JP5103890B2

JP5103890B2 - モータの製造方法、および、該方法で製造されたモータを備える記録ディスク駆動装置

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Publication number: JP5103890B2
Application number: JP2006339695A
Authority: JP
Inventors: 佳樹岡山; 勝俊 ▲濱▼田
Original assignee: Nidec Corp
Current assignee: Nidec America Corp
Priority date: 2006-12-18
Filing date: 2006-12-18
Publication date: 2012-12-19
Anticipated expiration: 2026-12-18
Also published as: JP2008152858A

Description

本発明は、記録ディスク駆動装置にて記録ディスクの回転に使用される電動式のモータに係るモータの製造方法に関する。

従来、ハードディスク装置と呼ばれる記録ディスク駆動装置は、記録ディスクを回転駆動するスピンドルモータ（以下、「モータ」という。）を備えており、当該記録ディスクはモータのロータハブに取り付けられる。ロータハブは、所定の回転軸を中心とする軸受機構を介してベース部に対して回転可能に支持されており、このような軸受機構の１つとして、ロータハブに固定されたシャフトと、ベース部に固定されるとともにシャフトが挿入されるスリーブ部との間における潤滑油の動圧を利用した軸受機構（いわゆる、流体動圧軸受）が利用されている。

記録ディスク駆動装置では、ロータハブと共に回転する記録ディスクにヘッドが近接した状態でアクセスすることにより、記録ディスクに対する情報の書き込みおよび読み出しが行われる。したがって、回転軸に垂直な所定の面から記録ディスクがずれた状態で回転すると、記録ディスクに対するヘッドのアクセス不良により、情報の読み書きに影響が生じることがある。

このような面振れによるアクセス不良は、例えば、スリーブ部がベース部に対して傾いて固定されている場合等、ロータハブのディスク載置部がベース部に対して平行でない場合に生じる。そこで特許文献１では、ディスク駆動装置のモータが取り付けられた固定フレームにおいて、モータ取付部の一部に対してモータとは反対側からレーザ光を照射して、固定フレームのレーザ光の照射位置の近傍の部位をレーザ光の照射側に反り返らせることにより、モータの取り付けに起因するロータハブの固定フレームに対する傾斜を修正してディスク載置部の固定フレームに対する平行度を向上する技術が開示されている。

特開２００２−３７３４８５号公報

近年、モータの小型化に伴い、ベース部の薄型化および強度確保、並びに、切削加工コスト削減の観点から、ベース部をプレス加工により製造することが行われている。しかしながら、プレス加工は切削加工に比べて加工精度の向上に限界があるため、切削加工による製造時よりも上記相対位置のずれが生じる可能性が高くなって、歩留まりが低下してしまう恐れがある。さらに、垂直磁化記録方式の磁気ディスク装置など、大容量の記録ディスク駆動装置においては、磁気ディスクとヘッドが非常に近接した状態でアクセスすることになるため、各部材が高精度に製造・取付される必要がある。

上記課題に鑑みて、本発明は、レーザビームを照射してモータ部材の一部を変位させる変位量を高精度に調節することにより、高精度にモータ部品を組み立てる方法を提供し、高品質のモータおよびディスク駆動装置を提供することを目的としている。

請求項１に記載の発明は、ステータ部を直接的または間接的に支持するベース部と、記録ディスクをディスク載置面上に保持し、軸受部材を介して、中心軸を中心としてステータ部に対して相対的に回転可能に支持されるロータ部とを有する、記録ディスク駆動装置にて記録ディスクの回転駆動に使用される電動式のモータ、の製造方法であって、前記ベース部は、所定の回転軸を中心として回転移動することにより前記記録ディスクに対して進退するヘッドアセンブリが取り付けられるヘッドアセンブリ取付部と、前記ヘッドアセンブリを前記記録ディスクに対して案内するランプが取り付けられるランプ取付部と、を備え、前記ステータ部および前記ロータ部が取り付けられた前記ベース部の一部である照射領域に、出力が略一定に保たれた集束エネルギービームを照射し、該照射領域およびその周辺を局部的に変形させることにより、前記集束エネルギービームが照射された方向へと前記ベース部を変位させることにより、前記ベース部と前記ロータ部との相対的な傾きを修正する照射工程を含み、前記照射工程の前に、前記ベース部の所定の部位を変位部位として決定する判定工程を含み、前記照射領域は、前記中心軸を中心とする半径方向にて前記中心軸よりも外側かつ前記変位部位よりも内側に位置するとともに、前記中心軸と前記変位部位を結ぶ直線に交差し、前記集束エネルギービームが照射される前記照射領域を変化させることで、前記ベース部の変位量が調節されることを特徴とする

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のモータの製造方法であって、前記集束エネルギービームが照射される前記照射領域は、前記中心軸と、前記変位部位とを結ぶ直線を対称軸として略線対称であることを特徴とする

請求項３に記載の発明は、ステータ部を直接的または間接的に支持するベース部と、記録ディスクをディスク載置面上に保持し、軸受部材を介して、ステータ部に対して中心軸を中心として相対的に回転可能に支持されるロータ部とを有する、記録ディスク駆動装置にて記録ディスクの回転駆動に使用される電動式のモータ、の製造方法であって、前記ベース部は、所定の回転軸を中心として回転移動することにより前記記録ディスクに対して進退するヘッドアセンブリが取り付けられるヘッドアセンブリ取付部と、前記ヘッドアセンブリを前記記録ディスクに対して案内するランプが取り付けられるランプ取付部と、を備え、前記ベース部の部位を、変位部位として決定する判定工程と、前記ステータ部および前記ロータ部が取り付けられた前記ベース部の一部である照射領域に、出力が略一定に保たれた集束エネルギービームを照射し、前記集束エネルギービームが照射されることにより前記ベース部を変位させる照射工程を含み、前記照射領域は、前記中心軸を中心とする半径方向にて前記中心軸よりも外側かつ前記変位部位よりも内側に位置するとともに、前記中心軸と前記変位部位を結ぶ直線に交差し、前記集束エネルギービームが照射される前記照射領域は、前記変位部位と前記中心軸とを結ぶ直線を対称軸として略線対称であることを特徴とする

請求項４に記載の発明は、ステータ部を直接的または間接的に支持するベース部と、記録ディスクをディスク載置面上に保持し、軸受部材を介して、ステータ部に対して中心軸を中心として相対的に回転可能に支持されるロータ部とを有する、記録ディスク駆動装置にて記録ディスクの回転駆動に使用される電動式のモータ、の製造方法であって、前記ベース部は、所定の回転軸を中心として回転移動することにより前記記録ディスクに対して進退するヘッドアセンブリが取り付けられるヘッドアセンブリ取付部と、前記ヘッドアセンブリを前記記録ディスクに対して案内するランプが取り付けられるランプ取付部と、を備え、前記ベース部の部位を、変位部位として決定する判定工程と、前記ステータ部および前記ロータ部が取り付けられた前記ベース部の一部である照射領域に、出力が略一定に保たれた集束エネルギービームを照射し、前記集束エネルギービームが照射されることにより前記ベース部を変位させる照射工程を含み、前記照射領域は、前記中心軸を中心とする半径方向にて前記中心軸よりも外側かつ前記変位部位よりも内側に位置するとともに、前記中心軸と前記変位部位を結ぶ直線に交差し、前記集束エネルギービームは、前記照射領域が、前記変位部位に対応する点と前記中心軸とを結ぶ直線を対称軸として略線対称な形状になる様に、照射制御されることを特徴とする

請求項５に記載の発明は、請求項１乃至４のいずれかに記載のモータの製造方法であって、前記照射領域は中心軸を中心とする円弧形状であることを特徴とする。

請求項６に記載の発明は、請求項５に記載のモータの製造方法であって、前記照射領域の形状である前記円弧形状の円弧角度を変化させることにより、前記ベース部が変位する変位量を調節することを特徴とする。

請求項７に記載の発明は、請求項１乃至４のいずれかに記載のモータの製造方法であって、前記照射領域は直線状の形状であることを特徴とする。

請求項８に記載の発明は、請求項７に記載のモータの製造方法であって、前記照射領域の長さを変化させることにより、前記ベース部が変位する変位量を調節することを特徴とする。

請求項９に記載の発明は、請求項１乃至８のいずれかに記載のモータの製造方法であって、前記照射領域は複数の微小領域が配列されて構成されていることを特徴とする。

請求項１０に記載の発明は、請求項１乃至９のいずれかに記載のモータの製造方法であって、前記ベース部には複数の前記照射領域が設けられることを特徴する。

請求項１１に記載の発明は、請求項１０に記載のモータの製造方法であって、複数の前記照射領域が、前記中心軸を中心とする円における半径方向に離間して配置されることを特徴とする。

請求項１２に記載の発明は、請求項１１に記載のモータの製造方法であって、複数の前記照射領域が、前記中心軸を中心とする円における周方向に離間して配置されることを特徴とする。

請求項１３に記載の発明は、請求項２乃至１２のいずれかに記載のモータの製造方法であって、前記ロータ部と、前記ベース部との相対的な傾きを測定し、前記ベース部の前記ロータ部に対する相対的な傾きが最大となる前記ベース部上の部位が、前記変位部位として設定されることを特徴とする。

請求項１４に記載の発明は、請求項１３に記載のモータの製造方法であって、前記相対的な傾きに応じて、前記照射領域が変更されることを特徴とする。

請求項１５に記載の発明は、請求項１３乃至１４のいずれかに記載のモータの製造方法であって、前記記録ディスクが保持される前記ロータ部の前記ディスク載置面に、少なくとも３つの第１基準位置を配置し、前記ベース部に少なくとも３つの第２基準位置を配置し、前記判定工程において、前記第１基準位置により定義される第１平面と、前記第２基準位置より定義される第２平面との相対的な傾きを計測し、前記第１平面の前記第２平面に対する傾きが最大となる前記ベース部上の位置を前記変位部位として設定することを特徴とする。

請求項１６に記載の発明は、請求項１乃至１５のいずれかに記載のモータの製造方法であって、前記ベース部は、プレス加工により形成されることを特徴とする。

請求項１７に記載の発明は、請求項１乃至１６のいずれかに記載のモータの製造方法であって、前記照射領域は、前記ベース部の前記ステータ部が載置される側とは反対側に配置されることを特徴とする。

請求項１８に記載の発明は、請求項１乃至１７のいずれかに記載のモータの製造方法であって、前記集束エネルギービームは、ＹＡＧレーザ素子よりパルス発振モードで照射されるレーザビームであり、前記レーザビームのピークパワー、パルス幅、パルス間隔は略一定に保たれており、前記照射領域における前記レーザビームのスポット径が略一定であることを特徴とする。

請求項１９に記載の発明は、請求項１乃至１８のいずれかに記載のモータの製造方法で製造されたモータを備える記録ディスク駆動装置であって、前記記録ディスク駆動装置は垂直磁化記録方式の磁気ディスク駆動装置であることを特徴とする。

請求項２０に記載の発明は、請求項１９に記載のモータを備える記録ディスク駆動装置であって、前記集束エネルギービームが照射される前記ベース部の前記照射領域には、該ベース部を構成する素材が融解した融解痕が形成され、該融解痕はシート状の部材により覆われることを特徴とする記録ディスク駆動装置。

本発明では、モータ部品の、記録ディスク載置部とベース部との相対的な傾きを高精度に調節することができる。

（スピンドルモータの構成）
図１は、本発明の第１の実施の形態に係る電動式のスピンドルモータ１（以下、「モータ１」という。）を備える記録ディスク駆動装置６０の内部構成を示す縦断面図である。記録ディスク駆動装置６０はいわゆるハードディスク装置であり、情報を記録する円板状の記録ディスク４、記録ディスク４に対する情報の書き込みおよび（または）読み出しを行うアクセス部６３、記録ディスク４を保持して回転する電動式のモータ１、並びに、記録ディスク４、アクセス部６３およびモータ１を内部空間６１０に収容するハウジング６１を備える。

図１に示すように、ハウジング６１は、上部に開口を有するとともにモータ１およびアクセス部６３が内側の底部に取り付けられる無蓋箱状のベース部６１１、並びに、ベース部６１１の開口を覆うことにより内部空間６１０を形成する板状の蓋部材６１２を備える。記録ディスク駆動装置６０では、ベース部６１１に蓋部材６１２が接合されてハウジング６１が形成され、内部空間６１０は塵や埃が極度に少ない清浄な空間とされる。

図２は、記録ディスク駆動装置６０の内部を示す平面図である。図１および図２に示すように、記録ディスク４は、モータ１上に載置されてクランパ６２１によりモータ１に固定される。アクセス部６３は、所定の回転軸を中心として回転移動することにより記録ディスク４に対して進退するヘッドアセンブリ６３１、および、ヘッドアセンブリ６３１を記録ディスク４に対して案内する図２に示すランプ６３２を備える。

図１および図２に示すように、ヘッドアセンブリ６３１は、記録ディスク４に近接して情報の読み出しおよび書き込みを磁気的に行うヘッド６３１１、ヘッド６３１１を支持するアーム６３１２、並びに、アーム６３１２を回転移動させることによりヘッド６３１１を記録ディスク４およびモータ１に対して相対的に移動するヘッド移動機構６３１３を有する。記録ディスク４に対する情報の読み出しおよび書き込みが行われる際には、ヘッド移動機構６３１３により回転する２つのアーム６３１２が、ランプ６３２（図２参照）により案内されて記録ディスク４の上方および下方へと移動し、ヘッド６３１１が回転する記録ディスク４に近接した状態で記録ディスク４の所要の位置にアクセスする。

図３は、記録ディスク駆動装置６０において記録ディスク４（図１参照）の回転に使用されるモータ１の構成を示す縦断面図である。図３に示すように、モータ１はインナーロータ型のモータであり、固定組立体であるステータ部２、および、回転組立体であるロータ部３を備える。ロータ部３は、作動流体である潤滑油による流体動圧を利用した軸受機構を介して、モータ１の中心軸Ｊ１（後述のモータ取付部６１１１の中心軸でもある。）を中心にステータ部２に対して回転可能に支持される。以下の説明では、便宜上、中心軸Ｊ１に沿ってロータ部３側を上側、ステータ部２側を下側として説明するが、中心軸Ｊ１は必ずしも重力方向と一致する必要はない。

ステータ部２は、ベース部６１１（図１参照）の一部であるとともにステータ部２の各部を保持するベースプレート２１、ロータ部３を回転可能に支持する軸受機構の一部である略円筒状のスリーブユニット２２、および、スリーブユニット２２の周囲にてベースプレート２１に取り付けられる電機子２４を備える。スリーブユニット２２の下部は、ベースプレート２１の開口に圧入されて固定されており、スリーブユニット２２の下端側の開口は、略円板状のシールキャップ２３により閉塞される。

スリーブユニット２２は、中心軸Ｊ１を中心とする略円筒状であってロータ部３のシャフト３１１が挿入されるスリーブ２２１、および、スリーブ２２１の外周に取り付けられる略円筒状のスリーブハウジング２２２を備える。スリーブ２２１は多孔質部材であり、スリーブハウジング２２２はスリーブ２２１に含浸された潤滑油を保持する役割を果たす。電機子２４は、複数の珪素鋼板を積層してなるコア２４１、および、コア２４１の複数のティースに巻装されるコイル２４２を備える。

ロータ部３は、記録ディスク４（図１参照）が固定されるとともにロータ部３の各部を保持するロータハブ３１、および、ロータハブ３１に取り付けられて中心軸Ｊ１の周囲に配置される界磁用磁石３２を備える。界磁用磁石３２は、多極着磁された円環状の磁石であり、電機子２４との間で中心軸Ｊ１を中心とする回転力（トルク）を発生する。

ロータハブ３１は、ステンレス等により一体的に形成されており、中心軸Ｊ１を中心とする略円筒状であって下側（すなわち、ステータ部２側）に突出するシャフト３１１、シャフト３１１の上端部から中心軸Ｊ１に対して垂直に広がる略円板状であって上側に突出する凸部３１２、凸部３１２の外縁において下側に突出する略円筒状の円筒部３１３、および、円筒部３１３の外側面から外側に突出する略平板状かつ略円環状の部位であって記録ディスク４が載置されるディスク載置部３１４を備える。シャフト３１１の下側の先端部には、略円板状のスラストプレート３１５が取り付けられる。

図３に示すように、モータ１では、ロータハブ３１の凸部３１２の下面とスリーブハウジング２２２の上側の端面との間、スリーブ２２１の内側面とシャフト３１１の外側面との間、スリーブ２２１の下側の端面とスラストプレート３１５の上面との間、スラストプレート３１５の下面とシールキャップ２３の上面との間、および、スリーブハウジング２２２の上部のフランジ部２２４の外側面とロータハブ３１の円筒部３１３の内側面との間に微小な間隙が設けられる。

モータ１では、ロータハブ３１、スリーブユニット２２およびシールキャップ２３の間に設けられた上記間隙に潤滑油が充填されており、ロータハブ３１が回転することにより生じる流体動圧を利用する軸受機構により、ロータ部３を潤滑油を介して非接触にて支持する。これにより、ロータ部３およびロータ部３に取り付けられる記録ディスク４（図１参照）を高精度、かつ、低騒音にて回転することができる。

図４は、モータ１およびアクセス部６３が取り付けられる略板状のベース部６１１を示す平面図である。図４中では、モータ１、アクセス部６３およびモータ１に固定された記録ディスク４を二点鎖線にて描いている。

図４中に平行斜線を付して示すように、ベース部６１１は、モータ１のスリーブユニット２２（図３参照）が取り付けられるモータ取付部６１１１、ヘッドアセンブリ６３１が取り付けられるヘッドアセンブリ取付部６１１２、および、ランプ６３２が取り付けられるランプ取付部６１１３を備える。以下の説明では、ヘッドアセンブリ取付部６１１２およびランプ取付部６１１３をまとめて、アクセス部６３が取り付けられる「アクセス部取付部」と呼ぶ。記録ディスク駆動装置６０では、モータ取付部６１１１は、モータ１を介して記録ディスク４が間接的に取り付けられる「記録ディスク取付部」と捉えることができる。

（モータ部品の製造装置）
次に、記録ディスク駆動装置６０のモータ部品の製造の一例について説明する。本実施例においては、ハウジング６１のベース部６１１にロータ部３およびステータ部が取り付けられた状態の部材がモータ部品に相当する。なお、モータ部品は、ベース部６１１に他の部材が取り付けられた状態であってもよい。

図５に示すように、モータ部品製造装置７は、モータ部品（すなわち、ベース部６１１）を保持する保持部７１、ベース部６１１上の複数の計測位置の中心軸Ｊ１方向（すなわち、図５中の上下方向）の高さを計測する計測部７２、保持部７１に保持されたベース部６１１に集束エネルギービームを照射してベース部６１１を加熱する加熱部７３、ベース部６１１を保持部７１と共に回転する回転機構７４、保持部７１を加熱部７３に対して相対的に移動する移動機構７５、および、これらの構成を制御する制御部７６を備える。

モータ部品製造装置７では、ベース部６１１が底面を図５中における下側に向けて保持部７１により保持される。保持部７１の上側（すなわち、ベース部６１１の底面側とは反対側のモータ１やアクセス部６３（図１参照）が取り付けられる側であり、以下、ベース部６１１のモータ１等が取り付けられる側の面を、「取付面」という。）には計測部７２が配置される。計測部７２は、非接触にてベース部６１１の取付面までの距離を計測する光学式の距離センサ（いわゆる、レーザ変位計）である。

保持部７１の下側（すなわち、ベース部６１１の底面側）には加熱部７３が配置され、加熱部７３は、ベース部６１１の底面にパルス状のレーザビームを照射してベース部６１１を加熱する照射部を備える。移動機構７５は、ベース部６１１の底面および取付面に平行であって、かつ、互いに垂直な２つの方向にベース部６１１を保持部７１と共に移動する、いわゆる、ＸＹテーブルである。

図２、及び図５に示すように、ベース部６１１の取付面側では、計測部７２による計測位置である３つの第１基準位置８１がロータ部３のディスク載置部３１４に設けられる。３つの第１基準位置８１は、モータ取付部６１１１の中心軸Ｊ１を中心とする一の円周上において等ピッチに配置される。また、図４及び図５に示すように、ベース部６１１上にも、中心軸Ｊ１を中心とする円周上において等ピッチに配置された、３つの第２基準位置８２が設けられる。

図５に示すモータ部品製造装置７では、移動機構７５によりベース部６１１が計測部７２に対して相対的に移動し、計測部７２により、モータ取付部６１１１の中心軸Ｊ１方向に関し、計測部７２と第１基準位置８１との距離が順次計測される。同様に、計測部７２と第２基準位置８２との距離が計測される。そして、３つの第１基準位置８１により定義される平面（第１基準面）と、３つの第２基準位置８２により定義される平面（第２基準面）との相対的な平行度が求められ、第１基準面の第２基準面に対する、傾きの最大値と、傾きが最大となる位置（変位部位６１１６）が出力される。

計測部７２からの出力は制御部７６へと送られ、計測部７２により計測された傾きと、予め制御部７６に記憶されている設計上の公差とが比較される。測定された傾きが許容範囲外である場合には、傾きの調整が行われる。具体的には、まず、計測部により測定された傾きの最大値に基づいて、集束エネルギービームが照射される照射領域６１１４が決定される。本実施例においては、集束エネルギービームは、ＹＡＧレーザ素子よりパルス発振モードで照射されるＹＡＧレーザビームであり、ピークパワー、パルス幅、パルス間隔が略一定に保たれている。照射領域６１１４は、半径が略一定に保たれた、パルス発振ＹＡＧレーザビームのスポット領域が、中心軸Ｊ１を中心とする円弧状に複数個配列された領域であり、測定された傾きの最大値に合わせて円弧角度が決定される。また、照射領域６１１４は、モータの中心軸Ｊ１と変位部位６１１６とを結ぶ直線を対称軸として線対称となるように設定される。次に、移動機構７５により保持部７１が加熱部７３に対して相対的に移動することにより、加熱部７３が保持部７１に対する所定の照射位置に位置する。

図６は、ベース部６１１の底面図である。モータ部品製造装置７では、底面側から保持部７１により保持されたベース部６１１が、中心軸Ｊ１を中心として回転機構７４（図５参照）により一定速度にて回転されるとともに、ベース部６１１の底面側において、モータ取付部６１１１上の照射領域６１１４に加熱部７３からパルス状のレーザビームが照射される。

これにより、図６に示すモータ取付部６１１１において、中心軸Ｊ１を中心とし、中心軸Ｊ１と変位位置６１１６とを結ぶ直線を対称軸として線対称である円弧状の照射領域６１１４にレーザビームが照射され、当該照射領域６１１４が加熱される。モータ部品製造装置７では、照射領域６１１４において円弧状に配列された複数のスポット領域（本実施の形態では、直径が約０．５ｍｍの円形領域）に対してパルス状の加熱が順次行われる。

図７は、変位部位６１１６と中心軸Ｊ１とを結ぶ直線に沿った、モータ１の縦断面図である。図６に示すベース部６１１では、照射領域６１１４が底面側から加熱されることにより、照射領域６１１４が溶融しつつ一旦底面側（すなわち、加熱側）へ塑性変形を伴いながら膨張した後、照射領域６１１４の温度が下がるに従って収縮して加熱側とは反対側（すなわち、取付面側）に変形する。これにより、図７において破線で示された略平板状の部位６１１５が、図７中にて示すように、中心軸Ｊ１方向に関して加熱側に変位する。以下の説明では、モータ取付部６１１１上の部位６１１５を、「調整部６１１５」という。

上記の説明では、調整部６１１５はベース部６１１の底面側に変位するが、逆に、調整部６１１５をベース部６１１の取付面側に変位させる場合には、図５に示す保持部７１によりベース部６１１が上下逆に（すなわち、取付面を加熱部７３に対向させる向きに）保持される。そして、ベース部６１１の取付面において調整部６１１５の外周に設定された照射領域６１１４に、加熱部７３からレーザビームが照射されて加熱されることにより、照射領域６１１４が加熱側とは反対側に変形して調整部６１１５が取付面側に変位する。

（製造方法について）
次に、記録ディスク駆動装置６０のモータ部品の製造について説明する。

図８は、本実施例に基づくモータ部品の製造方法を示す工程図である。本実施例に基づくモータ部品の製造方法には、モータ部品のベース部６１１を成型する成型工程と、モータ部品のベース部６１１の傾きを計測する計測工程と、計測された傾きが所定の範囲内にあるかを判定する第1判定工程と、計測の結果に基づき所定のパラメータを判定する第２判定工程と、該パラメータに基づきレーザビームを照射する照射工程と、が含まれる。この照射工程において、中心軸Ｊ１を中心とする円弧状の領域にレーザビームを照射して、照射領域６１１４を加熱すると、照射領域６１１４の部材が溶融しつつ塑性変形を伴いながら膨張した後、温度が下がるに従って収縮して加熱側とは反対側に変形する。従って、モータ部品の傾きが調整される。

まず、上述の成型工程について説明する。モータ部品を成型する成型工程（ステップＳ１）において、プレス加工装置などを用いて、ステンレス鋼鈑などの薄板状の部材にプレス加工が施され、モータ取付部６１１１を有するベース部６１１が成型される。その後、成型されたベース部６１１に、ステータ部２およびロータ部３が取り付けられ、モータ部品が形成される。

また、ベース部６１１の成型方法はプレス成型に限定されるものではなく、アルミダイカストなどの鋳造方法によりベース部６１１が形成されても良い。また、ステンレス鋼以外の材料からベース部６１１が形成されても良い。

ベース部６１１に、ステータ部２及びロータ部３が取り付けられ、モータ部品が形成されると、モータ部品がワークテーブル上に載置される（保持工程、ステップＳ２）。

次に、計測工程について説明する。レーザ変位計やオートコリメータなどの測定器を用いて、ロータ部３のディスク載置部３１４と、ベース部６１１との相対的な傾き（平行度）が計測され、ディスク取付部とベース部６１１との相対的な傾きの最大値と、傾きが最大となる点と、が求められる。（計測工程、ステップＳ３）。本実施例においては、ベース部６１１の取付面側に、計測位置である３つの第１基準位置８１がロータ部３のディスク載置部３１４に設けられる。３つの第１基準位置８１は、モータ取付部６１１１の中心軸Ｊ１を中心とする一の円周上において等ピッチに配置される。同様に、３つの第２基準位置８２が、ベース部６１１の下面に、中心軸Ｊ１を中心とする円周上に等ピッチに配置される。そして、３つの第１基準位置８１により定義される平面（第１基準面）と、３つの第２基準位置８２により定義される平面（第２基準面）との相対的な平行度が求められ、第１基準面の第２基準面に対する、傾きの最大値と、傾きが最大となる位置（変位部位６１１６）が出力される。

なお、モータ部品のベース部６１１の傾きの測定方法は、上述の方法に限定されるものではない。例えば、ダミーディスクをベース部６１１に取り付けられたモータに載置し、ディスクを回転させて回転触れを測定することにより、ベース部６１１とディスク載置部３１４との傾きを測定してもよい。

また、第１基準位置および第２基準位置が、ロータ部３のディスク載置部３１４およびベース部の下面に限定されるものではなく、それ以外の場所に設けられてもよい。例えば、第２基準面がベース部の上面に設けられてもよい。また、第１基準位置および第２基準位置の設けられる数も、３つに限定されるものではない。例えば、２つの第１基準位置をロータハブ上に配置し、同様に、２つの第２基準位置をベース上に配置して、任意の直線方向におけるベース部およびロータ部の相対的な傾きを測定することにより、ベース部の傾きを測定してもよい。

また、第１基準位置および第２基準位置以外にも基準位置が設けられてもよい。例えば、ベース部６１１上の任意の位置に、第３の基準位置等が設けられてもよい。すなわち、他の従来公知の方法により、ディスク載置部３１４とモータ部品のベース部６１１との相対的な傾きが最大となる点と、その傾きの大きさとが測定されても良い。

次に、第１判定工程について説明する。第１判定工程において、測定されたベース部６１１に対するディスク取付部の相対的傾きの最大値と、所定の設計上の平行度とが比較される（第１判定工程、ステップＳ４）。相対的傾きの最大値が、所定の範囲内（公差の範囲内）であれば、モータ部品の製造が終了する。

次に、第２判定工程について説明する。第１判定工程において測定された平行度が所定の範囲外となる部位があった場合、測定された相対的傾きの最大値とその部位の位置に基づき、モータ部品に照射に照射されるレーザビームの各種パラメータが設定される（第２判定工程、ステップＳ５）。相対的傾きの最大値およびその部位に基づきパラメータを変更することにより、平行度が様々に異なるモータ部品の平行度を、公差の範囲内に調節することができる。本発明の実施例においては、測定された相対的傾きの最大値およびその部位に基づき照射領域６１１４を設定し、該照射領域６１１４に、スポット径０．５ｍｍ、ビーム半径４．３３ｍｍ、ピークパワー２２０Ｖ、パルス幅４ｍｓのパルス発振モードのＹＡＧレーザビームをモータ部品に照射する。レーザビームが照射される照射領域６１１４は、中心軸Ｊ１と、相対的傾きが最大となる部位（変位部位６１１６）と、を結ぶ直線を対称軸として線対称となるように設定される。なお、照射領域６１１４は連続した領域である必要はなく、中心軸Ｊ１と変位部位６１１６とを結ぶ直線を中心として線対称となるよう配置された、複数の微小な領域より構成されても良い。照射領域６１１４を決定する際に用いられる照射領域決定データは、事前に各種条件化で、集束エネルギービームをベース部に照射し、その変位量を蓄積することにより得られる。

次に照射工程について説明する。まず、モータ部品は、中心軸Ｊ１を中心に回転する回転機構を備えたワークテーブル上に載置される。そして、レーザビームの照射源である加熱部から、モータ部品の所定の部位に向けて、ステップＳ５で決定されたパラメータに基づき、レーザビームが照射される（照射工程、Ｓ６）。この際、モータ部品と加熱部とが、相対的に移動しながらレーザビームが照射される。具体的には、固定された加熱源から、中心軸Ｊ１を中心に回転されるモータ部品にレーザビームが照射される。従って、レーザビームが照射される照射領域６１１４は、中心軸Ｊ１を中心とする円弧形状となる。この際、照射領域６１１４が、中心軸Ｊ１と変位部位６１１６とを結ぶ直線を中心に線対称な円弧形状となるように、加熱部が制御される。

本発明の本実施例においては、レーザビームのスポット径、ビーム半径、ピークパワー等が略一定に保たれており、照射される円弧形状の照射領域６１１４の位置および円弧角度の大きさを変更することで、ベース部の変位の量および方向を調節している。図９は、照射領域６１１４の円弧角度と調整部６１１５の変位量との関係を示す図である。図９に示すように、円弧角度を変化させることで、変位量を様々に変化させることができる。

測定された平行度に基づき変更されるパラメータは、照射領域６１１４の大きさに限定されるものではなく、例えば、ピークパワーやパルス幅、照射領域６１１４の大きさおよび場所など、様々なパラメータの１つまたはそれ以上が変更されてもよい。しかしながら、レーザビームのピークパワーやパルス幅などは一定のばらつきを有することがあるために、これらの値を一定とし、比較的容易に制御が可能であるパラメータ（本実施例においては、照射領域６１１４の大きさ及び照射開始位置）を可変とすることが好ましい。所定のばらつきを有するパラメータを一定とし、制御が容易であるパラメータを変化させて変
位量を調節することにより、より高精度に変位量を調節することができる。

照射領域６１１４は、凹凸が少なく平坦な面に設けられることが好ましく、本発明の実施例においては、ベース部６１１のモータ取付部６１１１の下面に照射領域が設けられる。しかしながら、これに限定されるものではなく、照射領域６１１４は、ベース部６１１の下面の一部に設けられても、ベース部６１１の上面の一部に設けられてもよい。なお、前述のように、照射領域６１１４は、連続した領域である必要はなく、例えば、円弧状に配列された複数のスポットより形成されても良い。また、レーザの照射領域６１１４は、周方向に離間した複数の円弧状の領域より構成されても良く、径方向に離間した複数の円
弧状の領域より構成されても良い。

レーザビームの照射が終了した後に、モータ部品の傾きが再度測定されても良い。測定の結果、ベース部６１１の傾きが所定の公差の範囲内であった場合、モータ部品の製造が終了する。ベース部６１１の傾きが所定の公差の範囲外であった場合、このモータ部品に対して、第２判定工程および照射工程が繰り返し行われても良い。

なお、照射領域６１１４を決定する際に用いられる照射領域決定データは、事前に各種条件化で、集束エネルギービームをベース部に照射し、その変位量を蓄積することにより得られたが、その他の方法により得られたデータを基に照射領域が決定されてもかまわない。例えば、また、レーザビームの照射を照射する際、レーザビームを照射すると同時に、ベース部６１１の変位をリアルタイムに測定しても構わない。ベース部６１１の変位を観察しながらレーザを照射することにより、高精度にベース部６１１の調節を行うことができる。

また、中心軸Ｊ１から所定の距離だけ離れた位置にレーザビームを照射しつつベース部６１１を１周だけ回転させた後、移動機構７５により保持部７１を移動してレーザビームの照射位置を中心軸Ｊ１から離れる方向に移動し、ベース部６１１をさらに１周させることにより、調節部６１１５の変位量が変更されてもよい。即ち、照射領域６１１４の形状は、変位部位と中心軸Ｊ１とを結ぶ直線を対称軸として略線対称であり、中心軸Ｊ１を中心とする同心円の円弧が複数配列された形状となる。

上記モータ部品の製造においては、モータ部品のベース部６１１の傾きを計測する計測工程と、計測された傾きが所定の範囲内にあるかを判定する第1判定工程と、計測の結果に基づき所定のパラメータを判定する第２判定工程と、該パラメータに基づきレーザビームを照射する照射工程と、が同一の機器内で自動的に行われてもよい。しかし、これらの工程が、別々の各機器により行われてもよく、また、これらの工程の幾つかが同一の機器により行われても構わない。例えば、モータまたは記録ディスク駆動装置の製造ライン上に配置された複数の機器により、各工程が順次行われてもよい。以下に、モータ部品の製
造ラインについて説明を行う。

（製造ライン）
具体的には、図１０に示されているように、モータ部品の製造ライン上において、モータ部品のロータ部３と、ベース部６１１との平行度が測定される。平行度が所定の公差の範囲外であったモータ部品は、一連の製造ラインから独立したオフラインプロセスへと供給され、そのオフラインプロセス上においてロータ部３とベース部６１１との平行度が調整される。この際、製造ライン上で計測された平行度のデータが、オフラインプロセスへと供給され、そのデータに基づきレーザビームの照射領域が決定される。また、オフラインプロセス上で再度平行度の測定が行われ、その測定データに基づき平行度の調整が行われてもよい。

照射領域にレーザビームが照射され、平行度の調整が行われたモータ部品は、一連の製造ラインへと戻され、再度平行度が測定される。平行度が所定の公差の範囲内であれば、モータ部品は次の製造プロセスへと供給される。平行度が所定の公差の範囲外であれば、モータ部品の平行度が再度調整される。なお、繰り返しベース部品の傾きの修正を行う場合、２度目以降は既にレーザビームが照射された領域とは異なる領域にレーザビームを照射しても、同一の領域に再度レーザビームを照射してもよい。例えば、複数回のレーザビームを照射する場合、中心軸Ｊ１を中心とし、半径の異なる円弧状にレーザビームを照射しても良い。

また、平行度の調整を繰り返し行う場合、ひとつのモータ部品に対して平行度の調整を行う回数に上限を備えてもよい。例えば、平行度の調整を３度行っても、平行度が所定の公差の範囲外であるモータ部品に対しては、再度平行度の調整を行わず、該モータ部品を次の製造プロセスで用いないよう、製造ラインを管理してもよい。

また、モータ部品の平行度の調節が、一連の製造ライン上で行われても構わない。この場合、モータ部品の平行度が所定の公差の範囲内であった場合に、レーザビームを照射する工程をスキップするように製造ラインが設定される。

また、各モータ部品が同様の傾きを有しているという事が容易に類推可能な場合、平行度を繰り返し行わずに、同様のパラメータ設定で繰り返しレーザビームを照射し、平行度の調節を行うように製造ラインを設定しても構わない。

上記モータ部品の製造は、清浄環境下で行われることが好ましい。モータ部品にレーザビームが照射されると、微小な金属粒子などのパーティクルがベース部より飛散し、記録ディスク駆動装置６０の内部空間６１０側となる部位に付着する可能性がある。そのために、これらパーティクルが記録ディスク駆動装置６０の内部空間６１０側となる部位に付着しないにする必要がある。具体的には、照射領域６１１４は、ベース部６１１の底面側（すなわち、ベース部６１１のモータ１、記録ディスク４およびアクセス部６３が取り付けられる側とは反対側）に設けられる。ベース部の底面からレーザビームを照射することにより、加熱時に発生する可能性があるパーティクル等が、記録ディスク駆動装置６０の内部空間６１０側となるベース部６１１の取付面に付着することを防止することができる。また、レーザビームを金属面に照射すると、レーザビームが照射された面と垂直な方向に微小な金属粒子が飛び出すことが知られている。従って、レーザビームが照射される照射領域と垂直な方向に、照射領域から遠ざかるように流れる気体流の存在下において、モータ部品にレーザビームを照射することにより、パーティクルがベース部の内部空間６１０側に付着することを防止することができる。また、照射領域近傍にパーティクル吸引手
段を備え、パーティクルの飛散を防止してもよい。

ところで、仮に、集束エネルギービームの出力等の非線形に変化するパラメータを制御因子として、ベース部６１１に集束エネルギービームを照射し、ベース部６１１を変位させようとすると、パラメータのばらつきが生じるため、調節部６１１５の変位量を高精度に管理することが困難である。

これに対し、本実施の形態に係るモータ部品の製造では、上述のように、非線形に変動するパラメータを固定し、高精度に制御可能なパラメータを制御因子とすることにより、高精度に変位量を管理することができる。例えば、調節部６１１５の変位量に対応して照射領域を調節することにより、調節部６１１５の変位量を高精度に管理することができる。

これにより、ロータ部３およびベース部６１１の相対位置を設計値の範囲内にすることができる。その結果、モータ１に取り付けられる記録ディスク４のヘッド６３１１に対する相対位置などの各部材を高精度に配置することができ、高品質な記録ディスク４を提供することができる。

モータ部品製造装置７による上記モータ部品の製造方法は、モータ取付部６１１１のヘッドアセンブリ取付部６１１２に対する相対位置を高精度に調整することができるため、切削加工等に比べて加工精度の向上に限界があるプレス加工により形成されたベース部６１１を含むモータ部品の製造に特に適している。

また、照射領域６１１４に対する加熱が、指向性の高いレーザビームの照射によるものであることにより、照射領域６１１４において微小領域を位置精度良く加熱することができる。このため、上記製造方法は、変位部の変位量に対して高い精度が要求される比較的小型のモータにおけるモータ部品、特に垂直磁化記録方式の磁気ディスク駆動装置、および該磁気ディスク駆動装置に用いられるスピンドルモータ、の製造に特に適している。照射領域６１１４を位置精度良く加熱するという観点からは、モータ部品製造装置７の加熱部７３において、レーザビームに代えて電子ビームが照射部から照射されて照射領域６１１４が加熱されてもよい。

なお、上述の本発明の実施例の説明においては、照射工程においてモータ部品の中心軸Ｊ１を中心として、モータ部品を回転させるワークテーブル上に載置されたが、本発明の実施例はこれに限定されるものではない。例えば、ワークテーブルの移動は回転移動に限定されるものではなく、多角形形状や直線状であってもよい。また、固定されたワークテーブル上にモータ部品を載置し、レーザビームの照射源である加熱部を移動させながらモータ部品にレーザビームを照射しても良い。また、加熱部から照射されたレーザビームが、ミラー（例えばポリゴンミラー又はガリバノミラー）やプリズムなどの光学部材を介してモータ部品に照射されてもかまわない。この場合、ワークテーブルおよび加熱部を固定し、工学部材の姿勢を変更したり、光学部材を移動させることにより、モータ部品の照射領域にレーザビームが照射されるように制御されてもよい。また、ワークテーブルの移動も回転に限定されるものではなく、例えば直線的に移動されても良い。

上述の説明においては、ベース部６１１とロータ部３との相対的な傾きが最大となる点を変位部位として設定したが、これ以外の任意の点を変位部位として設定しても構わない。例えば、図１１に示されるように、ランプ取付部６３１３付近の部位を変位部位として設定し、中心軸Ｊ１と変位部位とを結ぶ直線上において、ベース部６１１およびロータ部３の相対的な傾きを調節してもよい。さらに、中心軸Ｊ１に垂直な平面上において、中心軸Ｊ１と変位部位とを結ぶ該直線と垂直な方向Ａに関して（即ち、ヘッド６３１１の移動方向と略直角の方向）、ベース部６１１およびロータ部３の相対的な傾きを調節してもよい。アクセス部６３のヘッド６３１１は、ヘッドアセンブリ取付部６１１２の旋回軸Ｊ２を中心に円弧状に移動し、記録ディスク４上の領域に進入する。ヘッド６３１１が記録ディスク４上の領域に進入する進入方向に関して、ベース部６１１およびロータ部３の平行度を高精度に調節することにより、高品質な記録ディスク駆動装置を提供することができる。さらに、ヘッド６３１１の移動方向に垂直な方向Ｂに関して、ベース部６１１およびロータ部３の平行度を調節することにより、より高品質な記録ディスク駆動装置を提供することができる。

また、本発明の実施例においては、照射領域６１１４の形状は円弧状であったが、それ以外の形状であっても良い。例えば、照射領域６１１４は、変位部位６１１６と中心軸Ｊ１を結ぶ直線を中心として線対称となる、直線状の領域であっても良い。

照射される電子ビームはＹＡＧレーザに限定されるものではなく、例えばＣＯ２レーザや集束イオンビームなど、その他の電子ビームであっても良い。

集束エネルギービームが照射される、ベース部の照射領域には、ベース部を構成する素材が融解した融解痕が形成される。この融解痕が、例えば銘板などのシート状の部材により覆われてもよい。

第１の実施の形態に係る記録ディスク駆動装置の縦断面図である。記録ディスク駆動装置の平面図である。モータの縦断面図である。ベース部の平面図である。モータ部品製造装置の構成を示す図である。ベース部の底面図である。モータ部品の縦断面図である。被加熱領域に付与される総エネルギー量と変位部の変位量との関係を示す図である。モータ部品の製造の流れを示す図である。モータ部品の製造ラインの構成を示す図である。本発明の変形例に係る記録ディスク駆動装置の平面図である。

Claims

ステータ部を直接的または間接的に支持するベース部と、記録ディスクをディスク載置面上に保持し、軸受部材を介して、中心軸を中心としてステータ部に対して相対的に回転可能に支持されるロータ部とを有する、記録ディスク駆動装置にて記録ディスクの回転駆動に使用される電動式のモータ、の製造方法であって、
前記ベース部は、
所定の回転軸を中心として回転移動することにより前記記録ディスクに対して進退するヘッドアセンブリが取り付けられるヘッドアセンブリ取付部と、
前記ヘッドアセンブリを前記記録ディスクに対して案内するランプが取り付けられるランプ取付部と、
を備え、
前記ステータ部および前記ロータ部が取り付けられた前記ベース部の一部である照射領域に、出力が略一定に保たれた集束エネルギービームを照射し、該照射領域およびその周辺を局部的に変形させることにより、前記集束エネルギービームが照射された方向へと前記ベース部を変位させることにより、前記ベース部と前記ロータ部との相対的な傾きを修正する照射工程を含み、
前記照射工程の前に、前記ベース部の所定の部位を変位部位として決定する判定工程を含み、
前記照射領域は、前記中心軸を中心とする半径方向にて前記中心軸よりも外側かつ前記変位部位よりも内側に位置するとともに、前記中心軸と前記変位部位を結ぶ直線に交差し、
前記集束エネルギービームが照射される前記照射領域を変化させることで、前記ベース部の変位量が調節されることを特徴とするモータの製造方法。
請求項１に記載のモータの製造方法であって、前記集束エネルギービームが照射される前記照射領域は、前記中心軸と、前記変位部位とを結ぶ直線を対称軸として略線対称であることを特徴とするモータの製造方法。
ステータ部を直接的または間接的に支持するベース部と、記録ディスクをディスク載置面上に保持し、軸受部材を介して、ステータ部に対して中心軸を中心として相対的に回転可能に支持されるロータ部とを有する、記録ディスク駆動装置にて記録ディスクの回転駆動に使用される電動式のモータ、の製造方法であって、
前記ベース部は、
所定の回転軸を中心として回転移動することにより前記記録ディスクに対して進退するヘッドアセンブリが取り付けられるヘッドアセンブリ取付部と、
前記ヘッドアセンブリを前記記録ディスクに対して案内するランプが取り付けられるランプ取付部と、
を備え、
前記ベース部の部位を、変位部位として決定する判定工程と、
前記ステータ部および前記ロータ部が取り付けられた前記ベース部の一部である照射領域に、出力が略一定に保たれた集束エネルギービームを照射し、前記集束エネルギービームが照射されることにより前記ベース部を変位させる照射工程を含み、
前記照射領域は、前記中心軸を中心とする半径方向にて前記中心軸よりも外側かつ前記変位部位よりも内側に位置するとともに、前記中心軸と前記変位部位を結ぶ直線に交差し、
前記集束エネルギービームが照射される前記照射領域は、前記変位部位と前記中心軸とを結ぶ直線を対称軸として略線対称であることを特徴とするモータの製造方法。
ステータ部を直接的または間接的に支持するベース部と、記録ディスクをディスク載置面上に保持し、軸受部材を介して、ステータ部に対して中心軸を中心として相対的に回転可能に支持されるロータ部とを有する、記録ディスク駆動装置にて記録ディスクの回転駆動に使用される電動式のモータ、の製造方法であって、
前記ベース部は、
所定の回転軸を中心として回転移動することにより前記記録ディスクに対して進退するヘッドアセンブリが取り付けられるヘッドアセンブリ取付部と、
前記ヘッドアセンブリを前記記録ディスクに対して案内するランプが取り付けられるランプ取付部と、
を備え、
前記ベース部の部位を、変位部位として決定する判定工程と、
前記ステータ部および前記ロータ部が取り付けられた前記ベース部の一部である照射領域に、出力が略一定に保たれた集束エネルギービームを照射し、前記集束エネルギービームが照射されることにより前記ベース部を変位させる照射工程を含み、
前記照射領域は、前記中心軸を中心とする半径方向にて前記中心軸よりも外側かつ前記変位部位よりも内側に位置するとともに、前記中心軸と前記変位部位を結ぶ直線に交差し、
前記集束エネルギービームは、前記照射領域が、前記変位部位に対応する点と前記中心軸とを結ぶ直線を対称軸として略線対称な形状になる様に、照射制御されることを特徴とするモータの製造方法。
請求項１乃至４のいずれかに記載のモータの製造方法であって、前記照射領域は中心軸を中心とする略円弧形状であることを特徴とするモータの製造方法。
請求項５に記載のモータの製造方法であって、前記照射領域の形状である前記円弧形状の円弧角度を変化させることにより、前記ベース部が変位する変位量を調節することを特徴とするモータの製造方法。
請求項１乃至４のいずれかに記載のモータの製造方法であって、前記照射領域は直線状の形状であることを特徴とするモータの製造方法。
請求項７に記載のモータの製造方法であって、前記照射領域の長さを変化させることにより、前記ベース部が変位する変位量を調節することを特徴とするモータの製造方法。
請求項１乃至８のいずれかに記載のモータの製造方法であって、前記照射領域は複数の微小領域が配列されて構成されていることを特徴とするモータの製造方法。
請求項１乃至９のいずれかに記載のモータの製造方法であって、前記ベース部には複数の前記照射領域が設けられることを特徴するモータの製造方法。
請求項１０に記載のモータの製造方法であって、複数の前記照射領域が、前記中心軸を中心とする円における半径方向に離間して配置されることを特徴とするモータの製造方法。
請求項１１に記載のモータの製造方法であって、複数の前記照射領域が、前記中心軸を中心とする円における周方向に離間して配置されることを特徴とするモータの製造方法。
請求項２乃至１２のいずれかに記載のモータの製造方法であって、前記ロータ部と、前記ベース部との相対的な傾きを測定し、前記ベース部の前記ロータ部に対する相対的な傾きが最大となる前記ベース部上の部位が、前記変位部位として設定されることを特徴とするモータの製造方法。
請求項１３に記載のモータの製造方法であって、前記相対的な傾きに応じて、前記照射領域が変更されることを特徴とするモータの製造方法。
請求項１３乃至１４のいずれかに記載のモータの製造方法であって、前記記録ディスクが保持される前記ロータ部の前記ディスク載置面に、少なくとも３つの第１基準位置を配置し、前記ベース部に少なくとも３つの第２基準位置を配置し、前記判定工程において、前記第１基準位置により定義される第１平面と、前記第２基準位置より定義される第２平面との相対的な傾きを計測し、前記第１平面の前記第２平面に対する傾きが最大となる前記ベース部上の位置を前記変位部位として設定することを特徴とするモータの製造方法。
請求項１乃至１５のいずれかに記載のモータの製造方法であって、前記ベース部は、プレス加工により形成されることを特徴とするモータの製造方法。
請求項１乃至１６のいずれかに記載のモータの製造方法であって、前記照射領域は、前記ベース部の前記ステータ部が載置される側とは反対側に配置されることを特徴とするモータの製造方法。
請求項１乃至１７のいずれかに記載のモータの製造方法であって、前記集束エネルギービームは、ＹＡＧレーザ素子よりパルス発振モードで照射されるレーザビームであり、前記レーザビームのピークパワー、パルス幅、パルス間隔は略一定に保たれており、前記照射領域における前記レーザビームのスポット径が略一定であることを特徴とするモータの製造方法。
請求項１乃至１８のいずれかに記載のモータの製造方法で製造されたモータを備える記録ディスク駆動装置であって、前記記録ディスク駆動装置は垂直磁化記録方式の磁気ディスク駆動装置であることを特徴とする記録ディスク駆動装置。
請求項１９に記載の記録ディスク駆動装置であって、前記集束エネルギービームが照射される前記ベース部の前記照射領域には、該ベース部を構成する素材が融解した融解痕が形成され、該融解痕はシート状の部材により覆われることを特徴とする記録ディスク駆動装置。