JP5142328B2 - A ring table device that can move the flat ring and grip ring. - Google Patents

A ring table device that can move the flat ring and grip ring. Download PDF

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JP5142328B2 JP2008197266A JP2008197266A JP5142328B2 JP 5142328 B2 JP5142328 B2 JP 5142328B2 JP 2008197266 A JP2008197266 A JP 2008197266A JP 2008197266 A JP2008197266 A JP 2008197266A JP 5142328 B2 JP5142328 B2 JP 5142328B2
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Description

本発明は柔軟性を有する粘着シートに貼着され、フラットリングもしくはグリップリングに搭載された状態で供給されるシリコンウエハ等の複数個のチップに分解された基板を検査したり移載したりボンディング(接着)したりする装置に使用されている、リングテーブル装置に関するものである。
前記リングテーブル装置とは、フラットリングやグリップリングで供給された基板を、リングテーブル上部に保持固定して、検査用カメラ直下に移動したり、移載装置のピックアップ部に移動したりする作業範囲内を制御部の制御によって移動する部分のことである。
The present invention inspects, transfers, and bonds a substrate that is bonded to a flexible pressure-sensitive adhesive sheet and disassembled into a plurality of chips such as a silicon wafer supplied in a state mounted on a flat ring or a grip ring. The present invention relates to a ring table device used in a device for (bonding).
The ring table device is a work range in which a substrate supplied by a flat ring or a grip ring is held and fixed on the upper part of the ring table and moved directly below the inspection camera or moved to the pickup unit of the transfer device. This is the part that moves under the control of the controller.

CCDカメラ等に用いられるガラス基板や集積回路等に用いられる半導体チップは厚みの調整や機械による研削、薬品によるエッチング等の工程の後、柔軟性を有する粘着シートが貼着される。更に搬送を容易にするために粘着シートの外周辺部にはフラットリングが貼着される。 A glass substrate used for a CCD camera or the like, a semiconductor chip used for an integrated circuit, and the like are subjected to a thickness adjustment, mechanical grinding, chemical etching, and the like, and then a flexible adhesive sheet is attached. Further, a flat ring is attached to the outer peripheral portion of the pressure-sensitive adhesive sheet to facilitate conveyance.

粘着シートが粘着された状態で、ガラス基板やシリコンウエハはダイシング(さいの目状態に切断され複数個のチップに形成されること)され、複数個のチップに分解される。ダイシングの際にはガラス基板やシリコンウエハのみが精確に切断され粘着シートは切断されないよう作業される。
従ってダイシング時に切断されたチップが飛び散ることがない。
With the adhesive sheet adhered, the glass substrate or silicon wafer is diced (cut into a dice and formed into a plurality of chips), and is decomposed into a plurality of chips. At the time of dicing, only the glass substrate or the silicon wafer is accurately cut and the adhesive sheet is not cut.
Therefore, the chips cut at the time of dicing are not scattered.

しかし分割された各チップをピックアップする時や、検査する時は分割された時のカット面が細くて互いに干渉することがあるので、各チップの間隔を広げるために粘着シートが引き伸ばされる。   However, when the divided chips are picked up or inspected, the cut surfaces of the divided chips are thin and may interfere with each other, so that the adhesive sheet is stretched to widen the interval between the chips.

従来の粘着シート引き伸ばし方法としては特開平10-125630のような半導体ウエハ引き伸ばし装置が提案されている。この従来例は図8に示すような構成になっている。   As a conventional method for stretching an adhesive sheet, a semiconductor wafer stretching apparatus such as that disclosed in JP-A-10-125630 has been proposed. This conventional example has a configuration as shown in FIG.

フラットリング94をクランプ93で固定した後、ピストン95を昇降軸92によって上昇させ、鍔部96によって粘着シート91を押し上げて引き伸ばす。
このことによりチップ90の間隔hが広がりピックアップや検査がやりやすくなる。
After fixing the flat ring 94 with the clamp 93, the piston 95 is raised by the elevating shaft 92, and the adhesive sheet 91 is pushed up and stretched by the flange 96.
As a result, the interval h between the chips 90 is widened, and pick-up and inspection are facilitated.

間隔hが広がったときに粘着シート91の外側からシートバンド97を嵌着し粘着シート91が縮まないように止着しておいて、カッタ98によって粘着シート91をカットすることで、鍔部96とシートバンド97にはさまれて引き伸ばされた粘着シート91を取り外すことができるように構成されている。

特開平10-125630
The sheet band 97 is fitted from the outside of the adhesive sheet 91 when the interval h is widened, and the adhesive sheet 91 is fastened so as not to shrink, and the adhesive sheet 91 is cut by the cutter 98, so that the flange 96 The adhesive sheet 91 stretched by being sandwiched between the seat bands 97 can be removed.

JP 10-125630 A

従来は粘着シートを引き伸ばすための専用機を必要とし、フラットリングでチップが提供された場合は、このような専用機等を使用して粘着シートを引き伸ばして縮まないように止着してピックアップ等の作業をしなければならなかった。   Conventionally, a special machine for stretching the adhesive sheet is required, and when a chip is provided with a flat ring, the adhesive sheet is stretched using such a special machine, etc. Had to work.

チップはフラットリングに貼着して提供されるものと、粘着シートを引き伸ばしてグリップリングで止着して提供されるものがあり、提供されるチップの状態によりリングテーブルへの取り付け方法を変更して使用せねばならなかった。 The tip is provided by sticking to a flat ring, and the tip is provided by stretching the adhesive sheet and fastening it with a grip ring.The method of attaching to the ring table is changed depending on the state of the tip provided. I had to use it.

フラットリング外周部には直線部がありガイドされやすく構成されている。更にフラットリング外周部には2つの位置決めピンと嵌合する2つの凹部があり位置決めが容易であった。 There is a straight line portion on the outer periphery of the flat ring, and the flat ring is easily guided. Further, the outer periphery of the flat ring has two recesses for fitting with two positioning pins, so that positioning is easy.

しかし、グリップリングは、方向判別用の凹部が一箇所あるだけで位置決めが困難であった。従来は手作業によるオペレータの判断でだいたいの方向が決められており、正確な位置決めができなかった。 However, the grip ring is difficult to position because it has only one recess for determining the direction. Conventionally, a general direction is determined by manual judgment by an operator, and accurate positioning cannot be performed.

フラットリングとグリップリングは形状が異なるため、それぞれ専用のマガジンを作成して収納し、異なる形状のマガジンを作業機にセッティングしなければならなかった。
Since the flat ring and grip ring have different shapes, they had to create and store their own magazines and set the magazines with different shapes on the work equipment.

そこで、複数個のチップに分割された基板を、リングに装着された柔軟性を有する粘着シートに貼着されて前記粘着シートが引き伸ばされない状態で前記リングに取り付けられるフラットリングと、前記粘着シートが引き伸ばされた状態で前記リングに取り付けられるグリップリングとで供給され、前記複数個のチップに分割された基板を、検査移載等する作業機に使用される作業位置を移動するテーブル装置であって、前記フラットリングもしくは前記グリップリングを挿入保持して下降するリングクランプと、下降する前記リングクランプの内面と微小な間隔をもつように径が設定されているリングエキスパンド凸部と、
前記リングクランプと前記リングエキスパンド凸部を作業位置に移動・回転させるリングテーブルと、前記リングクランプと前記リングテーブルを制御する制御部を備え、前記制御部は前記フラットリングを前記粘着シート引き伸ばし作業位置に移動させた際は、前記リングエキスパンド凸部が前記粘着シートに当接して、前記リングクランプが微小な間隔で該リングエキスパンド凸部に対して下降することにより前記粘着シートを引き伸ばしながら前記フラットリングを保持固定し、前記制御部は前記グリップリングを保持固定位置に移動させた際は、前記リングエキスパンド凸部と前記リングクランプが前記グリップリングの前記リングを上下にはさむように保持固定し、前記リングテーブルが前記基板を所定の作業位置に移動するよう制御部で制御するようにしたことを特徴とするリングテーブル装置を提供するものである。
Accordingly, a flat ring attached to the ring in a state where the substrate divided into a plurality of chips is attached to a flexible adhesive sheet attached to the ring and the adhesive sheet is not stretched, and the adhesive sheet A table device that moves a work position used in a work machine for inspection and transfer of the substrate divided into the plurality of chips, which is supplied with a grip ring attached to the ring in a stretched state. A ring clamp that inserts and holds the flat ring or the grip ring and descends, and a ring expand convex portion whose diameter is set so as to have a minute interval with the inner surface of the descending ring clamp,
A ring table that moves and rotates the ring clamp and the ring expanding convex portion to a working position; and a control unit that controls the ring clamp and the ring table, wherein the control unit stretches the adhesive sheet to the adhesive sheet stretching working position. When the ring ring is moved to the flat ring, the ring expanding convex part comes into contact with the adhesive sheet, and the ring clamp is lowered with respect to the ring expanding convex part at a minute interval while stretching the adhesive sheet. And when the control unit moves the grip ring to the holding and fixing position, the ring expanding convex part and the ring clamp hold and fix the ring of the grip ring so as to sandwich the ring up and down. A ring table moves the substrate to a predetermined working position. There is provided a ring table device being characterized in that so as to control at control unit.

そして、 前記リングエキスパンド凸部は前記フラットリングの前記粘着シート引き伸ばし作業するリングエキスパンド引き伸ばし凸部と、前記グリップリングの前記リングを保持固定するリングエキスパンド押さえ凸部とを備え、前記リングエキスパンド引き伸ばし凸部と前記リングエキスパンド押さえ凸部は交換可能に取り付けられたことを特徴とするリングテーブル装置であって
前記グリップリングの内周面を嵌合させて、前記フラットリングと同様の外形形状にするリング冶具板によって、前記グリップリングと前記フラットリングの外形形状を同一にしたことで共通の前記リングクランプを使用することができるようにしたことを特徴とするリングテーブル装置を提供するものである。
The ring expand convex portion includes a ring expand stretch convex portion that stretches the adhesive sheet of the flat ring, and a ring expand presser convex portion that holds and fixes the ring of the grip ring, and the ring expand stretch convex portion. The ring expander pressing convex portion is attached in a replaceable manner, and is a ring table device in which the inner peripheral surface of the grip ring is fitted to have the same outer shape as the flat ring. The present invention provides a ring table device characterized in that a common ring clamp can be used by making the outer shape of the grip ring and the flat ring the same by a plate.

更に前記リングクランプに挿入保持された前記リングが、前記フラットリングか前記グリップリングかを自動で検知して保持固定する検知手段を備えたことを特徴とするリングテーブル装置で、前記リングクランプに挿入保持された前記リングが、前記フラットリングか前記グリップリングかによって交換可能に構成された冶具交換手段を備えたことを特徴とするリングテーブル装置で、前記リング冶具板に取り付けられた位置決めピンと前記グリップリング外周に形成された凹部が嵌合することにより前記リング冶具板と前記グリップリングが一定方向に装着されるようにしたことを特徴とするリングテーブル装置であって、
前記グリップリングに前記リング冶具板を取り付けることによって、前記フラットリングと兼用で使うことのできる収容部を用いて前記基板を提供することができるようにしたことを特徴とするリングテーブル装置を提供するものである。
The ring table apparatus further comprises a detecting means for automatically detecting whether the ring inserted and held in the ring clamp is the flat ring or the grip ring, and is inserted into the ring clamp. The ring table apparatus includes jig exchanging means configured to be exchangeable depending on whether the held ring is the flat ring or the grip ring, and a positioning pin attached to the ring jig plate and the grip A ring table device characterized in that the ring jig plate and the grip ring are mounted in a fixed direction by fitting a recess formed on the outer periphery of the ring,
By providing the ring jig plate on the grip ring, it is possible to provide the ring table device by using the accommodating portion that can also be used as the flat ring. Is.

フラットリング40によってチップ41が提供された場合、リングクランプ31がフラットリング40を押さえて下降することにより、リングエキスパンド凸部322が粘着シート42を押し上げる。このことによって引き伸ばされた粘着シート42の上で分割されているチップ41の間隔hを広げるように作用する。   When the tip 41 is provided by the flat ring 40, the ring clamp 31 moves down while pressing the flat ring 40, so that the ring expanding convex portion 322 pushes up the adhesive sheet 42. This acts to widen the distance h between the chips 41 divided on the stretched adhesive sheet.

グリップリング45でチップ41が提供された場合、リングクランプ31とリングエキスパンド凸部322を変更することによって外側グリップリング401と内側グリップリング402をはさみこむようにリングクランプ31を下降させてグリップリング45を固定するように構成されている。
もしくはグリップリング45にリング冶具板46を嵌合し、リングエキスパンド凸部322とリングクランプ31によって挟み込むようにしてグリップリング45を固定するように構成されている。
When the tip 41 is provided by the grip ring 45, the ring clamp 31 is moved down so that the outer grip ring 401 and the inner grip ring 402 are sandwiched by changing the ring clamp 31 and the ring expanding convex portion 322. It is configured to be fixed.
Alternatively, the ring jig plate 46 is fitted to the grip ring 45, and the grip ring 45 is fixed so as to be sandwiched between the ring expanding convex portion 322 and the ring clamp 31.

以上のような構成にすることにより、本願発明のリングテーブル30であれば、フラットリング40及びグリップリング45のどちらの状態でチップ41が与えられたとしても、保持固定して作業位置に移動することができる。 With the configuration as described above, the ring table 30 of the present invention can be held and fixed and moved to the working position regardless of whether the tip 41 is provided in the flat ring 40 or the grip ring 45. be able to.

また、グリップリング45の内側グリップリング452の内周面に嵌合するようにリング冶具板凸部463が構成されたリング冶具板46を勘合して、グリップリング45とフラットリング40の外形形状を同一にしたことにより、フラットリング40に適合されたリングクランプガイド312や、フラットリング40の外形に作られた凹部401、402に適合するピン313、314も共通に使用して位置決めすることができる。 In addition, the outer shape of the grip ring 45 and the flat ring 40 is adjusted by fitting the ring jig plate 46 formed with the ring jig plate convex portion 463 so as to be fitted to the inner peripheral surface of the inner grip ring 452 of the grip ring 45. By making it the same, the ring clamp guide 312 adapted to the flat ring 40 and the pins 313 and 314 adapted to the recesses 401 and 402 formed on the outer shape of the flat ring 40 can be used in common for positioning. .

そして、グリップリング45の外周に凹部453を設け(本実施例の場合はわざわざ設けるのではなく、粘着シート42を引き伸ばして外側グリップリング451と内側グリップリング452に挟み込む際の位置決め用として設けられた凹部453を利用するものである)リング冶具板46の位置決めピン464に係合するように構成することにより、グリップリング45に貼着されたチップの方向を一定にすることができるように、位置決めできるようにした。 Then, a recess 453 is provided on the outer periphery of the grip ring 45 (in the case of this embodiment, it is provided for positioning when the adhesive sheet 42 is stretched and sandwiched between the outer grip ring 451 and the inner grip ring 452 instead of being intentionally provided) Positioning so that the direction of the tip attached to the grip ring 45 can be made constant by configuring it to engage with the positioning pin 464 of the ring jig plate 46 (which uses the recess 453). I was able to do it.

以上のようにリング冶具板46をグリップリング45に嵌合させることによりフラットリング40と同一のマガジン25に収容できるようになり経済的になった。
As described above, the ring jig plate 46 is fitted into the grip ring 45, so that it can be accommodated in the same magazine 25 as the flat ring 40, which is economical.

チップ41が提供される場合、輸送を容易にするためにフラットリング40もしくはグリップリング45のどちらかに粘着シート42が貼着され粘着シート42に貼着して提供される。 When the chip 41 is provided, the adhesive sheet 42 is attached to either the flat ring 40 or the grip ring 45 and is attached to the adhesive sheet 42 for easy transportation.

フラットリング40の形式でチップ41が与えられた場合は、粘着シート42を引き伸ばしてチップ41の間隔hを広げチップ41が互いに干渉することがなく、ピックアップや画像認識がやりやすいようにしなければならない。 When the chip 41 is given in the form of the flat ring 40, the adhesive sheet 42 should be stretched to widen the distance h between the chips 41 so that the chips 41 do not interfere with each other, so that pickup and image recognition can be performed easily. .

グリップリング45の形式でチップ41が与えられた場合は、粘着シート42を引き伸ばして外側グリップリング451と内側グリップリング452で挟み込んだ状態で提供されるので、チップ41の間隔を広げる必要はない。
粘着シート42の引き伸ばしが不均一だと、間隔hが広げられた各チップの位置が不ぞろいになるために、あらかじめ均一な状態で引き伸ばし作業を実行してクリップリング45で固定して提供することが考えられて考案された方法である。
When the chip 41 is provided in the form of the grip ring 45, the adhesive sheet 42 is provided in a state of being stretched and sandwiched between the outer grip ring 451 and the inner grip ring 452, so there is no need to increase the distance between the chips 41.
If the pressure-sensitive adhesive sheet 42 is not uniformly stretched, the positions of the chips whose intervals h are widened will be uneven, so it is possible to perform the stretching work in a uniform state in advance and fix it with the clip ring 45. It is a method that was conceived and devised.

しかしクリップリング45とフラットリング40は外形形状がまったく異なるものであり、今まではそれぞれ提供される形式によって専用機を製作していたが、本願発明においてはどちらの形式でチップ41が提供されても対応できるリングテーブル30を提供するものである。
その結果新しい装置を製作するのではなく、リングテーブル30にチェンジキットを製作することで汎用的に使えるようにしたものである。
However, the clip ring 45 and the flat ring 40 are completely different in outer shape, and until now, dedicated machines were manufactured according to the formats provided, but in the present invention, the chip 41 is provided in either format. The ring table 30 that can also handle this is provided.
As a result, instead of manufacturing a new device, a change kit is manufactured on the ring table 30 so that it can be used universally.

また、グリップリング45にリング冶具板46を取り付けることにより、フラットリング40と同様の外形にし、共通のマガジン25や共通のリングクランプガイド312また共通のピン313、314を使用して位置決めすることができるようになったので経済的であると共に、今までチップ41配列の方向を定められなかったグリップリング45の欠点を補うことかができるようになった。 Also, by attaching the ring jig plate 46 to the grip ring 45, the outer shape can be made the same as that of the flat ring 40, and positioning can be performed using the common magazine 25, the common ring clamp guide 312 and the common pins 313 and 314. This is economical because it can be used, and it can compensate for the shortcomings of the grip ring 45 that has not been able to determine the direction of the tip 41 arrangement until now.

つまり、グリップリング45には凹部453がダイシング等の作業時の位置決めのために作られているが、この凹部453をリング冶具板46の位置決めピン46に嵌合させることにより、グリップリング45の位置決めが、今まで行われていたオペレーターによる目視よりもはるかに高精度に位置あわせすることができるようになった。 In other words, the concave portion 453 is formed in the grip ring 45 for positioning during work such as dicing. By positioning the concave portion 453 to the positioning pin 46 of the ring jig plate 46, the grip ring 45 is positioned. However, it has become possible to align with much higher accuracy than the visual inspection performed by the operator.

以下、本発明の実施例について説明する。複数個のチップ41に分割された基板とは、例えば半導体ウエハのようにシリコン等の半導体の素材の種結晶を円柱状に成長させたインゴットを薄くスライスした円盤状の板を各チップの大きさにダイシングした状態のことである。 Examples of the present invention will be described below. The substrate divided into a plurality of chips 41 is a disk-shaped plate obtained by thinly slicing an ingot in which a seed crystal of a semiconductor material such as silicon is grown in a cylindrical shape, such as a semiconductor wafer. It is the state of dicing.

分割された各チップ41が離散しないようにするために基板の裏側面には柔軟性を有する粘着シートが貼着される。そして、搬送を容易にするために粘着シート42の外周辺部には、フラットリング40が粘着される。   In order to prevent the divided chips 41 from being separated, a flexible adhesive sheet is attached to the back side surface of the substrate. In order to facilitate conveyance, the flat ring 40 is adhered to the outer peripheral portion of the adhesive sheet 42.

フラットリング40は図2のような形状をしている。チップ41はダイシングされたままの状態なので、各チップ41の間隔hが狭く、吸着装置等でチップ41をピックアップして作業するときに、互いに干渉してしまう場合がある。
また、各チップ41を画像認識する場合も間隔hが狭いと各チップ41毎の認識ができなく誤動作してしまうことがある。そこで図8に示す従来例のように粘着シート42を均一に引き伸ばす装置が必要とされる。
The flat ring 40 has a shape as shown in FIG. Since the chips 41 are in a diced state, the interval h between the chips 41 is narrow, and when the chips 41 are picked up by an adsorption device or the like, they may interfere with each other.
In addition, when the image of each chip 41 is recognized, if the interval h is narrow, recognition for each chip 41 cannot be performed and a malfunction may occur. Therefore, a device for uniformly stretching the adhesive sheet 42 as in the conventional example shown in FIG. 8 is required.

また、上記粘着シート引き伸ばし作業において、粘着シート42の引き伸ばしが不均一であると間隔hを広げられた各チップ41の位置が不揃いになるためチップ41のピックアップや画像認識が困難になるという問題がある。   Further, in the above-described adhesive sheet stretching operation, if the stretching of the adhesive sheet 42 is not uniform, the positions of the chips 41 with the wide interval h become uneven, which makes it difficult to pick up the chips 41 and recognize the image. is there.

そこで既に均一に粘着シート42を引き伸ばした状態で、外側クリップリング451と内側クリップリング452で止着されてチップ41を提供したものがクリップリング45である。
クリップリング45は図3のような形状をしている。(1)は表面から見た図、(2)は裏面から見た図である。外側クリップリング451の外周には一箇所凹部453が作られている。これは粘着シート42を引き伸ばして止着するときに、複数個のチップ41に分割された基板の方向を一定にするために使用された凹部453が形成されている。本発明ではこの凹部453を利用してチップ42の配列を一定方向に整理するようにしている。
Therefore, the clip ring 45 is provided with the tip 41 by being fastened by the outer clip ring 451 and the inner clip ring 452 in a state where the adhesive sheet 42 has already been uniformly stretched.
The clip ring 45 has a shape as shown in FIG. (1) is a diagram viewed from the front surface, and (2) is a diagram viewed from the back surface. A concave portion 453 is formed on the outer periphery of the outer clip ring 451. This is formed with a recess 453 used to make the direction of the substrate divided into a plurality of chips 41 constant when the adhesive sheet 42 is stretched and fixed. In the present invention, the recesses 453 are used to arrange the chips 42 in a certain direction.

リングクランプ内周面315はフラットリング内周面より内側に(直径が小さく)成形されている。エキスパンド凸部322はリングクランプ内周面315より内側に(直径が小さく)成形されている。
そこでリングクランプガイド312に沿って挿入されたフラットリング40が所定の位置に設置されると、エキスパンドモータ323の駆動によりエキスパンドねじ部324が回転しリングクランプ31が下降する。すると粘着シート42をエキスパンド凸部322が押し上げて、粘着シート42が引き伸ばされ、チップ41の間隔を広げる構成になっている。(フラットリング40の粘着シート42引き伸ばし作業するリングエキスパンド引き伸ばし凸部)
The ring clamp inner peripheral surface 315 is formed on the inner side (smaller diameter) than the flat ring inner peripheral surface. The expanded convex part 322 is formed inside the ring clamp inner peripheral surface 315 (having a small diameter).
Therefore, when the flat ring 40 inserted along the ring clamp guide 312 is installed at a predetermined position, the expand screw portion 324 is rotated by driving the expand motor 323 and the ring clamp 31 is lowered. Then, the expanded convex portion 322 pushes up the pressure-sensitive adhesive sheet 42, the pressure-sensitive adhesive sheet 42 is stretched, and the interval between the chips 41 is increased. (Ring expand expansion convex part that stretches adhesive sheet 42 of flat ring 40)

リングクランプ31にリング冶具板46が装着されたグリップリング45が挿入される場合は、リングクランプ内周面315は外側グリップリングと内側グリップリング452の双方かどちらか一方に当接するよう(直径が同じに)成形されている。(グリップリング45のリング451,452を保持固定するリングエキスパンド押さえ凸部)   When the grip ring 45 with the ring jig plate 46 attached is inserted into the ring clamp 31, the inner peripheral surface 315 of the ring clamp is in contact with either the outer grip ring or the inner grip ring 452 (the diameter is (Same) molded. (Ring expansion presser convex part that holds and fixes the rings 451 and 452 of the grip ring 45)

また、リング冶具板凸部463はリングエキスパンド凸部322より内側(直径が小さくなるように)成形されている。そこでリングクランプガイド312に沿って挿入されたリング冶具板46が装着されたグリップリング45が所定の位置に設置されリングクランプ31が下降すると、リング冶具板46をリングエキスパンド凸部322が下方から保持し、グリップリング45をリングクランプ内周面315が上方から加圧して保持する。このことによって、グリップリング45はリングテーブル30に保持固定される構成になっている。   Further, the ring jig plate convex portion 463 is formed on the inner side (so that the diameter becomes smaller) than the ring expand convex portion 322. Therefore, when the grip ring 45 attached with the ring jig plate 46 inserted along the ring clamp guide 312 is installed at a predetermined position and the ring clamp 31 is lowered, the ring jig plate 46 is held by the ring expanding convex portion 322 from below. The ring ring inner peripheral surface 315 presses and holds the grip ring 45 from above. Accordingly, the grip ring 45 is configured to be held and fixed to the ring table 30.

なお、リング冶具板46が装着されていないグリップリング45を保持固定する場合は、リングクランプガイド312の間隔を変更し、リングクランプ内周面315が外側リングクランプ451と内側リングクランプ452の双方かどちらか一方に当接するよう(同じ直径になるように)成形されている。
リング冶具板46が装着されていても同様にリングエキスパンド押さえ凸部を変更する場合もある。
When holding and fixing the grip ring 45 to which the ring jig plate 46 is not mounted, the interval between the ring clamp guides 312 is changed, and the ring clamp inner peripheral surface 315 is both the outer ring clamp 451 and the inner ring clamp 452. It is molded so as to come into contact with either one (to have the same diameter).
Even when the ring jig plate 46 is mounted, the ring expanding pressing convex portion may be changed in the same manner.

更にリングエキスパンド凸部322が外側リングクランプ451と内側リングクランプ452の双方かどちらか一方に当接するよう(直径が同じになるように)成形される。
以上のようなチェンジキットを製作して、グリップリング45をリンククランプガイド312に装着してリングクランプ31を下降させるとリングエキスパンド凸部322とリングクランプ内周面315が押圧するようにしてグリップリング45を保持固定するように構成される。
Further, the ring expanding convex portion 322 is formed so as to abut on either one of the outer ring clamp 451 and the inner ring clamp 452 (so that the diameters are the same).
After manufacturing the change kit as described above, when the grip ring 45 is attached to the link clamp guide 312 and the ring clamp 31 is lowered, the ring expand convex portion 322 and the ring clamp inner peripheral surface 315 are pressed so that the grip ring 45 is configured to hold and fix.

以上のように構成されたフラットリング40とグリップリング45を移動可能に設置することができるリングテーブル装置30の動作について説明する。
図1が本発明の実施例に係るリングテーブル30を取り付けたガラス基板検査装置である。このような実施例だけでなくリングテーブル30は、チップ41の移載装置やチップ41のボンディング装置において、フラットリング40やグリップリング45を用いてチップ41が提供される場合に使用することができる。
The operation of the ring table device 30 capable of movably installing the flat ring 40 and the grip ring 45 configured as described above will be described.
FIG. 1 shows a glass substrate inspection apparatus to which a ring table 30 according to an embodiment of the present invention is attached. The ring table 30 as well as such an embodiment can be used when the chip 41 is provided by using the flat ring 40 or the grip ring 45 in the transfer apparatus of the chip 41 or the bonding apparatus of the chip 41. .

マガジン25にはフラットリング40が収納されている。リングチャック23により把持して引き出し、図6の模式図のような状態でフラットリング40をリングクランプガイド312に沿わせてY1方向に移動させる構成になっている。   A flat ring 40 is stored in the magazine 25. It is configured to be gripped and pulled out by the ring chuck 23 and to move the flat ring 40 in the Y1 direction along the ring clamp guide 312 in a state as shown in the schematic diagram of FIG.

リングチャック23はリングクランプ凹部311を通過してY1方向に移動し、フラットリング40の凹部401、402がピン313,314に当接して位置決めされると、リングチャック23はフラットリング40を開放し、リングテーブル30に干渉しない位置に退避する。   The ring chuck 23 passes through the ring clamp recess 311 and moves in the Y1 direction. When the recesses 401 and 402 of the flat ring 40 are positioned in contact with the pins 313 and 314, the ring chuck 23 releases the flat ring 40 and the ring Retreat to a position where it does not interfere with the table 30.

フラットリング40を位置決めしたリングクランプ31は、エキスパンドモータ323を駆動してエキスパンドねじ軸324を回転させて下降するよう構成されている。
するとフラットリング40の何も貼着されていない貼着シール部分421に、リングエキスパンド凸部322が当接する。リングクランプ31が下降するに従ってリングエキスパンド凸部322が何も貼着されていない粘着シート部分421を押し上げることになる。
The ring clamp 31 that positions the flat ring 40 is configured to drive the expand motor 323 and rotate the expand screw shaft 324 to descend.
Then, the ring expanding convex part 322 comes into contact with the sticking seal part 421 to which nothing is stuck on the flat ring 40. As the ring clamp 31 descends, the pressure-sensitive adhesive sheet portion 421 to which no ring expanding convex portion 322 is attached is pushed up.

このような構成によって粘着シート42が引き伸ばされ、粘着シート42の上で分割されているチップ41の間隔hが広げられる。
また、フラットリング40全体がリングクランプ31とリングエキスパンド凸部322に粘着シート42によって挟み込まれて保持固定される。
With such a configuration, the adhesive sheet 42 is stretched, and the interval h between the chips 41 divided on the adhesive sheet 42 is increased.
Further, the entire flat ring 40 is sandwiched and held and fixed by the adhesive sheet 42 between the ring clamp 31 and the ring expanding convex portion 322.

リングクランプ31とリングエキスパンド32にはさまれて保持固定されたフラットリング40は、Y軸モータ302を駆動させてYねじ軸303を回転することによってY方向に移動する構成になっている。
同様にX軸モータ305を駆動してXねじ軸306を回転することによってX方向に移動することができる構成になっている。
The flat ring 40 held and fixed between the ring clamp 31 and the ring expand 32 is configured to move in the Y direction by driving the Y axis motor 302 and rotating the Y screw shaft 303.
Similarly, the X-axis motor 305 is driven and the X screw shaft 306 is rotated to move in the X direction.

また、θ軸モータ308を駆動してθ軸ギャ309を回転することによってリングエキスパンドギャ321を回転し、保持固定したフラットリング40をθ方向に回転することができるように構成されている。   Further, by driving the θ-axis motor 308 and rotating the θ-axis gear 309, the ring expanding gear 321 is rotated, and the flat ring 40 held and fixed can be rotated in the θ direction.

なお、本装置に使用されているモータは全てサーボモータであり、モータ内部にロータリーエンコーダが内蔵されており、モータがどれくらいの速度でどちらの方向に何度回転したかをパルスで制御部3に送信する構成になっている。   All the motors used in this device are servo motors, and a rotary encoder is built in the motor, and the motor 3 rotates in which direction and how many times the motor rotates with a pulse to the control unit 3. It is configured to send.

制御部3では各モータに連結されているねじ軸のピッチをモータの情報と共に算出して、ねじ軸を挿入した軸受け部がどの位置に移動したかを判断するように構成されている。
以上のような構成でリングテーブル30の動作は制御部3によって制御される。
The control unit 3 is configured to calculate the pitch of the screw shaft connected to each motor together with the motor information, and determine to which position the bearing unit into which the screw shaft is inserted has moved.
With the above configuration, the operation of the ring table 30 is controlled by the control unit 3.

このことによって図1のようにリングチャック23によって受け渡されたフラットリング40はリングテーブル30によって外形検査カメラ20直下に移動して、外形検査作業が行われる。   As a result, the flat ring 40 delivered by the ring chuck 23 as shown in FIG. 1 is moved directly below the outer shape inspection camera 20 by the ring table 30, and the outer shape inspection work is performed.

次に図3に示すようなグリップリング45によってチップ41が提供された場合を説明する。前述したようにグリップリング45は引き伸ばされ粘着シート422を外側グリップリング451と内側グリップリング452で挟み込んで、チップ41がリング中央に来るようにして留めて、図3の状態で供給される。   Next, the case where the tip 41 is provided by the grip ring 45 as shown in FIG. 3 will be described. As described above, the grip ring 45 is stretched and the adhesive sheet 422 is sandwiched between the outer grip ring 451 and the inner grip ring 452, and the tip 41 is fastened so as to come to the center of the ring, and is supplied in the state shown in FIG.

図4に示すようにグリップリング45の後方にリング冶具板46を締まり嵌めになるように嵌合する。このときクリップリング45外周の凹部453と位置決めピン464が一致するように嵌合させる。
このことにより、グリップリング45とリング冶具板46は一体化しフラットリング40と同じ外形になる。そこで図1のマガジン25に収納してリングチャック23によって引き出し、図7のようにリングパイプガイド312に沿って挿入しピン313,314を凹部461,462に当接させることによってチップ41を正確に位置決めさせることができる。
また、マガジン25からリング冶具板46を引き出すときにチャックするリングチャック23のつかみ部が位置決めピン464を検知してリング冶具板46に取り付けられたグリップリング45と判断する検知手段を取り付けることもできる。検知した結果は制御部3に送信されてその後のリングテーブル30動きや作業内容に応じた作業機の位置が制御される。
As shown in FIG. 4, the ring jig plate 46 is fitted behind the grip ring 45 so as to be an interference fit. At this time, the recesses 453 on the outer periphery of the clip ring 45 are fitted so that the positioning pins 464 coincide with each other.
As a result, the grip ring 45 and the ring jig plate 46 are integrated into the same outer shape as the flat ring 40. Therefore, the chip 41 can be accurately positioned by being housed in the magazine 25 of FIG. 1 and pulled out by the ring chuck 23 and inserted along the ring pipe guide 312 and the pins 313 and 314 are brought into contact with the recesses 461 and 462 as shown in FIG. it can.
It is also possible to attach detection means for determining that the gripping portion of the ring chuck 23 that chucks when pulling out the ring jig plate 46 from the magazine 25 detects the positioning pin 464 and the grip ring 45 attached to the ring jig plate 46. . The detected result is transmitted to the control unit 3 to control the position of the work machine according to the subsequent movement of the ring table 30 and the work content.

その後エキスパンドモータ323を駆動させてエキスパンドねじ軸324を回転しリングクランプ31を下降させる。そしてリングエキスパンド凸部322がリング冶具板46の裏面に当接し、リングクランプ31が外側グリップリング451と内側グリップリング452の両方かいずれか一方をZ方向に押さえつけることによって、グリップリング45を保持固定するよう制御部3で制御される。
この状態が図7である。図7では解かりやすくするためにリングクランプ31を透明にして図示している。
Thereafter, the expand motor 323 is driven to rotate the expand screw shaft 324 to lower the ring clamp 31. The ring expanding convex portion 322 abuts the back surface of the ring jig plate 46, and the ring clamp 31 holds and fixes the grip ring 45 by pressing either the outer grip ring 451 or the inner grip ring 452 in the Z direction. This is controlled by the control unit 3.
This state is shown in FIG. In FIG. 7, for easy understanding, the ring clamp 31 is illustrated as being transparent.

以上のようなリングテーブル装置であればフラットリング40でもグリップリング45でも、リング冶具板46を採用することによってリングテーブル30に取り付けることができる。そしてマガジン25も共有することができる。
また、マガジン25の近傍やリングチャック23近傍にセンサーを取り付けて、提供されたチップ41がフラットリング40によるものか、グリップリング45によるものか、リング冶具板46を使用したグリップリングによるものなのかを自動的に判別し、エキスパンドモータ323の加圧力等を変更し自動で検知して保持固定する検知手段を備えて自動化することもできる。(但し必要に応じてリングエキスパンド凸部322を変更しなければならない場合がある。)
また、リングエキスパンド凸部322、とリングクランプガイド312の間隔を調整したリングクランプ31を変更することにより、フラットリング40でもグリップリング45でも作業位置に移動できるリングテーブル30を提供することもできる。
更にリング冶具板46を使用したクリップリング45であればマガジン25をフラットリング40のものと共有にすることができる。但し、グリップリング45は厚みがあるのでフラットリング40専用マガジン25より格納できる枚数を減少させる必要がある。
With the ring table apparatus as described above, either the flat ring 40 or the grip ring 45 can be attached to the ring table 30 by using the ring jig plate 46. Magazine 25 can also be shared.
In addition, a sensor is attached in the vicinity of the magazine 25 or the ring chuck 23, and whether the provided tip 41 is a flat ring 40, a grip ring 45, or a grip ring using a ring jig plate 46. Can be automated by providing a detecting means that automatically detects and holds and fixes the pressure applied to the expanding motor 323, etc. (However, the ring expanding convex portion 322 may need to be changed as necessary.)
In addition, the ring table 30 that can be moved to the working position by either the flat ring 40 or the grip ring 45 can also be provided by changing the ring clamp 31 in which the distance between the ring expanding convex part 322 and the ring clamp guide 312 is adjusted.
Furthermore, the magazine 25 can be shared with that of the flat ring 40 if the clip ring 45 uses the ring jig plate 46. However, since the grip ring 45 is thick, it is necessary to reduce the number of sheets that can be stored from the magazine 25 dedicated to the flat ring 40.

なお、上述した方法より煩雑ではあるが、リングクランプ31のリングクランプガイド312の間隔とリングエキスパンド凸部322の直径などを変更することにより、クリップリング45をそのままリングクランプ31に挿入して保持固定するよう制御部3で制御することも可能である。
また、リングエキスパンド凸部322の直径をシャツターの絞りのような方法や、リングチャック23によって自動で変更するように構成して、粘着シート42引き伸ばし作業をする引き伸ばし凸部と、グリップリング45を押さえ込む押さえ凸部として変更させ、リングテーブル30をフラットリング40とグリップリング45の兼用にすることもできる。
但しこのときはクリップリング45のチップ41の方向をきちんと位置決めするか、カメラで撮像して判断するように構成しなければならない。
Although it is more complicated than the above-mentioned method, the clip ring 45 is inserted into the ring clamp 31 as it is and fixed by changing the distance between the ring clamp guide 312 of the ring clamp 31 and the diameter of the ring expanding convex portion 322. It is also possible to control by the control unit 3 to do so.
Also, the diameter of the ring-expanded convex part 322 is configured to be automatically changed by a method such as a restriction of a shirter or by the ring chuck 23, so that the adhesive sheet 42 is stretched and the grip ring 45 is pressed. The ring table 30 can be used as both the flat ring 40 and the grip ring 45 by changing the pressing convex portion.
However, at this time, the direction of the tip 41 of the clip ring 45 must be properly positioned, or it must be configured to be determined by imaging with a camera.

本願発明はクリップリング45やフラットリング40だけにかかわらず、複数個のチップに分割された基板が粘着された粘着シート42を引き伸ばすことによって間チップの間隔を広げて作業位置に移動させるテーブルであれば、全て応用することができる。

The invention of the present application is not limited to the clip ring 45 or the flat ring 40, but is a table that moves the chip interval to the working position by extending the adhesive sheet 42 to which the substrate divided into a plurality of chips is adhered. All can be applied.

本実施例のリングテーブル30を使用したガラス基板検査装置の斜視図で、リングテーブル30がフラットリング40を保持して外形検査カメラ20直下に移動してガラス基板のチップ41を撮像している状態を示す図である。In the perspective view of the glass substrate inspection apparatus using the ring table 30 of the present embodiment, the ring table 30 holds the flat ring 40 and moves directly below the outer shape inspection camera 20 to image the chip 41 of the glass substrate FIG. 粘着シート42にチップ41が貼付されたフラットリング40の斜視図である。4 is a perspective view of a flat ring 40 in which a chip 41 is attached to an adhesive sheet 42. FIG. (1)は貼着シート42にチップ41が貼着されたグリップリング45を表面から見た斜視図である。(2)はグリップリング45を裏面から見た斜視図であり、外側グリップリング451と内側グリップリング452が明確に図腐れるようにしたものである。(1) is a perspective view of the grip ring 45 in which the chip 41 is adhered to the adhesive sheet 42 as viewed from the surface. (2) is a perspective view of the grip ring 45 as viewed from the back side, in which the outer grip ring 451 and the inner grip ring 452 are clearly broken. リング冶具板46とグリップリング45が勘合される状態を図示したものである。A state in which the ring jig plate 46 and the grip ring 45 are engaged with each other is illustrated. リングテーブル30がグリップリング45を保持している状態を図示したものである。The state where the ring table 30 holds the grip ring 45 is illustrated. リングテーブル30のリングクランプ31を透明にして図示したもので、フラットリング40がガイドされるリングクランプガイド312と、フラットリング40が位置決めされるピン313、314が明確になるように図示したものである。The ring clamp 31 of the ring table 30 is shown as transparent, and the ring clamp guide 312 for guiding the flat ring 40 and the pins 313 and 314 for positioning the flat ring 40 are shown clearly. is there. 図6と同様にリングテーブル30のリングクランプ31を透明に図示して、グリップリング45を嵌合したリング冶具板46がリングクランプ31のリングクランプガイド312とピン313,314に当接して位置決めされた状態を示している。As in FIG. 6, the ring clamp 31 of the ring table 30 is shown transparent, and the ring jig plate 46 fitted with the grip ring 45 is positioned in contact with the ring clamp guide 312 of the ring clamp 31 and the pins 313 and 314. Is shown. 従来型のフラットリング94の粘着シート91を鍔部96で引き伸ばしてシートバンド97で固定した状態を図示したものである。A state in which an adhesive sheet 91 of a conventional flat ring 94 is stretched by a flange 96 and fixed by a seat band 97 is shown.

符号の説明Explanation of symbols

3 制御部
20
外形検査カメラ
23 リングチャック
25
マガジン
30
リングテーブル
301
Y軸ベース
302
Y軸モータ
303
Yねじ軸
304
X軸ベース
305
X軸モータ
306
Xねじ軸
307
θ軸ベース
308
θ軸モータ
309
θ軸ギャ
31
リングクランプ
311 リングクランプ凹部
312 リングクランプガイド
313 ピン
314 ピン
315 リングクランプ内周面
32
リングエキスパンド
321
リングエキスパンドギャ
322
リングエキスパンド凸部
323
エキスパンドモータ
324
エキスパンドねじ軸
40
フラットリング
401
フラットリング凹部
402
フラットリング凹部
405 フラットリング内周面
41
チップ
42
粘着シート
421 何も貼着されていない粘着シート部分
422 引き伸ばされた粘着シート
45 グリップリング
451 外側グリップリング
452 内側グリップリング
453 凹部
46 リング冶具板
461 凹部
462 凹部
463 リング冶具板凸部
464 位置決めピン
90 チップ(従来例)
91 粘着シート(従来例)
92 昇降軸(従来例)
93 クランプ(従来例)
94 フラットリング(従来例)
95 ピストン(従来例)
96 鍔部(従来例)
97 シートバンド(従来例)
98 カッタ(従来例)
h 間隔


3 Control unit
20
Outline inspection camera
23 Ring chuck
twenty five
magazine
30
Ring table
301
Y axis base
302
Y axis motor
303
Y screw shaft
304
X-axis base
305
X-axis motor
306
X screw shaft
307
θ axis base
308
θ axis motor
309
θ-axis gear
31
Ring clamp
311 Ring clamp recess
312 Ring clamp guide
313 pin
314 pin
315 Ring clamp inner peripheral surface
32
Ring expand
321
Ring expanding gear
322
Ring expand convex
323
Expanding motor
324
Expanded screw shaft
40
Flat ring
401
Flat ring recess
402
Flat ring recess
405 Flat ring inner surface
41
Chip
42
Adhesive sheet
421 Adhesive sheet part with nothing attached
422 Stretched adhesive sheet
45 Grip ring
451 Outer grip ring
452 Inner grip ring
453 recess
46 Ring jig plate
461 recess
462 recess
463 Ring jig plate convex part
464 Locating pin
90 chips (conventional example)
91 Adhesive sheet (conventional example)
92 Lifting shaft (conventional example)
93 Clamp (conventional example)
94 Flat ring (conventional example)
95 Piston (conventional example)
96 buttock (conventional example)
97 Seat band (conventional example)
98 Cutter (conventional example)
h interval


Claims (2)

複数個のチップに分割された基板を、リングに装着された柔軟性を有する粘着シートに貼着されて前記粘着シートが引き伸ばされない状態で前記リングに取り付けられるフラットリングと、
前記粘着シートが引き伸ばされた状態で外側グリップリングと内側グリップに止着されたグリップリングとで供給され、
前記複数個のチップに分割された基板を、検査移載等する作業機に使用される作業位置を移動するテーブル装置であって、
前記グリップリングの内周面を嵌合させて、前記フラットリングと同様の外形形状にするリング冶具板と
前記フラットリングもしくは前記グリップリングを嵌合させたリング治具板を挿入保持して下降するリングクランプと、
下降する前記リングクランプの内面と微小な間隔をもつように径が設定されているリングエキスパンド凸部と、
前記リングクランプと前記リングエキスパンド凸部を作業位置に移動・回転させるリングテーブルと、
前記リングクランプと前記リングテーブルを制御する制御部を備え、
前記制御部は前記フラットリングを前記粘着シート引き伸ばし作業位置に移動させた際は、
前記リングエキスパンド凸部が前記粘着シートに当接して、前記リングクランプが微小な間隔で該リングエキスパンド凸部に対して下降することにより前記粘着シートを引き伸ばしながら前記フラットリングを保持固定し、
前記制御部は前記グリップリングを嵌合させたリング治具板によって前記フラットリングの外形形状と同一として保持固定位置に移動させた際は、
前記リングエキスパンド凸部と前記リングクランプが前記グリップリングの前記外側グリップリングと前記内側グリップの双方かどちらか一方に当接するようにして上下にはさむように保持固定し、
前記リングテーブルが前記基板を所定の作業位置に移動するよう制御部で制御するようにしたことを特徴とするリングテーブル装置。
A flat ring attached to the ring in a state where the substrate divided into a plurality of chips is attached to a flexible adhesive sheet attached to the ring and the adhesive sheet is not stretched;
Supplied with an outer grip ring and a grip ring fastened to the inner grip with the adhesive sheet stretched,
A table device for moving a work position used in a work machine for inspection transfer, etc., on a substrate divided into a plurality of chips,
A ring jig plate that fits the inner peripheral surface of the grip ring and has the same outer shape as the flat ring ,
A ring clamp that lowers by inserting and holding a ring jig plate fitted with the flat ring or the grip ring; and
A ring-expanded convex portion having a diameter set so as to have a minute gap with the inner surface of the ring clamp that descends;
A ring table that moves and rotates the ring clamp and the ring expanding convex portion to a working position;
A control unit for controlling the ring clamp and the ring table;
When the control unit moves the flat ring to the adhesive sheet stretching work position,
The ring expand convex portion abuts on the adhesive sheet, and the ring clamp is held and fixed while stretching the pressure sensitive adhesive sheet by descending with respect to the ring expand convex portion at a minute interval,
When the control unit is moved to the holding and fixing position as the outer shape of the flat ring by the ring jig plate fitted with the grip ring,
The ring expanding convex part and the ring clamp are held and fixed so as to be sandwiched up and down so as to contact either the outer grip ring or the inner grip of the grip ring ,
A ring table apparatus, wherein the ring table is controlled by a control unit so as to move the substrate to a predetermined working position.
前記リングクランプに挿入保持された前記リングが、前記フラットリングか前記グリップリングかを自動で検知して保持固定する検知手段を備えたことを特徴とする請求項1記載のリングテーブル装置。

2. The ring table device according to claim 1, further comprising detection means for automatically detecting whether the ring inserted and held in the ring clamp is the flat ring or the grip ring, and holding and fixing the ring ring device.

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