JP5171668B2 - 基板の位置ずれを補正する方法 - Google Patents
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Description
n1:基板の屈折率、n2:媒質の屈折率、n1>n2
2 レーザ装置
2a レーザ光
3 λ/4波長板
4 レンズ
5 偏向素子
6 プリズム
7 ステージ
8 Z軸駆動機構
9 α・β軸駆動機構
10 発光
11 対物レンズ
12 フィルタユニット
13 結像レンズ
14 2次元センサカメラ
15 試薬保管ユニット
15a 試料液容器
15b,15c,15d,15e 標識dNTP溶液容器
15f dNTP mixture溶液容器
15g ポリメラーゼ溶液容器
15h 洗浄バッファー容器
16 LD光
17 ハーフミラー
18 調整用光源(LD)
19 廃液容器
20 制御PC
21 モニタ
22 透明部材
23 構造体
24 測定試料
25 光源
26 ダイクロイックミラー
27 バンドパスフィルタ1
28 バンドパスフィルタ2
29 ミラー
30 光センサ
31 分注ユニット
32 送液チューブ
33 廃液チューブ
Claims (1)
- エバネッセント光を利用した蛍光観察装置において、ステージ移動に伴う基板の位置ずれを補正する方法であって、
基板に対し、励起光を照射し、
前記基板の表面に生じたエバネッセント光照射領域を検出し、
前記エバネッセント光照射領域のアスペクト比を求め、
該アスペクト比を、予め求めておいた初期状態のアスペクト比と比較し、
両者のずれを補正するように、前記基板の傾きを調整する、方法。
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JP2009017466A JP5171668B2 (ja) | 2009-01-29 | 2009-01-29 | 基板の位置ずれを補正する方法 |
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