JP5095435B2 - 位置決め装置の制御方法および位置決め装置の制御装置 - Google Patents
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Description
(手順1)現在辿っているヒステリシスの経路を得る(図14(a))。
(手順2)目標変位dcが与えられたとき、非クリープ線より最終位置A(Vc,dc)を逆算する(図14(b))。
(手順3)最終位置Aが現在のヒステリシスループの内側にあるか判断する。
(手順3−1){Vu,j≦Vc≦Vd,j}∩{du≦dc≦dd}の場合つまり現在のヒステリシスループ内にあるときは後述の手順4に移る。ただし、ここでdu=fu,i(Vc)、dd=fd,i(Vc)である。
(手順3−2){Vu,j≦Vc≦Vd,j}∩{du≦dc≦dd}でない場合つまり現在のヒステリシスループ内にないときは、1つ前のヒステリシスループに戻し、手順3に戻る。ただし、du>dcになる場合は電圧下降側の経路を辿って非クリープ線に位置決めすることを考える。
(手順4)電圧Vcでの膨らみw=dc−duを求める(図14(c))。
(手順5)w=w(Vc,Vu,j,V0)となるような反転電圧V0をニュートン法(後述する)により求める(図14(d))。
(手順6)ただし、反転電圧V0が現在の電圧より小さくなる場合は、現在位置を反転位置とする新たな下降側経路を作成し、電圧下降側の経路を辿る場合(ここでは記載していない)における手順3に相当するところへ移る。
(1)目標変位dnextがヒステリシス曲線fu,i上にあるときは,fu,iからニュートン法により入力電圧Vを算出する(図25)。
(2)目標変位dnextが変位dd,jより大きくなるときは、一つ前のヒステリシス曲線fu,i-1に更新し、Newton法により入力電圧Vを算出する(図26)。
(3)目標変位dnextが現在の変位dnowより小さくなる場合、現在の変位と電圧が新たな反転位置Dj+1となる。反転位置Dj+1を記憶パーソナルコンピュータに記憶させる。反転電圧Vd,j+1と、その前の反転電圧Vu,iから電圧幅と中心電圧を求める。電圧幅と中心電圧から膨らみ関数の最大値を求める。数式2より膨らみ関数を求め、先の経路fu,iから下降側の経路fd,j+1を求め、ニュートン法により入力電圧を算出する(図27)。ここで、図27の(a)は目標値の条件、(b)は膨らみ関数の算出、(c)は経路の導出、(d)は電圧の算出の各動作をそれぞれ示す。
0を求める方法として知られているニュートン・ラプソン法という数値計算方法のことである。このニュートン・ラプソン法のアルゴリズムを簡単に説明すると、手順1として、xkを初期値として与え、手順2として、f(xk),f’(xk)を求め、手順3として、xk+1 = xk - f(xk)/
f’(xk)を求め、手順4として、xk+1がxkとほぼ等しくなったら終了し、等しくなければ、xkにxk+1を代入して手順2に戻る、というものである。
本発明の制御装置120により制御される位置決め装置の第1実施形態について図29ないし図33を参照して説明する。図29は本発明の制御装置120により制御される位置決め装置150の第1実施形態を示す図である。また、図30はウォーキング動作駆動ユニット110を示す図である。また、図31はピエゾ駆動体108の構成を示す図であって、(a)は平面図、(b)は正面図である。また、図32はウォーキング動作駆動ユニット110によるウォーキング動作を示す図である。また、図33はウォーキング動作駆動ユニット110による位置決め動作を示す図であって、(a)はX方向への位置決めを示図であり、(b)はY方向への位置決めを示す図であり、(c)はθ(回転)方向への位置決めを示す図である。
本発明の制御装置により制御される位置決め装置の第2実施形態について図34ないし図36を参照して説明する。図34は本発明の制御装置により制御される位置決め装置200の第2実施形態を示す図であり、ヘッド232とステージ233との間の平行度調整を行うように構成されている。この位置決め装置200が備えるピエゾアクチュエータ(圧電素子)230に電圧印加して変位を制御する方法については、上記した第1実施形態と同様であるため、その構成および動作の説明は省略する。また、ピエゾアクチュエータ230に電圧印加して変位を制御する制御装置の構成も上記した第1実施形態の制御装置120の構成と同様であるため、その構成および動作の説明および図示を省略する。また、上記した制御装置120と同様の構成を有する制御装置により、ピエゾアクチュエータ230に電圧印加して変位を制御することにより、上記した効果と同様の効果を奏することができるが、その詳細な説明は省略する。なお、以下で説明する全ての実施形態および変形例では、上記した制御装置120と同様の構成を有する制御装置により圧電素子に電圧印加して変位を制御する構成としており、その詳細な説明および奏する効果については上記した第1実施形態と同様であるため、その詳細な説明は全て省略する。
図35は第2実施形態における位置決め装置200の第1変形例200aを示す図である。この第1変形例では、ピエゾアクチュエータ230をステージ233の下面に設け、ヘッド232の上面には支柱237を立設し、支柱237の先端に圧力検出手段23を設けている。その他の構成および動作は上記した位置決め装置200と同様であるため、その構成および動作の説明は省略する。
図36は第2実施形態における位置決め装置200の第2変形例を示す図である。この第2変形例では、ヘッド232の上面に、任意の円周に沿って3個のピエゾアクチュエータ230が立設され、ピエゾアクチュエータ230の先端に支柱237が連結され、さらに、支柱237の先端に圧力検出手段231を設けている。その他の構成および動作は上記した位置決め装置200と同様であるため、その構成および動作の説明は省略する。
図37および図38を参照してウォーキング動作駆動ユニット110の変形例について説明する。図37ないし図40はそれぞれウォーキング動作駆動ユニット110の変形例を示す図である。なお、図37(a)は上記第1実施形態で説明したウォーキング動作駆動ユニット110を示す図である。図37(a)に示すように、ウォーキング動作駆動ユニット110はユニット化されているため、受台107と支持足103との高さの関係を調整し易いという効果も奏することができる。
図37(b)はウォーキング動作駆動ユニット110の第1変形例110aを示す図である。図37(b)に示すように、基台105に上下方向に伸縮可能に立設された圧電素子109aを介して受台107が設けられている。このような構成とすれば、上記したウォーキング動作において、支持足103の受台107の外側への出現時に、圧電素子109aを縮小させれば、支持足103の先端を受台107の外側へさらに突出できるため、可動テーブル106の移動量を大きくすることができる。
図37(c)はウォーキング動作駆動ユニット110の第2変形例110bを示す図である。図37(c)に示すように、ウォーキング動作駆動ユニット110bの下方に上下方向に伸縮可能な圧電素子109bが設けられている。このような構成のウォーキング動作駆動ユニット110bを、上記第2実施形態のピエゾアクチュエータ230と置換すれば、ヘッド232とステージ233との平行度を高精度に調整できるとともに、ヘッド232とステージ233との相対位置を高精度に調整できる。したがって、ヘッド232およびステージ233に保持された被保持物どうしの平行度が高精度に調整された状態で、両被保持物を加圧することで、高精度に位置決めされた状態からずれを生じることなく被保持物どうしを加圧できる。
図38はウォーキング動作駆動ユニット110の第3変形例110cを示す図であり、(a)は平面図、(b)は正面図である。図38に示すように、受台107が基台105ほぼ中央に配設され、その周辺部に圧電素子100,101,102および支持足103が配設されている。このような構成としても、上記したウォーキング動作駆動ユニット110と同様の作用効果をそうすることができる。
図39(a)はウォーキング動作駆動ユニット110の第4変形例110dを示す図である。図39(a)に示すように、受台107とピエゾ駆動体108とを近接配置して1ユニットとしているため、受台107と支持足103との距離を近づけることができ、可動テーブル106のうねりや凹凸を原因として支持足103が可動テーブル106と非接触状態となるのを防止できる。また、受台207と支持足103との高さの関係を調整しやすい。
図39(b)はウォーキング動作駆動ユニット110の第5変形例110eを示す図である。図39(b)に示すように、基台105に上下方向に伸縮可能に立設された圧電素子109cを介して受台107が設けられている。このような構成とすれば、上記したウォーキング動作において、支持足103の先端が受台107よりも高くなる時(可動テーブル106の浮上時)に、圧電素子109cを縮小させれば、支持足103の先端を受台107より上方へさらに突出できるため、可動テーブル106の移動量を大きくすることができる。
図39(c)はウォーキング動作駆動ユニット110の第6変形例110fを示す図である。図39(c)に示すように、ウォーキング動作駆動ユニット110fの下方に上下方向に伸縮可能な圧電素子109dが設けられている。このような構成のウォーキング動作駆動ユニット110fを、上記第2実施形態のピエゾアクチュエータ230と置換すれば、ヘッド232とステージ233との平行度を高精度に調整できるとともに、ヘッド232とステージ233との相対位置を高精度に調整できる。したがって、ヘッド232およびステージ233に保持された被保持物どうしの平行度が高精度に調整された状態で、両被保持物を加圧することで、高精度に位置決めされた状態からずれを生じることなく被保持物どうしを加圧できる。
図40はウォーキング動作駆動ユニット110の第7変形例110gを示す図である。図40に示すように、ウォーキング動作駆動ユニット110の下方に上下方向に伸縮可能な圧電素子109eを設け、さらにその下方に圧力検出手段231を介して粗動調整部38を配置している。このような構成のウォーキング動作駆動ユニット110gを、上記第2実施形態のピエゾアクチュエータ230と置換すれば、ヘッド232とステージ233との平行度を圧電素子109eおよび圧力検出手段231を利用して高精度に調整できるとともに、ヘッド232とステージ233とを粗動調整部38により大きく相対移動させることができる。そして、まず、ヘッド232とステージ233との相対位置を粗動調整部38により粗く位置決めした後、ウォーキング動作ユニット110によりヘッド232とステージ233との相対位置を高精度に調整できる。したがって、ヘッド232およびステージ233に保持された被保持物どうしの平行度が高精度に調整された状態で、両被保持物を加圧することで、高精度に位置決めされた状態からずれを生じることなく被保持物どうしを加圧できる。
図41を参照してピエゾ駆動体108の変形例について説明する。図41はピエゾ駆動体108の変形例を示す図であり、(a1)は(a2)の平面図、(b1)は(b2)の平面図、(c1)は(c2)の平面図である。なお、図41(a1),(a2)は上記第1実施形態で説明したピエゾ駆動体108を示す図である。図41(a1),(a2)に示すように3個の圧電素子100,101,102を基台105上の任意の円周上の3箇所に配置し、圧電素子100,101,102と連結された連結ブロック104の上面に支持足103を立設している。圧電素子100,101,102に電圧印加して変位(伸縮)を制御することで三次元的空間内の任意の方向に支持足103を変位させることができる。また、このような構成とすれば、ピエゾ駆動体108を製造し易く、非常にコンパクトな構成である。
図41(b1),(b2)はピエゾ駆動体108の第1変形例108aを示す図である。図41(b1),(b2)に示すように、圧電素子100,102と支柱105aを基台105上の任意の円周上の3箇所に配置し、圧電素子100,102と支柱105aが連結された連結ブロック104の上面に圧電素子101を立設し、圧電素子101の先端に支持足103を配設している。圧電素子100,101,102に電圧印加して変位(伸縮)を制御することで三次元的空間内の任意の方向に支持足103を変位させることができる。また、このような構成とすれば、圧電素子101により支持足103の上下方向(Z方向)の動作を独立して制御することで、上下方向(Z方向)のストロークを大きくすることができ、可動テーブル106との接触において高さ方向の誤差を吸収し易く、コンパクトな構成とすることができる。
図41(c1),(c2)はピエゾ駆動体108の第2変形例108bを示す図である。図41(c1),(c2)に示すように、3個の圧電素子100,101,102を基台105から連結ブロック104に対してX、Y、Zの直交する3方向から立設して、連結ブロック104と連結し、圧電素子100,101,102と連結された連結ブロック104に支持足103を設けている。圧電素子100,101,102に電圧印加して変位(伸縮)を制御することで三次元的空間内の任意の方向に支持足103を変位させることができる。また、圧電素子100,101,102のそれぞれによりX、Y、Z方向成分の変位量をそれぞれ個別に制御できるため、支持足103の変位方向を容易に制御できる。
本発明の制御装置により制御される位置決め装置の第3実施形態について図42および図43を参照して説明する。図42は本発明の制御装置により制御される位置決め装置300の第3実施形態を示す図であり、可動ステージ360のX方向(1軸)の位置決めを行うように構成されている。また、図43は位置決め装置300の動作を示す図であり、(a)は可動ステージ360が初期位置にある状態を示し、(b)は可動ステージ360が初期位置から矢印方向に移動して位置決めされた状態を示す図である。
次に、図44を参照して位置決め装置300の第1変形例300aについて説明する。
位置決め装置300aは可動テーブル360をX−Y方向(2軸)に移動可能に構成されている。図8に示すように、図42および図43を参照して説明した位置決め装置300を、可動テーブル360の移動方向がほぼ直交する向きで組合わせることによって、位置決め装置300aを構成できる。具体的には、図8に示すように、2つの位置決め装置300の向きを相対的に90°ずらした状態で対向配置して、A,B点がA'、B'点と連結するよう組合わせればよい。
101 圧電素子
102 圧電素子
103 支持足
104 連結ブロック
105 基台
106 可動テーブル
107 受台
108 ピエゾ駆動体
110 ウォーキング動作駆動ユニット
120 制御装置
150 位置決め装置
200 位置決め装置
300 位置決め装置
300a 位置決め装置
Claims (5)
- 圧電素子を用い、対象物を駆動する際に前記圧電素子に目標電圧を印加して位置決めを行う位置決め装置の制御方法において、
前記圧電素子への印加電圧と前記圧電素子の変位との関係を表す複数のヒステリシスループのうち少なくとも1つのヒステリシスループ上の異なる複数の電圧から所望の目標電圧に前記圧電素子に印加する電圧を反転させ、当該目標電圧になった直後の前記圧電素子のクリープを検出するとともに、異なる目標電圧ごとに前記クリープの検出を繰り返し、繰り返し検出した前記異なる目標電圧ごとのクリープがほぼゼロとなる変位点を結んで得られる非クリープ線を導出する非クリープ線導出工程と、
前記圧電素子に印加する電圧を、制御すべき最終の目標変位に対応する前記非クリープ線上の目標点に至る前記複数のヒステリシスループうちいずれかを辿って変化させる制御を行う制御工程と
を備えることを特徴とする位置決め装置の制御方法。 - 多項式近似の演算により前記圧電素子のヒステリシスループを導出するヒステリシスループ演算工程を備え、
前記制御工程が、前記ヒステリシスループ演算工程で導出した前記ヒステリシスループを辿って、前記圧電素子への現在の印加電圧から前記非クリープ線上の目標点までの最短ルートを求め、前記圧電素子に印加する電圧を当該目標点に至る前記最短ルートを辿るように変化させる制御を行う工程であることを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置の制御方法。 - 前記圧電素子に印加される最小電圧と最大電圧との差である電圧幅と、前記最小電圧および前記最大電圧の中心電圧との関数で表される膨らみ関数を用いて前記圧電素子のヒステリシスループを同定するヒステリシスループ同定工程を備え、
前記制御工程が、前記ヒステリシスループ同定工程で導出した前記ヒステリシスループを辿って、前記圧電素子への現在の印加電圧から前記非クリープ線上の目標点までの最短ルートを求め、前記圧電素子に印加する電圧を当該目標点に至る前記最短ルートを辿るように変化させる制御を行う工程であることを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置の制御方法。 - 前記非クリープ線導出工程が、
前記複数のヒステリシスループのうち少なくとも1つのヒステリシスループ上の複数の電圧から反転して所望の目標電圧まで下げることにより前記非クリープ線として第1の非クリープ線を導出する工程と、
前記複数のヒステリシスループのうち少なくとも1つのヒステリシスループ上の複数の電圧から反転して所望の目標電圧まで上げることにより、前記非クリープ線として前記第1の非クリープ線とは異なる第2の非クリープ線を導出する工程とを備え、
前記制御工程が、
前記圧電素子に印加する電圧を、制御すべき最終の目標変位に対応する前記第1および第2非クリープ線上の2つの目標点に至る前記複数のヒステリシスループうち、最短となるルートを辿って変化させる制御を行う工程であることを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置の制御方法。 - 圧電素子を用い、対象物を駆動する際に前記圧電素子に目標電圧を印加して位置決めを行う位置決め装置の制御装置において、
前記圧電素子への印加電圧と前記圧電素子の変位との関係を表す複数のヒステリシスループのうち少なくとも1つのヒステリシスループ上の異なる複数の電圧から所望の目標電圧に前記圧電素子に印加する電圧を反転させ、当該目標電圧になった直後の前記圧電素子のクリープを検出するとともに、異なる目標電圧ごとに前記クリープの検出を繰り返し、繰り返し検出した前記異なる目標電圧ごとのクリープがほぼゼロとなる変位点を結んで得られる非クリープ線を導出する非クリープ線導出手段と、
前記圧電素子に印加する電圧を、制御すべき最終の目標変位に対応する前記非クリープ線上の目標点に至る前記複数のヒステリシスループうちいずれかを辿って変化させる制御を行う制御手段と
を備えることを特徴とする位置決め装置の制御装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008029498A JP5095435B2 (ja) | 2008-02-08 | 2008-02-08 | 位置決め装置の制御方法および位置決め装置の制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008029498A JP5095435B2 (ja) | 2008-02-08 | 2008-02-08 | 位置決め装置の制御方法および位置決め装置の制御装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009189216A JP2009189216A (ja) | 2009-08-20 |
JP5095435B2 true JP5095435B2 (ja) | 2012-12-12 |
Family
ID=41071889
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008029498A Active JP5095435B2 (ja) | 2008-02-08 | 2008-02-08 | 位置決め装置の制御方法および位置決め装置の制御装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5095435B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6753756B2 (ja) * | 2016-10-06 | 2020-09-09 | シャープ株式会社 | 駆動装置、及びカメラモジュール |
CN110202472B (zh) * | 2019-05-31 | 2021-11-16 | 西安理工大学 | 闭式静压导轨运动精度的压电调控装置及压电调控方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62217880A (ja) * | 1986-03-18 | 1987-09-25 | Omron Tateisi Electronics Co | 圧電アクチユエ−タの駆動方法 |
JPS62235788A (ja) * | 1986-04-07 | 1987-10-15 | Hitachi Ltd | 電歪素子の駆動方法 |
JPS62296778A (ja) * | 1986-06-16 | 1987-12-24 | Toshiba Corp | 位置決め装置 |
JP3065716B2 (ja) * | 1991-06-19 | 2000-07-17 | オリンパス光学工業株式会社 | 圧電体駆動制御装置 |
JP4669766B2 (ja) * | 2005-09-29 | 2011-04-13 | ボンドテック株式会社 | 位置決め方法、この方法を用いた加圧方法および位置決め装置、この装置を備える加圧装置 |
-
2008
- 2008-02-08 JP JP2008029498A patent/JP5095435B2/ja active Active
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009189216A (ja) | 2009-08-20 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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S531 | Written request for registration of change of domicile |
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