JP5152816B2 - Cleaning method - Google Patents

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本発明は、被洗浄物の洗浄方法に関し、特に、半田用フラックスと、ドライフィルムレジストとの同時洗浄が可能な両用洗浄剤を用いた被洗浄物の洗浄方法に関する。 The present invention relates to a method for cleaning an object to be cleaned, and more particularly, to a method for cleaning an object to be cleaned using a dual-purpose cleaning agent capable of simultaneously cleaning a solder flux and a dry film resist.

従来、電子材料分野において使用されるフラックス洗浄剤や塗膜剥離用洗浄剤として、グリコール化合物が主成分として多用されているが、モノアルコール系溶剤を主成分とした洗浄剤も知られている。
例えば、保護塗膜等の非水溶性高分子物質を洗浄することが可能な洗浄剤組成物が提案されている(例えば、特許文献1)。より具体的には、防錆材料としてのアクリル系高分子保護塗膜を、(A)特定のアミン類を5〜95重量部と、(B)ベンジルアルコール等を0.2〜50重量部と、(C)特定の界面活性剤を0.1〜80重量部と、から構成された洗浄剤組成物を用いて洗浄する方法が提案されている。
Conventionally, glycol compounds have been frequently used as a main component as flux cleaning agents and coating film peeling cleaning agents used in the field of electronic materials, but cleaning agents mainly containing monoalcohol solvents are also known.
For example, a cleaning composition capable of cleaning a water-insoluble polymer such as a protective coating has been proposed (for example, Patent Document 1). More specifically, an acrylic polymer protective coating film as a rust preventive material, (A) 5 to 95 parts by weight of specific amines, and (B) 0.2 to 50 parts by weight of benzyl alcohol and the like. (C) The method of wash | cleaning using the detergent composition comprised from 0.1-80 weight part of specific surfactant was proposed.

また、取扱いが安全であって、フラックス等の各種固体汚染物質を洗浄することが可能で、かつ、水リンス可能な洗浄剤が提案されている(例えば、特許文献2)。より具体的には、(A)ベンジルアルコールを50〜70重量%、(B)特定の水溶性グリコールエーテルを20〜40重量%と、(C)特定の界面活性剤を1〜20重量%と、(D)水を5〜20重量%と、から構成された工業用洗浄剤が提案されている。
さらに、ロジン系フラックス等の除去性に優れ、劣化されにくく、かつ、廃水処理性に優れた洗浄剤が提案されている(例えば、特許文献3)。より具体的には、(A)ベンジルアルコールまたは2−フェニルエチルアルコールを70重量%以上と、(B)特定の界面活性剤を0.01〜30重量%と、からなる洗浄剤が提案されている。
In addition, a cleaning agent that is safe to handle, can wash various solid contaminants such as flux, and can be rinsed with water has been proposed (for example, Patent Document 2). More specifically, (A) benzyl alcohol is 50 to 70% by weight, (B) a specific water-soluble glycol ether is 20 to 40% by weight, and (C) a specific surfactant is 1 to 20% by weight. (D) The industrial cleaning agent comprised from 5 to 20 weight% of water is proposed.
Furthermore, a cleaning agent that has excellent removability such as rosin flux, is hardly deteriorated, and has excellent wastewater treatment properties has been proposed (for example, Patent Document 3). More specifically, there has been proposed a cleaning agent comprising (A) 70% by weight or more of benzyl alcohol or 2-phenylethyl alcohol and (B) 0.01 to 30% by weight of a specific surfactant. Yes.

一方、作業性等を向上させたフリップチップの実装方法が提案されている(例えば、特許文献4)。より具体的には、回路基板のフリップチップ実装エリアの所定位置に、ソルダーレジストを形成した後、リフロー処理を行ってICチップを半田付けした後、フラックスの洗浄と同時にソルダーレジストの除去を行い、さらに樹脂コーティング処理を施すフリップチップの実装方法が提案されている。
特開昭63−69897号公報 特開2000−8080号公報 特開平3−140486号公報 特開平5−326630号公報
On the other hand, a flip chip mounting method with improved workability has been proposed (for example, Patent Document 4). More specifically, after forming the solder resist at a predetermined position of the flip chip mounting area of the circuit board, after performing the reflow process and soldering the IC chip, the solder resist is removed simultaneously with the cleaning of the flux, Further, a flip chip mounting method for applying a resin coating process has been proposed.
JP-A-63-69897 JP 2000-8080 A Japanese Patent Laid-Open No. 3-140486 JP-A-5-326630

しかしながら、特許文献1〜3で提案された洗浄剤は、いずれも半田用フラックスの洗浄性について不十分なばかりか、ドライフィルムレジストを同時に洗浄することは困難であった。
より具体的には、特許文献1に開示された洗浄剤組成物は、ベンジルアルコールの添加量が少なく、半田用フラックス及びドライフィルムレジストの洗浄剤としては、洗浄性が不十分であって、基板上に白色残渣が残りやすいという問題が見られた。一方、比較的多量のアミン類を添加しているため、被洗浄物である基板を侵しやすいという問題が見られた。さらには、所定量の界面活性剤を添加しなければならないために、リンス工程において界面活性剤が基板表面に残りやすく、誘電特性が劣化しやすいという問題も見られた。
また、特許文献2で提案された洗浄剤は、ベンジルアルコールと、特定の水溶性グリコールエーテルと、特定の界面活性剤とを主成分として用いているため、半田用フラックス及びドライフィルムレジストの洗浄剤としては、それぞれ洗浄性が同様に不十分であったり、アルコール系溶剤を使用した場合には、リンス工程におけるリンス性が低かったりするという問題が見られた。
さらに、特許文献3で提案された電子部品の洗浄方法は、ベンジルアルコールと、界面活性剤とを主成分として用いているため、半田用フラックス及びドライフィルムレジストの洗浄剤としては、洗浄性が不十分であったり、アルコール系溶剤を使用したリンス工程におけるリンス性が低かったりするという問題が見られた。
However, all of the cleaning agents proposed in Patent Documents 1 to 3 are not sufficient for cleaning the solder flux, and it is difficult to clean the dry film resist at the same time.
More specifically, the cleaning composition disclosed in Patent Document 1 has a small amount of benzyl alcohol added, and as a cleaning agent for solder flux and dry film resist, the cleaning property is insufficient. There was a problem that white residue was likely to remain on the top. On the other hand, since a relatively large amount of amines is added, there has been a problem that the substrate, which is the object to be cleaned, is easily affected. Furthermore, since a predetermined amount of surfactant has to be added, there is also a problem that the surfactant tends to remain on the substrate surface in the rinsing step, and the dielectric characteristics are likely to deteriorate.
Moreover, since the cleaning agent proposed in Patent Document 2 uses benzyl alcohol, a specific water-soluble glycol ether, and a specific surfactant as main components, it is a solder flux and a dry film resist cleaning agent. As a result, there has been a problem that each of the cleaning properties is similarly insufficient, or when an alcohol solvent is used, the rinsing property in the rinsing process is low.
Furthermore, since the cleaning method for electronic components proposed in Patent Document 3 uses benzyl alcohol and a surfactant as main components, the cleaning properties of solder flux and dry film resist are not clean. There was a problem that it was sufficient or the rinsing property in the rinsing process using an alcohol solvent was low.

一方、特許文献4で提案されたフリップチップの実装方法では、フラックスの洗浄と同時にソルダーレジストの除去を行うための洗浄剤については、何ら具体的に開示しておらず、そのままでは実施することができないという問題が見られた。   On the other hand, the flip chip mounting method proposed in Patent Document 4 does not specifically disclose any cleaning agent for removing the solder resist simultaneously with the flux cleaning, and can be carried out as it is. The problem of not being able to be seen was seen.

そこで、本発明の発明者らは鋭意検討した結果、特定のアルコール系溶剤と、アミン化合物としてのアミノアルコールと、水と、グリコール化合物とを所定割合で組み合わせて使用することにより、半田用フラックス及びドライフィルムレジストを同時洗浄できることを見出し、本発明を完成させたものである。
すなわち、本発明は、半田用フラックス及びドライフィルムレジストの同時洗浄に最適であって、優れた洗浄性およびリンス特性を有する両用洗浄剤を用いた被洗浄物の洗浄方法を提供することを目的としている。
Therefore, the inventors of the present invention have intensively studied, and as a result, by using a specific alcohol solvent, an amino alcohol as an amine compound , water, and a glycol compound in combination at a predetermined ratio, solder flux and The inventors have found that a dry film resist can be simultaneously cleaned and completed the present invention.
That is, the present invention aims to provide a method for cleaning an object to be cleaned using a dual-purpose cleaning agent that is optimal for simultaneous cleaning of a solder flux and a dry film resist and has excellent cleaning properties and rinsing characteristics. Yes.

本発明によれば、半田フラックスと、ドライフィルムレジストと、を同時洗浄することが可能な両用洗浄剤を用いた被洗浄物の洗浄方法であって、
全体量に対して、ベンジルアルコールの添加量を5〜94重量%の範囲内の値、アミン化合物としてのアミノアルコールを1〜50重量%の範囲内の値、かつ、水を3〜90重量%の範囲内の値とした両用洗浄剤を準備する工程と、
両用洗浄剤を用いて、半田フラックスおよびドライフィルムレジストが付着した披洗浄物を10〜80℃の温度範囲で同時洗浄する工程と、
を含むことを特徴とする披洗浄物の洗浄方法が提供され、上述した問題点を解決することができる。
すなわち、本発明の披洗浄物の洗浄方法によれば、所定量のベンジルアルコールと、アミノアルコールと、水と、を含む所定の両用洗浄剤を使用することにより、半田用フラックス及びドライフィルムレジストを同時洗浄する際に、それぞれに対して、優れた洗浄性を示すとともに、次工程におけるアルコール系溶剤を使用したリンスにおいても優れたリンス特性を示すことができる。
なお、半田フラックスおよびドライフィルムレジストの同時洗浄が可能であるとは、半田フラックスの洗浄終了までの時間をT1とし、ドライフィルムレジストの洗浄終了までの時間をT2としたときに、同一の洗浄液を用いて、T1/T2×100で表される指標が、10〜800%の範囲内であれば良く、20〜500%の範囲内であればより好ましく、30〜300%の範囲内であればさらに好ましい。
According to the present invention, a method for cleaning an object to be cleaned using a dual-purpose cleaning agent capable of simultaneously cleaning a solder flux and a dry film resist,
The amount of benzyl alcohol added is within a range of 5 to 94% by weight , the amino alcohol as an amine compound is within a range of 1 to 50% by weight, and water is 3 to 90% by weight with respect to the total amount. A step of preparing a dual-use cleaning agent having a value within the range of
Using dual wash cleaning agent, a step of simultaneously cleaning the披cleaning product solder flux and a dry film resist is attached at a temperature range of 10 to 80 ° C.,
The washing | cleaning method of the washing | cleaning thing characterized by including is provided, and the problem mentioned above can be solved.
That is, according to the cleaning method of the cleaning object of the present invention, the solder flux and the dry film resist are obtained by using a predetermined dual-purpose cleaning agent containing a predetermined amount of benzyl alcohol, amino alcohol , and water. When performing simultaneous cleaning, each of them exhibits excellent detergency and also exhibits excellent rinsing characteristics in rinsing using an alcohol solvent in the next step.
Note that the simultaneous cleaning of the solder flux and the dry film resist means that the time until the solder flux cleaning is completed is T1, and the time until the dry film resist cleaning is T2 is the same cleaning liquid. The index represented by T1 / T2 × 100 is preferably in the range of 10 to 800%, more preferably in the range of 20 to 500%, and in the range of 30 to 300%. Further preferred.

また、本発明の被洗浄物の洗浄方法を実施するにあたり、両用洗浄剤が、グリコール化合物をさらに含むとともに、当該グリコール化合物の添加量を、全体量に対して、1〜30重量%の範囲内の値とすることが好ましい。
このように所定量のグリコール化合物を含むことにより、洗浄剤の溶解度パラメータを容易に調整することができ、各種半田用フラックスに対して、優れた洗浄性、リンス特性および安定性をそれぞれ発揮することができる。さらに、このようなグリコール化合物を添加することにより、被洗浄物としての基板表面の誘電損失をより低減することができ、所定の電気絶縁性を容易に確保することができる。
In carrying out the method for cleaning an object to be cleaned according to the present invention, the amphoteric cleaning agent further contains a glycol compound, and the addition amount of the glycol compound is within the range of 1 to 30% by weight based on the total amount. It is preferable to set the value of.
By including a predetermined amount of glycol compound in this way, it is possible to easily adjust the solubility parameter of the cleaning agent, and to exhibit excellent detergency, rinse characteristics and stability for various solder fluxes, respectively. Can do. Furthermore, by adding such a glycol compound, it is possible to further reduce the dielectric loss on the surface of the substrate as an object to be cleaned, and to easily ensure a predetermined electrical insulation.

また、本発明の被洗浄物の洗浄方法を実施するにあたり、両用洗浄剤が、界面活性剤をさらに含むとともに、当該界面活性剤の添加量を、全体量に対して、1〜30重量%の範囲内の値とすることが好ましい。
このように所定量の界面活性剤を含むことにより、室温であっても、エマルジョン化しやすくなって、洗浄液の配合変化や劣化を目視にて、判断しやすくなる。また、両用洗浄剤をエマルジョン化することにより、フラックスやドライフィルムレジストの種類によっては、さらに洗浄性を高めることができる。
In carrying out the method for cleaning an object to be cleaned of the present invention, the amphoteric cleaning agent further contains a surfactant, and the added amount of the surfactant is 1 to 30% by weight based on the total amount. A value within the range is preferable.
By including a predetermined amount of the surfactant as described above, it becomes easy to emulsify even at room temperature, and it becomes easy to visually determine the change in blending and deterioration of the cleaning liquid. Further, by emulsifying the cleaning agent for both, depending on the type of the flux or the dry film resist, the cleaning property can be further improved.

また、本発明の被洗浄物の洗浄方法を実施するにあたり、両用洗浄剤の電気伝導度を1〜250μS/cmの範囲内の値とすることが好ましい。
このように電気伝導度を所定範囲に制限することにより、半田用フラックス及びレジスト材料の洗浄についての定量的管理が可能になって、それぞれに対して安定した洗浄性を示すことができる。また、電気伝導度を所定範囲に制限することにより、洗浄剤についての劣化度合いについても、精度良く判断することができる。
In carrying out the method for cleaning an object to be cleaned of the present invention, it is preferable to set the electric conductivity of the cleaning agent for both to a value within the range of 1 to 250 μS / cm.
By limiting the electric conductivity to a predetermined range as described above, it becomes possible to quantitatively manage the cleaning of the soldering flux and the resist material, and stable cleaning properties can be exhibited for each. Further, by limiting the electric conductivity to a predetermined range, it is possible to accurately determine the degree of deterioration of the cleaning agent.

また、本発明の被洗浄物の洗浄方法を実施するにあたり、両用洗浄剤が、室温(25℃)においてエマルジョン状態であることが好ましい。
このように室温(25℃)でエマルジョンとすることにより、洗浄液の配合変化や劣化を目視にて、判断しやすくなる。また、両用洗浄剤をエマルジョン化することにより、フラックスやドライフィルムレジストの種類によっては、さらに洗浄性を高めることができる。
Moreover, when implementing the washing | cleaning method of the to-be-washed | cleaned material of this invention, it is preferable that a detergent for both uses is an emulsion state at room temperature (25 degreeC).
Thus, it becomes easy to judge the mixing | blending change and deterioration of a washing | cleaning liquid visually by using an emulsion at room temperature (25 degreeC). Further, by emulsifying the cleaning agent for both, depending on the type of the flux or the dry film resist, the cleaning property can be further improved.

また、本発明の被洗浄物の洗浄方法を実施するにあたり、被洗浄物を洗浄する工程の後に、リンス液としてのアルコール系溶剤又は水によって、被洗浄物をすすぐためのリンス工程をさらに含むことが好ましい。
このように所定の両用洗浄剤を使用するとともに、アルコール系溶剤によって被洗浄物をリンスすることにより、半田用フラックス及びレジスト材料を同時洗浄する際に、それぞれに対して、優れた洗浄性を示すとともに、アルコール系溶剤を使用したリンス処理においても優れたリンス特性を示すことができる。
Further, in carrying out the method for cleaning an object to be cleaned of the present invention, the method further includes a rinsing step for rinsing the object to be cleaned with an alcohol solvent or water as a rinsing liquid after the step of cleaning the object to be cleaned. Is preferred.
In this way, by using a predetermined dual-purpose cleaning agent and rinsing the object to be cleaned with an alcohol solvent, when the solder flux and the resist material are simultaneously cleaned, excellent cleaning properties are shown for each. In addition, excellent rinsing characteristics can be exhibited in the rinsing treatment using an alcohol solvent.

また、本発明の被洗浄物の洗浄方法を実施するにあたり、半田フラックスとして、ロジンを主成分とした鉛フリー用半田フラックスまたは高融点半田フラックスを洗浄の際の対象物とすることが好ましい。
このように半田フラックスの種類を所定のものとすることにより、優れた濡れ性等が得られる一方、容易かつ短時間に洗浄除去することができる。
In carrying out the method for cleaning an object to be cleaned according to the present invention, it is preferable to use a lead-free solder flux or refractory solder flux mainly composed of rosin as a solder flux as an object to be cleaned.
Thus, by setting the kind of solder flux as a predetermined thing, while the outstanding wettability etc. are obtained, it can wash and remove easily and in a short time.

[第1の参考実施形態]
第1の参考実施形態は、半田フラックスと、ドライフィルムレジストと、を同時洗浄することが可能な両用洗浄剤であって、全体量に対して、ベンジルアルコールの添加量を5〜94重量%の範囲内の値、アミン化合物としてのアミノアルコールを1〜50重量%の範囲内の値、かつ、水を3〜90重量%の範囲内の値とした両用洗浄剤である。
すなわち、ベンジルアルコールを単独使用しても、ポリイミド基材等に付着した半田用フラックス及びレジスト材料を同時洗浄することは困難である。しかしながら、ベンジルアルコールに対して、所定量のアミノアルコールと、水とを添加することにより、それぞれの相乗効果が発揮されて、リンス特性を低下させることなく、半田用フラックス及びドライフィルムレジストを同時洗浄することができる。
したがって、かかる両用洗浄剤に、一例として、オレイルアルコールのエチレンオキサイド12モル付加物を5重量%添加した場合ではあるが、図1の室温(25℃)での三成分系両用洗浄剤における液状態図や、図2の60℃での三成分系両用洗浄剤における液状態図から理解されるように、配合比率や環境温度によって、容易にエマルジョン化することを特徴としている。
さらに、かかる両用洗浄剤に、一例として、オレイルアルコールのエチレンオキサイド6モル付加物を5重量%添加した場合ではあるが、図3の室温(25℃)での三成分系両用洗浄剤における液状態図や、図4の60℃での三成分系両用洗浄剤における液状態図から理解されるように、配合比率や環境温度によって、容易にエマルジョン化することを特徴としている。
以下、両用洗浄剤の構成成分等について具体的に説明する。
[First embodiment]
The first reference embodiment is a dual-use cleaning agent capable of simultaneously cleaning a solder flux and a dry film resist, wherein the amount of benzyl alcohol added is 5 to 94% by weight based on the total amount. It is a dual-use cleaning agent having a value within the range, a value within the range of 1 to 50% by weight of amino alcohol as the amine compound , and a value within the range of 3 to 90% by weight of water.
That is, even if benzyl alcohol is used alone, it is difficult to simultaneously wash the solder flux and the resist material adhering to the polyimide base material. However, by adding a predetermined amount of amino alcohol and water to benzyl alcohol, each synergistic effect is exhibited, and solder flux and dry film resist are simultaneously cleaned without deteriorating rinse characteristics. can do.
Therefore, as an example, the liquid state in the three-component dual-use cleaning agent at room temperature (25 ° C.) in FIG. As can be understood from the figure and the liquid state diagram of the three-component system cleaning agent at 60 ° C. in FIG. 2, it is characterized by being easily emulsified depending on the blending ratio and the environmental temperature.
Furthermore, as an example, the liquid state in the three-component dual-use cleaning agent at room temperature (25 ° C.) in FIG. 3 is the case where 5 wt% of an oleyl alcohol ethylene oxide 6 mol adduct is added to the dual-use cleaning agent. As can be understood from the figure and the liquid state diagram of the three-component dual-use cleaning agent at 60 ° C. in FIG. 4, it is characterized by being easily emulsified depending on the blending ratio and the environmental temperature.
Hereinafter, the components and the like of the dual-purpose cleaning agent will be specifically described.

1.ベンジルアルコール
ベンジルアルコールの添加量を、全体量に対して、5〜94重量%の範囲内の値にすることを特徴とする。
この理由は、かかるベンジルアルコールの添加量が5重量%未満の値になると、アミン化合物としてのアミノアルコール、水と、グリコール化合物との相乗効果が発揮されずに、半田用フラックス及びレジスト材料を十分に洗浄することが困難になるためである。一方、かかるベンジルアルコールの添加量が、94重量%を超えると、逆に、半田用フラックス及びレジスト材料に対する洗浄性が低下したり、リンス特性が低下したりする場合があるためである。
したがって、ベンジルアルコールの添加量を、全体量に対して、50〜90重量%の範囲内の値にすることがより好ましく、60〜85重量%の範囲内の値にすることがさらに好ましい。
なお、図5に、両用洗浄剤におけるベンジルアルコールの添加量の影響を示す。かかる図5から容易に理解できるように、全体量に対して、所定量の範囲内の値にすることにより、他配合成分との相乗効果を発揮して、半田用フラックス及びレジスト材料に対して、所定の洗浄性を示すことができる。
1. Benzyl alcohol The amount of benzyl alcohol added is a value within a range of 5 to 94% by weight based on the total amount.
The reason for this is that when the amount of benzyl alcohol added is less than 5% by weight, the synergistic effect of the amino alcohol , water, and glycol compound as the amine compound is not exhibited, and the solder flux and resist material are sufficient. This is because it becomes difficult to clean. On the other hand, if the amount of benzyl alcohol added exceeds 94% by weight, the cleaning performance with respect to the soldering flux and the resist material may be decreased, or the rinse characteristics may be decreased.
Therefore, the amount of benzyl alcohol added is more preferably set to a value within the range of 50 to 90% by weight, and further preferably set to a value within the range of 60 to 85% by weight with respect to the total amount.
In addition, in FIG. 5, the influence of the addition amount of benzyl alcohol in a dual-purpose cleaning agent is shown. As can be easily understood from FIG. 5, the synergistic effect with other blending components is exhibited by setting the value within the range of the predetermined amount with respect to the total amount, and the solder flux and the resist material. , Can exhibit a predetermined detergency.

2.アミン化合物としてのアミノアルコール
(1)種類
アミン化合物としてのアミノアルコールの種類は特に制限されるものではないが、例えば、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、モノイソプロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、トリイソプロパノールアミン、N−メチルモノエタノールアミン、N−エチルモノエタノールアミン、N−ブチルモノエタノールアミン、N−メチルジエタノールアミン、N−エチルジエタノールアミン、N−ブチルジエタノールアミン、N−シクロヘキシルジエタノールアミン、N,N−ジメチルモノエタノールアミン、N,N−ジエチルモノエタノールアミン、N,N−ジブチルモノエタノールアミン、アミノメチルプロパノール、アミノエチルプロパンジオール、アミノメチルプロパンジオール、アミノブタノール等の一種単独または二種以上の組み合わせが挙げられる。
また、これらのアミノアルコールのうち、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、N−メチルジエタノールアミン、およびN−シクロヘキシルジエタノールアミンは、安価であるとともに、比較的少量添加するだけで、優れた同時洗浄性を示すことより、より好ましいアミノアルコールである。
2. Amino alcohol as amine compound (1)
The type of amino alcohol as the amine compound is not particularly limited. For example, diethanolamine, triethanolamine, monoisopropanolamine, diisopropanolamine, triisopropanolamine, N-methylmonoethanolamine, N-ethylmonoethanol Amine, N-butylmonoethanolamine, N-methyldiethanolamine, N-ethyldiethanolamine, N-butyldiethanolamine, N-cyclohexyldiethanolamine, N, N-dimethylmonoethanolamine, N, N-diethylmonoethanolamine, N, N -Dibutylmonoethanolamine, aminomethylpropanol, aminoethylpropanediol, aminomethylpropanediol, aminobutanol, etc. It includes a combination of the above.
Further, among these aminoalcohols, diethanolamine, triethanolamine, N- methyldiethanolamine, and N- cyclohexyl diethanol amine is not only a low cost, requiring only the addition of relatively small amounts, than to exhibit excellent co cleanability More preferred amino alcohols .

また、アミン化合物としてのアミノアルコールの種類を、沸点から選択することも好ましい。すなわち、沸点が120〜400℃のアミノアルコールを選択することが好ましい。
この理由は、かかるアミノアルコールの沸点が120℃未満になると、引火性が高くなって、得られる半田フラックス除去用洗浄剤の取扱いが困難になったり、洗浄温度を過度に低下したりしなければならない場合があるためである。一方、アミノアルコールの沸点が400℃を超えると、半田用フラックス及びレジスト材料に対する同時洗浄性が低下する場合があるためである。
したがって、沸点が180〜370℃のアミノアルコールを選択することがより好ましい。
It is also preferable to select the type of amino alcohol as the amine compound from the boiling point. That is, it is preferable to select an amino alcohol having a boiling point of 120 to 400 ° C.
The reason for this is that when the boiling point of the amino alcohol is less than 120 ° C., the flammability becomes high, and it becomes difficult to handle the obtained solder flux removing cleaning agent or excessively lower the cleaning temperature. This is because there is a case where it is not possible. On the other hand, when the boiling point of the amino alcohol exceeds 400 ° C., the simultaneous cleaning performance with respect to the soldering flux and the resist material may be deteriorated.
Therefore, it is more preferable to select an amino alcohol having a boiling point of 180 to 370 ° C.

(2)添加量
また、アミン化合物としてのアミノアルコールの添加量を、全体量に対して、1〜50重量%の範囲内の値にすることを特徴とする。
この理由は、かかるアミノアルコールの添加量が1重量%未満の値になると、ベンジルアルコールと、水と、グリコール化合物との相乗効果が発揮されずに、半田用フラックスやレジスト材料についての洗浄性が低下するためである。また、アミノアルコールの添加量が、1重量%未満の値になると、次工程におけるアルコール系溶剤を使用したリンス工程でのリンス特性が低下する場合があるためである。
一方、かかるアミノアルコールの添加量が、50重量%を超えると、半田用フラックスやレジスト材料に対する洗浄効果が逆に低下したり、被洗浄物の被着物である電子部品の基板等を侵したりする場合があるためである。
したがって、アミノアルコールの添加量を、全体量に対して、5〜30重量%の範囲内の値にすることがより好ましく、10〜20重量%の範囲内の値にすることがさらに好ましい。
(2) Addition amount Further, the addition amount of the amino alcohol as the amine compound is set to a value in the range of 1 to 50% by weight with respect to the total amount.
The reason for this is that when the amount of amino alcohol added is less than 1% by weight, the synergistic effect of benzyl alcohol, water, and glycol compound is not exerted, and the cleaning performance for solder flux and resist materials is improved. It is because it falls. Moreover, it is because the rinse characteristic in the rinse process using the alcohol solvent in the next process may fall when the addition amount of amino alcohol becomes a value less than 1 weight%.
On the other hand, if the amount of amino alcohol added exceeds 50% by weight, the cleaning effect on the solder flux and resist material may be reduced, or the substrate of the electronic component that is the adherend of the object to be cleaned may be affected. This is because there are cases.
Therefore, the addition amount of amino alcohol is more preferably set to a value within the range of 5 to 30% by weight and further preferably set to a value within the range of 10 to 20% by weight with respect to the total amount.

なお、図6に、両用洗浄剤におけるアミン化合物としてのアミノアルコールの添加量の影響を示す。かかる図6から容易に理解できるように、全体量に対して、所定量の範囲内の値にすることにより、他配合成分との相乗効果を発揮して、半田用フラックス及びレジスト材料に対して、所定の洗浄性を示すことができる。 In addition, in FIG. 6, the influence of the addition amount of the amino alcohol as an amine compound in a dual-use cleaning agent is shown. As can be easily understood from FIG. 6, by making the value within the range of the predetermined amount with respect to the total amount, a synergistic effect with other compounding components is exhibited, and the solder flux and resist material are reduced. , Can exhibit a predetermined detergency.

3.水
また、水の添加量を、全体量に対して、3〜90重量%の範囲内の値にすることを特徴とする。
この理由は、かかる水の添加量が、3重量%未満の値になると、レジスト材料に対する洗浄効果が著しく低下する場合があるためである。すなわち、ベンジルアルコールと、アミン化合物としてのアミノアルコールと、水と、グリコール化合物との相乗効果が発揮されずに、レジスト材料についての洗浄性が低下するためである。一方、かかる水の添加量が、90重量%を超えると、半田用フラックスに対する洗浄効果が著しく低下する場合があるためである。
したがって、水の添加量を、全体量に対して、5〜50重量%の範囲内の値にすることがより好ましく、10〜30重量%の範囲内の値にすることがさらに好ましい。
3. Water Further, the amount of water added is a value within the range of 3 to 90% by weight with respect to the total amount.
This is because when the amount of water added is less than 3% by weight, the cleaning effect on the resist material may be significantly reduced. That is, the synergistic effect of benzyl alcohol, amino alcohol as an amine compound , water, and glycol compound is not exhibited, and the detergency of the resist material is lowered. On the other hand, if the amount of water added exceeds 90% by weight, the cleaning effect on the solder flux may be significantly reduced.
Therefore, the amount of water added is more preferably set to a value within the range of 5 to 50% by weight, and more preferably set to a value within the range of 10 to 30% by weight with respect to the total amount.

なお、図7に、両用洗浄剤における水の添加量の影響を示す。かかる図7から容易に理解できるように、全体量に対して、水の添加量を、所定範囲内の値にすることにより、他配合成分との相乗効果を発揮して、半田用フラックス及びレジスト材料に対して、所定の洗浄性を示すことができる。   FIG. 7 shows the influence of the amount of water added in the dual-use cleaning agent. As can be easily understood from FIG. 7, by making the amount of water added to a value within a predetermined range with respect to the total amount, a synergistic effect with other blending components is exhibited, and the solder flux and resist The material can exhibit a predetermined detergency.

4.グリコール化合物
(1)種類
また、両用洗浄剤中に、所定量のグリコール化合物を添加することが好ましい。そして、グリコール化合物の種類としては、例えば、下記一般式(1)、あるいは下記一般式(2)および(3)で表される化合物であることが好ましい。
この理由は、このようなグリコール化合物を添加することにより、ベンジルアルコールと、アミン化合物としてのアミノアルコールと、水との相乗効果によって、半田用フラックス及びレジスト材料について同時洗浄することができるためである。
4). Glycol compound (1) type It is also preferable to add a predetermined amount of glycol compound in the amphoteric detergent. And as a kind of glycol compound, it is preferable that it is a compound represented, for example by the following general formula (1) or the following general formula (2) and (3).
The reason for this is that by adding such a glycol compound, the solder flux and the resist material can be simultaneously cleaned by the synergistic effect of benzyl alcohol, amino alcohol as the amine compound , and water. .

Figure 0005152816
Figure 0005152816

(一般式(1)中、R1は、炭素数1〜8のアルキル基であり、繰り返し数nは、1〜3の自然数である。) (In the general formula (1), R 1 is an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, the number of repetitions n is a natural number of 1-3.)

Figure 0005152816
Figure 0005152816

(一般式(2)中、R2は、炭素数1〜6のアルキル基であり、R3は、水素またはメチル
基である。)
(In general formula (2), R 2 is an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and R 3 is hydrogen or a methyl group.)

Figure 0005152816
Figure 0005152816

(一般式(3)中、R4は、炭素数1〜3のアルキル基であり、R5は、水素またはメチル基であり、R6は、炭素数1〜2のアルキル基である。) (In General Formula (3), R 4 is an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, R 5 is hydrogen or a methyl group, and R 6 is an alkyl group having 1 to 2 carbon atoms.)

また、具体的には、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノプロピルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、ジエチレングリコールモノオクチルエーテル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、トリエチレングリコールモノプロピルエーテル、トリエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールモノヘキシルエーテル、トリエチレングリコールモノオクチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノヘキシルエーテル、プロピレングリコールモノオクチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノヘキシルエーテル、ジプロピレングリコールモノオクチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノエチルエーテル、トリプロピレングリコールモノプロピルエーテル、トリプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノヘキシルエーテル、トリプロピレングリコールモノオクチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジエチレングリコールジヘキシルエーテル、ジエチレングリコールジオクチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールジプロピルエーテル、トリエチレングリコールジブチルエーテル、トリエチレングリコールジヘキシルエーテル、トリエチレングリコールジオクチルエーテル、プロピレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールジプロピルエーテル、プロピレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールジヘキシルエーテル、プロピレングリコールジオクチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、ジプロピレングリコールジプロピルエーテル、ジプロピレングリコールジブチルエーテル、ジプロピレングリコールジヘキシルエーテル、ジプロピレングリコールジオクチルエーテル、トリプロピレングリコールジメチルエーテル、トリプロピレングリコールジエチルエーテル、トリプロピレングリコールジプロピルエーテル、トリプロピレングリコールジブチルエーテル、トリプロピレングリコールジヘキシルエーテル、トリプロピレングリコールジオクチルエーテル等の一種単独または二種以上の組み合わせが挙げられる。   Specifically, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monopropyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monohexyl ether, diethylene glycol monooctyl ether, triethylene glycol monomethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether, triethylene Glycol monopropyl ether, triethylene glycol monobutyl ether, triethylene glycol monohexyl ether, triethylene glycol monooctyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monopropyl ether, propylene glycol Butyl ether, propylene glycol monohexyl ether, propylene glycol monooctyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monopropyl ether, dipropylene glycol monobutyl ether, dipropylene glycol monohexyl ether, dipropylene glycol Monooctyl ether, tripropylene glycol monomethyl ether, tripropylene glycol monoethyl ether, tripropylene glycol monopropyl ether, tripropylene glycol monobutyl ether, tripropylene glycol monohexyl ether, tripropylene glycol monooctyl ether, diethylene glycol dimethyl ether Diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol dipropyl ether, diethylene glycol dibutyl ether, diethylene glycol dihexyl ether, diethylene glycol dioctyl ether, triethylene glycol dimethyl ether, triethylene glycol diethyl ether, triethylene glycol dipropyl ether, triethylene glycol dibutyl ether, triethylene glycol dihexyl ether , Triethylene glycol dioctyl ether, propylene glycol dimethyl ether, propylene glycol diethyl ether, propylene glycol dipropyl ether, propylene glycol dibutyl ether, propylene glycol dihexyl ether, propylene glycol dioctyl Ether, dipropylene glycol dimethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, dipropylene glycol dipropyl ether, dipropylene glycol dibutyl ether, dipropylene glycol dihexyl ether, dipropylene glycol dioctyl ether, tripropylene glycol dimethyl ether, tripropylene glycol diethyl ether, tripropylene glycol One kind or a combination of two or more kinds of propylene glycol dipropyl ether, tripropylene glycol dibutyl ether, tripropylene glycol dihexyl ether, tripropylene glycol dioctyl ether, etc. may be mentioned.

(2) 添加量
また、グリコール化合物の添加量を、全体量に対して、グリコール化合物の添加量を1〜30重量%の範囲内の値とすることを特徴とする。
この理由は、かかるグリコール化合物の添加量が1重量%未満の値になると、ベンジルアルコールと、アミン化合物としてのアミノアルコールと、水との相乗効果が発揮されずに、半田用フラックスやレジスト材料に対する洗浄効果が著しく低下する場合があるためである。一方、かかるグリコール化合物の添加量が、30重量%以上の値になると、半田用フラックス等に対する洗浄効果が著しく低下する場合があるためである。
したがって、グリコール化合物の添加量を、全体量に対して、2重量%〜20重量%の範囲内の値にすることがより好ましく、3重量%〜15重量%の範囲内の値にすることがさらに好ましい。
なお、図8に、両用洗浄剤におけるグリコール化合物の添加量の影響を示す。かかる図8から容易に理解できるように、全体量に対して、グリコール化合物の添加量を、所定範囲内の値(1〜30重量%)にすることにより、他配合成分との相乗効果を発揮して、半田用フラックス及びレジスト材料に対して、所定の洗浄性を示すことができる。
(2) Addition amount The addition amount of the glycol compound is set such that the addition amount of the glycol compound is within a range of 1 to 30% by weight with respect to the total amount.
The reason for this is that when the added amount of the glycol compound is less than 1% by weight, the synergistic effect of benzyl alcohol, amino alcohol as the amine compound , and water is not exhibited, and the soldering flux or resist material is not affected. This is because the cleaning effect may be significantly reduced. On the other hand, when the amount of the glycol compound added is 30% by weight or more, the cleaning effect on the soldering flux or the like may be significantly reduced.
Therefore, the amount of glycol compound added is more preferably set to a value within the range of 2% by weight to 20% by weight relative to the total amount, and is set to a value within the range of 3% by weight to 15% by weight. Further preferred.
In addition, in FIG. 8, the influence of the addition amount of the glycol compound in a dual-purpose cleaning agent is shown. As can be easily understood from FIG. 8, a synergistic effect with other blending components is exhibited by setting the amount of glycol compound added to a value within a predetermined range (1 to 30% by weight) with respect to the total amount. Thus, predetermined detergency can be exhibited for the solder flux and the resist material.

5.溶解度パラメータ
また、両用洗浄剤の溶解度パラメータを12〜20の範囲内の値とすることが好ましい。
この理由は、かかる溶解度パラメータが、かかる範囲を超えると、鉛フリー半田用フラックスや高融点半田用フラックス等に対する洗浄効果が著しく低下する場合があるためである。
したがって、両用洗浄剤の溶解度パラメータを、全体量に対して、12〜16の範囲内の値にすることがより好ましい。
5. Solubility parameter Moreover, it is preferable to make the solubility parameter of the detergent for both uses into the value within the range of 12-20.
The reason for this is that if the solubility parameter exceeds this range, the cleaning effect on the lead-free solder flux, the high melting point solder flux, or the like may be significantly reduced.
Therefore, it is more preferable to set the solubility parameter of the amphibious cleaning agent to a value within the range of 12 to 16 with respect to the total amount.

6.電気伝導度
また、両用洗浄剤の電気伝導度(室温)を1〜250μS/cmの範囲内の値とすることが好ましい。
この理由は、かかる電気伝導度が、1μS/cm未満の値になると、鉛フリー半田用フラックスや高融点半田用フラックス等に対する洗浄効果が著しく低下する場合があるためである。一方、かかる電気伝導度が、250μS/cmを超えると、被洗浄物の被着物である電子部品の基板等を侵す場合があるためである。
したがって、両用洗浄剤の電気伝導度を3〜160μS/cmの範囲内の値とすることがより好ましく、5〜50μS/cmの範囲内の値とすることがさらに好ましい。
6). Electrical conductivity It is also preferable to set the electrical conductivity (room temperature) of the amphibious cleaning agent to a value in the range of 1 to 250 μS / cm.
The reason for this is that when the electric conductivity is less than 1 μS / cm, the cleaning effect on the lead-free solder flux, the high melting point solder flux, or the like may be significantly reduced. On the other hand, if the electrical conductivity exceeds 250 μS / cm, the substrate of the electronic component that is the adherend of the object to be cleaned may be affected.
Therefore, it is more preferable that the electric conductivity of the amphibious cleaning agent is set to a value within the range of 3 to 160 μS / cm, and further preferably set to a value within the range of 5 to 50 μS / cm.

7.被洗浄物およびフラックス
また、被洗浄物の種類は、半田処理された電子部品や製品はもちろんのこと、半田処理されていなくとも、フラックスの影響がある部品等も好適に使用することができる。したがって、被洗浄物の種類は、特に制限されるものではないが、例えば、プリント回路板、セラミック配線基板、半導体素子(BGA、CSP、PGA、LGA等の半導体部品を含む。)、半導体素子搭載基板、バンプ付きTABテープ、バンプ無しTABテープ、半導体素子搭載TABテープ、リードフレーム、コンデンサ、および抵抗等が具体的に挙げられる。
そして、これら半田処理された電子部品や製品において、使用される半田フラックスの種類は特に制限されるものではないが、例えば、鉛フリー用半田フラックスまたは高融点半田フラックス、あるいは無洗浄半田フラックスであることが好ましい、すなわち、これらの半田フラックスは、通常、ロジンを主成分としており、それに、有機酸塩、グリシジ
ルエーテル化合物、オキシ酸、カルボン酸(ジカルボン酸含む。)、アニリドおよび熱硬
化樹脂(例えば、エポキシ樹脂や熱硬化系アクリル樹脂)の少なくとも一つの化合物が添
加してある場合が多いためである。したがって、本発明の両用洗浄剤であれば、通常の半田フラックスはもちろんのこと、これらの半田フラックスに対しても、選択的に優れた洗浄性を示すことができる。
また、ベンジルアルコールやアミン化合物としてのアミノアルコールへの溶解性が良好なことから、ロジンの一部または全部が水添してある化合物を、半田フラックスを洗浄の際の直接的な対象物とすることも好ましい。
さらに、無洗浄半田フラックスであっても、さらに高い耐電気腐食性を得たいような場合には、洗浄の際の直接的な対象物とすることができる。
7). Objects to be cleaned and flux As for the types of objects to be cleaned, not only soldered electronic parts and products, but also parts that are affected by flux even if not soldered can be suitably used. Accordingly, the type of the object to be cleaned is not particularly limited, but for example, a printed circuit board, a ceramic wiring board, a semiconductor element (including semiconductor parts such as BGA, CSP, PGA, and LGA), and a semiconductor element mounted. Specific examples include a substrate, a TAB tape with bumps, a TAB tape without bumps, a TAB tape with semiconductor elements, a lead frame, a capacitor, and a resistor.
In these soldered electronic parts and products, the type of solder flux used is not particularly limited. For example, lead-free solder flux, high melting point solder flux, or no-clean solder flux. Preferably, these solder fluxes are usually based on rosin, and include organic acid salts, glycidyl ether compounds, oxyacids, carboxylic acids (including dicarboxylic acids), anilides and thermosetting resins (e.g. This is because at least one compound of epoxy resin or thermosetting acrylic resin) is often added. Therefore, the dual-use cleaning agent of the present invention can exhibit excellent cleaning properties selectively with respect to these solder fluxes as well as normal solder fluxes.
In addition, because of its good solubility in benzyl alcohol and amino alcohol as an amine compound, a compound in which a part or all of rosin is hydrogenated is used as a direct target when washing solder flux. It is also preferable.
Furthermore, even if it is a non-cleaning solder flux, when it is desired to obtain higher electric corrosion resistance, it can be a direct object at the time of cleaning.

なお、直接的な対象物であるフラックスが添加される高融点半田や鉛フリー半田、さらには無洗浄半田の種類についても特に制限されるものではないが、例えば、Sn−Ag系、Sn−Ag−Cu系、Sn−Cu系、Sn−Zn系、Sn−Bi系、Pb−Sn系等が代表的である。
また、半田処理された電子部品や製品において、使用されるレジスト材料の種類についても特に制限されるものではないが、例えば、アクリル樹脂、ノボラック樹脂、レゾール樹脂、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂等を主成分とした半田バンプ用厚膜レジスト材料を対象物とすることができる。
なお、対象物に対して、両用洗浄剤としてのベンジルアルコールと、アミン化合物としてのアミノアルコールと、グリコール化合物と、水との相乗効果を効果的に発揮させるためには、レジスト材料中に含まれるアマイド化合物の添加量を、全体量に対して、10重量%以下の値とすることが好ましく、5重量%以下の値とすることがより好ましい。
The type of high melting point solder, lead-free solder, or no-clean solder to which a flux that is a direct object is added is not particularly limited. For example, Sn-Ag, Sn-Ag Typical examples include -Cu system, Sn-Cu system, Sn-Zn system, Sn-Bi system, and Pb-Sn system.
In addition, the type of resist material used in soldered electronic parts and products is not particularly limited. For example, acrylic resin, novolac resin, resole resin, epoxy resin, silicone resin, etc. are the main components. The solder bump thick film resist material can be used as an object.
In order to effectively exert a synergistic effect of benzyl alcohol as a dual-purpose cleaning agent , amino alcohol as an amine compound , glycol compound, and water on an object, it is contained in a resist material. The amount of the amide compound added is preferably 10% by weight or less, more preferably 5% by weight or less based on the total amount.

8.ドライフィルムレジスト
被洗浄物に使用されるドライフィルムレジストは、通常、ソルダーレジストの機能を果たした材料であれば特に制限されるものではないが、具体的には、以下のようなドライフィルムレジストであることが好ましい。
すなわち、ポジ型感光性ドライフィルムの場合は、光照射によって分解するレジスト組成物を離型紙等の支持フィルムに塗装し、加熱硬化させたものを使用することができる。また、フィルムには感光性もしくは非感光性の粘着層を設けておくこともできる。
一方、ネガ型感光性組成物としては、光硬化性樹脂、光反応開始剤及び必要に応じて光増感色素とを含有した従来公知のレジスト組成物を離型紙等の支持フィルムに塗装し、加熱硬化させたものを使用することができる。
また、ネガ型感光性組成物を構成するために、光硬化性樹脂は、光照射により架橋しうる感光基を有する光硬化性樹脂である。
なお、ドライフィルムレジストの厚さとしては、5〜300μmの範囲内の値であることが好ましく、10〜200μmの範囲内の値であることがより好ましい。
8). Dry film resist The dry film resist used for the object to be cleaned is not particularly limited as long as it is a material that functions as a solder resist. Specifically, the dry film resist is as follows. Preferably there is.
That is, in the case of a positive-type photosensitive dry film, a resist composition that is decomposed by light irradiation is coated on a support film such as a release paper and heat-cured. The film may be provided with a photosensitive or non-photosensitive adhesive layer.
On the other hand, as a negative photosensitive composition, a conventionally known resist composition containing a photocurable resin, a photoreaction initiator and, if necessary, a photosensitizing dye is applied to a support film such as a release paper, What was heat-hardened can be used.
Moreover, in order to comprise a negative photosensitive composition, a photocurable resin is a photocurable resin which has a photosensitive group which can be bridge | crosslinked by light irradiation.
In addition, as thickness of a dry film resist, it is preferable that it is a value within the range of 5-300 micrometers, and it is more preferable that it is a value within the range of 10-200 micrometers.

[第2の実施の形態]
第2の実施形態は、半田フラックスと、ドライフィルムレジストと、を同時洗浄することが可能な両用洗浄剤を用いた被洗浄物の洗浄方法であって、全体量に対して、ベンジルアルコールの添加量を5〜94重量%の範囲内の値、アミン化合物としてのアミノアルコールを1〜50重量%の範囲内の値、かつ、水を3〜90重量%の範囲内の値とした両用洗浄剤を準備する工程と、
両用洗浄剤を用いて、前記半田フラックス及びドライフィルムレジストが付着した被洗浄物を10〜80℃の温度範囲で洗浄する工程と、を含むことを特徴とする両用洗浄剤を用いた被洗浄物の洗浄方法である。
以下、両用洗浄剤を用いた洗浄方法を、各工程について具体的に説明する。
[Second Embodiment]
The second embodiment is a method of cleaning an object to be cleaned using a dual-purpose cleaning agent capable of simultaneously cleaning a solder flux and a dry film resist, and adding benzyl alcohol to the total amount A dual-use cleaning agent in which the amount is 5 to 94% by weight , the amino alcohol as the amine compound is 1 to 50% by weight, and the water is 3 to 90% by weight. The process of preparing
Cleaning the object to be cleaned to which the solder flux and the dry film resist are adhered in a temperature range of 10 to 80 ° C., using the detergent for both purposes. This is a cleaning method.
Hereinafter, the cleaning method using the amphoteric cleaning agent will be specifically described for each step.

1.調整工程
被洗浄物を洗浄するに先立ち、容器内に、主成分としてのベンジルアルコールやアミン化合物としてのアミノアルコール、水、あるいはグリコール化合物をそれぞれ秤量しながら添加し、それらを均一に混合して、両用洗浄剤を調整する工程を設けることが好ましい。
なお、両用洗浄剤の内容は、第1の実施の形態と同様であるが、この段階で、両用洗浄剤の粘度、誘電損失、酸価、電気伝導度等の少なくとも一つを測定し、それぞれ所定範囲に制限することにより、均一な特性を有することを確認することが好ましい。
1. Adjustment process Prior to washing the object to be cleaned, add benzyl alcohol as the main component , amino alcohol as the amine compound , water, or glycol compound while weighing each in the container, and mix them uniformly. It is preferable to provide a step of adjusting the amphibious cleaner.
The contents of the dual-use cleaning agent are the same as in the first embodiment, but at this stage, at least one of the viscosity, dielectric loss, acid value, electrical conductivity, etc. of the dual-use cleaning agent is measured, It is preferable to confirm that it has uniform characteristics by limiting to a predetermined range.

2.洗浄工程
調整した両用洗浄剤を用いて、半田処理された電子部品や製品を洗浄し、それらに付着している半田用フラックス及びレジスト材料を同時洗浄して、除去する工程である。
ここで、図9に示すような、超音波洗浄するための超音波振動子29を備えた洗浄槽12と、循環路22と、送液ポンプ24と、リンス槽14と、乾燥槽16と、を備えた洗浄装置10であることが好ましい。
より具体的には、洗浄槽12は、被洗浄物23の収容部(洗浄液)20と、超音波振動子29と、洗浄液の攪拌装置(図示せず)と、サーモスタット付きのヒーター19と、洗浄液21を循環させるための循環路22と、から構成し、攪拌および循環している洗浄液21に対して超音波振動を付与し、被洗浄物23を効率的に洗浄することが好ましい。次いで、リンス槽14において、被洗浄物23から半田用フラックス及びレジスト材料を同時洗浄した洗浄液21を除去し、さらに乾燥槽16においては、リンス液15等を蒸発させて、完全に除去することが好ましい。
なお、半田処理された被洗浄物を洗浄するにあたり、10〜90℃、0.5〜30分の条件で洗浄することが好ましい。
この理由は、このような条件で所定の洗浄効果が得られるならば、半田フラックス除去用洗浄剤の劣化を有効に防止できるためである。
2. Cleaning step This is a step of cleaning the soldered electronic parts and products using the adjusted amphoteric cleaner, and simultaneously cleaning and removing the solder flux and resist material adhering to them.
Here, as shown in FIG. 9, a cleaning tank 12 including an ultrasonic transducer 29 for ultrasonic cleaning, a circulation path 22, a liquid feed pump 24, a rinse tank 14, a drying tank 16, It is preferable that it is the washing | cleaning apparatus 10 provided with.
More specifically, the cleaning tank 12 includes a container (cleaning liquid) 20 for the object to be cleaned 23, an ultrasonic vibrator 29, a cleaning liquid stirring device (not shown), a heater 19 with a thermostat, and a cleaning liquid. It is preferable that the object to be cleaned 23 is efficiently cleaned by applying ultrasonic vibration to the cleaning liquid 21 which is constituted by a circulation path 22 for circulating the gas 21 and is stirred and circulated. Next, in the rinsing tank 14, the cleaning liquid 21 simultaneously cleaned with the solder flux and the resist material is removed from the object to be cleaned 23, and in the drying tank 16, the rinsing liquid 15 and the like are evaporated and completely removed. preferable.
In addition, it is preferable to wash | clean on 10 to 90 degreeC and the conditions for 0.5 to 30 minutes in washing | cleaning the to-be-washed | cleaned object.
This is because if a predetermined cleaning effect can be obtained under such conditions, deterioration of the solder flux removing cleaning agent can be effectively prevented.

3.リンス工程
洗浄した電子部品や製品を、さらにリンス処理する工程である。ここで、リンス液として、アルコール系溶剤を使用することが好ましい。この理由は、水と比較して、早期乾燥ができるとともに、ベンジルアルコールやアミン化合物としてのアミノアルコールについても、十分除去できるためである。
また、より具体的には、アルコール系溶剤として、メチルアルコール、エチルアルコール、プロピルアルコール、イソプロピルアルコール、ブチルアルコール、イソブチルアルコール、t−ブチルアルコール、s−ブチルアルコール、アミルアルコール、1−メトキシ−2−プロパノール等の一種単独または二種以上のアルコールを使用することが好ましい。
また、これらのアルコールに対して、所定量の水を添加したアルコール系溶剤を使用することが好ましく、より具体的には、全体量に対して40〜70重量%になるように水を添加したアルコール系溶剤を使用することが好ましい。
3. Rinsing process This is the process of further rinsing the cleaned electronic parts and products. Here, it is preferable to use an alcohol solvent as the rinse liquid. The reason for this is that, compared with water, it can be dried at an early stage, and benzyl alcohol and amino alcohol as an amine compound can be sufficiently removed.
More specifically, as alcohol solvents, methyl alcohol, ethyl alcohol, propyl alcohol, isopropyl alcohol, butyl alcohol, isobutyl alcohol, t-butyl alcohol, s-butyl alcohol, amyl alcohol, 1-methoxy-2- It is preferable to use one kind of alcohol such as propanol or two or more kinds of alcohols.
Moreover, it is preferable to use an alcohol solvent to which a predetermined amount of water is added to these alcohols, and more specifically, water is added so as to be 40 to 70% by weight with respect to the total amount. It is preferable to use an alcohol solvent.

また、リンス条件としては、10〜40℃、1〜30分の範囲内とし、さらに、二段階でリンス処理を実施することがより好ましい。この理由は、ベンジルアルコールやアミン化合物としてのアミノアルコールの残渣についても、より少なくするためである。
なお、リンス工程後、例えば、40〜100℃、1〜30分の条件で、熱風乾燥することがより好ましい。
Further, as the rinsing conditions, it is more preferable that the rinsing treatment is carried out in two stages in a range of 10 to 40 ° C. and 1 to 30 minutes. This is because the residue of benzyl alcohol or amino alcohol as an amine compound is also reduced.
In addition, after a rinse process, it is more preferable to dry with hot air on the conditions of 40-100 degreeC and 1 to 30 minutes, for example.

以下、実施例を挙げて、本発明を詳細に説明する。ただし、言うまでもなく、本発明の範囲は、以下の記載に何ら制限されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to examples. Needless to say, the scope of the present invention is not limited to the following description.

[実施例1]
1.洗浄剤の調整および評価
(1)洗浄性評価
まず、シリコンウエハの表面にドライフィルムレジスト(膜厚70μm、アクリル系)を貼り、露光・現像処理によりシリコンウエハ電極上にφ150μmの開口部を形成した。形成した開口部にスキージを用いてエコソルダーM705−GRN360−K2−V(千住金属工業(株)製はんだペースト)を印刷充填し、250℃のカバー付きホットプレートの中で、リフローさせて、テストピースとした。
それを、温度60℃に保持された200gの洗浄剤入り300mlビーカ内に浸漬し、マグネットスターラーを用いて攪拌状態としながら、洗浄を行った。所定時間洗浄した後、ビーカからテストピースを取り出し、リンス液として、200gの工業用エタノール55重量%の水溶液が入った別のビーカに浸漬し、マグネットスターラーを用いて攪拌状態としながら、10分間のリンス操作を行った。このリンス操作を合計2回行った後、80℃に保持されたオーブンを用いて、テストピースを10分間乾燥させた。次いで、乾燥させたテストピースを、実体顕微鏡(倍率40倍)を用いて観察し、下記基準に照らして洗浄性を評価した。
[Example 1]
1. Preparation and evaluation of cleaning agent (1) Evaluation of cleaning property First, a dry film resist (film thickness 70 μm, acrylic) was applied to the surface of a silicon wafer, and an opening of φ150 μm was formed on the silicon wafer electrode by exposure and development processing. . The formed opening was printed and filled with Eco Solder M705-GRN360-K2-V (Senju Metal Industries Co., Ltd. solder paste) using a squeegee, reflowed in a hot plate with a cover at 250 ° C., and tested. It was a piece.
It was immersed in a 300 ml beaker containing 200 g of a cleaning agent maintained at a temperature of 60 ° C., and washed while being stirred using a magnetic stirrer. After washing for a predetermined time, the test piece is taken out from the beaker, immersed in another beaker containing 200 g of an aqueous solution of 55% by weight of industrial ethanol as a rinsing solution, and stirred for 10 minutes using a magnetic stirrer. A rinse operation was performed. After the rinsing operation was performed twice in total, the test piece was dried for 10 minutes using an oven maintained at 80 ° C. Subsequently, the dried test piece was observed using a stereomicroscope (magnification 40 times), and the detergency was evaluated according to the following criteria.

(1)−1 レジスト洗浄性
◎:5分間の洗浄で、残渣が無い。
○:10分間の洗浄で、残渣が無い。
△:10分間の洗浄で、残渣が少々残る。
X:10分間の洗浄で、多量の残渣が残る。
(1) -1 Resist cleaning performance A: No residue after cleaning for 5 minutes.
○: No residue after washing for 10 minutes.
Δ: A little residue remains after washing for 10 minutes.
X: A large amount of residue remains after washing for 10 minutes.

(1)−2 フラックス洗浄性
◎:3分間の洗浄で、残渣が無い。
○:5分間の洗浄で、残渣が無い。
△:5分間の洗浄で、残渣が少々残る。
X:5分間の洗浄で、多量の残渣が残る。
(1) -2 Flux cleaning performance A: No residue after cleaning for 3 minutes.
○: No residue after washing for 5 minutes.
Δ: A little residue remains after washing for 5 minutes.
X: A large amount of residue remains after washing for 5 minutes.

(2)はんだ腐食性
ガラスエキポシ基板の所定箇所に、メタルマスクを用いて、エコソルダーM705−GRN360−K2−V(千住金属工業(株)製はんだペースト)を印刷し、250℃のカバー付きホットプレ−トの中で、リフローさせて、テストピースとした。
それを、温度60℃に保持された200gの洗浄剤入りの300mlのビーカ内に浸漬し、マグネットスターラーを用いて攪拌状態としながら、洗浄を行った。所定時間洗浄した後、ビーカからテストピースを取り出し、リンス液として、200gの工業用エタノール55重量%の水溶液が入った別のビーカに浸漬し、マグネットスターラーを用いて攪拌状態としながら、10分間のリンス操作を行った。このリンス操作を合計2回行った後、80℃に保持されたオーブンを用いて、テストピースを10分間乾燥させた。次いで、乾燥させたテストピースを、実体顕微鏡(倍率40)を用いて観察し、下記基準に照らしてはんだ腐食性を評価した。
◎:60分間の洗浄で、はんだ腐食性が無い。
○:30分間の洗浄で、はんだ腐食性が無い。
△:30分間の洗浄で、はんだ腐食性が若干認められる。
×:30分間の洗浄で、多量の腐食が認められる。
(2) Solder Corrosion Eco Solder M705-GRN360-K2-V (Senju Metal Industry Co., Ltd. solder paste) is printed on a predetermined portion of the glass epoxy substrate using a metal mask, and a hot press with a cover at 250 ° C. -The test piece was reflowed in
It was immersed in a 300 ml beaker containing 200 g of a cleaning agent maintained at a temperature of 60 ° C. and washed while being stirred using a magnetic stirrer. After washing for a predetermined time, the test piece is taken out from the beaker, immersed in another beaker containing 200 g of an aqueous solution of 55% by weight of industrial ethanol as a rinsing solution, and stirred for 10 minutes using a magnetic stirrer. A rinse operation was performed. After the rinsing operation was performed twice in total, the test piece was dried for 10 minutes using an oven maintained at 80 ° C. Subsequently, the dried test piece was observed using a stereomicroscope (magnification 40), and solder corrosivity was evaluated in light of the following criteria.
A: No corrosion due to solder after cleaning for 60 minutes.
○: No corrosion due to solder after 30 minutes of cleaning.
Δ: Solder corrosion is slightly observed after 30 minutes of cleaning.
X: A large amount of corrosion is observed after washing for 30 minutes.

(3)pH
表1に示す実施例1の組成の洗浄剤を調整し、さらに蒸留水を用いて100倍希釈した水溶液のpHを、pHメーターM−8((株)堀場製作所製)を用いて、25℃の条件にて測定した。
(3) pH
The cleaning agent having the composition of Example 1 shown in Table 1 was prepared, and the pH of the aqueous solution diluted 100 times with distilled water was adjusted to 25 ° C. using a pH meter M-8 (manufactured by Horiba, Ltd.). The measurement was performed under the following conditions.

[実施例2〜7]
実施例2〜7では、表1に示すように、ベンジルアルコールと、水および、アミン化合物としてのアミノアルコールの配合比およびアミノアルコールの種類等を変えた洗浄剤をそれぞれ準備したほかは、実施例1と同様に、洗浄性、はんだ腐食性、およびpHをそれぞれ測定し、評価した。
[Examples 2 to 7]
In Examples 2 to 7, as shown in Table 1, except that benzyl alcohol, water, and a cleaning agent in which the mixing ratio of amino alcohol as an amine compound and the type of amino alcohol were changed were prepared, In the same manner as in Example 1, the cleaning property, solder corrosion property, and pH were measured and evaluated.

[比較例1〜4]
比較例1〜4では、表1に示すように、ベンジルアルコールと、アミン化合物としてのアミノアルコールと、グリコール化合物と、水との配合比率を本発明の範囲外に変え、あるいは、アミン化合物としてのアミノアルコールを使用せずに、表1に示すような組成の洗浄剤をそれぞれ準備したほかは、実施例1と同様に、洗浄性、はんだ腐食性、およびpHをそれぞれ測定し、評価した。
その結果、比較例1では、ベンジルアルコールと、アミノアルコールを併用しているが、ベンジルアルコールの使用量が少なすぎることから、電気伝導度の値は比較的高いものの、レジストの洗浄時間が長くかかるという問題が見られた。
また、比較例2では、ベンジルアルコールと、アミノアルコールを併用しているが、水を使用していないことから、電気伝導度の値が低い一方、レジストの洗浄時間が同様に長くかかるという問題が見られた。
また、比較例3では、ベンジルアルコールを全く使用しておらず、フラックス洗浄性に乏しいという問題が見られた。
また、比較例4では、アミノアルコールを全く使用しておらず、電気伝導度の値が低く、レジストの洗浄時間が長くかかったり、フラックス洗浄性に欠けたりするという問題が見られた。
[Comparative Examples 1-4]
In Comparative Examples 1 to 4, as shown in Table 1, the blending ratio of benzyl alcohol, amino alcohol as an amine compound , glycol compound, and water is changed outside the scope of the present invention, or as an amine compound. The cleaning property, solder corrosion property, and pH were measured and evaluated in the same manner as in Example 1 except that a cleaning agent having the composition shown in Table 1 was prepared without using amino alcohol .
As a result, in Comparative Example 1, benzyl alcohol and amino alcohol are used together. However, since the amount of benzyl alcohol used is too small, the electrical conductivity is relatively high, but the resist cleaning time is long. The problem was seen.
In Comparative Example 2, benzyl alcohol and amino alcohol are used in combination, but since water is not used, the value of electrical conductivity is low, but the resist cleaning time is similarly long. It was seen.
Moreover, in the comparative example 3, the benzyl alcohol was not used at all and the problem that flux washability was scarce was seen.
Further, in Comparative Example 4, there was a problem that amino alcohol was not used at all, the value of electric conductivity was low, the resist cleaning time was long, and the flux cleaning property was lacking.

Figure 0005152816
Figure 0005152816

本発明の両用洗浄剤を用いた洗浄方法によれば、所定量のベンジルアルコールと、アミン化合物としてのアミノアルコールと、水と、を所定比率となるように含むことにより、半田用フラックス及びレジスト材料を同時洗浄する際に、それぞれに対して、優れた洗浄性を示すとともに、次工程におけるアルコール系溶剤を使用したリンスにおいても優れたリンス特性を示すことができるようになった。
したがって、高信頼性を要求される車載基板等の電装部品や、高回路特性を要求される高周波回路基板等の洗浄が必要な基板において、半田用フラックス及びレジスト材料を簡易程で、十分かつ短時間に除去できるようになった。
According to the cleaning method using the amphoteric cleaning agent of the present invention, a predetermined amount of benzyl alcohol, an amino alcohol as an amine compound , and water are contained in a predetermined ratio so that a solder flux and a resist material are obtained. In the case of simultaneous washing, it is possible to show excellent rinsing characteristics with respect to each, and also in rinsing using an alcohol solvent in the next step.
Therefore, soldering flux and resist materials can be easily and sufficiently short on electrical components such as in-vehicle boards that require high reliability and high frequency circuit boards that require high circuit characteristics. It can be removed in time.

室温(25℃)での三成分系両用洗浄剤における液状態図である(その1)。FIG. 2 is a liquid state diagram of a ternary dual-use cleaning agent at room temperature (25 ° C.) (Part 1). 60℃での三成分系両用洗浄剤における液状態図である(その1)。FIG. 3 is a liquid state diagram in a three-component dual-use cleaning agent at 60 ° C. (No. 1). 室温(25℃)での三成分系両用洗浄剤における液状態図である(その2)。FIG. 2 is a liquid state diagram of a ternary dual-use cleaning agent at room temperature (25 ° C.) (part 2). 60℃での三成分系両用洗浄剤における液状態図である(その2)。FIG. 2 is a liquid state diagram in a three-component dual-use cleaning agent at 60 ° C. (No. 2). 両用洗浄剤におけるベンジルアルコールの添加量の影響を説明するために供する図である。It is a figure provided in order to demonstrate the influence of the addition amount of benzyl alcohol in a dual-use cleaning agent. 両用洗浄剤におけるアミン化合物としてのアミノアルコールの添加量の影響を説明するために供する図である。It is a figure provided in order to demonstrate the influence of the addition amount of the amino alcohol as an amine compound in a dual-use cleaning agent. 両用洗浄剤における水の添加量の影響を説明するために供する図である。It is a figure provided in order to demonstrate the influence of the addition amount of the water in a dual-use cleaning agent. 両用洗浄剤におけるグリコール化合物の添加量の影響を説明するために供する図である。It is a figure provided in order to demonstrate the influence of the addition amount of the glycol compound in a dual-use cleaning agent. 洗浄装置を説明するために供する図である。It is a figure provided in order to demonstrate a washing | cleaning apparatus.

10:洗浄装置
12:洗浄槽
14:リンス槽
15:リンス液
16:乾燥槽
21:洗浄液
22:循環路
28:フィルター
10: Cleaning device 12: Cleaning tank 14: Rinse tank 15: Rinse liquid 16: Drying tank 21: Cleaning liquid 22: Circulation path 28: Filter

Claims (8)

半田フラックスと、ドライフィルムレジストと、を同時洗浄することが可能な両用洗浄剤を用いた被洗浄物の洗浄方法であって、
全体量に対して、ベンジルアルコールの添加量を5〜94重量%の範囲内の値、アミン化合物としてのアミノアルコールを1〜50重量%の範囲内の値、かつ、水を3〜90重量%の範囲内の値とした両用洗浄剤を準備する工程と、
前記両用洗浄剤を用いて、前記半田フラックス及びドライフィルムレジストが付着した被洗浄物を10〜80℃の温度範囲で同時洗浄する工程と、
を含むことを特徴とする被洗浄物の洗浄方法。
A method for cleaning an object to be cleaned using a dual-purpose cleaning agent capable of simultaneously cleaning a solder flux and a dry film resist,
The amount of benzyl alcohol added is within a range of 5 to 94% by weight , the amino alcohol as an amine compound is within a range of 1 to 50% by weight, and water is 3 to 90% by weight with respect to the total amount. A step of preparing a dual-use cleaning agent having a value within the range of
A step of simultaneously cleaning the object to be cleaned, to which the solder flux and the dry film resist are adhered, in a temperature range of 10 to 80 ° C., using the dual-use cleaning agent;
A method for cleaning an object to be cleaned.
前記両用洗浄剤が、グリコール化合物をさらに含むとともに、当該グリコール化合物の添加量を、全体量に対して、1〜30重量%の範囲内の値とすることを特徴とする請求項1に記載の被洗浄物の洗浄方法。 The amphoteric detergent further contains a glycol compound, and the addition amount of the glycol compound is set to a value within a range of 1 to 30% by weight with respect to the total amount. Cleaning method of the object to be cleaned. 前記両用洗浄剤が、界面活性剤をさらに含むとともに、当該界面活性剤の添加量を、全体量に対して、1〜30重量%の範囲内の値とすることを特徴とする請求項1または2に記載の被洗浄物の洗浄方法。 The amphibious cleaning agent further contains a surfactant, and the addition amount of the surfactant is set to a value within a range of 1 to 30% by weight with respect to the total amount. 3. A method for cleaning an object to be cleaned according to 2 . 前記両用洗浄剤の電気伝導度を1〜250μS/cmの範囲内の値とすることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の被洗浄物の洗浄方法。 The method for cleaning an object to be cleaned according to any one of claims 1 to 3, wherein the electric conductivity of the dual-purpose cleaning agent is set to a value within a range of 1 to 250 µS / cm . 前記両用洗浄剤が、室温(25℃)においてエマルジョン状態であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の被洗浄物の洗浄方法。 The said washing | cleaning agent for both uses is an emulsion state in room temperature (25 degreeC), The washing | cleaning method of the to- be-cleaned object as described in any one of Claims 1-4 characterized by the above-mentioned . 前記被洗浄物を洗浄する工程の後に、リンス液としてのアルコール系溶剤又は水によって、被洗浄物をすすぐためのリンス工程をさらに含むことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の被洗浄物の洗浄方法。 6. The method according to claim 1 , further comprising a rinsing step for rinsing the object to be cleaned with an alcohol solvent or water as a rinsing liquid after the step of cleaning the object to be cleaned. The washing | cleaning method of the to-be-washed object of description. 前記半田フラックスとして、ロジンを主成分とした鉛フリー用半田フラックスまたは高融点半田フラックスを洗浄の際の対象物とすることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の被洗浄物の洗浄方法。 The object to be cleaned according to any one of claims 1 to 6, wherein a lead-free solder flux or a high-melting-point solder flux mainly composed of rosin is used as the solder flux as the solder flux. How to wash things. 前記両用洗浄剤の溶解度パラメータを12〜20の範囲内の値とすることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の被洗浄物の洗浄方法。The method for cleaning an object to be cleaned according to any one of claims 1 to 7, wherein a solubility parameter of the amphoteric cleaning agent is set to a value within a range of 12 to 20.
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