JP5109506B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
(第1実施形態)
図1は、第1実施形態に係る半導体装置の概略構成を示す断面図である。図2は、半導体装置のうち、MOSチップと第1の導電部材との接続部分を拡大した断面図である。図3は、半導体装置のうち、FWDチップと第2の導電部材との接続部分を拡大した断面図である。
図5は、第2実施形態に係る半導体装置のうち、MOSチップと第1の導電部材との接続部分を拡大した断面図である。図6は、第2実施形態に係る半導体装置のうち、FWDチップと第2の導電部材との接続部分を拡大した断面図である。なお、第1実施形態に示した構成要素と同一の要素には、同一の符号を付与するものとする。
図7は、第3実施形態に係る半導体装置のうち、MOSチップと第1の導電部材との接続部分を拡大した断面図である。図8は、第3実施形態に係る半導体装置のうち、FWDチップと第2の導電部材との接続部分を拡大した断面図である。なお、第1実施形態又は第2実施形態に示した構成要素と同一の要素には、同一の符号を付与するものとする。
100・・・半導体装置
110・・・MOSチップ
116・・・ソース電極
130・・・FWDチップ
133・・・アノード電極
150・・・第1の導電部材
151・・・ブロッキングダイオード
154・・・アノード電極
170・・・第2の導電部材
171・・・n+半導体層
190・・・第1のヒートシンク
210・・・第2のヒートシンク
Claims (2)
- 第1の半導体基板に、回路のスイッチングを行うスイッチング素子としてMOSFETが構成されたMOSチップと、
第2の半導体基板に、前記スイッチング素子に対する還流ダイオードとしてショットキーバリアダイオードが構成されたFWDチップと、
導電材料からなり、前記MOSチップの素子形成面に、第1の接合部材を介して電気的に接続された第1の導電部材と、
導電材料からなり、前記FWDチップのアノード電極形成面に、第2の接合部材を介して電気的に接続された第2の導電部材と、
導電材料からなり、前記第1の導電部材における前記MOSチップとの接合面の裏面と、前記第2の導電部材における前記FWDチップとの接合面の裏面とに、第3の接合部材を介して電気的に接続された第1のヒートシンクと、
導電材料からなり、前記MOSチップにおける前記第1の導電部材との接合面の裏面と、前記FWDチップにおける前記第2の導電部材との接合面の裏面とに、第4の接合部材を介して電気的に接続された第2のヒートシンクと、
前記MOSチップ、前記FWDチップ、前記第1の導電部材、前記第2の導電部材、前記第1のヒートシンクにおける前記第1の導電部材及び前記第2の導電部材との接合面、及び前記第2のヒートシンクにおける前記MOSチップ及び前記FWDチップとの接合面を封止する封止部材と、を有する半導体装置であって、
前記MOSチップは、前記第1の半導体基板としてのSiC基板にMOSFETが構成され、
前記第1の導電部材は、前記MOSチップとの接合面を含む少なくとも一部として第1の半導体領域を有し、前記MOSFETにドレイン電流とは逆向きの電流が流れるのを抑制するブロッキングダイオードが前記第1の半導体領域に構成され、
前記ブロッキングダイオードは、ショットキーバリアダイオードであり、
前記第1の半導体領域が、前記第1の半導体基板と同一材料からなり、
前記MOSチップと前記第1の導電部材の積層方向において、前記第1の半導体領域の厚さが、0.01mm以上0.1mm以下とされ、
前記第1の導電部材が、前記第1の半導体領域に積層された金属層を有し、
前記還流ダイオードとしてのショットキーバリアダイオードと、前記ブロッキングダイオードとしてのショットキーバリアダイオードとは、前記第2の半導体基板と前記第1の半導体領域が同一材料からなり、前記第1の半導体領域の方が前記第2の半導体基板よりも不純物濃度が高くされ、
前記FWDチップは、前記第2の半導体基板としてのSiC基板にショットキーバリアダイオードが構成され、
前記第2の導電部材は、前記FWDチップとの接合面を含む少なくとも一部として、前記第2の半導体基板と同一材料からなり、前記第2の半導体基板よりも不純物濃度が高くされた第2の半導体領域を有することを特徴とする半導体装置。 - 前記FWDチップと前記第2の導電部材の積層方向において、前記第2の導電部材が、前記第2の半導体領域に積層された金属層を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
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