JP5092968B2 - ガス溶解水供給装置及びガス溶解水の製造方法 - Google Patents
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Description
飽和酸素水を製造する場合、希釈ガスを用いることは無いので、流量調節弁34は閉弁しておく。
飽和濃度未満の酸素溶解水を製造する場合、希釈ガスを用いるので、飽和酸素水を製造する場合とは異なり、以下に説明する通り、流量調節弁34は開弁する。
第1図の装置を用い、ガス溶解水を製造した。装置の詳細は以下の通りである。また、実施例1〜4において、供給酸素量及び供給窒素量を、表1に示す通りとした。
溶解膜モジュール:セルガード(株)製G284×1本
溶解膜モジュールの気相室の体積:1.1L
目的ガス:酸素
希釈ガス:窒素
原水:超純水
水温:25℃
溶解膜モジュールへの脱気水の供給水量:20L/min
第1図の装置において、気相室23のガス流出用のポートをブラインドプレートによって閉鎖し、供給酸素量を0.57(L/min)としたことの他は実施例1と同様にして、ガス溶解水を製造した。
11 気体透過膜
12 液相室
13 気相室
15 真空ポンプ
20 気体溶解膜モジュール
21 気体透過膜
22 液相室
23 気相室
31 目的ガス供給源
32,34 流量調節弁
33 希釈ガス供給源
Claims (4)
- 気体透過膜によって気相室と液相室に区画された気体溶解膜モジュールと、該気体溶解膜モジュールに供給される水を脱気処理する脱気装置とを有するガス溶解水供給装置において、
該気体溶解膜モジュールの気相室に供給するガス量を、該液相室への供給水量から算出される飽和溶解量よりも多いガス量とし、
該気相室の下端部は、ガス無害化装置を経ることなく大気開放とされ、
該気相室に供給したガスのうち溶解しなかった余剰分を排出しながら、ガスを溶解させるガス溶解水供給装置であって、
前記気体溶解膜モジュールの気相室にガスを供給するガス供給手段として、酸素ガスよりなる目的ガスと窒素ガスよりなる希釈ガスとを供給するよう構成されたガス供給手段が設けられており、
該ガス供給手段は、該目的ガスと希釈ガスとの少なくとも一方の供給量を制御可能であることを特徴とするガス溶解水供給装置。 - 請求項1のガス溶解水供給装置を用いてガス溶解水を製造するガス溶解水の製造方法。
- 請求項1のガス溶解水供給装置を用いてガス溶解水を製造する方法であって、該ガス溶解水供給装置からのガス溶解水中の目的ガス濃度に応じて前記気相室への目的ガス及び希釈ガスの少なくとも一方のガス供給量を制御することを特徴とするガス供給水の製造方法。
- 請求項2又は3において、製造したガス溶解水を配管を介してユースポイントに送ることを特徴とするガス供給水の製造方法。
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