JP5142328B2 - A ring table device that can move the flat ring and grip ring. - Google Patents
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Description
本発明は柔軟性を有する粘着シートに貼着され、フラットリングもしくはグリップリングに搭載された状態で供給されるシリコンウエハ等の複数個のチップに分解された基板を検査したり移載したりボンディング(接着)したりする装置に使用されている、リングテーブル装置に関するものである。
前記リングテーブル装置とは、フラットリングやグリップリングで供給された基板を、リングテーブル上部に保持固定して、検査用カメラ直下に移動したり、移載装置のピックアップ部に移動したりする作業範囲内を制御部の制御によって移動する部分のことである。
The present invention inspects, transfers, and bonds a substrate that is bonded to a flexible pressure-sensitive adhesive sheet and disassembled into a plurality of chips such as a silicon wafer supplied in a state mounted on a flat ring or a grip ring. The present invention relates to a ring table device used in a device for (bonding).
The ring table device is a work range in which a substrate supplied by a flat ring or a grip ring is held and fixed on the upper part of the ring table and moved directly below the inspection camera or moved to the pickup unit of the transfer device. This is the part that moves under the control of the controller.
CCDカメラ等に用いられるガラス基板や集積回路等に用いられる半導体チップは厚みの調整や機械による研削、薬品によるエッチング等の工程の後、柔軟性を有する粘着シートが貼着される。更に搬送を容易にするために粘着シートの外周辺部にはフラットリングが貼着される。 A glass substrate used for a CCD camera or the like, a semiconductor chip used for an integrated circuit, and the like are subjected to a thickness adjustment, mechanical grinding, chemical etching, and the like, and then a flexible adhesive sheet is attached. Further, a flat ring is attached to the outer peripheral portion of the pressure-sensitive adhesive sheet to facilitate conveyance.
粘着シートが粘着された状態で、ガラス基板やシリコンウエハはダイシング(さいの目状態に切断され複数個のチップに形成されること)され、複数個のチップに分解される。ダイシングの際にはガラス基板やシリコンウエハのみが精確に切断され粘着シートは切断されないよう作業される。
従ってダイシング時に切断されたチップが飛び散ることがない。
With the adhesive sheet adhered, the glass substrate or silicon wafer is diced (cut into a dice and formed into a plurality of chips), and is decomposed into a plurality of chips. At the time of dicing, only the glass substrate or the silicon wafer is accurately cut and the adhesive sheet is not cut.
Therefore, the chips cut at the time of dicing are not scattered.
しかし分割された各チップをピックアップする時や、検査する時は分割された時のカット面が細くて互いに干渉することがあるので、各チップの間隔を広げるために粘着シートが引き伸ばされる。 However, when the divided chips are picked up or inspected, the cut surfaces of the divided chips are thin and may interfere with each other, so that the adhesive sheet is stretched to widen the interval between the chips.
従来の粘着シート引き伸ばし方法としては特開平10-125630のような半導体ウエハ引き伸ばし装置が提案されている。この従来例は図8に示すような構成になっている。 As a conventional method for stretching an adhesive sheet, a semiconductor wafer stretching apparatus such as that disclosed in JP-A-10-125630 has been proposed. This conventional example has a configuration as shown in FIG.
フラットリング94をクランプ93で固定した後、ピストン95を昇降軸92によって上昇させ、鍔部96によって粘着シート91を押し上げて引き伸ばす。
このことによりチップ90の間隔hが広がりピックアップや検査がやりやすくなる。
After fixing the
As a result, the interval h between the
間隔hが広がったときに粘着シート91の外側からシートバンド97を嵌着し粘着シート91が縮まないように止着しておいて、カッタ98によって粘着シート91をカットすることで、鍔部96とシートバンド97にはさまれて引き伸ばされた粘着シート91を取り外すことができるように構成されている。
従来は粘着シートを引き伸ばすための専用機を必要とし、フラットリングでチップが提供された場合は、このような専用機等を使用して粘着シートを引き伸ばして縮まないように止着してピックアップ等の作業をしなければならなかった。 Conventionally, a special machine for stretching the adhesive sheet is required, and when a chip is provided with a flat ring, the adhesive sheet is stretched using such a special machine, etc. Had to work.
チップはフラットリングに貼着して提供されるものと、粘着シートを引き伸ばしてグリップリングで止着して提供されるものがあり、提供されるチップの状態によりリングテーブルへの取り付け方法を変更して使用せねばならなかった。 The tip is provided by sticking to a flat ring, and the tip is provided by stretching the adhesive sheet and fastening it with a grip ring.The method of attaching to the ring table is changed depending on the state of the tip provided. I had to use it.
フラットリング外周部には直線部がありガイドされやすく構成されている。更にフラットリング外周部には2つの位置決めピンと嵌合する2つの凹部があり位置決めが容易であった。 There is a straight line portion on the outer periphery of the flat ring, and the flat ring is easily guided. Further, the outer periphery of the flat ring has two recesses for fitting with two positioning pins, so that positioning is easy.
しかし、グリップリングは、方向判別用の凹部が一箇所あるだけで位置決めが困難であった。従来は手作業によるオペレータの判断でだいたいの方向が決められており、正確な位置決めができなかった。 However, the grip ring is difficult to position because it has only one recess for determining the direction. Conventionally, a general direction is determined by manual judgment by an operator, and accurate positioning cannot be performed.
フラットリングとグリップリングは形状が異なるため、それぞれ専用のマガジンを作成して収納し、異なる形状のマガジンを作業機にセッティングしなければならなかった。
Since the flat ring and grip ring have different shapes, they had to create and store their own magazines and set the magazines with different shapes on the work equipment.
そこで、複数個のチップに分割された基板を、リングに装着された柔軟性を有する粘着シートに貼着されて前記粘着シートが引き伸ばされない状態で前記リングに取り付けられるフラットリングと、前記粘着シートが引き伸ばされた状態で前記リングに取り付けられるグリップリングとで供給され、前記複数個のチップに分割された基板を、検査移載等する作業機に使用される作業位置を移動するテーブル装置であって、前記フラットリングもしくは前記グリップリングを挿入保持して下降するリングクランプと、下降する前記リングクランプの内面と微小な間隔をもつように径が設定されているリングエキスパンド凸部と、
前記リングクランプと前記リングエキスパンド凸部を作業位置に移動・回転させるリングテーブルと、前記リングクランプと前記リングテーブルを制御する制御部を備え、前記制御部は前記フラットリングを前記粘着シート引き伸ばし作業位置に移動させた際は、前記リングエキスパンド凸部が前記粘着シートに当接して、前記リングクランプが微小な間隔で該リングエキスパンド凸部に対して下降することにより前記粘着シートを引き伸ばしながら前記フラットリングを保持固定し、前記制御部は前記グリップリングを保持固定位置に移動させた際は、前記リングエキスパンド凸部と前記リングクランプが前記グリップリングの前記リングを上下にはさむように保持固定し、前記リングテーブルが前記基板を所定の作業位置に移動するよう制御部で制御するようにしたことを特徴とするリングテーブル装置を提供するものである。
Accordingly, a flat ring attached to the ring in a state where the substrate divided into a plurality of chips is attached to a flexible adhesive sheet attached to the ring and the adhesive sheet is not stretched, and the adhesive sheet A table device that moves a work position used in a work machine for inspection and transfer of the substrate divided into the plurality of chips, which is supplied with a grip ring attached to the ring in a stretched state. A ring clamp that inserts and holds the flat ring or the grip ring and descends, and a ring expand convex portion whose diameter is set so as to have a minute interval with the inner surface of the descending ring clamp,
A ring table that moves and rotates the ring clamp and the ring expanding convex portion to a working position; and a control unit that controls the ring clamp and the ring table, wherein the control unit stretches the adhesive sheet to the adhesive sheet stretching working position. When the ring ring is moved to the flat ring, the ring expanding convex part comes into contact with the adhesive sheet, and the ring clamp is lowered with respect to the ring expanding convex part at a minute interval while stretching the adhesive sheet. And when the control unit moves the grip ring to the holding and fixing position, the ring expanding convex part and the ring clamp hold and fix the ring of the grip ring so as to sandwich the ring up and down. A ring table moves the substrate to a predetermined working position. There is provided a ring table device being characterized in that so as to control at control unit.
そして、 前記リングエキスパンド凸部は前記フラットリングの前記粘着シート引き伸ばし作業するリングエキスパンド引き伸ばし凸部と、前記グリップリングの前記リングを保持固定するリングエキスパンド押さえ凸部とを備え、前記リングエキスパンド引き伸ばし凸部と前記リングエキスパンド押さえ凸部は交換可能に取り付けられたことを特徴とするリングテーブル装置であって
前記グリップリングの内周面を嵌合させて、前記フラットリングと同様の外形形状にするリング冶具板によって、前記グリップリングと前記フラットリングの外形形状を同一にしたことで共通の前記リングクランプを使用することができるようにしたことを特徴とするリングテーブル装置を提供するものである。
The ring expand convex portion includes a ring expand stretch convex portion that stretches the adhesive sheet of the flat ring, and a ring expand presser convex portion that holds and fixes the ring of the grip ring, and the ring expand stretch convex portion. The ring expander pressing convex portion is attached in a replaceable manner, and is a ring table device in which the inner peripheral surface of the grip ring is fitted to have the same outer shape as the flat ring. The present invention provides a ring table device characterized in that a common ring clamp can be used by making the outer shape of the grip ring and the flat ring the same by a plate.
更に前記リングクランプに挿入保持された前記リングが、前記フラットリングか前記グリップリングかを自動で検知して保持固定する検知手段を備えたことを特徴とするリングテーブル装置で、前記リングクランプに挿入保持された前記リングが、前記フラットリングか前記グリップリングかによって交換可能に構成された冶具交換手段を備えたことを特徴とするリングテーブル装置で、前記リング冶具板に取り付けられた位置決めピンと前記グリップリング外周に形成された凹部が嵌合することにより前記リング冶具板と前記グリップリングが一定方向に装着されるようにしたことを特徴とするリングテーブル装置であって、
前記グリップリングに前記リング冶具板を取り付けることによって、前記フラットリングと兼用で使うことのできる収容部を用いて前記基板を提供することができるようにしたことを特徴とするリングテーブル装置を提供するものである。
The ring table apparatus further comprises a detecting means for automatically detecting whether the ring inserted and held in the ring clamp is the flat ring or the grip ring, and is inserted into the ring clamp. The ring table apparatus includes jig exchanging means configured to be exchangeable depending on whether the held ring is the flat ring or the grip ring, and a positioning pin attached to the ring jig plate and the grip A ring table device characterized in that the ring jig plate and the grip ring are mounted in a fixed direction by fitting a recess formed on the outer periphery of the ring,
By providing the ring jig plate on the grip ring, it is possible to provide the ring table device by using the accommodating portion that can also be used as the flat ring. Is.
フラットリング40によってチップ41が提供された場合、リングクランプ31がフラットリング40を押さえて下降することにより、リングエキスパンド凸部322が粘着シート42を押し上げる。このことによって引き伸ばされた粘着シート42の上で分割されているチップ41の間隔hを広げるように作用する。
When the
グリップリング45でチップ41が提供された場合、リングクランプ31とリングエキスパンド凸部322を変更することによって外側グリップリング401と内側グリップリング402をはさみこむようにリングクランプ31を下降させてグリップリング45を固定するように構成されている。
もしくはグリップリング45にリング冶具板46を嵌合し、リングエキスパンド凸部322とリングクランプ31によって挟み込むようにしてグリップリング45を固定するように構成されている。
When the
Alternatively, the
以上のような構成にすることにより、本願発明のリングテーブル30であれば、フラットリング40及びグリップリング45のどちらの状態でチップ41が与えられたとしても、保持固定して作業位置に移動することができる。
With the configuration as described above, the ring table 30 of the present invention can be held and fixed and moved to the working position regardless of whether the
また、グリップリング45の内側グリップリング452の内周面に嵌合するようにリング冶具板凸部463が構成されたリング冶具板46を勘合して、グリップリング45とフラットリング40の外形形状を同一にしたことにより、フラットリング40に適合されたリングクランプガイド312や、フラットリング40の外形に作られた凹部401、402に適合するピン313、314も共通に使用して位置決めすることができる。
In addition, the outer shape of the
そして、グリップリング45の外周に凹部453を設け(本実施例の場合はわざわざ設けるのではなく、粘着シート42を引き伸ばして外側グリップリング451と内側グリップリング452に挟み込む際の位置決め用として設けられた凹部453を利用するものである)リング冶具板46の位置決めピン464に係合するように構成することにより、グリップリング45に貼着されたチップの方向を一定にすることができるように、位置決めできるようにした。
Then, a
以上のようにリング冶具板46をグリップリング45に嵌合させることによりフラットリング40と同一のマガジン25に収容できるようになり経済的になった。
As described above, the
チップ41が提供される場合、輸送を容易にするためにフラットリング40もしくはグリップリング45のどちらかに粘着シート42が貼着され粘着シート42に貼着して提供される。
When the
フラットリング40の形式でチップ41が与えられた場合は、粘着シート42を引き伸ばしてチップ41の間隔hを広げチップ41が互いに干渉することがなく、ピックアップや画像認識がやりやすいようにしなければならない。
When the
グリップリング45の形式でチップ41が与えられた場合は、粘着シート42を引き伸ばして外側グリップリング451と内側グリップリング452で挟み込んだ状態で提供されるので、チップ41の間隔を広げる必要はない。
粘着シート42の引き伸ばしが不均一だと、間隔hが広げられた各チップの位置が不ぞろいになるために、あらかじめ均一な状態で引き伸ばし作業を実行してクリップリング45で固定して提供することが考えられて考案された方法である。
When the
If the pressure-sensitive
しかしクリップリング45とフラットリング40は外形形状がまったく異なるものであり、今まではそれぞれ提供される形式によって専用機を製作していたが、本願発明においてはどちらの形式でチップ41が提供されても対応できるリングテーブル30を提供するものである。
その結果新しい装置を製作するのではなく、リングテーブル30にチェンジキットを製作することで汎用的に使えるようにしたものである。
However, the
As a result, instead of manufacturing a new device, a change kit is manufactured on the ring table 30 so that it can be used universally.
また、グリップリング45にリング冶具板46を取り付けることにより、フラットリング40と同様の外形にし、共通のマガジン25や共通のリングクランプガイド312また共通のピン313、314を使用して位置決めすることができるようになったので経済的であると共に、今までチップ41配列の方向を定められなかったグリップリング45の欠点を補うことかができるようになった。
Also, by attaching the
つまり、グリップリング45には凹部453がダイシング等の作業時の位置決めのために作られているが、この凹部453をリング冶具板46の位置決めピン46に嵌合させることにより、グリップリング45の位置決めが、今まで行われていたオペレーターによる目視よりもはるかに高精度に位置あわせすることができるようになった。
In other words, the
以下、本発明の実施例について説明する。複数個のチップ41に分割された基板とは、例えば半導体ウエハのようにシリコン等の半導体の素材の種結晶を円柱状に成長させたインゴットを薄くスライスした円盤状の板を各チップの大きさにダイシングした状態のことである。
Examples of the present invention will be described below. The substrate divided into a plurality of
分割された各チップ41が離散しないようにするために基板の裏側面には柔軟性を有する粘着シートが貼着される。そして、搬送を容易にするために粘着シート42の外周辺部には、フラットリング40が粘着される。
In order to prevent the divided
フラットリング40は図2のような形状をしている。チップ41はダイシングされたままの状態なので、各チップ41の間隔hが狭く、吸着装置等でチップ41をピックアップして作業するときに、互いに干渉してしまう場合がある。
また、各チップ41を画像認識する場合も間隔hが狭いと各チップ41毎の認識ができなく誤動作してしまうことがある。そこで図8に示す従来例のように粘着シート42を均一に引き伸ばす装置が必要とされる。
The
In addition, when the image of each
また、上記粘着シート引き伸ばし作業において、粘着シート42の引き伸ばしが不均一であると間隔hを広げられた各チップ41の位置が不揃いになるためチップ41のピックアップや画像認識が困難になるという問題がある。
Further, in the above-described adhesive sheet stretching operation, if the stretching of the
そこで既に均一に粘着シート42を引き伸ばした状態で、外側クリップリング451と内側クリップリング452で止着されてチップ41を提供したものがクリップリング45である。
クリップリング45は図3のような形状をしている。(1)は表面から見た図、(2)は裏面から見た図である。外側クリップリング451の外周には一箇所凹部453が作られている。これは粘着シート42を引き伸ばして止着するときに、複数個のチップ41に分割された基板の方向を一定にするために使用された凹部453が形成されている。本発明ではこの凹部453を利用してチップ42の配列を一定方向に整理するようにしている。
Therefore, the
The
リングクランプ内周面315はフラットリング内周面より内側に(直径が小さく)成形されている。エキスパンド凸部322はリングクランプ内周面315より内側に(直径が小さく)成形されている。
そこでリングクランプガイド312に沿って挿入されたフラットリング40が所定の位置に設置されると、エキスパンドモータ323の駆動によりエキスパンドねじ部324が回転しリングクランプ31が下降する。すると粘着シート42をエキスパンド凸部322が押し上げて、粘着シート42が引き伸ばされ、チップ41の間隔を広げる構成になっている。(フラットリング40の粘着シート42引き伸ばし作業するリングエキスパンド引き伸ばし凸部)
The ring clamp inner
Therefore, when the
リングクランプ31にリング冶具板46が装着されたグリップリング45が挿入される場合は、リングクランプ内周面315は外側グリップリングと内側グリップリング452の双方かどちらか一方に当接するよう(直径が同じに)成形されている。(グリップリング45のリング451,452を保持固定するリングエキスパンド押さえ凸部)
When the
また、リング冶具板凸部463はリングエキスパンド凸部322より内側(直径が小さくなるように)成形されている。そこでリングクランプガイド312に沿って挿入されたリング冶具板46が装着されたグリップリング45が所定の位置に設置されリングクランプ31が下降すると、リング冶具板46をリングエキスパンド凸部322が下方から保持し、グリップリング45をリングクランプ内周面315が上方から加圧して保持する。このことによって、グリップリング45はリングテーブル30に保持固定される構成になっている。
Further, the ring jig plate
なお、リング冶具板46が装着されていないグリップリング45を保持固定する場合は、リングクランプガイド312の間隔を変更し、リングクランプ内周面315が外側リングクランプ451と内側リングクランプ452の双方かどちらか一方に当接するよう(同じ直径になるように)成形されている。
リング冶具板46が装着されていても同様にリングエキスパンド押さえ凸部を変更する場合もある。
When holding and fixing the
Even when the
更にリングエキスパンド凸部322が外側リングクランプ451と内側リングクランプ452の双方かどちらか一方に当接するよう(直径が同じになるように)成形される。
以上のようなチェンジキットを製作して、グリップリング45をリンククランプガイド312に装着してリングクランプ31を下降させるとリングエキスパンド凸部322とリングクランプ内周面315が押圧するようにしてグリップリング45を保持固定するように構成される。
Further, the ring expanding
After manufacturing the change kit as described above, when the
以上のように構成されたフラットリング40とグリップリング45を移動可能に設置することができるリングテーブル装置30の動作について説明する。
図1が本発明の実施例に係るリングテーブル30を取り付けたガラス基板検査装置である。このような実施例だけでなくリングテーブル30は、チップ41の移載装置やチップ41のボンディング装置において、フラットリング40やグリップリング45を用いてチップ41が提供される場合に使用することができる。
The operation of the
FIG. 1 shows a glass substrate inspection apparatus to which a ring table 30 according to an embodiment of the present invention is attached. The ring table 30 as well as such an embodiment can be used when the
マガジン25にはフラットリング40が収納されている。リングチャック23により把持して引き出し、図6の模式図のような状態でフラットリング40をリングクランプガイド312に沿わせてY1方向に移動させる構成になっている。
A
リングチャック23はリングクランプ凹部311を通過してY1方向に移動し、フラットリング40の凹部401、402がピン313,314に当接して位置決めされると、リングチャック23はフラットリング40を開放し、リングテーブル30に干渉しない位置に退避する。
The
フラットリング40を位置決めしたリングクランプ31は、エキスパンドモータ323を駆動してエキスパンドねじ軸324を回転させて下降するよう構成されている。
するとフラットリング40の何も貼着されていない貼着シール部分421に、リングエキスパンド凸部322が当接する。リングクランプ31が下降するに従ってリングエキスパンド凸部322が何も貼着されていない粘着シート部分421を押し上げることになる。
The
Then, the ring expanding
このような構成によって粘着シート42が引き伸ばされ、粘着シート42の上で分割されているチップ41の間隔hが広げられる。
また、フラットリング40全体がリングクランプ31とリングエキスパンド凸部322に粘着シート42によって挟み込まれて保持固定される。
With such a configuration, the
Further, the entire
リングクランプ31とリングエキスパンド32にはさまれて保持固定されたフラットリング40は、Y軸モータ302を駆動させてYねじ軸303を回転することによってY方向に移動する構成になっている。
同様にX軸モータ305を駆動してXねじ軸306を回転することによってX方向に移動することができる構成になっている。
The
Similarly, the
また、θ軸モータ308を駆動してθ軸ギャ309を回転することによってリングエキスパンドギャ321を回転し、保持固定したフラットリング40をθ方向に回転することができるように構成されている。
Further, by driving the θ-
なお、本装置に使用されているモータは全てサーボモータであり、モータ内部にロータリーエンコーダが内蔵されており、モータがどれくらいの速度でどちらの方向に何度回転したかをパルスで制御部3に送信する構成になっている。 All the motors used in this device are servo motors, and a rotary encoder is built in the motor, and the motor 3 rotates in which direction and how many times the motor rotates with a pulse to the control unit 3. It is configured to send.
制御部3では各モータに連結されているねじ軸のピッチをモータの情報と共に算出して、ねじ軸を挿入した軸受け部がどの位置に移動したかを判断するように構成されている。
以上のような構成でリングテーブル30の動作は制御部3によって制御される。
The control unit 3 is configured to calculate the pitch of the screw shaft connected to each motor together with the motor information, and determine to which position the bearing unit into which the screw shaft is inserted has moved.
With the above configuration, the operation of the ring table 30 is controlled by the control unit 3.
このことによって図1のようにリングチャック23によって受け渡されたフラットリング40はリングテーブル30によって外形検査カメラ20直下に移動して、外形検査作業が行われる。
As a result, the
次に図3に示すようなグリップリング45によってチップ41が提供された場合を説明する。前述したようにグリップリング45は引き伸ばされ粘着シート422を外側グリップリング451と内側グリップリング452で挟み込んで、チップ41がリング中央に来るようにして留めて、図3の状態で供給される。
Next, the case where the
図4に示すようにグリップリング45の後方にリング冶具板46を締まり嵌めになるように嵌合する。このときクリップリング45外周の凹部453と位置決めピン464が一致するように嵌合させる。
このことにより、グリップリング45とリング冶具板46は一体化しフラットリング40と同じ外形になる。そこで図1のマガジン25に収納してリングチャック23によって引き出し、図7のようにリングパイプガイド312に沿って挿入しピン313,314を凹部461,462に当接させることによってチップ41を正確に位置決めさせることができる。
また、マガジン25からリング冶具板46を引き出すときにチャックするリングチャック23のつかみ部が位置決めピン464を検知してリング冶具板46に取り付けられたグリップリング45と判断する検知手段を取り付けることもできる。検知した結果は制御部3に送信されてその後のリングテーブル30動きや作業内容に応じた作業機の位置が制御される。
As shown in FIG. 4, the
As a result, the
It is also possible to attach detection means for determining that the gripping portion of the
その後エキスパンドモータ323を駆動させてエキスパンドねじ軸324を回転しリングクランプ31を下降させる。そしてリングエキスパンド凸部322がリング冶具板46の裏面に当接し、リングクランプ31が外側グリップリング451と内側グリップリング452の両方かいずれか一方をZ方向に押さえつけることによって、グリップリング45を保持固定するよう制御部3で制御される。
この状態が図7である。図7では解かりやすくするためにリングクランプ31を透明にして図示している。
Thereafter, the expand
This state is shown in FIG. In FIG. 7, for easy understanding, the
以上のようなリングテーブル装置であればフラットリング40でもグリップリング45でも、リング冶具板46を採用することによってリングテーブル30に取り付けることができる。そしてマガジン25も共有することができる。
また、マガジン25の近傍やリングチャック23近傍にセンサーを取り付けて、提供されたチップ41がフラットリング40によるものか、グリップリング45によるものか、リング冶具板46を使用したグリップリングによるものなのかを自動的に判別し、エキスパンドモータ323の加圧力等を変更し自動で検知して保持固定する検知手段を備えて自動化することもできる。(但し必要に応じてリングエキスパンド凸部322を変更しなければならない場合がある。)
また、リングエキスパンド凸部322、とリングクランプガイド312の間隔を調整したリングクランプ31を変更することにより、フラットリング40でもグリップリング45でも作業位置に移動できるリングテーブル30を提供することもできる。
更にリング冶具板46を使用したクリップリング45であればマガジン25をフラットリング40のものと共有にすることができる。但し、グリップリング45は厚みがあるのでフラットリング40専用マガジン25より格納できる枚数を減少させる必要がある。
With the ring table apparatus as described above, either the
In addition, a sensor is attached in the vicinity of the
In addition, the ring table 30 that can be moved to the working position by either the
Furthermore, the
なお、上述した方法より煩雑ではあるが、リングクランプ31のリングクランプガイド312の間隔とリングエキスパンド凸部322の直径などを変更することにより、クリップリング45をそのままリングクランプ31に挿入して保持固定するよう制御部3で制御することも可能である。
また、リングエキスパンド凸部322の直径をシャツターの絞りのような方法や、リングチャック23によって自動で変更するように構成して、粘着シート42引き伸ばし作業をする引き伸ばし凸部と、グリップリング45を押さえ込む押さえ凸部として変更させ、リングテーブル30をフラットリング40とグリップリング45の兼用にすることもできる。
但しこのときはクリップリング45のチップ41の方向をきちんと位置決めするか、カメラで撮像して判断するように構成しなければならない。
Although it is more complicated than the above-mentioned method, the
Also, the diameter of the ring-expanded
However, at this time, the direction of the
本願発明はクリップリング45やフラットリング40だけにかかわらず、複数個のチップに分割された基板が粘着された粘着シート42を引き伸ばすことによって間チップの間隔を広げて作業位置に移動させるテーブルであれば、全て応用することができる。
The invention of the present application is not limited to the
3 制御部
20
外形検査カメラ
23 リングチャック
25
マガジン
30
リングテーブル
301
Y軸ベース
302
Y軸モータ
303
Yねじ軸
304
X軸ベース
305
X軸モータ
306
Xねじ軸
307
θ軸ベース
308
θ軸モータ
309
θ軸ギャ
31
リングクランプ
311 リングクランプ凹部
312 リングクランプガイド
313 ピン
314 ピン
315 リングクランプ内周面
32
リングエキスパンド
321
リングエキスパンドギャ
322
リングエキスパンド凸部
323
エキスパンドモータ
324
エキスパンドねじ軸
40
フラットリング
401
フラットリング凹部
402
フラットリング凹部
405 フラットリング内周面
41
チップ
42
粘着シート
421 何も貼着されていない粘着シート部分
422 引き伸ばされた粘着シート
45 グリップリング
451 外側グリップリング
452 内側グリップリング
453 凹部
46 リング冶具板
461 凹部
462 凹部
463 リング冶具板凸部
464 位置決めピン
90 チップ(従来例)
91 粘着シート(従来例)
92 昇降軸(従来例)
93 クランプ(従来例)
94 フラットリング(従来例)
95 ピストン(従来例)
96 鍔部(従来例)
97 シートバンド(従来例)
98 カッタ(従来例)
h 間隔
3 Control unit
20
Outline inspection camera
23 Ring chuck
twenty five
magazine
30
Ring table
301
Y axis base
302
Y axis motor
303
Y screw shaft
304
X-axis base
305
X-axis motor
306
X screw shaft
307
θ axis base
308
θ axis motor
309
θ-axis gear
31
Ring clamp
311 Ring clamp recess
312 Ring clamp guide
313 pin
314 pin
315 Ring clamp inner peripheral surface
32
Ring expand
321
Ring expanding gear
322
Ring expand convex
323
Expanding motor
324
Expanded screw shaft
40
Flat ring
401
Flat ring recess
402
Flat ring recess
405 Flat ring inner surface
41
Chip
42
Adhesive sheet
421 Adhesive sheet part with nothing attached
422 Stretched adhesive sheet
45 Grip ring
451 Outer grip ring
452 Inner grip ring
453 recess
46 Ring jig plate
461 recess
462 recess
463 Ring jig plate convex part
464 Locating pin
90 chips (conventional example)
91 Adhesive sheet (conventional example)
92 Lifting shaft (conventional example)
93 Clamp (conventional example)
94 Flat ring (conventional example)
95 Piston (conventional example)
96 buttock (conventional example)
97 Seat band (conventional example)
98 Cutter (conventional example)
h interval
Claims (2)
前記粘着シートが引き伸ばされた状態で外側グリップリングと内側グリップに止着されたグリップリングとで供給され、
前記複数個のチップに分割された基板を、検査移載等する作業機に使用される作業位置を移動するテーブル装置であって、
前記グリップリングの内周面を嵌合させて、前記フラットリングと同様の外形形状にするリング冶具板と、
前記フラットリングもしくは前記グリップリングを嵌合させたリング治具板を挿入保持して下降するリングクランプと、
下降する前記リングクランプの内面と微小な間隔をもつように径が設定されているリングエキスパンド凸部と、
前記リングクランプと前記リングエキスパンド凸部を作業位置に移動・回転させるリングテーブルと、
前記リングクランプと前記リングテーブルを制御する制御部を備え、
前記制御部は前記フラットリングを前記粘着シート引き伸ばし作業位置に移動させた際は、
前記リングエキスパンド凸部が前記粘着シートに当接して、前記リングクランプが微小な間隔で該リングエキスパンド凸部に対して下降することにより前記粘着シートを引き伸ばしながら前記フラットリングを保持固定し、
前記制御部は前記グリップリングを嵌合させたリング治具板によって前記フラットリングの外形形状と同一として保持固定位置に移動させた際は、
前記リングエキスパンド凸部と前記リングクランプが前記グリップリングの前記外側グリップリングと前記内側グリップの双方かどちらか一方に当接するようにして上下にはさむように保持固定し、
前記リングテーブルが前記基板を所定の作業位置に移動するよう制御部で制御するようにしたことを特徴とするリングテーブル装置。 A flat ring attached to the ring in a state where the substrate divided into a plurality of chips is attached to a flexible adhesive sheet attached to the ring and the adhesive sheet is not stretched;
Supplied with an outer grip ring and a grip ring fastened to the inner grip with the adhesive sheet stretched,
A table device for moving a work position used in a work machine for inspection transfer, etc., on a substrate divided into a plurality of chips,
A ring jig plate that fits the inner peripheral surface of the grip ring and has the same outer shape as the flat ring ,
A ring clamp that lowers by inserting and holding a ring jig plate fitted with the flat ring or the grip ring; and
A ring-expanded convex portion having a diameter set so as to have a minute gap with the inner surface of the ring clamp that descends;
A ring table that moves and rotates the ring clamp and the ring expanding convex portion to a working position;
A control unit for controlling the ring clamp and the ring table;
When the control unit moves the flat ring to the adhesive sheet stretching work position,
The ring expand convex portion abuts on the adhesive sheet, and the ring clamp is held and fixed while stretching the pressure sensitive adhesive sheet by descending with respect to the ring expand convex portion at a minute interval,
When the control unit is moved to the holding and fixing position as the outer shape of the flat ring by the ring jig plate fitted with the grip ring,
The ring expanding convex part and the ring clamp are held and fixed so as to be sandwiched up and down so as to contact either the outer grip ring or the inner grip of the grip ring ,
A ring table apparatus, wherein the ring table is controlled by a control unit so as to move the substrate to a predetermined working position.
2. The ring table device according to claim 1, further comprising detection means for automatically detecting whether the ring inserted and held in the ring clamp is the flat ring or the grip ring, and holding and fixing the ring ring device.
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