JP2007098732A - Surface treated copper foil, manufacturing method of surface treated copper foil, and copper clad laminate using surface treated copper foil - Google Patents

Surface treated copper foil, manufacturing method of surface treated copper foil, and copper clad laminate using surface treated copper foil Download PDF

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface treated copper foil enhancing adhesiveness when gluing together by hot press processing of the surface treated copper foil having a silane coupling agent treated layer and a resin base material, a manufacturing method of the surface treated copper foil, and a copper clad laminate using the surface treated copper foil. <P>SOLUTION: In the surface treated copper foil having the silane coupling agent treated layer in the adhering face of the copper foil with the resin base material, the silane coupling agent treated layer is formed using a bifunctional silane coupling agent having functional groups of -Si(OCH<SB>3</SB>) at both ends of a chemical structural formula. Either one of bis-γ-trimethoxysilylpropylamine, bis-γ-trimethoxysilylpropylethylenediamine and bis-γ-trimethoxysilylethane is used as the bifunctional silane coupling agent. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、シランカップリング剤処理層を備えた表面処理銅箔、その表面処理銅箔の製造方法及びこの表面処理銅箔を用いた銅張積層板に関する。   The present invention relates to a surface-treated copper foil provided with a silane coupling agent-treated layer, a method for producing the surface-treated copper foil, and a copper-clad laminate using the surface-treated copper foil.

従来より、表面処理銅箔は、広く電気、電子産業の分野で用いられるプリント配線板製造の基礎材料として用いられてきた。一般に、電解銅箔はガラス−エポキシ基材、フェノール基材、ポリイミド等の高分子絶縁基材と熱間プレス成形にて張り合わされ銅張積層板とし、プリント配線板製造に用いられる。   Conventionally, surface-treated copper foil has been widely used as a basic material for producing printed wiring boards used in the fields of electric and electronic industries. In general, an electrolytic copper foil is bonded to a polymer insulating substrate such as a glass-epoxy substrate, a phenol substrate, or a polyimide by hot press forming to form a copper-clad laminate, which is used for manufacturing a printed wiring board.

そして、表面処理銅箔の接着面の表面処理として、一般的に亜鉛、真鍮、亜鉛−銅−ニッケルの3元合金メッキ層等とクロメート層とを任意に組み合わせた防錆処理層と、シランカップリング剤処理層とが併用されてきた。この表面処理層は、プリント配線板を製造した際の基材との密着性向上(引き剥がし強度として評価され「常態引き剥がし強さ」、「加熱後引き剥がし強さ」、「耐薬品性劣化率」、「耐湿性劣化率」、「耐熱特性(通称、UL特性)」、「プレッシャークッカー(PCT)試験」等の評価項目がある。)に優れることを目的に施されるものである。   And as surface treatment of the adhesive surface of the surface-treated copper foil, generally a rust-proofing layer in which zinc, brass, zinc-copper-nickel ternary alloy plating layer and the like and a chromate layer are arbitrarily combined, and a silane cup A ring treatment layer has been used in combination. This surface treatment layer improves adhesion to the substrate when the printed wiring board is manufactured (evaluated as the peel strength, "normal peel strength", "peel strength after heating", "chemical resistance degradation" Rate "," moisture resistance deterioration rate "," heat resistance characteristics (common name, UL characteristics) ", and" pressure cooker (PCT) test "and other evaluation items).

例えば、耐薬品性劣化率の評価は、銅箔回路を形成したプリント配線板を、所定の濃度の塩酸溶液中に一定時間浸漬し、張り合わされた銅箔と基材との界面にどのくらい塩酸溶液が進入し浸食するかを定量評価するため、塩酸浸漬前と塩酸浸漬後との銅箔回路のそれぞれの引き剥がし強さを測定し、その引き剥がし強さの劣化率を換算し評価値とするものであり、プリント配線板製造プロセスで種々の薬品に曝される状態を考えれば極めて重要な評価項目であることが分かる。しかも、このプリント配線板用銅箔の耐薬品性は、一般にプリント配線板に用いられる回路幅が微細となるほど、良好な品質が求められる。即ち、耐塩酸性劣化率が大きな値となるとプリント配線板の銅箔と基材との界面に溶液が進入しやすく、銅箔と基材との接合界面を浸食しやすいことになり、これは、プリント配線板の製造工程で様々の酸性溶液に曝される結果、銅箔回路が剥離する危険性が高くなることを意味するものである。このような特性の重要性は、防錆処理の種類によって引き剥がし強さの向上を目的とした特許文献1(特開平4−318997号公報)、特許文献2(特開平7−321458号公報)に開示の内容からも明らかである。   For example, the deterioration rate of chemical resistance is evaluated by immersing a printed wiring board on which a copper foil circuit is formed in a hydrochloric acid solution having a predetermined concentration for a certain period of time, and how much hydrochloric acid solution is at the interface between the laminated copper foil and the substrate. In order to quantitatively evaluate whether or not it enters and erodes, the peel strength of each copper foil circuit before and after hydrochloric acid immersion is measured, and the degradation rate of the peel strength is converted into an evaluation value Therefore, it can be understood that this is an extremely important evaluation item in consideration of the state exposed to various chemicals in the printed wiring board manufacturing process. In addition, the chemical resistance of the copper foil for printed wiring boards generally requires better quality as the circuit width used for printed wiring boards becomes finer. That is, when the hydrochloric acid resistance deterioration rate becomes a large value, the solution easily enters the interface between the copper foil and the base material of the printed wiring board, and the joint interface between the copper foil and the base material tends to be eroded. As a result of exposure to various acidic solutions in the production process of the printed wiring board, it means that the risk of peeling of the copper foil circuit is increased. The importance of such characteristics is disclosed in Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 4-318997) and Patent Document 2 (Japanese Patent Laid-Open No. 7-32458) for the purpose of improving the peel strength depending on the type of rust prevention treatment. It is clear from the contents of the disclosure.

一方、表面処理銅箔のシランカップリング剤処理層は、銅張積層板となった状態で、金属である銅箔の表面に形成した防錆層と有機材である各種基材との間にシランカップリング剤処理層が位置することになる。このシランカップリング剤処理層に関しては、例えば、特許文献3(特公昭60−15654号公報)、特許文献4(特公平2−19994号公報)に、銅箔表面に亜鉛又は亜鉛合金層を形成し、当該亜鉛又は亜鉛合金層の表面にクロメート層を形成した防錆処理層を形成し、そのクロメート層の上にシランカップリング層を形成した銅箔が開示されている。これら文献の全体を参酌して判断するに、特徴的なことは、クロメート層を形成した後に乾燥処理を行い、その後シランカップリング剤処理を行うというものである。   On the other hand, the silane coupling agent-treated layer of the surface-treated copper foil is in a state of being a copper-clad laminate between the rust-proof layer formed on the surface of the copper foil that is a metal and various base materials that are organic materials. A silane coupling agent treatment layer will be located. Regarding this silane coupling agent-treated layer, for example, a zinc or zinc alloy layer is formed on the surface of copper foil in Patent Document 3 (Japanese Patent Publication No. 60-15654) and Patent Document 4 (Japanese Patent Publication No. 2-19994). And the copper foil which formed the rust prevention process layer which formed the chromate layer in the surface of the said zinc or zinc alloy layer, and formed the silane coupling layer on the chromate layer is disclosed. Judging from the entirety of these documents, a characteristic feature is that after the chromate layer is formed, a drying process is performed, and then a silane coupling agent process is performed.

特開平4−318997号公報Japanese Patent Laid-Open No. 4-318997 特開平7−321458号公報JP 7-32458 A 特公昭60−15654号公報Japanese Patent Publication No. 60-15654 特公平2−19994号公報Japanese Patent Publication No. 2-19994 特公平2−17950号公報JP-B-2-17950

しかしながら、本件発明者等が、特許文献3(特公昭60−15654号公報)及び特許文献4(特公平2−19994号公報)にに開示された方法で試験的に表面処理銅箔を作成しても、その表面処理銅箔は、常態引き剥がし強さ等の要求品質を安定して示すことはできなかった。   However, the inventors of the present invention prepared a surface-treated copper foil on a trial basis by the methods disclosed in Patent Document 3 (Japanese Patent Publication No. 60-15654) and Patent Document 4 (Japanese Patent Publication No. 2-19994). However, the surface-treated copper foil could not stably exhibit required qualities such as normal peel strength.

また、特許文献5(特公平2−17950号公報)には、シランカップリング剤で処理した銅箔を用いて耐塩酸性の改良が可能なことが記載されている。ところが、耐湿性に関しては特に触れられていない。近年の、プリント配線板の形成回路の微細化、プリント配線板の多層化、半導体パッケージの分野で、耐湿性に劣る銅張積層板を用いた多層プリント配線板の層間剥離現象であるデラミネーション、半導体パッケージのプレッシャークッカー特性に問題が生じることが明らかにされ、大きな問題となっている。   Patent Document 5 (JP-B-2-17950) describes that hydrochloric acid resistance can be improved using a copper foil treated with a silane coupling agent. However, no particular mention is made regarding moisture resistance. In recent years, delamination is a delamination phenomenon of multilayer printed wiring boards using copper-clad laminates with poor moisture resistance in the field of miniaturization of printed circuit boards, multilayered printed wiring boards, and semiconductor packages. It has been clarified that a problem occurs in the pressure cooker characteristics of the semiconductor package, which is a big problem.

従来の防錆処理層上に吸着したシランカップリング剤の吸着は、図2(b)に示すように、当該防錆処理層上に単分子被膜に近いレベルでシランカップリング剤を被膜状態で吸着させ、加熱することでシランカップリング剤の末端基と防錆処理層から突出した−OHとの縮合反応を起こさせ、脱水することにより、シランカップリング剤処理層を形成することを目標としてきた。   The adsorption of the silane coupling agent adsorbed on the conventional rust-proofing layer is as shown in FIG. 2 (b), with the silane coupling agent in the coating state at a level close to a monomolecular coating on the rust-proofing layer. With the goal of forming a silane coupling agent treatment layer by causing condensation reaction between the terminal group of the silane coupling agent and -OH protruding from the rust prevention treatment layer by adsorption and heating, and dehydrating. Came.

近年の電子、電気機器の軽薄短小化の流れの中では、その内部に納められるプリント配線板にも軽薄短小化の要求が行われ、形成する銅箔回路の幅もより微細化するものになっている。従って、微細回路配線を形成した場合でも、意図せぬ回路の剥離現象が起こる等の不良を減少させるため、より安定且つ良好な表面処理銅箔と樹脂基材との密着性が求められる。   In recent years, the trend of reducing the thickness of electronic and electrical devices has been demanded to reduce the size of the printed circuit board that is housed in the device, and the width of the copper foil circuit to be formed has become smaller. ing. Therefore, even when fine circuit wiring is formed, in order to reduce defects such as an unintended circuit peeling phenomenon, a more stable and better adhesion between the surface-treated copper foil and the resin base material is required.

そこで、本件発明者等は、表面処理銅箔と樹脂基材との密着性を考慮する上で、シランカップリング剤と防錆処理層との組み合わせ方、シランカップリング剤の吸着処理する際の防錆処理層の表面状態、及び乾燥条件等を考慮して、シランカップリング剤の効果を最大限に引き出すための条件の確立が必要と考えた。そして、鋭意研究の結果、防錆処理層表面へのシランカップリング剤の吸着及び乾燥条件をある一定の条件にすることで、常態引き剥がし強さ、加熱後引き剥がし強さを初めとする基材との密着性に優れた表面処理銅箔を得ることができることに想到したのである。   Therefore, the present inventors, in consideration of the adhesion between the surface-treated copper foil and the resin base material, how to combine the silane coupling agent and the antirust treatment layer, when the silane coupling agent is adsorbed. Considering the surface state of the rust-proofing layer and the drying conditions, it was considered necessary to establish conditions for maximizing the effects of the silane coupling agent. As a result of earnest research, by setting the adsorption and drying conditions of the silane coupling agent to the surface of the anticorrosive treatment layer to a certain condition, normal peeling strength, peeling strength after heating, etc. It was conceived that a surface-treated copper foil having excellent adhesion to the material can be obtained.

本件発明に係る表面処理銅箔: 本件発明に係る表面処理銅箔は、銅箔の樹脂基材層との接着面にシランカップリング剤処理層を備える表面処理銅箔ものであって、当該シランカップリング剤処理層は、化学構造式の両端部に−Si(OCH)の官能基を備える2官能シランカップリング剤を用いて形成したものである。 Surface-treated copper foil according to the present invention: The surface-treated copper foil according to the present invention is a surface-treated copper foil provided with a silane coupling agent-treated layer on the adhesive surface of the copper foil with the resin base material layer, and the silane coupling agent treatment layer is one formed using a bifunctional silane coupling agent having a functional group -Si (OCH 3) at both ends of formula.

そして、前記2官能シランカップリング剤は、以下の化5として示した基本構造を備えるものを選択的に用いることが好ましい。   And as for the said bifunctional silane coupling agent, it is preferable to selectively use what is equipped with the basic structure shown as the following Chemical formula 5.

Figure 2007098732
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そして、前記2官能シランカップリング剤として用いるものを更に具体的に言えば、以下の3種類のいずれかを用いることが特に好ましい。第1の2官能シランカップリング剤は、n=3、m=1のビス−γ−トリメトキシシリルプロピルアミンであり、以下の化6として示した基本構造を備えるものを用いる事が好ましい。   And more specifically, what is used as the bifunctional silane coupling agent is particularly preferably one of the following three types. The first bifunctional silane coupling agent is bis-γ-trimethoxysilylpropylamine with n = 3 and m = 1, and it is preferable to use a bis-γ-trimethoxysilylpropylamine having the basic structure shown as Chemical Formula 6 below.

Figure 2007098732
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第2の2官能シランカップリング剤は、n=4、m=2のビス−γ−トリメトキシシリルプロピルエチレンジアミンであり、以下の化7として示した基本構造を備えるものを用いることが好ましい。   The second bifunctional silane coupling agent is bis-γ-trimethoxysilylpropylethylenediamine with n = 4 and m = 2, and it is preferable to use one having a basic structure shown as Chemical Formula 7 below.

Figure 2007098732
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第3の2官能シランカップリング剤は、n=1、m=0のビス−γ−トリメトキシシリルエタンであり、以下の化8として示した基本構造を備えるものを用いることが好ましい。   The third bifunctional silane coupling agent is bis-γ-trimethoxysilylethane with n = 1 and m = 0, and it is preferable to use one having the basic structure shown as the following chemical formula 8.

Figure 2007098732
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本件発明に係る表面処理銅箔の製造方法: 本件発明に係る表面処理銅箔の製造方法は、上記2官能シランカップリング剤を用いて銅箔表面へシランカップリング剤処理層を形成する表面処理銅箔の製造方法であって、前記2官能シランカップリング剤を溶媒に分散させた2官能シランカップリング剤含有溶液を調製し、当該2官能シランカップリング剤含有溶液と銅箔表面とを接触させ、銅箔の接着面に2官能シランカップリング剤吸着層を形成し、その後、190℃〜270℃の加熱雰囲気中で10秒〜90分間乾燥させシランカップリング剤処理層を形成することを特徴としたシランカップリング剤処理層を備えることを特徴とするものである。 Method for producing surface-treated copper foil according to the present invention: The method for producing a surface-treated copper foil according to the present invention is a surface treatment for forming a silane coupling agent-treated layer on the copper foil surface using the bifunctional silane coupling agent. A method for producing a copper foil, comprising preparing a bifunctional silane coupling agent-containing solution in which the bifunctional silane coupling agent is dispersed in a solvent, and contacting the bifunctional silane coupling agent-containing solution with the copper foil surface. Forming a bifunctional silane coupling agent adsorption layer on the adhesive surface of the copper foil, and then drying in a heated atmosphere at 190 ° C. to 270 ° C. for 10 seconds to 90 minutes to form a silane coupling agent treatment layer It is characterized by comprising the characteristic silane coupling agent treatment layer.

そして、前記2官能シランカップリング剤含有溶液は、ビス−γ−トリメトキシシリルプロピルアミンを溶媒に分散させて用いる場合には、その溶液をpH3.0〜pH5.0の範囲に調製したものとして用いることが好ましい。   And when the said bifunctional silane coupling agent containing solution is used by dispersing bis-γ-trimethoxysilylpropylamine in a solvent, the solution is prepared in the range of pH 3.0 to pH 5.0. It is preferable to use it.

また、前記2官能シランカップリング剤含有溶液は、ビス−γ−トリメトキシシリルプロピルエチレンジアミンを溶媒に分散させて用いる場合には、その溶液をpH4.5〜pH11.5の範囲に調製したものを用いることが好ましい。   In addition, the bifunctional silane coupling agent-containing solution is prepared by adjusting the solution in the range of pH 4.5 to pH 11.5 when bis-γ-trimethoxysilylpropylethylenediamine is dispersed in a solvent. It is preferable to use it.

更に、前記2官能シランカップリング剤含有溶液は、ビス−γ−トリメトキシシリルエタンを溶媒に分散させて用いる場合には、その溶液をpH3.0〜pH6.0又はpH11.0以上のいずれかのpH領域に調製したものを用いることが好ましい。   Furthermore, when the bis-γ-trimethoxysilylethane is dispersed in a solvent, the bifunctional silane coupling agent-containing solution is either pH 3.0 to pH 6.0 or pH 11.0 or higher. It is preferable to use one prepared in the pH range.

本件発明に係る表面処理銅箔の製造において、前記銅箔には、その接着面に粗化処理及び/又は防錆処理を施したものを用いることも好ましい。   In the production of the surface-treated copper foil according to the present invention, it is also preferable to use a copper foil whose surface has been subjected to roughening treatment and / or rust prevention treatment.

そして、前記防錆処理は、無機防錆又は有機防錆処理のいずれを用いても構わない。   And the said rust prevention process may use either inorganic rust prevention or organic rust prevention treatment.

本件発明に係る銅張積層板: 上述の本件発明に係るシランカップリング剤処理層を備える表面処理銅箔は、プリント配線板材料として好適である。従って、そのプリント配線板の基礎材料である銅張積層板の製造に好適である。 Copper-clad laminate according to the present invention: The surface-treated copper foil provided with the silane coupling agent-treated layer according to the present invention described above is suitable as a printed wiring board material. Therefore, it is suitable for manufacturing a copper clad laminate which is a basic material of the printed wiring board.

本件発明に係る表面処理銅箔は、樹脂基材との接着面に、従来使用されていなかった上記2官能シランカップリング剤を用いて形成したシランカップリング剤処理層を備えている。その結果、表面処理銅箔と樹脂基材との密着性が改善され、従来に無い安定したラミネート状態が得られる。従って、この表面処理銅箔を用いることで、銅箔と樹脂基材との密着性に優れた銅張積層板を提供することが可能となる。   The surface-treated copper foil which concerns on this invention is equipped with the silane coupling agent process layer formed using the said bifunctional silane coupling agent which was not used conventionally in the adhesive surface with a resin base material. As a result, the adhesion between the surface-treated copper foil and the resin base material is improved, and a stable laminate state that is not conventionally obtained can be obtained. Therefore, by using this surface-treated copper foil, it is possible to provide a copper-clad laminate having excellent adhesion between the copper foil and the resin base material.

そして、上記2官能シランカップリング剤を用いてシランカップリング剤処理層を形成しようとする場合、用いる2官能シランカップリング剤の種類に応じて適正な条件が存在する。この点で、本件発明に係る表面処理銅箔の製造方法は、2官能シランカップリング剤を用いて形成するシランカップリング剤処理層の特性を最大限に引き出すことの出来る製造方法である。   And when it is going to form a silane coupling agent process layer using the said bifunctional silane coupling agent, appropriate conditions exist according to the kind of bifunctional silane coupling agent to be used. In this respect, the method for producing a surface-treated copper foil according to the present invention is a production method capable of maximizing the characteristics of a silane coupling agent-treated layer formed using a bifunctional silane coupling agent.

以下、本件発明に係る表面処理銅箔、表面処理銅箔の製造方法及び銅張積層板の実施の形態に関して順に説明する。   Hereinafter, the surface-treated copper foil according to the present invention, a method for producing the surface-treated copper foil, and embodiments of the copper-clad laminate will be described in order.

本件発明に係る表面処理銅箔の形態: 本件発明に係る表面処理銅箔は、銅箔の樹脂基材層との接着面にシランカップリング剤処理層を形成したものである。そして、そのシランカップリング剤処理層は、化学構造式の両端部に−Si(OCH)の官能基を備える2官能シランカップリング剤を用いて形成したものである。このような2官能シランカップリング剤を用いることで、従来に無いほど安定した銅箔と樹脂基材層との密着性(接着性)を得ることができる。 Form of surface-treated copper foil according to the present invention: The surface-treated copper foil according to the present invention is obtained by forming a silane coupling agent-treated layer on an adhesive surface of a copper foil with a resin base material layer. Then, the silane coupling agent treatment layer is one formed using a bifunctional silane coupling agent having a functional group -Si (OCH 3) at both ends of formula. By using such a bifunctional silane coupling agent, adhesiveness (adhesiveness) between a copper foil and a resin base layer that is more stable than ever can be obtained.

ここで言う銅箔とは、電解法、圧延法等種々の方法で得られた銅箔の全ての概念を含むものとして記載している。そして、この銅箔の厚さに関しても、特段の限定はない。銅箔の厚さに関係なく、従来使用されてきたシランカップリング剤と比較して、樹脂基材との密着性を向上させることが可能だからである。但し、この銅箔と言う概念の中には、キャリア箔付銅箔を含む概念でもあることを明確にしておく。一般的に当該キャリア箔付銅箔は、キャリア箔として用いる金属箔の表面に、銅箔層を電解で析出させて形成したものである。そして、キャリア箔付銅箔は、厚さ9μm以下の銅箔とした場合に、樹脂基材にキャリア箔付銅箔の状態で張り合わせ、その後キャリア箔を除去するようにして使用されるものである。   The copper foil referred to here is described as including all concepts of copper foil obtained by various methods such as an electrolytic method and a rolling method. And there is no special limitation also about the thickness of this copper foil. This is because, regardless of the thickness of the copper foil, it is possible to improve the adhesion to the resin base material as compared with the conventionally used silane coupling agents. However, it is clarified that the concept of copper foil is also a concept including a copper foil with a carrier foil. Generally, the copper foil with a carrier foil is formed by depositing a copper foil layer by electrolysis on the surface of a metal foil used as a carrier foil. And when copper foil with a carrier foil is made into a copper foil with a thickness of 9 μm or less, it is used in such a manner that it is bonded to a resin base material in the state of copper foil with a carrier foil and then the carrier foil is removed. .

更に、この銅箔とは、その樹脂基材との接着面に張り合わせ時の密着性を向上されるため、微細な銅粒を付着形成したり、銅箔表面をエッチング粗化する等の粗化処理を施した面であっても構わない。従って、当然に粗化処理の無い場合も何ら問題なきことを明らかにしておく。また、銅箔の最外層には、長期保存性を確保する意味から、イミダゾール系剤やトリアゾール系剤を用いた有機防錆処理、亜鉛、真鍮等の亜鉛合金、ニッケル系合金等の組成を用いた無機防錆処理を施すことも可能である。   Furthermore, with this copper foil, the adhesion at the time of bonding to the resin base material is improved, so roughing such as forming fine copper particles or roughing the surface of the copper foil by etching It may be a surface that has been processed. Therefore, it will be clarified that there is no problem even when there is no roughening process. Also, for the outermost layer of copper foil, from the standpoint of ensuring long-term storage, organic rust prevention treatment using imidazole and triazole agents, zinc alloys such as zinc and brass, and compositions such as nickel alloys are used. It is also possible to apply an inorganic rust prevention treatment.

そして、前記シランカップリング剤処理層は、化学構造式の両端部に−Si(OCH)の官能基を備える2官能シランカップリング剤を用いて形成する。このとき形成するシランカップリング剤処理層の形成理論に関して、従来から使用されてきた化9に示すγ−アミノプロピルトリメトキシシラン(以下、「APS」と称する。)を用いて説明する。 Then, the silane coupling agent treatment layer is formed using a bifunctional silane coupling agent having a functional group -Si (OCH 3) at both ends of formula. The formation theory of the silane coupling agent-treated layer formed at this time will be described using γ-aminopropyltrimethoxysilane (hereinafter referred to as “APS”) represented by Chemical Formula 9 used conventionally.

本件発明者等は、そのAPSを溶媒に分散させた状態のpHの違いによって、銅箔表面に形成したシランカップリング剤処理層の吸着構造に変化が起きるか否かに関しての調査を行った。その結果、当該pHの違いによって、形成されるシランカップリング剤処理層の吸着構造が異なり、樹脂基材層との密着性に大きな差異が生じることが判明してきた。ここで、一例を示すと、水を溶媒として0.5wt%濃度でAPSを溶解させると、溶液pHは10.4となり、これを用いて銅箔表面にシランカップリング剤処理層を形成した。なお、係る場合の銅箔の表面には、何ら防錆処理等は施していない。この表面処理銅箔を「テスト試料1」と称する。これに対し、塩酸を用いてpH調製を行い溶液pHを8.5とし、これを用いて銅箔表面にシランカップリング剤処理層を形成した場合を比較した。この表面処理銅箔を「テスト試料2」と称する。その結果、双方の常態引き剥がし強さで対比すると、溶液pHは10.4で形成したシランカップリング剤処理層を備える表面処理銅箔の方が、樹脂基材層との良好な密着性を示すことが判明した。そこで、本件発明者等は、その違いを分析した。   The present inventors have investigated whether or not the adsorption structure of the silane coupling agent-treated layer formed on the surface of the copper foil changes due to the difference in pH when the APS is dispersed in the solvent. As a result, it has been found that the adsorption structure of the formed silane coupling agent-treated layer varies depending on the difference in pH, and a great difference occurs in the adhesion with the resin base material layer. Here, as an example, when APS is dissolved at a concentration of 0.5 wt% using water as a solvent, the solution pH becomes 10.4, and this was used to form a silane coupling agent treatment layer on the copper foil surface. In addition, the surface of the copper foil in such a case is not subjected to any rust prevention treatment. This surface-treated copper foil is referred to as “test sample 1”. In contrast, the pH was adjusted using hydrochloric acid to a solution pH of 8.5, and the case of using this to form a silane coupling agent-treated layer on the copper foil surface was compared. This surface-treated copper foil is referred to as “test sample 2”. As a result, when compared with both normal peel strengths, the surface-treated copper foil provided with the silane coupling agent-treated layer formed with a solution pH of 10.4 has better adhesion to the resin base material layer. Turned out to show. Therefore, the inventors analyzed the difference.

Figure 2007098732
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最初に、双方の表面処理銅箔のシランカップリング剤処理層に対し、マーカス型高周波グロー放電発光表面分析装置(以下、「rf−GDOES」と称する。)を用いて、深さ方向の各元素の深さプロファイルの測定を行った。その結果、テスト試料2の場合、図1(a)から分かるように、ケイ素(Si)ピークが最表層に検出され、その後僅かに遅れて、炭素(C)、窒素(N)のピークが近接して現れ、スパッタ時間で約0.01秒(シリコンのスパッタレートから換算すると0.35nm深い位置)遅れて、銅箔のバルクからの銅成分が検出されている。これに対し、テスト試料1の場合、図1(b)から分かるように、ケイ素(Si)のピークが最表層には無く、ケイ素(Si)のピークは窒素(N)ピークと基板からの銅(Cu)ピークによって分離されている。そして、テスト試料1のの最表層の近傍には、炭素(C)、窒素(N)ピークが現れている。それぞれのケイ素(Si)ピークから、そのシランカップリング剤処理層の厚みを計算すると、テスト試料2の場合0.3nm、テスト試料1の場合1.7nmである。ここで、図1(a)と図1(b)とにおいて、銅の検出ピークが定常化した位置を考えれば、双方の銅箔のバルクからの銅成分が確実に検出された位置であり、双方の深さが一致しているため、分析精度としては問題ないものと考えられる。   First, each element in the depth direction is used for the silane coupling agent-treated layers of both surface-treated copper foils using a Marcus type high-frequency glow discharge luminescence surface analyzer (hereinafter referred to as “rf-GDOES”). The depth profile was measured. As a result, in the case of the test sample 2, as can be seen from FIG. 1 (a), the silicon (Si) peak is detected on the outermost layer, and then the carbon (C) and nitrogen (N) peaks are close to each other with a slight delay. Thus, the copper component from the bulk of the copper foil is detected with a delay of about 0.01 seconds (position 0.35 nm deep when converted from the silicon sputtering rate) in the sputtering time. On the other hand, in the case of the test sample 1, as can be seen from FIG. 1B, the peak of silicon (Si) is not present in the outermost layer, and the peak of silicon (Si) is the nitrogen (N) peak and the copper from the substrate. They are separated by (Cu) peaks. In the vicinity of the outermost layer of the test sample 1, carbon (C) and nitrogen (N) peaks appear. When the thickness of the silane coupling agent-treated layer is calculated from each silicon (Si) peak, it is 0.3 nm for test sample 2 and 1.7 nm for test sample 1. Here, in FIG. 1 (a) and FIG. 1 (b), considering the position where the detection peak of copper is steady, it is the position where the copper component from the bulk of both copper foils is reliably detected, Since both depths are the same, it is considered that there is no problem in analysis accuracy.

従って、以上のことから考えられるのは、テスト試料1のシランカップリング剤処理層は、テスト試料2のシランカップリング剤処理層と比較して厚くなっていると考えられる。そして、そのシランカップリング剤の銅箔表面への吸着機構が全く異なると考えられることになる。そこで、本件発明者等は、以下に述べるような銅箔表面でのシランカップリング剤の吸着モデルを想定した。   Therefore, it can be considered from the above that the silane coupling agent-treated layer of the test sample 1 is thicker than the silane coupling agent-treated layer of the test sample 2. And the adsorption mechanism to the copper foil surface of the silane coupling agent will be considered to be completely different. Therefore, the present inventors assumed an adsorption model of the silane coupling agent on the copper foil surface as described below.

図2には、そのシランカップリング剤にAPSを用いた場合の銅箔表面での吸着モデルを掲載している。図2(a)は、上記テスト試料2の場合のシランカップリング剤吸着モデルである。この形態を見れば、上記rf−GDOESの分析結果のように、ケイ素(Si)、炭素(C)、窒素(N)ピークが最表層の近傍に集中して現れ、遅れて銅箔のバルクからの銅成分が検出されることが理解できる。また、このような吸着モデルの場合、シランカップリング剤は、ほぼ単分子皮膜に近い状態であると推測する点もrf−GDOESの分析結果と一致する。図2(b)は、上記テスト試料1の場合のシランカップリング剤吸着モデルを最も単純化して示したものである。即ち、シランカップリング剤が銅箔表面との結合のみ成らず、シランカップリング剤同士での縮合反応を起こし結合することで、銅箔表面に平面的及び立体的なネットワークをもって結合したシランカップリング剤処理層が得られていると考えられる。この吸着モデルも、上記rf−GDOESの分析結果が、ケイ素(Si)ピークが最表層には無く、銅箔のバルクからの銅成分が確実に検出される位置付近と近接し、シランカップリング剤処理層の最表層の近傍に炭素(C)と窒素(N)ピークが現れている事実からも裏付けられる。しかも、この吸着モデルは、厚いシランカップリング剤処理層を得ることが出来る。   FIG. 2 shows an adsorption model on the copper foil surface when APS is used as the silane coupling agent. FIG. 2A is a silane coupling agent adsorption model in the case of the test sample 2 described above. If this form is seen, like the analysis result of the above-mentioned rf-GDOES, silicon (Si), carbon (C), and nitrogen (N) peaks appear concentrated in the vicinity of the outermost layer, and are delayed from the bulk of the copper foil. It can be understood that the copper component is detected. Moreover, in the case of such an adsorption model, the point that it is estimated that the silane coupling agent is almost in the state of a monomolecular film is also consistent with the analysis result of rf-GDOES. FIG. 2 (b) shows the silane coupling agent adsorption model in the case of the test sample 1 in the most simplified form. In other words, the silane coupling agent is not only bonded to the copper foil surface, but also caused by a condensation reaction between the silane coupling agents and bonded to the copper foil surface with a planar and three-dimensional network. It is thought that the agent treatment layer is obtained. Also in this adsorption model, the analysis result of the above rf-GDOES shows that there is no silicon (Si) peak in the outermost layer and is close to the position where the copper component from the bulk of the copper foil is reliably detected. This is also supported by the fact that carbon (C) and nitrogen (N) peaks appear in the vicinity of the outermost layer of the treatment layer. Moreover, this adsorption model can provide a thick silane coupling agent-treated layer.

そこで、本件発明者等は、化学構造式の両端部に−Si(OCH)の官能基を備える2官能シランカップリング剤を用いることで、上記テスト試料1と同様の性質のシランカップリング剤処理層の形成が容易で、且つ、樹脂基材との密着性を安定して向上させる事が出来ることに想到したのである。即ち、2官能シランカップリング剤の化学構造式の両端部に−Si(OCH)の官能基を備えることで、平面的及び立体的に架橋したシロキサンネットワークを有するシランカップリング剤処理層の形成が可能となる。 Therefore, the present inventors have used a bifunctional silane coupling agent having a functional group of —Si (OCH 3 ) at both ends of the chemical structural formula, so that the silane coupling agent having the same properties as the test sample 1 is used. It was conceived that the treatment layer can be easily formed and the adhesion to the resin substrate can be stably improved. That is, formation of a silane coupling agent treatment layer having a planar and sterically crosslinked siloxane network by providing functional groups of -Si (OCH 3 ) at both ends of the chemical structural formula of the bifunctional silane coupling agent. Is possible.

そして、前記2官能シランカップリング剤の中でも、以下の化10として示した一般構造式で表されるものを選択的に用いることが好ましい。この一般構造式を備える2官能シランカップリング剤が、プリント配線板の製造プロセスにおけるめっき液等の溶液性状に悪影響を及ぼす可能性も低く、プリント配線板に加工して以降の表面絶縁抵抗、多層化しヒートショックを受けた際の耐デラミネーション性能にも優れるからである。   Among the bifunctional silane coupling agents, it is preferable to selectively use those represented by the general structural formula shown as Chemical Formula 10 below. The bifunctional silane coupling agent having this general structural formula has a low possibility of adversely affecting the solution properties such as plating solution in the printed wiring board manufacturing process. This is because it has excellent delamination resistance when subjected to heat shock.

Figure 2007098732
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そして、前記2官能シランカップリング剤として用いるものを更に具体的に言えば、以下の3種類のいずれかを用いることが、後述する製造方法をもって、平面的及び立体的なネットワークをもって結合したシランカップリング剤処理層を形成することが容易であるという観点から特に好ましい。また、以下に述べる3つの2官能シランカップリング剤は、表面処理銅箔と樹脂基材との高い密着性を得ることができ、且つ、その密着性を引き剥がし強さとして測定したときの値は、バラツキが少なく安定したものとなる。そして、上述のように、プリント配線板の製造プロセスにおけるめっき液等の溶液性状に悪影響を及ぼすこともなく、プリント配線板に加工して以降の表面絶縁抵抗、前記耐デラミネーション性能にも優れる。   More specifically, what is used as the bifunctional silane coupling agent is any one of the following three types of silane cups bonded in a planar and three-dimensional network by the manufacturing method described later. It is particularly preferable from the viewpoint that it is easy to form the ring agent treatment layer. In addition, the three bifunctional silane coupling agents described below can obtain high adhesion between the surface-treated copper foil and the resin base material, and the value when the adhesion is measured as the peel strength. Is stable with little variation. And as above-mentioned, it does not have bad influence on solution properties, such as plating solution in the manufacturing process of a printed wiring board, but is excellent also in the surface insulation resistance after processing to a printed wiring board, and the said delamination-proof performance.

第1の2官能シランカップリング剤は、n=3、m=1のビス−γ−トリメトキシシリルプロピルアミン(以下、「BTSPA」と称する。)であり、以下の化11として示した基本構造を備えるものを用いる事が好ましい。   The first bifunctional silane coupling agent is bis-γ-trimethoxysilylpropylamine (hereinafter referred to as “BTSPA”) with n = 3 and m = 1, and has the basic structure shown as Chemical Formula 11 below. It is preferable to use a thing provided with.

Figure 2007098732
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第2の2官能シランカップリング剤は、n=4、m=2のビス−γ−トリメトキシシリルプロピルエチレンジアミン(以下、「BTSP−EDA」と称する。)であり、以下の化12として示した基本構造を備えるものを用いることが好ましい。   The second bifunctional silane coupling agent is bis-γ-trimethoxysilylpropylethylenediamine (hereinafter referred to as “BTSP-EDA”) having n = 4 and m = 2, and is represented by the following chemical formula 12. It is preferable to use one having a basic structure.

Figure 2007098732
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第3の2官能シランカップリング剤は、n=1、m=0のビス−γ−トリメトキシシリルエタン(以下、「BTSE」と称する。)であり、以下の化13として示した基本構造を備えるものを用いることが好ましい。   The third bifunctional silane coupling agent is bis-γ-trimethoxysilylethane (hereinafter referred to as “BTSE”) having n = 1 and m = 0, and has the basic structure shown as Chemical Formula 13 below. It is preferable to use what is provided.

Figure 2007098732
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本件発明に係る表面処理銅箔の製造形態: 本件発明に係る表面処理銅箔の製造方法は、上記2官能シランカップリング剤を用いて銅箔表面へシランカップリング剤処理層を形成する表面処理銅箔の製造方法であり、2官能シランカップリング剤を用いるが故の特徴を有する。 Production method of surface-treated copper foil according to the present invention: The method for producing a surface-treated copper foil according to the present invention is a surface treatment in which a silane coupling agent treatment layer is formed on a copper foil surface using the above-mentioned bifunctional silane coupling agent. This is a method for producing a copper foil, and is characterized by using a bifunctional silane coupling agent.

この製造方法において、最初は、前記2官能シランカップリング剤を溶媒に分散させた2官能シランカップリング剤含有溶液を調製する。この調製に於いては、使用する2官能シランカップリング剤を含有させた溶液の種類に応じての調製が必要となる。以下、3種類の2官能シランカップリング剤毎に説明する。   In this production method, first, a bifunctional silane coupling agent-containing solution in which the bifunctional silane coupling agent is dispersed in a solvent is prepared. In this preparation, preparation according to the type of the solution containing the bifunctional silane coupling agent to be used is required. Hereinafter, each of the three types of bifunctional silane coupling agents will be described.

前記2官能シランカップリング剤含有溶液として、BTSPAを溶媒に分散させて用いる場合には、その溶液をpH3.0〜pH5.0の範囲に調製したものとして用いることが好ましい。図3に、BTSPA含有溶液の溶液pHと引き剥がし強さとの関係を示した。ここでは、溶媒に純水を用いて、BTSPA濃度が0.5wt%となるBTSPA含有溶液を調製し、この溶液中に18μm厚さの電解銅箔(粗化処理を施すことなく、防錆処理としてニッケル−亜鉛合金メッキ及びクロメート処理を施したもの)を浸漬し、加熱乾燥(200℃×60分、250℃×60分)することで、その粗面にシランカップリング剤処理層を形成し、FR−4プリプレグに180℃×60分の熱間プレス加工により張り合わせた銅張積層板を製造した。そして、10mm幅の直線回路をエッチングにより製造し、引き剥がし強さを測定した。このとき、BTSPA含有溶液の溶液pHを1〜9.5の間で変化させ、引き剥がし強さの変化を示している。この図3から分かるように、pHが1〜5のBTSPA含有溶液を用いることで高い密着性が得られていることが分かる。そして、よりバラツキが少なく、安定した良好な密着性を確保するためには、BTSPA含有溶液のpHを1〜4の範囲とすることが好ましい。   When the BTSPA is used as the bifunctional silane coupling agent-containing solution dispersed in a solvent, the solution is preferably used as a solution prepared in the range of pH 3.0 to pH 5.0. FIG. 3 shows the relationship between the solution pH of the BTSPA-containing solution and the peel strength. Here, a pure water is used as a solvent to prepare a BTSPA-containing solution having a BTSPA concentration of 0.5 wt%, and an electrolytic copper foil having a thickness of 18 μm is added to the solution (without performing a roughening treatment, a rust prevention treatment). As a result, the silane coupling agent treatment layer is formed on the rough surface by dipping and drying by heating (200 ° C. × 60 minutes, 250 ° C. × 60 minutes). Then, a copper clad laminate was manufactured by laminating the FR-4 prepreg by hot pressing at 180 ° C. for 60 minutes. Then, a 10 mm wide linear circuit was manufactured by etching, and the peel strength was measured. At this time, the solution pH of the BTSPA-containing solution is changed between 1 and 9.5, indicating a change in peel strength. As can be seen from FIG. 3, it is understood that high adhesion is obtained by using a BTSPA-containing solution having a pH of 1 to 5. And in order to ensure the stable favorable adhesiveness with few variations, it is preferable to make pH of a BTSPA containing solution into the range of 1-4.

また、前記2官能シランカップリング剤含有溶液として、BTSP−EDAを溶媒に分散させて用いる場合には、その溶液をpH4.5〜pH11.5の範囲に調製したものを用いることが好ましい。図4に、BTSP−EDA含有溶液の溶液pHと引き剥がし強さとの関係を示した。ここでは、溶媒に純水を用いて、BTSP−EDA濃度が0.5wt%のBTSP−EDA含有溶液を調製し、上記BTSPAを用いた場合と同様に、引き剥がし強さを測定した。このとき、BTSP−EDA含有溶液の溶液pHを4〜11.5の間で変化させ、引き剥がし強さの変化を示している。この図4から分かるように、乾燥条件として200℃×60分の条件を用いた場合には、pH4.5〜pH8.0の範囲で高い密着性が得られる。そして、乾燥条件として250℃×60分の条件を採用すると、pHが4.5〜11.5の全領域で高い密着性が得られることが分かる。このことから、乾燥条件の与える影響も非常に大きな事も分かる。従って、乾燥条件による変動を最小限に抑制し、バラツキが少なく、安定した良好な密着性を確保するためには、BTSP−EDA含有溶液のpHを4.5〜8.5の範囲とすることが好ましい。   In addition, when BTSP-EDA is dispersed in a solvent and used as the bifunctional silane coupling agent-containing solution, it is preferable to use a solution prepared in the range of pH 4.5 to pH 11.5. FIG. 4 shows the relationship between the solution pH of the BTSP-EDA-containing solution and the peel strength. Here, a pure water was used as a solvent to prepare a BTSP-EDA-containing solution having a BTSP-EDA concentration of 0.5 wt%, and the peel strength was measured in the same manner as in the case of using the above BTSPA. At this time, the solution pH of the BTSP-EDA-containing solution is changed between 4 and 11.5, and changes in peel strength are indicated. As can be seen from FIG. 4, when the condition of 200 ° C. × 60 minutes is used as the drying condition, high adhesion can be obtained in the range of pH 4.5 to pH 8.0. And when the conditions of 250 degreeC x 60 minutes are employ | adopted as drying conditions, it turns out that high adhesiveness is acquired in all the ranges whose pH is 4.5-11.5. From this, it can be seen that the effect of drying conditions is very large. Therefore, in order to suppress fluctuations due to drying conditions to a minimum, to reduce fluctuations, and to ensure stable and good adhesion, the pH of the BTSP-EDA-containing solution should be in the range of 4.5 to 8.5. Is preferred.

更に、前記2官能シランカップリング剤含有溶液として、BTSEを溶媒に分散させて用いる場合には、その溶液をpH3.0〜pH6.0又はpH11.0以上のいずれかのpH領域に調製したものを用いることが好ましい。図5に、BTSE含有溶液の溶液pHと引き剥がし強さとの関係を示した。ここでは、溶媒に純水を用いて、BTSE濃度が0.5wt%としたBTSE含有溶液を調製し、上記BTSPAを用いた場合と同様に、引き剥がし強さを測定した。このとき、BTSE含有溶液の溶液pHを1.0〜11.5の間で変化させ、引き剥がし強さの変化を示している。この図5から分かるように、乾燥条件として200℃×60分の条件を用いた場合には、pH3.0〜pH5.0の範囲で0.4kN/mを超える密着性が得られる。そして、乾燥条件として250℃×60分の条件を採用すると、pHが3.0〜6.0及び11以上の領域で0.4kN/mを超える密着性が得られることが分かる。このことから、乾燥条件の与える影響が存在することも分かる。従って、乾燥条件による変動を最小限に抑制し、バラツキが少なく、安定した良好な密着性を確保するためには、BTSE含有溶液のpHを3.0〜5.0の範囲とすることが好ましい。   Furthermore, when BTSE is dispersed in a solvent as the bifunctional silane coupling agent-containing solution, the solution is prepared in any pH range from pH 3.0 to pH 6.0 or pH 11.0 or higher. Is preferably used. FIG. 5 shows the relationship between the solution pH of the BTSE-containing solution and the peel strength. Here, a pure water was used as a solvent to prepare a BTSE-containing solution with a BTSE concentration of 0.5 wt%, and the peel strength was measured in the same manner as in the case of using the above BTSPA. At this time, the solution pH of the BTSE-containing solution is changed between 1.0 and 11.5, and changes in peel strength are indicated. As can be seen from FIG. 5, when conditions of 200 ° C. × 60 minutes are used as drying conditions, adhesion exceeding 0.4 kN / m is obtained in the range of pH 3.0 to pH 5.0. And when the conditions of 250 degreeC x 60 minutes are employ | adopted as drying conditions, it turns out that the adhesiveness exceeding 0.4 kN / m is obtained in pH 3.0-6.0 and the area | region 11 or more. From this, it can also be seen that there is an influence of drying conditions. Therefore, in order to suppress fluctuations due to drying conditions to a minimum, to reduce variation, and to ensure stable and good adhesion, it is preferable that the pH of the BTSE-containing solution be in the range of 3.0 to 5.0. .

上記の2官能シランカップリング剤含有溶液の銅箔に対する吸着法に関しては、浸漬法、シャワーリング法、噴霧法等、特に方法は限定されない。工程設計に合わせて、最も均一に銅箔と2官能シランカップリング剤を含んだ溶液とを接触させ吸着させることのできる方法を任意に採用すれば良いのである。   With respect to the method of adsorbing the bifunctional silane coupling agent-containing solution to the copper foil, the method is not particularly limited, such as an immersion method, a showering method, or a spraying method. In accordance with the process design, a method that allows the copper foil and the solution containing the bifunctional silane coupling agent to be most uniformly brought into contact with each other may be arbitrarily employed.

そして、銅箔と2官能シランカップリング剤溶液とを接触させる場合、乾燥した銅箔を用いるよりも、水膜を表面に備えた濡れた銅箔を用いることが好ましい。前者の乾燥した銅箔に比べ、後者の濡れた状態の銅箔は、2官能シランカップリング剤を吸着させ乾燥させる時に余分な水が銅箔表面に残留していることになる。このため、濡れた状態の銅箔に2官能シランカップリング剤を吸着させ乾燥させるときの銅箔温度は、雰囲気温度から伝達される熱量の内、水分の蒸発に用いられる熱量が大きくなるため、270℃程度まで雰囲気温度を高くしても、シランカップリング剤の官能基の破壊若しくは分解に繋がる余分な熱量が生じなくなるものと考えられる。このようにすることで、シランカップリング剤の基材と結合する側の官能基の破壊又は分解を確実に防止し、表面処理銅箔としての品質安定性を向上させることが出来るようになるのである。   And when making copper foil and a bifunctional silane coupling agent solution contact, it is preferable to use the wet copper foil which provided the water film on the surface rather than using dry copper foil. Compared to the former dried copper foil, the latter wet copper foil has excess water remaining on the copper foil surface when the bifunctional silane coupling agent is adsorbed and dried. For this reason, the copper foil temperature when adsorbing and drying the bifunctional silane coupling agent on the wet copper foil increases the amount of heat used to evaporate moisture from the amount of heat transferred from the ambient temperature. Even if the ambient temperature is increased to about 270 ° C., it is considered that an excessive amount of heat that leads to destruction or decomposition of the functional group of the silane coupling agent does not occur. By doing in this way, destruction or decomposition of the functional group on the side bonded to the base material of the silane coupling agent can be surely prevented, and the quality stability as the surface-treated copper foil can be improved. is there.

これらの2官能シランカップリング剤は、溶媒としての水に0.1wt%〜15wt%濃度になるように溶解させて、室温レベルの温度で用いるものである。ここで、当該2官能シランカップリング剤濃度が0.1wt%を下回る場合は、2官能シランカップリング剤の吸着速度が遅く、一般的な商業ベースの採算に合わず、吸着も不均一なものとなる。また、15wt%を越える以上の濃度であっても、特に吸着速度が速くなることもなく、基材との密着性を特に向上させるものでもなく、不経済となる。なお、この2官能シランカップリング剤の濃度が高くなるほど、化14として模式的に示した如き2官能シランカップリング剤同士のネットワーク化が進みやすく、形成するシランカップリング剤処理層が厚くなる傾向にある。同時に、シランカップリング剤処理層が厚くなると、未反応のシランカップリング剤がシランカップリング剤処理層中に取り込まれる傾向が顕著になり、好ましくない。   These bifunctional silane coupling agents are dissolved in water as a solvent so as to have a concentration of 0.1 wt% to 15 wt%, and are used at a room temperature level. Here, when the concentration of the bifunctional silane coupling agent is less than 0.1 wt%, the adsorption rate of the bifunctional silane coupling agent is slow, and does not meet the general commercial base profit, and the adsorption is not uniform. It becomes. Even if the concentration exceeds 15 wt%, the adsorption rate is not particularly increased, and the adhesion with the substrate is not particularly improved, which is uneconomical. The higher the concentration of the bifunctional silane coupling agent, the easier the networking of the bifunctional silane coupling agents as schematically shown in Chemical formula 14 proceeds, and the silane coupling agent treatment layer to be formed tends to be thicker. It is in. At the same time, when the silane coupling agent-treated layer becomes thick, the tendency that unreacted silane coupling agent is taken into the silane coupling agent-treated layer becomes remarkable, which is not preferable.

Figure 2007098732
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しかしながら、2官能シランカップリング剤含有溶液の2官能シランカップリング剤濃度との関係もあるが、銅箔表面と2官能シランカップリング剤含有溶液との接触時間も重要となる。即ち、2官能シランカップリング剤は、銅箔の表面(防錆処理層を含む)上に単分子皮膜状に吸着し、その表面のOH基と縮合結合することが最低限の条件であるが、当該接触時間が長くなる程、得られるシランカップリング剤処理層が厚くなる傾向にある。従って、当該浸漬時間は、1分〜30分の時間とする事が好ましい。上記濃度範囲であることを前提として、当該浸漬時間が1分未満の場合には、銅箔表面への2官能シランカップリング剤の吸着量が不足し、銅箔と樹脂基材との密着性を改善することが出来ない。また、当該浸漬時間が30分を超えるものとしても、銅箔表面への2官能シランカップリング剤の吸着量が飽和し、単に工業的生産性が損なわれることになる。   However, although there is a relationship with the concentration of the bifunctional silane coupling agent in the bifunctional silane coupling agent-containing solution, the contact time between the copper foil surface and the bifunctional silane coupling agent-containing solution is also important. That is, the bifunctional silane coupling agent is adsorbed in a monomolecular film form on the surface of the copper foil (including the antirust treatment layer) and condensed with an OH group on the surface is a minimum condition. The longer the contact time, the thicker the silane coupling agent treatment layer obtained. Therefore, the immersion time is preferably set to 1 minute to 30 minutes. If the immersion time is less than 1 minute on the premise that the concentration is within the above range, the adsorption amount of the bifunctional silane coupling agent on the copper foil surface is insufficient, and the adhesion between the copper foil and the resin base material is insufficient. Cannot be improved. Moreover, even if the said immersion time exceeds 30 minutes, the adsorption amount of the bifunctional silane coupling agent to the copper foil surface will be saturated, and industrial productivity will only be impaired.

そして、ここで言う乾燥は、単に水分を除去するだけでなく、吸着した2官能シランカップリング剤と銅箔表面(防錆処理層を備える場合を含む)にあるOH基との縮合反応を促進させ、縮合の結果生じる水分をも完全に蒸発させ、2官能シランカップリング剤同士の縮合反応を促進するものでなければならない。一方、この乾燥温度は、銅箔と樹脂基材を張り合わせる際に、樹脂基材を構成する樹脂と結合するシランカップリング剤の官能基を破壊若しくは分解する温度条件を採用する事はできない。シランカップリング剤の樹脂基材との接着に関与する官能基が破壊若しくは分解すると、銅箔と樹脂基材との密着性が損なわれ、シランカップリング剤の吸着による効果を最大限に引き出すことができなくなるからである。   And the drying said here not only removes moisture, but also promotes the condensation reaction between the adsorbed bifunctional silane coupling agent and the OH group on the copper foil surface (including the case with a rust-proofing layer). The water generated as a result of the condensation must be completely evaporated to promote the condensation reaction between the bifunctional silane coupling agents. On the other hand, this drying temperature cannot adopt a temperature condition that destroys or decomposes the functional group of the silane coupling agent bonded to the resin constituting the resin base material when the copper foil and the resin base material are bonded together. When the functional group involved in the adhesion of the silane coupling agent to the resin base material is destroyed or decomposed, the adhesion between the copper foil and the resin base material is lost, and the effect of adsorption of the silane coupling agent is maximized. It is because it becomes impossible.

そこで、当該2官能シランカップリング剤含有溶液と銅箔表面とを接触させ、銅箔の接着面に2官能シランカップリング剤吸着層を形成し、その後、190℃〜270℃の加熱雰囲気中で10秒〜90分間の乾燥を行いシランカップリング剤処理層を形成することが好ましい。190℃〜270℃の加熱温度の低温側を採用する程、乾燥時間を長めに採用することが好ましい。   Therefore, the bifunctional silane coupling agent-containing solution is brought into contact with the copper foil surface to form a bifunctional silane coupling agent adsorbing layer on the adhesive surface of the copper foil, and then in a heated atmosphere of 190 ° C to 270 ° C. It is preferable to form a silane coupling agent-treated layer by drying for 10 seconds to 90 minutes. It is preferable to adopt a longer drying time as the lower temperature side of the heating temperature of 190 ° C. to 270 ° C. is adopted.

ここで、加熱雰囲気温度が190℃未満の場合には、いかに長時間の加熱を行っても、当該2官能シランカップリング剤と銅箔表面にあるOH基との縮合反応を促進させ、2官能シランカップリング剤同士の縮合反応を促進する事は出来ないため、品質のバラツキのあるシランカップリング剤処理層が形成される。また、加熱雰囲気温度が270℃を超える場合には、シランカップリング剤の樹脂基材との接着に関与する官能基が破壊され、銅箔と樹脂基材との密着性が損なわれるのである。   Here, when the heating atmosphere temperature is less than 190 ° C., no matter how long heating is performed, the condensation reaction between the bifunctional silane coupling agent and the OH group on the copper foil surface is promoted, Since the condensation reaction between the silane coupling agents cannot be promoted, a silane coupling agent-treated layer having quality variations is formed. Moreover, when heating atmosphere temperature exceeds 270 degreeC, the functional group which participates in adhesion | attachment with the resin base material of a silane coupling agent will be destroyed, and the adhesiveness of copper foil and a resin base material will be impaired.

そして、乾燥温度に関しては、上述の図3〜図5の引き剥がし強さから、200℃での加熱よりも250℃での加熱を行ってシランカップリング剤処理層を形成した場合の方が、高い引き剥がし強さが得られていることが分かる。即ち、乾燥温度は出来る限り高めの温度を採用することが好ましい。良好な品質のシランカップリング剤処理層を、短時間の加熱で得ることが出来るからである。   And, regarding the drying temperature, from the above-described peel strength of FIGS. 3 to 5, when the silane coupling agent treatment layer is formed by heating at 250 ° C. rather than heating at 200 ° C., It can be seen that high peel strength is obtained. That is, it is preferable to employ a drying temperature as high as possible. This is because a silane coupling agent-treated layer having a good quality can be obtained by heating in a short time.

乾燥時間は、上記範囲の最高加熱温度を採用しても、10秒未満とすると、2官能シランカップリング剤と銅箔表面にあるOH基との縮合反応を促進させ、2官能シランカップリング剤同士の縮合反応を促進する事が出来ない。乾燥時間が90分を超える場合には、上述の最低加熱温度を採用しても、シランカップリング剤の樹脂基材との接着に関与する官能基が破壊され、銅箔と樹脂基材との密着性が損なわれるのである。   Even if the maximum heating temperature in the above range is adopted, the drying time is less than 10 seconds, and the condensation reaction between the bifunctional silane coupling agent and the OH group on the surface of the copper foil is promoted, and the bifunctional silane coupling agent The condensation reaction between each other cannot be promoted. When the drying time exceeds 90 minutes, even if the above-mentioned minimum heating temperature is employed, the functional group involved in the adhesion of the silane coupling agent to the resin base material is destroyed, and the copper foil and the resin base material Adhesion is impaired.

銅箔は、金属材であり、シランカップリング剤が一般的に用いられるガラス材、プラスチック等の有機材等に比べ、熱伝導速度が速く、表層に吸着したシランカップリング剤も、乾燥時の雰囲気温度、熱源からの輻射熱による影響を極めて強く受けやすくなる。従って、衝風方式のように、極めて短時間で、銅箔に吹き付ける風温より、銅箔自体の温度が高くなる場合は、特別の注意を払って乾燥条件を定める事が好ましい。   Copper foil is a metal material, and its heat conduction speed is faster than that of organic materials such as glass materials and plastics in which silane coupling agents are generally used. It is extremely susceptible to the effects of ambient temperature and radiant heat from the heat source. Therefore, when the temperature of the copper foil itself is higher than the temperature of the air blown on the copper foil in a very short time, as in the blast mode, it is preferable to set the drying conditions with special care.

次に、本件発明に係る表面処理銅箔の製造で用いる銅箔に関して述べておく。ここで言う銅箔は、その接着面に粗化処理、防錆処理を任意に施したものを用いることができる。即ち、粗化処理を単独で施した銅箔、粗化処理を行うことなく防錆処理のみを施した銅箔
、粗化処理及び防錆処理の双方を施した銅箔の概念を含むものである。
Next, the copper foil used in the manufacture of the surface-treated copper foil according to the present invention will be described. As the copper foil referred to here, a copper foil whose surface is subjected to roughening treatment and rust prevention treatment can be used. That is, it includes the concept of a copper foil that has been subjected to a roughening treatment alone, a copper foil that has been subjected to only a rust prevention treatment without performing the roughening treatment, and a copper foil that has been subjected to both the roughening treatment and the rust prevention treatment.

そして、これらに関して簡単に説明しておく。銅箔の表面に粗化処理及び防錆処理を施す場合には、粗化処理、防錆処理の順で行うのが一般的である。そして、この粗化処理等を行う前には、銅箔の表面を酸洗処理、脱脂処理する等して、表面に付着した油脂成分等の汚染成分を完全に除去し、同時に余分な表面酸化被膜除去を行う事が好ましい。均一な粗化処理、防錆処理を行うためである。   These will be briefly described. When a roughening treatment and a rust prevention treatment are performed on the surface of the copper foil, the roughening treatment and the rust prevention treatment are generally performed in this order. And before this roughening treatment, etc., the surface of the copper foil is pickled and degreased to completely remove contaminants such as oil and fat components adhering to the surface, and at the same time, excess surface oxidation It is preferable to remove the film. This is to perform uniform roughening treatment and rust prevention treatment.

粗化処理は、最も一般的には銅箔の表面に微細銅粒を析出付着させ、その後当該微細銅粒の脱落無きように被せメッキを行う方法が採用される。即ち、銅箔の表面への微細銅粒の付着形成には、銅箔自体をカソード分極して、ヤケ銅メッキの条件を採用して行う。このヤケ銅メッキ条件は、特に限定されるものではなく、生産ラインの特質を考慮して定められるものである。例えば、硫酸銅系溶液を用いるのであれば、濃度が銅5〜20g/l、硫酸50〜200g/l、その他必要に応じた添加剤(α−ナフトキノリン、デキストリン、ニカワ、チオ尿素等)、液温15〜40℃、電流密度10〜50A/dmの条件とする等である。 The roughening treatment is most commonly performed by depositing fine copper particles on the surface of the copper foil, and then covering and plating so that the fine copper particles do not fall off. That is, the formation of fine copper particles attached to the surface of the copper foil is performed by cathodic polarization of the copper foil itself and using the conditions of burnt copper plating. The burn copper plating conditions are not particularly limited, and are determined in consideration of the characteristics of the production line. For example, if a copper sulfate-based solution is used, the concentration is 5 to 20 g / l copper, 50 to 200 g / l sulfuric acid, and other additives (α-naphthoquinoline, dextrin, glue, thiourea, etc.), liquid For example, the temperature is 15 to 40 ° C. and the current density is 10 to 50 A / dm 2 .

そして、微細銅粒の脱落を防止するための被せメッキとしては、析出付着させた微細銅粒の脱落を防止するために、平滑メッキ条件で微細銅粒を被覆するように銅を均一析出させるのである。従って、微細銅粒を析出させる場合に比べ濃い濃度の銅電解液が用いられる。この平滑メッキ条件は、特に限定されるものではなく、生産ラインの特質を考慮して定められるものである。例えば、硫酸銅系溶液を用いるのであれば、濃度が銅50〜80g/l、硫酸50〜150g/l、液温40〜50℃、電流密度10〜50A/dmの条件とする等である。 And, as the cover plating for preventing the fine copper particles from falling off, the copper is uniformly deposited so as to cover the fine copper particles under smooth plating conditions in order to prevent the fine copper particles deposited and deposited from falling off. is there. Accordingly, a copper electrolyte having a higher concentration than that used when depositing fine copper particles is used. The smooth plating conditions are not particularly limited and are determined in consideration of the characteristics of the production line. For example, if a copper sulfate-based solution is used, the conditions are copper 50 to 80 g / l, sulfuric acid 50 to 150 g / l, liquid temperature 40 to 50 ° C., and current density 10 to 50 A / dm 2. .

また、前記被せメッキを省略する場合には、上記微細銅粒よりも更に微細な極微細銅粒を付着形成させる。この極微細銅粒の形成には、一般に砒素を含んだ銅電解液が用いられる。係る場合の電解条件の一例を挙げれば、硫酸銅系溶液であって、濃度が銅10g/l、硫酸100g/l、砒素1.5g/l、液温38℃、電流密度30A/dmとする等である。砒素の使用を忌避する場合には、砒素に代え、9−フェニルアクリジンを添加した銅電解液を用いることが好ましい。9−フェニルアクリジンは、銅電解の場において、砒素の果たす役割と同様の役割を果たし、析出する微細銅粒の整粒効果と、均一電着を可能とするものである。9−フェニルアクリジンを添加した極微細銅粒を形成するための銅電解液としては、濃度が銅5〜10g/l、硫酸100〜120g/l、9−フェニルアクリジン50〜300mg/l、液温30〜40℃を使用して、電流密度20〜40A/dm で電解することが操業安定性の観点から好ましい。 Moreover, when the said covering plating is abbreviate | omitted, a very fine copper grain still finer than the said fine copper grain is adhered and formed. In general, a copper electrolyte containing arsenic is used to form the ultrafine copper particles. An example of electrolysis conditions in this case is a copper sulfate-based solution having a concentration of 10 g / l copper, 100 g / l sulfuric acid, 1.5 g / l arsenic, a liquid temperature of 38 ° C., and a current density of 30 A / dm 2 . Etc. In order to avoid the use of arsenic, it is preferable to use a copper electrolyte added with 9-phenylacridine instead of arsenic. 9-Phenylacridine plays a role similar to the role played by arsenic in the field of copper electrolysis, and enables the sizing effect of precipitated fine copper grains and uniform electrodeposition. As a copper electrolyte for forming ultrafine copper grains to which 9-phenylacridine is added, the concentration is copper 5 to 10 g / l, sulfuric acid 100 to 120 g / l, 9-phenylacridine 50 to 300 mg / l, liquid temperature Electrolysis at a current density of 20 to 40 A / dm 2 using 30 to 40 ° C. is preferable from the viewpoint of operational stability.

防錆処理層の形成方法に関しては、無機防錆処理層及び有機防錆処理層の形成のいずれの場合でも、特段の限定は要さない。公知の手法及び公知の防錆成分を適用すればよい。但し、無機防錆処理層の場合、亜鉛、亜鉛合金、ニッケル合金等の防錆層の上に、更にクロメート層を設ける場合もある。このクロメート層の形成には、電解クロメート層を採用することが適しており、このときの電解条件は、特に限定を有するものではないが、クロム酸1〜7g/l、液温30〜40℃、pH10〜12、電流密度1〜8A/dm、電解時間5〜15秒の条件等を採用するのが好ましい。 Regarding the method of forming the rust-proofing layer, no particular limitation is required in any case of forming the inorganic rust-proofing layer and the organic rust-proofing layer. A known technique and a known rust preventive component may be applied. However, in the case of an inorganic antirust treatment layer, a chromate layer may be further provided on the antirust layer of zinc, zinc alloy, nickel alloy or the like. For the formation of this chromate layer, it is suitable to employ an electrolytic chromate layer, and the electrolysis conditions at this time are not particularly limited, but chromic acid 1 to 7 g / l, liquid temperature 30 to 40 ° C. It is preferable to adopt conditions such as pH 10 to 12, current density 1 to 8 A / dm 2 , electrolysis time 5 to 15 seconds, and the like.

本件発明に係る銅張積層板: 上述の本件発明に係るシランカップリング剤処理層を備える表面処理銅箔は、プリント配線板材料として好適である。特に、粗化処理を行っていない銅箔を樹脂基材に張り合わせようとする場合には、極めて良好な密着性を得ることが出来るのである。 Copper-clad laminate according to the present invention: The surface-treated copper foil provided with the silane coupling agent-treated layer according to the present invention described above is suitable as a printed wiring board material. In particular, when a copper foil that has not been subjected to roughening treatment is to be bonded to a resin base material, extremely good adhesion can be obtained.

なお、ここで言う樹脂基材とは、ガラス−エポキシ基材、ガラス−ポリイミド基材、ポリイミド系樹脂フィルム基材、アラミド樹脂フィルム基材等のあらゆる樹脂基材を含む概念として記載している。   In addition, the resin base material said here is described as a concept including all resin base materials, such as a glass-epoxy base material, a glass-polyimide base material, a polyimide-type resin film base material, and an aramid resin film base material.

表面処理銅箔の製造: この実施例1では、18μm厚さの電解銅箔の光沢面に、防錆処理層として亜鉛−ニッケル合金層を形成し、その表面にクロメート層を形成した。このときのニッケル−亜鉛合金メッキ処理の条件は、硫酸ニッケルを用いニッケル濃度が0.3g/l、ピロリン酸亜鉛を用いて亜鉛濃度が2.5g/l、ピロリン酸カリウム100g/l、液温40℃、電流密度1A/dm、電解時間20秒の条件で電解し、ニッケルを70wt%、亜鉛を30wt%含有する亜鉛−ニッケル合金メッキ層を形成した。そして、クロメート処理は、ニッケル−亜鉛合金メッキ層の上に、電解でクロメート層を形成した。このときの電解条件は、クロム酸1.0g/l、液温35℃、電流密度1A/dm、電解時間5秒とした。以上のようにして防錆処理層を形成した。 Production of surface-treated copper foil: In Example 1, a zinc-nickel alloy layer was formed as a rust-proofing layer on the glossy surface of an electrolytic copper foil having a thickness of 18 µm, and a chromate layer was formed on the surface. The conditions of the nickel-zinc alloy plating treatment at this time were as follows: nickel sulfate was used, the nickel concentration was 0.3 g / l, zinc pyrophosphate was used, the zinc concentration was 2.5 g / l, potassium pyrophosphate 100 g / l, the liquid temperature Electrolysis was performed under the conditions of 40 ° C., current density of 1 A / dm 2 , and electrolysis time of 20 seconds to form a zinc-nickel alloy plating layer containing 70 wt% nickel and 30 wt% zinc. In the chromate treatment, a chromate layer was formed by electrolysis on the nickel-zinc alloy plating layer. The electrolysis conditions at this time were chromic acid 1.0 g / l, liquid temperature 35 ° C., current density 1 A / dm 2 , and electrolysis time 5 seconds. A rust prevention treatment layer was formed as described above.

そして、当該防錆処理層の上にBTSPAを用いてシランカップリング剤処理層を形成した。即ち、純水にBTSPA濃度が0.5wt%となるようにBTSPAを添加し分散させ、溶液pH3.0に調整し、室温としたBTSPA含有溶液を調製した。そして、このBTSPA含有溶液をシャワーリングにより、前記銅箔の防錆処理層の上に30秒間接触させた。   And the silane coupling agent process layer was formed on the said antirust process layer using BTSPA. That is, BTSPA was added and dispersed in pure water so that the BTSPA concentration was 0.5 wt%, and adjusted to a solution pH of 3.0 to prepare a BTSPA-containing solution at room temperature. And this BTSPA containing solution was made to contact for 30 second on the antirust process layer of the said copper foil by showering.

続いて、200℃×60分、250℃×60分の2条件で加熱乾燥を行い、防錆処理層に吸着したBTSPAと銅箔表面(防錆処理層を備える場合を含む)にあるOH基との縮合反応と、2官能シランカップリング剤同士の縮合反応とを行い、同時に縮合の結果生じる水分をも完全に蒸発させ、シランカップリング剤処理層を形成し表面処理銅箔とした。   Subsequently, heat drying is performed under two conditions of 200 ° C. × 60 minutes and 250 ° C. × 60 minutes, and BTSPA adsorbed on the rust prevention treatment layer and the OH group on the copper foil surface (including the case where the rust prevention treatment layer is provided) And a condensation reaction between the bifunctional silane coupling agents were performed, and at the same time, the water generated as a result of the condensation was also completely evaporated to form a silane coupling agent-treated layer to obtain a surface-treated copper foil.

銅張積層板の製造: 上述のようにして得られた表面処理銅箔を、120μm厚さのガラス−エポキシプリプレグ(FR−4基材)に、180℃×60分の一般的な真空プレス加工条件で張り合わせて、銅張積層板を得た。 Manufacture of copper-clad laminate: The surface-treated copper foil obtained as described above is applied to a glass-epoxy prepreg (FR-4 substrate) having a thickness of 120 μm and a general vacuum press process at 180 ° C. for 60 minutes. Lamination was performed under conditions to obtain a copper clad laminate.

引き剥がし強さ測定用プリント配線板の製造: 前記銅張積層板の銅箔表面に、ドライフィルムを用いてエッチングレジスト層を形成し、エッチングパターンを露光、現像、レジスト剥離を行い、10mm幅の引き剥がし強さ測定用の直線回路を形成した。 Manufacture of printed wiring board for peel strength measurement: An etching resist layer is formed on the copper foil surface of the copper-clad laminate using a dry film, the etching pattern is exposed, developed, and the resist is stripped. A linear circuit for measuring the peel strength was formed.

引き剥がし強さの測定: ここでの引き剥がし強さの測定は、JISに定める90°剥離試験法を用いて、各乾燥条件の試料毎に各10点の測定を行った。その結果、シランカップリング剤処理層を形成する際に200℃×60分の条件を採用した場合には0.57〜0.60kN/m、250℃×60分の条件を採用した場合には0.62〜0.70kN/mであった。 Measurement of peel strength: The peel strength here was measured at 10 points for each sample under each drying condition using the 90 ° peel test method defined in JIS. As a result, when the conditions of 200 ° C. × 60 minutes are adopted when forming the silane coupling agent treatment layer, the conditions of 0.57 to 0.60 kN / m and 250 ° C. × 60 minutes are adopted. It was 0.62 to 0.70 kN / m.

表面処理銅箔の製造等: この実施例2では、実施例1で用いたBTSPAに代えて、BTSP−EDAを用い、溶液pHを5に調整した。その他の条件等は実施例1と同様である。そして、更に実施例1と同様にして、銅張積層板の製造、引き剥がし強さ測定用プリント配線板の製造をおこなった。従って、重複した記載を避けるため、詳細な説明は省略する。 Production of surface-treated copper foil and the like: In Example 2, instead of BTSPA used in Example 1, BTSP-EDA was used, and the solution pH was adjusted to 5. Other conditions are the same as in the first embodiment. Further, in the same manner as in Example 1, a copper clad laminate was manufactured and a printed wiring board for peeling strength measurement was manufactured. Therefore, detailed description is omitted to avoid redundant description.

引き剥がし強さの測定: ここでの引き剥がし強さの測定は、実施例1と同様に行った。その結果、シランカップリング剤処理層を形成する際に200℃×60分の条件を採用した場合には0.65〜0.68kN/m、250℃×60分の条件を採用した場合には0.69〜0.72kN/mであった。 Measurement of peel strength: The peel strength here was measured in the same manner as in Example 1. As a result, when the conditions of 200 ° C. × 60 minutes are adopted when forming the silane coupling agent treatment layer, the conditions of 0.65 to 0.68 kN / m and 250 ° C. × 60 minutes are adopted. It was 0.69 to 0.72 kN / m.

表面処理銅箔の製造等: この実施例2では、実施例1で用いたBTSPAに代えて、BTSEを用い、溶液pHを3に調整した。その他の条件等は実施例1と同様である。そして、更に実施例1と同様にして、銅張積層板の製造、引き剥がし強さ測定用プリント配線板の製造をおこなった。従って、重複した記載を避けるため、詳細な説明は省略する。 Production of surface-treated copper foil, etc .: In this Example 2, the solution pH was adjusted to 3 using BTSE instead of BTSPA used in Example 1. Other conditions are the same as in the first embodiment. Further, in the same manner as in Example 1, a copper clad laminate was manufactured and a printed wiring board for peeling strength measurement was manufactured. Therefore, detailed description is omitted to avoid redundant description.

引き剥がし強さの測定: ここでの引き剥がし強さの測定は、実施例1と同様に行った。その結果、シランカップリング剤処理層を形成する際に200℃×60分の条件を採用した場合には0.61〜0.68kN/m、250℃×60分の条件を採用した場合には0.66〜0.71kN/mであった。 Measurement of peel strength: The peel strength here was measured in the same manner as in Example 1. As a result, when the conditions of 200 ° C. × 60 minutes are adopted when forming the silane coupling agent treatment layer, the conditions of 0.61 to 0.68 kN / m and 250 ° C. × 60 minutes are adopted. It was 0.66 to 0.71 kN / m.

比較例Comparative example

[比較例1]
表面処理銅箔の製造等: この比較例では、実施例1で用いたBTSPAに代えて、APSを用い、溶液pHが10.4であった。その他の条件等は実施例1と同様である。そして、更に実施例1と同様にして、銅張積層板の製造、引き剥がし強さ測定用プリント配線板の製造をおこなった。従って、重複した記載を避けるため、詳細な説明は省略する。
[Comparative Example 1]
Production of surface-treated copper foil, etc .: In this comparative example, APS was used instead of BTSPA used in Example 1, and the solution pH was 10.4. Other conditions are the same as in the first embodiment. Further, in the same manner as in Example 1, a copper clad laminate was manufactured and a printed wiring board for peeling strength measurement was manufactured. Therefore, detailed description is omitted to avoid redundant description.

引き剥がし強さの測定: ここでの引き剥がし強さの測定は、実施例1と同様に行った。その結果、シランカップリング剤処理層を形成する際に200℃×60分の条件を採用した場合には0.50〜0.55kN/m、250℃×60分の条件を採用した場合には0.55〜0.60kN/mであった。 Measurement of peel strength: The peel strength here was measured in the same manner as in Example 1. As a result, when the conditions of 200 ° C. × 60 minutes are adopted when forming the silane coupling agent treatment layer, 0.50 to 0.55 kN / m when conditions of 250 ° C. × 60 minutes are adopted. It was 0.55 to 0.60 kN / m.

[比較例2]
表面処理銅箔の製造等: この比較例では、実施例1で用いたBTSPAを省略した。従って、シランカップリング剤は全く用いなかった。その他の条件等は実施例1と同様である。そして、更に実施例1と同様にして、銅張積層板の製造、引き剥がし強さ測定用プリント配線板の製造をおこなった。従って、重複した記載を避けるため、詳細な説明は省略する。
[Comparative Example 2]
Production of surface-treated copper foil, etc .: In this comparative example, BTSPA used in Example 1 was omitted. Therefore, no silane coupling agent was used. Other conditions are the same as in the first embodiment. Further, in the same manner as in Example 1, a copper clad laminate was manufactured and a printed wiring board for peeling strength measurement was manufactured. Therefore, detailed description is omitted to avoid redundant description.

引き剥がし強さの測定: ここでの引き剥がし強さの測定は、実施例1と同様に行った。その結果、シランカップリング剤処理層を形成する際に200℃×60分の条件を採用した場合には0.18kN/m〜0.25kN/m、250℃×60分の条件を採用した場合には0.22kN/m〜0.28kN/mであった。 Measurement of peel strength: The peel strength here was measured in the same manner as in Example 1. As a result, when conditions of 200 ° C. × 60 minutes are adopted when forming the silane coupling agent treatment layer, conditions of 0.18 kN / m to 0.25 kN / m, 250 ° C. × 60 minutes are adopted. Was 0.22 kN / m to 0.28 kN / m.

<実施例と比較例との対比>
以上に述べてきた実施例1〜実施例3と比較例1とを対比する。上記比較例1は、APSを用いてAPSがネットワーク化したシランカップリング剤処理層を形成し、最も良好な密着性が得られる条件を採用している。にもかかわらず、明らかに各実施例の引き剥がし強さの方が、比較例の引き剥がし強さより大きな値を示している。
<Contrast between Example and Comparative Example>
The first to third embodiments described above are compared with the first comparative example. Comparative Example 1 employs a condition in which a silane coupling agent-treated layer in which APS is networked is formed using APS and the best adhesion is obtained. Nevertheless, the peel strength of each example clearly shows a larger value than the peel strength of the comparative example.

そして、実施例1〜実施例3と比較例2とを対比すると、明らかにシランカップリング剤処理層の有無により、引き剥がし強さの差異が極めて顕著に表れることが分かる。   And when Example 1-Example 3 and Comparative Example 2 are contrasted, it turns out that the difference in peeling strength appears remarkably depending on the presence or absence of the silane coupling agent treatment layer.

本件発明に係る表面処理銅箔は、樹脂基材との接着面に2官能シランカップリング剤を用いて形成したシランカップリング剤処理層を備えている。その結果、表面処理銅箔と樹脂基材との密着性が飛躍的に改善され、粗化処理を施さない銅箔であっても、樹脂基材に対する安定した密着性が得られる。従って、この表面処理銅箔を用いることで、銅箔と樹脂基材との密着性に優れた銅張積層板を提供することが可能となり、更には銅張積層板を用いて得られるプリント配線板の高品質化に寄与するのである。   The surface-treated copper foil which concerns on this invention is equipped with the silane coupling agent process layer formed using the bifunctional silane coupling agent on the adhesive surface with a resin base material. As a result, the adhesion between the surface-treated copper foil and the resin substrate is dramatically improved, and a stable adhesion to the resin substrate can be obtained even with a copper foil that is not subjected to a roughening treatment. Therefore, by using this surface-treated copper foil, it becomes possible to provide a copper-clad laminate having excellent adhesion between the copper foil and the resin base material, and further, a printed wiring obtained using the copper-clad laminate. This contributes to higher quality of the board.

また、上記2官能シランカップリング剤を用いてシランカップリング剤処理層を形成しようとする場合にも、特殊な設備を必要とするものではなく、従来の設備を使用しての生産が可能である。従って、本件発明に係る表面処理銅箔の製造方法は、銅箔表面に2官能シランカップリング剤を用いて形成するシランカップリング剤処理層の特性を最大限に引き出すことの出来る製造方法であり、経済性に優れている。   Also, when a silane coupling agent-treated layer is formed using the above bifunctional silane coupling agent, it does not require special equipment and can be produced using conventional equipment. is there. Therefore, the manufacturing method of the surface treatment copper foil which concerns on this invention is a manufacturing method which can draw out the characteristic of the silane coupling agent processing layer formed using a bifunctional silane coupling agent on the copper foil surface to the maximum. Excellent economy.

rf−GDOESを用いて測定した表面処理銅箔のシランカップリング剤処理層を構成する各元素の深さプロファイルである。It is the depth profile of each element which comprises the silane coupling agent process layer of the surface treatment copper foil measured using rf-GDOES. シランカップリング剤としてAPSを用いた場合の銅箔表面での吸着モデルである。It is an adsorption model on the surface of copper foil when APS is used as a silane coupling agent. BTSPA含有溶液の溶液pHと引き剥がし強さとの関係を示した図である。It is the figure which showed the relationship between the solution pH of a BTSPA containing solution, and peeling strength. BTSP−EDA含有溶液の溶液pHと引き剥がし強さとの関係を示した図である。It is the figure which showed the relationship between the solution pH of a BTSP-EDA containing solution, and peeling strength. BTSE含有溶液の溶液pHと引き剥がし強さとの関係を示した図である。It is the figure which showed the relationship between the solution pH of BTSE containing solution, and peeling strength.

Claims (12)

銅箔の樹脂基材層との接着面にシランカップリング剤処理層を備える表面処理銅箔であって、
当該シランカップリング剤処理層は、化学構造式の両端部に−Si(OCH)の官能基を備える2官能シランカップリング剤を用いて形成したことを特徴とする表面処理銅箔。
A surface-treated copper foil provided with a silane coupling agent-treated layer on the adhesive surface with the resin base layer of the copper foil,
The silane coupling agent treatment layer surface treated copper foil, characterized in that formed using a bifunctional silane coupling agent having a functional group -Si (OCH 3) at both ends of formula.
前記2官能シランカップリング剤は、以下の化1として示した基本構造を備えるものである請求項1に記載の表面処理銅箔。
Figure 2007098732
The surface-treated copper foil according to claim 1, wherein the bifunctional silane coupling agent has a basic structure shown as Chemical Formula 1 below.
Figure 2007098732
前記2官能シランカップリング剤には、n=3、m=1のビス−γ−トリメトキシシリルプロピルアミンであり、以下の化2として示した基本構造を備えるものを用いた請求項2に記載の表面処理銅箔。
Figure 2007098732
The bifunctional silane coupling agent is a bis-γ-trimethoxysilylpropylamine having n = 3 and m = 1 and having a basic structure represented by the following chemical formula 2. Surface treated copper foil.
Figure 2007098732
前記2官能シランカップリング剤には、n=4、m=2のビス−γ−トリメトキシシリルプロピルエチレンジアミンであり、以下の化3として示した基本構造を備えるものを用いた請求項2に記載の表面処理銅箔。
Figure 2007098732
3. The bifunctional silane coupling agent is a bis-γ-trimethoxysilylpropylethylenediamine having n = 4 and m = 2 and having a basic structure represented by the following chemical formula 3. Surface treated copper foil.
Figure 2007098732
前記2官能シランカップリング剤には、n=1、m=0のビス−γ−トリメトキシシリルエタンであり、以下の化4として示した基本構造を備えるものを用いた請求項2に記載の表面処理銅箔。
Figure 2007098732
The bifunctional silane coupling agent is bis-γ-trimethoxysilylethane of n = 1 and m = 0, and has a basic structure shown as the following chemical formula 4. Surface treated copper foil.
Figure 2007098732
請求項1〜請求項5のいずれかに記載の2官能シランカップリング剤を用いて銅箔表面へシランカップリング剤処理層を形成した表面処理銅箔の製造方法であって、
前記2官能シランカップリング剤を溶媒に分散させた2官能シランカップリング剤含有溶液を調製し、
当該2官能シランカップリング剤含有溶液と銅箔表面とを接触させ、銅箔の接着面に2官能シランカップリング剤吸着層を形成し、
その後、190℃〜270℃の加熱雰囲気中で10秒〜60分間の乾燥を行いシランカップリング剤処理層を形成することを特徴としたシランカップリング剤処理層を備える表面処理銅箔の製造方法。
It is a manufacturing method of the surface treatment copper foil which formed the silane coupling agent processing layer on the copper foil surface using the bifunctional silane coupling agent in any one of Claims 1-5,
Preparing a bifunctional silane coupling agent-containing solution in which the bifunctional silane coupling agent is dispersed in a solvent;
The bifunctional silane coupling agent-containing solution and the copper foil surface are brought into contact with each other, and a bifunctional silane coupling agent adsorption layer is formed on the adhesive surface of the copper foil.
Then, the manufacturing method of the surface treatment copper foil provided with the silane coupling agent processing layer characterized by drying for 10 second-60 minutes in a heating atmosphere of 190 to 270 degreeC, and forming a silane coupling agent processing layer .
前記2官能シランカップリング剤含有溶液は、ビス−γ−トリメトキシシリルプロピルアミンを溶媒に分散させてpH3.0〜pH5.0に調製したものである請求項6に記載のシランカップリング剤処理層を備える表面処理銅箔の製造方法。 The silane coupling agent treatment according to claim 6, wherein the bifunctional silane coupling agent-containing solution is prepared by dispersing bis-γ-trimethoxysilylpropylamine in a solvent to a pH of 3.0 to 5.0. The manufacturing method of the surface treatment copper foil provided with a layer. 前記2官能シランカップリング剤含有溶液は、ビス−γ−トリメトキシシリルプロピルエチレンジアミンを溶媒に分散させてpH4.5〜pH11.5に調製したものである請求項6に記載のシランカップリング剤処理層を備える表面処理銅箔の製造方法。 The silane coupling agent treatment according to claim 6, wherein the bifunctional silane coupling agent-containing solution is prepared by dispersing bis-γ-trimethoxysilylpropylethylenediamine in a solvent to a pH of 4.5 to 11.5. The manufacturing method of the surface treatment copper foil provided with a layer. 前記2官能シランカップリング剤含有溶液は、ビス−γ−トリメトキシシリルエタンを溶媒に分散させてpH3.0〜pH6.0又はpH11.0以上のいずれかのpH領域に調製したものである請求項6に記載のシランカップリング剤処理層を備える表面処理銅箔の製造方法。 The bifunctional silane coupling agent-containing solution is prepared by dispersing bis-γ-trimethoxysilylethane in a solvent in a pH range of pH 3.0 to pH 6.0 or pH 11.0 or higher. Item 7. A method for producing a surface-treated copper foil comprising the silane coupling agent-treated layer according to Item 6. 前記銅箔には、その接着面に粗化処理及び/又は防錆処理を施したものを用いる請求項6〜請求項9のいずれかに記載のシランカップリング剤処理層を備える表面処理銅箔の製造方法。 The surface-treated copper foil provided with the silane coupling agent process layer in any one of Claims 6-9 which uses what gave the roughening process and / or the antirust process to the said copper foil. Manufacturing method. 前記防錆処理は、無機防錆又は有機防錆処理である請求項10に記載のシランカップリング剤処理層を備える表面処理銅箔の製造方法。 The method for producing a surface-treated copper foil provided with the silane coupling agent-treated layer according to claim 10, wherein the rust prevention treatment is an inorganic rust prevention treatment or an organic rust prevention treatment. 請求項6〜請求項9のいずれかに記載のシランカップリング剤処理層を備える表面処理銅箔を用いて得られる銅張積層板。 The copper clad laminated board obtained using a surface-treated copper foil provided with the silane coupling agent process layer in any one of Claims 6-9.
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