JP5088870B2 - 圧電ポンプ - Google Patents

Description

本発明は、液体あるいは気体などの搬送に用いて好適な圧電ポンプに関し、特に、液体に接触する圧電駆動型ダイヤフラムの信頼性を改善した圧電ポンプに関する。

従来の圧電ポンプは、圧電振動子の屈曲撓み振動によって、圧電駆動型ダイヤフラムを駆動させて、媒体液体を排出する構造が一般的である。このような圧電ポンプで使用されるダイヤフラムの一例としては、２枚の圧電振動子にて弾性板を挟み込む形で接合された構造を持つバイモルフ型圧電振動子を用いたものがある。圧電振動子の屈曲撓み振動を利用した、ダイヤフラム式の圧電ポンプは、例えば特許文献１に開示されている。

また、他の例として、１枚の圧延振動子に弾性板を設けた構造を持つユニモルフ型圧電振動子を用いたものがある。図７は、従来の圧電ポンプの説明図であり、図７（ａ）は平面図、図７（ｂ）は、図７（ａ）でのＡＡ断面図である。図７に示すように、従来の圧電ポンプは、１枚の圧電振動子を、可とう性樹脂にて全体を覆った、ユニモルフ型の圧電駆動型ダイヤフラムを、２個対向させた構造である。第１の圧電振動子１０１を、可とう性樹脂７０にて、全体を覆った、第１の圧電駆動型ダイヤフラム５００と、第２の圧電振動子１０２を、可とう性樹脂７１にて、全体を覆った、第２の圧電駆動型ダイヤフラム５１０とを、筐体４０の内部にて、対向させ、容量室４００を形成している。

第１の圧電振動子１０１には、リード線９０が接続され、また、第２の圧電振動子１０２には、リード線９１が接続されている。容量室４００の一方には、吸入口６１が開けられ、また他方には、吐出口６が開けられており、外部の配管が、これらに接続されている。リード線９０、９１に電圧が印加されると、第１の圧電振動子１０１および第２の圧電振動子１０２が屈曲運動を起こし、この動きに従って、第１の圧電駆動型ダイヤフラム５００、第２の圧電駆動型ダイヤフラム５１０も屈曲運動を起こし、容量室４００の内部にある液体を排出する。ここで、第１および第２の圧電振動子の材質は、チタン酸バリウム系圧電セラミック材を使用し、また、可とう性樹脂７０，７１は、シリコン系樹脂を使用している。

このように、ダイヤフラム式の圧電ポンプの駆動源として、圧電振動子が用いられる理由の１つに低背化が可能であるという点がある。圧電振動子が圧電駆動型ダイヤフラム自体を直接屈曲させるため、機械式や電磁式のダイヤフラムポンプに較べてピストン部分が不要である。このため、携帯可能な電子機器に搭載される燃料電池の燃料供給装置や電子機器の冷却循環水の送液など低背化が利点となる用途に応用されることが期待されている。

特開２０００−２６５９６３号公報

しかし、従来の構成の場合、圧電振動子には、駆動するための電圧が印加されるため、圧電振動子を、媒体である液体に直接接触させると、圧電振動子のセラミックの表面と弾性板側の電極の間でショートが起こり、電圧を印加しても屈曲しなくなるという問題がある。このため圧電振動子により構成されたダイヤフラム全体をシリコンゴムのような可とう性のある樹脂材料で被覆する構成となっている。

上述のように圧電振動子を用いたダイヤフラムポンプの最大の利点は低背である点であるため、ポンプ全体の低背化には液室、弁などの容積を勘案するとダイヤフラム自体が薄いことが望ましいが、セラミックを液体より保護する必要から設けられている可とう性樹脂材料が少なからず吸水透湿性があるため５年、１０年という長期に渡る防水性を維持するためには厚くせざるを得ず、例えば圧電振動子の厚みを１ｍｍとしても最低でもダイヤフラムの厚みが３ｍｍ程度は必要であった。また、この問題を解決する方策として接水面にのみフッ素樹脂などの撥水性の強い膜を形成する試みもなされているがフッ素樹脂自体が難接着性のためにやはり同様に長期に渡る信頼性を確保するのが困難である上、ダイヤフラムの厚みよりポンプ全体の厚みを薄くすることに制約を生じさせていた。

一方、ポンプとしての性能は一般にＰ−Ｑ曲線というもので示される。ここでＰは吐出圧力、Ｑは流量である。圧電振動子を用いたダイヤフラムポンプにおいてこのＰとＱを決定する要素は、突出圧力Ｐについては弾性変形時の力であり、流量Ｑについては変位量である。ダイヤフラムを構成する部材が薄くなる、あるいは柔らかくなると弾性変形時に発生する力は小さくなり、変位量が大きくなる。これは、薄いもの、柔らかい物を曲げる時には大きな力を必要としないのと同様である。従来構造における圧電バイモルフの保護材料としての可とう性樹脂は柔らかいために厚みがあっても変位が大きく、発生力は比較的小さいためポンプ全体の高さが大きいにもかかわらず吐出圧力が低いという問題があった。

また、電子機器の冷却循環水の送液に用いる場合、冷却水の流路は閉鎖循環系になるため電子機器内部の発熱、および外気温の変化により冷却水の容積が変化しポンプにかかる圧力が変動する。このため、従来構造の圧電バイモルフの保護材料として可とう性樹脂を用いた場合にはダイヤフラムの変位量が圧力による変化を受けて変化し流量が安定しないという問題があった。

したがって、本発明は、上記の課題を解決し、耐液性にすぐれ薄型で、かつ吐出圧力が高く、周囲環境の変化の影響を受けにくい、圧電振動子を用いた圧電ポンプを提供することにある。

本発明は、第１の導電性金属弾性板の片面に第１の圧電振動子を接合した第１の圧電駆動型ダイヤフラムと、第２の導電性金属弾性板の片面に第２の圧電振動子を接合した第２の圧電駆動型ダイヤフラムと、前記第１の圧電駆動型ダイヤフラムと前記第２の圧電駆動型ダイヤフラムを取り付ける筐体とを備え、前記第１の導電性金属弾性板及び前記第２の導電性金属弾性板を、前記第１の圧電振動子及び第２の圧電振動子より大きく形成し、前記第１の導電性金属弾性板及び前記第２の導電性金属弾性板に、前記第１の圧電振動子及び第２の圧電振動子の外縁に沿って窪みを設け、前記第１の導電性金属弾性板と前記第２の導電性金属弾性板とを対向するように配置し、前記第１の導電性金属弾性板と前記第２の導電性金属弾性板と前記筐体で容積室を形成し、前記第１の導電性金属弾性板と前記第２の導電性金属弾性板とが直接媒体に接することを特徴とする圧電ポンプである。

また、本発明は、前記第１の導電性金属弾性板及び前記第２の導電性金属弾性板の前記媒体と接する面に、可とう性樹脂層が設けられたことを特徴とする上記の圧電ポンプである。

また、本発明は、前記第１及び第２の圧電振動子の前記可とう性樹脂層が設けられた面と反対側の面に、金属箔が設けられ、前記第１の圧電振動子及び第２の圧電振動子の表面電極と接触するよう接合されるとともに、前記第１の導電性金属弾性板及び前記第２の導電性金属弾性板の、前記第１の圧電振動子及び第２の圧電振動子からはみだした部分に、前記第１の圧電振動子及び第２の圧電振動子の外縁とは接触しない位置にて絶縁物により接合されていることを特徴とする上記の圧電ポンプである。

また、本発明は、第１の圧電駆動型ダイヤフラム及び第２の圧電駆動型ダイヤフラムの周縁部分が、Ｏリングにより筐体に固定されていることを特徴とする上記の圧電ポンプである。

即ち、上記の課題を解決するために、第一の発明の圧電ポンプでは、導電性金属弾性板からなるシムの片面に圧電振動子を接合したユニモルフ型圧電振動子の金属弾性板が対向するように配置されて容積室を構成していることを特徴としている。

第一の構成による圧電ポンプにおいては、液体と接触する表面を、導電性金属弾性板とすることで圧電振動子と、容量室の液体を分離する。従来の可とう性樹脂層の代わりに、導電性金属弾性板を使用することで吸水透湿性がなくなり従来に比し厚みを薄くしても充分な防水効果が得られる。また、金属は一般的にヤング率が樹脂材料よりも大きいためにダイヤフラムが剛となり発生力を増す効果があるため、ポンプとして用いた際に負荷圧力の変動に対しての流量の変化が少なくなる。更にこの構造では、このユニモルフを対向させることによってバイモルフ型と同等の流量、吐出圧を得ることが可能となった。導電性金属弾性板の材質には、真鍮、ステンレスなどが用いられる。

一方、圧電振動子を変形させるためには圧電振動子に電圧を印加しなければならないが、この構成では導電性金属弾性板が圧電振動子の表面に接合されているため、ユニモルフの弾性板に導電性のある金属を使用することで表面の金属薄膜と弾性板にリード線を接続してその間に電圧を印加することで圧電振動子を変形させることが可能となる。

第二の発明の圧電振動子では、第一の発明の圧電振動子において２枚を対向して容積室を形成する金属弾性板弾性板表面に、樹脂などからなる絶縁層を設けたものであり搬送液体による腐食を予防すると同時に電気的な絶縁を保つことを特徴としている。

第三の構成においては、基本的な構成と効果は第一の発明、および第二の発明と同じであるが圧電振動子上に、金属箔等の金属薄膜を有する絶縁性の樹脂層を設けることで、圧電振動子を変形させるために電圧を印加する際の電極の取り出しを容易にすると共に、ポンプ筐体など別の構成部品へのリークを防止し、湿度の影響により圧電振動子から電流がリークすることを防止する構成としたものである。

また、本構成では圧電振動子表面に、金属箔等の金属薄膜を接着することで圧電振動子表面と導通を持った端子を直接外部に取り出すことができるため、ポンプ筐体ではんだ付け部分を回避する必要が無く低背化に寄与する。

第四の発明の圧電振動子では、第三の発明の圧電振動子において２枚の圧電振動子に挟みこむように接合された弾性板に、圧電振動子外縁に沿うように窪みが設けられており、圧電振動子表面に金属箔が圧電振動子の表面電極と接触するよう接合されると同時に、はみだした弾性板に絶縁物層により接合されていることを特徴とする。

即ち、第四の構成においては、第三の発明と構成の効果は同じであるが、側面からの湿度の進入を防ぐために弾性体と表面を覆う可とう性樹脂層の外周部を接合する際に、圧電振動子外周上に沿うように弾性板に予め、窪みを設けて、接合している樹脂材料と圧電振動子外周部分が確実に接触しない構造にしたものである。

また、これらの構成において、弾性板が圧電振動子の寸法より大きく、圧電振動子より外部に露出する構成とすることにより、媒体である液体が、漏れた場合に、圧電振動子まで到達するのに時間がかかり、腐食の点で、より信頼性が向上する。

上記に説明したように、本発明の構成によれば、耐液性にすぐれ薄型で、かつ吐出圧力が高く、周囲環境の変化の影響を受けにくい、圧電振動子を用いた圧電ポンプを提供できる。

本発明の圧電ポンプは、導電性金属弾性板の片面に圧電振動子を接合したユニモルフ型圧電振動子を用いた構成であり、圧電振動子に接合された導電性金属弾性板が対向するように配置されて、容積室を構成し、弾性板が直接媒体と接する構造である。

また、圧電ポンプを構成するユニモルフ型圧電振動子において、弾性板が、圧電振動子の寸法より大きく、圧電振動子より外部に露出しており、更に、圧電振動子表面に金属箔が圧電振動子の表面電極と接触するよう接合されると同時に、はみだした弾性板に圧電振動子外縁とは接触しない位置にて絶縁物層により接合されている。ここで、絶縁物層の材質は、フッ素樹脂系材料が使用される。

また、圧電ポンプを構成するユニモルフ型圧電振動子において、圧電振動子が接合された弾性板に、圧電振動子外縁に沿うように窪みが設けられており、更に、圧電振動子表面に金属箔を有する可とう性樹脂層を金属箔が圧電振動子の表面電極と接触するよう接合されると同時に、はみだした弾性板に圧電振動子外縁とは接触しない位置にて絶縁物層により接合されている圧電ポンプとする。

また、導電性金属弾性板の表面に、可とう性樹脂層が配置され、この可とう性樹脂層の周囲をＯリングにより、円周状に筺体に固定される。

図１は、本発明の実施例１における圧電ポンプの説明図であり、図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は図１（ａ）でのＡＡ断面図である。図１に示すように、圧電ポンプ３００は、第１の圧電駆動型ダイヤフラム１００と、第２の圧電駆動型ダイヤフラム２００と、これらを収納する筐体４と、この筺体４の開放端を覆う蓋５ａ、５ｂ、また、１の圧電駆動型ダイヤフラム１００と、第２の圧電駆動型ダイヤフラム２００の周縁部分で筐体に固定するＯリング３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄとで構成されている。また、第１の圧電駆動型ダイヤフラム１００と、第２の圧電駆動型ダイヤフラム２００と、筐体４の側面とで囲まれて、容量室４００が形成されている。

また、第１の圧電駆動型ダイヤフラム１００は、導電性金属弾性板２ａに、圧電振動子１ａが貼り付けられた構造であり、第２の圧電駆動型ダイヤフラム２００は、導電性金属弾性板２ｂに圧電振動子１ｂが貼り付けられた構造である。ここで、導電性金属弾性板２ａと、導電性金属弾性板２ｂとが対向しており、これにより容量室４００を形成し、容量室に入る、液体などの媒体と直接することとなる。

また、導電性金属弾性板２ａと、導電性金属弾性板２ｂの材質は真鍮である。これにより、圧電振動型ダイヤフラムのヤング率は、従来のシリコン系樹脂を用いた場合より、高くなっている。また、直接媒体と接触する第１の導電性金属弾性板２ａと、第２の導電性金属弾性板２ｂの材質が、金属である真鍮のため、媒体が透過することはない。なお、圧電振動型ダイヤフラムの寸法は、厚みを２ｍｍ、直径を３５ｍｍとした。また容量室４００の直径は、３０ｍｍとした。圧電ポンプ３００の全体の高さは、８ｍｍである。

図２は、本発明の実施例２における圧電ポンプの説明図であり、図２（ａ）は平面図、図２（ｂ）は、図２（ａ）でのＡＡ断面図である。図２に示すように、圧電ポンプ３１０は、第１の圧電駆動型ダイヤフラム１１０と、第２の圧電駆動型ダイヤフラム２１０と、筐体４と、蓋５ａ、５ｂ、また、Ｏリング３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄとで構成されている。ここで、第１の圧電駆動型ダイヤフラム１１０と、第２の圧電駆動型ダイヤフラム２１０と、筐体４の側面とで囲まれて、容量室４００が形成されている。

また、第１の圧電駆動型ダイヤフラム１１０は、導電性金属弾性板２ａに、圧電振動子１１ａが貼り付けられた構造であり、更に、導電性金属弾性板２ａに、可とう性樹脂層７ａが全面に貼り付けられている。また、圧電振動子１１ａの直径寸法は、導電性金属弾性板２ａの直径寸法の約５０％としている。また、第２の圧電駆動型ダイヤフラム２１０は、導電性金属弾性板２ｂに、圧電振動子１１ｂが貼り付けられた構造であり、更に、導電性金属弾性板２ｂに、可とう性樹脂７ｂが全面に貼り付けられている。また、圧電振動子１１ｂの直径寸法は、導電性金属弾性板２ｂの直径寸法の約５０％としている。

また、導電性金属弾性板２ａと、導電性金属弾性板２ｂの材質は真鍮である。また、前記可とう性樹脂層７ａ、７ｂの材質は、テフロン（登録商標）としており、可とう性樹脂層７ａ、７ｂが、直接、媒体の液体に接する。これによって、第１の導電性金属弾性板２ａと、第２の導電性金属弾性板２ｂが、前記可とう性樹脂７ａ、７ｂによって保護されるので、第１の導電性金属弾性板２ａと、第２の導電性金属弾性板２ｂの材質である真鍮が、腐食から保護される。

ここで、また、前記圧電振動子１１ｂの直径寸法は、導電性金属弾性板２ｂの直径寸法の約５０％としている。これによって、媒体である液体が、漏れた場合に、圧電振動子２ａ、２ｂまで到達するのに時間がかかり、腐食の点で、より信頼性が向上する。なお、圧電振動型ダイヤフラムの寸法は、厚みを２ｍｍ、直径を３５ｍｍとした。また容量室４００の直径は、３０ｍｍとした。

また、比較例として、図７に示す構造の従来の圧電ポンプを作製した。圧電振動型ダイヤフラムの寸法は、直径を３５ｍｍとし、容量室４００の直径は、３０ｍｍとした。本発明の実施例１、２と従来の圧電ポンプでＰ（閉鎖圧力）−Ｑ（流量）特性、平均故障時間特性を比較した。

図５は、本発明の実施例１の圧電ポンプと、従来の圧電ポンプとのＰ−Ｑ特性を比較して示した図である。図５より、流量２００ｍｌ／ｍｉｎ以下の範囲では、一定の圧力下で、本発明の圧電ポンプの流量は、常に、従来の圧電ポンプより大きくなっていることがわかる。この特性により、本発明の圧電ポンプは、周囲環境の変化による、温度変化、他の変化の影響を受けにくいことがわかる。

図６は、本発明の実施例１、２の圧電ポンプと、従来の圧電ポンプとの平均故障時間特性を比較して示した図である。ここで、この特性の試験条件は、周囲温度６０℃に保持して行った。また、故障状態の定義は、媒体が漏れて、圧電振動子を、電気的に不良とした。図６より、本発明の圧電ポンプは、従来の圧電ポンプより、相対湿度２０％ＲＨから相対湿度８０％ＲＨの間にて、著しく、平均の故障に到るまでの時間が長くなり、信頼性が改善されていることがわかる。

図３は、本発明の実施例３における圧電ポンプの断面図である。図３に示すように、圧電ポンプ３２０は、第１の圧電駆動型ダイヤフラム１２０と、第２の圧電駆動型ダイヤフラム２２０と、これらを収納する筐体４と、この筺体４の開放端を覆う蓋５ａ、５ｂ、また、第１の圧電駆動型ダイヤフラム１２０と、第２の圧電駆動型ダイヤフラム２２０の周縁部分で筐体に固定するＯリング３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄとで構成されている。ここで、第１の圧電駆動型ダイヤフラム１２０と、第２の圧電駆動型ダイヤフラム２２０と、筐体４の側面とで囲まれて、容量室４００が形成されている。

また、第１の圧電駆動型ダイヤフラム１２０は、導電性金属弾性板２１ａに、圧電振動子１２ａが貼り付けられた構造であり、更に、導電性金属弾性板２１ａに、可とう性樹脂層７１ａが全面に貼り付けられている。また、圧電振動子１２ａの直径寸法は、導電性金属弾性板２１ａの直径寸法の約５０％としている。また、第２の圧電駆動型ダイヤフラム２２０は、導電性金属弾性板２１ｂに、圧電振動子１２ｂが貼り付けられた構造であり、更に、前記導電性金属弾性板２１ｂに、可とう性樹脂層７１ｂが全面に貼り付けられている。また、前記圧電振動子１２ｂの直径寸法は、導電性金属弾性板２１ｂの直径寸法の約５０％としている。

また、導電性金属弾性板２１ａと、導電性金属弾性板２１ｂの材質は真鍮である。これにより、圧電振動型ダイヤフラムのヤング率は、従来のシリコン系樹脂を用いた場合より、高くなっている。また、可とう性樹脂層７１ａ、７１ｂの材質は、テフロン（登録商標）としており、可とう性樹脂層７１ａ、７１ｂが、直接、媒体の液体に接する。これによって、 第１の導電性金属弾性板２１ａと、第２の導電性金属弾性板２１ｂが、可とう性樹脂層７１ａ、７１ｂによって保護されるので、第１の導電性金属弾性板２１ａと、第２の導電性金属弾性板２１ｂの材質である真鍮が、媒体である液体の腐食から保護される。

また、実施例３では、更に圧電振動子１２ａの可とう性樹脂層７１ａが設けられた面と反対側の面に、金属箔８ａを配置し、圧電振動子１２ｂの可とう性樹脂層７１ｂが設けられた面と反対側の面に金属箔８ｂを配置し、金属箔８ａ、８ｂの外周を、樹脂等の絶縁物層１０を介して、導電性金属板２１ａ、２１ｂと接合している。これにより、更に、漏れた媒体の液体から、圧電振動子を保護することができる。

図４は、本発明の実施例４における圧電ポンプの断面図である。本実施例４の圧電ポンプの構造は、先の実施例３の圧電ポンプと同様であり、構造の説明を省略する。ここで、実施例４では、導電性金属弾性板２２ａには、圧電振動子１３ａの外周縁に沿って、窪み９ａが設けられている。また、同じく、導電性金属弾性板２２ｂには、圧電振動子１３ｂの外周縁に沿って、窪み９ｂが設けられている。窪み９ａ、９ｂは、媒体の液体が漏れて、導電性金属弾性板２２ａあるいは２２ｂの表面を移動した場合、その液体をせき止めて、圧電振動子まで、到達しないようにする効果がある。これによって、更に実施例３よりも、腐食に対する信頼性が改善している。

本発明による構成の圧電ユニモルフ型振動子を使用することで従来よりも低背かつ信頼性に優れ吐出圧力の変化の少ないダイヤフラム式の圧電ポンプを供することが可能となり、携帯可能な電子機器に搭載される燃料電池の燃料供給装置や電子機器の冷却循環水の送液などに使用することが可能となった。

本発明の実施例１における圧電ポンプの説明図。図１（ａ）は平面図、図１（ｂ）は、図１（ａ）でのＡＡ断面図。 本発明の実施例２における圧電ポンプの説明図。図２（ａ）は平面図、図２（ｂ）は、図２（ａ）でのＡＡ断面図。 本発明の実施例３における圧電ポンプの断面図。 本発明の実施例４における圧電ポンプの断面図。 本発明と従来の圧電ポンプのＰ−Ｑ特性を比較して示した図。 本発明と従来の圧電ポンプの平均故障時間特性を比較して示した図。 従来の圧電ポンプの説明図。図７（ａ）は平面図、図７（ｂ）は、図７（ａ）でのＡＡ断面図。

符号の説明

１ａ、１ｂ、１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂ、１３ａ、１３ｂ、１０１，１０２ 圧電振動子
２ａ、２ｂ、２１ａ、２１ｂ、２２ａ、２２ｂ 導電性金属弾性板
３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ、３１ Ｏリング
４、４０、４１ 筐体
５ａ、５ｂ、５０、５１ 蓋
６ 吐出口
７ａ、７ｂ、７０、７１、７１ａ、７１ｂ 可とう性樹脂層
８ａ、８ｂ 金属箔
９ａ、９ｂ 窪み
１０ 絶縁物層
６１ 吸入口
９０、９１ リード線
１００，１１０，１２０，１３０、２００、２１０、２２０、２３０、５００、５１０ 圧電駆動型ダイヤフラム
３００、３１０、３２０、３３０ 圧電ポンプ
４００ 容量室

Claims (4)

1. 第１の導電性金属弾性板の片面に第１の圧電振動子を接合した第１の圧電駆動型ダイヤフラムと、第２の導電性金属弾性板の片面に第２の圧電振動子を接合した第２の圧電駆動型ダイヤフラムと、前記第１の圧電駆動型ダイヤフラムと前記第２の圧電駆動型ダイヤフラムを取り付ける筐体とを備え、前記第１の導電性金属弾性板及び前記第２の導電性金属弾性板を、前記第１の圧電振動子及び第２の圧電振動子より大きく形成し、前記第１の導電性金属弾性板及び前記第２の導電性金属弾性板に、前記第１の圧電振動子及び第２の圧電振動子の外縁に沿って窪みを設け、前記第１の導電性金属弾性板と前記第２の導電性金属弾性板とを対向するように配置し、前記第１の導電性金属弾性板と前記第２の導電性金属弾性板と前記筐体で容積室を形成し、前記第１の導電性金属弾性板と前記第２の導電性金属弾性板とが直接媒体に接することを特徴とする圧電ポンプ。
2. 前記第１の導電性金属弾性板及び前記第２の導電性金属弾性板の前記媒体と接する面に、可とう性樹脂層が設けられたことを特徴とする請求項１に記載の圧電ポンプ。
3. 前記第１及び第２の圧電振動子の前記可とう性樹脂層が設けられた面と反対側の面に、金属箔が設けられ、前記第１の圧電振動子及び第２の圧電振動子の表面電極と接触するよう接合されるとともに、前記第１の導電性金属弾性板及び前記第２の導電性金属弾性板の、前記第１の圧電振動子及び第２の圧電振動子からはみだした部分に、前記第１の圧電振動子及び第２の圧電振動子の外縁とは接触しない位置にて絶縁物により接合されていることを特徴とする請求項２に記載の圧電ポンプ。
4. 第１の圧電駆動型ダイヤフラム及び第２の圧電駆動型ダイヤフラムの周縁部分が、Ｏリングにより筐体に固定されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の圧電ポンプ。

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