JP5105451B2 - ダイヤフラムバルブ - Google Patents

Description

本発明は、ダイヤフラムバルブに関し、特に、応答性能を向上させたダイヤフラムバルブに関するものである。

一般に、ダイヤフラムバルブは、ダイヤフラムにかかる背圧を抜くことによって弁体を弁座から離間させ、弁座と弁体の間隙を気体が通過するようにしており、その構造には様々な種類がある。
その一例として、図８〜図９に示すダイヤフラムバルブ１０は、所謂フルボディタイプのダイヤフラムバルブで、内部を圧力空気室１５ａとした本体１５と、内部を弁室１６ａとした蓋部材１６とからなり、本体１５と蓋部材１６との接合部に配設したダイヤフラム１３を介して弁体２４を取り付けるようにしている。
本体１５には、インテークポート２１とアウターポート２２とを開口し、インテークポート２１を気体供給源（図示省略）に接続するようにしている。
そして、常時は、弁体２４は、ばね１４による付勢力と、排気弁１８が閉鎖されていることによる弁室１６ａの圧力（ダイヤフラム１３にかかる背圧）との作用によって、弁座２３に押圧され、インテークポート２１とアウターポート２２との連通は遮断され、気体供給源の圧力気体（以下、「圧力空気」という。）を遮断するようにしている（図８参照）。

ところで、ダイヤフラムバルブ１０を開動作する場合は、排気弁１８を開くことによって排気ポート１７を開放し、弁室１６ａの圧力（ダイヤフラム１３にかかる背圧）を抜くことにより、ダイヤフラム１３を引き上げるようにする（図９参照）。
また、ダイヤフラムバルブ１０を閉動作する場合は、排気弁１８を閉じることによって排気ポート１７を閉鎖するとともに、ダイヤフラム１３に形成したブリードホールＢを介して圧力空気室１５ａ側の圧力空気を弁室１６ａに導入することにより、弁室１６ａを圧力空気室１５ａと等圧にし、ばね１４の付勢力でダイヤフラム１３を押し下げるようにしている。

そして、このダイヤフラムバルブ１０は、例えば、集塵機のフィルタの外表面に付着したダストを払い落とすために設けられる圧力空気供給用のバルブ等、種々の用途に用いられている。

一方、焼却炉や電気炉等から排出する排ガス中に含まれるダストを捕集するために、集塵機が広く採用されており、フィルタの外表面にダストが多量に付着し、通気抵抗（圧損）が所定値以上に上昇したとき、又は一定時間経過後に、ダストを払い落とすべく条件を選定してフィルタ内に圧力空気を噴出し、フィルタの外表面に付着したダストを払い落とすようにしている。

より具体的には、フィルタの外表面に付着したダストを払い落とすようにする集塵機Ｓ’は、図１０に示すように、筐体２の内部を区画壁３により上下に区画し、下部を含塵空気導入室４、上部を浄化空気室５とし、含塵空気導入室４を塵埃発生源（図示省略）に接続し、浄化空気室５を吸引装置Ｆに接続するようになされている（例えば、特許文献１参照）。
そして、区画壁３には、多数の有底筒状のフィルタ７を垂下して取り付け、各フィルタ７には、上方に洗浄空気供給用の洗浄空気供給管８を配備し、この洗浄空気供給管８に圧力空気噴出ノズル６をフィルタ７の開口部に臨ませて取り付けるようにしている。
この洗浄空気供給管８は、ダイヤフラムバルブ１０のアウターポート２２と接続されており、常時は、ダイヤフラムバルブ１０のインテークポート２１と連なる圧力空気供給管９とは遮断された状態で接続されている。

これにより、常時は、筐体２の浄化空気室５の下流側に接続した吸引装置Ｆの吸引力によりダスト発生源からのダストを含んだ空気は含塵空気導入室４に導かれ、ダストがフィルタ７で濾過され、浄化後の空気が浄化空気室５を介して排出される。
そして、フィルタ７の外表面にダストが付着し、通気抵抗が所定値に到達したとき、又は一定時間経過後に定期的に、排気弁１８を開放することによって排気ポート１７を介して弁室１６ａの圧力を抜くことにより、ダイヤフラムバルブ１０を短時間に開動作させ、圧力空気供給管９内の圧力空気を瞬時に洗浄空気供給管８に流出させ、洗浄空気供給管８に配設した圧力空気噴出ノズル６から洗浄空気をフィルタ７内に噴出させ、フィルタ７の外表面に付着したダストを払い落とすようにしている。

特開２００７−１７５６３５号公報

ところで、上記従来のダイヤフラムバルブ１０において、ダイヤフラムバルブ１０の開動作を速くするためには、ブリードホールＢをなくすか、できるだけ小さくする方がよい。
このように、ブリードホールＢをなくすか、できるだけ小さくしたダイヤフラムの場合、圧力空気室１５ａ側の圧力空気がブリードホールＢを介して弁室１６ａに導入されない（導入されにくくなる）ため、排気弁１８を開いた際の圧力空気室１５ａと弁室１６ａとの圧力差の発生速度が最も速くなり、かつ、圧力空気室１５ａと弁室１６ａとの圧力差が維持され、ダイヤフラムバルブ１０の開動作を速くするためには最良の状態となる。
しかし、逆にダイヤフラムバルブ１０の閉動作のときには、排気弁１８を閉じても、ダイヤフラム１３にかかる背圧（弁室１６ａの圧力）が所定の手段を講じるまでは上昇しない（上昇しにくい）ため、圧力空気室１５ａと弁室１６ａの圧力が均衡して弁体２４が閉じるまでに時間を要し、この間、吐出される圧力空気が無駄に使われることになる。
また、圧力空気源の空気が消費されてしまって、次のダストの払い落としの動作を継続して行うことができなくなるおそれもある。
逆に、ブリードホールを大きくすれば、閉動作が速くなる反面、圧力空気室１５ａ側の圧力空気がブリードホールを介して弁室１６ａに入りやすくなるため、排気弁１８を開いた際の圧力空気室１５ａと弁室１６ａの圧力差が維持されにくくなる分、ダイヤフラムバルブ１０の開動作の速度が低下する。
このため、このようなダイヤフラムバルブ１０を用いた集塵機Ｓ’では、ダストの払い落とし効果が低下するという問題があった。

そこで、従来のダイヤフラムバルブ１０では、ブリードホールの孔径をできるだけ小さくし、開動作を速くするとともに、圧力空気室１５ａと弁室１６ａの圧力ができるだけ早く均衡するような最適の孔数や孔寸法を実験等を行うことによって導出し、設定するようにしている。
しかしながら、両方が最適な寸法とはならず、やむを得ずどちらかに偏ることになるという問題を有している。

本発明は、上記従来のダイヤフラムバルブ及び集塵機が有する問題点に鑑み、ダイヤフラムバルブが閉鎖しているときはブリードホールを閉鎖状態にし、ダイヤフラムバルブが開放しているときはブリードホールを開放状態にすることによってダイヤフラムバルブの開閉動作を速くするようにしたダイヤフラムバルブを、ダイヤフラムにかかる背圧を抜くための排気弁に配設することによって、ダイヤフラムバルブの開閉動作の高速化を図ることを第１の目的とする。
また、本発明は、フィルタの外表面に付着したダストを払い落とすために設けられる圧力空気供給用のバルブに前記ダイヤフラムバルブを用いてダストの払い落としの際の衝撃力をより強くし、払い落とし効率を向上させ、圧力空気の削減を図ることができる集塵機のフィルタの外表面に付着したダストを払い落とすために設けられる圧力空気供給用のバルブを提供することを第２の目的とする。

上記目的を達成するため、本発明のダイヤフラムバルブは、集塵機のフィルタの外表面に付着したダストを払い落とすために設けられる圧力空気供給用のバルブに用いられる、ブリードホールを形成したダイヤフラムにかかる背圧を抜くための排気弁を配設し、該ダイヤフラムにかかる背圧を抜くことによって弁体を弁座から離間させるようにしたダイヤフラムバルブであって、前記ダイヤフラムの変位によって、弁体が弁座に着座しているときはブリードホールを閉鎖状態にし、弁体が弁座から離間しているときはブリードホールを開放状態にする、ブリードホール開閉手段を備え、かつ、前記排気弁に、ブリードホールを形成したダイヤフラムにかかる背圧を抜くことによって弁体を弁座から離間させるようにするとともに、ダイヤフラムの変位によって、弁体が弁座に着座しているときはブリードホールを閉鎖状態にし、弁体が弁座から離間しているときはブリードホールを開放状態にする、ブリードホール開閉手段を備えたダイヤフラムバルブを用いたことを特徴とする。

この場合において、前記圧力空気供給用のバルブに用いられるダイヤフラムバルブ及び前記排気弁に用いたダイヤフラムバルブのそれぞれのダイヤフラムの背面に配設した弁押さえの表面にダイヤフラムが当接することによってブリードホールを閉鎖状態にし、弁押さえの表面からダイヤフラムが離間することによってブリードホールを開放状態にするようにすることができる。

また、前記圧力空気供給用のバルブに用いられるダイヤフラムバルブ及び前記排気弁に用いたダイヤフラムバルブのそれぞれのダイヤフラムに常時開放状態の副ブリードホールを形成することができる。

本発明のダイヤフラムバルブによれば、ダイヤフラムバルブが開動作を始めるときはブリードホールが閉鎖状態にされているため弁体の弁座からの離間は速く、ダイヤフラムバルブが閉動作を始めるときはブリードホールが開放状態にされているため閉動作も速い応答性能の優れたダイヤフラムバルブを排気弁に用いて、ダイヤフラムバルブの開閉動作の高速化を図ることができる。これにより、所謂ダブルダイヤフラムバルブにおいて、さらに開閉動作の高速化を図ることができる。

また、前記圧力空気供給用のバルブに用いられるダイヤフラムバルブ及び前記排気弁に用いたダイヤフラムバルブのそれぞれのダイヤフラムの背面に配設した弁押さえの表面にダイヤフラムが当接することによってブリードホールを閉鎖状態にし、弁押さえの表面からダイヤフラムが離間することによってブリードホールを開放状態にするようにすることにより、ブリードホール開閉手段として、ブリードホールを閉鎖状態にする部材を別途用意することなく弁押さえの形状を変更するだけで開閉動作の速いダイヤフラムバルブとすることができる。

また、前記圧力空気供給用のバルブに用いられるダイヤフラムバルブ及び前記排気弁に用いたダイヤフラムバルブのそれぞれのダイヤフラムに常時開放状態の副ブリードホールを形成するときは、副ブリードホールの孔径を、開閉されるブリードホールの孔径よりも小さくすることにより、ダイヤフラムバルブの開動作を遅くすることなく、閉動作をさらに速くすることができ、圧力空気の消費を抑えることができる。
さらに、副ブリードホールを設けることによって、ダイヤフラムバルブが閉弁状態において、ブリードホールが完全に閉鎖状態にされた状態で排気弁からのリークによってダイヤフラムにかかる背圧が低下して生じるダイヤフラムバルブの誤動作を防止することができる。

そして、集塵機のフィルタの外表面に付着したダストを払い落とすために設けられる圧力空気供給用のバルブに、前記記載のいずれかのダイヤフラムバルブを用いることにより、開弁速度が速く、クリーニング性能が優れているとともに、閉弁速度も速く、ダイヤフラムを瞬時に閉じ位置に復帰させて弁体を閉じ、低圧損で圧力空気の無駄な使用をなくし、エネルギの消費量を低減した省エネ運転をすることができる集塵機を提供することできる。

ダイヤフラムバルブの閉弁状態の断面図である。 同ダイヤフラムバルブを示す開弁状態の断面図である。 同ダイヤフラムバルブの動作を示す拡大断面図で、（ａ）は閉弁状態、（ｂ）は開弁状態、（ｃ）はダイヤフラムの配設角度より当接面の傾斜角度を小さくした例を示す。 閉鎖手段の別の例を示し、（ａ）はダイヤフラムの弁体側に取り付けた開閉部材によりブリードホールを閉鎖状態にしているとことを、（ｂ）はブリードホールを閉鎖状態にしているところを、（ｃ）は圧力空気室内に取り付けた開閉部材によりブリードホールを閉鎖状態にしているところを、（ｄ）はブリードホールを開放状態にしているところを示す。 ダイヤフラムバルブの開閉速度を示すグラフで、（ａ）は本例のダイヤフラムバルブを、（ｂ）は従来のダイヤフラムバルブを示す。 本発明のダイヤフラムバルブの一実施例を示し、（ａ）は全体断面図、（ｂ）は排気弁としてのダイヤフラムバルブの拡大断面図である。 同ダイヤフラムバルブを使用した集塵機の断面図である。 従来のダイヤフラムバルブの閉弁状態を示す断面図である。 同ダイヤフラムバルブの開弁状態を示す断面図である。 同ダイヤフラムバルブを使用した集塵機の断面図である。

以下、本発明のダイヤフラムバルブの実施の形態を、図面に基づいて説明する。

図１〜図５に基づいて、本発明のダイヤフラムバルブの原理を説明する。
このダイヤフラムバルブ１は、ブリードホールＢを形成したダイヤフラム１３にかかる背圧を抜くことによって弁体２４を弁座２３から離間させるように構成するとともに、ダイヤフラム１３の変位によって、弁体２４が弁座２３に着座しているときはブリードホールＢを閉鎖状態にし、弁体２４が弁座２３から離間しているときはブリードホールＢを開放状態にする、ブリードホール開閉手段を備えるようにしている。

本例では、ダイヤフラムバルブの構成として、図１〜図２に示す、所謂フルボディタイプのダイヤフラムバルブを用いて説明するが、これに限られることはなく、例えば、図６に示すように、ヘッダタンクＴに直接取り付ける、ヘッダタンク取付式ダイヤフラムバルブとすることもできる。

ブリードホールＢを開閉する手段は、弁体２４が弁座２３に着座しているときはブリードホールＢを閉鎖状態にし、弁体２４が弁座２３から離間したときは開放状態にするような機構であれば、特に限定されるものではないが、図３に示すように、弁体２４が弁座２３に着座しているとき、ダイヤフラム１３の背面に配設した弁押さえ２５の表面にダイヤフラム１３が当接することによって、ダイヤフラム１３に形成したブリードホールＢを閉鎖状態にするような構造のものが特に好適である。

この場合、弁押さえ２５のダイヤフラム１３との当接面２５ａの傾斜角度βを、弁体２４が弁座２３に着座しているときのダイヤフラム１３の配設角度α１に対して、α１≧βとなるように形成し、弁体２４が弁座２３から離間したとき、ダイヤフラム１３の配設角度がα２（α１＞α２）に変位することによってブリードホールＢが開放状態にするようにしている。
また、当接面２５ａの傾斜角度βを、図３（ｃ）に示すように、ダイヤフラム１３の配設角度α１より小さくする（ただし、α２よりは大きくする）ことによって、弁体２４が弁座２３から離間を開始してもすぐにブリードホールＢが閉鎖状態にされることなく、傾斜角度βによってブリードホールＢを開放状態にするタイミングを調整することができる。

また、図４（ａ）〜（ｂ）に示すように、弁押さえ２５とは別にダイヤフラム１３の弁体２４側に配設した開閉部材２６を用いたり、図４（ｃ）〜（ｄ）に示すように、本体１５の圧力空気室１５ａ内に配設した開閉部材２７を用いてブリードホールＢを開閉するようにすることもできる。

なお、弁体２４は、図１〜図４に示すように、弁押さえ２５及びダイヤフラム１３とは別体で構成するほか、ダイヤフラム１３の表面を弁体として弁座２３と当接するようにしても構わない。

また、ダイヤフラム１３には、常時開放状態の副ブリードホールＢ’を形成することができ、これにより、ダイヤフラムバルブ１０の閉動作の一層の高速化を図り、供給する圧力空気の消費量を低減することができる。

副ブリードホールＢ’は、閉動作の一層の高速化を図ることができる反面、開動作の速度を遅くする要因となるため、その孔径をブリードホールＢの孔径よりも小さく形成するようにする。
なお、開動作の速度に重点をおく場合やダイヤフラムバルブ１が閉弁状態において、ブリードホールが完全に閉鎖状態にされた状態で排気弁からのリークによってダイヤフラム１３にかかる背圧が低下することがない場合等には、形成する必要はない。

上記構成において、インテークポート２１に接続される気体供給源（図示省略）の気体をアウターポート２２側に供給するときは、排気ポート１７に接続される排気弁を開いて排気ポート１７を開放し、弁室１６ａの圧力（ダイヤフラム１３にかかる背圧）を抜くことにより、ダイヤフラム１３を引き上げる。

このとき、ブリードホールＢは、弁押さえ２５の当接面２５ａによって閉鎖状態にされているため、圧力空気室１５ａ側の圧力空気がブリードホールＢを介して弁室１６ａに導入されず、ダイヤフラム１３にかかる背圧を抜いた瞬間の圧力空気室１５ａと弁室１６ａの圧力差が維持され、ダイヤフラムバルブ１０の開動作は極めて速いものとなる。

そして、インテークポート２１側からアウターポート２２側への気体の供給を停止するときは、排気ポート１７に接続される排気弁を閉じる。
このとき、ブリードホールＢは開放状態にされているから、弁室１６ａの圧力（ダイヤフラム１３にかかる背圧）が圧力空気室１５ａの圧力と瞬時に均衡し、ばね１４の付勢力で弁体２４を押し下げ、ダイヤフラムバルブ１を閉鎖状態にすることができる。

図５のグラフは、本例のダイヤフラムバルブ１及び従来のダイヤフラムバルブ１０の弁の開閉時間とアウターポート２２の圧力の関係を示す。
図５（ａ）に示すとおり、本例のダイヤフラムバルブ１では、排気弁を開放してからアウターポート２２側の圧力が最大圧力Ｐになる開弁時間Ｔ１及び排気弁を閉鎖してからアウターポート２２側の圧力が大気圧となる閉弁時間Ｔ２が共に、図５（ｂ）に示す従来のダイヤフラムバルブ１０の排気弁を開放してからアウターポート側の圧力が最大圧力Ｐ’になる開弁時間Ｔ１’及び排気弁を閉鎖してからアウターポート２２側の圧力が大気圧となる閉弁時間Ｔ２’の約１／３となった。
また、開弁時間Ｔ１が短縮されることによって、最大圧力Ｐは、従来のダイヤフラムバルブ１０の最大圧力Ｐ’に比べて上昇し、特に、集塵機のフィルタの外表面に付着したダストを払い落とすために設けられる圧力空気供給用のバルブとして利用する際の払い落とし効果が向上することとなる。

図６に、本発明のダイヤフラムバルブの一実施例を示す。

このダイヤフラムバルブ１ａは、図６に示すように、ダイヤフラム１３にかかる背圧を抜くために配設する排気弁に、上記の例に記載のダイヤフラムバルブと同様の構造をしたダイヤフラムバルブ３０を用いるようにしている。

そして、排気弁として用いるダイヤフラムバルブ３０は、上記ダイヤフラムバルブ１と同様に、ブリードホールＢを形成したダイヤフラム３１にかかる背圧を抜くことによって弁体３２を弁座３３から離間させるように構成し、弁体３２が弁座３３に着座しているときはブリードホールＢを閉鎖状態にし、弁体３２が弁座３３から離間したときはダイヤフラム３１の変位によってブリードホールＢを閉鎖状態にするブリードホール開閉手段を備えるようにしている。

ダイヤフラムバルブ１ａにかかる背圧を抜くための背圧弁をダイヤフラムバルブ３０とする場合、ダイヤフラムバルブ３０は、主となるダイヤフラムバルブ１ａと比べ小型となるため、弁体３２は、図６（ａ）〜（ｂ）に示すように、ダイヤフラム３１の表面が弁体として機能するように構成されている例を示すが、上記の例と同様に、別体の弁体を設けるようにしても構わない。

そして、ブリードホールＢを開閉する手段は、主となるダイヤフラムバルブ１ａと同様に、図６（ｂ）に示すように、弁体３２が弁座３３に着座しているとき、ダイヤフラム３１の背面に配設した弁押さえ３４の表面にダイヤフラム３１が当接することによって、ダイヤフラム３１に形成したブリードホールＢを閉鎖状態にする構造のものが特に好適である。

これによって、ダイヤフラムバルブ１ａの開閉速度をさらに向上することができる。

図７に、集塵機の一例を示す。

この集塵機Ｓは、集塵機のフィルタ７の外表面に付着したダストを払い落とすために設けられる圧力空気供給用のバルブに、上記実施例に記載のダイヤフラムバルブを用いたもので、その基本構造は、図１０に示す従来と同様の集塵機Ｓ’と同様であり、ダイヤフラムバルブ１のアウターポート２２を集塵機Ｓの洗浄空気供給管８の開口端に配設した接続管８ａを介して取り付け、インテークポート２１を圧力空気供給管９と接続管９ａを介して取り付けることによって、圧力空気供給管９と洗浄空気供給管８とを断続的に連通させるものである。

また、この集塵機Ｓの圧力空気の供給源をヘッダタンクＴとし、ヘッダタンク取付式のダイヤフラムバルブを使用することもできる。

ここで、上記実施例のダイヤフラムバルブ１ａを用いるときは、弁室１６ａの圧力を抜く排気弁としてダイヤフラムバルブ３０を使用し、排気弁１８はダイヤフラムバルブ３０の圧力を抜くための排気弁となる。

上記構成において、常時は、筐体２の浄化空気室５の下流側に接続した吸引装置Ｆの吸引力によりダスト発生源からのダストを含んだ空気は含塵空気導入室４に導かれ、ダストがフィルタ７で濾過され、浄化後の空気が浄化空気室５を介して排出される。
次いで、フィルタ７の外表面にダストが付着し、通気抵抗が所定値に到達したとき、又は一定時間経過後に定期的に、排気弁１８を開放することによって排気ポート１７を介して弁室１６ａの圧力を抜き、ダイヤフラムバルブ１を開放する。

この際、ダイヤフラムバルブ１のブリードホールＢは、弁押さえ２５の当接面２５ａによって閉鎖状態にされているため圧力空気室１５ａ側の圧力空気がブリードホールＢを介して弁室１６ａに導入されないため、ダイヤフラム１３にかかる背圧を抜いた瞬間の圧力空気室１５ａと弁室１６ａの圧力差が維持され、ダイヤフラムバルブ１の開動作は極めて速く圧力空気供給管９内の圧力空気を瞬時に洗浄空気供給管８に流出させることができる。
そして、洗浄空気供給管８に配設した圧力空気噴出ノズル６から洗浄空気をフィルタ７内に噴出させ、フィルタ７の外表面に付着したダストを払い落とす。

次いで、所定時間（図５に示す、時間Ｔ３）経過後、排気ポート１７に接続される排気弁１８を閉じる。
このとき、ダイヤフラムバルブ１のブリードホールＢは閉鎖状態にされているから、弁室１６ａの圧力（ダイヤフラム１３にかかる背圧）が圧力空気室１５ａの圧力と瞬時に均衡し、ばね１４の作用で弁体２４を押し下げ、ダイヤフラムバルブ１を閉鎖状態にすることができ、供給する圧力空気を大幅に低減することができる。

以上、本発明のダイヤフラムバルブについて、その実施例に基づいて説明したが、本発明は上記実施例に記載した構成に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において適宜その構成を変更することができるものである。

本発明のダイヤフラムバルブは、ダイヤフラムバルブが閉鎖しているときはブリードホールを閉鎖状態にし、ダイヤフラムバルブが開放しているときはブリードホールを閉鎖状態にすることができるという特性を有していることから、ダイヤフラムバルブの開動作のみならず閉動作も速いダイヤフラムバルブを排気弁に用いて、ダイヤフラムバルブの開閉動作の高速化を図ることができ、特に、集塵機のフィルタの外表面に付着したダストを払い落とすために設けられる圧力空気供給用のバルブの用途に好適に用いることができる。

１ ダイヤフラムバルブ
１ａ ダイヤフラムバルブ
１３ ダイヤフラム
２３ 弁座
２４ 弁体
２５ 弁押さえ
３０ ダイヤフラムバルブ
３１ ダイヤフラム
３２ 弁体
３３ 弁座
Ｂ ブリードホール
Ｂ’ 副ブリードホール
Ｓ 集塵機

Claims (3)

1. 集塵機のフィルタの外表面に付着したダストを払い落とすために設けられる圧力空気供給用のバルブに用いられる、ブリードホールを形成したダイヤフラムにかかる背圧を抜くための排気弁を配設し、該ダイヤフラムにかかる背圧を抜くことによって弁体を弁座から離間させるようにしたダイヤフラムバルブであって、前記ダイヤフラムの変位によって、弁体が弁座に着座しているときはブリードホールを閉鎖状態にし、弁体が弁座から離間しているときはブリードホールを開放状態にする、ブリードホール開閉手段を備え、かつ、前記排気弁に、ブリードホールを形成したダイヤフラムにかかる背圧を抜くことによって弁体を弁座から離間させるようにするとともに、ダイヤフラムの変位によって、弁体が弁座に着座しているときはブリードホールを閉鎖状態にし、弁体が弁座から離間しているときはブリードホールを開放状態にする、ブリードホール開閉手段を備えたダイヤフラムバルブを用いたことを特徴とするダイヤフラムバルブ。
2. 前記圧力空気供給用のバルブに用いられるダイヤフラムバルブ及び前記排気弁に用いたダイヤフラムバルブのそれぞれのダイヤフラムの背面に配設した弁押さえの表面にダイヤフラムが当接することによってブリードホールを閉鎖状態にし、弁押さえの表面からダイヤフラムが離間することによってブリードホールを開放状態にするようにしたことを特徴とする請求項１記載のダイヤフラムバルブ。
3. 前記圧力空気供給用のバルブに用いられるダイヤフラムバルブ及び前記排気弁に用いたダイヤフラムバルブのそれぞれのダイヤフラムに常時開放状態の副ブリードホールを形成したことを特徴とする請求項１又は２記載のダイヤフラムバルブ。

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