JPS62217880A - 圧電アクチユエ−タの駆動方法 - Google Patents
圧電アクチユエ−タの駆動方法Info
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- JPS62217880A JPS62217880A JP61061558A JP6155886A JPS62217880A JP S62217880 A JPS62217880 A JP S62217880A JP 61061558 A JP61061558 A JP 61061558A JP 6155886 A JP6155886 A JP 6155886A JP S62217880 A JPS62217880 A JP S62217880A
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- Japan
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 17
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 30
- 230000010287 polarization Effects 0.000 abstract description 6
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 abstract 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/802—Drive or control circuitry or methods for piezoelectric or electrostrictive devices not otherwise provided for
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
この発明は、例えばｘＹステージの精密位置決め機構等
に用いられる圧電素子を積層して形成されるアクチュエ
ータＣ以下単に「圧電アクチュエータ」という）に関連
し、殊にこの発明は、この種圧電アクチュエータへ所定
の電圧を印加してこれを駆動するための圧電アクチュエ
ータの駆動方法に関する。
に用いられる圧電素子を積層して形成されるアクチュエ
ータＣ以下単に「圧電アクチュエータ」という）に関連
し、殊にこの発明は、この種圧電アクチュエータへ所定
の電圧を印加してこれを駆動するための圧電アクチュエ
ータの駆動方法に関する。
〈従来の技術〉
第４図は、この種圧電アクチュエークの通用例を示すも
ので、水平なベースｌ上に圧電アクチユエータ２が組み
込まれた精密位置決め機構３が配備されている。この精
密位置決めＩａ椹３は、基台部４と可動部５とを両側の
連結部６゜６で一体連結した構造であり、前記各連結部
６は複数のヒンジ部７を備えて、前記可動部５が昇降可
能な構造に形成されている。基台部４と可動部５との間
には前記圧電アクチュエータ２が介在させてあり、この
圧電アクチュエータ２へ電′ａ８より所定の電圧を供給
することにより、圧電アクチュエータ２を上下に伸縮変
位させて可動部５を昇降動作させる。
ので、水平なベースｌ上に圧電アクチユエータ２が組み
込まれた精密位置決め機構３が配備されている。この精
密位置決めＩａ椹３は、基台部４と可動部５とを両側の
連結部６゜６で一体連結した構造であり、前記各連結部
６は複数のヒンジ部７を備えて、前記可動部５が昇降可
能な構造に形成されている。基台部４と可動部５との間
には前記圧電アクチュエータ２が介在させてあり、この
圧電アクチュエータ２へ電′ａ８より所定の電圧を供給
することにより、圧電アクチュエータ２を上下に伸縮変
位させて可動部５を昇降動作させる。
上記精密位置決め機構３を駆動するのに、従来は圧電ア
クチュ、エータ２の変位に対応する値の電圧を圧電アク
チュエータに一度に印加してこれを駆動する方法がとら
れている。第５図はこの電圧印加方法の具体例を示して
おり、第５図（１１は矩形波電圧を、第５図（２）は三
角波電圧を、それぞれ圧電アクチュエータ２に印加する
ものである。
クチュ、エータ２の変位に対応する値の電圧を圧電アク
チュエータに一度に印加してこれを駆動する方法がとら
れている。第５図はこの電圧印加方法の具体例を示して
おり、第５図（１１は矩形波電圧を、第５図（２）は三
角波電圧を、それぞれ圧電アクチュエータ２に印加する
ものである。
〈発明が解決しようとする問題点〉
いま圧電アクチュエータ２を所望量変位させるとき、第
６図１１） （２）に示す如く、圧電アクチュエータ２
にはその変位に対応する電圧ｖ２ （ただし図中、■、
は初期状態の電圧）を印加することになる。この場合に
電圧■２の印加で圧電アクチュエータ２は変位ｄだけ変
位するが、その後この電圧印加状態を保持するとき、圧
電素子内部の誘電分極が時間経過とともに生じてこれが
圧電アクチュエータ２の変位となって現れ、例えば０．
１ μｍ程度の変位ドリフトΔｄが発生する。このため
例えば０．０１μｍの精度で位置決めを行いたい場合に
、圧電アクチュエータ２の変位を検出してフィードバン
ク制御する等の必要性が生じ、変位検出系やフィードバ
ック制御系等の導入による装置の複雑化を招き、もしこ
れらを導入しないときは変位ドリフトの影響により高精
度の位置決めが困難である等の問題があった。
６図１１） （２）に示す如く、圧電アクチュエータ２
にはその変位に対応する電圧ｖ２ （ただし図中、■、
は初期状態の電圧）を印加することになる。この場合に
電圧■２の印加で圧電アクチュエータ２は変位ｄだけ変
位するが、その後この電圧印加状態を保持するとき、圧
電素子内部の誘電分極が時間経過とともに生じてこれが
圧電アクチュエータ２の変位となって現れ、例えば０．
１ μｍ程度の変位ドリフトΔｄが発生する。このため
例えば０．０１μｍの精度で位置決めを行いたい場合に
、圧電アクチュエータ２の変位を検出してフィードバン
ク制御する等の必要性が生じ、変位検出系やフィードバ
ック制御系等の導入による装置の複雑化を招き、もしこ
れらを導入しないときは変位ドリフトの影響により高精
度の位置決めが困難である等の問題があった。
この発明は、圧電アクチュエータへ電圧を印加する際、
変位ドリフトが生じないような圧電アクチュエータの駆
動方法を提供するもので、もって精密位置決め機構等に
おいて安定した高精度な位置決めを可能とすることを目
的とする。
変位ドリフトが生じないような圧電アクチュエータの駆
動方法を提供するもので、もって精密位置決め機構等に
おいて安定した高精度な位置決めを可能とすることを目
的とする。
く問題点を解決するための手段〉
上記目的を達成するため、この発明では、目標変位に対
応する目標電圧を印加して圧電アクチュエータを駆動す
る場合に、圧電アクチュエータに対し前記目標電圧を越
える操作電圧を一定時間与えた後、操作電圧を目標電圧
に戻してこれを保持するようにした。
応する目標電圧を印加して圧電アクチュエータを駆動す
る場合に、圧電アクチュエータに対し前記目標電圧を越
える操作電圧を一定時間与えた後、操作電圧を目標電圧
に戻してこれを保持するようにした。
第１図（１１（２１はこの発明にかかる圧電アクチュエ
ータの駆動方法の具体例を示す。
ータの駆動方法の具体例を示す。
まず操作前の初期状態の電圧がＶ、であって目標電圧Ｖ
２がこの電圧Ｖ１より高い場合を想定すると、この場合
は圧電アクチュエータに対し目標電圧Ｖ２よりΔＶ１だ
け高い操作電圧を一定時間ΔＬだけ与えた後、操作電圧
を目標電圧■ｚに下げてこれを保持するものである（第
１図（１１のａ部分を参照）。
２がこの電圧Ｖ１より高い場合を想定すると、この場合
は圧電アクチュエータに対し目標電圧Ｖ２よりΔＶ１だ
け高い操作電圧を一定時間ΔＬだけ与えた後、操作電圧
を目標電圧■ｚに下げてこれを保持するものである（第
１図（１１のａ部分を参照）。
この電圧印加方法によれば、圧電アクチュエータは第１
図（２）に示す如く、印加電圧波形に追随して変位する
もので、一旦目標変位ｄを越えて大きく変位した後、目
標変位ｄに戻り、その後は印加電圧を一定保持するも、
変位ドリフトは生じず、一定の変位を維持する。
図（２）に示す如く、印加電圧波形に追随して変位する
もので、一旦目標変位ｄを越えて大きく変位した後、目
標変位ｄに戻り、その後は印加電圧を一定保持するも、
変位ドリフトは生じず、一定の変位を維持する。
つぎに初期状態の電圧が■、であって目標電圧Ｖ、がこ
の電圧■２より低い場合を想定すると、この場合は圧電
アクチュエータに対し目標電圧■、よりΔＶ、だけ低い
操作電圧を一定時間Δ【だけ与えた後、操作電圧を目標
電圧ＶＩに上げてこれを保持するものである（第１図（
１）のｂ部分を参照）。
の電圧■２より低い場合を想定すると、この場合は圧電
アクチュエータに対し目標電圧■、よりΔＶ、だけ低い
操作電圧を一定時間Δ【だけ与えた後、操作電圧を目標
電圧ＶＩに上げてこれを保持するものである（第１図（
１）のｂ部分を参照）。
この電圧印加方法によれば、圧電アクチュエータは前記
同様、印加電圧波形に追随して変位するもので、一旦目
標変位ｄを下回って変位した後、目標変位ｄに戻り、そ
の後は印加電圧を一定保持するも、変位ドリフトは生じ
ず、一定の変位を維持する。
同様、印加電圧波形に追随して変位するもので、一旦目
標変位ｄを下回って変位した後、目標変位ｄに戻り、そ
の後は印加電圧を一定保持するも、変位ドリフトは生じ
ず、一定の変位を維持する。
く作用〉
このように圧電アクチュエータに対し、目標電圧を越え
る操作電圧を一定時間与えると、その間に圧電素子内の
誘電分極の方向が揃うことになるため、その後操作電圧
を目標電圧に戻すときには、不安定な分子は存在しない
。従って操作電圧を保持して時間経過しても誘電分極は
生じず、圧電アクチュエータは変位せずに安定となる。
る操作電圧を一定時間与えると、その間に圧電素子内の
誘電分極の方向が揃うことになるため、その後操作電圧
を目標電圧に戻すときには、不安定な分子は存在しない
。従って操作電圧を保持して時間経過しても誘電分極は
生じず、圧電アクチュエータは変位せずに安定となる。
市販の圧電アクチュエータ（５ｍ＋５ｘ５１■Ｘ ９
ｓｗｒ ：日本電気株式会社製）を用いた場合、前記Δ
■１．ΔＶ、を印加電圧（Ｖ２−Ｖ、）の２０％とし、
またΔｔを１０ｍ５ｅｃ程度とすると、従来の駆動方法
では０．１μｍ／１０秒の変位ドリフトがあったのに対
し、この発明の駆動方法では０．０１μｍ／１０秒以下
の変位ドリフトに抑えることができた。
ｓｗｒ ：日本電気株式会社製）を用いた場合、前記Δ
■１．ΔＶ、を印加電圧（Ｖ２−Ｖ、）の２０％とし、
またΔｔを１０ｍ５ｅｃ程度とすると、従来の駆動方法
では０．１μｍ／１０秒の変位ドリフトがあったのに対
し、この発明の駆動方法では０．０１μｍ／１０秒以下
の変位ドリフトに抑えることができた。
〈実施例〉
第２図は、この発明の駆動方法を実施するのに用いられ
る圧電アクチュエータ駆動装置の回路構成例を示し、ま
た第３図は第２図に示す装置例のタイムチャートである
。
る圧電アクチュエータ駆動装置の回路構成例を示し、ま
た第３図は第２図に示す装置例のタイムチャートである
。
図示例において、ラッチ回路１０．１１は圧電アクチュ
エータへの印加電圧に相当する駆動データをラッチする
だめのものであり、一方のランチ回路ｌＯは今回与えら
れた駆動データをラッチし、また他方のラッチ回路１１
は前回与えられた駆動データをラッチする構成となって
いる。Ｄ／Ａ変換器１２．１３はそれぞれラッチ回路１
０．１１のラッチデータをアナログ信号（電圧）に変換
するだめのもので、各Ｄ／Ａ変換器１２．１３のアナロ
グ出力はオペアンプ１４に与えられて、その出力差が演
算され、さらにつぎのオペアンプ１５は前記出力差の定
数倍を演算して出力する。
エータへの印加電圧に相当する駆動データをラッチする
だめのものであり、一方のランチ回路ｌＯは今回与えら
れた駆動データをラッチし、また他方のラッチ回路１１
は前回与えられた駆動データをラッチする構成となって
いる。Ｄ／Ａ変換器１２．１３はそれぞれラッチ回路１
０．１１のラッチデータをアナログ信号（電圧）に変換
するだめのもので、各Ｄ／Ａ変換器１２．１３のアナロ
グ出力はオペアンプ１４に与えられて、その出力差が演
算され、さらにつぎのオペアンプ１５は前記出力差の定
数倍を演算して出力する。
タイマ１６は前記の時間Δｔを設定するためのものであ
って、その出力をアナログスイッチ１７の開閉制御信号
として機能させると共に、ノット回路１８による反転出
力を他のアナログスイッチ１９の開閉制御信号として機
能させる。
って、その出力をアナログスイッチ１７の開閉制御信号
として機能させると共に、ノット回路１８による反転出
力を他のアナログスイッチ１９の開閉制御信号として機
能させる。
なお前記の時間Δｔは１０ｍｅｃ〜Ｌ ｓｅｃに設定し
、さらに望ましくは４９ｍ５ｅｃ程度に設定する。
、さらに望ましくは４９ｍ５ｅｃ程度に設定する。
前記Ｄ／Ａ変換器１２のアナログ出力はオペアンプ２０
へ入力されるもので、またこのオペアンプ２０には他の
入力としてアナログスイッチ１７を介してアース電位が
、また他のアナログスイッチ１９を介して前記オペアン
プ１５の出力が、それぞれ選択的に与えられる。このオ
ペアンプ２０の出力はアンプ２１に与えられて整数倍（
ｋ倍）され、これが圧電アクチュエータの印加電圧とし
て出力されて、圧電アクチュエータを駆動するものであ
る。なお図中、Ｒ１−Ｒ３やＶＲ，はオペアンプ１４．
１５．２０の回路を構成する抵抗や可変抵抗に関する回
路定数であり、第１図に示すオーバシュート１ΔＶ１．
Δ■ゎは可変抵抗の値ＶＲ，を調整することにより任意
に設定できる。
へ入力されるもので、またこのオペアンプ２０には他の
入力としてアナログスイッチ１７を介してアース電位が
、また他のアナログスイッチ１９を介して前記オペアン
プ１５の出力が、それぞれ選択的に与えられる。このオ
ペアンプ２０の出力はアンプ２１に与えられて整数倍（
ｋ倍）され、これが圧電アクチュエータの印加電圧とし
て出力されて、圧電アクチュエータを駆動するものであ
る。なお図中、Ｒ１−Ｒ３やＶＲ，はオペアンプ１４．
１５．２０の回路を構成する抵抗や可変抵抗に関する回
路定数であり、第１図に示すオーバシュート１ΔＶ１．
Δ■ゎは可変抵抗の値ＶＲ，を調整することにより任意
に設定できる。
つぎに第２図の装置例の動作を説明する。
いま初期状態において、ラッチ回路１０は圧電アクチュ
エータへ印加する電圧Ｖ、に見合う駆動データをラッチ
しており、Ｄ／Ａ変換器１２はこのラッチデータをアナ
ログ電圧ｖ１に変換して出力している。一方タイマ１６
の出力は“ＬＯＷ”となっており、そのためアナログス
イッチ１７がオン状態、またアナログスイッチ１９がオ
フ状態となっている。よってオペアンプ２０にはＤ／Ａ
変換器１２の出力電圧ｖ１とアース電位とが与えられ、
つぎのアンプ２１は電圧ｖ１をに倍した電圧Ｖ、（＝ｋ
ｖＬ）を圧電アクチュエータへ出力することになる。
エータへ印加する電圧Ｖ、に見合う駆動データをラッチ
しており、Ｄ／Ａ変換器１２はこのラッチデータをアナ
ログ電圧ｖ１に変換して出力している。一方タイマ１６
の出力は“ＬＯＷ”となっており、そのためアナログス
イッチ１７がオン状態、またアナログスイッチ１９がオ
フ状態となっている。よってオペアンプ２０にはＤ／Ａ
変換器１２の出力電圧ｖ１とアース電位とが与えられ、
つぎのアンプ２１は電圧ｖ１をに倍した電圧Ｖ、（＝ｋ
ｖＬ）を圧電アクチュエータへ出力することになる。
つぎにランチ回路１０に対し、圧電アクチュエータへ印
加する電圧■２に見合う駆動データがラッチ信号ととも
に入力され、これによりラッチ回路ｌＯはこの駆動デー
タをラッチする。
加する電圧■２に見合う駆動データがラッチ信号ととも
に入力され、これによりラッチ回路ｌＯはこの駆動デー
タをラッチする。
一方他のラッチ回路１１の方は前記ランチ信号が送出さ
れてくる瞬間、前記ランチ回路１０が先程ラッチしてい
た前回の駆動データをラッチする。これにより一方のＤ
／Ａ変換器１２からはアナログ電圧ｖ２が、また他方の
Ｄ／Ａ変換器１３からはアナログ電圧■１が、それぞれ
出力され、これら電圧ｖｌ＋ ｖ２はオペアンプ１４
に与えられる。このオペアンプ１４では両電圧の差（ｖ
２−ｖＩ）が演算され、さらにつぎのオペアンプ１５で
これに定数倍してつぎの出力電圧Ｖ。Ｕ□が得られる。
れてくる瞬間、前記ランチ回路１０が先程ラッチしてい
た前回の駆動データをラッチする。これにより一方のＤ
／Ａ変換器１２からはアナログ電圧ｖ２が、また他方の
Ｄ／Ａ変換器１３からはアナログ電圧■１が、それぞれ
出力され、これら電圧ｖｌ＋ ｖ２はオペアンプ１４
に与えられる。このオペアンプ１４では両電圧の差（ｖ
２−ｖＩ）が演算され、さらにつぎのオペアンプ１５で
これに定数倍してつぎの出力電圧Ｖ。Ｕ□が得られる。
ところで前記タイマ１６はラッチ信号の入力と同時にパ
ルス幅（前記Δｔに相当する）が数十ｍ ｓ ｅ ｃの
パルスを出力する。このパルス出力が出力される間は一
方のアナログスイッチ１９がオン状態、他方のアナログ
スイッチ１７がオフ状態となり、オペアンプ２０にはＤ
／Ａ変換器１２のアナログ電圧ｖ２とオペアンプ１５の
前記出力電圧ｖ ｏｕｔとが与えられる。これによりオ
ペアンプ２０はつぎの０式で示す電圧ｖ ’ ｏｕｒを
出力し、さらにアンプ２１はこの電圧Ｖ′。０゜をに倍
した電圧Ｖ（０式で示す）を圧電アクチュエータへ出力
する。
ルス幅（前記Δｔに相当する）が数十ｍ ｓ ｅ ｃの
パルスを出力する。このパルス出力が出力される間は一
方のアナログスイッチ１９がオン状態、他方のアナログ
スイッチ１７がオフ状態となり、オペアンプ２０にはＤ
／Ａ変換器１２のアナログ電圧ｖ２とオペアンプ１５の
前記出力電圧ｖ ｏｕｔとが与えられる。これによりオ
ペアンプ２０はつぎの０式で示す電圧ｖ ’ ｏｕｒを
出力し、さらにアンプ２１はこの電圧Ｖ′。０゜をに倍
した電圧Ｖ（０式で示す）を圧電アクチュエータへ出力
する。
・・・・・・・・ ■
・・・・・・・・ ■
ただしｖ、＝ｋｖＬ、Ｖ、＝ｋｖ、である。
タイマ１６のパルス出力が終了すると、アナログスイッ
チ１７．１９の各スイッチ状態が逆転し、オペアンプ２
０にはＤ／Ａ変換器１２の出力電圧ｖ２とアース電位と
が与えられ、アンプ２１は電圧ｖ２をに倍した電圧Ｖｚ
（＝ｋ Ｖ Ｚ ）を圧電アクチュエータへ出力する
ことになる。
チ１７．１９の各スイッチ状態が逆転し、オペアンプ２
０にはＤ／Ａ変換器１２の出力電圧ｖ２とアース電位と
が与えられ、アンプ２１は電圧ｖ２をに倍した電圧Ｖｚ
（＝ｋ Ｖ Ｚ ）を圧電アクチュエータへ出力する
ことになる。
このような方法で圧電アクチュエータへ電圧を印加すれ
ば、圧電アクチュエータは第３図に示す印加電圧波形に
追随して変位するもので、一旦目標変位を越えて大きく
変位した後、目標変位に戻り、その後は印加電圧を一定
保持するも、変位ドリフトは生じず、一定の変位を維持
する。
ば、圧電アクチュエータは第３図に示す印加電圧波形に
追随して変位するもので、一旦目標変位を越えて大きく
変位した後、目標変位に戻り、その後は印加電圧を一定
保持するも、変位ドリフトは生じず、一定の変位を維持
する。
なお初期状態の電圧がｖ２であって、これより低い目標
電圧Ｖ、を印加する場合も上記と同様であり、ここでは
オーバシュートｉを第３図に示してその説明を省略する
が、この場合も圧電アクチュエータは印加電圧波形に追
随し、一旦目標変位を下回って変位した後、目標変位に
戻るものである。
電圧Ｖ、を印加する場合も上記と同様であり、ここでは
オーバシュートｉを第３図に示してその説明を省略する
が、この場合も圧電アクチュエータは印加電圧波形に追
随し、一旦目標変位を下回って変位した後、目標変位に
戻るものである。
〈発明の効果〉
この発明は上記の如く、圧電アクチュエータに対し目標
電圧を越える操作電圧を一定時間与えて圧電素子内の誘
電分極の方向を揃えた後、操作電圧を目標電圧に戻して
これを保持するようにしたから、保持電圧印加状態下で
時間が経過しても誘電分極は生じず、圧電アクチュエー
タは変位しない。従って圧電アクチュエータには変位ド
リフトが生じず、精密位置決め機構等において安定した
高精度な位置決めを実現できる。また高精度の位置決め
を行うのに、圧電アクチュエータの変位を検出する系や
、その検出量をフィードバック制御する系等が全く不要
であるため、装置の簡易化が可能である等、発明目的を
達成した顕著な効果を奏する。
電圧を越える操作電圧を一定時間与えて圧電素子内の誘
電分極の方向を揃えた後、操作電圧を目標電圧に戻して
これを保持するようにしたから、保持電圧印加状態下で
時間が経過しても誘電分極は生じず、圧電アクチュエー
タは変位しない。従って圧電アクチュエータには変位ド
リフトが生じず、精密位置決め機構等において安定した
高精度な位置決めを実現できる。また高精度の位置決め
を行うのに、圧電アクチュエータの変位を検出する系や
、その検出量をフィードバック制御する系等が全く不要
であるため、装置の簡易化が可能である等、発明目的を
達成した顕著な効果を奏する。
第１図はこの発明の駆動方法を示す波形説明図、第２図
はこの発明の実施に用いられる装置例の回路ブロック図
、第３図は第２図の装置例のタイムチャート、第４図は
圧電アクチュエータの適用例を示す説明図、第５図およ
び第６図は従来の駆動方法を示す波形説明図である。
はこの発明の実施に用いられる装置例の回路ブロック図
、第３図は第２図の装置例のタイムチャート、第４図は
圧電アクチュエータの適用例を示す説明図、第５図およ
び第６図は従来の駆動方法を示す波形説明図である。
Claims (3)
- （１） 目標変位に対応する目標電圧を印加して圧電ア
クチュエータを駆動する方法であって、圧電アクチュエ
ータに対し前記目標電圧を越える操作電圧を一定時間与
えた後、操作電圧を目標電圧に戻してこれを保持するこ
とを特徴とする圧電アクチュエータの駆動方法。 - （２） 前記目標電圧が初期状態の電圧より高い場合に
おいて、前記圧電アクチュエータに対し目標電圧より高
い操作電圧を一定時間与えた後、操作電圧を目標電圧に
下げてこれを保持する特許請求の範囲第１項記載の圧電
アクチュエータの駆動方法。 - （３） 前記目標電圧が初期状態の電圧より低い場合に
おいて、前記圧電アクチュエータに対し目標電圧より低
い操作電圧を一定時間与えた後、操作電圧を目標電圧に
上げてこれを保持する特許請求の範囲第１項記載の圧電
アクチュエータの駆動方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61061558A JPS62217880A (ja) | 1986-03-18 | 1986-03-18 | 圧電アクチユエ−タの駆動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61061558A JPS62217880A (ja) | 1986-03-18 | 1986-03-18 | 圧電アクチユエ−タの駆動方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62217880A true JPS62217880A (ja) | 1987-09-25 |
Family
ID=13174558
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61061558A Pending JPS62217880A (ja) | 1986-03-18 | 1986-03-18 | 圧電アクチユエ−タの駆動方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62217880A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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