JP2007030326A - Copper foil with resin, laminate for producing printed wiring boad, and multilayer printed wiring board - Google Patents

Copper foil with resin, laminate for producing printed wiring boad, and multilayer printed wiring board Download PDF

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Shoji Hashimoto
昌二 橋本
Kiyotaka Komori
清孝 古森
Mitsunaga Nishino
充修 西野
Kazuhide Endo
和栄 遠藤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide copper foil with a resin which improves low transmission loss properties during high frequency transmission by copper foil constituting the conductor layer of a printed wiring board and problematic adhesive properties between a copper foil layer and a resin layer during heating in a re-flow solder process etc., and a multilayer printed wiring board using the copper foil. <P>SOLUTION: The copper foil with the resin comprises laminating the resin layer containing a polyphenylene oxide resin composition in which the dielectric constant of a cured substance having unsaturated double bonds is 3.5 or below and the copper foil, wherein the surface roughness of the side on which the resin layer of the copper foil formed is 1-2 μm, a metal treatment layer is formed on the surface, and a silane coupling agent is applied on the metal treatment layer. The amount of zinc, the amount of nickel, and the amount of silicon in the surface are each within a specified range. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、樹脂付銅箔、プリント配線板製造用積層体及び多層プリント配線板に関し、特に高周波用途における電気信号の伝送損失を低減することができる樹脂付銅箔、プリント配線板製造用積層体及び多層プリント配線板に関するものである。   TECHNICAL FIELD The present invention relates to a resin-coated copper foil, a laminate for producing a printed wiring board, and a multilayer printed wiring board, and more particularly, a resin-coated copper foil capable of reducing electrical signal transmission loss in high frequency applications, and a laminate for producing a printed wiring board. And a multilayer printed wiring board.

近年、各種電子機器に用いられるプリント配線板は、搭載される半導体デバイスの高集積化とパッケージの精緻化等の高密度化が進められており、それに伴い、特に高周波伝送時における低伝送損失性の向上が求められている。   In recent years, printed wiring boards used in various electronic devices have been developed with higher integration of semiconductor devices to be mounted and higher density of packages, etc., and accordingly, low transmission loss characteristics especially at high frequency transmission. Improvement is demanded.

前記低伝送損失性を改良するためには回路部分を形成する銅箔の表面粗さが低い方が好ましい。しかし、前記表面粗さが低すぎる場合には銅箔と絶縁層である樹脂層との接着性が低くなり、プリント配線板上に各種電子部品を実装する際のリフローはんだ工程において、銅箔の剥がれや膨れを引起こすという問題があった。   In order to improve the low transmission loss, it is preferable that the copper foil forming the circuit portion has a low surface roughness. However, if the surface roughness is too low, the adhesion between the copper foil and the resin layer that is an insulating layer is low, and in the reflow soldering process when mounting various electronic components on the printed wiring board, There was a problem of causing peeling and swelling.

前記問題を解決するために、例えば、以下の特許文献1には、不飽和二重結合を有する成分を含有すると共に硬化物の誘電率が3.5以下となる熱硬化性樹脂組成物から形成される樹脂層と銅箔とを積層して構成されるプリント配線板製造用積層材料において、銅箔の樹脂層が形成される側の表面が、亜鉛又は亜鉛合金にて処理された後、ビニル基含有シランカップリング剤によるカップリング剤処理されているものを用いる技術が開示されている。   In order to solve the above-mentioned problem, for example, the following Patent Document 1 includes a component having an unsaturated double bond and a thermosetting resin composition having a cured product having a dielectric constant of 3.5 or less. In the laminated material for producing a printed wiring board constituted by laminating a resin layer and a copper foil, the surface of the copper foil on which the resin layer is formed is treated with zinc or a zinc alloy, and then vinyl. A technique using a material treated with a coupling agent by a group-containing silane coupling agent is disclosed.

前記技術を用いた場合、銅箔として表面粗さが小さいものを用いても熱硬化性樹脂組成物中の不飽和二重結合がビニル基含有シランカップリング剤と結合し、この結合において亜鉛又は亜鉛合金が触媒的に働いて銅箔と熱硬化性樹脂組成物の接着力が向上するために、高周波の伝送損失が低く、且つ導体層と絶縁層との接着性が高いプリント配線板又は多層プリント配線板を容易に得ることができることが記載されている。   When the technique is used, even if a copper foil having a small surface roughness is used, the unsaturated double bond in the thermosetting resin composition is bonded to the vinyl group-containing silane coupling agent, and in this bond, zinc or Since the zinc alloy works catalytically to improve the adhesive force between the copper foil and the thermosetting resin composition, the printed wiring board or multilayer having low high-frequency transmission loss and high adhesion between the conductor layer and the insulating layer It is described that a printed wiring board can be easily obtained.

しかしながら、前記技術を用いた場合には、高周波伝送時における低伝送損失性が不充分であり、また、前記リフローはんだ工程においても未だ前記銅箔の剥がれや膨れの問題は解消されていなかった。
特開2003−283098号公報
However, when the above technique is used, the low transmission loss at the time of high-frequency transmission is insufficient, and the problem of peeling or swelling of the copper foil has not been solved even in the reflow soldering process.
JP 2003-283098 A

本発明は上記の点に鑑みて為されたものであり、プリント配線板の導体層を構成する銅箔での高周波伝送時における低伝送損失性を向上するとともに、リフローはんだ工程等において問題になる熱時における銅箔層と樹脂層との接着性を改良した樹脂付銅箔及びこれを用いた多層プリント配線板を提供することを目的とするものである。   The present invention has been made in view of the above points, and improves the low transmission loss at the time of high-frequency transmission in the copper foil constituting the conductor layer of the printed wiring board, and becomes a problem in the reflow soldering process and the like. It aims at providing the copper foil with resin which improved the adhesiveness of the copper foil layer and resin layer at the time of a heat | fever, and a multilayer printed wiring board using the same.

本発明の樹脂付銅箔は不飽和二重結合を有する成分を含有するとともにその硬化物の誘電率が3.5以下となるポリフェニレンオキサイド樹脂組成物を含有する樹脂層と銅箔とが積層されて構成される樹脂付銅箔において、前記銅箔の樹脂層が形成される側の表面粗さは0.5〜2μmであり、またその表面は金属処理層が形成された後シランカップリング剤が塗布されており、前記表面における亜鉛量が1〜2mg/dm、ニッケル量が0.10〜0.3mg/dm及びケイ素量が0.005〜0.05mg/dmであることを特徴とするものである(請求項1)。 The resin-coated copper foil of the present invention contains a resin layer containing a polyphenylene oxide resin composition containing a component having an unsaturated double bond and a dielectric constant of the cured product of 3.5 or less, and a copper foil. In the resin-coated copper foil, the surface roughness on the side of the copper foil on which the resin layer is formed is 0.5 to 2 μm, and the surface of the copper foil after the metal treatment layer is formed is a silane coupling agent There are applied, the amount of zinc in the surface 1-2 mg / dm 2, the amount of nickel 0.10~0.3mg / dm 2 and a silicon amount is 0.005-0.05 / dm 2 It is a characteristic (claim 1).

また、前記樹脂付銅箔の前記表面におけるクロム量が0.05〜0.15mg/dmであるものである(請求項2)。 Moreover, the chromium amount in the said surface of the said copper foil with resin is 0.05-0.15 mg / dm < 2 > (Claim 2).

さらに、前記樹脂付銅箔の前記表面のケイ素量において、付着量の少ないところと多いところの原子数の比率が1〜6倍であるものである(請求項3)。   Furthermore, in the amount of silicon on the surface of the copper foil with resin, the ratio of the number of atoms where the amount of adhesion is small and where the amount of adhesion is large is 1 to 6 times (Claim 3).

また、前記ポリフェニレンオキサイド樹脂組成物の樹脂成分全量中にポリフェニレンオキサイド樹脂20〜80質量%、トリアリルイソシアヌレート樹脂を20〜70質量%含有する樹脂付銅箔である(請求項4)。   Moreover, it is a copper foil with a resin which contains 20-80 mass% of polyphenylene oxide resin and 20-70 mass% of triallyl isocyanurate resin in the resin component whole quantity of the said polyphenylene oxide resin composition (Claim 4).

さらに、前記ポリフェニレンオキサイド樹脂の樹脂成分全量中にエテニルベンジル化されたポリフェニレンオキサイド樹脂を20〜80質量%含有する樹脂付銅箔である(請求項5)。   Furthermore, it is a resin-attached copper foil containing 20 to 80% by mass of ethenylbenzylated polyphenylene oxide resin in the total amount of the resin component of the polyphenylene oxide resin (Claim 5).

また、前記シランカップリング剤がビニルシランであるものである(請求項6)。   The silane coupling agent is vinyl silane.

さらに、前記樹脂付銅箔において、前記樹脂層として基材に前記ポリフェニレンオキサイド樹脂組成物を含浸し、加熱乾燥により半硬化して得られるプリプレグを用い、前記プリプレグの両面又は片面に銅箔を重ねて加熱加圧成形することにより得られるプリント配線板製造用積層体である(請求項7)。   Further, in the copper foil with resin, a prepreg obtained by impregnating the base material with the polyphenylene oxide resin composition as the resin layer and semi-curing by heat drying is used, and the copper foil is laminated on both sides or one side of the prepreg. A laminate for manufacturing a printed wiring board obtained by heating and pressing.

そして、前記樹脂付銅箔及び/又はプリント配線板製造用積層体を用いて得られる多層プリント配線板である(請求項8)。   And it is a multilayer printed wiring board obtained using the said laminated copper foil with resin and / or printed wiring board manufacture (Claim 8).

本発明の請求項1に係る樹脂付銅箔は、ポリフェニレンオキサイド樹脂組成物中の不飽和二重結合がシランカップリング剤と結合して高い接着強度が得られるものであり、銅箔表面に付着した亜鉛は、シランカップリング剤と銅箔との結合反応、及びシランカップリング剤とポリフェニレンオキサイド樹脂組成物中の二重結合との結合反応において触媒的に働いて銅箔とポリフェニレンオキサイド樹脂組成物の接着向上に寄与し、また、前記表面に付着したニッケルは、リフローはんだ工程等が高温の場合においても樹脂層との接着強度を維持するものである。このため、この樹脂付銅箔を用いることにより、高周波の伝送損失が低く、銅箔と樹脂層との接着性、特にリフローはんだ工程等の高温に曝されても高い接着性を維持することができるものである。   The copper foil with a resin according to claim 1 of the present invention is one in which an unsaturated double bond in a polyphenylene oxide resin composition is combined with a silane coupling agent to obtain a high adhesive strength and adheres to the surface of the copper foil. The zinc acted catalytically in the bonding reaction between the silane coupling agent and the copper foil, and the bonding reaction between the silane coupling agent and the double bond in the polyphenylene oxide resin composition, and the copper foil and the polyphenylene oxide resin composition. In addition, the nickel adhered to the surface maintains the adhesive strength with the resin layer even when the reflow soldering process or the like is at a high temperature. For this reason, by using this resin-coated copper foil, high-frequency transmission loss is low, and high adhesion can be maintained even when exposed to high temperatures such as the reflow soldering process, particularly the adhesion between the copper foil and the resin layer. It can be done.

また、請求項2の発明は、請求項1において、さらに、表面にクロムが特定の割合で付着していることにより、銅箔の防錆・防変色効果を得ることができる。   Moreover, the invention of claim 2 can obtain the antirust / anti-discoloration effect of the copper foil in claim 1 because chromium is adhered to the surface at a specific ratio.

さらに、請求項3の発明は、請求項1又は2において、原子数の比率が高い、すなわちミクロな視点にてSi付着量に差があると銅箔と樹脂層の接着強度が低い箇所、高い箇所が存在し、樹脂付銅箔の銅箔接着強度としては低くなる。また、銅箔と樹脂層の接着が低い箇所では酸に浸食されやすく、耐酸劣化率が高くなるため、Si原子数比率としては1〜6倍であることが好ましい。   Furthermore, the invention of claim 3 is the portion according to claim 1 or 2, wherein the ratio of the number of atoms is high, that is, where the adhesion strength between the copper foil and the resin layer is low if there is a difference in the amount of Si adhesion from a microscopic viewpoint, high A location exists and it becomes low as copper foil adhesive strength of resin-coated copper foil. Moreover, since it is easy to be eroded by an acid in the location where the adhesion between the copper foil and the resin layer is low and the acid deterioration rate becomes high, the Si atom number ratio is preferably 1 to 6 times.

また、請求項4の発明は、請求項1〜3のいずれかに記載の樹脂付銅箔において、硬化物の誘電率が3.5以下のポリフェニレンオキサイド樹脂組成物において、さらに成形性と耐熱性に優れたものである。   The invention according to claim 4 is the copper foil with resin according to any one of claims 1 to 3, wherein the cured product has a polyphenylene oxide resin composition having a dielectric constant of 3.5 or less, further moldability and heat resistance. It is an excellent one.

さらに、請求項5の発明は、請求項1〜4のいずれかに記載の樹脂付銅箔おいて、エテニルベンジル化されたポリフェニレンオキサイド樹脂を含むことで誘電正接を低減し、伝送損失をさらに低くすることができる。   Furthermore, the invention of claim 5 is the copper foil with resin according to any one of claims 1 to 4, wherein the loss tangent is reduced by including an ethenylbenzylated polyphenylene oxide resin, further reducing transmission loss. Can be lowered.

また、請求項6に係る積層板は、請求項1〜5のいずれかに記載の樹脂付銅箔において、銅箔と樹脂層の接着強度が特に高くなるため好ましい。   Moreover, the laminated board which concerns on Claim 6 is preferable in the copper foil with a resin in any one of Claims 1-5 since the adhesive strength of copper foil and a resin layer becomes high especially.

さらに、請求項7に係るプリント配線板製造用積層体は、高周波の伝送損失が低く、且つ導体層と絶縁層との接着性が高い多層プリント配線板を容易に得ることができるものである。   Furthermore, the laminate for producing a printed wiring board according to claim 7 can easily obtain a multilayer printed wiring board having low transmission loss of high frequency and high adhesion between the conductor layer and the insulating layer.

そして、請求項8に係る多層プリント配線板は、樹脂層から形成される絶縁層と銅箔から構成される導体層との接着強度が大きくなるものであり、高周波用途において低伝送損失である表面粗さの小さな銅箔を用いた場合においても、十分な接着強度が得られるものである。   The multilayer printed wiring board according to claim 8 has a surface having a low transmission loss in a high frequency application, in which an adhesive strength between an insulating layer formed of a resin layer and a conductor layer formed of a copper foil is increased. Even when a copper foil having a small roughness is used, sufficient adhesive strength can be obtained.

本発明の樹脂付銅箔は不飽和二重結合を有する成分を含有するとともにその硬化物の誘電率が3.5以下となるポリフェニレンオキサイド樹脂組成物と銅箔とが積層されて構成される樹脂付銅箔において、前記銅箔の樹脂層が形成される側の表面粗さは0.5〜2μmであり、またその表面は金属処理層が形成された後シランカップリング剤が塗布されており、前記表面における亜鉛量が1〜2mg/dm、ニッケル量が0.10〜0.3mg/dm及びケイ素量が0.005〜0.05mg/dmであることを特徴とするものである。 The resin-coated copper foil of the present invention contains a component having an unsaturated double bond, and is formed by laminating a polyphenylene oxide resin composition and a copper foil whose cured product has a dielectric constant of 3.5 or less. In the attached copper foil, the surface roughness of the copper foil on which the resin layer is formed is 0.5 to 2 μm, and the surface is coated with a silane coupling agent after the metal treatment layer is formed. , in which the amount of zinc in the surface 1-2 mg / dm 2, the amount of nickel 0.10~0.3mg / dm 2 and the amount of silicon is characterized in that it is a 0.005-0.05 / dm 2 is there.

本発明において、不飽和二重結合を有する成分を含有するポリフェニレンオキサイド樹脂組成物としては、エテニルベンジル化されたポリフェニレンオキサイドを含有するポリフェニレンオキサイド樹脂組成物やトリアリルイソシアヌレート樹脂等の架橋性樹脂を含有するポリフェニレンオキサイド樹脂組成物を挙げることができる。   In the present invention, the polyphenylene oxide resin composition containing a component having an unsaturated double bond includes a crosslinkable resin such as a polyphenylene oxide resin composition containing ethenylbenzylated polyphenylene oxide or a triallyl isocyanurate resin. The polyphenylene oxide resin composition containing can be mentioned.

本発明で用いられるポリフェニレンオキサイドは、例えば、米国特許第4059568号明細書に開示されている方法で合成した数平均分子量(Mn)が13000〜25000程度の次の一般式(1)

Figure 2007030326
の構造で表されるポリ(2,6−ジメチル−1,4−フェニレンオキサイド)等の高分子量ポリフェニレンオキサイドを後述する分子量低減方法により数平均分子量が2000〜10000程度にまで分子量を低減させることにより得られる。 The polyphenylene oxide used in the present invention is, for example, the following general formula (1) having a number average molecular weight (Mn) of about 13,000 to 25000 synthesized by the method disclosed in US Pat. No. 4,059,568.
Figure 2007030326
By reducing the molecular weight of the high molecular weight polyphenylene oxide such as poly (2,6-dimethyl-1,4-phenylene oxide) represented by the following structure to a number average molecular weight of about 2000 to 10,000 by a molecular weight reduction method described later. can get.

分子量を低減させたポリフェニレンオキサイドを得る方法としては、公知の分子量を低減させる方法、具体的には、例えば、高分子量ポリフェニレンオキサイドにフェノール種を反応させることにより分子量を低減させる「The Journal of Organic Chemistry,34,297-303(1969)」に記載の方法及びその改良された公知の方法等を用いることができる。   As a method for obtaining a polyphenylene oxide having a reduced molecular weight, a known method for reducing the molecular weight, specifically, for example, by reducing the molecular weight by reacting a high molecular weight polyphenylene oxide with a phenol species, “The Journal of Organic Chemistry , 34,297-303 (1969) ", an improved known method thereof, and the like can be used.

前記方法としては、例えば、数平均分子量が13000〜25000程度の高分子量ポリフェニレンオキサイドをフェノール種、分解過酸化物及び必要に応じて分解反応を促進するナフテン酸コバルト等の脂肪酸金属塩とともに溶剤中で反応させることにより数平均分子量が2000〜10000程度にまで分解させる方法等が挙げられる。   Examples of the method include, in a solvent, a high molecular weight polyphenylene oxide having a number average molecular weight of about 13,000 to 25,000 together with a phenol species, a decomposition peroxide, and a fatty acid metal salt such as cobalt naphthenate that accelerates a decomposition reaction as necessary. Examples of the method include a method in which the number average molecular weight is decomposed to about 2000 to 10,000 by reaction.

前記フェノール種としては、例えば、フェノール、クレゾール、キシレノール、ヒドロキノン、ビスフェノールA、2,6−ジメチルフェノール、4,4′−ジヒドロキシジフェニルエーテル等が挙げられる。   Examples of the phenol species include phenol, cresol, xylenol, hydroquinone, bisphenol A, 2,6-dimethylphenol, 4,4′-dihydroxydiphenyl ether, and the like.

また、前記分解過酸化物としては、例えば、ジ(t−ブチルパーオキシイソプロピル)ベンゼン、過酸化ベンゾイル,3,3′,5,5′−テトラメチル−1,4−ジフェノキノンクロラニル、2,4,6−トリ−t−ブチルフェノキシル、t−ブチルペルオキシイソプロピルモノカーボネート、アゾビスイソブチロニトリル等が挙げられる。   Examples of the decomposed peroxide include di (t-butylperoxyisopropyl) benzene, benzoyl peroxide, 3,3 ′, 5,5′-tetramethyl-1,4-diphenoquinone chloranil, 2 , 4,6-tri-t-butylphenoxyl, t-butylperoxyisopropyl monocarbonate, azobisisobutyronitrile and the like.

また本発明における不飽和二重結合を有する成分として前記エテニルベンジル化されたポリフェニレンオキサイドを含有するポリフェニレンオキサイド樹脂組成物を用いる場合には前記分子量が低減されたポリフェニレンオキサイドのその末端のフェノール基の水素原子を下記一般式(2)に示すエテニルベンジル基に置換することにより得られるエテニルベンジル化ポリフェニレンオキサイドを含有させることにより得られる。   Further, when the polyphenylene oxide resin composition containing the ethenylbenzylated polyphenylene oxide is used as the component having an unsaturated double bond in the present invention, the terminal phenol group of the polyphenylene oxide having a reduced molecular weight is used. It can be obtained by including an ethenylbenzylated polyphenylene oxide obtained by substituting a hydrogen atom with an ethenylbenzyl group represented by the following general formula (2).

Figure 2007030326
Figure 2007030326

エテニルベンジル化されたポリフェニレンオキサイドの製造方法としては、例えば前記分子量が低減されたポリフェニレンオキサイドとハロゲン化メチルスチレンとをアルカリ金属水酸化物の存在下で反応させることによって行うことができる。   As a method for producing ethenylbenzylated polyphenylene oxide, for example, the polyphenylene oxide having a reduced molecular weight can be reacted with halogenated methylstyrene in the presence of an alkali metal hydroxide.

具体的には、末端にフェノール基を有するポリフェニレンオキサイド及びハロゲン化メチルスチレンをトルエン等の有機溶剤に溶解させ、この溶液にアルカリ金属水酸化物の水溶液を滴下することによって、エテニルベンジル化を行うことができる。このとき、アルカリ金属水酸化物は脱ハロゲン化水素剤(例えば、脱塩酸剤)として機能し、このアルカリ金属水酸化物がフェノール基とハロゲン化メチルスチレンからハロゲン化水素を脱離させることによって、ポリフェニレンオキサイドの末端のフェノール基(−OH)のHの代わりに前記一般式(2)で示される構造がOに結合することとなる。なお、反応温度は30〜100℃、反応時間は0.5〜20時間であることが好ましい。   More specifically, ethenyl benzylation is performed by dissolving polyphenylene oxide having a phenol group at the terminal and halogenated methylstyrene in an organic solvent such as toluene and dropping an aqueous solution of an alkali metal hydroxide into this solution. be able to. At this time, the alkali metal hydroxide functions as a dehydrohalogenating agent (for example, a dehydrochlorinating agent), and the alkali metal hydroxide desorbs the hydrogen halide from the phenol group and halogenated methylstyrene, The structure represented by the general formula (2) is bonded to O instead of H of the phenol group (—OH) at the terminal of the polyphenylene oxide. In addition, it is preferable that reaction temperature is 30-100 degreeC and reaction time is 0.5 to 20 hours.

前記ハロゲン化メチルスチレンとしては、例えば、p−クロロメチルスチレン、m−クロロメチルスチレン、p−クロロメチルスチレンとm−クロロメチルスチレンとの混合体、p−ブロモメチルスチレン、m−ブロモメチルスチレン、p−ブロモメチルスチレンとm−ブロモメチルスチレンとの混合体等を用いることができる。特に、ハロゲン化メチルスチレンが、p−クロロメチルスチレン及びm−クロロメチルスチレンからなる群から選ばれる少なくとも1種のものであることが好ましい。このようなハロゲン化メチルスチレンを用いると、前記一般式(2)で示される構造がp−エテニルベンジル基及びm−エテニルベンジル基からなる群から選ばれる少なくとも1種のものとなり、ポリフェニレンオキサイドの融点や軟化点を任意に変化させることができる。例えば、p−クロロメチルスチレンを使用すると、対称性が良好となり、高融点、高軟化点のポリフェニレンオキサイドを得ることができ、また、p−クロロメチルスチレンとm−クロロメチルスチレンとの混合体を使用すると、低融点、低軟化点のポリフェニレンオキサイドを得ることができ、成形時における作業性が良好となるものである。   Examples of the halogenated methylstyrene include p-chloromethylstyrene, m-chloromethylstyrene, a mixture of p-chloromethylstyrene and m-chloromethylstyrene, p-bromomethylstyrene, m-bromomethylstyrene, A mixture of p-bromomethylstyrene and m-bromomethylstyrene or the like can be used. In particular, the halogenated methylstyrene is preferably at least one selected from the group consisting of p-chloromethylstyrene and m-chloromethylstyrene. When such a halogenated methylstyrene is used, the structure represented by the general formula (2) becomes at least one selected from the group consisting of a p-ethenylbenzyl group and an m-ethenylbenzyl group, and polyphenylene oxide The melting point and softening point of can be arbitrarily changed. For example, when p-chloromethylstyrene is used, the symmetry becomes good and a polyphenylene oxide having a high melting point and a high softening point can be obtained. Also, a mixture of p-chloromethylstyrene and m-chloromethylstyrene is used. When used, a polyphenylene oxide having a low melting point and a low softening point can be obtained, and workability during molding is improved.

また、上記のアルカリ金属水酸化物としては、特に限定されるものではないが、例えば、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、これらの混合物等を用いることができる。なお、アルカリ金属水酸化物の配合割合はフェノール基1モルに対して1.1〜2.0倍モル程度であることが好ましい。   The alkali metal hydroxide is not particularly limited, and for example, potassium hydroxide, sodium hydroxide, a mixture thereof, and the like can be used. In addition, it is preferable that the mixture ratio of an alkali metal hydroxide is about 1.1-2.0 times mole with respect to 1 mol of phenol groups.

エテニルベンジル化を行うにあたっては、相間移動触媒を用いるようにしてもよい。相間移動触媒は、アルカリ金属水酸化物を取り込む機能をもち、水のような極性溶剤からなる相と有機溶剤のような非極性溶剤からなる相の両方の相に可溶で、これらの相間を移動することができる触媒である。相間移動触媒を用いない場合においては、アルカリ金属水酸化物のみを非極性溶剤に可溶化するのは困難であるため、非極性溶剤に溶解しているポリフェニレンオキサイド及びハロゲン化メチルスチレンからハロゲン化水素を脱離するのに長時間を要するおそれがある。しかし、相間移動触媒の存在下においては、極性溶剤に溶解しているアルカリ金属水酸化物は相間移動触媒に取り込まれた後にこの相間移動触媒によって非極性溶剤中に移送されることから、アルカリ金属水酸化物を非極性溶剤に容易に可溶化することができ、エテニルベンジル化を促進することができるものである。相間移動触媒としては、特に限定されるものではないが、例えば、テトラ−n−ブチルアンモニウムブロマイド等の第4級アンモニウム塩を用いることができる。なお、相間移動触媒の存在下においては、100℃以下の温度でエテニルベンジル化の反応を行うのが好ましい。   In carrying out ethenyl benzylation, a phase transfer catalyst may be used. The phase transfer catalyst has a function of incorporating an alkali metal hydroxide and is soluble in both a phase composed of a polar solvent such as water and a phase composed of a nonpolar solvent such as an organic solvent. It is a catalyst that can move. In the case of not using a phase transfer catalyst, it is difficult to solubilize only alkali metal hydroxide in a nonpolar solvent. Therefore, hydrogen halide from polyphenylene oxide and halogenated methylstyrene dissolved in the nonpolar solvent. It may take a long time to desorb. However, in the presence of the phase transfer catalyst, the alkali metal hydroxide dissolved in the polar solvent is taken into the phase transfer catalyst and then transferred into the nonpolar solvent by the phase transfer catalyst. Hydroxides can be easily solubilized in nonpolar solvents, and ethenylbenzylation can be promoted. The phase transfer catalyst is not particularly limited, and for example, a quaternary ammonium salt such as tetra-n-butylammonium bromide can be used. In the presence of a phase transfer catalyst, the ethenyl benzylation reaction is preferably performed at a temperature of 100 ° C. or lower.

上述した方法により、分子末端に前記一般式(2)で示される構造を少なくとも1つ以上(実質上の上限は4個)有するポリフェニレンオキサイドを製造することができる。   By the method described above, a polyphenylene oxide having at least one structure (substantially upper limit of 4) represented by the general formula (2) at the molecular end can be produced.

本発明の不飽和二重結合を有する成分が前記エテニルベンジル化ポリフェニレンオキサイド樹脂である場合の樹脂成分全量中のエテニルベンジル化ポリフェニレンオキサイド樹脂の含有割合としては、20〜80質量%、さらには、30〜70質量%であることが好ましい。前記割合が80質量%をこえる割合の場合には、樹脂組成物の粘度が高く、成形時にボイドやカスレを生じるおそれがあり、また前記割合が20質量%未満の割合の場合には、硬化物が脆くなる傾向がある。   When the component having an unsaturated double bond of the present invention is the ethenylbenzylated polyphenylene oxide resin, the content of the ethenylbenzylated polyphenylene oxide resin in the total amount of the resin component is 20 to 80% by mass, 30 to 70% by mass is preferable. When the ratio is more than 80% by mass, the resin composition has a high viscosity and may cause voids or blurring at the time of molding. When the ratio is less than 20% by mass, a cured product is obtained. Tend to be brittle.

一方、不飽和二重結合を有する成分を含有するポリフェニレンオキサイド樹脂組成物として前記トリアリルイソシアヌレート樹脂等の架橋性樹脂を含有するポリフェニレンオキサイド樹脂組成物を用いることもできる。   On the other hand, a polyphenylene oxide resin composition containing a crosslinkable resin such as the triallyl isocyanurate resin can also be used as a polyphenylene oxide resin composition containing a component having an unsaturated double bond.

前記架橋性樹脂としてはトリアリルイソシアヌレート(TAIC)の他、トリアリルシアヌレート、ジアリルフタレート、ジアリルイソフタレート、ジアリルマレエート、ジアリルフマレート、ジエチレングリコールジアリルカーボネート、トリアリルホスフェート、エチレングリコールジアリルエーテル、トリメチロールプロパンのアリルエーテル、ペンタエリトリットの部分的アリルエーテル、ジアリルセバケート、アリル化ノボラック、アリル化レゾール樹脂のような樹脂が用いられる。これらの中ではTAICが伝送時間のバラツキに影響を及ぼす誘電正接を低くすることができる点から好ましい。   Examples of the crosslinkable resin include triallyl isocyanurate (TAIC), triallyl cyanurate, diallyl phthalate, diallyl isophthalate, diallyl maleate, diallyl fumarate, diethylene glycol diallyl carbonate, triallyl phosphate, ethylene glycol diallyl ether, triaryl ether Resins such as allyl ether of methylolpropane, partially allyl ether of pentaerythritol, diallyl sebacate, allylated novolak, allylated resole resin are used. Among these, TAIC is preferable because the dielectric loss tangent that affects the variation in transmission time can be lowered.

本発明の不飽和二重結合を有する成分がTAICである場合の樹脂成分全量中のTAICの含有割合としては、20〜70質量%、さらには、20〜55質量%であることが好ましい。前記割合が70質量%をこえる場合には、樹脂組成物の粘度が高く、成形時にボイドやカスレを生じるおそれがあり、また前記割合が20質量%未満の場合には、硬化物が脆くなる傾向がある。   As a content rate of TAIC in the resin component whole quantity in case the component which has an unsaturated double bond of this invention is TAIC, it is preferable that it is 20-70 mass%, Furthermore, it is preferable that it is 20-55 mass%. When the ratio exceeds 70% by mass, the viscosity of the resin composition is high, and there is a risk of forming voids or blurring during molding. When the ratio is less than 20% by mass, the cured product tends to be brittle. There is.

なお、本発明の不飽和二重結合を有する成分としてはエテニルベンジル化ポリフェニレンオキサイド樹脂とTAICとを併用して用いてもよい。   In addition, as a component which has an unsaturated double bond of this invention, you may use together and use ethenyl benzylation polyphenylene oxide resin and TAIC.

なお、本発明におけるポリフェニレンオキサイド樹脂組成物には、前記樹脂成分以外のエポキシ樹脂等のその他の樹脂成分や、無機充填材、相溶化剤、難燃剤等の添加剤を配合することもできる。但し誘電率の高い成分を導入すると、ポリフェニレンオキサイド樹脂組成物の硬化物の誘電率も増大することから、誘電率の小さい成分を選択して配合することが望ましい。   In addition, the polyphenylene oxide resin composition in the present invention may contain other resin components such as an epoxy resin other than the resin component, and additives such as inorganic fillers, compatibilizers, and flame retardants. However, when a component having a high dielectric constant is introduced, the dielectric constant of the cured product of the polyphenylene oxide resin composition also increases. Therefore, it is desirable to select and blend a component having a low dielectric constant.

前記無機充填材の具体例としては、例えばシリカ、窒化ホウ素、ワラストナイト、タルク、カオリン、クレー、マイカ、アルミナ、ジルコニア、チタニア等の各種金属酸化物、窒化物、珪化物、硼化物等が挙げられる、これらは単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   Specific examples of the inorganic filler include various metal oxides such as silica, boron nitride, wollastonite, talc, kaolin, clay, mica, alumina, zirconia, and titania, nitrides, silicides, borides, and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

これらの中ではポリフェニレンオキサイド樹脂組成物の誘電率を3.5以下に調整するためにシリカや窒化ホウ素等の低誘電率フィラーを使用することが好ましい。   Among these, in order to adjust the dielectric constant of the polyphenylene oxide resin composition to 3.5 or less, it is preferable to use a low dielectric constant filler such as silica or boron nitride.

前記無機充填材の配合割合としてはポリフェニレンオキサイド樹脂組成物の硬化物中に
5〜50質量%含有されるように配合することが成形性と誘電特性等の諸特性のバランスから好ましい。
The blending ratio of the inorganic filler is preferably 5 to 50% by mass in the cured product of the polyphenylene oxide resin composition from the balance of various properties such as moldability and dielectric properties.

また相溶化剤は、耐熱性、接着性、寸法安定性を改良するために配合されるものであり、例えばスチレン・ブタジエンブロックコポリマー、スチレン・イソプレンブロックコポリマー、1,2−ポリブタジエン、1,4−ポリブタジエン、マレイン変性ポリブタジエン、アクリル変性ポリブタジエン、エポキシ変性ポリブタジエンからなる群から選ばれる少なくとも一種の相溶化剤を配合することができる。相溶化剤の含有量は樹脂成分中10質量%以下であることが好ましい。   The compatibilizing agent is blended to improve heat resistance, adhesion, and dimensional stability. For example, styrene / butadiene block copolymer, styrene / isoprene block copolymer, 1,2-polybutadiene, 1,4- At least one compatibilizing agent selected from the group consisting of polybutadiene, maleic modified polybutadiene, acrylic modified polybutadiene, and epoxy modified polybutadiene can be blended. The content of the compatibilizer is preferably 10% by mass or less in the resin component.

また、難燃剤としては、ハロゲン系化合物を使用することが好ましい。このハロゲン系化合物としては、例えばハロゲン化ポリフェニレンオキサイド、ハロゲン化トリアリルイソシアヌレート、フッ素化脂肪族樹脂等を配合することができ、この場合は難燃性を向上すると共に、誘電率を充分に低減することができる。ハロゲン化ポリフェニレンオキサイドはポリフェニレンオキサイド樹脂組成物の硬化物のポリフェニレンオキサイド樹脂の一部又は全部として配合される。特に臭素化ポリフェニレンオキサイドを配合すると少ないハロゲンの添加量でも難燃性が得られる上に、誘電率を充分に低減することができる。   Moreover, it is preferable to use a halogen compound as the flame retardant. As this halogen compound, for example, halogenated polyphenylene oxide, halogenated triallyl isocyanurate, fluorinated aliphatic resin, etc. can be blended. In this case, the flame retardancy is improved and the dielectric constant is sufficiently reduced. can do. The halogenated polyphenylene oxide is blended as a part or all of the polyphenylene oxide resin of the cured product of the polyphenylene oxide resin composition. In particular, when a brominated polyphenylene oxide is added, flame retardancy can be obtained even with a small amount of added halogen, and the dielectric constant can be sufficiently reduced.

さらに、ハロゲン化トリアリルイソシアヌレートはポリフェニレンオキサイド樹脂組成物のトリアリルイソシアヌレートの一部又は全部として配合される。このハロゲン化トリアリルイソシアヌレートとして臭素化トリアリルイソシアヌレートを配合すると、少ないハロゲンの添加量でも難燃性が得られる上に、誘電率を充分に低減するものである。   Furthermore, the halogenated triallyl isocyanurate is blended as part or all of the triallyl isocyanurate of the polyphenylene oxide resin composition. When brominated triallyl isocyanurate is blended as the halogenated triallyl isocyanurate, flame retardancy can be obtained even with a small amount of added halogen, and the dielectric constant can be sufficiently reduced.

また、フッ素化脂肪族樹脂を配合する場合は、特に好ましくは四フッ化エチレン樹脂、四フッ化エチレン六フッ化プロピレン共重合樹脂、四フッ化エチレン−パーフロロアルキルビニルエーテル、四フッ化エチレン−エチレン共重合樹脂のうちの少なくともいずれかを用いることが好ましいものであり、これらは有機化合物中においても特に誘電率が低く、ポリフェニレンオキサイド樹脂組成物の誘電率の低減に大きく寄与するものである。   When a fluorinated aliphatic resin is blended, particularly preferred are tetrafluoroethylene resin, tetrafluoroethylene hexafluoropropylene copolymer resin, tetrafluoroethylene-perfluoroalkyl vinyl ether, tetrafluoroethylene-ethylene. It is preferable to use at least one of copolymer resins, and these have a particularly low dielectric constant even in organic compounds, and greatly contribute to the reduction of the dielectric constant of the polyphenylene oxide resin composition.

これらの難燃剤は、ポリフェニレンオキサイド樹脂組成物の固形分中のハロゲン含有割合が、硬化物中に8〜40質量%含有されるように配合することが好ましい。   These flame retardants are preferably blended so that the halogen content in the solid content of the polyphenylene oxide resin composition is 8 to 40% by mass in the cured product.

また本発明におけるポリフェニレンオキサイド樹脂組成物は、必要に応じて有機溶媒と混合し、ワニスに調製して用いられる。この有機溶媒としては、樹脂成分を溶解し、かつ反応に悪影響を及ぼすものでなければ、特に限定されず、例えば、メチルエチルケトン等のケトン類、ジブチルエーテル等のエーテル類、酢酸エチル等のエステル類、ジメチルホルムアミド等のアミド類、ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、トリクロロエチレン等の塩素化炭化水素等の有機溶媒が挙げられる。これらは単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。   In addition, the polyphenylene oxide resin composition in the present invention is mixed with an organic solvent as necessary to prepare a varnish for use. The organic solvent is not particularly limited as long as it does not dissolve the resin component and adversely affects the reaction. For example, ketones such as methyl ethyl ketone, ethers such as dibutyl ether, esters such as ethyl acetate, Examples thereof include amides such as dimethylformamide, aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, and xylene, and organic solvents such as chlorinated hydrocarbons such as trichloroethylene. These may be used alone or in combination of two or more.

前記ワニスの樹脂固形分の濃度は、本発明の樹脂付銅箔を作製する際の作業性に応じて適当に調整すればよいものであり、例えば40〜90質量%が適当である。   The concentration of the resin solid content of the varnish may be appropriately adjusted according to the workability when the resin-coated copper foil of the present invention is produced. For example, 40 to 90% by mass is appropriate.

そして、本発明におけるポリフェニレンオキサイド樹脂組成物の硬化物の誘電率は3.5以下のものが選ばれる。   And the dielectric constant of the hardened | cured material of the polyphenylene oxide resin composition in this invention is 3.5 or less.

前記誘電率が3.5をこえると、高周波数領域では電気信号の伝送損失が増大するために本発明の用途に好ましくなく、また誘電率は小さい程好ましく下限は特に限定されない。   When the dielectric constant exceeds 3.5, the transmission loss of an electric signal increases in a high frequency region, which is not preferable for the use of the present invention. The lower the dielectric constant, the lower limit is not particularly limited.

次に、本発明において用いられる銅箔について説明する。   Next, the copper foil used in the present invention will be described.

本発明において用いられる銅箔の樹脂層が形成される側の表面粗さは0.5〜2μmである。高周波用途では表皮効果と呼ばれる電流が導体の表面層に集中する現象が生じる場合があるが、銅箔の表面形状の2μmをこえる場合には前記表面層に沿って電流が流れ、信号遅延や伝送損失の増大が生じるおそれがあり、また、0.5μm未満の場合には形成される樹脂層との接着性が低下するおそれがある。   The surface roughness on the side where the resin layer of the copper foil used in the present invention is formed is 0.5 to 2 μm. In high frequency applications, there is a case where the phenomenon called skin effect concentrates on the surface layer of the conductor, but when the surface shape of the copper foil exceeds 2 μm, the current flows along the surface layer, causing signal delay and transmission. Loss may increase, and if it is less than 0.5 μm, adhesion to the resin layer formed may be reduced.

また、本発明における銅箔は、前記銅箔の表面のうち、少なくとも樹脂層が形成される側に、金属処理層、具体的には、亜鉛層、亜鉛合金層、ニッケル層及びニッケル合金層からなる群より選ばれる一種以上の層であり、前記金属含量になるような金属処理層が形成され、必要に応じて、該金属処理層表面にさらにクロメ−ト処理されたものが好ましい。   Moreover, the copper foil in the present invention includes a metal treatment layer, specifically, a zinc layer, a zinc alloy layer, a nickel layer, and a nickel alloy layer on at least the side of the copper foil on which the resin layer is formed. It is preferably one or more layers selected from the group consisting of a metal-treated layer having the above-mentioned metal content and, if necessary, the surface of the metal-treated layer further subjected to chromate treatment.

前記金属処理層を形成する方法及びクロメ−ト処理する方法としては、例えば、特開昭60−86894号公報に記載された方法を採用することができる。   As the method for forming the metal treatment layer and the method for chromate treatment, for example, the method described in JP-A-60-86894 can be employed.

前記亜鉛合金層を形成するための亜鉛合金としては、例えば、Zn−W、Zn−V、Zn−Tl、Zn−Sn、Zn−Se、Zn−Sb、Zn−Pt、Zn−Pb、Zn−Ni、Zn−Mo、Zn−Mn、Zn−In、Zn−Fe、Zn−Ge、Zn−Ga、Zn−Cu、Zn−Cr、Zn−Co、Zn−Cd、Zn−Au、Zn−Ag等を挙げることができる。中でも好ましいのは、Zn−Cuである。   Examples of the zinc alloy for forming the zinc alloy layer include Zn—W, Zn—V, Zn—Tl, Zn—Sn, Zn—Se, Zn—Sb, Zn—Pt, Zn—Pb, and Zn—. Ni, Zn-Mo, Zn-Mn, Zn-In, Zn-Fe, Zn-Ge, Zn-Ga, Zn-Cu, Zn-Cr, Zn-Co, Zn-Cd, Zn-Au, Zn-Ag, etc. Can be mentioned. Of these, Zn-Cu is preferable.

また、前記ニッケル合金層を形成するためのニッケル合金としては、例えば、Ni−P、Ni−W、Ni−Co、Ni−Mo、Ni−Pd、Ni−Sn、Ni−Zn、Ni−Cu、Ni−Mn、Ni−Fe、Ni−Mn−Zn等を挙げることができる。中でも好ましいのは、Ni−Pである。   Examples of the nickel alloy for forming the nickel alloy layer include Ni-P, Ni-W, Ni-Co, Ni-Mo, Ni-Pd, Ni-Sn, Ni-Zn, Ni-Cu, Ni-Mn, Ni-Fe, Ni-Mn-Zn, etc. can be mentioned. Of these, Ni-P is preferred.

このようにして形成される金属処理層の厚さは、0.0005〜0.002μmが好ましい。   The thickness of the metal treatment layer thus formed is preferably 0.0005 to 0.002 μm.

なお、前記クロメ−ト処理とは、前記金属処理層表面にクロム酸化物及びその水和物、又は亜鉛もしくはその酸化物とクロム酸化物との混合物及びその水和物を付着させる処理をいう。   The chromate treatment refers to a treatment in which chromium oxide and its hydrate, or a mixture of zinc or its oxide and chromium oxide and its hydrate are attached to the surface of the metal treatment layer.

本発明における銅箔には、前記形成された金属処理層上にさらにシランカップリング剤が塗布されている。シランカップリング剤の塗布はシランカップリング剤水溶液を銅箔表面上に塗布するなどして溶液を付着させ、乾燥させることにより処理を行うことができる。   The copper foil in the present invention is further coated with a silane coupling agent on the formed metal treatment layer. The application of the silane coupling agent can be performed by applying an aqueous solution of the silane coupling agent on the surface of the copper foil, attaching the solution, and drying.

前記シランカップリング剤処理としては、ビニルトリメトキシシラン等のビニル基含有シランカップリング剤が好ましく用いられる。   As the silane coupling agent treatment, a vinyl group-containing silane coupling agent such as vinyltrimethoxysilane is preferably used.

また、前記シランカップリング剤水溶液としては、0.001〜5質量%水溶液を用いるのが好ましい。この水溶液のシランカップリング剤の濃度が、0.001質量%未満の場合には、前述のシランカップリング剤の効果が期待できず、5質量%をこえる場合には、シランカップリング剤が溶解しにくく、また相応する効果の向上が期待できない傾向がある。   Moreover, it is preferable to use 0.001-5 mass% aqueous solution as said silane coupling agent aqueous solution. When the concentration of the silane coupling agent in this aqueous solution is less than 0.001% by mass, the effect of the silane coupling agent cannot be expected, and when it exceeds 5% by mass, the silane coupling agent is dissolved. There is a tendency that the improvement of the corresponding effect is not expected.

上記のような表面処理が施された銅箔表面に対して、前記ポリフェニレンオキサイド樹脂組成物から形成される樹脂層を積層成形すると、ポリフェニレンオキサイド樹脂組成物中の不飽和二重結合がビニル基含有シランカップリング剤と結合して高い接着強度が得られ、また、亜鉛又は亜鉛合金は、シランカップリング剤と銅箔との結合反応、及びシランカップリング剤とポリフェニレンオキサイド樹脂組成物中の二重結合との結合反応において触媒的に働き、銅箔とポリフェニレンオキサイド樹脂組成物の接着向上に寄与する。   When the resin layer formed from the polyphenylene oxide resin composition is laminated on the surface of the copper foil subjected to the surface treatment as described above, the unsaturated double bond in the polyphenylene oxide resin composition contains a vinyl group. Bonding with a silane coupling agent provides a high adhesive strength, and zinc or a zinc alloy is used in the bonding reaction between a silane coupling agent and a copper foil, and the double bonding in the silane coupling agent and the polyphenylene oxide resin composition. It acts catalytically in the bonding reaction with the bond and contributes to improved adhesion between the copper foil and the polyphenylene oxide resin composition.

そして、本発明においては前記金属処理及びシランカップリング剤処理により、前記銅箔の表面に付着する亜鉛量は1〜2mg/dm、及びニッケル量0.1〜0.3mg/dm及びケイ素量が0.005〜0.05mg/dmになるように調整される。 And in this invention, the amount of zinc adhering to the surface of the said copper foil by the said metal treatment and a silane coupling agent process is 1-2 mg / dm < 2 >, nickel amount 0.1-0.3 mg / dm < 2 >, and silicon the amount is adjusted to 0.005-0.05 / dm 2.

前記表面の亜鉛量は、1〜2mg/dmであり、前記亜鉛量が1mg/dmより小さくなると、リフローはんだ工程等の加温時における接着強度が低下し、2mg/dmより大きくなると、亜鉛が酸に侵食されるために回路形成時の酸処理による接着強度劣化が高くなる。 Zinc content of the surface is 1-2 mg / dm 2, when the zinc content is less than 1 mg / dm 2, the adhesive strength is lowered at the time of heating, such as a reflow soldering process, it becomes greater than 2 mg / dm 2 In addition, since zinc is eroded by acid, deterioration of adhesive strength due to acid treatment during circuit formation becomes high.

また、前記表面のニッケル量は0.1〜0.3mg/dmであり、ニッケル量が0.1mg/dmより小さくなると、リフローはんだ工程等が高温の場合に接着強度が低下し、0.3mg/dmより大きくなると、低伝送損失性が低下する。 Further, the nickel amount on the surface is 0.1 to 0.3 mg / dm 2 , and if the nickel amount is smaller than 0.1 mg / dm 2 , the adhesive strength decreases when the reflow soldering process or the like is at a high temperature, and 0 When it exceeds 3 mg / dm 2 , the low transmission loss is reduced.

さらに、前記クロメート処理による表面のクロム量は0.05〜0.15mg/dmの範囲とすることが好ましい。クロムは比較的抵抗値が高いために、クロム量が多すぎる場合には低伝送損失性が低下するが、前記範囲の場合には銅箔の防錆・防変色効果があるため好ましい。 Furthermore, the chromium amount of the surface by the chromate treatment is preferably in the range of 0.05-0.15 mg / dm 2. Since chromium has a relatively high resistance value, low transmission loss is reduced when the amount of chromium is too large. However, the above range is preferable because of the effect of preventing rust and discoloration of the copper foil.

一方、前記銅箔のシランカップリング剤を塗布することによるシランカップリング剤処理量は、そのケイ素量が0.005〜0.05mg/dmになるように塗布する。前記ケイ素量が0.005mg/dmより小さいと銅箔と形成される樹脂層との接着強度を高めることができず、0.05mg/dmより大きいと銅箔の製造工程や銅箔の積載、巻き取り時に付着したケイ素成分が銅箔の樹脂層が形成されない面にも付着・転写し、回路形成不良を引起こすおそれが高くなる。 On the other hand, the treatment amount of the silane coupling agent by applying the silane coupling agent of the copper foil is applied so that the silicon amount is 0.005 to 0.05 mg / dm 2 . If the silicon content is less than 0.005 mg / dm 2 , the adhesive strength between the copper foil and the resin layer to be formed cannot be increased, and if it is greater than 0.05 mg / dm 2 , There is a high possibility that the silicon component adhering at the time of loading and winding adheres and transfers to the surface on which the resin layer of the copper foil is not formed, thereby causing circuit formation failure.

また、前記ケイ素量としては、付着量の少ないところと多いところの原子数の比率が6倍以下であることが好ましい。前記比率が6倍をこえる場合には原子数の存在比率の差が高すぎることになり、ミクロな視点でSi付着量に大きな差があると銅箔と樹脂層の接着強度が低い箇所及び高い箇所が存在することになり、銅箔接着強度が低くなる。また、銅箔と樹脂層との接着が低い箇所では酸に浸食されやすく、耐酸劣化率が高くなるため、Si原子数比率としては1〜6倍であることが好ましい。   Moreover, as said silicon amount, it is preferable that the ratio of the number of atoms of a place with little adhesion amount and a place with many is 6 times or less. If the ratio exceeds 6 times, the difference in the number of atoms present is too high. If there is a large difference in the amount of Si attached from a microscopic viewpoint, the adhesive strength between the copper foil and the resin layer is low and high. A location will exist and copper foil adhesive strength will become low. Moreover, since it is easy to be eroded by an acid in the location where adhesion | attachment of copper foil and a resin layer is low, and an acid deterioration rate becomes high, it is preferable that it is 1-6 times as Si atom number ratio.

本発明の樹脂付銅箔は、前記銅箔の表面処理がなされた面にワニス状に調製されたポリフェニレンオキサイド樹脂組成物ワニスを塗布し、必要に応じて加熱乾燥することにより半硬化させて作製されるか、或いは、後述するような基材にポリフェニレンオキサイド樹脂組成物を含浸させたものを樹脂層とし、前記プリプレグの両面又は片面に銅箔を重ねて加熱加圧成形してプリント配線板製造用積層体として作製されるものである。   The copper foil with resin of the present invention is prepared by applying a varnish-prepared polyphenylene oxide resin composition varnish to the surface of the copper foil that has been surface-treated, and semi-curing by heating and drying as necessary. Alternatively, a substrate obtained by impregnating a polyphenylene oxide resin composition into a base material as described below is used as a resin layer, and copper foil is laminated on both sides or one side of the prepreg to produce a printed wiring board. It is produced as a laminated body for use.

前記基材としては、有機繊維やガラス繊維の織布または不織布を用いることができる。この基材への含浸量は、プリプレグ中の樹脂固形分の質量比率が35質量%以上になるようにするのが好ましい。一般に基材の誘電率は樹脂のそれよりも大きく、それゆえに、このプリプレグを用いて得られる樹脂付銅箔の誘電率を小さくするには、プリプレグ中の樹脂固形分の含有量を前記質量比率より多くすると良い。   As the substrate, organic fiber or glass fiber woven or non-woven fabric can be used. The amount of impregnation into the base material is preferably such that the mass ratio of the resin solid content in the prepreg is 35% by mass or more. In general, the dielectric constant of the substrate is larger than that of the resin. Therefore, in order to reduce the dielectric constant of the resin-coated copper foil obtained using this prepreg, the content of the resin solid content in the prepreg is set to the mass ratio. More is better.

次に、本発明の樹脂付銅箔及び/又はプリント配線板製造用積層体を用いて得られる多層プリント配線板について説明する。   Next, the multilayer printed wiring board obtained using the laminated foil for resin-coated copper foil and / or printed wiring board of the present invention will be described.

第一の例では、プリント配線板製造用積層体の銅箔をエッチング加工等することによりプリント配線板製造用積層体の片面又は両面に回路パターンを形成して、プリント配線板を得ることができる。このとき、樹脂層であるプリプレグの硬化物が絶縁層を形成し、銅箔が導体層を構成する。   In the first example, a printed wiring board can be obtained by forming a circuit pattern on one side or both sides of the laminated body for manufacturing a printed wiring board by etching the copper foil of the laminated body for manufacturing a printed wiring board. . At this time, the hardened | cured material of the prepreg which is a resin layer forms an insulating layer, and copper foil comprises a conductor layer.

第二の例では、第一の例のようにしてプリント配線板製造用積層体の片面又は両面に回路パターンを形成したものを内層材料とし、その片面又は両面に、積層板の作製に用いたものと同様のプリプレグを一枚又は複数枚重ね、更に必要に応じてその最外層に上記のような表面処理が施された銅箔を重ねたものを、加熱加圧成形により積層一体化して、多層プリント配線板を得ることができる。このときプリント配線板製造用積層体における樹脂層であるプリプレグの硬化物並びにプリント配線板製造用積層体の外面に配置されたプリプレグの硬化物が絶縁層を形成し、銅箔が導体層を構成する。   In the second example, as in the first example, a circuit pattern is formed on one or both sides of the laminate for manufacturing a printed wiring board as an inner layer material, and the laminate is used on one side or both sides of the laminate. One or a plurality of prepregs similar to those are stacked, and if necessary, the outermost layer is laminated with a copper foil that has been subjected to the surface treatment as described above, and laminated and integrated by heat and pressure molding, A multilayer printed wiring board can be obtained. At this time, the cured product of the prepreg which is a resin layer in the laminate for manufacturing a printed wiring board and the cured product of the prepreg disposed on the outer surface of the laminate for manufacturing a printed wiring board form an insulating layer, and the copper foil constitutes a conductor layer To do.

第三の例では、第一の例のようにしてプリント配線板製造用積層体の片面又は両面に回路パターンを形成したものを内層材料とし、その一面又は両面に樹脂付銅箔を、その樹脂層が内層材料の表面と対向するようにして重ね、加熱加圧成形により積層一体化して、多層プリント配線板を得ることができる。このとき積層板における樹脂層であるプリプレグの硬化物及び樹脂付銅箔における樹脂層の硬化物が絶縁層を形成し、銅箔が導体層を構成する。   In the third example, an inner layer material is formed by forming a circuit pattern on one or both sides of the laminate for manufacturing a printed wiring board as in the first example, and a resin-coated copper foil is provided on one or both sides of the laminate. A multilayer printed wiring board can be obtained by stacking layers so as to face the surface of the inner layer material and stacking and integrating them by heat and pressure molding. At this time, the cured product of the prepreg which is the resin layer in the laminate and the cured product of the resin layer in the copper foil with resin form an insulating layer, and the copper foil constitutes the conductor layer.

上記のプリント配線板製造用積層体又は多層プリント配線板の成形条件は、ポリフェニレンオキサイド樹脂組成物の配合組成に応じた条件とするものであって、特に限定するものでないが、温度170℃以上230℃以下、圧力0.98MPa(10kg/cm2)以上、5.9MPa(60kg/cm2)以下の条件で適切な時間、加熱加圧するのが好ましい。 The molding conditions of the laminate for manufacturing a printed wiring board or the multilayer printed wiring board described above are conditions according to the blending composition of the polyphenylene oxide resin composition, and are not particularly limited. It is preferable to heat and press for an appropriate time under the conditions of not more than ° C. and a pressure of 0.98 MPa (10 kg / cm 2 ) or more and 5.9 MPa (60 kg / cm 2 ) or less.

以上のようにして得られるプリント配線板製造用積層体又は多層プリント配線板は、表面処理を施した銅箔を用いていることから、樹脂層から形成される絶縁層と銅箔から構成される導体層との接着強度が大きくなるものであり、高周波用途において低伝送損失である表面粗さの小さな銅箔を用いた場合においても、十分な接着強度が得られるものである。   Since the laminate for manufacturing a printed wiring board or the multilayer printed wiring board obtained as described above uses a surface-treated copper foil, it is composed of an insulating layer formed from a resin layer and a copper foil. Adhesive strength with the conductor layer is increased, and sufficient adhesive strength can be obtained even when a copper foil with low surface roughness and low transmission loss is used in high frequency applications.

また、特に、リフローはんだ工程等の熱時においてもその接着性は失わない。   In particular, the adhesiveness is not lost even during heat such as a reflow soldering process.

以下に本発明を実施例により、さらに具体的に説明する。なお、本発明は実施例になんら限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. The present invention is not limited to the examples.

なお、本実施例で用いられた原材料を以下に示す。
高分子量ポリフェニレンエーテル:数平均分子量14000のポリフェニレンエーテル
(日本ジーイープラスチックス(株)製の
「ノリルPX9701」)
フェノール種 :ビスフェノールA
分解過酸化物 :t−ブチルペルオキシイソプロピルモノカーボネート
(日本油脂(株)製の「パーブチルI」)
ナフテン酸コバルト溶液 :トルエンに溶解された8%溶液
反応開始剤 :ジ(t−ブチルパーオキシイソプロピル)ベンゼン
(日本油脂(株)製の「パーブチル P」)
ガラスクロス :日東紡績(株)製の「WEA116E」
無機充填材 :電気化学工業(株)製のシリカ系フィラー、FB3SDC(商品名)
難燃剤 :アルベマール浅野(株)製の臭素系難燃剤、SAYTEX8010(商品名)
シランカップリング剤 :ビニルトリメトキシシラン(ダウコーニング・東レシリコーン(株)製の「SZ6300」)
The raw materials used in this example are shown below.
High molecular weight polyphenylene ether: polyphenylene ether having a number average molecular weight of 14,000
(Made by Nippon GE Plastics Co., Ltd.
“Noryl PX9701”)
Phenol species: Bisphenol A
Decomposed peroxide: t-butylperoxyisopropyl monocarbonate
("Perbutyl I" manufactured by NOF Corporation)
Cobalt naphthenate solution: 8% solution initiator dissolved in toluene: Di (t-butylperoxyisopropyl) benzene
("Perbutyl P" manufactured by Nippon Oil & Fats Co., Ltd.)
Glass cloth: “WEA116E” manufactured by Nitto Boseki Co., Ltd.
Inorganic filler: Silica-based filler manufactured by Denki Kagaku Kogyo Co., Ltd., FB3SDC (trade name)
Flame retardant: Brobe flame retardant manufactured by Albemarle Asano Co., Ltd., SAYTEX 8010 (trade name)
Silane coupling agent: Vinyltrimethoxysilane ("SZ6300" manufactured by Dow Corning Toray Silicone Co., Ltd.)

はじめに、ポリフェニレンエーテル樹脂の低分子化の方法について示す。
(高分子量ポリフェニレンエーテル樹脂の低分子化)
トルエン200gを攪拌装置及び攪拌羽根を装備した2000mlのフラスコに入れた。前記フラスコを内温80℃に制御しながら、高分子量ポリフェニレンエーテル100g、ビスフェノールA 4.3gとしてパーブチルI 2.94g及びナフテン酸コバルト溶液0.0042gを入れ、高分子量ポリフェニレンエーテルが完全に溶解するまで攪拌することにより、低分子量ポリフェニレンエーテル(PPE―1)を調製した。
First, a method for reducing the molecular weight of a polyphenylene ether resin will be described.
(Low molecular weight high molecular weight polyphenylene ether resin)
200 g of toluene was placed in a 2000 ml flask equipped with a stirrer and a stirring blade. While controlling the flask at an internal temperature of 80 ° C., 100 g of high molecular weight polyphenylene ether and 4.3 g of bisphenol A were added with 2.94 g of perbutyl I and 0.0042 g of cobalt naphthenate solution until the high molecular weight polyphenylene ether was completely dissolved. A low molecular weight polyphenylene ether (PPE-1) was prepared by stirring.

一方、前記PPE―1の調整において、表1に記載された配合にする以外は同様の方法により、低分子量ポリフェニレンエーテル(PPE―2)を調製した。   On the other hand, a low molecular weight polyphenylene ether (PPE-2) was prepared by the same method except that the formulation shown in Table 1 was used in the preparation of PPE-1.

Figure 2007030326
Figure 2007030326

前記得られた低分子量ポリフェニレンエーテル(PPE―1、PPE―2)を多量のメタノールで再沈殿させ、不純物を除去して、減圧下80℃/3時間で乾燥してトルエンを完全に除去した。得られたポリフェニレンエーテル化合物の数平均分子量は、PPE―1は約2400、PPE―2は約9000であった。なお、前記数平均分子量はゲルパーミエーションクロマトグラフ(GPC)で測定した。   The obtained low molecular weight polyphenylene ether (PPE-1, PPE-2) was reprecipitated with a large amount of methanol to remove impurities and dried under reduced pressure at 80 ° C./3 hours to completely remove toluene. The number average molecular weight of the obtained polyphenylene ether compound was about 2400 for PPE-1 and about 9000 for PPE-2. The number average molecular weight was measured by gel permeation chromatograph (GPC).

次に、低分子量PPE―1のエテニルベンジル化の方法について以下に示す。   Next, a method for ethenylbenzylation of low molecular weight PPE-1 is shown below.

(PPE―1のエテニルベンジル化)
温度調節器、撹拌装置、冷却設備及び滴下ロートを備えた500リットルの3つ口フラスコに、低分子量PPE―1を100g、クロロメチルスチレン7.3g、テトラ−n−ブチルアンモニウムブロマイド0.41g、トルエン200gを仕込み、撹拌溶解し、液温を75℃にし、水酸化ナトリウム水溶液(水酸化ナトリウム5.5g/水5.5g)を20分間で滴下し、さらに75℃で4時間撹拌を続けた。次に、10%塩酸水溶液でフラスコ内容物を中和した後、多量のメタノールを追加し、エテニルベンジル化したポリフェニレンエーテルを沈殿物として得た。前記沈殿物のろ過物をメタノール80と水20の比率の混合液で3回洗浄した後、減圧下80℃/3時間処理することで、溶剤や水分を除去したエテニルベンジル化したポリフェニレンエーテルを取り出した。これを「変性PPE―1」とする。
(Ethenylbenzylation of PPE-1)
In a 500 liter three-necked flask equipped with a temperature controller, a stirrer, a cooling device and a dropping funnel, 100 g of low molecular weight PPE-1, 7.3 g of chloromethylstyrene, 0.41 g of tetra-n-butylammonium bromide, 200 g of toluene was charged, dissolved by stirring, the liquid temperature was adjusted to 75 ° C., an aqueous sodium hydroxide solution (5.5 g of sodium hydroxide / 5.5 g of water) was added dropwise over 20 minutes, and stirring was further continued at 75 ° C. for 4 hours. . Next, after neutralizing the contents of the flask with a 10% aqueous hydrochloric acid solution, a large amount of methanol was added to obtain ethenylbenzylated polyphenylene ether as a precipitate. The precipitate filtrate is washed three times with a mixture of methanol 80 and water 20 and then treated under reduced pressure at 80 ° C. for 3 hours to remove ethenylbenzylated polyphenylene ether from which solvent and water have been removed. I took it out. This is referred to as “modified PPE-1”.

次に前記変性PPE―1及びPPE―2を用いてポリフェニレンエーテル樹脂組成物のワニスを調製した。   Next, a varnish of a polyphenylene ether resin composition was prepared using the modified PPE-1 and PPE-2.

(ポリフェニレンエーテル樹脂組成物のワニスの調製)
80℃に制御されたトルエン100質量部中に表2に記載の配合比率で、変性PPE―1及び/又はPPE―2を加えて80℃にて30分間撹拌して溶解した後、さらにTAIC及び過酸化物を添加して樹脂ワニスを得た。
(Preparation of varnish of polyphenylene ether resin composition)
After adding modified PPE-1 and / or PPE-2 in 100 parts by mass of toluene controlled at 80 ° C. and stirring for 30 minutes at 80 ° C. to dissolve, further TAIC and A peroxide was added to obtain a resin varnish.

得られた樹脂ワニスをそれぞれ樹脂ワニスA、樹脂ワニスB、樹脂ワニスC及び樹脂ワニスDとする。   Let the obtained resin varnish be the resin varnish A, the resin varnish B, the resin varnish C, and the resin varnish D, respectively.

Figure 2007030326
Figure 2007030326

〈実施例1〉
樹脂ワニスAを樹脂成分として、表3に記載の配合割合で、樹脂ワニス、無機充填材及び難燃剤をホモディスパーにより攪拌・混合しポリフェニレンエーテル樹脂組成物のワニスを得た。
<Example 1>
Resin varnish A was used as a resin component, and the resin varnish, inorganic filler, and flame retardant were stirred and mixed with a homodisper at a blending ratio shown in Table 3 to obtain a varnish of a polyphenylene ether resin composition.

得られたポリフェニレンエーテル樹脂組成物のワニスをガラスクロスに含浸させた後、120℃で5分間加熱乾燥することによりプリプレグを得た。次に前記プリプレグからガラスクロスに付着したポリフェニレンエーテル樹脂組成物成分のみを樹脂組成物の粉末として採取した。   A glass cloth was impregnated with the varnish of the obtained polyphenylene ether resin composition, and then heated and dried at 120 ° C. for 5 minutes to obtain a prepreg. Next, only the polyphenylene ether resin composition component adhering to the glass cloth from the prepreg was collected as a resin composition powder.

そして、前記ポリフェニレンエーテル樹脂組成物の粉末を100mm×100mmの型枠に充填し、200℃、3.0MPa、180分間の成形条件で加熱加圧し、ポリフェニレンエーテル樹脂組成物の硬化物を得た。   And the powder of the said polyphenylene ether resin composition was filled into the 100 mm x 100 mm mold, and it heat-pressed on 200 degreeC, 3.0 Mpa, and the molding conditions for 180 minutes, and obtained the hardened | cured material of the polyphenylene ether resin composition.

得られた前記硬化物を86mm×86mmにカットした後、JIS C 6481に基づいて1GHzでの誘電率を測定した結果、2.7であった。   After the obtained cured product was cut into 86 mm × 86 mm, the dielectric constant at 1 GHz was measured based on JIS C 6481. As a result, it was 2.7.

次に、前記得られたプリプレグを用いて、表3に記載の表面粗度及び金属付着量である35μm厚の銅箔が両面に張られたプリント配線板製造用積層体に前記プリプレグを介して表3に記載の表面粗度及び金属付着量である35μm厚の銅箔を配し、温度200℃、圧力3.0MPa(30kg/cm)、180分間の成形条件で加熱加圧することにより、両面銅張積層体である多層プリント配線板を得た。 Next, using the obtained prepreg, the laminated body for producing a printed wiring board in which a 35 μm-thick copper foil having a surface roughness and a metal adhesion amount shown in Table 3 is stretched on both sides is passed through the prepreg. By arranging a copper foil with a thickness of 35 μm which is the surface roughness and metal adhesion amount described in Table 3, by heating and pressurizing under the molding conditions of temperature 200 ° C., pressure 3.0 MPa (30 kg / cm 2 ), 180 minutes, The multilayer printed wiring board which is a double-sided copper clad laminated body was obtained.

なお、前記銅箔の表面粗度はJIS B 0601に規定された測定方法により測定されたRz値で示されるものであり、また、金属付着量は蛍光X線法で、また、ケイ素量の原子数比率についてはオージェ電子分光分析法(AES法)により測定された値である。   The surface roughness of the copper foil is indicated by the Rz value measured by the measuring method specified in JIS B 0601. The metal adhesion amount is the fluorescent X-ray method, and the silicon amount is the atomic amount. The number ratio is a value measured by Auger electron spectroscopy (AES method).

そして、得られた多層プリント配線板を用いて、以下の評価方法により各種特性を評価した。
(ピール強度)
多層プリント配線板の表面の銅箔引きはがし強さをJIS C 6481に準拠して測定した。このとき、幅20mm、長さ100mmの試験片上に幅10mm、長さ100mmのパターンを形成し、銅箔を引っ張り試験器により50mm/分の速度で引きはがし、その時の引きはがし強さを測定した。
(オーブン耐熱性)
50×50(mm)に切断した多層プリント配線板を230〜280℃に設定したオーブン内でそれぞれ1時間保持し、そのときに表面に膨れが生じた最低温度を特定した。
(耐酸劣化性評価)
多層プリント配線板の表面に幅1mm、長さ100mmのパターンを形成し、この状態で上記のピール強度評価と同様にして銅箔のピール強度を測定した。また同様にパターンを形成した積層板を12%の塩酸水溶液に30分浸漬処理する塩酸処理を施した後にピール強度を測定した。そして塩酸処理前後のピール強度の劣化率をパーセンテージで表した。
(伝送損失評価)
420mm×500mmの多層プリント配線板の片面にエッチングにより幅50μm、長さ300mmであり、縦方向40mm間隔で10本の直線回路を形成した。
And various characteristics were evaluated with the following evaluation methods using the obtained multilayer printed wiring board.
(Peel strength)
The copper foil peeling strength on the surface of the multilayer printed wiring board was measured according to JIS C 6481. At this time, a pattern having a width of 10 mm and a length of 100 mm was formed on a test piece having a width of 20 mm and a length of 100 mm, and the copper foil was peeled off at a rate of 50 mm / min with a tensile tester, and the peeling strength at that time was measured. .
(Oven heat resistance)
Each multilayer printed wiring board cut to 50 × 50 (mm) was held in an oven set at 230 to 280 ° C. for 1 hour, and the lowest temperature at which the surface was swollen at that time was specified.
(Evaluation of acid degradation resistance)
A pattern having a width of 1 mm and a length of 100 mm was formed on the surface of the multilayer printed wiring board. In this state, the peel strength of the copper foil was measured in the same manner as in the above-described peel strength evaluation. Similarly, the laminate having the pattern formed thereon was subjected to hydrochloric acid treatment in which it was immersed in a 12% hydrochloric acid aqueous solution for 30 minutes, and then the peel strength was measured. The deterioration rate of the peel strength before and after the hydrochloric acid treatment was expressed as a percentage.
(Transmission loss evaluation)
Ten linear circuits having a width of 50 μm and a length of 300 mm were formed by etching on one side of a 420 mm × 500 mm multilayer printed wiring board at intervals of 40 mm in the vertical direction.

そして回路を形成した後、回路形成面にプリプレグ1枚と両面板に使用したものと同じ銅箔を重ね合わせ、前記プリント配線板の製造と同様の条件で加熱加圧成形し、スプリットラインを持つ多層プリント配線板を得た。この多層プリント配線板の内層回路に1.6GHzの信号を印可し、その伝送損失を計測した。
(回路形成特性)
340×510mmの多層プリント配線板に、100μm幅で長さ500mmのストリップラインを、25mm間隔で10本形成し、ストリップライン形成できたものを○、できないものを×と判定した。
After the circuit is formed, the same copper foil as that used for the prepreg and the double-sided board is superimposed on the circuit forming surface, and heat-press molding is performed under the same conditions as in the production of the printed wiring board, and a split line is provided. A multilayer printed wiring board was obtained. A 1.6 GHz signal was applied to the inner layer circuit of the multilayer printed wiring board, and the transmission loss was measured.
(Circuit formation characteristics)
Ten strip lines having a width of 100 μm and a length of 500 mm were formed on a 340 × 510 mm multilayer printed wiring board at intervals of 25 mm.

〈実施例2〜12及び比較例1〜5〉
表3及び表4の配合比率でポリフェニレンエーテル樹脂組成物のワニスを得、表3及び表4に記載の金属付着量の銅箔を用いた以外は実施例1と同様の方法でプリプレグ及び積層体を作製し、評価した。
<Examples 2-12 and Comparative Examples 1-5>
A prepreg and a laminate were obtained in the same manner as in Example 1 except that the varnish of the polyphenylene ether resin composition was obtained at the blending ratios in Tables 3 and 4 and the copper foils with the metal adhesion amounts shown in Tables 3 and 4 were used. Were made and evaluated.

結果を表3及び表4に示す。   The results are shown in Tables 3 and 4.

Figure 2007030326
Figure 2007030326

Figure 2007030326
Figure 2007030326

実施例1と2とを比較すると粗度の小さい方が伝送特性が良いことがわかる。また、実施例3のようにSi量が多いと他の実施例と比較してもピール強度・耐酸劣化率が良いが、比較例1の量までSi量を増やしても実施例3と比較してピール強度の大幅な向上は見られず、カップリング剤のS面転写によるものと思われる回路形成性に難がある。また、比較例2のようにSi量が0の場合にはピール強度はかなり低く、カップリング処理の効果がわかる。   Comparison between Examples 1 and 2 shows that the smaller the roughness, the better the transmission characteristics. In addition, when the amount of Si is large as in Example 3, the peel strength and acid deterioration rate are good even when compared with other examples, but even if the Si amount is increased to the amount of Comparative Example 1, it is compared with Example 3. Thus, there is no significant improvement in peel strength, and there is a difficulty in circuit formation that seems to be due to the transfer of the S surface of the coupling agent. Further, when the Si amount is 0 as in Comparative Example 2, the peel strength is considerably low, and the effect of the coupling treatment can be seen.

結論として、Si付着量が0.005mg/dm未満では銅箔と樹脂層の密着が十分に得られず、Si付着量が多いほど樹脂層との密着強度が高まるが、0.05mg/dmを超えた量では密着強度の大きな向上が見られないと共に、銅箔の製造工程上、銅箔の積載、巻取り時に、付着Siが銅箔の樹脂層が形成されない側に転写し、回路形成不良を引き起こすおそれがあるため、0.05mg/dmが上限となる。 In conclusion, when the Si adhesion amount is less than 0.005 mg / dm 2 , the adhesion between the copper foil and the resin layer cannot be sufficiently obtained, and as the Si adhesion amount increases, the adhesion strength with the resin layer increases, but 0.05 mg / dm 2 When the amount exceeds 2 , there is no significant improvement in adhesion strength, and during the copper foil manufacturing process, when loading and winding the copper foil, the deposited Si is transferred to the side where the copper foil resin layer is not formed, Since there is a possibility of causing poor formation, 0.05 mg / dm 2 is the upper limit.

また、実施例1と10とを比較するとSi原子数比率のばらつきの小さい実施例1の方がピール強度・耐酸劣化性が優れている。これは原子数の比率差が高い、すなわちミクロな視点にてSi付着量に差があると銅箔と樹脂層との密着強度が低い箇所、高い箇所が存在し、積層板の銅箔密着強度としては低くなる。また、銅箔と樹脂層の密着性が低い箇所では酸に浸食されやすく、耐酸劣化率が高くなるため、Si原子数比率としては1〜6の範囲であることが好ましい。   In addition, when Examples 1 and 10 are compared, Example 1 having a smaller variation in the Si atom number ratio is superior in peel strength and acid deterioration resistance. This is because the difference in the number ratio of atoms is high, that is, if there is a difference in Si adhesion amount from a microscopic viewpoint, there are places where the adhesion strength between the copper foil and the resin layer is low and high, and the copper foil adhesion strength of the laminated board As it becomes low. Moreover, since it is easy to be eroded by an acid in the location where the adhesiveness of copper foil and a resin layer is low, and an acid deterioration rate becomes high, it is preferable that it is the range of 1-6 as Si atom number ratio.

一方、実施例1、4、11及び比較例3、4を比較するとZn量が多いとオーブン耐熱性に良いが耐酸劣化率が悪くなるため、Zn量は1〜2mg/dmであることが必要である。 On the other hand, when Examples 1, 4, 11 and Comparative Examples 3 and 4 are compared, if the amount of Zn is large, the oven heat resistance is good, but the acid deterioration rate deteriorates, so the Zn amount is 1 to 2 mg / dm 2. is necessary.

また、実施例1、5、12及び比較例5を比較するとNi量が多いとオーブン耐熱性が若干良くなるが伝送特性が低下する。伝送特性のためにはNi量が少ないことが好ましいが、銅箔の製造工程上、横筋防止効果を得るためには0.1〜0.3mg/dm含有する必要がある。 Further, when Examples 1, 5, 12 and Comparative Example 5 are compared, if the amount of Ni is large, the oven heat resistance is slightly improved, but the transmission characteristics are deteriorated. Although it is preferable that the amount of Ni is small for transmission characteristics, it is necessary to contain 0.1 to 0.3 mg / dm 2 in order to obtain a transverse stripe prevention effect in the copper foil manufacturing process.

更に、比較例5からCrもNiと同様、抵抗が高いため伝送特性が低いために、その量は少ない方が好ましいが、銅箔の変色・錆の発生を防止するため0.05〜0.15mg/dmであることが好ましい。 Further, from Comparative Example 5 as well as Ni, Cr has high resistance and low transmission characteristics. Therefore, it is preferable that the amount is small. However, in order to prevent discoloration and rusting of the copper foil, 0.05 to 0. It is preferably 15 mg / dm 2 .

そして、実施例1、6、7、8、9は樹脂誘電率・樹脂配合での比較を示しており、誘電率と伝送特性に相関があることがわかる。樹脂配合により若干ピール強度が変化するが、この配合範囲が許容されうる範囲である。例えば実施例8は実施例1、9と比較すると若干ピール強度が弱いが、Si量を実施例の0.005mg/dmより少し多くすることでピール強度を改良することができる。
Examples 1, 6, 7, 8, and 9 show comparisons between the resin dielectric constant and the resin composition, and it can be seen that there is a correlation between the dielectric constant and the transmission characteristics. Although the peel strength slightly changes depending on the resin blending, this blending range is an acceptable range. For example, the peel strength of Example 8 is slightly weaker than that of Examples 1 and 9, but the peel strength can be improved by slightly increasing the Si amount from 0.005 mg / dm 2 of the Example.

Claims (8)

不飽和二重結合を有する成分を含有するとともにその硬化物の誘電率が3.5以下となるポリフェニレンオキサイド樹脂組成物を含有する樹脂層と銅箔とが積層されて構成される樹脂付銅箔において、
前記銅箔の樹脂層が形成される側の表面粗さは0.5〜2μmであり、またその表面は金属処理層が形成された後シランカップリング剤が塗布されており、
前記表面における亜鉛量が1〜2mg/dm、ニッケル量が0.1〜0.3mg/dm及びケイ素量が0.005〜0.05mg/dmであることを特徴とする樹脂付銅箔。
Resin-coated copper foil comprising a resin layer containing a polyphenylene oxide resin composition containing a component having an unsaturated double bond and a dielectric constant of the cured product of 3.5 or less, and a copper foil. In
The surface roughness of the copper foil on which the resin layer is formed is 0.5 to 2 μm, and the surface is coated with a silane coupling agent after the metal treatment layer is formed,
Resin coated copper, wherein the amount of zinc in the surface 1-2 mg / dm 2, the amount of nickel 0.1 to 0.3 mg / dm 2 and a silicon amount is 0.005-0.05 / dm 2 Foil.
前記表面におけるクロム量が0.05〜0.15mg/dmであることを特徴とする請求項1に記載の樹脂付銅箔。 2. The copper foil with resin according to claim 1, wherein an amount of chromium on the surface is 0.05 to 0.15 mg / dm 2 . 前記表面のケイ素量において、付着量の少ないところと多いところの原子数の比率が1〜6倍であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の樹脂付銅箔。   3. The resin-attached copper foil according to claim 1, wherein in the amount of silicon on the surface, the ratio of the number of atoms with a small amount of adhesion and a large number of atoms is 1 to 6 times. 前記ポリフェニレンオキサイド樹脂組成物の樹脂成分全量中にポリフェニレンオキサイド樹脂20〜80質量%、トリアリルイソシアヌレート樹脂を20〜70質量%含有することを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の樹脂付銅箔。   The polyphenylene oxide resin is contained in 20 to 80% by mass of polyphenylene oxide resin and 20 to 70% by mass of triallyl isocyanurate resin in the total amount of the resin component of the polyphenylene oxide resin composition. The copper foil with resin of description. 前記ポリフェニレンオキサイド樹脂の樹脂成分全量中にエテニルベンジル化されたポリフェニレンオキサイド樹脂を20〜80質量%含有する請求項1〜4の何れか1項に記載の樹脂付銅箔。   The copper foil with resin of any one of Claims 1-4 which contains 20-80 mass% of polyphenylene oxide resin ethenyl benzylated in the resin component whole quantity of the said polyphenylene oxide resin. 前記シランカップリング剤がビニルシランである請求項1〜5の何れか1項に記載の樹脂付銅箔。   The resin-coated copper foil according to claim 1, wherein the silane coupling agent is vinyl silane. 請求項1〜6の何れか1項に記載の樹脂付銅箔を用いたプリント配線板製造用積層体において、
前記樹脂層として基材に前記ポリフェニレンオキサイド樹脂組成物を含浸し、加熱乾燥により半硬化して得られるプリプレグを用い、前記プリプレグの両面又は片面に銅箔を重ねて加熱加圧成形することにより得られるプリント配線板製造用積層体。
In the laminated body for printed wiring board manufacture using the copper foil with resin of any one of Claims 1-6,
Using the prepreg obtained by impregnating the polyphenylene oxide resin composition into the base material as the resin layer and semi-curing by heating and drying, the copper foil is laminated on both sides or one side of the prepreg and obtained by heating and pressing. Printed circuit board manufacturing laminate.
請求項1〜6の何れか1項に記載の樹脂付銅箔及び/又は請求項7に記載のプリント配線板製造用積層体を用いて得られる多層プリント配線板。   A multilayer printed wiring board obtained by using the resin-coated copper foil according to any one of claims 1 to 6 and / or the laminate for producing a printed wiring board according to claim 7.
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