JP5146373B2 - レーザ発振装置とレーザ加工機 - Google Patents
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Description
図16は従来のレーザ発振装置を示しており、この従来のレーザ発振装置は、放電管101、電極102、放電管101内部に充填されたレーザ媒質103、電極102に接続された電源104、部分透過鏡105、全反射鏡106、フランジ107、フランジ107同士を接続する結合棒108、フランジ107、結合棒108などを支える支持体109、部分透過鏡105、全反射鏡106を保持するホルダ110、放電管101を保持するブロック111、冷却装置112、冷却装置112に接続された冷却配管113、冷却配管113内部を循環する冷却媒質114を備えている。
以下、本発明の実施の形態1について、図1を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態2について、図2を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態3について、図3を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態4について、図4を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態5について、図5を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態6について、図6を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態7について、図7を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態8について、図8を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態9について説明する。
以下、本発明の実施の形態10について、図9を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態11について、図10を用いて説明する。
(実施の形態12)
以下、本発明の実施の形態12について、図11を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態13について、図12を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態14について説明する。
以下、本発明の実施の形態15について、図13を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態16について、図14を用いて説明する。
以下、本発明の実施の形態17について、図15を用いて説明する。
2 電極
3 レーザ媒質
4 電源
5 部分透過鏡
6 全反射鏡
7 フランジ
8 結合棒
9 支持体
10 ホルダ
11 ブロック
12 冷却装置
13 冷却配管
14 冷却媒質
15 流量調整器
16 電磁コイル
17 電気配線
18 弁
19 ケース
20 バネ
21 制御部
22 弁
23 ケースメネジ部
24 モータ
25、26 温度検出器
27 平行度検出器
28 レーザ発振装置
29 全反射鏡
30 集光手段
31 被加工物
32 レーザビーム
Claims (5)
- 内部でレーザ媒質に放電を行う放電管と、
前記放電管を挟む方向に配置した全反射鏡と部分透過鏡とで前記レーザ媒質からのレーザビームをレーザ発振する光共振器と、
前記全反射鏡と前記部分透過鏡をそれぞれ保持するフランジと、
前記フランジに冷却媒質を循環させる冷却配管と、
前記冷却配管に接続した冷却装置を備え、
前記フランジのそれぞれに温度検出器を2つ以上設け、
前記冷却配管に前記冷却媒質の流量を調整する流量調整器を設け、
前記それぞれの温度検出器によって検出した前記フランジの温度勾配に応じて、前記流量調整器を制御するとともに、
前記放電管が放電している場合のみ前記フランジに前記冷却媒質を流すように前記流量調整器を制御するレーザ発振装置。 - 前記放電管の放電開始後の経過時間を計測し、前記放電管の放電開始から一定時間経過後に、前記フランジに冷却媒質を流すように前記流量調整器を制御する制御部を設けた請求項1記載のレーザ発振装置。
- 前記流量調整器として、前記冷却媒質の流量を全閉から全開まで連続的に調節できるものを用いた請求項1記載のガスレーザ発振装置。
- 前記流量調整器として、電気的信号で開閉する弁を使用する請求項1から3のいずれかに記載のレーザ発振装置。
- 請求項1から4のいずれかに記載のレーザ発振装置と、被加工物に前記レーザ発振装置からのレーザビームを集光する集光手段を備えたレーザ加工機。
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JP2009059102A JP5146373B2 (ja) | 2009-03-12 | 2009-03-12 | レーザ発振装置とレーザ加工機 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2009059102A JP5146373B2 (ja) | 2009-03-12 | 2009-03-12 | レーザ発振装置とレーザ加工機 |
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JP2010212565A JP2010212565A (ja) | 2010-09-24 |
JP5146373B2 true JP5146373B2 (ja) | 2013-02-20 |
Family
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Family Applications (1)
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2009
- 2009-03-12 JP JP2009059102A patent/JP5146373B2/ja active Active
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