JP5124215B2 - レジスト組成物、該レジスト組成物に用いられる樹脂、該樹脂の合成に用いられる化合物及び該レジスト組成物を用いたパターン形成方法 - Google Patents
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Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2007239148A JP5124215B2 (ja) | 2006-09-25 | 2007-09-14 | レジスト組成物、該レジスト組成物に用いられる樹脂、該樹脂の合成に用いられる化合物及び該レジスト組成物を用いたパターン形成方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2006259549 | 2006-09-25 | ||
| JP2006259549 | 2006-09-25 | ||
| JP2007239148A JP5124215B2 (ja) | 2006-09-25 | 2007-09-14 | レジスト組成物、該レジスト組成物に用いられる樹脂、該樹脂の合成に用いられる化合物及び該レジスト組成物を用いたパターン形成方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2008107806A JP2008107806A (ja) | 2008-05-08 |
| JP2008107806A5 JP2008107806A5 (enExample) | 2010-04-02 |
| JP5124215B2 true JP5124215B2 (ja) | 2013-01-23 |
Family
ID=39441148
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2007239148A Active JP5124215B2 (ja) | 2006-09-25 | 2007-09-14 | レジスト組成物、該レジスト組成物に用いられる樹脂、該樹脂の合成に用いられる化合物及び該レジスト組成物を用いたパターン形成方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5124215B2 (enExample) |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5064759B2 (ja) * | 2006-10-19 | 2012-10-31 | 株式会社ダイセル | フォトレジスト用高分子化合物及びその製造方法 |
| WO2008053697A1 (fr) | 2006-10-31 | 2008-05-08 | Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd. | Composition à résistance positive et procédé de formation de modèle de résistance |
| JP5165227B2 (ja) | 2006-10-31 | 2013-03-21 | 東京応化工業株式会社 | 化合物および高分子化合物 |
| JP4818882B2 (ja) * | 2006-10-31 | 2011-11-16 | 東京応化工業株式会社 | ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 |
| JP4771974B2 (ja) * | 2007-02-19 | 2011-09-14 | 信越化学工業株式会社 | レジスト材料及びこれを用いたパターン形成方法 |
| JP4621754B2 (ja) | 2007-03-28 | 2011-01-26 | 富士フイルム株式会社 | ポジ型レジスト組成物およびパターン形成方法 |
| JP5277128B2 (ja) | 2008-09-26 | 2013-08-28 | 富士フイルム株式会社 | 液浸露光用ポジ型レジスト組成物及びパターン形成方法 |
| JP4666190B2 (ja) * | 2008-10-30 | 2011-04-06 | 信越化学工業株式会社 | レジスト材料及びパターン形成方法 |
| JP5282621B2 (ja) * | 2009-03-26 | 2013-09-04 | Jsr株式会社 | 感放射線性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法 |
| JP5586294B2 (ja) | 2009-03-31 | 2014-09-10 | 富士フイルム株式会社 | 感活性光線性または感放射線性樹脂組成物、及び該組成物を用いたパターン形成方法 |
| EP2280308A1 (en) * | 2009-06-08 | 2011-02-02 | Rohm and Haas Electronic Materials, L.L.C. | Processes for photolithography |
| JP5728884B2 (ja) * | 2010-10-20 | 2015-06-03 | Jsr株式会社 | 感放射線性樹脂組成物及びその製造方法 |
| JP5728883B2 (ja) * | 2010-10-20 | 2015-06-03 | Jsr株式会社 | 感放射線性樹脂組成物 |
| WO2013146532A1 (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-03 | Jsr株式会社 | 液浸露光用感放射線性樹脂組成物及びレジストパターン形成方法 |
| TWI602015B (zh) | 2012-07-18 | 2017-10-11 | 住友化學股份有限公司 | 光阻組成物及光阻圖案之產生方法 |
| JP6695147B2 (ja) * | 2015-01-07 | 2020-05-20 | 住友化学株式会社 | レジスト組成物の製造方法、レジストパターンの製造方法及び樹脂の製造方法 |
| TWI709576B (zh) * | 2016-02-23 | 2020-11-11 | 日商迪愛生股份有限公司 | 彩色阻劑組成物、濾色器及彩色阻劑組成物之製造方法 |
| WO2025205559A1 (ja) * | 2024-03-29 | 2025-10-02 | 富士フイルム株式会社 | 樹脂の製造方法、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物の製造方法、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、感活性光線性又は感放射線性膜、パターン形成方法、及び電子デバイスの製造方法 |
| WO2025205553A1 (ja) * | 2024-03-29 | 2025-10-02 | 富士フイルム株式会社 | 樹脂の製造方法、感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物、感活性光線性又は感放射線性膜、パターン形成方法、及び電子デバイスの製造方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004271630A (ja) * | 2003-03-05 | 2004-09-30 | Fuji Photo Film Co Ltd | ポジ型レジスト組成物 |
| JP2004361579A (ja) * | 2003-06-03 | 2004-12-24 | Fuji Photo Film Co Ltd | ポジ型レジスト組成物 |
| JP5114022B2 (ja) * | 2006-01-23 | 2013-01-09 | 富士フイルム株式会社 | パターン形成方法 |
| JP5114021B2 (ja) * | 2006-01-23 | 2013-01-09 | 富士フイルム株式会社 | パターン形成方法 |
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2007
- 2007-09-14 JP JP2007239148A patent/JP5124215B2/ja active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2008107806A (ja) | 2008-05-08 |
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| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20111216 |
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| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120207 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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| A521 | Request for written amendment filed |
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| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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