JP5142803B2 - 半導体レーザ装置 - Google Patents
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Description
JOURNAL OF LIGHTWAVE TECHNOLOGY, VOL. 24, NO. 8, AUGUST 2006, P3202-3209
第1の半導体基板と、
前記第1の半導体基板の第1の平面の一部に形成された活性層を含む光導波路層と、
前記光導波路層の一端に設けられた第1の反射鏡と、
前記光導波路層の前記一端とは反対側の他端に設けられ、前記光導波路層の延在方向に対して45度傾いた45度ミラーである第2の反射鏡と、
前記第1の半導体基板の第1の平面の裏面にある第2の平面で、前記第2の反射鏡の光軸上に設けられた第1の凸レンズと、
前記第2の平面上方に設けられ、第3の反射鏡を備えた第1の基板および前記第1の基板上にて第4の反射鏡を備えた第2の基板を含むエタロンと、
前記エタロンの前記第4の反射鏡上方に設けられた第5の反射鏡と、
を有し、
前記第5の反射鏡が、前記第1の凸レンズから出射される光線の光軸に対して垂直に設けられ、前記第1の反射鏡と前記第5の反射鏡との間でレーザ共振器が構成されるものである。
本実施の形態1について、図4および図8〜図11を用いて説明する。本実施の形態1は、液晶エタロンフィルタを用いた1.55μm帯の波長可変レーザである。図4を用いて前述したように、本実施の形態1の波長可変レーザは、AlNのサブマウント1上にゲインチップ2、エタロンフィルタ3及び反射鏡4が配置された構造となっている。
本実施の形態2について、図5および図8〜図11を用いて説明する。本実施の形態2は、MEMSエタロンを用いた1.55μm帯の波長可変レーザである。AlNのサブマウント1上にゲインチップ2、MEMSエタロンフィルタ、及び反射鏡4を配置する。
本実施の形態3について、図7および図8〜図11を用いて説明する。本実施の形態3は、液晶エタロンフィルタを用いた波長1.53μm〜1.62μmの波長可変レーザである。
2 ゲインチップ(第1の半導体基板)
3 エタロンフィルタ
4 反射鏡(第5の反射鏡)
5 レーザ共振器
6 反射鏡(第1の反射鏡)
7 活性層
8 45度ミラー(第2の反射鏡)
9 レンズ(第1の凸レンズ)
10 無反射コーティング
11 反射鏡(第3の反射鏡)
12 反射鏡(第4の反射鏡)
13 シリコン基板(第1の基板)
14 シリコン基板(第2の基板)
15、16 スペーサ
21 液晶
22、23 配向膜
24、25 透明電極
26 シリコン基板
27、28 アクチュエータ
29、30 無反射膜
31 反射鏡
41 入射光
42 反射光
51 サブマウント
52 ゲインチップ
53 ゲインチップ
54 エタロンフィルタ
55 反射鏡
56 反射鏡
57 レーザ光
58 レーザ光
59 ガラス基板
60 無反射膜
61 波長選択膜(第1の波長選択フィルタ)
62 高反射膜(ミラー)
63 低反射膜
64 光合波器(光合分波器)
65 光ファイバ
71 InP
72 n型InP基板
73 p型InPクラッド層
74 p側電極
76 低反射コーティング膜
77 n側電極
78 低反射膜
79 無反射膜
80 ゲイン電流用電極
81、82 グランド電極
101 液晶フィルタ
102 ガラスエタロン
103 レンズ
104 ゲインチップ
105 InP基板
106 ゲイン多層
107 位相調整多層
108 裏面電極
109 ゲイン電流用電極
110 位相調整電流用電極
Claims (5)
- 第1の半導体基板と、
前記第1の半導体基板の第1の平面の一部に形成された活性層を含む光導波路層と、
前記光導波路層の一端に設けられた第1の反射鏡と、
前記光導波路層の前記一端とは反対側の他端に設けられ、前記光導波路層の延在方向に対して45度傾いた45度ミラーである第2の反射鏡と、
前記第1の半導体基板の第1の平面の裏面にある第2の平面で、前記第2の反射鏡の光軸上に設けられた第1の凸レンズと、
前記第2の平面上方に設けられ、第3の反射鏡を備えた第1の基板および前記第1の基板上にて第4の反射鏡を備えた第2の基板を含むエタロンと、
前記エタロンの前記第4の反射鏡上方に設けられた第5の反射鏡と、
を有し、
前記第5の反射鏡が、前記第1の凸レンズから出射される光線の光軸に対して垂直に設けられ、前記第1の反射鏡と前記第5の反射鏡との間でレーザ共振器が構成され、
前記第1の凸レンズから出射される光が前記第3の反射鏡に入射する光軸と前記第3の反射鏡の垂直方向の間の角度をθ1とし、前記第1の凸レンズから出射する光線の強度が前記光線の光軸上の強度の1/e2になる前記光線の光軸と垂直方向の距離である前記光線の半径をr、前記第1の凸レンズと前記第3の反射鏡の間の距離をLと定義したときに、
L×tan(2×θ1)>2×r
の関係を満たすことを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1記載の半導体レーザ装置において、
前記第3及び第4の反射鏡の間に液晶が閉じ込められ、
前記第3及び第4の反射鏡上に前記液晶に電圧を印加するための電極が設けられていることを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1記載の半導体レーザ装置において、
前記第3の反射鏡または前記第4の反射鏡が、前記第1の凸レンズから出射される光線の光軸方向に移動可能な手段を有することを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1記載の半導体レーザ装置において、
前記第1の反射鏡に隣接して光ファイバを備えていることを特徴とする半導体レーザ装置。 - 請求項1記載の半導体レーザ装置において、
前記第5の反射鏡に隣接して光ファイバを備えていることを特徴とする半導体レーザ装置。
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