酸や溶剤と同様のものを使用することができる。また、前記ポリイミド樹脂層を例えば3層からなるものとする場合は、第一のポリアミド酸の樹脂溶液を塗布、乾燥したのち、第二のポリアミド酸の樹脂溶液を塗布、乾燥し、その後、第三のポリアミド酸の樹脂溶液を塗布、乾燥した後、まとめて300〜450℃の温度範囲で5〜40分間程度の熱処理を施すことによって、イミド化を行う方法を採用することができる。   The method for forming the polyimide resin layer is not particularly limited. For example, a polyamic acid resin solution, which is a polyimide precursor, is directly applied to the surface of the surface-treated copper foil, and the solvent contained in the resin solution is 150 ° C. After removing to some extent at the following temperature, a method of drying and imidizing the solvent is further adopted by performing heat treatment for about 5 to 40 minutes at a temperature range of 100 to 450 ° C., preferably 300 to 450 ° C. be able to. If the temperature of the heat treatment is less than 100 ° C., the dehydration ring-closure reaction of the polyimide tends not to proceed. On the other hand, if it exceeds 450 ° C., the polyimide resin layer and the copper foil tend to deteriorate due to oxidation or the like. Moreover, as a polyamic acid and a solvent, the thing similar to the polyamic acid and solvent used for the copper clad laminated board of the said this invention can be used. When the polyimide resin layer is composed of, for example, three layers, the first polyamic acid resin solution is applied and dried, and then the second polyamic acid resin solution is applied and dried. After applying and drying the three polyamic acid resin solutions, a method of imidization can be adopted by collectively performing a heat treatment for about 5 to 40 minutes in a temperature range of 300 to 450 ° C.

このようにしてポリイミド樹脂層の片面に表面処理銅箔を備えた片面銅張積層板が得られる。また、ポリイミド樹脂層の両面に表面処理銅箔を備えた両面銅張積層板を作製する方法としては、(i)片面銅張積層板を作製した後、互いにポリイミド樹脂層を向き合わせて熱プレスによって圧着し形成する方法、(ii)片面銅張積層板のポリイミド樹脂層に表面処理銅箔を加熱圧着する方法を採用することができる。   In this way, a single-sided copper-clad laminate having a surface-treated copper foil on one side of the polyimide resin layer is obtained. Moreover, as a method of producing a double-sided copper-clad laminate having surface-treated copper foil on both sides of a polyimide resin layer, (i) after producing a single-sided copper-clad laminate, facing each other with a polyimide resin layer and hot pressing (Ii) A method in which a surface-treated copper foil is thermocompression-bonded to a polyimide resin layer of a single-sided copper-clad laminate can be employed.

以下、実施例及び比較例に基づいて本発明をより具体的に説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。なお、表面処理銅箔の表面処理層中のニッケル含有量、亜鉛含有量及びケイ素含有量の測定、高温及び高温高湿の条件下における銅箔の変色、銅箔とポリイミド樹脂層とのピール強度はそれぞれ以下の方法により測定又は評価した。   EXAMPLES Hereinafter, although this invention is demonstrated more concretely based on an Example and a comparative example, this invention is not limited to a following example. Measurement of nickel content, zinc content and silicon content in surface treatment layer of surface treated copper foil, discoloration of copper foil under high temperature and high temperature and high humidity conditions, peel strength between copper foil and polyimide resin layer Were measured or evaluated by the following methods.

(i)表面処理層中のニッケル含有量及び亜鉛含有量の測定
表面処理銅箔の表面処理層について、原子吸光分光光度計(Analytikjena製、製品名「NovAA300」)を用いて、ニッケルについては標準添加法により、亜鉛については絶対検量法によりそれぞれ含有量を測定した。
(I) Measurement of nickel content and zinc content in the surface treatment layer About the surface treatment layer of the surface treated copper foil, an atomic absorption spectrophotometer (product name “NovaAA300” manufactured by Analytikjena) is used, and nickel is standard. With respect to zinc, the content of zinc was measured by an absolute calibration method.

(ii)表面処理層中のケイ素含有量の測定
表面処理銅箔の表面処理層について、グロー放電発光分光分析装置(堀場製作所製(JOBIN YVON社製)、製品名「GD−PROFILER2」)を用いて、波長毎の光強度を検出して発光スペクトルを作成し、そのスペクトルからケイ素及びニッケルに対応するピークのピーク強度(ピーク面積)を測定した。そして、その測定値から、ニッケルのピーク強度に対するケイ素のピーク強度を算出した。
(Ii) Measurement of silicon content in surface-treated layer About the surface-treated layer of the surface-treated copper foil, a glow discharge emission spectroscopic analyzer (manufactured by HORIBA, Ltd. (manufactured by JOBIN YVON), product name “GD-PROFILER2”) is used. Then, the light intensity for each wavelength was detected to create an emission spectrum, and the peak intensity (peak area) of the peak corresponding to silicon and nickel was measured from the spectrum. The silicon peak intensity relative to the nickel peak intensity was calculated from the measured value.

(iii)高温及び高温高湿の条件下における銅箔の変色の評価
表面処理銅箔を温度150℃の条件下、並びに温度85℃、湿度85%の条件下にそれぞれ72時間曝露し、目視にて銅箔表面の変色を確認した。なお、変色が確認されなかった場合は「○」と判定し、変色が確認された場合は「×」と判定した。
(Iii) Evaluation of discoloration of copper foil under high temperature and high temperature and high humidity conditions The surface-treated copper foil was exposed to a temperature of 150 ° C. and a temperature of 85 ° C. and a humidity of 85% for 72 hours. The copper foil surface discoloration was confirmed. When no discoloration was confirmed, it was determined as “◯”, and when discoloration was confirmed, it was determined as “x”.

(iv)銅箔とポリイミド樹脂層とのピール強度の測定
幅1mmの銅張積層板を試料とし、テンシロンテスター(東洋精機製作所社製)を用いて、試料の樹脂側を両面テープによりステンレス板に固定し、銅箔を180°方向に50mm/分の速度で剥離した際のピール強度を測定した。
(Iv) Measurement of peel strength between copper foil and polyimide resin layer Using a copper-clad laminate with a width of 1 mm as a sample and using a Tensilon tester (manufactured by Toyo Seiki Seisakusho Co., Ltd.), the resin side of the sample is made into a stainless steel plate with double-sided tape. The peel strength when the copper foil was peeled off at a rate of 50 mm / min in the 180 ° direction was measured.

(合成例1)
熱電対及び攪拌機を備えると共に窒素導入が可能な反応容器に、N,N−ジメチルアセトアミド(DMAc)132質量部を投入した後、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン(BAPP)11.7質量部を容器中で撹拌しながら溶解させた。次に、この溶液に、ジアミン成分と等モルのピロメリット酸二無水物(PMDA)6.3質量部を加え、その後、室温にて3時間撹拌を続けて重合反応を進行させ、固形分濃度が12質量%であり溶液粘度が3000cpsであるポリアミド酸aの樹脂溶液を得た。得られたポリアミド酸aを用いてポリイミドフィルムを作製し、ポリイミドフィルムのガラス転移温度及び線膨張係数を測定したところ、ガラス転移温度は280℃であり、線膨張係数は55×10−6(1/K)であった。
(Synthesis Example 1)
After charging 132 parts by mass of N, N-dimethylacetamide (DMAc) into a reaction vessel equipped with a thermocouple and a stirrer and capable of introducing nitrogen, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane 11.7 parts by mass of (BAPP) was dissolved in the container with stirring. Next, 6.3 parts by mass of diamine component and pyromellitic dianhydride (PMDA) equimolar to the diamine component are added to this solution, and then the stirring is continued at room temperature for 3 hours to proceed the polymerization reaction. Was 12% by mass, and a polyamic acid a resin solution having a solution viscosity of 3000 cps was obtained. A polyimide film was prepared using the obtained polyamic acid a, and the glass transition temperature and the linear expansion coefficient of the polyimide film were measured. The glass transition temperature was 280 ° C., and the linear expansion coefficient was 55 × 10 −6 (1 / K).

(合成例2)
熱電対及び攪拌機を備えると共に窒素導入が可能な反応容器に、N,N−ジメチルアセトアミド(DMAc)127.5質量部を投入した後、2’−メトキシ−4,4’−ジアミノベンズアニリド(MABA)6.5質量部及び4,4’-ジアミノジフェニルエーテル(DAPE)5.1質量部を容器中で撹拌しながら溶解させた。次に、この溶液に、ジアミン成分と等モルのピロメリット酸二無水物(PMDA)10.9質量部を加え、その後、室温にて3時間撹拌を続けて重合反応を進行させ、固形分濃度が15質量%であり溶液粘度が20000cpsであるポリアミド酸bの樹脂溶液を得た。得られたポリアミド酸bを用いてポリイミドフィルムを作製し、ポリイミドフィルムの線膨張係数を測定したところ、線膨張係数は13×10−6(1/K)であった。
(Synthesis Example 2)
A reaction vessel equipped with a thermocouple and a stirrer and capable of introducing nitrogen was charged with 127.5 parts by mass of N, N-dimethylacetamide (DMAc), and then 2′-methoxy-4,4′-diaminobenzanilide (MABA). ) 6.5 parts by mass and 5.1 parts by mass of 4,4′-diaminodiphenyl ether (DAPE) were dissolved in a container with stirring. Next, 10.9 parts by mass of pyromellitic dianhydride (PMDA) equimolar to the diamine component is added to this solution, and then the stirring is continued at room temperature for 3 hours to proceed the polymerization reaction. Was 15% by mass and a resin solution of polyamic acid b having a solution viscosity of 20000 cps was obtained. A polyimide film was prepared using the obtained polyamic acid b, and the linear expansion coefficient of the polyimide film was measured. The linear expansion coefficient was 13 × 10 −6 (1 / K).

(実施例1)
母材銅箔(未処理の電解銅箔、厚み:12μm、大きさ:10cm×10cm)の表面に、硫酸ニッケル、ピロりん酸亜鉛、ピロりん酸カリウム、3−アミノプロピルトリメトキシシラン及びアンモニア水を含有し、下記条件を満たすめっき液を用いて、めっき液温度が20℃で、電流密度が1.5A/dmで、処理時間が5分間の条件下にてめっき処理を施して、表面処理層を形成して表面処理銅箔を得た。
Example 1
Nickel sulfate, zinc pyrophosphate, potassium pyrophosphate, 3-aminopropyltrimethoxysilane and aqueous ammonia on the surface of the base material copper foil (untreated electrolytic copper foil, thickness: 12 μm, size: 10 cm × 10 cm) A plating solution that satisfies the following conditions, the plating solution temperature is 20 ° C., the current density is 1.5 A / dm 2 , and the treatment time is 5 minutes. A treatment layer was formed to obtain a surface-treated copper foil.

ニッケル濃度 2.5g/L
亜鉛濃度 0.1g/L
ピロりん酸カリウムの濃度 50g/L
3−アミノプロピルトリメトキシシランの濃度 15.2g/L
アンモニア水の添加量 25.3g/L。
Nickel concentration 2.5g / L
Zinc concentration 0.1g / L
Concentration of potassium pyrophosphate 50g / L
Concentration of 3-aminopropyltrimethoxysilane 15.2 g / L
Amount of ammonia water added 25.3 g / L.

得られた表面処理銅箔について、グロー放電発光分光測定法による表面処理層中のケイ素の含有量を測定したところ、ケイ素のピーク強度はニッケルのピーク強度に対して63%であった。また、表面処理層中のニッケル含有量は0.14mg/dmであり、亜鉛含有量は0.08mg/dmであった。さらに、得られた表面処理銅箔の変色試験を行ったところ、72時間曝露後の変色は確認できなかった。得られた結果を表1に示す。 The obtained surface-treated copper foil was measured for the silicon content in the surface-treated layer by glow discharge emission spectrometry. The silicon peak intensity was 63% of the nickel peak intensity. Further, the nickel content of the surface treatment layer is 0.14 mg / dm 2, the zinc content was 0.08 mg / dm 2. Furthermore, when the discoloration test of the obtained surface-treated copper foil was conducted, discoloration after 72 hours exposure could not be confirmed. The obtained results are shown in Table 1.

得られた表面処理銅箔の表面処理層の表面上に、合成例1で得られたポリアミド酸aを塗工し、130℃で1分間乾燥してポリアミド酸aの膜を形成した。その後、このポリアミド酸aの膜の表面に合成例2で得られたポリアミド酸bを塗工し、130℃で4分間乾燥してポリアミド酸bの膜を形成し、さらに、合成例1で得られたポリアミド酸aを塗工し、130℃で1分間乾燥してポリアミド酸aの膜を形成した。そして、15分かけて350℃まで昇温することによりイミド化を進行させ、ポリイミド樹脂層(2μmの低Tgポリイミド樹脂層/36μmの低線膨張性ポリイミド樹脂層/2μmの低Tgポリイミド樹脂層)を形成してフレキシブル片面銅張積層板を得た。得られたフレキシブル片面銅張積層板のピール強度を測定したところ、ピール強度は1.2kN/mであった。得られた結果を表1に示す。   On the surface of the surface-treated layer of the obtained surface-treated copper foil, the polyamic acid a obtained in Synthesis Example 1 was applied and dried at 130 ° C. for 1 minute to form a polyamic acid a film. Thereafter, the polyamic acid b obtained in Synthesis Example 2 was coated on the surface of the polyamic acid a film and dried at 130 ° C. for 4 minutes to form a polyamic acid b film. The obtained polyamic acid a was applied and dried at 130 ° C. for 1 minute to form a polyamic acid a film. Then, the temperature is raised to 350 ° C. over 15 minutes to advance imidization, and a polyimide resin layer (2 μm low Tg polyimide resin layer / 36 μm low linear expansion polyimide resin layer / 2 μm low Tg polyimide resin layer) To obtain a flexible single-sided copper-clad laminate. When the peel strength of the obtained flexible single-sided copper clad laminate was measured, the peel strength was 1.2 kN / m. The obtained results are shown in Table 1.

(実施例2)
下記条件を満たすめっき液を用い、電流密度を0.5A/dmとした以外は実施例1と同様にして表面処理銅箔及びフレキシブル片面銅張積層板を得た。
(Example 2)
Using the following conditions are satisfied plating solution, except that the current density was 0.5A / dm 2 was obtained with a manner the surface treated copper foil and flexible single-sided copper-clad laminate as in Example 1.

ニッケル濃度 2.5g/L
亜鉛濃度 0.1g/L
ピロりん酸カリウムの濃度 50g/L
3−アミノプロピルトリメトキシシランの濃度 30.5g/L
アンモニア水の添加量 25.3g/L。
Nickel concentration 2.5g / L
Zinc concentration 0.1g / L
Concentration of potassium pyrophosphate 50g / L
Concentration of 3-aminopropyltrimethoxysilane 30.5 g / L
Amount of ammonia water added 25.3 g / L.

得られた表面処理銅箔について、グロー放電発光分光測定法による表面処理層中のケイ素の含有量を測定したところ、ケイ素のピーク強度はニッケルのピーク強度に対して115%であった。また、表面処理層中のニッケル含有量は0.13mg/dmであり、亜鉛含有量は0.09mg/dmであった。さらに、得られた表面処理銅箔の変色試験を行ったところ、72時間曝露後の変色は確認できなかった。また、得られたフレキシブル片面銅張積層板のピール強度を測定したところ、ピール強度は1.3kN/mであった。得られた結果を表1に示す。 When the content of silicon in the surface treatment layer was measured for the obtained surface-treated copper foil by glow discharge emission spectrometry, the peak intensity of silicon was 115% with respect to the peak intensity of nickel. Moreover, nickel content in a surface treatment layer was 0.13 mg / dm < 2 >, and zinc content was 0.09 mg / dm < 2 >. Furthermore, when the discoloration test of the obtained surface-treated copper foil was conducted, discoloration after 72 hours exposure could not be confirmed. Moreover, when the peel strength of the obtained flexible single-sided copper clad laminate was measured, the peel strength was 1.3 kN / m. The obtained results are shown in Table 1.

(実施例3)
電流密度を0.7A/dmとした以外は実施例2と同様にして表面処理銅箔及びフレキシブル片面銅張積層板を得た。
(Example 3)
Except that the current density 0.7 A / dm 2 was obtained with a manner the surface treated copper foil and flexible single-sided copper-clad laminate as in Example 2.

得られた表面処理銅箔について、グロー放電発光分光測定法による表面処理層中のケイ素の含有量を測定したところ、ケイ素のピーク強度はニッケルのピーク強度に対して111%であった。また、表面処理層中のニッケル含有量は0.21mg/dmであり、亜鉛含有量は0.11mg/dmであった。さらに、得られた表面処理銅箔の変色試験を行ったところ、72時間曝露後の変色は確認できなかった。また、得られたフレキシブル片面銅張積層板のピール強度を測定したところ、ピール強度は1.3kN/mであった。得られた結果を表1に示す。 The obtained surface-treated copper foil was measured for the silicon content in the surface-treated layer by glow discharge emission spectrometry. The silicon peak intensity was 111% relative to the nickel peak intensity. Further, the nickel content of the surface treatment layer is 0.21 mg / dm 2, the zinc content was 0.11 mg / dm 2. Furthermore, when the discoloration test of the obtained surface-treated copper foil was conducted, discoloration after 72 hours exposure could not be confirmed. Moreover, when the peel strength of the obtained flexible single-sided copper clad laminate was measured, the peel strength was 1.3 kN / m. The obtained results are shown in Table 1.

(実施例4)
処理時間を20分間とした以外は実施例2と同様にして表面処理銅箔及びフレキシブル片面銅張積層板を得た。
Example 4
A surface-treated copper foil and a flexible single-sided copper-clad laminate were obtained in the same manner as in Example 2 except that the treatment time was 20 minutes.

得られた表面処理銅箔について、グロー放電発光分光測定法による表面処理層中のケイ素の含有量を測定したところ、ケイ素のピーク強度はニッケルのピーク強度に対して115%であった。また、表面処理層中のニッケル含有量は0.68mg/dmであり、亜鉛含有量は0.24mg/dmであった。さらに、得られた表面処理銅箔の変色試験を行ったところ、72時間曝露後の変色は確認できなかった。また、得られたフレキシブル片面銅張積層板のピール強度を測定したところ、ピール強度は1.3kN/mであった。得られた結果を表1に示す。 When the content of silicon in the surface treatment layer was measured for the obtained surface-treated copper foil by glow discharge emission spectrometry, the peak intensity of silicon was 115% with respect to the peak intensity of nickel. Further, the nickel content of the surface treatment layer is 0.68 mg / dm 2, the zinc content was 0.24 mg / dm 2. Furthermore, when the discoloration test of the obtained surface-treated copper foil was conducted, discoloration after 72 hours exposure could not be confirmed. Moreover, when the peel strength of the obtained flexible single-sided copper clad laminate was measured, the peel strength was 1.3 kN / m. The obtained results are shown in Table 1.

(比較例1)
下記条件を満たすめっき液を用い、電流密度を0.5A/dmとした以外は実施例1と同様にして比較のための表面処理銅箔及びフレキシブル片面銅張積層板を得た。
(Comparative Example 1)
A surface-treated copper foil and a flexible single-sided copper-clad laminate for comparison were obtained in the same manner as in Example 1 except that a plating solution satisfying the following conditions was used and the current density was 0.5 A / dm 2 .

ニッケル濃度 2.5g/L
亜鉛濃度 0.1g/L
ピロりん酸カリウムの濃度 50g/L
3−アミノプロピルトリメトキシシランの濃度 1.9g/L
アンモニア水の添加量 25.3g/L。
Nickel concentration 2.5g / L
Zinc concentration 0.1g / L
Concentration of potassium pyrophosphate 50g / L
Concentration of 3-aminopropyltrimethoxysilane 1.9 g / L
Amount of ammonia water added 25.3 g / L.

得られた表面処理銅箔について、グロー放電発光分光測定法による表面処理層中のケイ素の含有量を測定したところ、ケイ素のピーク強度はニッケルのピーク強度に対して14%であった。また、表面処理層中のニッケル含有量は0.22mg/dmであり、亜鉛含有量は0.10mg/dmであった。さらに、得られた表面処理銅箔の変色試験を行ったところ、72時間曝露後の変色は確認できなかった。また、得られたフレキシブル片面銅張積層板のピール強度を測定したところ、ピール強度は0.3kN/mであった。得られた結果を表1に示す。 When the content of silicon in the surface treatment layer was measured for the obtained surface-treated copper foil by glow discharge emission spectrometry, the peak intensity of silicon was 14% with respect to the peak intensity of nickel. Moreover, nickel content in a surface treatment layer was 0.22 mg / dm < 2 >, and zinc content was 0.10 mg / dm < 2 >. Furthermore, when the discoloration test of the obtained surface-treated copper foil was conducted, discoloration after 72 hours exposure could not be confirmed. Moreover, when the peel strength of the obtained flexible single-sided copper clad laminate was measured, the peel strength was 0.3 kN / m. The obtained results are shown in Table 1.

(比較例2)
下記条件を満たすめっき液を用い、電流密度を1.0A/dmとした以外は実施例1と同様にして比較のための表面処理銅箔及びフレキシブル片面銅張積層板を得た。
(Comparative Example 2)
A surface-treated copper foil and a flexible single-sided copper-clad laminate for comparison were obtained in the same manner as in Example 1 except that a plating solution satisfying the following conditions was used and the current density was 1.0 A / dm 2 .

ニッケル濃度 2.5g/L
亜鉛濃度 0.1g/L
ピロりん酸カリウムの濃度 50g/L
3−アミノプロピルトリメトキシシランの濃度 3.8g/L
アンモニア水の添加量 25.3g/L。
Nickel concentration 2.5g / L
Zinc concentration 0.1g / L
Concentration of potassium pyrophosphate 50g / L
Concentration of 3-aminopropyltrimethoxysilane 3.8 g / L
Amount of ammonia water added 25.3 g / L.

得られた表面処理銅箔について、グロー放電発光分光測定法による表面処理層中のケイ素の含有量を測定したところ、ケイ素のピーク強度はニッケルのピーク強度に対して26%であった。また、表面処理層中のニッケル含有量は0.21mg/dmであり、亜鉛含有量は0.08mg/dmであった。さらに、得られた表面処理銅箔の変色試験を行ったところ、72時間曝露後の変色は確認できなかった。また、得られたフレキシブル片面銅張積層板のピール強度を測定したところ、ピール強度は0.6kN/mであった。得られた結果を表1に示す。 When the content of silicon in the surface treatment layer was measured for the obtained surface-treated copper foil by glow discharge emission spectrometry, the peak intensity of silicon was 26% with respect to the peak intensity of nickel. Further, the nickel content of the surface treatment layer is 0.21 mg / dm 2, the zinc content was 0.08 mg / dm 2. Furthermore, when the discoloration test of the obtained surface-treated copper foil was conducted, discoloration after 72 hours exposure could not be confirmed. Moreover, when the peel strength of the obtained flexible single-sided copper clad laminate was measured, the peel strength was 0.6 kN / m. The obtained results are shown in Table 1.

(比較例3)
処理時間を2分間とした以外は実施例2と同様にして比較のための表面処理銅箔及びフレキシブル片面銅張積層板を得た。
(Comparative Example 3)
A surface-treated copper foil and a flexible single-sided copper clad laminate for comparison were obtained in the same manner as in Example 2 except that the treatment time was 2 minutes.

得られた表面処理銅箔における表面処理層中のニッケル含有量は0.07mg/dmであり、亜鉛含有量は0.04mg/dmであった。さらに、得られた表面処理銅箔の変色試験を行ったところ、温度150℃の条件、及び温度85℃、湿度85%の条件のいずれの場合も48時間曝露後に変色が確認された。得られた結果を表1に示す。 Nickel content of the surface treatment layer in the obtained surface-treated copper foil is 0.07 mg / dm 2, the zinc content was 0.04 mg / dm 2. Furthermore, when the discoloration test of the obtained surface-treated copper foil was conducted, discoloration was confirmed after exposure for 48 hours in any of the conditions of a temperature of 150 ° C., the temperature of 85 ° C., and the humidity of 85%. The obtained results are shown in Table 1.

(比較例4)
処理時間を3分間とした以外は実施例2と同様にして比較のための表面処理銅箔及びフレキシブル片面銅張積層板を得た。
(Comparative Example 4)
A surface-treated copper foil and a flexible single-sided copper clad laminate for comparison were obtained in the same manner as in Example 2 except that the treatment time was 3 minutes.

得られた表面処理銅箔における表面処理層中のニッケル含有量は0.09mg/dmであり、亜鉛含有量は0.05mg/dmであった。さらに、得られた表面処理銅箔の変色試験を行ったところ、温度150℃の条件、及び温度85℃、湿度85%の条件のいずれの場合も48時間曝露後に変色が確認された。得られた結果を表1に示す。 The nickel content in the surface treatment layer in the obtained surface-treated copper foil was 0.09 mg / dm 2 , and the zinc content was 0.05 mg / dm 2 . Furthermore, when the discoloration test of the obtained surface-treated copper foil was conducted, discoloration was confirmed after exposure for 48 hours in any of the conditions of a temperature of 150 ° C., the temperature of 85 ° C., and the humidity of 85%. The obtained results are shown in Table 1.

Figure 0005171690
Figure 0005171690

表1に示した結果から明らかなように、本発明の銅張積層板(実施例1〜4)においては、十分な防錆性を有する表面処理層が形成されており、しかもポリイミド樹脂層と表面処理銅箔との間の接着強度が十分に高いことが確認された。これに対し、比較例1及び2で得られた銅張積層板においては、ポリイミド樹脂層と表面処理銅箔との間の接着強度が不十分であることが確認された。さらに、比較例3及び4で得られた銅張積層板においては、表面処理銅箔における表面処理層の防錆性が不十分であることが確認された。   As is clear from the results shown in Table 1, in the copper clad laminates (Examples 1 to 4) of the present invention, a surface treatment layer having sufficient antirust properties is formed, and the polyimide resin layer and It was confirmed that the adhesive strength between the surface-treated copper foil was sufficiently high. On the other hand, in the copper clad laminated board obtained by the comparative examples 1 and 2, it was confirmed that the adhesive strength between a polyimide resin layer and a surface treatment copper foil is inadequate. Furthermore, in the copper clad laminated board obtained by the comparative examples 3 and 4, it was confirmed that the rust prevention property of the surface treatment layer in surface treatment copper foil is inadequate.

以上説明したように、本発明によれば、ポリイミド樹脂層と、前記ポリイミド樹脂層の少なくとも片面に積層された表面処理銅箔とを備える銅張積層板において、クロムフリーでありながら十分な防錆性を有する表面処理層を備えており、しかもポリイミド樹脂層と表面処理銅箔との間の接着強度が十分に高い銅張積層板、並びにその製造方法を提供することが可能となる。   As described above, according to the present invention, in a copper-clad laminate comprising a polyimide resin layer and a surface-treated copper foil laminated on at least one side of the polyimide resin layer, it is sufficiently rust-proof while being chromium-free. In addition, it is possible to provide a copper clad laminate having a surface treatment layer having a property and a sufficiently high adhesive strength between the polyimide resin layer and the surface treatment copper foil, and a method for producing the same.

Claims (4)

ポリイミド樹脂層と、前記ポリイミド樹脂層の少なくとも片面に積層された表面処理銅箔とを備える銅張積層板であって、
前記表面処理銅箔が、母材銅箔と、前記母材銅箔における前記ポリイミド樹脂層の形成面側に形成され、ニッケル−亜鉛合金及びシランカップリング剤に由来するケイ素を含有する表面処理層とを備えており、前記表面処理層中におけるニッケル含有量が0.1mg/dm以上であり、亜鉛含有量が0.05mg/dm以上であり、ニッケル及び亜鉛の含有量の合計に対するニッケル含有量の比率が50〜90質量%の範囲にあり、且つ、ケイ素含有量が、グロー放電発光分光測定法によるケイ素のピーク強度がニッケルのピーク強度に対して50%以上となる量であることを特徴とする銅張積層板。
A copper clad laminate comprising a polyimide resin layer and a surface-treated copper foil laminated on at least one surface of the polyimide resin layer,
The surface-treated copper foil is a base material copper foil and a surface-treated layer containing silicon derived from a nickel-zinc alloy and a silane coupling agent, which is formed on the surface of the polyimide resin layer on the base material copper foil. Nickel content in the surface treatment layer is 0.1 mg / dm 2 or more, zinc content is 0.05 mg / dm 2 or more, and nickel relative to the total of nickel and zinc contents The content ratio is in the range of 50 to 90% by mass, and the silicon content is such that the silicon peak intensity by glow discharge emission spectrometry is 50% or more with respect to the nickel peak intensity. A copper-clad laminate.
前記表面処理層中のケイ素がアミン系シランカップリング剤に由来するものであることを特徴とする請求項1に記載の銅張積層板。   The copper clad laminate according to claim 1, wherein silicon in the surface treatment layer is derived from an amine-based silane coupling agent. 表面処理銅箔の表面にポリアミド酸の樹脂溶液を塗布し、熱処理して、ポリイミド樹脂層を形成させてなる銅張積層板の製造方法であって、
前記表面処理銅箔が、母材銅箔と、前記母材銅箔における前記ポリイミド樹脂層の形成面側に形成され、ニッケル−亜鉛合金及びシランカップリング剤に由来するケイ素を含有する表面処理層とを備えており、前記表面処理層中におけるニッケル含有量が0.1mg/dm以上であり、亜鉛含有量が0.05mg/dm以上であり、ニッケル及び亜鉛の含有量の合計に対するニッケル含有量の比率が50〜90質量%の範囲にあり、且つ、ケイ素含有量が、グロー放電発光分光測定法によるケイ素のピーク強度がニッケルのピーク強度に対して50%以上となる量であることを特徴とする銅張積層板の製造方法。
A method for producing a copper clad laminate in which a polyamide acid resin solution is applied to the surface of a surface-treated copper foil and heat-treated to form a polyimide resin layer,
The surface-treated copper foil is a base material copper foil and a surface-treated layer containing silicon derived from a nickel-zinc alloy and a silane coupling agent, which is formed on the surface of the polyimide resin layer on the base material copper foil. Nickel content in the surface treatment layer is 0.1 mg / dm 2 or more, zinc content is 0.05 mg / dm 2 or more, and nickel relative to the total of nickel and zinc contents The content ratio is in the range of 50 to 90% by mass, and the silicon content is such that the silicon peak intensity by glow discharge emission spectrometry is 50% or more with respect to the nickel peak intensity. The manufacturing method of the copper clad laminated board characterized by these.
前記表面処理層中のケイ素がアミン系シランカップリング剤に由来するものであることを特徴とする請求項3に記載の銅張積層板の製造方法。   4. The method for producing a copper-clad laminate according to claim 3, wherein silicon in the surface treatment layer is derived from an amine-based silane coupling agent.
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