JP5092804B2 - Power converter - Google Patents

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Description

本発明は、電力変換装置に関する。   The present invention relates to a power conversion device.

半導体回路によって直流を交流に変換する半導体装置(パワー半導体モジュール)や、前記パワー半導体モジュールと直流平滑回路を構成するコンデンサモジュールとを備えた電力変換装置(インバータ装置)においては、配線のインダクタンスを低減することが必要である。   In a semiconductor device (power semiconductor module) that converts direct current into alternating current using a semiconductor circuit and a power conversion device (inverter device) that includes the power semiconductor module and a capacitor module that forms a direct current smoothing circuit, the inductance of the wiring is reduced. It is necessary to.

従来、パワー半導体モジュールの内部配線、コンデンサモジュールの内部配線及びコンデンサモジュールから半導体モジュールに至る外部配線に寄生するインダクタンスを小さくする構造や構成が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。特許文献1には、図14(a),(b)に示すように、ベース71上に設けられた絶縁基板72上にスイッチングチップ73及びダイオードチップ74が設けられ、P側(正側)導体75及びN側(負側)導体76が相互に絶縁された積層状に設けられ、図示しない絶縁ケース内に収納されたパワー半導体モジュールが開示されている。P側導体75及びN側導体76は、平板状の主導体75a,76aと、各主導体75a,76aの端部に形成され相互に絶縁された帯状の副導体75b,76bとを備え、各副導体75b,76bの端部が外部接続端子P2,N2となっている。また、パワー半導体モジュールの絶縁ケース上にコンデンサモジュールを配置したインバータ装置が記載されている。さらに、P側導体75とN側導体76を構成する主導体75a,76a上に、分岐導体を立設し、各分岐導体にコンデンサエレメントを接続した構成も開示されている。
特開2005−347561号公報
2. Description of the Related Art Conventionally, a structure and a configuration have been proposed that reduce the parasitic inductance in the internal wiring of a power semiconductor module, the internal wiring of a capacitor module, and the external wiring from the capacitor module to the semiconductor module (see, for example, Patent Document 1). In Patent Document 1, as shown in FIGS. 14A and 14B, a switching chip 73 and a diode chip 74 are provided on an insulating substrate 72 provided on a base 71, and a P side (positive side) conductor. A power semiconductor module is disclosed in which 75 and N-side (negative-side) conductors 76 are provided in a laminated form insulated from each other and housed in an insulating case (not shown). The P-side conductor 75 and the N-side conductor 76 include flat main conductors 75a and 76a, and strip-shaped subconductors 75b and 76b formed at the ends of the main conductors 75a and 76a and insulated from each other. The end portions of the sub conductors 75b and 76b are external connection terminals P2 and N2. In addition, an inverter device is described in which a capacitor module is disposed on an insulating case of a power semiconductor module. Further, a configuration is also disclosed in which branch conductors are erected on the main conductors 75a and 76a constituting the P-side conductor 75 and the N-side conductor 76, and a capacitor element is connected to each branch conductor.
JP 2005-347561 A

特許文献1には、パワー半導体モジュールのP側導体75及びN側導体76やコンデンサモジュールのP側導体及びN側導体を相互に絶縁された積層状に設けることにより、パワー半導体モジュールの内部配線及びコンデンサモジュールの内部配線のインダクタンスを低減する構成が開示されている。また、外部接続端子を帯状の副導体75b,76bの端部で構成し、副導体75b,76bの一部を近接して平行に配置することでインダクタンスを低減する構成が開示されている。   In Patent Document 1, the P-side conductor 75 and the N-side conductor 76 of the power semiconductor module and the P-side conductor and the N-side conductor of the capacitor module are provided in a mutually insulated laminated form, A configuration for reducing the inductance of the internal wiring of the capacitor module is disclosed. In addition, a configuration is disclosed in which the external connection terminal is configured by the end portions of the strip-shaped sub conductors 75b and 76b, and a part of the sub conductors 75b and 76b are arranged close to each other in parallel to reduce inductance.

パワー半導体モジュールの場合、スイッチング素子を流れる電流量が大きな場合は、1個のスイッチング素子を用いる代わりに複数個のスイッチング素子を並列に接続して使用する場合がある。その場合、パワー半導体モジュールの内部配線全体のインダクタンスを低減するには、主導体75a,76aの電流を絶縁基板72上の回路パターンに供給する接続導体75u,75v,75w、76u,76v,76wと前記回路パターンとの接続点とスイッチングチップ73との関係を配慮する必要がある。ところが、特許文献1には1個のスイッチング素子を用いる代わりに複数個のスイッチング素子を並列に接続して使用する場合に関しては何ら記載がない。   In the case of a power semiconductor module, when the amount of current flowing through the switching element is large, a plurality of switching elements may be connected in parallel instead of using one switching element. In that case, in order to reduce the inductance of the entire internal wiring of the power semiconductor module, connection conductors 75u, 75v, 75w, 76u, 76v, and 76w that supply the current of the main conductors 75a and 76a to the circuit pattern on the insulating substrate 72; It is necessary to consider the relationship between the connection point with the circuit pattern and the switching chip 73. However, Patent Document 1 has no description regarding the case of using a plurality of switching elements connected in parallel instead of using one switching element.

本発明は、前記の問題に鑑みてなされたものであって、その目的は、コンデンサに電気的に接続された配線部材の回路パターンへの接合部と各スイッチング素子との間の配線インダクタンスの低減を図ることができる電力変換装置を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above problems, and its object is to reduce the wiring inductance between the connection portion of the wiring member electrically connected to the capacitor to the circuit pattern and each switching element. It is providing the power converter device which can aim at.

前記の目的を達成するため、請求項1に記載の発明は、複数のスイッチング素子が実装された基板と、相互に電気的に絶縁された状態で近接して平行に配置された平板状の正極用配線部材及び負極用配線部材と、正極端子が前記正極用配線部材に電気的に接続され、負極端子が前記負極用配線部材に電気的に接続されたコンデンサとを備えた電力変換装置である。そして、前記基板は、前記スイッチング素子が実装される回路パターンとして、前記スイッチング素子のドレイン又はコレクタが電気的に接続される第1領域と、前記スイッチング素子のソース又はエミッタが電気的に接続される第2領域とを備えている。前記第1領域の少なくとも前記正極用配線部材の接合部又は出力電極部材の接合部が接合される領域と、その第1領域と対応する第2領域の少なくとも出力電極部材の接合部が接合される領域又は前記負極用配線部材の接合部が接合される領域とが平行状態で隣り合うように設けられている。   In order to achieve the above-mentioned object, the invention according to claim 1 is a flat positive electrode disposed in parallel with a substrate on which a plurality of switching elements are mounted, in a state of being electrically insulated from each other. A power conversion device comprising: a wiring member for a negative electrode; a wiring member for a negative electrode; and a capacitor having a positive electrode terminal electrically connected to the positive electrode wiring member and a negative electrode terminal electrically connected to the negative electrode wiring member. . The substrate has a first pattern in which a drain or a collector of the switching element is electrically connected as a circuit pattern on which the switching element is mounted, and a source or an emitter of the switching element is electrically connected. And a second region. A region where at least a joint portion of the positive electrode wiring member or a joint portion of the output electrode member is joined in the first region and a joint portion of at least the output electrode member in the second region corresponding to the first region are joined. The region or the region where the joint portion of the negative electrode wiring member is joined is provided so as to be adjacent in parallel.

また、請求項1に記載の発明は、前記正極用配線部材及び前記負極用配線部材は、前記基板と平行に重なるように配置されるとともに、その幅方向の両端部から端子部が前記基板側に向かって延出し、かつ先端部が基板と平行に延びるように屈曲されて前記接合部が形成されている。また、前記コンデンサは、前記正極用配線部材及び前記負極用配線部材のうちの前記基板と対向しない一方の配線部材上に、前記正極端子及び前記負極端子が前記配線部材側になる状態に配置されている。
この発明では、平板状の正極用配線部材及び負極用配線部材は、相互に絶縁された状態で近接して平行に配置されているため、電力変換装置の駆動時における配線インダクタンスが低減される。各スイッチング素子が実装される回路パターンは、スイッチング素子のドレイン又はコレクタが電気的に接続される第1領域と、スイッチング素子のソース又はエミッタが電気的に接続される第2領域とは、少なくとも正極用配線部材、負極用配線部材及び出力電極部材それぞれの接合部が接合される領域が、平行状態で隣り合うように設けられている。そのため、各スイッチング素子が駆動される際、第1領域及び第2領域に流れる電流の向きが逆方向になり、相互インダクタンス効果によって配線インダクタンスがより低減される。
また、この発明では、正極用配線部材及び負極用配線部材は、基板と平行に重なるように配置されているため、垂直に配置される場合に比較して、基板を下側にして使用する場合、電力変換装置全体の高さを低くすることができる。また、端子部が正極用配線部材及び負極用配線部材の幅方向両側に設けられているため、スイッチング素子数が多くなった場合、電力変換装置全体としての配線インダクタンスの低減及び各スイッチング素子と配線部材との間の配線インダクタンスの平準化を図り易い。
The positive electrode wiring member and the negative electrode wiring member are arranged so as to overlap in parallel with the substrate, and terminal portions are provided on both sides of the substrate from both ends in the width direction. The joint portion is formed by being bent so that the tip portion extends in parallel with the substrate. The capacitor is arranged on one of the positive wiring member and the negative wiring member that does not face the substrate so that the positive terminal and the negative terminal are on the wiring member side. ing.
In the present invention, since the flat positive electrode wiring member and the negative electrode wiring member are arranged in close proximity and in parallel with each other, the wiring inductance during driving of the power converter is reduced. The circuit pattern on which each switching element is mounted includes at least a first region where the drain or collector of the switching element is electrically connected and a second region where the source or emitter of the switching element is electrically connected. A region where the joint portions of the wiring member for negative electrode, the wiring member for negative electrode, and the output electrode member are joined is provided to be adjacent in parallel. Therefore, when each switching element is driven, the direction of the current flowing in the first region and the second region is reversed, and the wiring inductance is further reduced by the mutual inductance effect.
In the present invention, since the positive electrode wiring member and the negative electrode wiring member are arranged so as to overlap in parallel with the substrate, the case where the substrate is used on the lower side as compared with the case of being arranged vertically is used. The overall height of the power conversion device can be reduced. In addition, since the terminal portions are provided on both sides in the width direction of the positive electrode wiring member and the negative electrode wiring member, when the number of switching elements increases, the wiring inductance is reduced as a whole power conversion device, and each switching element and the wiring It is easy to level the wiring inductance between the members.

請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の発明において、前記第1領域及び前記第2領域は帯状に形成され、各第1領域には複数の前記スイッチング素子が実装され、それらのスイッチング素子のソース又はエミッタがワイヤボンディングにより前記第2領域に接続されている。この発明では、第1領域及び前記第2領域は帯状に形成されているため、第1領域及び第2領域を帯状ではなくブロック状にした場合に比較して、隣接する部分の長さが長くなり、相互インダクタンス効果が大きくなって配線インダクタンスがより低減される。   According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the first region and the second region are formed in a strip shape, and a plurality of the switching elements are mounted in each first region. The source or emitter of the switching element is connected to the second region by wire bonding. In the present invention, since the first region and the second region are formed in a strip shape, the length of the adjacent portion is longer than in the case where the first region and the second region are formed in a block shape instead of a strip shape. Thus, the mutual inductance effect is increased and the wiring inductance is further reduced.

請求項3に記載の発明は、請求項2に記載の発明において、前記電力変換装置はインバータ装置であり、各アームは4N個(Nは自然数)のスイッチング素子を備えており、前記正極用配線部材の接合部、前記負極用配線部材の接合部及び前記出力電極部材の接合部はアーム毎に2個設けられ、前記スイッチング素子は2N個ずつ前記正極用配線部材の各接合部に対応して第1領域上に実装されている。ここで、「2N個ずつ前記正極用配線部材の各接合部に対応して」とは、4N個のうち2N個のスイッチング素子が一方の正極用配線部材の接合部に近く、残りの2N個のスイッチング素子が他方の正極用配線部材の接合部に近い状態を意味する。この発明では、配線インダクタンスの低減に加えて、スイッチング素子が多くなっても、各スイッチング素子と各接合部との間の配線インダクタンスの平準化を図ることができる。   The invention according to claim 3 is the invention according to claim 2, wherein the power conversion device is an inverter device, each arm is provided with 4N (N is a natural number) switching elements, and the positive electrode wiring Two joining portions of the member, the joining portion of the negative electrode wiring member and the joining portion of the output electrode member are provided for each arm, and 2N switching elements correspond to each joining portion of the positive wiring member. It is mounted on the first area. Here, “corresponding to each junction of the positive electrode wiring member by 2N pieces” means that 2N switching elements out of 4N are close to the junction of one positive electrode wiring member, and the remaining 2N pieces. This means that the switching element is close to the joint of the other positive electrode wiring member. In the present invention, in addition to the reduction of the wiring inductance, the wiring inductance between each switching element and each junction can be leveled even when the number of switching elements increases.

本発明によれば、コンデンサに電気的に接続された配線部材の回路パターンへの接合部と各スイッチング素子との間の配線インダクタンスの低減を図ることができる電力変換装置を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the power converter device which can aim at reduction of the wiring inductance between the junction part to the circuit pattern of the wiring member electrically connected to the capacitor | condenser and each switching element can be provided.

以下、本発明を3相用のインバータ装置に具体化した一実施形態を図1〜図9にしたがって説明する。
先ずインバータ装置の回路構成を説明する。図1(a)に示すように、インバータ装置11は、6個のスイッチング素子Q1〜Q6を有するインバータ回路12を備えている。各スイッチング素子Q1〜Q6には、MOSFET(metal oxide semiconductor 電界効果トランジスタ)が使用されている。インバータ回路12は、第1及び第2のスイッチング素子Q1,Q2、第3及び第4のスイッチング素子Q3,Q4、第5及び第6のスイッチング素子Q5,Q6がそれぞれ直列に接続されている。各スイッチング素子Q1〜Q6のドレインとソース間には、ダイオードD1〜D6が、逆並列に接続されている。第1、第3及び第5のスイッチング素子Q1,Q3,Q5及び各第1、第3及び第5のスイッチング素子Q1,Q3,Q5に接続されたダイオードD1,D3,D5の組はそれぞれ上アームと呼ばれる。また、第2、第4及び第6のスイッチング素子Q2,Q4,Q6及び第2、第4及び第6のスイッチング素子Q2,Q4,Q6に接続されたダイオードD2,D4,D6の組はそれぞれ下アームと呼ばれる。
Hereinafter, an embodiment in which the present invention is embodied in a three-phase inverter device will be described with reference to FIGS.
First, the circuit configuration of the inverter device will be described. As shown in FIG. 1A, the inverter device 11 includes an inverter circuit 12 having six switching elements Q1 to Q6. MOSFETs (metal oxide semiconductor field effect transistors) are used for the switching elements Q1 to Q6. In the inverter circuit 12, first and second switching elements Q1 and Q2, third and fourth switching elements Q3 and Q4, and fifth and sixth switching elements Q5 and Q6 are connected in series, respectively. Diodes D1 to D6 are connected in antiparallel between the drains and sources of the switching elements Q1 to Q6. The first, third and fifth switching elements Q1, Q3 and Q5 and the diodes D1, D3 and D5 connected to the first, third and fifth switching elements Q1, Q3 and Q5 are respectively upper arms. Called. The second, fourth and sixth switching elements Q2, Q4 and Q6 and the diodes D2, D4 and D6 connected to the second, fourth and sixth switching elements Q2, Q4 and Q6 are respectively lower pairs. Called the arm.

第1、第3及び第5のスイッチング素子Q1,Q3,Q5のドレインが、配線13を介して電源入力用のプラス入力端子14に接続され、第2、第4及び第6のスイッチング素子Q2,Q4,Q6が、配線15を介して電源入力用のマイナス入力端子16に接続されている。配線13及び配線15間にはコンデンサ17が複数並列に接続されている。この実施形態ではコンデンサ17として電解コンデンサが使用され、コンデンサ17の正極(プラス)端子が配線13に接続され、コンデンサ17の負極(マイナス)端子が配線15に接続されている。   The drains of the first, third and fifth switching elements Q1, Q3 and Q5 are connected to the positive input terminal 14 for power supply input via the wiring 13, and the second, fourth and sixth switching elements Q2, Q4 and Q6 are connected to a negative input terminal 16 for power supply input via a wiring 15. A plurality of capacitors 17 are connected in parallel between the wiring 13 and the wiring 15. In this embodiment, an electrolytic capacitor is used as the capacitor 17, the positive electrode (plus) terminal of the capacitor 17 is connected to the wiring 13, and the negative electrode (minus) terminal of the capacitor 17 is connected to the wiring 15.

スイッチング素子Q1,Q2の間の接合点はU相端子Uに、スイッチング素子Q3,Q4の間の接合点はV相端子Vに、スイッチング素子Q5,Q6の間の接合点はW相端子Wに、それぞれ接続されている。各スイッチング素子Q1〜Q6のゲートは駆動信号入力端子G1〜G6に接続されている。各スイッチング素子Q1〜Q6のソースは信号端子S1〜S6に接続されている。   The junction between switching elements Q1 and Q2 is at U-phase terminal U, the junction between switching elements Q3 and Q4 is at V-phase terminal V, and the junction between switching elements Q5 and Q6 is at W-phase terminal W. , Each connected. The gates of the switching elements Q1 to Q6 are connected to the drive signal input terminals G1 to G6. The sources of the switching elements Q1 to Q6 are connected to the signal terminals S1 to S6.

図1(a)では各上アーム及び各下アームがそれぞれ、1個のスイッチング素子及び1個のダイオードで示されているが、各アームは、図1(b)に示すように、スイッチング素子QとダイオードDの組が複数並列に接続された構成になっている。この実施形態では各アームはそれぞれ4組のスイッチング素子Q及びダイオードDで構成されている。即ち、各アームは一つのスイッチング素子の機能と同じ役割を行うための複数のスイッチング素子からなる。   In FIG. 1 (a), each upper arm and each lower arm are shown as one switching element and one diode, but each arm has a switching element Q as shown in FIG. 1 (b). And a plurality of pairs of diodes D are connected in parallel. In this embodiment, each arm is composed of four sets of switching elements Q and diodes D. That is, each arm consists of a plurality of switching elements for performing the same role as the function of one switching element.

次にインバータ装置11の構造を説明する。
図2及び図3に示すように、インバータ装置11は、銅製の金属ベース20と、絶縁基板としてのセラミック基板21とで構成された基板22上に半導体チップ23が実装されている。半導体チップ23は、1個のスイッチング素子(MOSFET)及び1個のダイオードが一つのデバイスとして組み込まれている。即ち、半導体チップ23は、図1(b)に示される一つのスイッチング素子Q及び一つのダイオードDを備えたデバイスとなる。
Next, the structure of the inverter device 11 will be described.
As shown in FIGS. 2 and 3, in the inverter device 11, a semiconductor chip 23 is mounted on a substrate 22 composed of a copper metal base 20 and a ceramic substrate 21 as an insulating substrate. In the semiconductor chip 23, one switching element (MOSFET) and one diode are incorporated as one device. That is, the semiconductor chip 23 is a device including one switching element Q and one diode D shown in FIG.

セラミック基板21は、表面に回路パターン24a,24b,24c,24dを有し、裏面にセラミック基板21と金属ベース20とを接合する接合層として機能する金属板25を有するセラミック板26で構成されている。セラミック板26は、例えば、窒化アルミニウム、アルミナ、窒化ケイ素等により形成され、回路パターン24a,24b,24c,24d及び金属板25は、例えば、アルミニウムや銅等で形成されている。セラミック基板21は、金属板25を介して半田(図示せず)で金属ベース20に接合されている。以下、この明細書では、金属ベース20をインバータ装置11の底部(下部)として説明する。   The ceramic substrate 21 is composed of a ceramic plate 26 having circuit patterns 24a, 24b, 24c, and 24d on the front surface and a metal plate 25 that functions as a bonding layer for bonding the ceramic substrate 21 and the metal base 20 to the back surface. Yes. The ceramic plate 26 is made of, for example, aluminum nitride, alumina, silicon nitride, or the like, and the circuit patterns 24a, 24b, 24c, 24d and the metal plate 25 are made of, for example, aluminum or copper. The ceramic substrate 21 is joined to the metal base 20 with solder (not shown) through the metal plate 25. Hereinafter, in this specification, the metal base 20 is described as the bottom (lower part) of the inverter device 11.

回路パターン24aはゲート信号用の回路パターン、回路パターン24bはドレイン用の回路パターン、回路パターン24cはソース用の回路パターン、回路パターン24dはソース信号用の回路パターンである。各回路パターン24a,24b,24c,24dは帯状に形成されている。ドレイン用の回路パターン24bと、ソース用の回路パターン24cとは、隣接して平行に延びるように形成され、ゲート信号用の回路パターン24a及びソース信号用の回路パターン24dは、回路パターン24cと反対側において回路パターン24bと平行に延びるように形成されている。半導体チップ23は、ドレイン用の回路パターン24b上に半田で接合されている。即ち、基板22は、スイッチング素子が実装される回路パターンとして、スイッチング素子のドレインが電気的に接続される第1領域としての回路パターン24bと、スイッチング素子のソースが電気的に接続される第2領域としての回路パターン24cとを備えている。なお、図5に示すように、半導体チップ23は、ゲートとゲート信号用の回路パターン24aとの間、ソースとソース用の回路パターン24cとの間及びソースとソース信号用の回路パターン24dとの間をワイヤボンディングにより電気的に接続されている。   The circuit pattern 24a is a circuit pattern for a gate signal, the circuit pattern 24b is a circuit pattern for a drain, the circuit pattern 24c is a circuit pattern for a source, and the circuit pattern 24d is a circuit pattern for a source signal. Each circuit pattern 24a, 24b, 24c, 24d is formed in a strip shape. The circuit pattern 24b for drain and the circuit pattern 24c for source are formed so as to extend in parallel adjacent to each other, and the circuit pattern 24a for gate signal and the circuit pattern 24d for source signal are opposite to the circuit pattern 24c. It is formed to extend in parallel with the circuit pattern 24b on the side. The semiconductor chip 23 is joined to the drain circuit pattern 24b by solder. That is, the substrate 22 has a circuit pattern 24b as a first region in which the drain of the switching element is electrically connected as a circuit pattern on which the switching element is mounted, and a second in which the source of the switching element is electrically connected. And a circuit pattern 24c as a region. As shown in FIG. 5, the semiconductor chip 23 includes a gate and a circuit pattern 24a for a gate signal, a circuit pattern 24c for a source and a source, and a circuit pattern 24d for a source and a source signal. They are electrically connected by wire bonding.

金属ベース20はほぼ矩形状に形成され、セラミック基板21も矩形状に形成されている。セラミック基板21は12個設けられ、長手方向が金属ベース20の長手方向と直交する状態で各列6個となるように2列、6行に配置されている。そして、各行の2個のセラミック基板21上に配置された半導体チップ23がインバータ回路12の各アームを構成する。この実施形態では、半導体チップ23は、各セラミック基板21上に2個ずつ実装されており、4個の半導体チップ23がそれぞれ1つのアームを構成する。即ち、一つのスイッチング素子の機能と同じ役割を行うための複数のスイッチング素子(半導体チップ23)からなる複数組のスイッチング素子群が基板22上に実装されている。半導体チップ23は、回路パターン24bの長手方向中央部にスペースが存在し、スペースの両側に半導体チップ23が1個ずつ位置するように配置されている。   The metal base 20 is formed in a substantially rectangular shape, and the ceramic substrate 21 is also formed in a rectangular shape. Twelve ceramic substrates 21 are provided and arranged in two columns and six rows so that the longitudinal direction is six in each column in a state perpendicular to the longitudinal direction of the metal base 20. The semiconductor chips 23 arranged on the two ceramic substrates 21 in each row constitute each arm of the inverter circuit 12. In this embodiment, two semiconductor chips 23 are mounted on each ceramic substrate 21, and each of the four semiconductor chips 23 constitutes one arm. That is, a plurality of sets of switching elements composed of a plurality of switching elements (semiconductor chips 23) for performing the same role as the function of one switching element are mounted on the substrate 22. The semiconductor chip 23 has a space in the center in the longitudinal direction of the circuit pattern 24b, and is arranged so that one semiconductor chip 23 is located on each side of the space.

基板22の上方には平板状の正極用配線部材27及び負極用配線部材28が、基板22と平行に、かつ相互に絶縁された状態で近接して重なるように配置されている。この実施形態では、正極用配線部材27の上方に負極用配線部材28が配置されている。正極用配線部材27は図1(a)における配線13を、負極用配線部材28は図1(a)における配線15をそれぞれ構成する。正極用配線部材27は、幅方向の端部から基板22側に向かって延びるように設けられた複数(この実施形態では3対6個)の端子部27aにより、上アームを構成するセラミック基板21上のドレイン用の回路パターン24bの中央部に超音波接合されている。負極用配線部材28は、幅方向の端部から基板22側に向かって延びるように設けられた複数(この実施形態では3対6個)の端子部28aにより、下アームを構成するセラミック基板21上のソース用の回路パターン24cの中央部に超音波接合されている。即ち、正極用配線部材27の接合部27b及び負極用配線部材28の接合部28bは一組のアーム毎に2個設けられ、半導体チップ(スイッチング素子)23は2個ずつ正極用配線部材27の各接合部27bに対応して回路パターン24b上に実装されている。   Above the substrate 22, a flat plate-like positive electrode wiring member 27 and a negative electrode wiring member 28 are arranged in parallel with the substrate 22 so as to overlap each other while being insulated from each other. In this embodiment, a negative electrode wiring member 28 is disposed above the positive electrode wiring member 27. The positive wiring member 27 constitutes the wiring 13 in FIG. 1A, and the negative wiring member 28 constitutes the wiring 15 in FIG. 1A. The positive electrode wiring member 27 includes a plurality of (three to six in this embodiment) terminal portions 27 a provided so as to extend from the end in the width direction toward the substrate 22, and the ceramic substrate 21 constituting the upper arm. It is ultrasonically bonded to the central portion of the upper circuit pattern 24b for drain. The negative electrode wiring member 28 includes a plurality of (three to six in this embodiment) terminal portions 28 a provided so as to extend from the end in the width direction toward the substrate 22, and the ceramic substrate 21 constituting the lower arm. It is ultrasonically bonded to the center of the upper circuit pattern 24c for the source. That is, two joining portions 27b of the positive electrode wiring member 27 and two joining portions 28b of the negative electrode wiring member 28 are provided for each pair of arms, and two semiconductor chips (switching elements) 23 are provided for each of the positive electrode wiring members 27. It is mounted on the circuit pattern 24b corresponding to each joint portion 27b.

詳述すると、端子部27a,28aは、図4(b)等に示すように、それぞれ正極用配線部材27及び負極用配線部材28の幅方向の端部両側に、幅方向の中心線に対して線対称に設けられている。各端子部27a,28aは、それぞれ正極用配線部材27及び負極用配線部材28の幅方向の端部から基板22側に向かって屈曲し、さらに基板22に超音波接合されている接合部27b,28bが配線部材27,28と平行に延びるように屈曲形成されている。そして、各接合部27b,28bは、配線部材27,28の同じ側に配置された各端子部27a,28aの超音波接合箇所が一直線上に位置するように設けられて、各回路パターン24b,24cに超音波接合されている。   More specifically, as shown in FIG. 4B, the terminal portions 27a and 28a are respectively located on both sides of the width direction end portions of the positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28 with respect to the center line in the width direction. Are line symmetrical. Each terminal portion 27a, 28a is bent toward the substrate 22 side from the end in the width direction of the positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28, and is further joined to the substrate 22 by ultrasonic bonding. 28b is bent so as to extend in parallel with the wiring members 27 and 28. And each junction part 27b, 28b is provided so that the ultrasonic junction location of each terminal part 27a, 28a arrange | positioned on the same side of the wiring members 27, 28 may be located on a straight line, and each circuit pattern 24b, 24c is ultrasonically bonded.

図6(a),(b)等に示すように、正極用配線部材27及び負極用配線部材28には、幅方向の端部両側に、各端子部27a,28aの接合部27b,28bより上側において各端子部27a,28aと連続するとともに互いに重なる状態で配置される垂下部27c,28cが形成されている。垂下部27c,28cは正極用配線部材27及び負極用配線部材28の全長にわたって延びるのではなく切り欠き部27d,28dが複数、それぞれ対向するように設けられている。そして、正極用配線部材27及び負極用配線部材28の間には、両者の電気的絶縁性を確保するための絶縁部材29(図4(b)に図示)が配置されている。また、正極用配線部材27、負極用配線部材28及び絶縁部材29にはコンデンサ17の正極端子17a及び負極端子17bを挿通可能な長孔が形成されている。   As shown in FIGS. 6A and 6B, the positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28 are connected to both ends of the width direction from the joint portions 27b and 28b of the terminal portions 27a and 28a. On the upper side, drooping portions 27c and 28c are formed which are continuous with the respective terminal portions 27a and 28a and arranged so as to overlap each other. The hanging portions 27c and 28c do not extend over the entire length of the positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28, but are provided so that a plurality of cutout portions 27d and 28d face each other. Between the positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28, an insulating member 29 (shown in FIG. 4B) is disposed to ensure electrical insulation between them. The positive wiring member 27, the negative wiring member 28, and the insulating member 29 are formed with long holes through which the positive terminal 17a and the negative terminal 17b of the capacitor 17 can be inserted.

金属ベース20には、その周縁に沿うように電気的絶縁性の支持枠30が、全てのセラミック基板21を枠内に収容する状態に固定されている。正極用配線部材27の長手方向の一端部には、外部電源入力用のプラス入力端子14が形成されている。プラス入力端子14は、一部が支持枠30の外側に位置するように配置されている。負極用配線部材28には、その長手方向の正極用配線部材27のプラス入力端子14が形成された側と反対側の端部に、外部電源入力用のマイナス入力端子16が形成されている。マイナス入力端子16も、一部が支持枠30の外側に位置するように配置されている。   An electrically insulating support frame 30 is fixed to the metal base 20 so as to accommodate all the ceramic substrates 21 in the frame along the periphery thereof. A positive input terminal 14 for inputting an external power source is formed at one end portion in the longitudinal direction of the positive electrode wiring member 27. The plus input terminal 14 is arranged so that a part thereof is located outside the support frame 30. The negative wiring member 28 is formed with a negative input terminal 16 for external power input at the end of the positive wiring member 27 in the longitudinal direction opposite to the side where the positive input terminal 14 is formed. The minus input terminal 16 is also arranged so that a part thereof is located outside the support frame 30.

負極用配線部材28上、即ち正極用配線部材27及び負極用配線部材28のうちの基板22と対向しない一方の配線部材上に、複数(この実施形態では4個)のコンデンサ17が正極端子17a及び負極端子17bが下向きになる状態で電気的な絶縁部材(図示せず)を介して配置されている。各コンデンサ17は、正極端子17a及び負極端子17bがコンデンサ本体の一方の側に設けられ、正極端子17aが正極用配線部材27に接続され、負極端子17bが負極用配線部材28に接続されている。   A plurality of (four in this embodiment) capacitors 17 are connected to the positive electrode terminal 17a on the negative electrode wiring member 28, that is, on one of the positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28 that does not face the substrate 22. And the negative electrode terminal 17b is disposed through an electrical insulating member (not shown) in a state of facing downward. Each capacitor 17 has a positive electrode terminal 17 a and a negative electrode terminal 17 b provided on one side of the capacitor body, the positive electrode terminal 17 a is connected to the positive electrode wiring member 27, and the negative electrode terminal 17 b is connected to the negative electrode wiring member 28. .

図2及び図3等に示すように、インバータ装置11の3つの出力電極部材32U,32V,32Wは、側面ほぼL字状に形成されるとともに、上方に向かって延びる部分が支持枠30の近くに位置し、横方向に延びる部分が正極用配線部材27の下方においてその長手方向と直交する状態で配置されている。正極用配線部材27と出力電極部材32U,32V,32Wとは、シリコーンゲル36(図4(a)に図示)で絶縁が確保されている。出力電極部材32Uは、第1のスイッチング素子Q1及びダイオードD1で構成される上アームのソース用の回路パターン24cと、第2のスイッチング素子Q2及びダイオードD2で構成される下アームのドレイン用の回路パターン24bとに超音波接合されている。出力電極部材32Vは、第3のスイッチング素子Q3及びダイオードD3で構成される上アームのソース用の回路パターン24cと、第4のスイッチング素子Q4及びダイオードD4で構成される下アームのドレイン用の回路パターン24bとに超音波接合されている。出力電極部材32Wは、第5のスイッチング素子Q5及びダイオードD5で構成される上アームのソース用の回路パターン24cと、第6のスイッチング素子Q6及びダイオードD6で構成される下アームのドレイン用の回路パターン24bとに超音波接合されている。   As shown in FIGS. 2 and 3, the three output electrode members 32 </ b> U, 32 </ b> V, and 32 </ b> W of the inverter device 11 are formed in a substantially L-shaped side surface, and a portion extending upward is close to the support frame 30. The portion extending in the horizontal direction is disposed below the positive electrode wiring member 27 in a state orthogonal to the longitudinal direction. The positive electrode wiring member 27 and the output electrode members 32U, 32V, 32W are insulated by a silicone gel 36 (shown in FIG. 4A). The output electrode member 32U includes a circuit pattern 24c for the source of the upper arm constituted by the first switching element Q1 and the diode D1, and a circuit for the drain of the lower arm constituted by the second switching element Q2 and the diode D2. It is ultrasonically bonded to the pattern 24b. The output electrode member 32V includes an upper arm source circuit pattern 24c composed of the third switching element Q3 and the diode D3, and a lower arm drain circuit composed of the fourth switching element Q4 and the diode D4. It is ultrasonically bonded to the pattern 24b. The output electrode member 32W includes an upper arm source circuit pattern 24c composed of a fifth switching element Q5 and a diode D5, and a lower arm drain circuit composed of a sixth switching element Q6 and a diode D6. It is ultrasonically bonded to the pattern 24b.

各出力電極部材32U,32V,32Wは、セラミック基板21とほぼ同じ幅の銅板をプレス加工することで形成されている。図8(b)等に示すように、各出力電極部材32U,32V,32Wには、上アームを構成する2個のセラミック基板21の回路パターン24bのほぼ中央部と、下アームを構成する2個のセラミック基板21の回路パターン24cのほぼ中央部にそれぞれ接合される合計4個の接合部35がそれぞれ設けられている。各出力電極部材32U,32V,32Wは、ほぼL字状に屈曲され、かつ2個の接合部35が水平に延びる部分の先端両側で、2個の接合部35が屈曲部寄りでそれぞれ下側に突出するように形成されている。各出力電極部材32U,32V,32Wは、各2個の接合部35の間に負極用配線部材28の端子部28a及び接合部28bを配置可能な空間が設けられている。そして、各2個の接合部35は、図3に示すように、正極用配線部材27及び負極用配線部材28の接合部27b,28bと一直線上に位置するように回路パターン24b,24c上に接合されている。   Each of the output electrode members 32U, 32V, and 32W is formed by pressing a copper plate having substantially the same width as the ceramic substrate 21. As shown in FIG. 8B and the like, each output electrode member 32U, 32V, 32W has a substantially central portion of the circuit pattern 24b of the two ceramic substrates 21 constituting the upper arm, and 2 constituting the lower arm. A total of four joint portions 35 that are respectively joined to substantially the center portions of the circuit patterns 24c of the individual ceramic substrates 21 are provided. Each of the output electrode members 32U, 32V, and 32W is bent substantially in an L shape, and the two joint portions 35 are disposed on both sides of the tip of the horizontally extending portion, and the two joint portions 35 are close to the bent portion. It is formed so as to protrude. Each output electrode member 32U, 32V, 32W is provided with a space in which the terminal portion 28a and the joint portion 28b of the negative electrode wiring member 28 can be disposed between the two joint portions 35. Then, as shown in FIG. 3, each of the two joining portions 35 is arranged on the circuit patterns 24b and 24c so as to be aligned with the joining portions 27b and 28b of the positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28. It is joined.

即ち、この実施形態では、ドレイン用の回路パターン24b(第1領域)と、ソース用の回路パターン24c(第2領域)とは、少なくとも正極用配線部材27の接合部27b、負極用配線部材28の接合部28b及び出力電極部材32U,32V,32Wの接合部35が接合される領域が、平行状態で隣り合うように設けられている。一組の上アーム及び下アームに対応する正極用配線部材27の接合部27b、負極用配線部材28の接合部28b及び出力電極部材32U等の接合部35と半導体チップ23との関係は、詳述すると、図5に示すようになる。即ち、上アームを構成するセラミック基板21上の回路パターン24bにおいては、正極用配線部材27の接合部27bが回路パターン24bの中央部に接合され、その接合部27bを挟んで両側に半導体チップ23が配置されている。また、回路パターン24cにおいては出力電極部材32U等の接合部35が回路パターン24cの中央部に接合されている。一方、下アームを構成するセラミック基板21上の回路パターン24bにおいては、出力電極部材32U等の接合部35が回路パターン24bの中央部に接合され、その接合部35を挟んで両側に半導体チップ23が配置されている。また、回路パターン24cにおいては負極用配線部材28の接合部28bが回路パターン24cの中央部に接合されている。但し、図5は出力電極部材32Vに対応する部分を示す。   That is, in this embodiment, the drain circuit pattern 24b (first region) and the source circuit pattern 24c (second region) include at least the joint portion 27b of the positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28. The regions where the joint portions 28b and the joint portions 35 of the output electrode members 32U, 32V, and 32W are joined are provided adjacent to each other in a parallel state. The relationship between the semiconductor chip 23 and the joint portion 27b of the positive electrode wiring member 27, the joint portion 28b of the negative electrode wiring member 28, the output electrode member 32U, and the like corresponding to the pair of upper and lower arms is described in detail. This is as shown in FIG. That is, in the circuit pattern 24b on the ceramic substrate 21 constituting the upper arm, the joint portion 27b of the positive electrode wiring member 27 is joined to the center portion of the circuit pattern 24b, and the semiconductor chip 23 is sandwiched on both sides of the joint portion 27b. Is arranged. In the circuit pattern 24c, the joint 35 such as the output electrode member 32U is joined to the center of the circuit pattern 24c. On the other hand, in the circuit pattern 24b on the ceramic substrate 21 constituting the lower arm, the joint portion 35 such as the output electrode member 32U is joined to the center portion of the circuit pattern 24b, and the semiconductor chip 23 is sandwiched on both sides of the joint portion 35. Is arranged. In the circuit pattern 24c, the joint portion 28b of the negative electrode wiring member 28 is joined to the center portion of the circuit pattern 24c. However, FIG. 5 shows a portion corresponding to the output electrode member 32V.

各アームに対応するそれぞれ2個のセラミック基板21のうち、出力電極部材32U,32V,32Wの先端側と対応するセラミック基板21のゲート信号用の回路パターン24aには、駆動信号入力端子G1〜G6の第1端部が、ソース信号用の回路パターン24dには信号端子S1〜S6の第1端部が、それぞれ接合されている。各端子G1〜G6,S1〜S6は、第2端部が支持枠30から突出するように、支持枠30を貫通する状態で支持枠30に一体成形されている。なお、各アームを構成する2個のセラミック基板21上に形成された、回路パターン24a同士及び回路パターン24d同士はそれぞれワイヤボンディングで電気的に接続されている。   Of the two ceramic substrates 21 corresponding to each arm, the circuit pattern 24a for the gate signal of the ceramic substrate 21 corresponding to the distal end side of the output electrode members 32U, 32V, 32W has drive signal input terminals G1 to G6. The first ends of the signal terminals S1 to S6 are joined to the circuit pattern 24d for the source signal, respectively. Each of the terminals G1 to G6 and S1 to S6 is integrally formed with the support frame 30 so as to penetrate the support frame 30 so that the second end portion protrudes from the support frame 30. The circuit patterns 24a and the circuit patterns 24d formed on the two ceramic substrates 21 constituting each arm are electrically connected to each other by wire bonding.

支持枠30内には半導体チップ23の絶縁性確保や保護のためにシリコーンゲル36が充填、硬化されている。そして、金属ベース20上には、基板22の半導体チップ23、即ちスイッチング素子Q1〜Q6が実装された側の面、正極用配線部材27、負極用配線部材28、コンデンサ17、出力電極部材32U,32V,32W及び支持枠30を囲繞するカバー37がボルトにより固定されるようになっている。   The support frame 30 is filled and cured with a silicone gel 36 for securing and protecting the insulation of the semiconductor chip 23. On the metal base 20, the semiconductor chip 23 of the substrate 22, that is, the surface on which the switching elements Q1 to Q6 are mounted, the positive electrode wiring member 27, the negative electrode wiring member 28, the capacitor 17, the output electrode member 32U, The cover 37 surrounding the 32V and 32W and the support frame 30 is fixed by bolts.

次に前記のように構成されたインバータ装置11の製造方法を説明する。
先ずセラミック基板21上への半導体チップ23の実装工程が行われる。この工程では、図7(a)に示すように、セラミック基板21のドレイン用の回路パターン24b上に2個の半導体チップ23を、回路パターン24bの長手方向の中央部にスペースが存在するように半田付けにより接合する。次に半導体チップ23のゲートとゲート信号用の回路パターン24aとの間、半導体チップ23のソースとソース用の回路パターン24cとの間及び半導体チップ23のソースとソース信号用の回路パターン24dとの間をワイヤボンディングにより電気的に接続する。
Next, a method for manufacturing the inverter device 11 configured as described above will be described.
First, the mounting process of the semiconductor chip 23 on the ceramic substrate 21 is performed. In this step, as shown in FIG. 7A, the two semiconductor chips 23 are placed on the circuit pattern 24b for the drain of the ceramic substrate 21 so that a space exists in the center in the longitudinal direction of the circuit pattern 24b. Join by soldering. Next, between the gate of the semiconductor chip 23 and the circuit pattern 24a for gate signal, between the source and source circuit pattern 24c of the semiconductor chip 23, and between the source and source signal circuit pattern 24d of the semiconductor chip 23. They are electrically connected by wire bonding.

次にセラミック基板21を金属ベース20上に接合する工程が行われる。この工程では、図7(b)に示すように、半導体チップ23が実装されたセラミック基板21を金属ベース20上に、6行2列に半田付けで接合し、同じアームを構成する各2個のセラミック基板21のゲート信号用の回路パターン24a同士及びソース信号用の回路パターン24d同士をワイヤボンディング(図示せず)により電気的に接続する。   Next, a step of bonding the ceramic substrate 21 onto the metal base 20 is performed. In this step, as shown in FIG. 7B, the ceramic substrate 21 on which the semiconductor chip 23 is mounted is joined on the metal base 20 by soldering in 6 rows and 2 columns, and each of the two constituting the same arm. The circuit patterns 24a for gate signals and the circuit patterns 24d for source signals of the ceramic substrate 21 are electrically connected by wire bonding (not shown).

次に出力電極部材32U,32V,32Wをセラミック基板21に接合する工程が行われる。この工程では、図8(a)に示すように、先ず駆動信号入力端子G1〜G6及び信号端子S1〜S6が装備された支持枠30を、金属ベース20上にセラミック基板21を囲むように固定する。支持枠30の固定は接着剤やねじを用いて行われる。次に出力電極部材32U,32V,32Wを、図8(b)に示すように、各接合部35がドレイン用の回路パターン24b及びソース用の回路パターン24cのほぼ中央部と当接するように配置する。そして、超音波接合により各接合部35を順次回路パターン24b及び回路パターン24cに接合する。また、駆動信号入力端子G1〜G6の第1端部を回路パターン24aに、信号端子S1〜S6の第1端部を回路パターン24dに、それぞれ超音波接合により接合する。   Next, a step of joining the output electrode members 32U, 32V, 32W to the ceramic substrate 21 is performed. In this step, as shown in FIG. 8A, first, the support frame 30 equipped with the drive signal input terminals G1 to G6 and the signal terminals S1 to S6 is fixed on the metal base 20 so as to surround the ceramic substrate 21. To do. The support frame 30 is fixed using an adhesive or a screw. Next, as shown in FIG. 8B, the output electrode members 32U, 32V, and 32W are arranged so that each joint portion 35 is in contact with the substantially central portion of the drain circuit pattern 24b and the source circuit pattern 24c. To do. And each joining part 35 is joined to the circuit pattern 24b and the circuit pattern 24c sequentially by ultrasonic bonding. Further, the first ends of the drive signal input terminals G1 to G6 are joined to the circuit pattern 24a, and the first ends of the signal terminals S1 to S6 are joined to the circuit pattern 24d by ultrasonic bonding.

次にコンデンサアッシー(組立品)を組み立てる工程が行われる。この工程では、4個のコンデンサ17を正極端子17a及び負極端子17bが上向きになる状態において、所定間隔で1列に治具で固定する。その状態で絶縁材を介して負極用配線部材28を各コンデンサ17の負極端子17bにねじで固定する。次に絶縁部材29を負極用配線部材28との間に配置した状態で正極用配線部材27をコンデンサ17の正極端子17aにねじで固定する。以上により、正極用配線部材27及び負極用配線部材28間の絶縁が確保された状態で、コンデンサ17の正極端子17aに正極用配線部材27が、負極端子17bに負極用配線部材28がそれぞれ電気的に接合されたコンデンサアッシー38が組み立てられる。   Next, a process of assembling a capacitor assembly (assembly) is performed. In this step, the four capacitors 17 are fixed with a jig in a row at a predetermined interval in a state where the positive electrode terminal 17a and the negative electrode terminal 17b face upward. In this state, the negative electrode wiring member 28 is fixed to the negative electrode terminal 17b of each capacitor 17 with a screw through an insulating material. Next, the positive electrode wiring member 27 is fixed to the positive electrode terminal 17 a of the capacitor 17 with a screw in a state where the insulating member 29 is disposed between the negative electrode wiring member 28. As described above, with the insulation between the positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28 secured, the positive electrode wiring member 27 is electrically connected to the positive electrode terminal 17a of the capacitor 17, and the negative electrode wiring member 28 is electrically connected to the negative electrode terminal 17b. In general, the capacitor assembly 38 is assembled.

次にセラミック基板21にコンデンサアッシー38を超音波接合する工程が行われる。この工程では、先ず、コンデンサアッシー38をセラミック基板21上に載置する。図9に示すように、コンデンサアッシー38は、セラミック基板21の上方から支持枠30内の所定位置に配置される。この状態では、図3に示すように、正極用配線部材27及び負極用配線部材28の幅方向の同じ側に配置された各接合部27b,28bが一直線上に位置する状態になる。   Next, a step of ultrasonically bonding the capacitor assembly 38 to the ceramic substrate 21 is performed. In this step, first, the capacitor assembly 38 is placed on the ceramic substrate 21. As shown in FIG. 9, the capacitor assembly 38 is disposed at a predetermined position in the support frame 30 from above the ceramic substrate 21. In this state, as shown in FIG. 3, the joint portions 27b and 28b arranged on the same side in the width direction of the positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28 are positioned on a straight line.

その状態で各接合部27b,28bを順に超音波接合で回路パターン24b,24cに接合する。接合部27b,28bとコンデンサ17とが近いため、端子部27a,28aの接合に半田付けを用いると、一般の耐熱性を特に考慮していないコンデンサを使用すると、半田付けのための加熱によりコンデンサ17が悪影響を受ける虞がある。しかし、接合部27b,28bの接合が超音波接合で行われるため、コンデンサ17に加わる熱量が小さくなり、耐熱性の高い特殊なコンデンサを使用する必要がない。   In this state, the joining portions 27b and 28b are joined to the circuit patterns 24b and 24c in order by ultrasonic joining. Since the joint portions 27b and 28b and the capacitor 17 are close to each other, if soldering is used for joining the terminal portions 27a and 28a, if a capacitor that does not particularly consider general heat resistance is used, the capacitor is heated by the soldering. 17 may be adversely affected. However, since the joining portions 27b and 28b are joined by ultrasonic joining, the amount of heat applied to the capacitor 17 is reduced, and it is not necessary to use a special capacitor having high heat resistance.

次に半導体チップ23や各接合部等湿気や酸化を嫌う部分の電気的絶縁及び保護のため、支持枠30内へのシリコーンゲル36の注入、硬化処理が行われ、シリコーンゲル36の充填、硬化が行われる。正極用配線部材27及び負極用配線部材28の垂下部27c,28cに切り欠き部27d,28dが形成されているため、切り欠き部27d,28dがない場合に比較して、シリコーンゲルの注入時にシリコーンゲルが正極用配線部材27と負極用配線部材28との間に容易に流入する。そして、最後にカバー37が金属ベース20にボルトにより固定されて、インバータ装置11が完成する。   Next, in order to electrically insulate and protect the semiconductor chip 23 and each part such as each joint that does not like moisture and oxidation, the silicone gel 36 is injected into the support frame 30 and cured, and the silicone gel 36 is filled and cured. Is done. Since the notched portions 27d and 28d are formed in the hanging portions 27c and 28c of the positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28, compared with the case where the notched portions 27d and 28d are not present, the silicone gel is injected. Silicone gel easily flows between the positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28. Finally, the cover 37 is fixed to the metal base 20 with bolts, and the inverter device 11 is completed.

次に前記のように構成されたインバータ装置11の作用を説明する。
インバータ装置11は、例えば、車両の電源装置の一部を構成するものとして使用される。インバータ装置11は、プラス入力端子14及びマイナス入力端子16が直流電源(図示せず)に接続され、U相端子U、V相端子V及びW相端子Wがモータ(図示せず)に接続され、駆動信号入力端子G1〜G6及び信号端子S1〜S6が制御装置(図示せず)に接続された状態で使用される。
Next, the operation of the inverter device 11 configured as described above will be described.
The inverter device 11 is used, for example, as a part of a vehicle power supply device. The inverter device 11 has a positive input terminal 14 and a negative input terminal 16 connected to a DC power source (not shown), and a U-phase terminal U, a V-phase terminal V, and a W-phase terminal W connected to a motor (not shown). The drive signal input terminals G1 to G6 and the signal terminals S1 to S6 are used in a state of being connected to a control device (not shown).

上アームの第1、第3及び第5のスイッチング素子Q1,Q3,Q5及び下アームの第2、第4及び第6のスイッチング素子Q2,Q4,Q6がそれぞれ所定周期でオン、オフ制御されることによりモータに交流が供給されてモータが駆動される。   The first, third, and fifth switching elements Q1, Q3, and Q5 of the upper arm and the second, fourth, and sixth switching elements Q2, Q4, and Q6 of the lower arm are turned on and off at predetermined intervals, respectively. As a result, alternating current is supplied to the motor to drive the motor.

正極用配線部材27及び負極用配線部材28には、スイッチング素子Q1〜Q6のスイッチング時に急峻に立ち上がる電流又は立ち下がる電流が流れ、その電流は正極用配線部材27及び負極用配線部材28で逆方向となる。正極用配線部材27及び負極用配線部材28は平行な平板状に形成され、互いに近接して配置されているため、相互インダクタンスの効果により配線インダクタンスが低減する。また、垂下部27c,28cも平行に近接して配置されているため、垂下部27c,28cが存在しない場合に比較して、配線インダクタンスがより低減する。   The positive wiring member 27 and the negative wiring member 28 are supplied with a current that suddenly rises or falls during switching of the switching elements Q1 to Q6. The current flows in the reverse direction in the positive wiring member 27 and the negative wiring member 28. It becomes. Since the positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28 are formed in parallel flat plate shapes and are arranged close to each other, the wiring inductance is reduced by the effect of mutual inductance. Further, since the hanging portions 27c and 28c are also arranged close to each other in parallel, the wiring inductance is further reduced as compared with the case where the hanging portions 27c and 28c do not exist.

各アームを構成する半導体チップ23(スイッチング素子)のドレインが電気的に接続される回路パターン24bと、各アームを構成する半導体チップ23(スイッチング素子)のソースが電気的に接続される回路パターン24cとは、平行状態で隣り合うように設けられている。そして、回路パターン24bには正極用配線部材27の接合部27b又は出力電極部材32U,32V,32Wの接合部35が接合され、回路パターン24cには出力電極部材32U,32V,32Wの接合部35又は負極用配線部材28の28bが接合されている。そのため、インバータ装置11が駆動される際、即ち各スイッチング素子が駆動される際に、回路パターン24b及び回路パターン24cに流れる電流の向きが逆方向になり、相互インダクタンス効果によって配線インダクタンスが低減される。   A circuit pattern 24b in which the drain of the semiconductor chip 23 (switching element) constituting each arm is electrically connected, and a circuit pattern 24c in which the source of the semiconductor chip 23 (switching element) constituting each arm is electrically connected. Are provided adjacent to each other in a parallel state. Then, the junction 27b of the positive electrode wiring member 27 or the junction 35 of the output electrode members 32U, 32V, 32W is joined to the circuit pattern 24b, and the junction 35 of the output electrode members 32U, 32V, 32W to the circuit pattern 24c. Alternatively, 28b of the negative electrode wiring member 28 is joined. Therefore, when the inverter device 11 is driven, that is, when each switching element is driven, the direction of the current flowing through the circuit pattern 24b and the circuit pattern 24c is reversed, and the wiring inductance is reduced by the mutual inductance effect. .

したがって、この実施形態によれば、以下に示す効果を得ることができる。
(1)インバータ装置11は、一つのスイッチング素子の機能と同じ役割を行うための複数のスイッチング素子が実装された基板22と、相互に絶縁された状態で近接して重なるように配置された平板状の正極用配線部材27及び負極用配線部材28と、正極用配線部材27及び負極用配線部材28に接続されたコンデンサ17とを備えている。基板22上は、スイッチング素子のドレインが電気的に接続される回路パターン24bと、ソースが電気的に接続される回路パターン24cとを備えている。そして、回路パターン24bの少なくとも正極用配線部材27の接合部27b又は出力電極部材32U等の接合部35が接合される領域と、回路パターン24cの少なくとも出力電極部材32U等の接合部35が接合される領域又は負極用配線部材28の接合部28bが接合される領域とが平行状態で隣り合うように設けられている。したがって、インバータ装置11が駆動される際、即ち各スイッチング素子が駆動される際に、隣接する回路パターン24b及び回路パターン24cに流れる電流の向きが逆方向になり、相互インダクタンス効果によって配線インダクタンスが低減される。
Therefore, according to this embodiment, the following effects can be obtained.
(1) The inverter device 11 is a flat plate arranged so as to be adjacent to and overlapped with a substrate 22 on which a plurality of switching elements for performing the same function as one switching element are mounted. And the capacitor 17 connected to the positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28. On the substrate 22, a circuit pattern 24b to which the drain of the switching element is electrically connected and a circuit pattern 24c to which the source is electrically connected are provided. Then, at least the joint portion 27b of the positive electrode wiring member 27 or the joint portion 35 such as the output electrode member 32U of the circuit pattern 24b and the joint portion 35 of the circuit pattern 24c such as the output electrode member 32U are joined. Or a region to which the bonding portion 28b of the negative electrode wiring member 28 is bonded is provided in parallel. Therefore, when the inverter device 11 is driven, that is, when each switching element is driven, the direction of the current flowing in the adjacent circuit pattern 24b and the circuit pattern 24c is reversed, and the wiring inductance is reduced by the mutual inductance effect. Is done.

(2)回路パターン24b及び回路パターン24cは帯状に形成され、回路パターン24bには複数の半導体チップ23が実装され、それらの半導体チップ23のソースがワイヤボンディングにより回路パターン24cに接続されている。したがって、回路パターン24b,24cを帯状ではなくブロック状にした場合に比較して、隣接する部分の長さが長くなり、相互インダクタンス効果が大きくなって配線インダクタンスがより低減される。   (2) The circuit pattern 24b and the circuit pattern 24c are formed in a band shape, and a plurality of semiconductor chips 23 are mounted on the circuit pattern 24b, and the sources of these semiconductor chips 23 are connected to the circuit pattern 24c by wire bonding. Therefore, as compared with the case where the circuit patterns 24b and 24c are formed in a block shape instead of a belt shape, the length of adjacent portions is increased, the mutual inductance effect is increased, and the wiring inductance is further reduced.

(3)電力変換装置はインバータ装置であり、各アームは4個のスイッチング素子を備えており、正極用配線部材27の接合部27b、負極用配線部材28の接合部28b及び出力電極部材32U等の接合部35はアーム毎に2個設けられている。半導体チップ23は2個ずつ接合部27bに対応して、即ち4個のうち2個の半導体チップ23が一方の正極用配線部材27の接合部27bに近く、残りの2個の半導体チップ23が他方の正極用配線部材27の接合部27bに近い状態で回路パターン24b上に実装されている。したがって、配線インダクタンスの低減に加えて、半導体チップ23(スイッチング素子)が多くなっても、各半導体チップ23と各接合部との間の配線インダクタンスの平準化を図ることができる。   (3) The power conversion device is an inverter device, and each arm includes four switching elements, such as a joint portion 27b of the positive electrode wiring member 27, a joint portion 28b of the negative electrode wiring member 28, and an output electrode member 32U. The two joint portions 35 are provided for each arm. Two semiconductor chips 23 correspond to the joint 27b, that is, two of the four semiconductor chips 23 are close to the joint 27b of one positive electrode wiring member 27, and the remaining two semiconductor chips 23 are It is mounted on the circuit pattern 24 b in a state close to the joint portion 27 b of the other positive electrode wiring member 27. Therefore, in addition to reducing the wiring inductance, the wiring inductance between each semiconductor chip 23 and each junction can be leveled even if the number of semiconductor chips 23 (switching elements) increases.

(4)正極用配線部材27及び負極用配線部材28は、基板22と平行に重なるように配置されるとともに、その幅方向の両端部から端子部27a,28aが基板22側に向かって延出し、かつ先端部が基板22と平行に延びるように屈曲されて接合部27b,28bが形成されている。また、コンデンサ17は、正極用配線部材27及び負極用配線部材28のうちの基板22と対向しない一方の配線部材(正極用配線部材27)上に、正極端子17a及び負極端子17bが配線部材側になる状態に配置されている。したがって、基板を下側にして使用する場合、電力変換装置全体の高さを低くすることができる。また、端子部27a,28aが正極用配線部材27及び負極用配線部材28の幅方向両側に設けられているため、半導体チップ23(スイッチング素子)の数が多くなった場合、電力変換装置全体としての配線インダクタンスの低減及び各半導体チップ23と配線部材との間の配線インダクタンスの平準化を図り易い。   (4) The positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28 are arranged so as to overlap in parallel with the substrate 22, and the terminal portions 27 a and 28 a extend from both ends in the width direction toward the substrate 22 side. Further, the joint portions 27 b and 28 b are formed by bending the tip portion so as to extend in parallel with the substrate 22. The capacitor 17 has a positive electrode terminal 17a and a negative electrode terminal 17b on the wiring member side on one of the positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28 that are not opposed to the substrate 22 (positive electrode wiring member 27). It is arranged to become. Therefore, when using it with a board | substrate down, the height of the whole power converter device can be made low. Further, since the terminal portions 27a and 28a are provided on both sides in the width direction of the positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28, when the number of semiconductor chips 23 (switching elements) increases, the entire power conversion device It is easy to reduce the wiring inductance and level the wiring inductance between each semiconductor chip 23 and the wiring member.

(5)インバータ装置11を製造する際、正極用配線部材27及び負極用配線部材28とコンデンサ17とを接合した後に、正極用配線部材27及び負極用配線部材28の端子部27a,28aの接合部27b,28bを基板22の回路パターン24b,24cに超音波接合により電気的に接合する。したがって、接合部27b,28bの接合に半田付けを用いる場合と異なり、耐熱性の高い特殊なコンデンサを使用する必要がない。   (5) When the inverter device 11 is manufactured, after the positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28 and the capacitor 17 are bonded, the terminal portions 27a and 28a of the positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28 are bonded. The portions 27b and 28b are electrically bonded to the circuit patterns 24b and 24c of the substrate 22 by ultrasonic bonding. Therefore, unlike the case where soldering is used for joining the joint portions 27b and 28b, it is not necessary to use a special capacitor having high heat resistance.

(6)各出力電極部材32U,32V,32Wは、4個の接合部35が仮想矩形の4つの角部と対応する配置に形成されている。したがって、各出力電極部材32U,32V,32Wをセラミック基板21に超音波接合する際、自立状態で安定してセラミック基板21上に載置されるため、各出力電極部材32U,32V,32Wを保持する治具がなくても、超音波接合を行うことができる。   (6) Each output electrode member 32U, 32V, 32W is formed in an arrangement in which four joint portions 35 correspond to four corners of a virtual rectangle. Therefore, when each of the output electrode members 32U, 32V, and 32W is ultrasonically bonded to the ceramic substrate 21, the output electrode members 32U, 32V, and 32W are held because they are stably placed on the ceramic substrate 21 in a self-supporting state. Even if there is no jig to perform, ultrasonic bonding can be performed.

実施形態は前記に限定されるものではなく、例えば、次のように具体化してもよい。
○ コンデンサ17は、相互に電気的に絶縁された状態で近接して平行に配置された平板状の正極用配線部材27及び負極用配線部材28に対して、正極端子17aが正極用配線部材27に、負極端子17bが負極用配線部材28にそれぞれ電気的に接合されていればよい。即ち、コンデンサ17と基板22との間に正極用配線部材27及び負極用配線部材28が存在する構成に限らない。例えば、図10に示すように、出力電極部材32U,32V,32Wと直交する状態で出力電極部材32U,32V,32W上に絶縁プレート40を配置し、絶縁プレート40上にコンデンサ17を正極端子17a及び負極端子17bがコンデンサ本体に対して基板22と反対側となるように載置された状態で組み付ける。そして、正極用配線部材27及び負極用配線部材28が正極端子17a及び負極端子17bにねじにより固定される。この場合、図10に示すように、正極用配線部材27及び負極用配線部材28の端子部27a,28a及び垂下部27c,28cの長さが長くなる。しかし、コンデンサ17をカバー37の外に配置する場合に比較して、配線インダクタンスは低減される。なお、図10は図4(a)と断面の位置が異なっている。
The embodiment is not limited to the above, and may be embodied as follows, for example.
○ Capacitor 17 has positive electrode terminal 17a connected to positive electrode wiring member 27 with respect to flat plate-like positive electrode wiring member 27 and negative electrode wiring member 28 arranged in close proximity and in parallel while being electrically insulated from each other. In addition, the negative terminal 17b may be electrically connected to the negative electrode wiring member 28, respectively. That is, the configuration is not limited to the configuration in which the positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28 exist between the capacitor 17 and the substrate 22. For example, as shown in FIG. 10, the insulating plate 40 is disposed on the output electrode members 32U, 32V, 32W in a state orthogonal to the output electrode members 32U, 32V, 32W, and the capacitor 17 is connected to the positive electrode terminal 17a on the insulating plate 40. The negative electrode terminal 17b is assembled in a state where it is placed so as to be opposite to the substrate 22 with respect to the capacitor body. The positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28 are fixed to the positive electrode terminal 17a and the negative electrode terminal 17b with screws. In this case, as shown in FIG. 10, the lengths of the terminal portions 27a and 28a and the hanging portions 27c and 28c of the positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28 are increased. However, compared to the case where the capacitor 17 is disposed outside the cover 37, the wiring inductance is reduced. Note that FIG. 10 is different from FIG.

○ セラミック基板21上の回路パターン24a,24b,24c,24dの配置は、上アームを構成するセラミック基板21及び下アームを構成するセラミック基板21で対象にする必要はなく、例えば、図11(a)に示すように、同じ配置であってもよい。この場合でも同様の効果が得られる。   The arrangement of the circuit patterns 24a, 24b, 24c, and 24d on the ceramic substrate 21 does not need to be targeted by the ceramic substrate 21 that constitutes the upper arm and the ceramic substrate 21 that constitutes the lower arm. For example, FIG. As shown in FIG. Even in this case, the same effect can be obtained.

○ 各アームを2個のセラミック基板21で構成する代わりに、1個のセラミック基板21で構成してもよい、この場合、ゲート信号用の回路パターン24a間及びソース信号用の回路パターン24d間をそれぞれ電気的に接続するワイヤボンディングが不要になる。また、各アームのドレイン用の回路パターン24b及びソース用の回路パターン24cと、正極用配線部材27、負極用配線部材28及び出力電極部材32U,32V,32Wの各接合部27b,28b,35との接合箇所は2箇所でなく、1箇所ずつでもよくなる。しかし、前記接合箇所を1箇所ずつにすると、超音波接合の際にコンデンサアッシー38を保持する治具や出力電極部材32U,32V,32Wを保持する治具が必要になる。   Each arm may be composed of one ceramic substrate 21 instead of two ceramic substrates 21. In this case, between the gate signal circuit patterns 24a and between the source signal circuit patterns 24d. Wire bonding for electrical connection is not required. Also, the drain circuit pattern 24b and the source circuit pattern 24c of each arm, the positive electrode wiring member 27, the negative electrode wiring member 28, and the joint portions 27b, 28b, and 35 of the output electrode members 32U, 32V, and 32W, However, the number of joints is not two but one. However, if the joining locations are one by one, a jig for holding the capacitor assembly 38 and a jig for holding the output electrode members 32U, 32V, and 32W are required during ultrasonic bonding.

○ 出力電極部材32U,32V,32Wを自立可能な状態にするためには、少なくとも3個の接合部35を備えていればよい。
○ 各回路パターン24a,24b,24c,24dを細長い形状のパターンで形成して、並列状態で配置することは必須ではない。しかし、回路パターン24b,24cをブロック形状に形成した場合は、半導体チップ23を複数実装したり、正極用配線部材27及び負極用配線部材28の接合部27b,28bや出力電極部材32U,32V,32Wの接合部35を接合したりするスペースの確保に必要なセラミック基板21の面積が大きくなる。また、回路パターン24b,24cの間隔を狭くすると、出力電極部材32U,32V,32Wが自立状態で各接合部35を超音波接合するのが難しくなる。
In order to make the output electrode members 32U, 32V, and 32W self-supporting, it is only necessary to include at least three joint portions 35.
It is not essential that the circuit patterns 24a, 24b, 24c, and 24d are formed in an elongated pattern and arranged in parallel. However, when the circuit patterns 24b and 24c are formed in a block shape, a plurality of semiconductor chips 23 are mounted, the joint portions 27b and 28b of the positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28, and the output electrode members 32U, 32V, The area of the ceramic substrate 21 necessary for securing a space for joining the 32W joint 35 is increased. Further, when the interval between the circuit patterns 24b and 24c is narrowed, it becomes difficult to ultrasonically bond the joint portions 35 in a state where the output electrode members 32U, 32V, and 32W are in a self-standing state.

○ 各アームを1個のセラミック基板21で構成する場合、回路パターン24a,24b,24c,24dを平行に配列せずに、例えば、図11(b)に示すように、ドレイン用の回路パターン24bを略L字状にして、ソース用の回路パターン24cの周囲半分と対向する配置としてもよい。この場合も、半導体チップ23のドレインが電気的に接続される第1領域(回路パターン24b)と、半導体チップ23のソースが電気的に接続される第2領域(回路パターン24c)とが平行状態で隣り合う配置になる。   In the case where each arm is composed of one ceramic substrate 21, the circuit patterns 24a, 24b, 24c, 24d are not arranged in parallel, and for example, as shown in FIG. May be arranged in a substantially L shape so as to face the peripheral half of the circuit pattern 24c for source. Also in this case, the first region (circuit pattern 24b) to which the drain of the semiconductor chip 23 is electrically connected and the second region (circuit pattern 24c) to which the source of the semiconductor chip 23 is electrically connected are parallel to each other. It becomes the arrangement which adjoins.

○ コンデンサ17の配置は、基板22と対応する位置、即ち金属ベース20の上方に限らない。例えば、図12及び図13に示すように、金属ベース20の側方に配置してもよい。正極用配線部材27及び負極用配線部材28は、負極用配線部材28がコンデンサ17側、即ち下側になるように平行に配置されるとともに、端子部27a,28aが正極用配線部材27及び負極用配線部材28の先端から下方に屈曲形成されている。そして、正極用配線部材27の接合部27bがセラミック基板21上のドレイン用の回路パターン24bに接合され、負極用配線部材28の接合部28bがセラミック基板21上のソース用の回路パターン24cに接合されている。この実施形態では、各アームが1個の半導体チップ23(スイッチング素子)で構成されるとともに、一組の上アーム及び下アームが1個のセラミック基板21で構成されている。図12に示すように、各セラミック基板21上には2個の回路パターン24bと1個の回路パターン24cが形成され、各回路パターン24b上に半導体チップ23が半田Hで接合されている。回路パターン24cは両回路パターン24bに沿って延びるように形成されている。正極用配線部材27は接合部27bが各セラミック基板21上の一方の回路パターン24bに接合されており、負極用配線部材28は接合部28bが各セラミック基板21上の回路パターン24cに接合されている。   The arrangement of the capacitor 17 is not limited to the position corresponding to the substrate 22, that is, above the metal base 20. For example, as shown in FIGS. 12 and 13, the metal base 20 may be disposed on the side. The positive wiring member 27 and the negative wiring member 28 are arranged in parallel so that the negative wiring member 28 is on the capacitor 17 side, that is, the lower side, and the terminal portions 27a and 28a are the positive wiring member 27 and the negative electrode. The wiring member 28 is bent downward from the front end. Then, the joint portion 27 b of the positive electrode wiring member 27 is joined to the drain circuit pattern 24 b on the ceramic substrate 21, and the joint portion 28 b of the negative electrode wiring member 28 is joined to the source circuit pattern 24 c on the ceramic substrate 21. Has been. In this embodiment, each arm is constituted by one semiconductor chip 23 (switching element), and one set of upper arm and lower arm is constituted by one ceramic substrate 21. As shown in FIG. 12, two circuit patterns 24b and one circuit pattern 24c are formed on each ceramic substrate 21, and a semiconductor chip 23 is bonded to each circuit pattern 24b with solder H. The circuit pattern 24c is formed so as to extend along both circuit patterns 24b. The positive wiring member 27 has a joint portion 27b joined to one circuit pattern 24b on each ceramic substrate 21, and the negative wiring member 28 has a joint portion 28b joined to a circuit pattern 24c on each ceramic substrate 21. Yes.

接合部27bが接合された回路パターン24b上に接合された半導体チップ23のソースは、接合部27bが接合されない回路パターン24bにワイヤボンディングにより電気的に接合されている。また、接合部27bが接合されない回路パターン24b上に接合された半導体チップ23のソースは、回路パターン24cにワイヤボンディングにより電気的に接合されている。そして、接合部27bが接合されない回路パターン24b上に図示しない出力電極部材32U,32V,32Wの接合部が接合されている。この構成では、接合部27bが接合された回路パターン24b上に接合された半導体チップ23が上アームを構成し、接合部27bが接合されない回路パターン24b上に接合された半導体チップ23が下アームを構成する。この構成においても、基板22は、スイッチング素子が実装される回路パターンとして、スイッチング素子のドレインが電気的に接続される第1領域と、スイッチング素子のソースが電気的に接続される第2領域とを備えている。そして、第1領域の少なくとも正極用配線部材27の接合部27bが接合される領域と、その第1領域と対応する第2領域の少なくとも負極用配線部材28の接合部28bが接合される領域とが平行状態で隣り合うように設けられている。したがって、インバータ装置11
全体としての配線インダクタンスが低減される。また、この実施形態では、コンデンサ17が正極用配線部材27及び負極用配線部材28の接合部27b,28bの回路パターン24b,24cとの接合位置と離れているため、接合は超音波接合に限らず、例えば、半田付けで接合してもよい。なお、図12及び図13では回路パターン24b,24c以外の回路パターンや出力電極部材32U等及びハッチングの図示を省略している。
The source of the semiconductor chip 23 bonded on the circuit pattern 24b to which the bonding portion 27b is bonded is electrically bonded to the circuit pattern 24b to which the bonding portion 27b is not bonded by wire bonding. Further, the source of the semiconductor chip 23 bonded on the circuit pattern 24b to which the bonding portion 27b is not bonded is electrically bonded to the circuit pattern 24c by wire bonding. And the junction part of the output electrode members 32U, 32V, 32W which are not shown in figure is joined on the circuit pattern 24b to which the junction part 27b is not joined. In this configuration, the semiconductor chip 23 bonded onto the circuit pattern 24b to which the bonding portion 27b is bonded constitutes the upper arm, and the semiconductor chip 23 bonded to the circuit pattern 24b to which the bonding portion 27b is not bonded corresponds to the lower arm. Configure. Also in this configuration, the substrate 22 includes, as a circuit pattern on which the switching element is mounted, a first region in which the drain of the switching element is electrically connected and a second region in which the source of the switching element is electrically connected. It has. And the area | region where the junction part 27b of the wiring member 27 for positive electrodes of at least 1st area | region is joined, The area | region where the junction part 28b of the wiring member 28 for negative electrodes of the 2nd area | region corresponding to the 1st area | region is joined Are adjacent to each other in a parallel state. Therefore, the inverter device 11
The wiring inductance as a whole is reduced. Further, in this embodiment, since the capacitor 17 is separated from the bonding positions of the bonding portions 27b and 28b of the positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28 with the circuit patterns 24b and 24c, bonding is limited to ultrasonic bonding. For example, you may join by soldering. In FIG. 12 and FIG. 13, circuit patterns other than the circuit patterns 24b and 24c, the output electrode member 32U, etc., and hatching are not shown.

○ コンデンサ17を金属ベース20の側方に配置する構成において、金属ベース20上に各アームを構成するセラミック基板21を6個並列状態で、正極用配線部材27及び負極用配線部材28に沿って配置してもよい。   In the configuration in which the capacitor 17 is disposed on the side of the metal base 20, six ceramic substrates 21 constituting each arm are arranged in parallel on the metal base 20 along the positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28. You may arrange.

○ 正極用配線部材27及び負極用配線部材28は、基板22と平行に、かつ相互に絶縁された状態で近接して重なるように配置されていればよく、負極用配線部材28が上側、即ち基板22と対向しない側に配置される構成に限らず、正極用配線部材27が上側に配置される構成としてもよい。しかし、電解コンデンサの場合、外側がグランドのため、負極用配線部材28が上側に配置される方が好ましい。   The positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28 need only be arranged so as to overlap in parallel with the substrate 22 and in a state of being insulated from each other. Not only the structure arrange | positioned on the side which does not oppose the board | substrate 22, but it is good also as a structure by which the wiring member 27 for positive electrodes is arrange | positioned on the upper side. However, in the case of an electrolytic capacitor, since the outer side is ground, it is preferable that the negative electrode wiring member 28 is disposed on the upper side.

○ 金属ベース20をアルミニウム系金属で形成し、セラミック基板21として、両面にアルミニウム層が形成されたDBA(Direct Brazing Aluminum )基板を用い、DBA 基板の表面に回路パターン24a,24b,24c,24dを形成し、裏面を金属ベース20にアルミニウム系ろう材によりろう付けしてもよい。   A DBA (Direct Brazing Aluminum) substrate in which the metal base 20 is formed of an aluminum-based metal and an aluminum layer is formed on both sides is used as the ceramic substrate 21, and circuit patterns 24a, 24b, 24c, and 24d are formed on the surface of the DBA substrate. The back surface may be formed and brazed to the metal base 20 with an aluminum-based brazing material.

○ セラミック基板21に代えて、絶縁基板として金属基板の表面に絶縁層を形成し、絶縁層上に回路パターン24a,24b,24c,24dを形成した構成の物を使用してもよい。   O Instead of the ceramic substrate 21, an insulating substrate may be used in which an insulating layer is formed on the surface of a metal substrate, and circuit patterns 24a, 24b, 24c, and 24d are formed on the insulating layer.

○ 金属ベース20上に絶縁基板を半田付けあるいはろう付けで接合する代わりに、金属ベース20上に絶縁層を形成し、その絶縁層上に回路パターン24a,24b,24c,24dを形成してもよい。この場合、部品点数が少なくなるとともに、絶縁基板を金属ベース20上に接合する工程が不要になる。   ○ Instead of joining the insulating substrate on the metal base 20 by soldering or brazing, an insulating layer is formed on the metal base 20 and circuit patterns 24a, 24b, 24c, 24d are formed on the insulating layer. Good. In this case, the number of parts is reduced, and the step of bonding the insulating substrate onto the metal base 20 is not necessary.

○ コンデンサ17の数は4個に限らず、インバータ装置11の定格電流値及び使用するコンデンサの容量により決まり、3個以下でも5個以上でもよい。
○ コンデンサ17は電解コンデンサに限らず、例えば電気二重層コンデンサであってもよい。
The number of capacitors 17 is not limited to four, and is determined by the rated current value of the inverter device 11 and the capacity of the capacitors used, and may be three or less or five or more.
The capacitor 17 is not limited to an electrolytic capacitor, and may be an electric double layer capacitor, for example.

○ スイッチング素子Q,Q1〜Q6はMOSFETに限らず、他のパワートランジスタ、例えば、IGBT(絶縁ゲートバイポーラ型トランジスタ)を使用してもよい。
○ 各アームを構成するスイッチング素子Q及びダイオードDの組は4組に限らず、各アームを流れる電流量の大きさによって3組以下でも5組以上でもよい。また、複数組に限らず、1組のスイッチング素子Q及びダイオードDの組で構成されてもよい。
The switching elements Q, Q1 to Q6 are not limited to MOSFETs, and other power transistors, for example, IGBTs (insulated gate bipolar transistors) may be used.
The group of switching elements Q and diodes D constituting each arm is not limited to four, and may be three or less or five or more depending on the amount of current flowing through each arm. Moreover, it is not limited to a plurality of sets, and may be configured by a set of a switching element Q and a diode D.

○ インバータ装置11は、3相交流を出力する構成に限らず、単相交流を出力する構成としてもよい。単相交流を出力する構成では上アーム及び下アームの組が2組存在する。   (Circle) the inverter apparatus 11 is good also as a structure which outputs not only the structure which outputs 3 phase alternating current but single phase alternating current. In the configuration that outputs a single-phase alternating current, there are two sets of upper and lower arms.

○ 1組のスイッチング素子及びダイオードは、1個の半導体チップ23としてパッケージ化される構成に限らず、スイッチング素子及びダイオードがそれぞれ回路パターン上に実装された構成でもよい。   The pair of switching elements and diodes is not limited to the configuration packaged as one semiconductor chip 23, and the switching elements and the diodes may be mounted on the circuit pattern.

○ インバータ装置11を製造する各工程は、前記実施形態で説明した順に行われる必要はない。例えば、セラミック基板21に半導体チップ23を実装する工程やコンデンサアッシー38を組み立てる工程をそれぞれ別工程として、半導体チップ23が実装されたセラミック基板21やコンデンサアッシー38を複数製造しておき、それらの部品を使用してインバータ装置11の製造を行ってもよい。   O Each process which manufactures the inverter apparatus 11 does not need to be performed in the order demonstrated in the said embodiment. For example, the process of mounting the semiconductor chip 23 on the ceramic substrate 21 and the process of assembling the capacitor assembly 38 are separate processes, and a plurality of ceramic substrates 21 and capacitor assemblies 38 on which the semiconductor chip 23 is mounted are manufactured. May be used to manufacture the inverter device 11.

○ 出力電極部材32U,32V,32Wをセラミック基板21に超音波接合する工程と、コンデンサアッシー38をセラミック基板21に超音波接合する工程とを同じ工程としてもよい。例えば、支持枠30に各出力電極部材32U,32V,32Wを位置決めした状態で保持可能な保持部を設ける。そして、各出力電極部材32U,32V,32Wを保持部に保持した状態で金属ベース20に固定した後、直ぐに超音波接合を行わず、コンデンサアッシー38のセラミック基板21への超音波接合時に行うようにする。出力電極部材32U,32V,32Wの接合部35が正極用配線部材27及び負極用配線部材28の接合部27b,28bと一直線上に配置されているため、超音波接合用のツールを配線部材27,28に沿って移動させることで、ツールが各接合部27b,28b,35と順に対向する状態になり、効率良く超音波接合を行うことができる。   The step of ultrasonically bonding the output electrode members 32U, 32V, 32W to the ceramic substrate 21 and the step of ultrasonically bonding the capacitor assembly 38 to the ceramic substrate 21 may be the same step. For example, a holding portion that can hold the output electrode members 32U, 32V, and 32W in a state of being positioned on the support frame 30 is provided. Then, after the output electrode members 32U, 32V, and 32W are fixed to the metal base 20 while being held by the holding portion, the ultrasonic bonding is not performed immediately, but is performed at the time of ultrasonic bonding of the capacitor assembly 38 to the ceramic substrate 21. To. Since the joint portions 35 of the output electrode members 32U, 32V, and 32W are arranged in line with the joint portions 27b and 28b of the positive electrode wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28, a tool for ultrasonic bonding is used as the wiring member 27. , 28, the tool is in a state of facing the joints 27b, 28b, 35 in order, and ultrasonic joining can be performed efficiently.

○ 出力電極部材32U,32V,32Wのセラミック基板21に対する超音波接合をコンデンサアッシー38のセラミック基板21に対する超音波接合より先に行う場合は、出力電極部材32U,32V,32Wの接合部35を正極用配線部材27及び負極用配線部材28の接合部27b,28bと一直線上に配置しなくてもよい。   When the ultrasonic bonding of the output electrode members 32U, 32V, 32W to the ceramic substrate 21 is performed prior to the ultrasonic bonding of the capacitor assembly 38 to the ceramic substrate 21, the bonding portion 35 of the output electrode members 32U, 32V, 32W is positive. The wiring member 27 and the negative electrode wiring member 28 may not be arranged in line with the joint portions 27b and 28b.

○ 超音波接合は各接合点(接合箇所)を一点ずつ順に行う方法に限らず、複数点ずつ行うようにしてもよい。この場合、1点ずつ行う場合に比較して、全ての接合点の超音波接合が完了するまでの時間を短縮することができる。特に2点ずつ行う場合は、超音波接合ツールの体格をさほど大きくせず、接合点の数も偶数であるため、効率良く行うことができる。   ○ Ultrasonic bonding is not limited to a method of sequentially performing each bonding point (bonding point) one by one, but may be performed by a plurality of points. In this case, it is possible to shorten the time until ultrasonic bonding of all the bonding points is completed as compared with the case where one point is performed. In particular, when performing two points at a time, the size of the ultrasonic bonding tool is not increased so much, and the number of bonding points is an even number, so that it can be performed efficiently.

○ 電力変換装置は、インバータ装置11に限らず、例えば、DC−DCコンバータに適用してもよい。
○ 駆動信号入力端子G1〜G6の第1端部を回路パターン24aに、信号端子S1〜S6の第1端部を回路パターン24dにそれぞれ接合する時期は、コンデンサアッシー38をセラミック基板21に超音波接合する前に限らず、支持枠30を金属ベース20に固定した後、支持枠30内へシリコーンゲルを充填するまでに行えば良い。
(Circle) not only the inverter apparatus 11 but a power converter device may be applied to a DC-DC converter, for example.
○ When the first ends of the drive signal input terminals G1 to G6 are joined to the circuit pattern 24a and the first ends of the signal terminals S1 to S6 are joined to the circuit pattern 24d, the capacitor assembly 38 is ultrasonically applied to the ceramic substrate 21. Not only before joining, but also after the support frame 30 is fixed to the metal base 20, the support frame 30 may be filled with silicone gel.

○ コンデンサ17の正極端子17aと正極用配線部材27との接合及び負極端子17bと負極用配線部材28との接合は、ねじによる締め付け固定に限らず、コンデンサ17に対する熱の影響が半田付けに比較して小さな接合方法、例えば、精密抵抗溶接やレーザビーム溶接で行ってもよい。   The joining of the positive electrode terminal 17a of the capacitor 17 and the positive electrode wiring member 27 and the bonding of the negative electrode terminal 17b and the negative electrode wiring member 28 are not limited to tightening with screws, but the influence of heat on the capacitor 17 is compared to soldering. Then, a small joining method such as precision resistance welding or laser beam welding may be used.

以下の技術的思想(発明)は前記実施形態から把握できる。
(1)前記接合部は超音波接合により接合されている。
The following technical idea (invention) can be understood from the embodiment.
(1) pre-Symbol junction are joined by ultrasonic bonding.

(a)はインバータの回路図、(b)は一つのアームの回路図。(A) is a circuit diagram of an inverter, (b) is a circuit diagram of one arm. インバータ装置のカバーを省略した模式斜視図。The schematic perspective view which abbreviate | omitted the cover of the inverter apparatus. 同じく平面図。FIG. (a)は図3のA−A線断面図、(b)は(a)の一部省略部分拡大図。(A) is the sectional view on the AA line of FIG. 3, (b) is a partially omitted partial enlarged view of (a). 半導体チップのソース及びゲートと各回路パターンとのワイヤボンディングの状態を示す部分模式図。The partial schematic diagram which shows the state of the wire bonding of the source and gate of a semiconductor chip, and each circuit pattern. (a)は図3のB−B線断面図、(b)は(a)の部分拡大図。(A) is the BB sectional drawing of FIG. 3, (b) is the elements on larger scale of (a). (a)はチップ部品が実装されたセラミック基板の模式斜視図、(b)はセラミック基板が実装された金属ベースの模式斜視図。(A) is a schematic perspective view of a ceramic substrate on which chip components are mounted, and (b) is a schematic perspective view of a metal base on which the ceramic substrate is mounted. (a)は金属ベースに支持枠が取り付けられた状態の模式斜視図、(b)は出力電極部材を取り付けた状態の模式斜視図。(A) is a schematic perspective view of a state in which a support frame is attached to a metal base, and (b) is a schematic perspective view of a state in which an output electrode member is attached. コンデンサアッシー、金属ベース、支持枠及び出力電極部材の関係を示す模式斜視図。The model perspective view which shows the relationship between a capacitor | condenser assembly, a metal base, a support frame, and an output electrode member. 別の実施形態の断面図。Sectional drawing of another embodiment. (a),(b)はそれぞれ別の実施形態におけるセラミック基板上の回路パターンの配置を示す模式図。(A), (b) is a schematic diagram which shows the arrangement | positioning of the circuit pattern on the ceramic substrate in another embodiment, respectively. 別の実施形態の模式平面図。The schematic plan view of another embodiment. 同じく模式側面図。Similarly a schematic side view. (a)は従来技術の斜視図、(b)は同じく分解斜視図。(A) is a perspective view of a prior art, (b) is an exploded perspective view.

符号の説明Explanation of symbols

Q,Q1,Q2,Q3,Q4,Q5,Q6…スイッチング素子、11…インバータ装置、17…コンデンサ、17a…正極端子、17b…負極端子、22…基板、23…スイッチング素子としての半導体チップ、24b…第1領域としての回路パターン、24c…第2領域としての回路パターン、27…正極用配線部材、27a,28a…端子部、27b,28b,35…接合部、28…負極用配線部材、32U,32V,32W…出力電極部材。   Q, Q1, Q2, Q3, Q4, Q5, Q6 ... switching element, 11 ... inverter device, 17 ... capacitor, 17a ... positive electrode terminal, 17b ... negative electrode terminal, 22 ... substrate, 23 ... semiconductor chip as switching element, 24b ... Circuit pattern as first region, 24c ... Circuit pattern as second region, 27 ... Wiring member for positive electrode, 27a, 28a ... Terminal portion, 27b, 28b, 35 ... Junction portion, 28 ... Wiring member for negative electrode, 32U , 32V, 32W ... output electrode members.

Claims (3)

複数のスイッチング素子が実装された基板と、
相互に電気的に絶縁された状態で近接して平行に配置された平板状の正極用配線部材及び負極用配線部材と、
正極端子が前記正極用配線部材に電気的に接続され、負極端子が前記負極用配線部材に電気的に接続されたコンデンサと
を備えた電力変換装置であって、
前記基板は、前記スイッチング素子が実装される回路パターンとして、前記スイッチング素子のドレイン又はコレクタが電気的に接続される第1領域と、前記スイッチング素子のソース又はエミッタが電気的に接続される第2領域とを備え、前記第1領域の少なくとも前記正極用配線部材の接合部又は出力電極部材の接合部が接合される領域と、その第1領域と対応する第2領域の少なくとも出力電極部材の接合部が接合される領域又は前記負極用配線部材の接合部が接合される領域とが平行状態で隣り合うように設けられ
前記正極用配線部材及び前記負極用配線部材は、前記基板と平行に重なるように配置されるとともに、その幅方向の両端部から端子部が前記基板側に向かって延出し、かつ先端部が基板と平行に延びるように屈曲されて前記接合部が形成され、前記コンデンサは、前記正極用配線部材及び前記負極用配線部材のうちの前記基板と対向しない一方の配線部材上に、前記正極端子及び前記負極端子が前記配線部材側になる状態に配置されていることを特徴とする電力変換装置。
A substrate on which a plurality of switching elements are mounted;
A flat plate-like positive electrode wiring member and a negative electrode wiring member which are arranged in close proximity and in parallel while being electrically insulated from each other;
A power conversion device including a capacitor having a positive electrode terminal electrically connected to the positive electrode wiring member and a negative electrode terminal electrically connected to the negative electrode wiring member;
The substrate has a first pattern in which a drain or a collector of the switching element is electrically connected and a second pattern in which a source or an emitter of the switching element is electrically connected as a circuit pattern on which the switching element is mounted. A region where at least a joint portion of the positive electrode wiring member or a joint portion of the output electrode member is joined to the first region, and a joint of at least the output electrode member of the second region corresponding to the first region A region where the portion is bonded or a region where the bonding portion of the negative electrode wiring member is bonded is adjacent in a parallel state ,
The positive electrode wiring member and the negative electrode wiring member are arranged so as to overlap in parallel with the substrate, the terminal portions extend from both ends in the width direction toward the substrate side, and the tip portion is a substrate. The capacitor is bent so as to extend in parallel with the capacitor, and the capacitor is formed on one of the positive electrode wiring member and the negative electrode wiring member that does not face the substrate. The power conversion device, wherein the negative electrode terminal is disposed on the wiring member side .
前記第1領域及び前記第2領域は帯状に形成され、各第1領域には複数の前記スイッチング素子が実装され、それらのスイッチング素子のソース又はエミッタがワイヤボンディングにより前記第2領域に接続されている請求項1に記載の電力変換装置。   The first region and the second region are formed in a strip shape, and a plurality of the switching elements are mounted in each first region, and the source or emitter of the switching elements is connected to the second region by wire bonding. The power conversion device according to claim 1. 前記電力変換装置はインバータ装置であり、各アームは4N個(Nは自然数)のスイッチング素子を備えており、前記正極用配線部材の接合部、前記負極用配線部材の接合部及び前記出力電極部材の接合部はアーム毎に2個設けられ、前記スイッチング素子は2N個ずつ前記正極用配線部材の各接合部に対応して第1領域上に実装されている請求項2に記載の電力変換装置。   The power conversion device is an inverter device, and each arm includes 4N (N is a natural number) switching elements, a joint portion of the positive wiring member, a joint portion of the negative wiring member, and the output electrode member 3. The power converter according to claim 2, wherein two joint portions are provided for each arm, and 2N switching elements are mounted on the first region corresponding to each joint portion of the positive electrode wiring member. .
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